DE102014018720A1 - Solid-state separation process with laser-based pre-damage - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Abtrennen von mindestens einem Festkörperanteil von einem Festkörper, insbesondere einem Wafer. Das Verfahren umfasst dabei mindestens die Schritte: Modifizieren des Kristallgitters des Festkörpers mittels eines Lasers, insbesondere eines Piko- oder Femtosekunden-Laser, wobei mehrere Modifikationen in dem Kristallgitter erzeugt werden, wobei das Kristallgitter in Folge der Modifikationen in den die Modifikationen umgebenden Bereichen zumindest in jeweils einem Anteil einreist, wobei durch die Risse im Bereich der Modifikationen ein Ablösebereich vorgegeben wird, Anordnen einer Aufnahmeschicht an dem Festkörper zum Halten des Festkörperanteils, thermisches Beaufschlagen der Aufnahmeschicht zum, insbesondere mechanischen, Erzeugen von Spannungen in dem Festkörper, wobei sich durch die Spannungen ein Hauptriss in dem Festkörper entlang dem Ablösebereich ausbreitet, der zumindest die Mehrzahl der Risse im Bereich der Modifikationen miteinander verbindet.The invention relates to a method for separating at least one solid fraction of a solid, in particular a wafer. The method comprises at least the steps of: modifying the crystal lattice of the solid by means of a laser, in particular a picosecond or femtosecond laser, wherein a plurality of modifications are produced in the crystal lattice, the lattice being at least in consequence of the modifications in the regions surrounding the modifications in each case a proportion enters, wherein by the cracks in the region of the modifications a separation region is given, arranging a recording layer on the solid body for holding the solid content, thermally applying the recording layer to, in particular mechanical, generating stresses in the solid, which is characterized by the voltages a main tear propagates in the solid body along the separation region that connects at least the majority of the cracks in the region of the modifications.
Description
Die vorliegende Erfindung bezieht sich gemäß den Ansprüchen 1, 2 und 11 jeweils auf ein Verfahren zum Abtrennen von mindestens einem Festkörperanteil von einem Festkörper.The present invention relates according to
Das Teilen von Festkörpern, insbesondere von Wafern, wird klassisch durch Sägen bewirkt. Dieses Trennverfahren hat jedoch eine Vielzahl an Nachteile. So werden beim Sägen stets Späne erzeugt, die somit zerstörtes Grundmaterial darstellen. Ferner nimmt die Dickenschwankung der abgesägten Scheiben bei einer Zunahme der Sägehöhe ebenfalls zu. Weiterhin bewirkt das Sägeelement, dass auf den Oberflächen der voneinander zu trennenden Scheiben Riefen entstehen.The splitting of solids, especially wafers, is conventionally effected by sawing. However, this separation method has a number of disadvantages. For example, chips are always produced during sawing, which thus constitute destroyed basic material. Furthermore, the thickness variation of the sawn-off wheels also increases as the saw height increases. Furthermore, the saw element causes grooves to be formed on the surfaces of the disks to be separated from each other.
Es ist daher ersichtlich, dass das Trennverfahren „Sägen” sehr hohe Materialkosten und Kosten für die Nacharbeit bedingt.It can therefore be seen that the cutting process "sawing" involves very high material costs and reworking costs.
Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung ein alternatives Verfahren zum Abtrennen von mindestens einem Festkörperanteil von einem Festkörper bereitzustellen.It is therefore the object of the present invention to provide an alternative method for separating at least one solid fraction of a solid.
Die zuvor genannte Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein Verfahren gemäß Anspruch 1 gelöst. Das erfindungsgemäße Verfahren zum Abtrennen von mindestens einem Festkörperanteil von einem Festkörper, insbesondere einem Wafer, umfasst mindestens die Schritte, des Modifizierens des Kristallgitters des Festkörpers mittels eines Modifiziermittels, insbesondere mittels mindestens eines Lasers, insbesondere eines Piko- oder Femtosekunden-Lasers, wobei mehrere Modifikationen in dem Kristallgitter erzeugt werden, wobei das Kristallgitter in Folge der Modifikationen in den die Modifikationen umgebenden Bereichen zumindest in jeweils einem Anteil einreist, wobei durch die Risse im Bereich der Modifikationen ein Ablösebereich vorgegeben wird, des Anordnens einer Aufnahmeschicht an dem Festkörper zum Halten des Festkörperanteils, des thermischen Beaufschlagens der Aufnahmeschicht zum, insbesondere mechanischen, Erzeugen von Spannungen in dem Festkörper, wobei sich durch die Spannungen ein Hauptriss in dem Festkörper entlang dem Ablösebereich bildet bzw. ausbreitet, der zumindest die Mehrzahl der Risse im Bereich der Modifikationen miteinander verbindet.The aforementioned object is achieved by a method according to
Ferner schafft die vorliegende Erfindung erstmals eine Möglichkeit, dass ein Festkörper nicht orthogonal zu seiner zu kürzenden Längsrichtung gekürzt werden muss, sondern dass er mit dem LASER in seiner Längsrichtung derart beaufschlagt wird, dass eine Festkörperschicht abgetrennt wird. Dieses Verfahren hat ferner den Vorteil, dass die LASER-Strahlen nicht über den gesamten Radius des Festkörpers in den Festkörper eindringen müssen, sondern über eine zur Abtrennschicht bzw. Ablöseschicht bevorzugt parallelen Schicht in den Festkörper eingebracht werden können. Dies ist insbesondere bei Festkörpern sinnvoll, deren Radius größer oder gleich der Dicke der abzutrennenden Festkörperschicht ist.Furthermore, the present invention provides for the first time a possibility that a solid body does not have to be shortened orthogonal to its longitudinal direction to be shortened, but that it is acted upon with the LASER in its longitudinal direction such that a solid layer is separated. This method also has the advantage that the LASER rays do not have to penetrate into the solid body over the entire radius of the solid, but rather can be introduced into the solid via a layer which is preferably parallel to the separation layer or release layer. This is particularly useful for solids whose radius is greater than or equal to the thickness of the solid layer to be separated.
Die zuvor genannte Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein Verfahren gemäß Anspruch 2 gelöst. Das erfindungsgemäße Verfahren zum Abtrennen von mindestens einem Festkörperanteil von einem Festkörper, insbesondere einem Wafer, umfasst mindestens die Schritte, des Modifizierens des Kristallgitters des Festkörpers mittels eines Modifikationsmittels, insbesondere eines Lasers, insbesondere eines Piko- oder Femtosekunden-Laser, wobei mehrere Modifikationen in dem Kristallgitter erzeugt werden, wobei das Kristallgitter in Folge der Modifikationen in den die Modifikationen umgebenden Bereichen zumindest in jeweils einem Anteil einreist, wobei durch die Risse im Bereich der Modifikationen ein Ablösebereich vorgegeben wird, des Anordnens einer Aufnahmeschicht an dem Festkörper zum Halten des Festkörperanteils, des thermischen Beaufschlagens der Aufnahmeschicht zum, insbesondere mechanischen, Erzeugen von Spannungen in dem Festkörper, wobei durch die Spannungen ein Hauptriss in dem Festkörper entlang dem Ablösebereich ausgelöst wird, wobei der Hauptriss den Festkörperanteil bevorzugt von dem Festkörper abtrennt.The aforementioned object is achieved by a method according to
Ferner wird die vorliegende Erfindung durch ein Verfahren zum Abtrennen von mindestens einem Festkörperanteil von einem Festkörper, insbesondere einem Wafer, gelöst. Das Verfahren umfasst dabei mindesten die Schritte: Modifizieren des Kristallgitters des Festkörpers mittels eines Modifikationsmittels, insbesondere eines Lasers, insbesondere eines Piko- oder Femtosekunden-Laser, wobei mehrere Modifikationen in dem Kristallgitter erzeugt werden, wobei in dem Kristallgitter durch die Modifikationen in jeweils mindestens einem eine Modifikation umgebenden Festkörperbereich derart Rissführungsspannungen erzeugt werden, dass ein den Festkörper trennender Riss durch die Rissführungsspannungen, insbesondere versetzt zum Zentrum der jeweiligen Modifikationen, geführt wird, wobei durch die Rissführungsspannungen im Festkörperbereich der Modifikationen ein Ablösebereich vorgegeben wird, Anordnen einer Aufnahmeschicht an dem Festkörper zum Halten des Festkörperanteils, thermisches Beaufschlagen der Aufnahmeschicht zum, insbesondere mechanischen, Erzeugen von Rissausbreitungsspannungen in dem Festkörper, wobei sich durch die Rissausbreitungsspannungen ein Riss in dem Festkörper entlang dem Ablösebereich ausbreitet.Furthermore, the present invention is achieved by a method for separating at least one solids content from a solid, in particular a wafer. The method comprises at least the steps of: modifying the crystal lattice of the solid by means of a modifying agent, in particular a laser, in particular a picosecond or femtosecond laser, whereby several modifications are produced in the crystal lattice, wherein in the crystal lattice by the modifications in at least one a tear region separating the solid body is guided by the crack-guiding stresses, in particular displaced to the center of the respective modifications, a tear-off region being predetermined by the crack-guiding stresses in the solid-state region of the modifications, arranging a receiving layer on the solid body Holding the solid portion, thermally exposing the receiving layer to, in particular mechanical, generating crack propagation stresses in the solid, the crack propagation stress a crack in the solid propagates along the separation area.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung reißt das Kristallgitter zumindest mehrheitlich in einem vom Zentrum der jeweiligen Modifikation beabstandeten Anteil ein. Diese Lösung ist besonders vorteilhaft, da hierdurch der Bedarf einer Nachbearbeitung des Teils des Festkörpers, an dem nach dem Trennen volumenmäßig weniger von der Modifikation bzw. von den Modifikationen verbleibt, reduziert wird.According to another preferred embodiment of the present invention, this breaks Crystal lattice at least a majority in a distance from the center of the respective modification a proportion. This solution is particularly advantageous since it reduces the need for post-processing of the part of the solid which, after separation, remains less in volume from the modification (s).
Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung erfolgt eine Konditionierung der Modifikationen, wobei das Kristallgitter erst durch die Konditionierung in den die Modifikationen umgebenden Bereichen zumindest in dem jeweils einen Anteil einreist.In accordance with a further preferred embodiment of the present invention, the modifications are conditioned, wherein the crystal lattice is introduced only by the conditioning in the regions surrounding the modifications at least in the respective one portion.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung weist die Aufnahmeschicht ein Polymer auf oder besteht daraus, wobei das Polymer bevorzugt PDMS ist.According to a further preferred embodiment of the present invention, the receiving layer comprises or consists of a polymer, wherein the polymer is preferably PDMS.
Unterkritisch bedeutet hierbei, dass die Rissausbreitung zum Erliegen kommt bzw. stoppt bevor der Riss den Festkörper in mindestens zwei Teile teilt. Bevorzugt breitet sich ein unterkritischer Riss weniger als 5 mm, insbesondere weniger als 1 mm, in dem Festkörper aus. Die Modifikationen werden bevorzugt derart erzeugt, dass sich z. B. beim Abtrennen von ebenen Festkörperplatten die unterkritischen Risse bevorzugt mehrheitlich in derselben Ebene ausbreiten, insbesondere in einer zur Oberfläche des Festkörpers, durch welche die Laserstrahlen in den Festkörper eindringen, parallelen oder definiert ausgerichteten Ebene ausbreiten. Die Modifikationen werden bevorzugt derart erzeugt, dass sich z. B. beim Abtrennen von unebenen Festkörpern die unterkritischen Risse bevorzugt derart definiert, z. B. in einer sphärischen Lage bzw. Schicht ausbreiten, dass der Ablösebereich eine definierte, insbesondere sphärische, Form erhält.Subcritical here means that the crack propagation comes to a standstill or stops before the crack divides the solid into at least two parts. A subcritical crack preferably spreads less than 5 mm, in particular less than 1 mm, in the solid body. The modifications are preferably generated such that z. B. in the separation of planar solid plates, the subcritical cracks preferably spread in the same plane majority, especially in one to the surface of the solid, through which the laser beams penetrate into the solid, parallel or defined aligned plane propagate. The modifications are preferably generated such that z. B. when separating uneven solids, the subcritical cracks preferably defined such. B. spread in a spherical position or layer, that the separation region receives a defined, in particular spherical, shape.
Der Festkörper ist bevorzugt ein Ingot oder ein Wafer. Besonders bevorzugt handelt es sich bei dem Festkörper um ein für Laserstrahlen zumindest teilweise transparentes Material. Es ist somit weiterhin denkbar, dass der Festkörper ein transparentes Material aufweist oder teilweise aus einem transparenten Material, wie z. B. Saphir, besteht bzw. gefertigt ist. Weitere Materialien, die hierbei als Festkörpermaterial alleine oder in Kombination mit einem anderen Material in Frage kommen, sind z. B. „wide band gap”-Materialien, InAlSb, Hochtemperatursupraleiter, insbesondere seltene Erden Cuprate (z. B. YBa2Cu3O7). Es ist zusätzlich oder alternativ denkbar, dass der Festkörper eine Photomaske ist, wobei als Photomaskenmaterial im vorliegenden Fall bevorzugt jedes zum Anmeldetag bekannte Photomaskenmaterial und besonders bevorzugt Kombinationen daraus verwendet werden können. Ferner kann der Festkörper zusätzlich oder alternativ Siliziumcarbid (SiC) aufweisen oder daraus bestehen.The solid is preferably an ingot or a wafer. The solid is particularly preferably a material which is at least partially transparent for laser beams. It is therefore also conceivable that the solid body has a transparent material or partially made of a transparent material, such. B. sapphire, consists or is made. Other materials that come here as a solid material alone or in combination with another material in question are, for. "Wide band gap" materials, InAlSb, high temperature superconductors, especially rare earth cuprates (eg YBa2Cu3O7). It is additionally or alternatively conceivable that the solid body is a photomask, wherein as photomask material in the present case, preferably any known to the filing date photomask material and more preferably combinations thereof can be used. Furthermore, the solid may additionally or alternatively comprise or consist of silicon carbide (SiC).
Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird die Energie des Laserstrahls des Lasers, insbesondere fs-Lasers (Femtosekundenlaser), derart gewählt, dass die Schädigungsausbreitung im Festkörper bzw. im Kristall kleiner als dreimal die Reyleighlänge, bevorzugt kleiner als die Reyleighlänge und besonders bevorzugt kleiner als ein Drittel der Reyleighlänge ist.According to a further preferred embodiment of the present invention, the energy of the laser beam of the laser, in particular fs laser (femtosecond laser), selected such that the damage propagation in the solid or in the crystal less than three times the Reyleighlänge, preferably smaller than the Reyleighlänge and particularly preferred is less than a third of the Reyleigh length.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist das Modifikationsmittel ein Ionenimplantationsmittel zur Implantation von Ionen in dem Festkörper
Die Wellenlänge des Laserstrahls des Lasers, insbesondere des fs-Lasers, wird gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung derart gewählt, dass die Absorption des Festkörpers bzw. des Materials kleiner als 10 cm–1 und bevorzugt kleiner als 1 cm–1 und besonders bevorzugt kleiner als 0,1 cm–1 ist.The wavelength of the laser beam of the laser, in particular of the fs laser, is selected according to a further preferred embodiment of the present invention such that the absorption of the solid or of the material is less than 10 cm -1 and preferably less than 1 cm -1 and especially preferably less than 0.1 cm -1 .
Die einzelnen Modifikationen bzw. Defekte bzw. Schadstellen resultieren gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung jeweils aus einer von dem Laser, insbesondere fs-Laser, bewirkten multi-photonen Anregung.The individual modifications or defects or damaged areas result according to a further preferred embodiment of the present invention in each case from one of the laser, in particular fs laser, caused multi-photon excitation.
Das Kristallgitter reist gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zumindest mehrheitlich in einem vom Zentrum Z der jeweiligen Modifikation beabstandeten Anteil ein.The crystal lattice, according to another preferred embodiment of the present invention, at least predominantly enters a portion spaced from the center Z of the respective modification.
Der Riss geht gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zumindest abschnittsweise durch die Mehrzahl, insbesondere die Gesamtheit, der Modifikationen hindurch oder verläuft zumindest zu der Mehrzahl, insbesondere zu der Gesamtheit, der Modifikationen beabstandet.According to a further preferred embodiment of the present invention, the crack passes at least in sections through the plurality, in particular the entirety, of the modifications or extends at least to the majority, in particular to the entirety, of the modifications.
Eine erste Anzahl an Modifikationen wird gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung mit ihrem Zentrum Z einerseits des Ablösebereichs erzeugt und eine zweite Anzahl an Modifikationen wird mit ihrem Zentrum andererseits des Ablösebereichs erzeugt.A first number of modifications is produced according to a further preferred embodiment of the present invention with its center Z on the one hand of the detachment area and a second number of modifications is generated with its center on the other hand the detachment area.
Die Modifikationen werden gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung mittels Laser erzeugt, wobei die Pulsabstände zwischen 0,01 μm und 10 μm vorgesehen werden und/oder Linienabstände zwischen 0,01 μm und 20 μm vorgesehen werden und/oder eine Pulswiederholfrequenz zwischen 16 kHz und 1024 kHz vorgesehen wird. Weitere Vorteile, Ziele und Eigenschaften der vorliegenden Erfindung werden anhand nachfolgender Beschreibung anliegender Zeichnungen erläutert, in welchen beispielhaft das erfindungsgemäße Trennverfahren dargestellt ist. Bauteile oder Elemente, die in dem erfindungsgemäßen Verfahren bevorzugt eingesetzt werden und/oder welche in den Figuren wenigstens im Wesentlichen hinsichtlich ihrer Funktion übereinstimmen, können hierbei mit gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet sein, wobei diese Bauteile oder Elemente nicht in allen Figuren beziffert oder erläutert sein müssen.The modifications are produced according to a further preferred embodiment of the present invention by means of laser, wherein the pulse intervals between 0.01 .mu.m and 10 .mu.m are provided and / or line spacings between 0.01 .mu.m and 20 .mu.m are provided and / or a pulse repetition frequency between 16 kHz and 1024 kHz is provided. Further advantages, objects and characteristics of the present invention will be explained with reference to the following description of attached drawings, in which the example inventive separation process is shown. Components or elements which are preferably used in the method according to the invention and / or which at least substantially coincide in the figures in terms of their function, may here be identified by the same reference numerals, these components or elements need not be quantified or explained in all figures.
Darin zeigt:It shows:
Das Bezugszeichen
Das Bezugszeichen
In
In
Die Darstellung der
Eine Rissbildung setzt in der dargestellten Konfiguration bevorzugt nicht ein.Cracking preferably does not occur in the illustrated configuration.
Die
Die Unterseite des Festkörpers
Das Bezugszeichen
Ferner kann
Das Bezugszeichen
Die
Die
Die
Die
Es ist hierbei denkbar, dass die Zentren der Modifikationen
Es wird ferner darauf hingewiesen, dass die einzelnen in den
Die oval dargestellten Rissführungsspannungen
BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS
- 11
- Festkörpersolid
- 22
- Ablösebereichtransfer area
- 44
- Laserstrahllaser beam
- 55
- Polierte OberflächePolished surface
- 66
- Laserstrahl im FestkörperLaser beam in the solid state
- 88th
- Fokusfocus
- 99
- Modifikationmodification
- 1010
- Erster FestkörperteilFirst solid part
- 1212
- Zweiter FestkörperteilSecond solid part
- 1313
- RissCrack
- 1414
- Ort des BearbeitungsstartsLocation of processing start
- 1515
- Zentrum der ModifikationenCenter of the modifications
- 1616
- Unterseite des FestkörpersBottom of the solid
- 1717
- Referenzlängereference length
- 1818
- Hauptoberflächemain surface
- 1919
- Seitliche OberflächeLateral surface
- 2020
- Linienabstand zwischen linienmäßig erzeugten KristallgittermodifikationenLine spacing between line-generated crystal lattice modifications
- 2222
- Linienabstand zwischen linienmäßig erzeugten KristallgittermodifikationenLine spacing between line-generated crystal lattice modifications
- 2323
- Weitere ModifikationFurther modification
- 5050
- RissführungsspannungenCrack leadership tensions
- 140140
- Aufnahmeschichtrecording layer
- AA
- Beispiel einer ersten DefektanordnungExample of a first defect arrangement
- BB
- Beispiel einer zweiten DefektanordnungExample of a second defect arrangement
- CC
- Beispiel einer dritten DefektanordnungExample of a third defect arrangement
- DD
- Beispiel einer vierten DefektanordnungExample of a fourth defect arrangement
- ZZ
- Zentrumcenter
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Cited By (3)
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CN109475973A (en) * | 2016-07-13 | 2019-03-15 | 西尔特克特拉有限责任公司 | The laser of solid is adjusted by the basic knowledge for being originated from previous work steps |
CN112496561A (en) * | 2020-11-19 | 2021-03-16 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | Femtosecond laser scoring method for membrane |
CN114178688A (en) * | 2021-12-22 | 2022-03-15 | 北京理工大学 | Method for assisting femtosecond laser to process CFRP (carbon fiber reinforced plastics) with high quality based on thermal protection layer |
-
2014
- 2014-12-17 DE DE102014018720.9A patent/DE102014018720A1/en active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109475973A (en) * | 2016-07-13 | 2019-03-15 | 西尔特克特拉有限责任公司 | The laser of solid is adjusted by the basic knowledge for being originated from previous work steps |
CN109475973B (en) * | 2016-07-13 | 2021-06-01 | 西尔特克特拉有限责任公司 | Method for generating control data, method for generating modified portion, and method for separation |
US11822307B2 (en) | 2016-07-13 | 2023-11-21 | Siltectra Gmbh | Laser conditioning of solid bodies using prior knowledge from previous machining steps |
CN112496561A (en) * | 2020-11-19 | 2021-03-16 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | Femtosecond laser scoring method for membrane |
CN114178688A (en) * | 2021-12-22 | 2022-03-15 | 北京理工大学 | Method for assisting femtosecond laser to process CFRP (carbon fiber reinforced plastics) with high quality based on thermal protection layer |
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