DE102014007338A1 - Oscillating beam guidance for laser processing - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung beschreibt eine Vorrichtung zur Strahlführung eines optischen Laserstrahls vorzugsweise in der Materialbearbeitung, insbesondere für Schweißaufgaben. Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, eine einfache und robuste Vorrichtung für ein Strahlwerkzeug mit einem optischen Strahlführungssystem zu schaffen, welches ein schnelles oszillierendes Pendeln des Strahlauftreffpunktes auf dem Werkstück erlaubt. Diese Aufgabe wird durch eine Vorrichtung zur Erzeugung eines oszillierenden Laserstrahls, mit einer Strahlquelle (11) zur Erzeugung eines optischen Strahls (12), mit einem Strahlführungssystem mit jeweils auf einer gemeinsamen Mittellinie (9) axial in einem Zylinder (6) beweglichen inneren Kolben (5) und einem äußeren Kolben (6) wobei der innere Kolben (5) über eine Kinematik (16) zwangsbewegt wird, sowie einem Spiegel (10), welcher fest an dem äußeren Kolben (7) angeordnet ist, wobei zwischen den beiden Kolben (5, 7) ein Übertragungsmedium (8) angeordnet ist, gelöst.The invention describes a device for beam guidance of an optical laser beam, preferably in material processing, in particular for welding tasks. The object of the invention is to provide a simple and robust apparatus for a jet tool with an optical beam guidance system, which allows a fast oscillating oscillation of the beam impact point on the workpiece. This object is achieved by a device for generating an oscillating laser beam, with a beam source (11) for generating an optical beam (12), with a beam guiding system, each with a common center line (9) axially in a cylinder (6) movable inner piston ( 5) and an outer piston (6) wherein the inner piston (5) is forcibly moved by a kinematics (16), and a mirror (10) which is fixedly arranged on the outer piston (7), wherein between the two pistons ( 5, 7) a transmission medium (8) is arranged, solved.
Description
Die Erfindung beschreibt eine Vorrichtung zur Strahlführung eines optischen Laserstrahls vorzugsweise in der Materialbearbeitung, insbesondere für Schweißaufgaben.The invention describes a device for beam guidance of an optical laser beam, preferably in material processing, in particular for welding tasks.
Stahlwerkzeuge haben in den letzten Jahren immer mehr Eingang in die Bearbeitung von Blechen und anderen Werkstücken gefunden. Neben dem ursprünglichen Schneiden haben sich auch andere Bearbeitungsformen wie das Härten und Schweißen etabliert.Steel tools have been increasingly used in the processing of sheet metal and other workpieces in recent years. In addition to the original cutting, other forms of machining such as hardening and welding have become established.
Ein entscheidender Faktor für die Qualität der Laserbearbeitung ist die Stahlführung zwischen der Stahlquelle und dem Auftreffpunkt des Stahls auf dem Werkstück. Die Stahlquelle besteht in den meisten Fällen aus einen stationären Gas- oder Feststofflaser. Zur Strahlführung werden in der Materialbearbeitung bei Gaslasern zumeist Spiegel und bei Feststofflasern vorzugsweise optische Leiter verwendet; optische Linsen kommen wegen der hohen Strahlleistung in der Materialbearbeitung eher nicht zum Einsatz.A crucial factor for the quality of the laser processing is the steel guide between the steel source and the point of impact of the steel on the workpiece. The steel source consists in most cases of a stationary gas or solid laser. For beam guidance, gas lasers mostly use mirrors in material processing, and optical fibers are preferably used in the case of solid lasers; optical lenses tend not to be used because of the high beam power in material processing.
Aus dem Schweißen mit Elektronenstrahlen ist bekannt, dass sich durch schnelles Pendeln oder Oszillieren des Auftreffpunkts des Strahls auf dem Werkstück senkrecht zur Vorschubrichtung im Bereich größer 1 kHz bei manchen Schweißaufgaben die qualitativen Nahteigenschaften hinsichtlich Porenhäufigkeit und Spritzerbildung, Vermischung der Materialien, Verzug, Aufhärtung und Versprödung sowie Spaltüberbrückung verbessern lassen. Elektronenstrahlen-Anlagen sind jedoch wegen des während der Bearbeitung notwendigen Vakuums, der mangelnder Fähigkeit zu Timesharing der oft zu geringen Leistung und Problemen bei der Nutzung von Schutzgasen oder Wasserkühlung gegenüber der Performance von Laseranlagen im Nachteil.From welding with electron beams is known that by fast oscillation or oscillation of the point of impact of the beam on the workpiece perpendicular to the feed direction in the range greater than 1 kHz in some welding tasks, the qualitative seam properties in terms of pore frequency and spattering, mixing of materials, distortion, hardening and embrittlement and gap bridging can be improved. However, electron guns are detrimental to the performance of laser systems because of the vacuum required during processing, the inability to time share the often underachievement, and the problems with the use of shielding gases or water cooling.
Verfahren, welche dieses schnelle oszillierende Pendeln des Strahlauftreffpunktes bei Lasern erzeugen sind als Polygonscanner, Galvanometerscanner, Piezo-Scanner, gegeneinander rotierende Prismen oder Elektro- oder akustooptische Modulatoren bekannt. Diese Vorrichtungen sind teils sehr aufwändig und teuer, benötigen viel Bauraum, sind für den harten Industriebetrieb oft zu empfindlich oder haben nur sehr geringe Ablenkwinkel.Methods which produce this rapid oscillating oscillation of the beam impact point on lasers are known as polygon scanners, galvanometer scanners, piezo scanners, mutually rotating prisms or electro- or acousto-optic modulators. These devices are sometimes very complex and expensive, require a lot of space, are often too sensitive for hard industrial operation or have only very low deflection angle.
Die deutsche Patentanmeldung
Aus der
Ausgehend von diesem Stand der Technik ist es wünschenswert, eine Vorrichtung zur Strahlführung eines optischen Laserstrahls in der Materialbearbeitung zu schaffen, die möglichst robust und auch im harten Industriealltag mit Schmutz und Erschütterungen den Gang eines Laserstrahls in gewünschter Weise zuverlässig beeinflussen kann.Based on this prior art, it is desirable to provide a device for beam guidance of an optical laser beam in the material processing, which can be as robust as possible and reliably influence the course of a laser beam in the desired manner in hard industrial everyday life with dirt and shocks.
Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, eine einfache und robuste Vorrichtung für ein Strahlwerkzeug mit einem optischen Strahlführungssystem zu schaffen, welches ein schnelles oszillierendes Pendeln des Strahlauftreffpunktes auf dem Werkstück erlaubt.The object of the invention is to provide a simple and robust apparatus for a jet tool with an optical beam guidance system, which allows a fast oscillating oscillation of the beam impact point on the workpiece.
Diese Aufgabe wird durch eine Vorrichtung zur Strahlführung eines Laserstrahls mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Weiterbildungen der jeweiligen Gegenstände sind in den Unteransprüchen ausgeführt.This object is achieved by a device for beam guidance of a laser beam having the features of
Erfindungsgemäß wird eine Vorrichtung zur Verfügung gestellt, mit dessen Hilfe eine hochqualitative Laserbearbeitung, vorzugsweisen Schweißen, möglich ist. Dabei kann der Laserstrahl auf seinem Strahlauftreffpunkt auf dem Werkstück senkrecht zur Vorschubrichtung des Werkstücks so oszillierend hin- und her bewegt werden, dass zur Spaltüberbrückung eine in der Ausdehnung und Form gesteuerte Raupe erzeugt werden kann.According to the invention a device is provided, with the aid of a high-quality laser processing, preferably welding, is possible. In this case, the laser beam at its beam impingement point on the workpiece perpendicular to the feed direction of the workpiece so oscillating back and forth to be moved, that for gap bridging in the extension and shape controlled bead can be generated.
In der erfindungsgemäßen Vorrichtung wird der Laserstrahl von einer Strahlquelle, in der er erzeugt und in dem er seine Urform hinsichtlich Frequenzspektrum, Strahldurchmesser und Strahlqualität erhält, in einen Winkel α auf einen translatorisch zu seiner Normalen beweglichen Umlenkspiegel geführt. Bewegt sich nun dieser Spiegel auf seiner Normalen, so versetzt es auch den nach den Reflektionsgesetzten gespiegelten Laserstrahl parallel zu seiner Strahlausbreitung. Der Spiegel ist deswegen translatorisch zu seiner Normalen beweglich, weil er fest an einem Kolben angeordnet ist, welcher sich wiederum in einem Zylinder eindimensional parallel zur Mittellinie des Zylinders bewegen kann. In diesem Zylinder ist auch ein zweiter Kolben beweglich angeordnet, welcher über eine Kinematik ebenfalls parallel zur Mittellinie des Zylinders zwangsbewegt wird.In the device according to the invention, the laser beam is guided at an angle α from a beam source in which it is generated and in which it obtains its original shape in terms of frequency spectrum, beam diameter and beam quality onto a deflecting mirror which is translationally movable relative to its normal. If this mirror moves on its normal, it also displaces the one after the other Reflected mirrored laser beam parallel to its beam propagation. The mirror is therefore movable in translation to its normal, because it is fixedly arranged on a piston, which in turn can move in a cylinder one-dimensionally parallel to the center line of the cylinder. In this cylinder, a second piston is movably arranged, which is also forcibly moved via a kinematics parallel to the center line of the cylinder.
Erfindungsgemäß ist zwischen den beiden Kolben ein Übertragungsmedium angeordnet, welches die translatorischen Bewegungen des zwangsbewegten Kolbens an den Kolben, an dem der Spiegel angeordnet ist, weitergibt. Durch diese mechanische Entkopplung von Antrieb mit zwangsbewegtem Kolben und Aktor mit Kolben und Spiegel über das Übertragungsmedium werden in einer vorteilhaften Weise keine Vibrationen oder andere unerwünschte Störgeräuschen des Antriebs auf den Spiegel übertragen. Durch diese ungestörtere translatorische Bewegung des Spiegels auf seiner gewünschten Bahn wird dadurch auch der Laserstrahl nicht in undeterminierten Weise abgelenkt, was somit auch vorteilhaft zu einer exakteren Strahlführung und qualitativ hochwertigeren Schweißnaht führt. Im Gegensatz zum Einsatz von Galvanometer- oder Polygonscannern wird der Strahlwinkel α vorteilhaft nicht geändert.According to the invention, a transmission medium is arranged between the two pistons, which transmits the translatory movements of the positively moved piston to the piston on which the mirror is arranged. As a result of this mechanical decoupling of drive with forcibly moved piston and actuator with piston and mirror via the transmission medium, no vibrations or other unwanted disturbing noises of the drive are transmitted to the mirror in an advantageous manner. As a result of this undisturbed translatory movement of the mirror on its desired path, the laser beam is not deflected in an undeterminate manner, which thus also advantageously leads to a more precise beam guidance and a qualitatively higher-quality weld seam. In contrast to the use of galvanometer or polygon scanners, the beam angle α is advantageously not changed.
Liegt die translatorische Bewegung des Spiegels im Bereich der Rayleigh-Wellenlänge des Lasers, ist auch keine für die Bearbeitung erhebliche Änderung des Strahldurchmessers bei dem Strahlauftreffpunkt auf dem Werkstück zu erwarten.If the translatory movement of the mirror is in the range of the Rayleigh wavelength of the laser, no significant change in the beam diameter at the beam impingement point on the workpiece is to be expected for the processing.
In einer weiteren vorteilhaften Ausführung ist das Übertragungsmedium zwischen den beiden Kolben eine kompressible Flüssigkeit. Die kinetische Energie, welche durch lineares Hin- und Herbewegungen des zwangsbewegten Kolbens in das System eingebracht wird, wird dabei erfindungsgemäß durch die kompressible Flüssigkeit gedämpft auf den Aktor mit Kolben und Spiegel übertragen. Durch diese erfindungsgemäße Dämpfung werden die Spitzenbeschleunigungen in den jeweiligen Umkehrpunkten geglättet und die Flanken abgeflacht. Wegen der linearen Beziehung zwischen Kraft F und Beschleunigung a einer Masse M über die Formal F = M × a reduziert sich somit auch vorteilhaft die Beschleunigung des Spiegels in den Umkehrpunkten. Dies hat folgende Vorteile:
- – die geringere mechanische Belastung führt zu geringeren dynamischen Verformungen der Spiegeloberfläche und damit zu höherer Strahlqalität wegen geringeren Reflektionsverzerrungen, was sich letztendlich auch auf die Qualität der Materialbearbeitung z. B. der zu ziehenden Scheißnähte auswirkt.
- – die geringere mechanische Belastung führt auch zu weniger irreversiblen Verformungen der empfindlichen Spiegel und somit auch zu längeren Lebenszeiten dieser teuren optischen Elemente. Somit können vorteilhaft Kosten im Einkauf der Spiegel gespart und Ausfallzeit beim Spiegelwechsel reduziert werden.
- - The lower mechanical load leads to lower dynamic deformations of the mirror surface and thus to higher Strahlqalität because of lower reflection distortions, which ultimately also on the quality of material processing z. B. affects the pulls to be drawn shit.
- - The lower mechanical stress also leads to less irreversible deformation of the sensitive mirror and thus to longer lifetimes of these expensive optical elements. Thus costs can advantageously be saved in the purchase of mirrors and downtime when changing mirrors can be reduced.
In einer dieser vorteilhaften Ausführungen ist das Übertragungsmedium zwischen den beiden Kolben ein Hydrauliköl als kompressible Flüssigkeit. Zu den Aufgaben eines Hydrauliköls gehört vor allem die möglichst verlustfreie Übertragung der hydraulischen Leistung von der Pumpe zum Kolben. Neben dieser Hauptaufgabe erfüllt das Hydrauliköl die Schmierung und den Korrosionsschutz für die beweglichen Teile, hier also Kolben zu Zylinder. Außerdem führt es die Verunreinigungen, die beispielsweise durch Abrieb entstehen, sowie Wasser und Luft sowie die Verlustwärme ab. Erfindungsgemäß muss das in dieser Vorrichtung verwendete Hydrauliköl eine bestimmte Kompressibilität aufweisen, um die vorteilhafte Dämpfung und Entkopplung der beiden Kolben zu erlangen.In one of these advantageous embodiments, the transmission medium between the two pistons is a hydraulic oil as a compressible fluid. One of the tasks of a hydraulic oil is to transfer the hydraulic power from the pump to the piston as lossless as possible. In addition to this main task, the hydraulic oil provides lubrication and corrosion protection for the moving parts, in this case from piston to cylinder. It also removes impurities, such as abrasion, water and air, and heat loss. According to the invention, the hydraulic oil used in this device must have a certain compressibility in order to obtain the advantageous damping and decoupling of the two pistons.
In einer weiteren vorteilhaften Ausführung kann eine hydraulische Übersetzung dargestellt werden. Dies geschieht durch unterschiedliche Durchmesser des inneren Kolbens und das äußeren Kolbens sowie unterschiedlichen, an die jeweiligen Durchmesser der jeweiligen Kolben, angepassten Durchmessern des Zylinders an seinen äußeren Enden. Oder anders ausgedrückt verhalten sich die Durchmesser der jeweiligen Kolben D1, D2 und die jeweilige Hubbewegung der Kolben X1, X2 in dem Verhältnis: D1 × X1 = D2 × X2 Eine hydraulische Übersetzung bedeutet, dass ein großer Hub X1 an des zwangsbewegten Kolbens mit seinem kleinen Durchmesser D1 zu einem kleinen, aber kräftigen Hub X2 des Kolbens mit einem großen Durchmesser D2, welcher am Spiegel fixiert ist, führt.In a further advantageous embodiment, a hydraulic transmission can be represented. This is done by different diameters of the inner piston and the outer piston and different, to the respective diameter of the respective piston, adapted diameters of the cylinder at its outer ends. In other words, the diameters of the respective pistons D1, D2 and the respective reciprocating motion of the pistons X1, X2 behave in the ratio: D1 × X1 = D2 × X2. A hydraulic ratio means that a large stroke X1 at the forcibly moved piston with its small displacement Diameter D1 to a small but powerful stroke X2 of the piston with a large diameter D2, which is fixed to the mirror leads.
In einer besonderen vorteilhaften Ausführung ist das Übertragungsmedium zwischen den beiden Kolben durch gezielte magnetische oder elektrische Ansteuerung beeinflussbar. Dies bedeutet, dass erfindungsgemäß die Viskosität oder der Dämpfungsgrad des Übertragungsmedium adaptiv an die jeweiligen Verhältnisse gezielt angepasst werden kann. So können die Flankensteilheit und die Beschleunigung in den Totpunkten der oszillierenden Bewegungen beeinflusst werden.In a particular advantageous embodiment, the transmission medium between the two pistons can be influenced by targeted magnetic or electrical control. This means that, according to the invention, the viscosity or the degree of damping of the transmission medium can be adapted adaptively to the respective conditions. Thus, the edge steepness and the acceleration in the dead centers of the oscillating movements can be influenced.
In einer anderen vorteilhaften Ausführung ist das Übertragungsmedium zwischen den beiden Kolben ein Gas. Der zwangsbewegte Kolben führt wieder eine Hin- und Herbewegung durch, die im Gasraum zwischen den beiden Kolben jeweils einen Über- oder Unterdruck erzeugt. Die Kompressibilität führt wiederum zu der vorteilhaften Dämpfung und der mechanisch-akustischen Entkopplung des Spiegels von dem Antrieb.In another advantageous embodiment, the transmission medium between the two pistons is a gas. The forcibly moved piston again performs a reciprocating motion which generates an overpressure or underpressure in the gas space between the two pistons. The compressibility in turn leads to the advantageous damping and the mechanical-acoustic decoupling of the mirror from the drive.
In einer vorteilhaften Ausführung ist die Kinematik zur Bewegung des inneren Kolbens ein Exzenter. Mit dem Exzentern können rotatorische Drehbewegungen in translatorische Längsbewegungen mechanisch umgewandelt werden. Erfindungsgemäß wird somit die translatorisch, oszillierende Längsbewegungen des zwangsgeführten Kolbens erzeugt.In an advantageous embodiment, the kinematics for moving the inner piston is an eccentric. With the eccentric rotary rotational movements can be mechanically converted into translational longitudinal movements. According to the invention thus the translational, oscillating longitudinal movements of the positively driven piston is generated.
In einer vorteilhaften Ausführung besteht der Exzenter zur Bewegung des inneren Kolbens aus einer an einem Rad und dem inneren Kolbens beweglich angeordneten Kurbel, wobei das Rad über eine Welle von einem Motor angetrieben wird. Erfindungsgemäß kann somit eine sinusförmige translatorisch, oszillierende Längsbewegungen des zwangsgeführten Kolbens erzeugt werden.In an advantageous embodiment, the eccentric for moving the inner piston consists of a crank movably mounted on a wheel and the inner piston, the wheel being driven by a motor via a shaft. According to the invention, a sinusoidal translational, oscillating longitudinal movement of the positively driven piston can thus be generated.
In einer anderen vorteilhaften Ausführung liegt die Kinematik zur Bewegung des inneren Kolbens in einem ersten Zylinder räumlich getrennt von dem äußeren Kolbens, welcher sich in einem zweiten, von dem ersten Zylinder räumlich entfernt angeordneten, Zylinder bewegt. Die hydromechanischen Impulse des inneren Kolbens werden als periodische Druckstöße über das Übertragungsmedium durch ein Verbindungsrohr auf den Zylinder des äußeren Kolbens übertragen. Erfindungsgemäß kann so der Antrieb von der Optik nicht nur mechanisch, sondern auch räumlich getrennt dargestellt werden. In vorteilhafter Weise kann somit der leichte Spiegel mit seinem ihn antreibenden äußeren Kolben an dem Arm eines Roboters angeordnet werden, während die schwere und große Antriebseinheit mit der Kinematik neben dem Roboter auf dem Hallenboden der Fabrikhalle oder sogar außerhalb des Gebäudes stehen kann, ohne dass er durch sein Gewicht oder seine Maße den Roboterarm belastet. In vorteilhafter Weise können so Bearbeitungsanlagen günstig und mit kleinen Abmessungen zur Verfügung gestellt werden.In another advantageous embodiment, the kinematics for moving the inner piston in a first cylinder is spatially separated from the outer piston, which moves in a second, spatially remote from the first cylinder cylinder. The hydromechanical pulses of the inner piston are transmitted as periodic pressure surges via the transmission medium through a connecting tube to the cylinder of the outer piston. According to the invention, the drive can be represented by the optics not only mechanically, but also spatially separated. Advantageously, thus, the light mirror can be arranged with its driving outer piston on the arm of a robot, while the heavy and large drive unit with the kinematics next to the robot on the hall floor of the factory floor or even outside the building can stand without him weighted by its weight or its dimensions the robot arm. Advantageously, so processing plants can be made cheap and small in size.
In einer weiteren vorteilhaften Ausführung ist die Kinematik zur Bewegung des inneren Kolbens ein Linearmotor. Ein Linearmotor ist eine elektrische Antriebsmaschine. Anders als rotierende Maschinen versetzt ein Linearmotor die von ihm getriebenen Objekte nicht in eine drehende Bewegung, sondern schiebt sie auf geradliniger Bahn. Linearmotoren haben in diesem Bereich den Vorteil hoher Beschleunigungen von bis zur sechsfachen Fallbeschleunigung und von Verfahrgeschwindigkeiten bis 800 m/min, was erfindungsgemäß gerade bei den geforderten hochfrequenten Spiegeloszillationen vorteilhaft ist.In a further advantageous embodiment, the kinematics for moving the inner piston is a linear motor. A linear motor is an electric drive machine. Unlike rotating machines, a linear motor does not translate the objects it drives into a spinning motion, but pushes them on a straight path. Linear motors in this area have the advantage of high accelerations of up to six times the acceleration of the fall and of travel speeds of up to 800 m / min, which according to the invention is advantageous especially in the case of the required high-frequency mirror oscillations.
In einer anderen vorteilhaften Ausführung ist die Kinematik zur Bewegung des inneren Kolbens eine Membranpumpe. Eine Membranpumpe ist eine Maschine zur Förderung von Flüssigkeiten bzw. Gasen, die besonders unempfindlich gegen Dauerbeanspruchung und Verunreinigungen im Fördergut ist. Ihr Funktionsprinzip ist eine Abwandlung der Kolbenpumpe, wobei jedoch das zu fördernde Medium durch eine Membran vom Antrieb getrennt ist. Sie ähnelt ebenfalls dem Herzen, das aber statt einer mechanisch bewegten Membran kontrahierende Muskeln verwendet. Der Vorteil dieser Pumpe ist, dass durch die Trennmembran der Antrieb von schädlichen Einflüssen des Fördermediums abgeschirmt wird. Einer der größten Nachteile der herkömmlichen Kolbenpumpe, das Problem der Abdichtung des Kolbens ist dadurch gelöst. Die Auslenkung der Membran geschieht entweder hydraulisch, pneumatisch, mechanisch oder elektromagnetisch. In vorteilhafter Weise ist die Membranpumpe gerade für den harten Arbeitseinsatz in schmutziger Umgebung bei Laserproduktionsprozessen in Fabrikhallen geeignet.In another advantageous embodiment, the kinematics for moving the inner piston is a diaphragm pump. A diaphragm pump is a machine for conveying liquids or gases, which is particularly insensitive to continuous stress and contamination in the conveyed material. Its operating principle is a modification of the piston pump, but the medium to be pumped is separated by a membrane from the drive. It also resembles the heart, which uses contracting muscles instead of a mechanically moving membrane. The advantage of this pump is that the drive is shielded from damaging influences of the pumped medium by the separating diaphragm. One of the biggest disadvantages of the conventional piston pump, the problem of sealing the piston is solved. The deflection of the membrane is done either hydraulically, pneumatically, mechanically or electromagnetically. Advantageously, the diaphragm pump is just for the hard labor in a dirty environment in laser production processes in factory buildings suitable.
In einer weiteren vorteilhaften Ausführung hat der Spiegel eine gewölbte Oberfläche. Die gewölbte Oberfläche kann als optisch aktive Fläche zusätzlich zur Strahlformung und Strahlbeeinflussung genutzt werden. Erfindungsgemäß ist es sogar möglich, dass sich die gewölbte Spiegeloberfläche durch die dynamisch, translatorische Bewegung gezielt in ihrer Konvexität oder Konkavität in einer vorgegebenen Bandbreite während der Bearbeitung betreiben lässt. Somit könnte vorteilhaft innerhalb der Rayleigh-Wellenlänge durch eine infinitesimale, dynamische, reversible Änderung der Brennweite des Spiegels eine gewünschte Prozessbeeinflussung durch zusätzliche Strahlformung stattfinden.In a further advantageous embodiment, the mirror has a curved surface. The curved surface can be used as an optically active surface in addition to the beam shaping and beam influencing. According to the invention, it is even possible that the curved mirror surface can be selectively operated in its convexity or concavity in a predetermined bandwidth during processing by the dynamic, translational movement. Thus, advantageously within the Rayleigh wavelength, an infinitesimal, dynamic, reversible change in the focal length of the mirror could cause a desired process influence by additional beam shaping.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert. In den Zeichnungen zeigen:The invention will be explained in more detail by means of exemplary embodiments. In the drawings show:
Der Spiegel
Zwischen den beiden Kolben ist ein Übertragungsmedium
Die Antriebskinematik
Seht der Spiegel
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION
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Zitierte PatentliteraturCited patent literature
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- DE 3434841 A1 [0007] DE 3434841 A1 [0007]
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2014
- 2014-05-17 DE DE102014007338.6A patent/DE102014007338A1/en not_active Withdrawn
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| R120 | Application withdrawn or ip right abandoned |