DE102013208699B4 - Feder für eine mikromechanische Sensorvorrichtung - Google Patents
Feder für eine mikromechanische Sensorvorrichtung Download PDFInfo
- Publication number
- DE102013208699B4 DE102013208699B4 DE102013208699.7A DE102013208699A DE102013208699B4 DE 102013208699 B4 DE102013208699 B4 DE 102013208699B4 DE 102013208699 A DE102013208699 A DE 102013208699A DE 102013208699 B4 DE102013208699 B4 DE 102013208699B4
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- spring
- legs
- sensor device
- connecting area
- modes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5642—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating bars or beams
- G01C19/5656—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating bars or beams the devices involving a micromechanical structure
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
- B81B3/0064—Constitution or structural means for improving or controlling the physical properties of a device
- B81B3/0067—Mechanical properties
- B81B3/007—For controlling stiffness, e.g. ribs
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
- B81B2201/02—Sensors
- B81B2201/0228—Inertial sensors
- B81B2201/0235—Accelerometers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
- B81B2201/02—Sensors
- B81B2201/0228—Inertial sensors
- B81B2201/0242—Gyroscopes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P2015/0805—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
- G01P2015/0857—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration using a particular shape of the suspension spring
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
Feder (100) für eine mikromechanische Sensorvorrichtung, aufweisend:- zwei Federschenkel (10), die in einem spitzen Winkel zueinander angeordnet sind, wobei der spitze Winkel auch in einem nicht-ausgelenkten Zustand der mikromechanischen Sensorvorrichtung vorliegt; und- einen Verbindungsbereich (20);- wobei die beiden Federschenkel (10) durch den Verbindungsbereich (20) miteinander verbunden sind, wobei der Verbindungsbereich (20) wenigstens eine kurvig begrenzte Ausnehmung aufweist, die zur Öffnung des spitzen Winkels hin ausgerichtet ist, und wobei der Verbindungsbereich (20) eine Breite aufweist, die im Wesentlichen einer doppelten Breite (B) der Federschenkel (10) entspricht.
Description
- Die Erfindung betrifft eine Feder für eine mikromechanische Sensorvorrichtung.
- Stand der Technik
- Einen wesentlichen Bestandteil von mikromechanischen Inertialsensoren (beispielsweise Beschleunigungssensoren, Drehratensensoren) stellen so genannte Biegefedern dar, durch die für die Sensorfunktionalität erforderliche Auslenkungen von physikalischen Massestrukturen der Sensoren ermöglicht werden. Die genannten Federn können unerwünschte Störmoden erzeugen, die sich nachteilig auf Betriebseigenschaften der Sensoren auswirken können.
-
WO 2003/073 597 A1 -
DE 10 2009 002 702 A1 offenbart einen mikromechanischen Sensor. -
DE 10 2007 001 516 B3 offenbart ein mikromechanisches Bauelement mit einstellbarer Resonanzfrequenz durch Geometrieänderung und ein Verfahren zum Betreiben desselben. -
DE 10 2011 076 555 A1 offenbart ein mikromechanisches Bauelement mit einer Dämpfungseinrichtung. -
DE 10 2007 057 044 A1 offenbart eine mikromechanische Feder. -
US 2005/0047721 A1 -
US 5 998 906 A zeigt einen elektrostatischen elektrostatischen Mikro-Aktuator und ein Verfahren zur Verwendung eines derartigen Mikro-Aktuators. -
US 5 802 914 A zeigt einen Ausrichtungsmechanismus unter Verwendung von Biegeelementen. - Offenbarung der Erfindung
- Eine Aufgabe der Erfindung ist es, eine verbesserte Feder für eine mikromechanische Sensorvorrichtung bereitzustellen.
- Die Aufgabe wird gelöst mit einer Feder für eine mikromechanische Sensorvorrichtung gemäß Anspruch 1.
- Vorteilhaft liegen durch das erfindungsgemäße spezifische Federdesign Eigenmoden der erfindungsgemäßen Feder wesentlich höher als bei bekannten Federstrukturen, weil die Frequenzen der genannten Moden in andere Bereiche verschoben sind. Vorteilhaft liegen diese Frequenzen in weniger störenden Frequenzbereichen. Vorteilhaft kann auf diese Weise ein Bruchrisiko der Feder bedeutend verringert sein. Vorteilhaft kann sich der Verbindungsbereich erschwert durchbiegen, womit eine intrinsische Versteifung der gesamten Federstruktur realisiert ist.
- Bevorzugte Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Feder sind Gegenstand von Unteransprüchen.
- Eine weitere bevorzugte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Feder zeichnet sich dadurch aus, dass der Verbindungsbereich wenigstens teilweise eine Wabenstruktur aufweist. Damit können in der erfindungsgemäßen Feder vorteilhaft bewährte und bekannte Konzepte für den Verbindungsbereich realisiert werden.
- Eine weitere bevorzugte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Feder zeichnet sich dadurch aus, dass die Feder derart dimensioniert ist, dass Moden der Feder entfernt von Moden von Strukturen der Sensorvorrichtung liegen. Dadurch kann ein Betriebsverhalten der erfindungsgemäßen Feder derart ausgebildet sein, dass weitere Störanregungen vorteilhaft minimiert sind. Auf diese Weise wird ein modenoptimiertes Federdesign realisiert, welches die Betriebseigenschaften der Sensorvorrichtung möglichst wenig beeinflusst.
- Eine weitere bevorzugte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Feder zeichnet sich dadurch aus, dass die Feder derart dimensioniert ist, dass bei deren Auslenkung eine möglichst lineare Kraftverteilung innerhalb der Feder erreicht wird. Auf diese Art und Weise kann ein weitestgehend regulärer Normalbetrieb der Feder gewährleistet bleiben.
- Eine weitere bevorzugte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Feder zeichnet sich dadurch aus, dass die Federschenkel im Wesentlichen gerade ausgebildet sind. Auf diese Weise wird eine einfach zu bildende geometrische Form realisiert, die sehr günstige Betriebseigenschaften aufweist.
- Weitere bevorzugte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Feder zeichnen sich dadurch aus, dass die Federschenkel kurvige Abschnitte aufweisen oder mäanderartig ausgebildet sind oder dass die Federschenkel im Wesentlichen in einer Ebene angeordnet sind. Auf diese Weise können alternative Formen gebildet werden, die an die räumliche Gegebenheiten und sonstige Erfordernisse der Sensorvorrichtung bestmöglich angepasst sind und dadurch sehr günstige Betriebseigenschaften aufweisen.
- Die Erfindung wird im Folgenden mit weiteren Merkmalen und Vorteilen anhand von mehreren Figuren detailliert beschrieben. Dabei bilden alle beschriebenen oder dargestellten Merkmale für sich oder in beliebiger Kombination den Gegenstand der Erfindung, unabhängig von ihrer Zusammenfassung in den Patentansprüchen oder deren Rückbeziehung, sowie unabhängig von ihrer Formulierung bzw. Darstellung in der Beschreibung bzw. in den Figuren. Die Figuren dienen vor allem der prinzipiellen Erläuterung der Erfindung und sind daher nicht dazu gedacht, dass ihnen geometrische Abmessungen oder Relationen entnommen werden können.
- In den Figuren zeigt:
-
1 mehrere Federn gemäß Stand der Technik; -
2 eine erste Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Feder; und -
3 eine prinzipielle Darstellung des Wirkprinzips einer Ausführungsform der erfindungsgemäßen Feder. - Ausführungsformen der Erfindung
-
1 zeigt in vier Abbildungen a) bis d) mehrere Arten von herkömmlichen Federdesigns für mikromechanische Inertialsensoren. Man erkennt, dass alle Federn wenigstens zwei lange, im Wesentlichen parallel zueinander angeordnete Federschenkel 10 aufweisen. Ein Verbindungsbereich der Federschenkel 10 kann durch zusätzliche Querverbindungen noch verstärkt werden. Die zwei langen Federschenkel 10 können noch durch weitere lange Federschenkel 10 ergänzt werden (1c und1d ), sodass insgesamt eine gewünschte Federsteifigkeit erreicht wird. Die gezeigten herkömmlichen Biegefedern werden in der Regel als U-Federn bezeichnet. Sie können aufgrund der Tatsache, dass Federenden unerwünscht stark ausgelenkt werden, in Sensorvorrichtungen unerwünschte Störmoden erzeugen, was sich oftmals nachteilig auf ein Betriebs- bzw. Sensierverhalten der Sensorvorrichtung auswirkt. - Dies wird durch so genannte höhere Moden der Federn bewirkt, wobei auch noch Mischformen möglich sind, bei denen sich nur die Federenden bewegen, die sich mit einer Bewegung, in der sich die gesamte Masse bewegt, überlagern und damit die Feder auf unerwünschte Art und Weisen belasten. Auf diese Weise kann es unter ungünstigen Bedingungen zu einer Überlagerung der genannten Bewegungen kommen, die das gesamte mechanische Verhalten derart ändern, dass eine eigentlich geradlinige Bewegung behindert wird.
- Fallen die genannten Störmoden mit Frequenzen zusammen, bei denen von einer Auswerteschaltung (nicht dargestellt) Spannungs- und damit Kraftpulse erzeugt werden (insbesondere bei ganzzahligen Vielfachen der Arbeitsfrequenz des Sensors), so können diese Störmoden durch die Auswerteschaltung angeregt werden. Hierdurch kann es nachteilig zu Sensor-Fehlsignalen kommen.
-
2 zeigt eine erste Ausführungsform der erfindungsgemäßen Feder 100. Man erkennt, dass die erfindungsgemäße Feder 100 zwei Federschenkel 10 aufweist, die in einem spitzen Winkel zueinander angeordnet („V-Feder“) und mittels eines Verbindungsbereichs 20 miteinander verbunden sind. Auf diese Weise ergibt sich eine Art V-förmige oder dreiecksförmige Struktur. Vorzugsweise ist eine Breite des Verbindungsbereich 20 kurz ausgebildet, wobei eine Breite B des Verbindungsbereichs 20 beispielsweise im Wesentlichen doppelt so breit wie eine Breite B der Federschenkel 10 ist. Vorzugsweise weist der Verbindungsbereich 20 einen Abschnitt mit einer Krümmung mit einem definierten Radius bzw. einer kurvig begrenzten Ausnehmung auf, die zur Öffnung des Winkels hin ausgerichtet ist. Dadurch können dadurch mechanische Kerbspannungen reduziert und dadurch eine Bruchgefahr für die Feder 100 vorteilhaft stark verringert sein. Denkbar ist natürlich auch, den Verbindungsbereich 20 wenigstens teilweise mit den in den1a bis1d gezeigten bewährten wabenartigen Strukturen des Stands der Technik zu versehen. - Vorteilhafterweise macht das Grundmaterial Silizium, aus denen die erfindungsgemäße Federn ausgebildet ist, Längenänderungen kaum mit. Das bewirkt eine vorteilhaft große Steifigkeit der Feder 100. Aufgrund der großen Steifigkeit sind Bewegungen der Feder 100 kleiner und treten erst bei höheren Anregungsfrequenzen auf. Eine Dimensionierung der Abmessungen der Feder 100 erfolgt vorzugsweise mittels bekannter Finite-Elemente- bzw. Simulationsmethoden.
- Dabei ist eine Dimensionierung des Winkels der Feder 100 derart, dass die Feder eine betriebsgemäße Funktion als Feder erfüllen kann, wobei insbesondere die mittels der Feder 100 bewegten Massen der Sensorstruktur berücksichtigt werden. Konstruktive Abwandlungen können vorsehen, dass die Federschenkel 10 in sich gekrümmte Abschnitte, mäandrische oder sonstige geometrische Verformungen aufweisen (nicht dargestellt). Die in
2 dargestellte besonders bevorzugte Ausführungsform weist im Wesentlichen zwei gerade Federschenkel 10 auf, wodurch eine einfach zu realisierende Form mit guten Betriebseigenschaften der Feder 100 realisiert wird. Die beiden Federschenkel 10 sind in Betriebsausrichtung der Feder 100 - wie in mikromechanischen Anwendungen üblicherweise vorgesehen - im Wesentlichen in einer Ebene angeordnet. - Anhand von
3 soll nunmehr das grundlegende Wirkprinzip der erfindungsgemäßen Feder 100 näher erläutert werden. - In der oberen Darstellung von
3 ist eine herkömmliche Feder dargestellt, bei der anhand eines Doppelpfeils in einem Verbindungsbereich 20 ein höherer Modus der Feder 100 dargestellt werden soll, in welchem eine bidirektionale Bewegung des Verbindungsbereichs 20 durchgeführt wird. Unter der Annahme, dass die beiden Schenkelenden der Feder fixiert sind, ist zu erkennen, dass die beiden Federschenkel 10 im Wesentlichen gleichmäßig auf Biegung verformt werden, so dass im Ergebnis ein Biegewiderstand der Feder eher gering ist. Die beiden Federenden werden also im Wesentlichen gleichartig ausgelenkt, d.h. dass die beiden Federenden bei einer Auslenkung des Verbindungsbereichs 20 im Wesentlichen identische Längenänderungen erfahren. - Im Gegensatz dazu wird unter den gleichen Randbedingungen, wie in der unteren Darstellung von
3 dargestellt, der untere Federschenkel 10 der erfindungsgemäßen Feder 100 nur auf Zug beansprucht, während der obere Federschenkel 10 auf Druck belastet, d.h. verkürzt wird. Im Ergebnis resultiert daraus eine Art Blockadewirkung der beiden Federschenkel 10, die eine Bewegung des Verbindungsbereichs 20 insgesamt eher verhindert bzw. wenigstens erschwert. Auf diese Weise ist vorteilhaft eine größere Steifigkeit der erfindungsgemäßen Feder 100 realisiert. Dadurch kann durch eine geeignete geometrische Auslegung eine Frequenz von potentiell störenden Biegefedermoden zu signifikant höheren Werten geschoben werden. Somit können diese Moden nur noch auf höhere Vielfache der Arbeitsfrequenz des Sensors treffen, bei denen Anregungskräfte im allgemeinen kleiner und damit weniger kritisch sind als bei niedrigen Vielfachen der Arbeitsfrequenz des Sensors. - Zusammenfassend wird mit der vorliegenden Erfindung ein vorteilhaftes Design für eine Feder für eine mikromechanische Inertial-Sensorvorrichtung vorgeschlagen, bei der eine Bewegung des Federendes möglichst verhindert werden soll. Dies wird durch die erfindungsgemäße Biegefeder durch eine deutlich erhöhte Frequenz der Federmoden realisiert. Dies geschieht mit dem Ziel, die Frequenz von potentiellen Störmoden der erfindungsgemäßen Feder zu erhöhen, so dass sie in einen Frequenzbereich fallen, in dem potentielle Anregungskräfte kleiner sind.
- Vorteilhaft kann das offenbarte modenoptimierte Design bei mikromechanischen Sensoren eingesetzt werden, bei denen es erforderlich ist, eine möglichst hohe Frequenz von potentiellen, durch Biegefedern bewirkten Störmoden zu erreichen. Vorteilhaft können mittels der vorliegenden Erfindung Antriebsbewegungen (z.B. mittels eines elektrostatischen Kammantriebs) für die Feder sauber und definiert ausgeführt werden.
- Vorteilhaft werden Bereiche, in denen störende Bewegungen auftreten, in einen anderen Frequenzbereich verschoben und dadurch weitestgehend neutralisiert.
- Obwohl die vorliegende Erfindung anhand von bevorzugten Ausführungsformen beschrieben worden ist, ist sie keineswegs darauf beschränkt. Der Fachmann wird somit die Merkmale entsprechend abändern und miteinander kombinieren, ohne vom Kern der Erfindung abzuweichen.
Claims (7)
- Feder (100) für eine mikromechanische Sensorvorrichtung, aufweisend: - zwei Federschenkel (10), die in einem spitzen Winkel zueinander angeordnet sind, wobei der spitze Winkel auch in einem nicht-ausgelenkten Zustand der mikromechanischen Sensorvorrichtung vorliegt; und - einen Verbindungsbereich (20); - wobei die beiden Federschenkel (10) durch den Verbindungsbereich (20) miteinander verbunden sind, wobei der Verbindungsbereich (20) wenigstens eine kurvig begrenzte Ausnehmung aufweist, die zur Öffnung des spitzen Winkels hin ausgerichtet ist, und wobei der Verbindungsbereich (20) eine Breite aufweist, die im Wesentlichen einer doppelten Breite (B) der Federschenkel (10) entspricht.
- Feder (100) nach
Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass der Verbindungsbereich (20) wenigstens teilweise eine Wabenstruktur aufweist. - Feder (100) nach einem der
Ansprüche 1 bis2 , dadurch gekennzeichnet, dass die Feder (100) derart dimensioniert ist, dass Moden der Feder (100) entfernt von Moden von Strukturen der Sensorvorrichtung liegen, wobei ein unterer Federschenkel (10) der Feder (100) derart ausgebildet ist, dass er im Betrieb nur auf Zug beansprucht wird und wobei ein oberer Federschenkel (10) der Feder (100) derart ausgebildet ist, dass er im Betrieb der Feder (100) nur auf Druck belastet wird. - Feder(100) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Federschenkel (10) im Wesentlichen gerade ausgebildet sind.
- Feder (100) nach einem der
Ansprüche 1 bis3 , dadurch gekennzeichnet, dass die Federschenkel (10) kurvige Abschnitte aufweisen. - Feder (100) nach
Anspruch 5 , dadurch gekennzeichnet, dass die Federschenkel (10) mäanderartig ausgebildet sind. - Feder (100) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Federschenkel (10) im Wesentlichen in einer Ebene angeordnet sind.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102013208699.7A DE102013208699B4 (de) | 2013-05-13 | 2013-05-13 | Feder für eine mikromechanische Sensorvorrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102013208699.7A DE102013208699B4 (de) | 2013-05-13 | 2013-05-13 | Feder für eine mikromechanische Sensorvorrichtung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102013208699A1 DE102013208699A1 (de) | 2014-11-13 |
DE102013208699B4 true DE102013208699B4 (de) | 2022-10-06 |
Family
ID=51787583
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102013208699.7A Active DE102013208699B4 (de) | 2013-05-13 | 2013-05-13 | Feder für eine mikromechanische Sensorvorrichtung |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE102013208699B4 (de) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104897148A (zh) * | 2015-05-29 | 2015-09-09 | 上海交通大学 | 蜂窝状固体波动微机械陀螺仪及其制备方法 |
DE102016200491B4 (de) * | 2016-01-15 | 2024-06-20 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanische Feder für einen Inertialsensor |
DE102017213640A1 (de) * | 2017-08-07 | 2019-02-07 | Robert Bosch Gmbh | Drehratensensor, Verfahren zur Herstellung eines Drehratensensors |
DE102017217975A1 (de) | 2017-10-10 | 2019-04-11 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanische Federstruktur |
CN109188012B (zh) * | 2018-11-15 | 2024-02-02 | 中国兵器工业集团第二一四研究所苏州研发中心 | 一种蜂窝状微止挡结构 |
CN111624669B (zh) * | 2020-06-08 | 2021-10-08 | 华中科技大学 | 一种mems准零刚度的弹簧振子结构 |
DE102020208667A1 (de) | 2020-07-10 | 2022-01-13 | Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Feder, mikromechanisches System, Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Systems, Verfahren zum Betreiben eines mikromechanischen Systems |
DE102020209355A1 (de) | 2020-07-24 | 2022-01-27 | Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Feder zur Aufhängung einer Masse für ein mikromechanisches System, mikromechanisches System |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5802914A (en) | 1996-05-30 | 1998-09-08 | Eastman Kodak Company | Alignment mechanism using flexures |
US5998906A (en) | 1998-01-13 | 1999-12-07 | Seagate Technology, Inc. | Electrostatic microactuator and method for use thereof |
WO2003073597A1 (en) | 2002-02-28 | 2003-09-04 | M2N Inc. | Electrostatic micro actuator |
US20050047721A1 (en) | 2003-08-25 | 2005-03-03 | Asia Pacific Microsystems Inc. | Electrostatically operated micro-optical devices and method for manufacturing thereof |
DE102007001516B3 (de) | 2007-01-10 | 2008-04-30 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Mikromechanisches Bauelement mit einstellbarer Resonanzfrequenz durch Geometrieänderung und Verfahren zum Betreiben desselben |
DE102007057044A1 (de) | 2007-09-10 | 2009-03-12 | Continental Teves Ag & Co. Ohg | Mikromechanische Feder |
DE102009002702A1 (de) | 2009-04-28 | 2010-11-04 | Sensordynamics Ag | Mikromechanischer Sensor |
DE102011076555A1 (de) | 2011-05-26 | 2012-11-29 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanisches Bauelement mit einer Dämpfungseinrichtung |
-
2013
- 2013-05-13 DE DE102013208699.7A patent/DE102013208699B4/de active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5802914A (en) | 1996-05-30 | 1998-09-08 | Eastman Kodak Company | Alignment mechanism using flexures |
US5998906A (en) | 1998-01-13 | 1999-12-07 | Seagate Technology, Inc. | Electrostatic microactuator and method for use thereof |
WO2003073597A1 (en) | 2002-02-28 | 2003-09-04 | M2N Inc. | Electrostatic micro actuator |
US20050047721A1 (en) | 2003-08-25 | 2005-03-03 | Asia Pacific Microsystems Inc. | Electrostatically operated micro-optical devices and method for manufacturing thereof |
DE102007001516B3 (de) | 2007-01-10 | 2008-04-30 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Mikromechanisches Bauelement mit einstellbarer Resonanzfrequenz durch Geometrieänderung und Verfahren zum Betreiben desselben |
DE102007057044A1 (de) | 2007-09-10 | 2009-03-12 | Continental Teves Ag & Co. Ohg | Mikromechanische Feder |
DE102009002702A1 (de) | 2009-04-28 | 2010-11-04 | Sensordynamics Ag | Mikromechanischer Sensor |
DE102011076555A1 (de) | 2011-05-26 | 2012-11-29 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanisches Bauelement mit einer Dämpfungseinrichtung |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102013208699A1 (de) | 2014-11-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE102013208699B4 (de) | Feder für eine mikromechanische Sensorvorrichtung | |
EP2465725B1 (de) | Federungsvorrichtung für Fahrzeugsitze und/oder Fahrzeugkabinen mit Elastomerelement | |
DE102007057044B4 (de) | Mikromechanische Feder | |
DE102007035806A1 (de) | Mikromechanischer Drehratensensor | |
EP2797781A1 (de) | Trägerelement für einen wischerantrieb | |
DE102018123089A1 (de) | Partikel-Dämpfer-System | |
DE2035764A1 (de) | Schwingungstilger mit Schwingungsphasen Umkehr | |
DE112008001976B4 (de) | Einheit zum Absorbieren von Energie mit zwei Absorptionsvorrichtungen | |
WO2006010752A1 (de) | Kraftmessvorrichtung | |
DE102016200491B4 (de) | Mikromechanische Feder für einen Inertialsensor | |
DE102011006397B4 (de) | Mikromechanisches Bauelement mit einer Verhakungsstruktur | |
DE102007003160A1 (de) | Federelement | |
DE102017218595A1 (de) | Mikromechanische Feder für ein Sensorelement | |
EP0257349B1 (de) | Feder | |
DE102011057169A1 (de) | Mikroelektromechanisches System | |
DE102009058956A1 (de) | Scharnier für eine Tür, eine Klappe oder dgl. eines Kraftfahrzeugs | |
DE102018222052B4 (de) | Verfahren zum Kontrollieren einer Verbindung | |
DE102004010367A1 (de) | Kraftmessvorrichtung | |
DE102016215204A1 (de) | Schwingungsentkopplungs- und dämpfungsvorrichtung | |
DE102019122236A1 (de) | Kraftfahrzeugfrontendabschnitt mit Stoßfängerüberzug und/oder Ziergitter | |
DE102017217975A1 (de) | Mikromechanische Federstruktur | |
DE102018200819B4 (de) | Anhängevorrichtung für ein Kraftfahrzeug | |
DE102016103579A1 (de) | Verfahren zum separierten Erfassen von Störgrößen | |
DE102009059871B4 (de) | Elastische Vorrichtung | |
DE102014221898A1 (de) | Faserverbundbauteil mit Versagensverhalten eines duktilen Werkstoffs |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R012 | Request for examination validly filed | ||
R016 | Response to examination communication | ||
R016 | Response to examination communication | ||
R018 | Grant decision by examination section/examining division | ||
R020 | Patent grant now final |