DE102013114822B3 - Two-axis tilting device - Google Patents
Two-axis tilting device Download PDFInfo
- Publication number
- DE102013114822B3 DE102013114822B3 DE102013114822.0A DE102013114822A DE102013114822B3 DE 102013114822 B3 DE102013114822 B3 DE 102013114822B3 DE 102013114822 A DE102013114822 A DE 102013114822A DE 102013114822 B3 DE102013114822 B3 DE 102013114822B3
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- linear
- axis
- tilting device
- adapter plate
- geometric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 5
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 4
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 7
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 3
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 2
- 206010010219 Compulsions Diseases 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000005426 magnetic field effect Effects 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B3/00—Methods or apparatus specially adapted for transmitting mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
- G02B7/1821—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors for rotating or oscillating mirrors
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
- G02B7/185—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors with means for adjusting the shape of the mirror surface
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0095—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing combined linear and rotary motion, e.g. multi-direction positioners
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/008—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements with means for compensating for changes in temperature or for controlling the temperature; thermal stabilisation
Abstract
Kippvorrichtung mit zwei zueinander orthogonalen, sich schneidenden geometrischen Achsen, umfassend einen Grundkörper (3), eine Kopfplatte (4), eine Adapterplatte (6) und vier Linearelemente (5.1, 5.2, 5.3, 5.4), mittels derer paarweise die Adapterplatte (6) gemeinsam mit der Kopfplatte (4) gegenüber dem Grundkörper (3) um eine erste der geometrischen Achsen (1.0) bzw. die Kopfplatte (4) gegenüber der Adapterplatte (6) um eine zweite der geometrischen Achsen verkippt werden kann.Tilting device with two mutually orthogonal, intersecting geometric axes, comprising a base body (3), a head plate (4), an adapter plate (6) and four linear elements (5.1, 5.2, 5.3, 5.4), by means of which the adapter plate (6) can be tilted together with the head plate (4) relative to the base body (3) about a first of the geometric axes (1.0) or the head plate (4) relative to the adapter plate (6) about a second of the geometric axes.
Description
Die Erfindung betrifft eine Kippvorrichtung mit zwei zueinander orthogonalen geometrischen Achsen, um die eine Kopfplatte zeitgleich oder zeitlich nacheinander verkippbar ist. Sie ist gattungsgemäß aus der
Sie kann zum dynamischen Verkippen, z. B. als Scanvorrichtung, ausgeführt werden, indem auf der Kopfplatte ein Spiegel angebracht wird, oder als Rütteltisch, indem die Kopfplatte als Tischplatte ausgeführt wird.It can be used for dynamic tilting, eg. Example, as a scanning device to be performed by a mirror is mounted on the top plate, or as a vibrating table by the head plate is designed as a table top.
Sie kann auch zum statischen Positionieren, z. B. als Positioniervorrichtung, für ein optisches Element innerhalb eines optischen Systems oder als Präzisionsverstelleinheit für Empfänger und Sensoren verwendet werden, indem die Kopfplatte als Aufnahme für das optische Element ausgeführt wird. Sie ist auch geeignet, optische Elemente geregelt nachzuführen, die z. B. in Folge von Temperaturänderungen ihre Raumlage verändern.It can also be used for static positioning, eg. Example, as a positioning device for an optical element within an optical system or as Präzisionsverstelleinheit for receivers and sensors are used by the head plate is designed as a receptacle for the optical element. It is also suitable to track optical elements regulated z. B. change as a result of temperature changes their spatial position.
Sie kann auch verwendet werden, um nach einem statischen Positionieren oder während eines dynamischen Verkippens die Oberflächenkrümmung der Kopfplatte zu verändern, an der z. B. direkt eine Spiegelfläche oder Rüttelebene ausgebildet ist.It can also be used to change the surface curvature of the top plate after a static positioning or during a dynamic tilting, z. B. is formed directly a mirror surface or vibrating plane.
Eine aus dem Stand der Technik gattungsgemäße Kippvorrichtung (dort optisches Scangerät) ist aus der vorbenannten
Die Piezosysteme Jena GmbH bietet über ihre Webseite http://www.piezosysteme.de zwei Serien von Piezo-Spiegelkippsystemen, die Serie PSH 1–4 mit drei Piezoaktoren und die Serie PSH x/2 mit vier Piezoaktoren an. Die Anordnung der Piezoaktoren zueinander definiert jeweils zwei zueinander orthogonale geometrische Achsen, um welche eine Kopfplatte (dort Deckplatte) verkippbar ist. Das heißt, hier wirken jeweils zwei der Piezoaktoren als Lager für die Verkippung der Kopfplatte um eine der geometrischen Achsen. Die einzelnen Ausführungen der Piezo-Spiegelkippsysteme unterscheiden sich durch den möglichen Kippwinkel, welcher mittels Piezoaktoren unterschiedlichen Hubs realisiert wird. Als Anwendungsgebiete werden die Lasertechnik, Scannersysteme, die Feinjustierung von Präzisionsspiegeln, optische Aufbauten und die Medizintechnik genannt.Piezosysteme Jena GmbH offers two series of piezo mirror tilting systems via its website http://www.piezosysteme.de, the series PSH 1-4 with three piezo actuators and the series PSH x / 2 with four piezo actuators. The arrangement of the piezoelectric actuators to each other defines two mutually orthogonal geometric axes about which a top plate (there cover plate) is tilted. This means that in each case two of the piezoactuators act as bearings for tilting the top plate about one of the geometric axes. The individual versions of the piezo mirror tilt systems differ by the possible tilt angle, which is realized by means of piezo actuators of different strokes. Areas of application include laser technology, scanner systems, the fine adjustment of precision mirrors, optical structures and medical technology.
Die Kippvorrichtungen der vorgenannten Publikationen sind lediglich als Prinziplösungen offenbart. Allein durch die Realisierung der Prinziplösungen ist jedoch bei einer beliebigen Anordnung der Kippvorrichtung im Raum eine definierte Bewegung der Kopfplatte nicht gewährleistet. Aus den Publikationen kann keine Information entnommen werden, welche Maßnahmen getroffen werden, dass die Kopfplatte neben den beiden rotatorischen und, wie in der zweitgenannten Publikation, der Piezosysteme Jena GmbH, gewünscht, dem einen translatorischen begrenzten Freiheitsgrad keine weiteren Freiheitsgrade aufweist, damit sich die Kopfplatte nur definiert bewegen kann. Es müssen zwingend zusätzliche Mittel vorhanden sein, die eine permanente Anlage der Kopfplatte an den Piezoaktoren sichern. Es wird angenommen, dass diese Mittel wenigstens eine geringe Haltekraft bewirken, die der Kraftwirkung der Piezoaktoren entgegenwirkt. Sofern hierfür nur die Gewichtskraft der Kopfplatte genutzt werden sollte, könnte die Kippvorrichtung nur sehr beschränkt, in einer horizontalen Aufstellung verwendet werden.The tilting devices of the aforementioned publications are disclosed only as principle solutions. But by the realization of the principle solutions, a defined movement of the top plate is not guaranteed in any arrangement of the tilting device in space. From the publications no information can be found, which measures are taken, that the top plate next to the two rotary and, as in the second mentioned publication, the piezo systems Jena GmbH, desired, the one translational limited degree of freedom has no further degrees of freedom, so that the top plate can only move in a defined way. It is imperative that additional funds be available to ensure permanent installation of the top plate on the piezo actuators. It is assumed that these means cause at least a small holding force, which counteracts the force of the piezoelectric actuators. If only the weight of the top plate should be used for this purpose, the tilting device could be used only very limited, in a horizontal position.
In der Patentschrift
Die
Eine Kippspiegelanordnung wird in der Patentschrift
Die Patentschrift
Eine ähnliche Kippvorrichtung ist in der Patentschrift
Es ist die Aufgabe der Erfindung, eine Kippvorrichtung mit zwei zueinander orthogonalen geometrischen Achsen und Linearaktoren zu schaffen, die keine zusätzlichen Mittel umfasst, die eine Kraftwirkung auf die Linearaktoren ausüben.It is the object of the invention to provide a tilting device with two mutually orthogonal geometric axes and linear actuators, which does not include additional means exerting a force on the linear actuators.
Diese Aufgabe wird für eine Kippvorrichtung mit zwei zueinander orthogonalen geometrischen Achsen, die sich in einem Drehpunkt schneiden, umfassend einen Grundkörper, eine Kopfplatte und vier Linearelemente, jeweils mit einer Längsachse und einer veränderbaren Länge, die jeweils in Richtung ihrer Längsachse eine von der Änderung ihrer Länge abhängige Kraft erzeugen können, gelöst. Die Linearelemente sind jeweils durch ein erstes Ende und ein zweites Ende in ihrer Länge begrenzt. Ihre Längsachsen sind in der Nulllage orthogonal zu den geometrischen Achsen ausgerichtet.This object is for a tilting device with two mutually orthogonal geometric axes intersecting in a fulcrum comprising a main body, a top plate and four linear elements, each having a longitudinal axis and a variable length, each in the direction of its longitudinal axis one of the change of their Can generate length-dependent force, solved. The linear elements are each limited by a first end and a second end in their length. Their longitudinal axes are aligned in the zero position orthogonal to the geometric axes.
Es ist eine Adapterplatte mit einem den Drehpunkt umschließenden Durchgangsloch vorhanden und eine erste der zwei geometrischen Achsen ist durch eine das Durchgangsloch aussparende, zweigeteilte erste mechanische Achse verkörpert, die in am Grundkörper vorhandenen Lagerböcken und in der Adapterplatte gelagert ist.There is an adapter plate with a through hole enclosing the fulcrum, and a first of the two geometric axes is embodied by a through-hole-sparing, two-part first mechanical axis supported in bearing blocks provided on the main body and in the adapter plate.
Ein erstes und ein zweites der vier Linearelemente sind an der Adapterplatte jeweils mit ihrem zweiten Ende angreifend angeordnet und stehen über ihr erstes Ende mit dem Grundkörper in Verbindung, wobei deren Längsachsen jeweils mit einem senkrechten Abstand zur ersten geometrischen Achse versetzt angeordnet sind und wenigstens eines dieser zwei an der Adapterplatte angreifend angeordneten Linearelemente ein Linearaktor ist.A first and a second of the four linear elements are arranged on the adapter plate attacking each with its second end and communicate with each other via their first end to the base body, wherein the longitudinal axes are each offset at a vertical distance from the first geometric axis and at least one of these two on the adapter plate attacking arranged linear elements is a linear actuator.
Eine zweite der zwei geometrischen Achsen ist durch eine zweite mechanische Achse verkörpert, die in an der Kopfplatte vorhandenen Lagerböcken und der Adapterplatte gelagert ist.A second of the two geometric axes is embodied by a second mechanical axis which is mounted in bearing blocks provided on the top plate and the adapter plate.
Ein drittes der vier Linearelemente ist ein Linearaktor, der an der Kopfplatte mit seinem zweiten Ende angreifend angeordnet ist, wobei die Kopfplatte und/oder das dritte Linearelement durch das Durchgangsloch hindurch ragt, und das dritte Linearelement über sein erstes Ende mit dem Grundkörper in Verbindung steht, wobei dessen Längsachse die erste geometrische Achse schneidend und zum Drehpunkt einen senkrechten Abstand aufweisend angeordnet ist.A third of the four linear elements is a linear actuator, which is arranged on the top plate attacking with its second end, wherein the top plate and / or the third linear element protrudes through the through hole, and the third linear element is connected via its first end to the base body with its longitudinal axis intersecting the first geometric axis and having a vertical distance to the fulcrum.
Ein viertes der vier Linearelemente ist mit seinem zweiten Ende an der Kopfplatte angreifend angeordnet, wobei dessen Längsachse zur zweiten geometrischen Achse einen senkrechten Abstand aufweist.A fourth of the four linear elements is arranged with its second end acting on the top plate, wherein the longitudinal axis to the second geometric axis has a vertical distance.
Das vierte Linearelement kann ein vorgespanntes Federelement sein, das über sein erstes Ende vorteilhaft mit der Adapterplatte in Verbindung steht.The fourth linear element may be a prestressed spring element, which is advantageously connected to the adapter plate via its first end.
Das vierte Linearelement kann auch ein Linearaktor sein, wobei dessen Längsachse die erste geometrische Achse schneidend und zum Drehpunkt einen Abstand aufweisend angeordnet ist. Vorteilhaft steht sein erstes Ende mit dem Grundkörper in Verbindung.The fourth linear element may also be a linear actuator, the longitudinal axis of which is arranged to intersect the first geometric axis and to be at a distance from the fulcrum. Advantageously, its first end is connected to the main body.
Auch die zweite mechanische Achse kann vorteilhaft eine das Durchgangsloch aussparende, zweigeteilte Achse sein.The second mechanical axis can advantageously also be a two-part axle that eliminates the through-hole.
Es kann von Vorteil sein, wenn das erste Linearelement, das ein Linearaktor ist, als Piezoaktor ausgeführt ist und das zweite Linearelement ein vorgespanntes Federelement ist.It may be advantageous if the first linear element, which is a linear actuator, is designed as a piezoactuator and the second linear element is a prestressed spring element.
Ebenso kann es von Vorteil sein, wenn das erste und das zweite Linearelement Linearaktoren sind, die als Piezoaktoren ausgeführt sind und deren senkrechte Abstände zur ersten geometrischen Achse gleich groß sind.It may also be advantageous if the first and the second linear element are linear actuators, which are designed as piezoelectric actuators and their vertical distances from the first geometric axis are equal.
Vorteilhaft ist das als Linearaktor ausgeführte dritte Linearelement ein Piezoaktor. The third linear element designed as a linear actuator is advantageously a piezoactuator.
Der Grundkörper, die Adapterplatte und die Kopfplatte können aus einem Körper hergestellt sein, wobei die beiden mechanischen Achsen durch Festkörperverbindungen gebildet werden.The main body, the adapter plate and the top plate can be made of a body, wherein the two mechanical axes are formed by solid compounds.
Vorteilhaft sind an den zweiten Enden der gegebenenfalls als Piezoaktoren ausgeführten Linearelemente Kugelgelenke ausgebildet.Ball joints are advantageously formed at the second ends of the optionally designed as a piezo actuators linear elements.
Auch sind die Verbindungen der ersten Enden der gegebenenfalls als Piezoaktoren ausgeführten Linearelemente mit dem Grundköper mittelbare Verbindungen über durch den Grundkörper geschraubte Schrauben, mittels derer die Linearelemente mechanisch vorgespannt werden können.Also, the connections of the first ends of the optionally executed as a piezo actuators linear elements with the Grundköper are indirect connections via screws screwed through the body, by means of which the linear elements can be mechanically biased.
Die Erfindung soll nachfolgend durch ein Ausführungsbeispiel anhand von Zeichnungen beschrieben werden. Hierbei zeigen:The invention will be described below by an embodiment with reference to drawings. Hereby show:
Die Kippvorrichtung weist grundsätzlich in jedem Ausführungsbeispiel, so auch in dem ersten Ausführungsbeispiel, gezeigt in den
Die Adapterplatte
Ein erstes und ein zweites der vier Linearelemente
Die zweite der zwei geometrischen Achsen
Ein drittes der vier Linearelemente
Ein viertes der vier Linearelemente
Das vierte Linearelement
Es kann ebenso ein Linearaktor sein, der vorteilhaft mit seinem ersten Ende
Wenn das vierte Linearelement
Die Ausführung einer Kippvorrichtung, bei der das dritte und das vierte Linearelement
Bei einer Ausführung der Kopfplatte als optischer Spiegel kann hiermit die Krümmung der Spiegelfläche verändert werden.In an embodiment of the top plate as an optical mirror hereby the curvature of the mirror surface can be changed.
Bei einer Ausführung als Rütteltisch können durch eine gesteuerte Änderung der Krümmung Spezialeffekte, z. B. bei der Sortierung, Verteilung und Sammlung von Kleinstteilen, erzielt werden.In a version as a vibrating table can be controlled by a change in the curvature special effects, eg. As in the sorting, distribution and collection of very small parts, can be achieved.
Die Ausführungsbeispiele der Kippvorrichtung unterscheiden sich in der Ausführung und Anordnung der Linearelemente
Jede mögliche Ausführung und Anordnung der vier Linearelemente
Die vier Linearelemente
Im Falle einer paarweisen Verwendung von zwei Linearaktoren werden diese während der Verkippung gegenläufig angesteuert. Von einer Nulllage aus kann proportional zu einem gegenläufig änderbaren Steuersignal deren Länge verlängert oder verkürzt werden. In der genannten Nulllage der Linearaktoren ist die Adapterplatte
Im Falle einer paarweisen Verwendung von einem Linearaktor und einem Federelement befindet sich der Linearaktor in einer Endlage in der Nulllage. Zur Verkippung der Adapterplatte
Im Falle einer Zugfeder muss diese bezogen auf die jeweilige geometrische Achse
Im Falle einer Druckfeder muss diese bezogen auf die jeweilige geometrische Achse
Der Linearaktor und das Federelement müssen jeweils so dimensioniert und mit einem senkrechten Abstand a1, a2, a3, a4 zur jeweiligen geometrischen Achse
Dass zur Verkippung der Adapterplatte
Auch von dem dritten und vierten Linearelement
Das vierte Linearelement
Gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel, gezeigt in den
Die zweite mechanische Achse
Mit dem entsprechend gleichen Ziel, nämlich eine hohe Übersetzung der Längenänderung des ersten und des zweiten Linearelementes
Die zweiten Enden
Die Verbindungen der zweiten Enden
BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS
- 1.01.0
- erste geometrische Achsefirst geometric axis
- 11
- erste mechanische Achse (im Grundkörper gelagert)first mechanical axis (stored in the main body)
- 2.02.0
- zweite geometrische Achsesecond geometric axis
- 22
- zweite mechanische Achse (in der Adapterplatte gelagert)second mechanical axis (stored in the adapter plate)
- 33
- Grundkörperbody
- 3.13.1
- Lagerbock am GrundkörperBearing block on the base body
- 44
- Kopfplatteheadstock
- 4.14.1
- Lagerbock an der KopfplatteBearing block on the top plate
- 5.15.1
- erstes Linearelementfirst linear element
- 5.1.05.1.0
- Längsachse des ersten LinearelementesLongitudinal axis of the first linear element
- 5.1.15.1.1
- erstes Ende des ersten Linearelementesfirst end of the first linear element
- 5.1.25.1.2
- zweites Ende des ersten Linearelementessecond end of the first linear element
- 5.25.2
- zweites Linearelementsecond linear element
- 5.2.05.2.0
- Längsachse des zweiten LinearelementesLongitudinal axis of the second linear element
- 5.2.15.2.1
- erstes Ende des zweiten Linearelementesfirst end of the second linear element
- 5.2.25.2.2
- zweites Ende des zweiten Linearelementessecond end of the second linear element
- 5.35.3
- drittes Linearelementthird linear element
- 5.3.05.3.0
- Längsachse des dritten LinearelementesLongitudinal axis of the third linear element
- 5.3.15.3.1
- erstes Ende des dritten Linearelementesfirst end of the third linear element
- 5.3.25.3.2
- zweites Ende des dritten Linearelementessecond end of the third linear element
- 5.45.4
- viertes Linearelementfourth linear element
- 5.4.05.4.0
- Längsachse des vierten LinearelementesLongitudinal axis of the fourth linear element
- 5.4.15.4.1
- erstes Ende des vierten Linearelementesfirst end of the fourth linear element
- 5.4.25.4.2
- zweites Ende des vierten Linearelementessecond end of the fourth linear element
- 66
- Adapterplatteadapter plate
- 6.16.1
- DurchgangslochThrough Hole
- 77
- Schraubescrew
- PP
- Drehpunkt (gleich Schnittpunkt der geometrischen Achsen)Fulcrum (equal to intersection of geometric axes)
- a1 a 1
- senkrechter Abstand der Längsachse des ersten Linearelementes zur ersten geometrischen Achsevertical distance of the longitudinal axis of the first linear element to the first geometric axis
- a2 a 2
- senkrechter Abstand der Längsachse des zweiten Linearelementes zur ersten geometrischen Achsevertical distance of the longitudinal axis of the second linear element to the first geometric axis
- a3 a 3
- senkrechter Abstand der Längsachse des dritten Linearelementes zur zweiten geometrischen Achse (gleich Abstand zum Drehpunkt)vertical distance of the longitudinal axis of the third linear element to the second geometric axis (equal distance to the pivot point)
- a4 a 4
- senkrechter Abstand der Längsachse des vierten Linearelementes zur zweiten geometrischen Achsevertical distance of the longitudinal axis of the fourth linear element to the second geometric axis
- ll
- Länge eines der LinearelementeLength of one of the linear elements
- bb
- Querausdehnung eines der LinearelementeTransverse expansion of one of the linear elements
Claims (10)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102013114822.0A DE102013114822B3 (en) | 2013-12-23 | 2013-12-23 | Two-axis tilting device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102013114822.0A DE102013114822B3 (en) | 2013-12-23 | 2013-12-23 | Two-axis tilting device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102013114822B3 true DE102013114822B3 (en) | 2014-11-20 |
Family
ID=51831600
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102013114822.0A Active DE102013114822B3 (en) | 2013-12-23 | 2013-12-23 | Two-axis tilting device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE102013114822B3 (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017111629A1 (en) * | 2015-12-23 | 2017-06-29 | Stm Spółka Z Ograniczoną Odpowiedzialnością | Bearing system for the rotary column of a pet preform blow molding machine |
CN111013994A (en) * | 2019-12-05 | 2020-04-17 | 上海交通大学 | Contact type focusing medical piezoelectric ultrasonic transducer and preparation method thereof |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19833905C2 (en) * | 1998-07-22 | 2002-05-08 | Hahn Meitner Inst Berlin Gmbh | Piezoelectric adjustment device for the positioning of a sample table |
EP0726479B1 (en) * | 1995-02-11 | 2002-05-08 | Carl Zeiss | Tilting mirror arrangement |
DE19833904C2 (en) * | 1998-07-22 | 2002-07-18 | Hahn Meitner Inst Berlin Gmbh | Adjustment device for positioning a sample table |
US7221494B2 (en) * | 2002-06-28 | 2007-05-22 | Clvr Pty Ltd. | Scanning device and method of scanning an optical beam over a surface |
US7598688B2 (en) * | 2006-06-22 | 2009-10-06 | Orbotech Ltd | Tilting device |
US8035876B2 (en) * | 2005-12-16 | 2011-10-11 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Systems, methods and devices for actuating a moveable miniature platform |
-
2013
- 2013-12-23 DE DE102013114822.0A patent/DE102013114822B3/en active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0726479B1 (en) * | 1995-02-11 | 2002-05-08 | Carl Zeiss | Tilting mirror arrangement |
DE19833905C2 (en) * | 1998-07-22 | 2002-05-08 | Hahn Meitner Inst Berlin Gmbh | Piezoelectric adjustment device for the positioning of a sample table |
DE19833904C2 (en) * | 1998-07-22 | 2002-07-18 | Hahn Meitner Inst Berlin Gmbh | Adjustment device for positioning a sample table |
US7221494B2 (en) * | 2002-06-28 | 2007-05-22 | Clvr Pty Ltd. | Scanning device and method of scanning an optical beam over a surface |
US8035876B2 (en) * | 2005-12-16 | 2011-10-11 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Systems, methods and devices for actuating a moveable miniature platform |
US7598688B2 (en) * | 2006-06-22 | 2009-10-06 | Orbotech Ltd | Tilting device |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017111629A1 (en) * | 2015-12-23 | 2017-06-29 | Stm Spółka Z Ograniczoną Odpowiedzialnością | Bearing system for the rotary column of a pet preform blow molding machine |
CN111013994A (en) * | 2019-12-05 | 2020-04-17 | 上海交通大学 | Contact type focusing medical piezoelectric ultrasonic transducer and preparation method thereof |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69924659T2 (en) | positioning | |
WO2008022797A1 (en) | Projection exposure apparatus and optical system | |
DE602004008534T2 (en) | Micro positioning device and method for compensation of position / orientation of a tool | |
EP0539889A2 (en) | Micromechanical actuator | |
WO2011131462A1 (en) | Guide having passive gravity compensation and vertically movably mounted platform | |
DE102009025309B4 (en) | Kinematic holder | |
WO1996015467A1 (en) | Mechanical fastening system for modular microoptical elements | |
EP3208646B1 (en) | Adjusting device of a sample holder and microscope with adjusting device | |
EP2549320A1 (en) | Exchangeable device for a microscope | |
EP1977124A1 (en) | Device for holding and positioning implements, workpieces and tools | |
EP2694838B1 (en) | Device for decoupling mechanical vibrations | |
DE102013114822B3 (en) | Two-axis tilting device | |
EP0831351B1 (en) | Tilting device | |
WO2003081337A2 (en) | Device for manipulation of the angular position of an object relative to a fixed structure | |
DE102020000669A1 (en) | Alignment platform, sensor system, aircraft and method for operating an alignment platform | |
DE3820085C1 (en) | Microtome, especially ultramicrotome | |
DE102006034455A1 (en) | Positionable workpiece support for a machine and processing system with a corresponding workpiece support | |
EP2681603B1 (en) | Adjustable lens mount for a strip lens | |
EP1353110B1 (en) | Positioning table | |
DE102004052154A1 (en) | Rotation bearing for angle positioning of e.g. optical mirror, has retaining unit, solid body joints, support couplers and base unit forming closed bearing cage, where couplers are designed as cage supports and distributed at circumference | |
DE102016006889A1 (en) | Device for supporting a workpiece to be machined | |
WO2003087944A2 (en) | Device for the low-deformation mounting of a rotationally asymmetric optical element | |
DE102013201604B4 (en) | Tilting device and method for tilting | |
DE102018216951A1 (en) | Adjustable mechanical holder for fine adjustment of the position of an element such as a lens | |
EP0831269B1 (en) | Tilting device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R012 | Request for examination validly filed | ||
R016 | Response to examination communication | ||
R018 | Grant decision by examination section/examining division | ||
R020 | Patent grant now final | ||
R081 | Change of applicant/patentee |
Owner name: ERNST-ABBE-HOCHSCHULE JENA, DE Free format text: FORMER OWNER: ERNST-ABBE-FACHHOCHSCHULE JENA, 07745 JENA, DE |
|
R082 | Change of representative |
Representative=s name: PATENTANWAELTE OEHMKE UND KOLLEGEN, DE Representative=s name: GLEIM PETRI OEHMKE PATENT- UND RECHTSANWALTSPA, DE |
|
R082 | Change of representative |
Representative=s name: GLEIM PETRI PATENT- UND RECHTSANWALTSPARTNERSC, DE Representative=s name: GLEIM PETRI OEHMKE PATENT- UND RECHTSANWALTSPA, DE |
|
R082 | Change of representative |
Representative=s name: GLEIM PETRI PATENT- UND RECHTSANWALTSPARTNERSC, DE |