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Die Erfindung betrifft eine optische Anordnung für EUV-Anwendungen, mit einem optischen Element, in dem zumindest ein innerer Kanal für den Durchgang von Fluid vorhanden ist, und mit zumindest einer externen Fluidleitung, wobei ein Ende der zumindest einen Fluidleitung mit dem optischen Element an einer Verbindungsschnittstelle so verbunden ist, dass durch die zumindest eine Fluidleitung Fluid in den zumindest einen Kanal zugeführt und/oder aus dem zumindest einen Kanal abgeführt werden kann.
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Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zum Herstellen einer optischen Anordnung für EUV-Anwendungen, mit den Schritten: Bereitstellen eines optischen Elements, in dem zumindest ein innerer Kanal für den Durchgang von Fluid vorhanden ist; Bereitstellen zumindest einer externen Fluidleitung; Verbinden eines Endes der zumindest einen Fluidleitung mit dem optischen Element an einer Verbindungsschnittstelle.
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Eine optische Anordnung und ein Verfahren der eingangs genannten Arten sind aus dem Dokument
US 7 591 561 62 bekannt.
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Optische Elemente für EUV-Anwendungen, insbesondere für die EUV-Lithographie, bei der mittels Strahlung im extremen Ultraviolett (EUV, Wellenlängen im Bereich bspw. von etwa 5 nm bis etwa 20 nm) Strukturen eines Retikels auf einen Wafer abgebildet werden, unterliegen einem erheblichen Wärmeeintrag während des Betriebs. Entsprechend ist es erforderlich, solche optischen Elemente während des Betriebs zu kühlen.
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Dazu ist das optische Element der aus dem eingangs genannten Dokument bekannten optischen Anordnung mit einer Vielzahl von Mikrokanälen ausgestattet, durch die ein Kühlmedium zum Kühlen des optischen Elements hindurchgeleitet wird. Das optische Element der bekannten optischen Anordnung ist ein Spiegel, der zum Anschließen externer Fluidleitungen zur Zu- bzw. Abführung von Fluid in die bzw. aus den Mikrokanälen an den Verbindungsschnittstellen zwischen den externen Fluidleitungen und dem optischen Element Leitungskupplungen aufweist, wie sie herkömmlicherweise zum Anschließen von Schlauch- oder Rohrleitungen bekannt sind.
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Das Anschließen externer Fluidleitungen an das optische Element mittels herkömmlicher Kupplungen, wie Schraubkupplungen, hat zwar den Vorteil, dass sich die externen Fluidleitungen rasch und fluiddicht mit dem optischen Element verbinden lassen, jedoch hat diese Art der Verbindung externer Fluidleitungen mit dem optischen Element auch Nachteile.
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Für besonders kleine optische Elemente, beispielsweise Spiegelfacetten eines segmentierten Spiegels, insbesondere wenn die Spiegelfacetten lageverstellbar sind, sind die herkömmlichen Leitungskupplungen zu schwer, zu groß bauend, insbesondere wenn eine Vielzahl von optischen Elementen wie bei einem segmentierten Spiegel nahe beieinander angeordnet werden müssen, und zu steif, wenn die optischen Elemente lageverstellbar sind und die Lage der optischen Elemente passiv oder aktiv gesteuert werden muss.
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Es sei angemerkt, dass der zumindest eine innere Kanal des optischen Elements der erfindungsgemäßen optischen Anordnung nicht ein Kühlkanal sein muss, und das Fluid entsprechend kein Kühlfluid sein muss, sondern das Fluid kann auch ein Steuerfluid für die Lage- oder Formmanipulation des optischen Elements oder auch ein Fluid zur Erfassung von Parametern des optischen Elements sein kann.
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Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine optische Anordnung für EUV-Anwendungen sowie ein Verfahren zum Herstellen derselben der eingangs genannten Arten dahingehend weiterzubilden, dass die vorstehend genannten Nachteile zumindest teilweise behoben werden.
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Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe hinsichtlich der eingangs genannten optischen Anordnung für EUV-Anwendungen dadurch gelöst, dass das Ende der zumindest einen Fluidleitung an der Verbindungsschnittstelle unmittelbar mit dem optischen Element gefügt ist.
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Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird die Aufgabe hinsichtlich des eingangs genannten Verfahrens dadurch gelöst, dass das Ende der zumindest einen Fluidleitung an der Verbindungsschnittstelle unmittelbar mit dem optischen Element gefügt wird.
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Bei der erfindungsgemäßen optischen Anordnung und dem erfindungsgemäßen Verfahren zum Herstellen derselben wird auf Leitungskupplungen, wie sie im Stand der Technik bekannt sind, verzichtet, indem die zumindest eine Fluidleitung unmittelbar mit dem optischen Element gefügt wird. Das Fügen kann durch Fügeverfahren, wie Schweißen, Löten, Kleben und dgl. bewerkstelligt werden, wie später noch beschrieben wird. Die steife, schwere, groß bauende Leitungskupplung enffällt dabei vorteilhafterweise. Die Verbindung zwischen der zumindest einen Fluidleitung und dem optischen Element ist somit weniger steif, weniger Raum ergreifend, und gewichtsärmer. Die erfindungsgemäße optische Anordnung eignet sich insbesondere dann, wenn das optische Element sehr klein ist, wie dies bei einer Spiegelfacette eines segmentierten Spiegels der Fall ist. Durch die erfindungsgemäße Art der Verbindung der zumindest einen externen Fluidleitung mit dem optischen Element kann eine Vielzahl von optischen Elementen in enger räumlicher Nähe zueinander mit externen Fluidleitungen verbunden sein, ohne dass hierbei die Nachteile des Standes der Technik auftreten.
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In einer bevorzugten Ausgestaltung der optischen Anordnung weist die Verbindungsschnittstelle eine Ausnehmung in dem optischen Element auf, wobei das Ende der zumindest einen Fluidleitung in die Ausnehmung eingesetzt und in der Ausnehmung mit dem optischen Element gefügt ist.
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Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird entsprechend an der Verbindungsschnittstelle eine Ausnehmung in das optische Element eingebracht, wobei das Ende der zumindest einen Fluidleitung in die Ausnehmung eingesetzt und in der Ausnehmung mit dem optischen Element gefügt wird.
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Hierbei ist von Vorteil, dass durch das Einsetzen des Endes der Fluidleitung in die Ausnehmung des optischen Elements eine mechanisch besonders widerstandsfähige Verbindung zwischen der Fluidleitung und dem optischen Element geschaffen wird.
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Dabei ist bzw. wird das Ende der zumindest einen Fluidleitung mit einer inneren Umfangswand der Ausnehmung und/oder mit einem Boden der Ausnehmung gefügt.
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Insbesondere wenn auch die Umfangswand des Endes der Fluidleitung mit der Umfangswand der Ausnehmung gefügt ist, wird eine besonders stabile und fluiddichte Verbindung der Fluidleitung mit dem optischen Element gewährleistet.
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Alternativ zu der vorstehend genannten Ausgestaltung, wonach das Ende der zumindest einen Fluidleitung in einer Ausnehmung in dem optischen Element eingesetzt ist, kann das Ende der zumindest einen Fluidleitung mit dem optischen Element auch auf Stoß gefügt sein bzw. werden.
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Ein Vorteil hierbei ist, dass keine Ausnehmung in das optische Element geschnitten werden muss, wodurch ein Verfahrensschritt eingespart wird.
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Bevorzugte Fügeverfahren sind gemäß der vorliegenden Erfindung ausgewählt aus der Gruppe, die aus Schweißen, Löten, Hartlöten, Diffusionsfügen, chemisches Fügen, Kleben, einer Kombination der vorstehend genannten Verfahren, besteht.
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Besonders bevorzugt sind dabei Löten oder Hartlöten, insbesondere wenn das Ende der Fluidleitung aus Kupfer besteht.
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An dieser Stelle sei angemerkt, dass ein Fügematerial, das in dem Fügeverfahren verwendet wird, ein Zusatzstoff sein kann, aber auch von dem optischen Element und/oder der Fluidleitung selbst stammen kann.
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In einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung des Verfahrens ist der zumindest eine innere Kanal an der Verbindungsschnittstelle vor dem Verbinden der zumindest einen Fluidleitung mit dem optischen Element verschlossen und wird nach dem Fügen der zumindest einen Fluidleitung mit dem optischen Element geöffnet.
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Hierbei ist von Vorteil, dass Fügematerial, beispielsweise Lot oder Klebstoff, beim Fügen der Fluidleitung mit dem optischen Element nicht in den zumindest einen inneren Kanal gelangen und diesen verstopfen kann.
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Es ist aber auch möglich, dass Fügematerial, das das Ende der Fluidleitung und/oder den zumindest einen inneren Kanal an der Verbindungsschnittstelle aufgrund des Fügeprozesses verschließt, gemäß einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung anschließend zumindest teilweise entfernt wird, um den Durchgang von Fluid von der zumindest einen Fluidleitung in den zumindest einen Kanal oder umgekehrt zu gewährleisten.
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In dieser Ausgestaltung kann der zumindest eine innere Kanal bereits vor dem Fügen der Fluidleitung mit dem optischen Element offen sein. Das zumindest teilweise Entfernen des Fügematerials kann beispielsweise durch spanabhebende Verfahren, wie Bohren oder Fräsen, oder durch Ätzen erfolgen.
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Das Verschließen des Endes der Fluidleitung und/oder des zumindest einen inneren Kanals an der Verbindungsschnittstelle durch Fügematerial kann beabsichtigt oder unbeabsichtigt auftreten.
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In einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung des Verfahrens, die insbesondere in Verbindung mit der oben beschriebenen Ausgestaltung vorteilhaft ist, wonach die Verbindungsschnittstelle eine Ausnehmung in dem optischen Element aufweist und das Ende der zumindest einen Fluidleitung in die Ausnehmung eingesetzt und in der Ausnehmung mit dem optischen Element gefügt wird, wird an dem optischen Element an der Verbindungsschnittstelle und/oder am Ende der zumindest einen Fluidleitung eine Struktur ausgebildet, die verhindert, dass Fügematerial in die Mündung des Endes der zumindest einen Fluidleitung und/oder in den zumindest einen inneren Kanal gelangt.
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In dieser Ausgestaltung kann der zumindest eine innere Kanal vor dem Fügen der Fluiidlleitung mit dem optischen Element ebenfalls offen sein. Eine solche Struktur kann beispielsweise so ausgebildet sein, dass das Einsickern von Fügematerial in das Ende der Fluidleitung und/oder den zumindest einen inneren Kanal an der Verbindungsschnittstelle aufgrund von Kapillarwirkung verringert oder unterbunden wird, oder die Struktur kann so ausgebildet sein, dass sie eine Barriere für das Fügematerial während des Fügeprozesses darstellt.
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In einer bevorzugten Ausgestaltung der optischen Anordnung weist der zumindest eine innere Kanal in zumindest einer Dimension eine Abmessung auf im Bereich von 2 mm oder darunter, von 1 mm oder darunter, von 500 μm oder darunter, oder ist als Mikrokanal mit einer Abmessung von 100 μm oder darunter in zumindest einer Dimension ausgebildet.
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Des Weiteren ist das optische Element der erfindungsgemäßen optischen Anordnung vorzugsweise ein Spiegel, insbesondere eine Spiegelfacette eines segmentierten Spiegels.
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Bei der erfindungsgemäßen optischen Anordnung kann durch die zumindest eine Fluidleitung ein Fluid, das eine Flüssigkeit, ein Gas, ein Gemisch aus Flüssigkeit und Gas, ein superkritisches Fluid sein kann, für Kühlzwecke in den zumindest einen Kanal zugeführt oder aus diesem entfernt werden. Das Fluid kann jedoch auch ein Steuerfluid für die Lage- und Formmanipulation des optischen Elements oder zur Erfassung bestimmter Parameter oder Betriebszustände des optischen Elements sein.
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Die zumindest eine Fluidleitung und/oder der zumindest eine innere Kanal an der Verbindungsschnittstelle kann bzw. können kreisförmig, elliptisch, rechteckig sein oder jede andere beliebige Querschnittsform aufweisen, wobei ein kreisförmiger Querschnitt bevorzugt ist.
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Außerdem kann zwischen dem optischen Element und der externen Fluidleitung eine Zugentlastung und zusätzliche Abdichtung der Verbindungsstelle zwischen der Fluidleitung und dem optischen Element vorgesehen sein.
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Weitere Vorteile und Merkmale ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung und der beigefügten Zeichnung.
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Es versteht sich, dass die vorstehend genannten und die nachstehend noch zu erläuternden Merkmale nicht nur in der jeweils angegebenen Kombination, sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstellung verwendbar sind, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen.
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Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden mit Bezug auf diese hiernach näher beschrieben. Es zeigen:
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1 schematisch und ausschnittsweise eine optische Anordnung für EUV-Anwendungen;
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2a) und b) die optische Anordnung in 1, wobei 2a) die optische Anordnung in einem ersten Schnitt und 2b) die optische Anordnung in einem zweiten Schnitt zeigt, der in einer Ebene genommen ist, die bezüglich der Schnittebene in 2a) um 90° gedreht ist, wobei 2a) und b) die optische Anordnung in einem Herstellungsstadium zeigen;
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3a) und b) die optische Anordnung in Darstellungen wie in 2a) und b), jedoch in einem weiteren Herstellungsstadium;
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4 einen Ausschnitt der optischen Anordnung in einer Darstellung ähnlich zu 2b) gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel;
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5 einen Ausschnitt der optischen Anordnung in einer Darstellung ähnlich wie in 2b) gemäß einem noch weiteren Ausführungsbeispiel; und
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6 einen Ausschnitt der optischen Anordnung in einer Darstellung ähnlich wie in 2b) gemäß einem noch weiteren Ausführungsbeispiel.
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In 1 ist eine mit dem allgemeinen Bezugszeichen 10 versehene optische Anordnung für EUV-Anwendungen gezeigt.
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Die Anordnung 10 weist ein optisches Element 12 auf, das als Spiegel, insbesondere Spiegelfacette eines segmentierten Spiegels, ausgebildet ist. Das optische Element 12 weist eine optisch wirksame, hier reflektierende Fläche 14 auf. In 2a) und b) ist ferner eine optisch wirksame Schicht 24 gezeigt, deren Oberfläche die reflektierende Fläche 14 bildet.
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Das optische Element 12 weist einen, in 1 mit unterbrochenen Linien angedeuteten inneren Kanal 16 auf. Es versteht sich, dass das optische Element 12 eine Vielzahl solcher innerer Kanäle 16 (2b)) aufweisen kann, die auch miteinander kommunizieren können.
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Der Kanal 16 wird im Betrieb der optischen Anordnung 10 von einem Fluid durchströmt.
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Das optische Element 12 weist in dem gezeigten Ausführungsbeispiel des Weiteren zwei weitere innere Kanäle 16a und 16b auf, die in den Kanal 16 münden.
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Über die Kanäle 16a und 16b steht das optische Element 12 fluidleitend mit zwei externen Fluidleitungen 18a und 18b in Verbindung.
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Ein jeweiliges Ende 20a bzw. 20b der Fluidleitungen 18a bzw. 18b ist mit dem optischen Element 12 an einer jeweiligen Verbindungsschnittstelle 22a bzw. 22b unmittelbar verbunden, wobei die Enden 20a, 20b der Fluidleitungen 18a, 18b mit dem optischen Element 12 an den Verbindungsschnittstellen durch ein Fügeverfahren gefügt sind, wie später noch beschrieben wird.
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Die Fluidleitung 18a kann beispielsweise zum Zuführen eines Fluides in den Kanal 16a und von diesem in den Kanal 16 dienen, während die Fluidleitung 18b beispielsweise zum Abführen von Fluid aus dem Kanal 16 und dem Kanal 16b dienen kann.
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Ein über die Fluidleitungen 18a, 18b zugeführtes bzw. abgeführtes Fluid kann ein Kühlfluid sein, das flüssig, gasförmig, ein Flüssigkeits-Gas-Gemisch, ein superkritisches Fluid sein kann. Das Fluid kann jedoch auch ein Steuerfluid für die Lage- und/oder Formmanipulation oder ein Fluid zum Erfassen von Parametern oder Betriebszuständen des optischen Elements 12 sein.
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Mit Bezug auf 2a), b) und 3a), b) wird nachfolgend beschrieben, wie die Fluidleitungen 18a und 18b mit dem optischen Element 12 gefügt sind bzw. gefügt werden.
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Nachfolgend wird nur die Verbindung der Fluidleitung 18a mit dem optischen Element 12 an der Verbindungsschnittstelle 22a beschrieben. Es versteht sich, dass die gleiche Beschreibung auch für die Verbindung der Fluidleitung 18b mit dem optischen Element 12 an der Verbindungsschnittstelle 22b gilt.
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In das optische Element 12 wird an der Verbindungsschnittstelle 22a zunächst eine sacklochartige Ausnehmung 26 eingebracht, die im Fall, dass das Ende 20a der Fluidleitung 18a zylindrisch ist, ebenfalls zylindrisch ausgebildet ist. Die Ausnehmung 26 kann durch ein geeignetes materialabtragendes Verfahren, beispielsweise Schneiden oder Bohren, in das optische Element 12 eingebracht werden.
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Nach dem Einbringen der Ausnehmung 26 ist der innere Kanal 16a des optischen Elements 12 in dem geteigten Ausführungsbeispiel des Verfahrens noch verschlossen, das heißt ein Ende 28 des inneren Kanals 16a ist von dem Hohlraum der Ausnehmung 26 noch durch einen Materialsteg 30 (siehe 2b)) getrennt.
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Anschließend wird das Ende 20a der Fluidleitung 18a in die Ausnehmung 26 eingesetzt, wie in 2a) und b) dargestellt ist.
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Danach wird das Ende 20a der Fluidleitung 18a an der Verbindungsschnittstelle 22a mit dem optischen Element 12 gefügt. Als Fügeverfahren wird hier insbesondere Löten oder Hartlöten verwendet.
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Beim Löten bzw. Hartlöten breitet sich flüssiges Lot in den wenn auch sehr geringen Spalt zwischen der Außenseite des Endes 20a der Fluidleitung 18a und der Innenseite der Ausnehmung 26 aus und kann dabei in die Mündung 32 (siehe 2a)) des Endes 20a der Fluidleitung 18a eindringen und die Mündung 32 dabei verschließen. Das Ende 20a der Fluidleitung 18a ist nun mit einer Umfangswand 34 der Ausnehmung 26 und einem Boden 36 der Ausnehmung 26 stoffschlüssig verbunden.
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Um eine fluidleitende Verbindung zwischen der Fluidleitung 18a und dem inneren Kanal 16a herzustellen, wird in einem nachfolgenden Schritt das Fügematerial, beispielsweise Lot, das beim Fügen die Mündung 32 der Fluidleitung 18a verschlossen hat, zumindest teilweise entfernt. In dem gezeigten Ausführungsbeispiel ist dies durch eine oder mehrere quer zur Längsrichtung der Fluidleitung 18a eingebrachte Bohrungen 38 realisiert, die von zumindest einer Seite 40 an der Verbindungsschnittstelle 22a her in das optische Element 12 eingebracht werden. In dem gezeigten Ausführungsbeispiel sind die Bohrungen 38 sogar als durchgehende Bohrungen ausgeführt, wie in 3b) veranschaulicht ist.
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Die seitlich offenen Enden der Bohrungen 38 werden anschließend mittels dem gleichen Fügematerial oder einem anderen Fügematerial oder einem Dichtmaterial wieder verschlossen, wie in 3b) mit Verschlüssen 42 und 44 veranschaulicht ist.
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Die Bohrungen 38 bilden nicht nur einen freien Fluiddurchgang durch die Mündung 32 des Endes 20a der Fluidleitung 18a, sondern die Bohrungen 38 durchbrechen auch den Materialsteg 30 zwischen dem Ende 28 der Fluidleitung 16a und der Ausnehmung 26, so dass nun eine fluidleitende Verbindung zwischen dem Ende 20a der Fluidleitung 18a und dem inneren Kanal 16a besteht.
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Das Ende 28 des inneren Kanals 16a kann in Abwandlung zu dem zuvor beschriebenen Ausführungsbeispiel auch bereits vor dem Fügen des Endes 20a der Fluidleitung 18a mit dem optischen Element 12 offen sein, insbesondere dann, wenn nicht die Gefahr besteht, dass das Ende 28 des inneren Kanals 16a durch den Fügeprozess verschlossen wird.
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Anstatt das Ende 20a der Fluidleitung 18a in einer Ausnehmung des optischen Elements 12 mit diesem zu fügen, ist es ebenso möglich, das Ende 20a der Fluidleitung 18a mit dem optischen Element 12 auf Stoß zu fügen, das heißt das Ende 20a wird stirnseitig gegen eine Außenseite 46 (1) des optischen Elements 12 im Bereich der Mündung des inneren Kanals 16a gesetzt und dort gefügt.
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Wie bereits zuvor erwähnt, ist es nicht unbedingt erforderlich, dass das Ende 28 des inneren Kanals 16a vor dem Fügen der Fluidleitung 18a an dem optischen Element 12 verschlossen ist. Das Ende 28 des inneren Kanals 16a kann vor dem Fügen vielmehr auch offen sein.
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4 und 6 zeigen Maßnahmen, die verhindern, dass Fügematerial beim Fügen des Endes 20a der Fluidleitung 18a mit dem optischen Element 12 in die Mündung 32 und/oder in den inneren Kanal 16a eindringt.
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Eine Ursache für das Eindringen von Fügematerial, beispielsweise Lot, in die Mündung 32 der Fluidleitung 18a oder den inneren Kanal 16a kann eine Kapillarwirkung in dem geringfügigen Spalt zwischen der Fluidleitung 18a und der Ausnehmung 26 sein.
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Durch Ausbildung geeigneter Strukturen an dem optischen Element 12 und/oder der Fluidleitung 18a kann eine solche Kapillarwirkung unterbunden werden.
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4 zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel einer Struktur 48, die als umfänglicher Einstich am Boden 36 der Ausnehmung 26 in das optische Element 12 eingebracht ist. Der Einstich vergrößert den Spalt zwischen der Außenseite des Endes 20a der Fluidleitung 18a und der Innenseite der Ausnehmung 26, so dass dort keine Kapillarwirkung und damit keine weitere Ausbreitung von Fügematerial während des Fügens auftritt.
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Alternativ zeigt 5 eine Maßnahme zur Unterbindung der Kapillarwirkung, indem das Ende 20a der Fluidleitung 18a vor dem Fügen mit dem optischen Element 12 nur so weit in die Ausnehmung 26 eingeschoben wird, dass ein äußerstes Ende 50 des Endes 20a der Fluidleitung 18a vom Boden 36 der Ausnehmung 26 noch so beabstandet ist, dass dort keine Kapillarwirkung auftritt.
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6 zeigt alternativ eine am optischen Element 12 ausgebildete Struktur, die als umfänglicher Vorsprung am Boden 36 der Ausnehmung 26 ausgebildet ist und als Barriere für das Fügematerial wirkt, so dass dieses nicht in die Mündung 32 und den inneren Kanal 16a des optischen Elements 12 beim Fügen eindringen kann.
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Die Fluidleitungen 18a und 18b weisen beispielsweise einen Außendurchmesser von weniger als 1 mm auf. Die inneren Kanäle 16a und 16b weisen in zumindest einer Dimension eine Abmessung von weniger als 2 mm auf. Diese Abmessung kann sogar weniger als 100 μm betragen. Das Gleiche gilt für den inneren Kanal 16.
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Die Querschnittsform der Fluidleitungen 18a, 18b ist vorzugsweise kreisförmig, kann jedoch ebenso elliptisch oder rechteckig sein oder jede andere beliebige Geometrie aufweisen. Das Gleiche gilt für die inneren Kanäle 16a, 16b und 16.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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