DE102012107966A1

DE102012107966A1 - Vaporizer device, used in coating plant for coating plate-like/band-shaped substrates e.g. glass panes, comprises vapor sources that is adapted for evaporation of coating material and connected vapor outlet and comprises vapor outlet tube

Info

Publication number: DE102012107966A1
Application number: DE201210107966
Authority: DE
Inventors: Carsten Deus; Frank Meissner; Jan Leupold; Jörk Richter; Ruben Seifert
Original assignee: Von Ardenne Anlagentechnik GmbH
Current assignee: Von Ardenne Asset GmbH and Co KG
Priority date: 2012-04-30
Filing date: 2012-08-29
Publication date: 2013-10-31

Abstract

The vaporizer device comprise vapor sources (1) for evaporation of a coating material. The vapor source is connected to a vapor outlet (5), and comprises a vapor outlet tube (5) with vapor exhaust openings space apart from each other. A vapor manifold is arranged between the vapor sources and vapor outlet tube, which is connected to vapor outlet tube by a vapor inlet (2) of vapor sources and a vapor communication port with vapor exhaust openings. A conductance of vapor manifold is greater than a conductance of the vapor outlet tube. The vaporizer device further comprises a vacuum chamber. The vaporizer device comprise vapor sources (1) for evaporation of a coating material. The vapor source is connected to a vapor outlet (5), and comprises a vapor outlet tube (5) with vapor exhaust openings space apart from each other. A vapor manifold is arranged between the vapor sources and vapor outlet tube, which is connected to vapor outlet tube by a vapor inlet (2) of vapor sources and a vapor communication port with vapor exhaust openings. A conductance of vapor manifold is greater than a conductance of the vapor outlet tube. The vaporizer device further comprises a vacuum chamber arranged in a coating plant for coating substrates (7). The vacuum chamber includes a transportation unit for transport of the substrates in a direction. A center axis of the vapor manifold and a central axis the vapor outlet tube are arranged such that the center axis of vapor outlet tube has a length greater than the center axis of the at vapor manifold and is offset in the substrate transport direction. A sum of a conductance (CA1) of the vapor communication port, conductance (CA2) of vapor exhaust openings and a sum of the conductance (CD1) of the vapor manifold and the conductance (CD2) of the vapor outlet tube in the direction are expressed as 1/(1/CA1 + 1/CA2) less than (CD1 + CD2)/20. A number of (NA1) of the vapor communication ports and the sum of the conductance CA2 of vapor exhaust openings and the conductance CD2 of the vapor outlet tube are expressed as CA2 greater than (NA1x NA1x CD2)/20. The vapor outlet tube is connected to vapor manifold by the vapor communication port. An independent claim is included for a cover evaporator system for producing mixtures of two materials.

Description

Die Erfindung betrifft eine Verdampfereinrichtung und ein Koverdampfersystem für eine Beschichtungsanlage, insbesondere eine lineare Verdampfereinrichtung zur Abscheidung beispielsweise organischer Substanzen auf großflächigen, beispielsweise plattenförmigen Substraten wie Glasscheiben oder dergleichen.The invention relates to an evaporator device and a Koverdampfersystem for a coating system, in particular a linear evaporator device for depositing, for example, organic substances on large-area, such as plate-shaped substrates such as glass or the like.

Thermische Linearverdampfer zur dynamischen Beschichtung von bewegten Bauteilen im Vakuum (insbesondere zum Verdampfen temperaturempfindlicher organischer Substanzen) sind bekannt. Ein wichtiges Ziel bei der Auslegung derartiger Verdampfungseinrichtungen ist die Erzielung einer hohen Dampfausbeute durch Einstellung eines geringen Verdampfer-Substrat-Abstandes insbesondere bei Koverdampfungsanordnungen, d.h. Verdampfungsanordnungen, bei denen zwei oder mehr unterschiedliche Materialien getrennt voneinander verdampft und in räumlicher Nähe zueinander auf das Substrat geleitet werden um Mischschichten aus den unterschiedlichen Materialien zu erzeugen.Thermal linear evaporators for dynamic coating of moving components in a vacuum (in particular for evaporating temperature-sensitive organic substances) are known. An important goal in the design of such evaporators is to achieve a high vapor yield by adjusting a small evaporator-substrate spacing, especially in co-vapor deposition arrangements, i. Evaporator assemblies in which two or more different materials are vaporized separately and conducted in close proximity to each other on the substrate to produce mixed layers of the different materials.

Allgemeiner Stand der Technik von Düsenrohrverdampfern sind Verdampfereinrichtungen zur Beschichtung von Substraten im Vakuum durch thermische Verdampfung mit einem Dampfverteiler in Form eines Düsenrohrs. Dabei erfolgt die Dampferzeugung in einer Dampferzeugungsbaugruppe, die auf eine Dampferzeugungstemperatur erhitzt wird, um das enthaltene Material zu verdampfen. Die Dampferzeugungsbaugruppe kommuniziert dampfleitend mit dem Dampfverteiler (zum Beispiel einem Düsenrohr). Der Dampfverteiler ist heizbar und wird während des Betriebs auf eine Temperatur über der Kondensationstemperatur des erzeugten Dampfes erhitzt.General state of the art of jet tube evaporators are evaporator devices for coating substrates in vacuum by thermal evaporation with a steam distributor in the form of a nozzle tube. In this case, the steam generation takes place in a steam generating assembly, which is heated to a steam generation temperature in order to evaporate the material contained. The steam generator module communicates vapor-conducting with the steam distributor (for example a nozzle tube). The steam distributor is heatable and is heated during operation to a temperature above the condensation temperature of the generated steam.

Derartige Verdampfungseinrichtungen sind unter anderem beschrieben in EP 1 443 127 B1 (SDT1), J.M. Grace, D.R. Freeman, and N.P. Redden, Eastman Kodak Company, Rochester, NY; and J. Klug, Deutsche Bank AG, New York, NY: Scale-up of Thermal Evaporation Processes for Large-Area Coatings of “Small Molecule” Organic Light-Emitting Diode Materials, 2006 Society of Vacuum Coaters 505/856–7188, 49th Annual Technical Conference Proceedings (2006) ISSN 0737–5921 (SDT2) und DE 10 2010 041 376 A1 (SDT3), die eine Verdampfungsvorrichtung mit einem unrunden Düsenrohr sowie eine Koverdampferanordnung mit geringem Verdampfer-Substrat-Abstand beschreibt. Die dort beschriebene Anordnung hat den Nachteil, dass Düsenrohre mit einer von der Kreiszylinderform abweichenden Grundform schwierig zu fertigen sind, insbesondere wenn sie aus nichtmetallischen Materialien wie Quarzglas, Glas, Keramik usw. bestehen sollen.Such evaporation devices are described inter alia in EP 1 443 127 B1 (SDT1), JM Grace, DR Freeman, and NP Redden, Eastman Kodak Company, Rochester, NY; and J. Klug, Deutsche Bank AG, New York, NY: Scale-up of Thermal Evaporation Processes for Large-Area Coatings of "Small Molecule" Organic Light-Emitting Diode Materials, 2006 Society of Vacuum Coaters 505 / 856-7188, 49th Annual Technical Conference Proceedings (2006) ISSN 0737-5921 (SDT2) and DE 10 2010 041 376 A1 (SDT3), which describes an evaporator with a non-circular nozzle tube and a Koverdampferanordnung with low evaporator-substrate spacing. The arrangement described there has the disadvantage that nozzle tubes are devoid of a deviating from the circular cylindrical shape basic shape, especially if they are to consist of non-metallic materials such as quartz glass, glass, ceramics, etc.

Folgende bekannten Randbedingungen sind bei der Auslegung von Dampfverteilern zu beachten:

a) Bei der geometrischen Auslegung von Dampfverteilern müssen, wie z.B. in SDT1 und SDT2 dargelegt, bestimmte Relationen zwischen Dampfleitwerten beachtet werden. So ist das Verhältnis des Leitwertes CB des Verteilervolumens (Düsenrohres) in dessen Längsrichtung zum Summenleitwert CA aller Düsenöffnungen d.h. der Quotient CA/CB, möglichst klein zu wählen, z.B. kleiner als 1/20, um den Druckabfall im Düsenrohr in Längsrichtung möglichst klein, z.B. unter ca. 5%, zu halten. Ein geringer Druckabfall in der Düsenrohrlängsrichtung ist wichtig, um eine hohe Homogenität der Beschichtungsrate in der Düsenrohrlängsausdehnung (d.h. in der Richtung quer zur Substrattransportrichtung) einzuhalten. Hier gilt in erster Näherung, dass die relative Rateschwankung entlang der Düsenrohrrichtung etwa dem Quotienten CA/CB entspricht. Das Patent SDT1 beansprucht für den Quotienten CA/CB den Bereich CA/CB < = 0,5. SDT1 und SDT2 beschäftigen sich nicht mit Implikationen eines möglichst kleinen Leitwertquotienten auf sonstige Eigenschaften des Verdampfers oder auf die Ausgestaltung einer Koverdampferanordnung.
b) Die Summe der Düsenöffnungsleitwerte CA bestimmt andererseits den der Verdampfung entgegenstehenden Widerstand und limitiert dadurch die bei einer bestimmten Verdampfungstemperatur und dem der Temperatur korrespondierendem Dampfdruck die Bedampfungsrate. Um bei möglichst geringen Verdampfungstemperaturen eine möglichst hohe Beschichtungsrate zu erreichen, ist dieser Düsensummenleitwert CA möglichst hoch zu wählen.
c) Bei Koverdampfern in Form von zwei parallel angeordneten Düsenrohren ist weiterhin ein möglichst geringer Abstand zwischen den Düsenreihen der beiden Einzelverdampfer vorteilhaft, da dadurch eine homogene Durchmischung der Dampfwolken am Ort des Substrates erreicht werden kann. Insbesondere kann der Verdampfer-Substrat-Abstand nicht wesentlich kleiner als der Abstand der Düsenreihen gewählt werden, wenn eine effektive Durchmischung der beiden Dampfkeulen am Substratort erreicht werden soll. Ein geringer Verdampfer-Substrat-Abstand ist jedoch seinerseits vorteilhaft, da dadurch eine höhere Dampfausnutzung erreicht wird (Dampfausnutzung = vom Substrat absorbierte Dampfmenge in Relation zur verdampften Menge).

The following known boundary conditions must be considered when designing steam distributors:

a) In the geometrical design of steam distributors, as shown for example in SDT1 and SDT2, certain relations between vapor conductance values must be taken into account. Thus, the ratio of the conductance CB of the distribution volume (nozzle tube) in the longitudinal direction to the sum CA of all nozzle openings ie the quotient CA / CB, to choose as small as possible, for example less than 1/20 to the pressure drop in the nozzle tube in the longitudinal direction as small as possible, eg less than 5%. A small pressure drop in the nozzle tube longitudinal direction is important in order to maintain a high homogeneity of the coating rate in the nozzle tube longitudinal extent (ie in the direction transverse to the substrate transport direction). Here, in a first approximation, the relative rate fluctuation along the nozzle tube direction approximately corresponds to the quotient CA / CB. The patent SDT1 claims the range CA / CB <= 0.5 for the quotient CA / CB. SDT1 and SDT2 are not concerned with the implications of the smallest possible conductance quotient on other properties of the evaporator or on the design of a co-evaporator arrangement.
b) On the other hand, the sum of the nozzle opening conductances CA determines the resistance to evaporation and thereby limits the vapor pressure corresponding to the vaporization temperature and temperature. In order to achieve the highest possible coating rate at the lowest possible evaporation temperatures, this nozzle sum conductance CA should be as high as possible.
c) In Koverdampfern in the form of two parallel nozzle tubes is still the smallest possible distance between the rows of nozzles of the two single evaporator advantageous because a homogeneous mixing of the vapor clouds at the site of the substrate can be achieved. In particular, the evaporator-substrate distance can not be chosen substantially smaller than the distance of the nozzle rows, if an effective mixing of the two vapor lobes is to be achieved at the substrate location. However, a low evaporator-substrate distance is in turn advantageous, since thereby a higher steam utilization is achieved (steam utilization = absorbed by the substrate amount of steam in relation to the evaporated amount).

Die drei Ziele a), b) und c) sind nicht ohne weiteres gleichzeitig zu erfüllen, da ein nach b) gewählter hoher Düsensummenleitwert laut a) einen großen Längs-Leitwert des Dampfverteilers erfordert, was wiederum einen hohen geometrischen Querschnitt des Dampfverteilers und damit entsprechend große geometrische Abmessungen desselben erfordert, was einer engen Nachbarbeziehung der Düsenreihen von im Koverdampfer benachbart angeordneten Einzelverdampfern entgegensteht, insbesondere wenn jeder der Dampfverteiler die einfach zu fertigende Form eines zylindrischen Rohres aufweist. SDT3 versucht, die genannten Bedingungen a) bis c) gleichzeitig zu optimieren und greift dafür auf eine von der Kreiszylinderform abweichende Gestaltung des Dampfverteilers auf. Diese Lösung hat den Nachteil, dass nichtzylindrische hohle Bauteile insbesondere aus inerten chemischen Materialien, welche für die mit reaktiven Organikdämpfen in Kontakt stehenden heißen Bauteilen vorteilhaft eingesetzt werden, nur sehr schwierig und mit hohen Kosten zu fertigen sind.The three objectives a), b) and c) are not readily met simultaneously, since a selected according to b) high nozzle sum conductance according to a) requires a large longitudinal conductance of the steam distributor, which in turn has a high geometric cross-section of the steam distributor and thus large geometric dimensions of the same requires what precludes a close neighbor relationship of the nozzle rows of individual evaporators arranged adjacent to the co-evaporator, in particular if each of the steam distributors has the easy-to-manufacture form of a cylindrical tube. SDT3 tries to optimize the mentioned conditions a) to c) at the same time and therefore relies on a design of the steam distributor deviating from the circular cylinder shape. This solution has the disadvantage that non-cylindrical hollow components, in particular those made of inert chemical materials, which are advantageously used for the hot components in contact with reactive organic vapors, are very difficult and expensive to manufacture.

Ziel der vorliegende Erfindung ist die Gestaltung eines Dampfverteilersystems (Düsenrohres) eines Düsenrohr-Linearverdampfers unter gleichzeitiger Optimierung der Verdampfergeometrie nach den oben genannten Kriterien a) bis c), die auch unter ausschließlicher Verwendung einfach zu fertigender, im wesentlichen kreiszylindrischer Grundformen herstellbar ist.The aim of the present invention is the design of a steam distribution system (nozzle tube) of a nozzle tube linear evaporator with simultaneous optimization of the evaporator geometry according to the above criteria a) to c), which can be produced even with the exclusive use of easy to produce, essentially circular cylindrical basic forms.

Dazu wird zunächst bei einer an sich bekannten Verdampfereinrichtung für eine Beschichtungsanlage zur Beschichtung plattenförmiger oder bandförmiger Substrate, die eine Dampfquelle zur Verdampfung eines Beschichtungsmaterials und einen mit der Dampfquelle verbundenen Dampfauslass umfasst, der mindestens ein Dampfauslassrohr mit einer Mehrzahl von beabstandet zueinander angeordneten Dampfauslassöffnungen aufweist, vorgeschlagen, dass zwischen der Dampfquelle und dem mindestens einen Dampfauslassrohr mindestens ein Dampfverteilerrohr angeordnet ist, welches durch mindestens eine Dampfeinlassöffnung mit der Dampfquelle und durch mindestens eine Dampfverbindungsöffnung mit dem mindestens einen Dampfauslassrohr verbunden ist.This is first proposed in a per se known evaporator device for a coating system for coating plate-shaped or strip-shaped substrates, comprising a vapor source for evaporation of a coating material and connected to the steam source steam outlet having at least one steam outlet pipe with a plurality of mutually spaced vapor outlet openings proposed in that at least one steam distribution pipe is arranged between the steam source and the at least one steam outlet pipe and is connected to the steam source through at least one steam inlet opening and to the at least one steam outlet pipe through at least one steam connection opening.

Beispielsweise kann vorgesehen sein, dass zwischen der Dampfquelle und dem mindestens einen Dampfauslassrohr mindestens ein Dampfverteilerrohr angeordnet ist, welches durch mindestens eine Dampfeinlassöffnung mit der Dampfquelle verbunden ist, mindestens zwei Dampfverbindungsöffnungen aufweist und durch jede der mindestens zwei Dampfverbindungsöffnungen mit mindestens einem Dampfauslassrohr verbunden ist.For example, it can be provided that at least one steam distribution pipe is arranged between the steam source and the at least one steam outlet pipe, which has at least two steam connection openings through at least one steam inlet opening and is connected to at least one steam outlet pipe through each of the at least two steam connection openings.

Mit anderen Worten wird zwischen der Dampfquelle und dem Dampfauslassrohr vorschlagsgemäß ein Dampfverteilerrohr eingefügt, das sowohl mit der Dampfquelle als auch mit dem Dampfauslassrohr dampfleitend kommuniziert. Der von der Dampfquelle erzeugte Beschichtungsmaterialdampf tritt zunächst durch mindestens eine Dampfeinlassöffnung in das Dampfverteilerrohr ein und verteilt sich darin. Der so über die gesamte Länge des Dampfverteilerrohrs verteilte Dampf tritt anschließend durch mindestens eine Dampfverbindungsöffnung in das mindestens eine Dampfauslassrohr ein und wird anschließend durch eine Anordnung von Dampfauslassöffnungen freigesetzt. Da derartige Verdampfereinrichtungen zweckmäßigerweise unterhalb einer zu beschichtenden Substratoberfläche angeordnet werden, schlägt sich der Beschichtungsmaterialdampf anschließend auf der zu beschichtenden Substratoberfläche nieder.In other words, between the steam source and the steam outlet pipe, according to the proposal, a steam distribution pipe is inserted, which communicates with both the steam source and the steam outlet pipe vapor-conducting. The coating material vapor generated by the vapor source first enters and distributes into the vapor manifold through at least one vapor inlet port. The steam thus distributed over the entire length of the steam distribution pipe then enters the at least one steam outlet pipe through at least one steam connection opening and is subsequently released by an arrangement of steam outlet openings. Since such evaporator devices are expediently arranged below a substrate surface to be coated, the coating material vapor subsequently settles on the substrate surface to be coated.

Die hier verwendeten Begriffe „Dampfverteilerrohr“ und „Dampfauslassrohr“ sind weit auszulegen und nicht etwa auf zylindrische Bauteile beschränkt. Zwar wird durch den beschriebenen kaskadierten Aufbau der Verdampfungseinrichtung die Verwendung einfach und kostengünstig herstellbarer zylindrischer Rohre ermöglicht, weil es möglich ist, mehrere Dampfauslassrohre sehr nahe beieinander zu positionieren. Es versteht sich jedoch von selbst, dass die beschriebene Verdampfereinrichtung auch unter Verwendung andersartig geformter Bauteile, beispielsweise wie in DE 10 2010 041 376 A1 beschrieben, immer noch mit Vorteil anwendbar ist, weshalb auch derartige Ausführungen vom beanspruchten Gegenstand mit umfasst sein sollen.The terms "steam distribution pipe" and "steam outlet pipe" used here are to be interpreted broadly and not limited to cylindrical components. Although the described cascaded construction of the evaporation device allows the use of simple and inexpensive manufacturable cylindrical tubes, because it is possible to position several steam outlet pipes very close to each other. However, it goes without saying that the described evaporator device also using differently shaped components, for example as in DE 10 2010 041 376 A1 described, is still applicable with advantage, which is why such embodiments of the claimed subject matter should be included.

Im einfachsten Fall sind ein Dampfverteilerrohr und ein Dampfauslassrohr vorhanden, die zweckmäßigerweise gleich lang und jeweils mindestens so lang sind, wie das Substrat breit ist. In diesem Fall ist es zweckmäßig, dass das Dampfverteilerrohr und das Dampfauslassrohr über mehrere, also mindestens zwei, Dampfverbindungsöffnungen miteinander verbunden sind, um den Effekt der Verteilung des Dampfes über die ganze Länge des Dampfverteilerrohres bestmöglich auszunutzen. Die Dampfverbindungsöffnungen können dabei, ebenso wie die Dampfeinlassöffnung von der Dampfquelle zum Dampfverteilerrohr, beispielsweise als kurze, die beiden jeweiligen Komponenten verbindende Rohrabschnitte ausgeführt sein.In the simplest case, a steam distribution pipe and a steam outlet pipe are present, which are suitably the same length and each at least as long as the substrate is wide. In this case, it is expedient that the steam distribution pipe and the steam outlet pipe are connected to one another via a plurality of, thus at least two, steam connection openings in order to make the best possible use of the effect of distributing the steam over the entire length of the steam distribution pipe. The vapor connection openings may, as well as the steam inlet opening from the steam source to the steam distribution pipe, for example, be designed as a short, the two respective components connecting pipe sections.

Die vorgeschlagene Verdampfereinrichtung kann in einer Beschichtungsanlage zur Beschichtung plattenförmiger oder bandförmiger Substrate angeordnet werden, die eine Vakuumkammer mit einer Transporteinrichtung zum horizontalen Transport plattenförmiger Substrate in einer Transportrichtung unterhalb der Transporteinrichtung umfasst, wobei die Verdampfereinrichtung vorteilhaft so angeordnet ist, dass das mindestens eine Dampfverteilerrohr und das mindestens eine Dampfauslassrohr in der Nähe der transportierten Substrate so angeordnet ist, dass das mindestens eine Dampfverteilerrohr und das mindestens eine Dampfauslassrohr mit ihrer Längsachse jeweils etwa parallel zur Substratfläche und etwa quer zur Transportrichtung ausgerichtet sind und die Dampfauslassöffnungen der zu beschichtenden Seite des Substrats zugewandt sind.The proposed evaporator device can be arranged in a coating system for coating plate-shaped or strip-shaped substrates comprising a vacuum chamber with a transport device for horizontal transport plate-shaped substrates in a transport direction below the transport device, wherein the evaporator device is advantageously arranged so that the at least one steam distribution pipe and the at least one steam outlet pipe in the vicinity of the transported substrates is arranged so that the at least one steam distribution pipe and the at least one steam outlet pipe with its longitudinal axis in each case approximately parallel to the substrate surface and approximately transversely to the transport direction are aligned and the steam outlet openings facing the side to be coated of the substrate.

Eine konkrete Ausgestaltung in einer Beschichtungsanlage, in der Substrate horizontal transportiert werden, kann darin bestehen, dass das mindestens eine Dampfverteilerrohr und das mindestens eine Dampfauslassrohr jeweils horizontal und quer zur Transportrichtung ausgerichtet sind und die Dampfauslassöffnungen der Unterseite des Substrats zugewandt sind.A concrete embodiment in a coating system, in which substrates are transported horizontally, may consist in that the at least one steam distribution pipe and the at least one steam outlet pipe are each aligned horizontally and transversely to the transport direction and the steam outlet openings facing the underside of the substrate.

Die Beschichtung plattenförmiger Substrate ist beispielhaft zu verstehen, die vorgeschlagene Lösung eignet sich gleichermaßen zur flächigen Beschichtung anderer Substrate, zum Beispiel von Bändern oder von in einem Carrier flächig angeordnetem Stückgut.The coating of plate-shaped substrates is to be understood by way of example, the proposed solution is equally suitable for the surface coating of other substrates, for example of tapes or of flatly arranged in a carrier cargo.

Die hier gemachten Angaben zur horizontalen Orientierung der Substrate mit der zu beschichtenden unteren Seite sind ebenfalls nur beispielhaft, analoge Lösungen können auch für Substrate beliebiger räumlicher Orientierung angewendet werden, indem das mindestens eine Dampfverteilerrohr in seiner Längserstreckung etwa parallel zur Substratoberfläche und quer zur Substrattransportrichtung angeordnet wird.The information given here for the horizontal orientation of the substrates with the lower side to be coated are also only exemplary, analogous solutions can also be applied to substrates of any spatial orientation by the at least one steam distribution tube is arranged in its longitudinal extent approximately parallel to the substrate surface and transversely to the substrate transport direction ,

Die sich damit über die ganze Substratbreite erstreckende Anordnung von Dampfauslassöffnungen sorgt dadurch für eine gleichmäßige Beschichtung der gesamten Substratoberfläche, wenn das Substrat in der Transportrichtung an der Verdampfereinrichtung vorbei bewegt wird. Es versteht sich dabei von selbst, dass auch mehrere der beschriebenen Anordnungen von Dampfquelle, Dampfverteilerrohr(en) und Dampfauslassrohr(en) zu einer Verdampfereinrichtung vereinigt werden können, um beispielsweise Mischschichten herzustellen. In gleicher Weise können in ein und derselben Anlage mehrere derartige Verdampfereinrichtungen mit größerem Abstand hintereinander angeordnet sein, um beispielsweise ein Schichtsystem verschiedener Beschichtungsmaterialien auf dem Substrat zu erzeugen.The arrangement of vapor outlet openings thus extending over the entire width of the substrate thereby ensures a uniform coating of the entire substrate surface when the substrate is moved past the evaporator device in the transport direction. It goes without saying that also several of the described arrangements of steam source, steam distribution pipe (s) and steam outlet pipe (s) can be combined to form an evaporator device, for example to produce mixed layers. In the same way, a plurality of such evaporator devices can be arranged one behind the other with a greater distance in one and the same system, in order for example to produce a layer system of different coating materials on the substrate.

In einer Ausgestaltung ist vorgesehen, dass die Mittelachse des mindestens einen Dampfverteilerrohres und die Mittelachse des mindestens einen Dampfauslassrohres so angeordnet sind, dass die Mittelachse des mindestens einen Dampfverteilerrohres einen größeren Abstand zum Substrat und einen seitlichen Versatz in Substrattransportrichtung relativ zur Mittelachse des mindestens einen Dampfauslassrohres aufweist. In one embodiment, it is provided that the central axis of the at least one steam distribution pipe and the center axis of the at least one steam outlet pipe are arranged such that the central axis of the at least one steam distribution pipe has a greater distance from the substrate and a lateral offset in the substrate transport direction relative to the central axis of the at least one steam outlet pipe ,

Eine konkrete Ausgestaltung in einer Beschichtungsanlage, in der Substrate horizontal transportiert werden, kann darin bestehen, dass das mindestens eine Dampfverteilerrohr senkrecht über der Dampfquelle angeordnet ist und das mindestens eine Dampfauslassrohr relativ zu der Anordnung von Dampfquelle und Dampfverteilerrohr versetzt angeordnet ist.A concrete embodiment in a coating system in which substrates are transported horizontally may consist in that the at least one steam distribution pipe is arranged vertically above the steam source and the at least one steam outlet pipe is arranged offset relative to the arrangement of steam source and steam distribution pipe.

Durch die zueinander senkrechte Anordnung von Dampfquelle und Dampfverteilerrohr wird ein in der Transportrichtung der Substrate gesehen kurzer Aufbau der Verdampfereinrichtung erreicht, während durch die relativ dazu versetzte Anordnung des Dampfauslassrohrs eine räumlich enge Anordnung zweier in der Transportrichtung gesehen hintereinander angeordneter Dampfauslassrohre erzielt werden kann.Due to the mutually perpendicular arrangement of steam source and steam distribution pipe seen in the transport direction of the substrates short construction of the evaporator device is achieved while the spatially close arrangement of two viewed in the transport direction successively arranged Dampfauslassrohre can be achieved by the relatively staggered arrangement of the Dampfauslassrohrs.

Für eine möglichst hohe Gleichmäßigkeit der Dampfverteilung auf dem Weg von der Dampfquelle zu den Dampfauslassöffnungen ist die Verdampfereinrichtung vorteilhaft so gestaltet, dass für den Leitwert CD1 des Dampfverteilerrohrs D1 und für den Leitwert CD2 des Dampfauslassrohrs D2 in der Richtung ihrer jeweils größten Ausdehnung die Relation CD1 > 2·CD2 gilt: CD₁ > 2·CD₂ For the highest possible uniformity of the steam distribution on the way from the steam source to the steam outlet openings, the evaporator device is advantageously designed so that the relative CD1 of the steam distributor tube D1 and the guide value CD2 of the steam outlet tube D2 in the direction of their respective greatest extent 2 · CD2 applies: CD ₁ > 2 · CD ₂

Demselben Zweck dient eine Ausgestaltung, bei der für den Summenleitwert CA1 der Dampfverbindungsöffnungen A1 und den Summenleitwert CA2 der Dampfauslassöffnungen A2 und für den Leitwert CD1 des Dampfverteilerrohrs D1 und für den Leitwert CD2 des Dampfauslassrohrs D2 in der Richtung ihrer jeweils größten Ausdehnung die Relation 1/(1/CA1 + 1/CA2) < (CD1 + CD2)/20 gilt:

The same purpose is served by an embodiment in which the relation 1 / (for the total conductance CA1 of the steam connection openings A1 and the sum master value CA2 of the steam outlet openings A2 and for the conductance CD1 of the steam distribution pipe D1 and for the conductance CD2 of the steam outlet pipe D2 in the direction of their respectively greatest extent. 1 / CA1 + 1 / CA2) <(CD1 + CD2) / 20 applies:

Weiter vorteilhaft kann die Verdampfereinrichtung so ausgestaltet sein, dass für die Anzahl NA1 der Dampfverbindungsöffnungen A1 und den Summenleitwert CA2 der Dampfauslassöffnungen A2 und für den Leitwert CD2 des Dampfauslassrohrs D2 in der Richtung seiner größten Ausdehnung die Relation CA2 < (NA1·NA1·CD2)/20 gilt:

Further advantageously, the evaporator device can be configured such that the ratio CA2 <(NA1 · NA1 · CD2) / for the number NA1 of the steam connection openings A1 and the mean conductivity CA2 of the steam outlet openings A2 and for the conductance CD2 of the steam outlet pipe D2 in the direction of its greatest expansion / 20 applies:

Gemäß einer weiteren Ausgestaltung ist die Verdampfereinrichtung so ausgestaltet, dass für den Summenleitwert CA1 der Dampfverbindungsöffnungen A1 und den Summenleitwert CA2 der Dampfauslassöffnungen A2 die Relation CA1 > 2·CA2 gilt: CA₁ > 2·CA₂ According to a further embodiment, the evaporator device is designed such that the relationship CA1> 2 * CA2 applies to the sum-conductance CA1 of the steam connection openings A1 and the sum-value conductance CA2 of the steam outlet openings A2: CA ₁ > 2 · CA ₂

Gemäß einer weiteren Ausgestaltung ist vorgesehen, dass mindestens zwei Dampfauslassrohre D2 durch jeweils mindestens eine Dampfverbindungsöffnung mit dem mindestens einen Dampfverteilerrohr D1 verbunden sind. Bei dieser Ausgestaltung können beispielsweise einem Dampfverteilerrohr zwei oder mehrere Dampfauslassrohre, die dann jeweils kürzer sind als das Dampfverteilerrohr, zugeordnet sein und mit diesem Dampfverteilerrohr durch mindestens je eine Dampfverbindungsöffnung dampfleitend verbunden sein. Mit anderen Worten ist bei dieser Ausgestaltung des vorgeschlagenen Verdampfereinrichtung vorgesehen, dass das Dampfauslassrohr D2 in mehrere Einzelabschnitte unterteilt ist, welche jeweils über mindestens eine Verbindungsöffnung mit dem Dampfverteilerrohr D1 kommunizieren, wobei benachbarte Abschnitte des Dampfauslassrohrs D2 entweder vollständig voneinander getrennt sind, also untereinander nicht dampfleitend kommunizieren, oder über benachbarte Stirnflächen untereinander dampfleitend kommunizieren. According to a further embodiment, it is provided that at least two steam outlet pipes D2 are connected by at least one steam connection opening to the at least one steam distribution pipe D1. In this embodiment, for example, a steam distribution pipe, two or more steam outlet pipes, which are then each shorter than the steam distribution pipe, be assigned and connected to this steam distribution pipe through at least one vapor connection opening vapor-conducting. In other words, in this embodiment of the proposed evaporator device it is provided that the steam outlet pipe D2 is subdivided into a plurality of individual sections which communicate with the steam distribution pipe D1 via at least one connection opening, whereby adjacent sections of the steam outlet pipe D2 are either completely separated from each other, ie not vapor conducting with each other communicate, or communicate with each other via adjacent faces vapor-conducting.

In einer weiteren Ausgestaltung ist vorgesehen, dass das mindestens eine Dampfverteilerrohr und/oder das mindestens eine Dampfauslassrohr auf Temperaturen über dem Kondensationspunkt des Beschichtungsmaterialdampfes beheizbar sind. Die Beheizung kann dabei durch an dem Dampfverteilerrohr und/oder dem Dampfauslassrohr angebrachte Heizelemente, durch in das Dampfverteilerrohr und/oder das Dampfauslassrohr eingebettete Heizelemente oder durch direkten Stromdurchfluss durch das Dampfverteilerrohr und/oder das Dampfauslassrohr erfolgen. Vorteilhaft werden die Dampfverteilersysteme D1 und D2 während des Betriebs auf Temperaturen über dem Kondensationspunkt des Dampfes aufgeheizt, um das Absetzen von Schichten im Innern wirksam zu verhindern.In a further embodiment, it is provided that the at least one steam distribution pipe and / or the at least one steam outlet pipe can be heated to temperatures above the condensation point of the coating material vapor. The heating can be effected by heating elements attached to the steam distribution pipe and / or the steam outlet pipe, by heating elements embedded in the steam distribution pipe and / or the steam outlet pipe, or by direct flow of current through the steam distribution pipe and / or the steam outlet pipe. Advantageously, the steam distribution systems D1 and D2 are heated during operation to temperatures above the condensation point of the steam in order to effectively prevent the deposition of layers in the interior.

Wie oben bereits angedeutet kann die beschriebene Verdampfereinrichtung zur Bildung eines Koverdampfersystems zum Herstellen von Mischschichten aus mindestens zwei Materialien verwendet werden, welches mindestens zwei benachbart zueinander angeordnete Verdampfereinrichtungen mit jeweils mindestens einer Dampfquelle und mindestens einem Dampfauslassrohr umfasst, wobei mindestens eine Verdampfereinrichtung neben einer Dampfquelle und mindestens einem Dampfauslassrohr zusätzlich ein dazwischen angeordnetes Dampfverteilerrohr aufweist sowie gegebenenfalls weitere der oben beschriebenen Merkmale aufweist.As already indicated above, the described evaporator device can be used to form a co-vaporiser system for producing mixed layers of at least two materials, which comprises at least two evaporator devices arranged adjacent to each other, each having at least one steam source and at least one steam outlet pipe, wherein at least one evaporator device next to a steam source and at least a steam outlet pipe additionally has a steam distribution pipe arranged therebetween and optionally has further of the features described above.

In einer Ausgestaltung eines derartigen Koverdampfersystems kann weiterhin vorgesehen sein, dass die zu beschichtende Substratbreite größer als 400mm ist, der Abstand der Dampfauslassöffnungen vom Substrat kleiner als 100mm ist und der Abstand zweier benachbarter Anordnungen von Dampfauslassöffnungen der mindestens zwei Verdampfereinrichtungen kleiner als 100mm ist.In one embodiment of such a Koverdampfersystems can further be provided that the substrate width to be coated is greater than 400mm, the distance of the Dampfauslassöffnungen from the substrate is less than 100mm and the distance between two adjacent arrangements of steam outlet openings of the at least two evaporator devices is less than 100mm.

Schließlich kann bei einem derartigen Koverdampfersystem vorgesehen sein, dass zwischen den mindestens zwei Verdampfereinrichtungen untereinander und zwischen den Verdampfereinrichtungen und dem Substrat Blenden angeordnet sind, die als thermische Abschirmungen der einzelnen Komponenten untereinander wirken können oder/und definierte Teile der emittierten Dampfströme absorbieren können.Finally, it may be provided in such a Koverdampfersystem that between the at least two evaporator devices with each other and between the evaporator means and the substrate screens are arranged, which can act as thermal shields of the individual components with each other and / or can absorb defined parts of the emitted vapor streams.

Zur Herstellung des beschriebenen Dampfverteilersystems können vorteilhaft kostengünstige Rohre mit kreisrundem Querschnitt verwendet werden, so dass die Dampfverteilersysteme D1 und D2 jeweils im Wesentlichen die äußere Form eines Kreiszylinders aufweisen. For the production of the described steam distribution system advantageously inexpensive tubes can be used with a circular cross section, so that the steam distribution systems D1 and D2 each have substantially the outer shape of a circular cylinder.

Weiterhin vorteilhaft können die Dampfverteilersysteme D1 und D2 aus chemisch inerten, insbesondere glasartigen oder keramischen Materialien hergestellt werden. Bevorzugt werden für die Dampfverteilersysteme D1 und D2 Materialien verwendet, welche eine Wärmeleitfähigkeit größer als 50 W/mK aufweisen.Further advantageously, the steam distribution systems D1 and D2 can be produced from chemically inert, in particular glassy or ceramic materials. Preferably, materials are used for the steam distribution systems D1 and D2, which have a thermal conductivity greater than 50 W / mK.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen und zugehörigen Zeichnungen näher erläutert. Dabei zeigenThe invention will be explained in more detail with reference to embodiments and accompanying drawings. Show

1 den prinzipiellen Aufbau einer Verdampfereinrichtung mit kaskadiertem Dampfverteilersystem, 1 the basic structure of an evaporator device with cascaded steam distribution system,

2 eine kaskadierte Verdampfereinrichtung mit in mehrere Einzelabschnitte unterteiltem Dampfauslassrohr, 2 a cascaded evaporator device with divided into several individual sections steam outlet pipe,

3 einen Querschnitt einer Koverdampferanordnung mit zwei kaskadierten Verdampfereinrichtungen, mit geringem Abstand der Dampfaustrittsöffnungen zwischen linkem und rechtem Verdampfer und dadurch ermöglichtem geringem Verdampfer-Substrat-Abstand, und 3 a cross section of a Koverdampferanordnung with two cascaded evaporator devices, with a small distance of the steam outlet openings between the left and right evaporator and thereby allowed low evaporator-substrate distance, and

4 einen Querschnitt einer Koverdampferanordnung mit einer kaskadierten Verdampfereinrichtung in Kombination mit einer Verdampfereinrichtung nach dem Stand der Technik. 4 a cross section of a Koverdampferanordnung with a cascaded evaporator device in combination with a vaporizer device according to the prior art.

In 1 ist eine Verdampfereinrichtung für eine Beschichtungsanlage zur Beschichtung plattenförmiger Substrate dargestellt, die eine Dampfquelle 1 zur Verdampfung eines Beschichtungsmaterials und einen mit der Dampfquelle 1 verbundenen Dampfauslass umfasst, der ein Dampfauslassrohr 5 mit einer Mehrzahl von beabstandet zueinander angeordneten Dampfauslassöffnungen 6 umfasst, wobei zwischen der Dampfquelle 1 und dem Dampfauslassrohr 5 ein Dampfverteilerrohr 3 angeordnet ist, welches durch eine Dampfeinlassöffnung 2 mit der Dampfquelle 1 und durch sechs Dampfverbindungsöffnungen 4 mit dem Dampfauslassrohr 5 verbunden ist.In 1 an evaporator device for a coating system for coating plate-shaped substrates is shown, which is a vapor source 1 for evaporation of a coating material and one with the vapor source 1 connected steam outlet, which includes a steam outlet pipe 5 with a plurality of spaced apart vapor outlet openings 6 includes, being between the steam source 1 and the steam outlet pipe 5 a steam distribution pipe 3 is arranged, which through a steam inlet opening 2 with the steam source 1 and through six steam connection openings 4 with the steam outlet pipe 5 connected is.

In 2 ist eine Verdampfereinrichtung für eine Beschichtungsanlage zur Beschichtung plattenförmiger Substrate dargestellt, die eine Dampfquelle 1 zur Verdampfung eines Beschichtungsmaterials und einen mit der Dampfquelle 1 verbundenen Dampfauslass umfasst, der vier Dampfauslassrohre 5 mit jeweils einer Mehrzahl von beabstandet zueinander angeordneten Dampfauslassöffnungen 6 umfasst, wobei zwischen der Dampfquelle 1 und den Dampfauslassrohren 5 ein Dampfverteilerrohr 3 angeordnet ist, welches durch eine Dampfeinlassöffnung 2 mit der Dampfquelle 1 und durch je eine Dampfverbindungsöffnung 4 mit jedem Dampfauslassrohr 5 verbunden ist. Die Verdampfereinrichtungen der Ausführungsbeispiele gemäß 1 und 2 können vorteilhaft in einer Beschichtungsanlage zur Beschichtung plattenförmiger Substrate 7, die eine Vakuumkammer mit einer Transporteinrichtung zum horizontalen Transport plattenförmiger Substrate 7 in einer Transportrichtung umfasst, unterhalb der Transporteinrichtung so angeordnet werden, dass das mindestens eine Dampfverteilerrohr 3 und das oder die Dampfauslassrohre 5 jeweils horizontal und quer zur Transportrichtung ausgerichtet sind und die Dampfauslassöffnungen 6 der Unterseite des Substrats 7 zugewandt sind, wie in 1 und 2 schematisch angedeutet.In 2 an evaporator device for a coating system for coating plate-shaped substrates is shown, which is a vapor source 1 for evaporation of a coating material and one with the vapor source 1 connected steam outlet, the four steam outlet pipes 5 each having a plurality of spaced apart vapor outlet openings 6 includes, wherein between the vapor source 1 and the steam outlet pipes 5 a steam distribution pipe 3 is arranged, which through a steam inlet opening 2 with the steam source 1 and each with a steam connection opening 4 with each steam outlet pipe 5 connected is. The evaporator devices of the embodiments according to 1 and 2 may be advantageous in a coating system for coating plate-shaped substrates 7 comprising a vacuum chamber with a transport device for the horizontal transport of plate-shaped substrates 7 in a transport direction, be arranged below the transport device so that the at least one steam distribution pipe 3 and the one or more steam outlet pipes 5 are aligned horizontally and transversely to the transport direction and the Dampfauslassöffnungen 6 the bottom of the substrate 7 are facing, as in 1 and 2 indicated schematically.

3 und 4 zeigen jeweils einen Querschnitt einer Koverdampferanordnung mit zwei Verdampfereinrichtungen, deren Dampfauslassöffnungen 6 nahe beieinander angeordnet sind, damit sich die aus den beiden Verdampfereinrichtungen austretenden Wolken von Dampf 9 bestmöglich vermischen, bevor sie auf die Oberfläche des zu beschichtenden Substrats 7 auftreffen. 3 and 4 each show a cross section of a Koverdampferanordnung with two evaporator devices, their Dampfauslassöffnungen 6 are arranged close to each other, so that the emerging from the two evaporator clouds of steam 9 Mix as best as possible, before applying to the surface of the substrate to be coated 7 incident.

Wie aus 3 ersichtlich ist, handelt es sich bei den beiden Verdampfereinrichtungen um zwei kaskadierte Verdampfereinrichtungen im Sinne der vorhergehenden Beschreibung und der Ansprüche, d.h. um Verdampfereinrichtungen, bei denen zwischen der Dampfquelle 1 und dem Dampfaustrittsrohr 5 ein Dampfverteilerrohr 3 angeordnet ist, das durch mindestens eine Dampfeintrittsöffnung 2 mit der Dampfquelle 1 und durch mindestens eine Dampfverbindungsöffnung 4 mit dem Dampfaustrittsrohr 5 verbunden ist.How out 3 It can be seen that the two evaporator units are two cascaded evaporator units as defined in the preceding description and the claims, ie evaporator units in which the steam source 1 and the steam outlet pipe 5 a steam distribution pipe 3 is arranged, which passes through at least one steam inlet opening 2 with the steam source 1 and through at least one steam connection opening 4 with the steam outlet pipe 5 connected is.

Bei beiden dargestellten Verdampfereinrichtungen ist das mindestens eine Dampfverteilerrohr 3 senkrecht über der Dampfquelle 1 angeordnet, während das mindestens eine Dampfauslassrohr 5 relativ zu der Anordnung von Dampfquelle 1 und Dampfverteilerrohr 3 seitlich versetzt angeordnet ist.In both illustrated evaporator devices that is at least one steam distribution pipe 3 vertically above the vapor source 1 arranged while the at least one steam outlet pipe 5 relative to the arrangement of vapor source 1 and steam distribution pipe 3 is arranged offset laterally.

Dadurch können die beiden Dampfverteilerrohre 3 der beiden nebeneinander, d.h. in der Transportrichtung 8 der Substrate 7 gesehen hintereinander, angeordneten Verdampfereinrichtungen, sehr nahe beieinander angeordnet werden. Dabei weisen die beiden Dampfverteilerrohre 3 jeweils einen kreisförmigen Querschnitt auf und haben überdies einen geringeren Durchmesser als die Dampfverteilerrohre 3, welche ebenfalls einen kreisförmigen Querschnitt aufweisen.This allows the two steam distribution pipes 3 the two side by side, ie in the transport direction 8th the substrates 7 seen consecutively, arranged evaporator devices are arranged very close to each other. In this case, the two steam distribution pipes 3 each having a circular cross-section and also have a smaller diameter than the steam distribution pipes 3 which also have a circular cross-section.

Wie aus 4 ersichtlich ist, handelt es sich bei der links dargestellten Verdampfereinrichtung um eine kaskadierte Verdampfereinrichtung im Sinne der vorhergehenden Beschreibung und der Ansprüche, d.h. um eine Verdampfereinrichtung, bei der zwischen der Dampfquelle 1 und dem Dampfaustrittsrohr 5 ein Dampfverteilerrohr 3 angeordnet ist, das durch mindestens eine Dampfeintrittsöffnung 2 mit der Dampfquelle 1 und durch mindestens eine Dampfverbindungsöffnung 4 mit dem Dampfaustrittsrohr 5 verbunden ist, während es sich bei der rechts dargestellten Verdampfereinrichtung um eine aus dem Stand der Technik bekannte Verdampfereinrichtung handelt, d.h. um eine Verdampfereinrichtung, bei der das Dampfauslassrohr 5 durch mindestens eine Dampfaustrittsöffnung direkt mit der Dampfquelle verbunden ist.How out 4 It can be seen that the vaporizer device shown on the left is a cascaded vaporizer device in the sense of the preceding description and the claims, ie an evaporator device in which between the vapor source 1 and the steam outlet pipe 5 a steam distribution pipe 3 is arranged, which passes through at least one steam inlet opening 2 with the steam source 1 and through at least one steam connection opening 4 with the steam outlet pipe 5 is connected, while it is in the evaporator device shown on the right is an evaporator known from the prior art, ie an evaporator device in which the steam outlet pipe 5 is connected by at least one steam outlet directly to the steam source.

Bei der links dargestellten kaskadierten Verdampfereinrichtung ist das mindestens eine Dampfverteilerrohr 3 senkrecht über der Dampfquelle 1 angeordnet, während das mindestens eine Dampfauslassrohr 5 relativ zu der Anordnung von Dampfquelle 1 und Dampfverteilerrohr 3 seitlich versetzt angeordnet ist.In the case of the cascaded evaporator device shown on the left, this is at least one steam distributor tube 3 vertically above the vapor source 1 arranged while the at least one steam outlet pipe 5 relative to the arrangement of vapor source 1 and steam distribution pipe 3 is arranged offset laterally.

Dadurch können die beiden Dampfverteilerrohre 3 der beiden nebeneinander, d.h. in der Transportrichtung 8 der Substrate 7 gesehen hintereinander, angeordneten Verdampfereinrichtungen, sehr nahe beieinander angeordnet werden. This allows the two steam distribution pipes 3 the two side by side, ie in the transport direction 8th the substrates 7 seen consecutively, arranged evaporator devices are arranged very close to each other.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

11: Dampfquelle steam source
22: Dampfeinlassöffnung Steam inlet port
33: Dampfverteilerrohr Steam distribution pipe
44: Dampfverbindungsöffnung Steam connection port
55: Dampfauslassrohr steam outlet pipe
66: Dampfauslassöffnung steam outlet
77: Substrat substratum
88th: Transportrichtung transport direction
99: austretender Dampf exiting steam

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

EP 1443127 B1 [0004] EP 1443127 B1 [0004]
DE 102010041376 A1 [0004, 0011] DE 102010041376 A1 [0004, 0011]

Zitierte Nicht-PatentliteraturCited non-patent literature

J. Klug, Deutsche Bank AG, New York, NY: Scale-up of Thermal Evaporation Processes for Large-Area Coatings of “Small Molecule” Organic Light-Emitting Diode Materials, 2006 Society of Vacuum Coaters 505/856–7188, 49th Annual Technical Conference Proceedings (2006) ISSN 0737–5921 (SDT2) [0004] J. Klug, Deutsche Bank AG, New York, NY: Scale-up of Thermal Evaporation Processes for Large-Area Coatings of "Small Molecule" Organic Light-Emitting Diode Materials, 2006 Society of Vacuum Coaters 505 / 856-7188, 49th Annual Technical Conference Proceedings (2006) ISSN 0737-5921 (SDT2) [0004]

Claims

Verdampfereinrichtung für eine Beschichtungsanlage zur Beschichtung plattenförmiger oder bandförmiger Substrate, umfassend eine Dampfquelle zur Verdampfung eines Beschichtungsmaterials und einen mit der Dampfquelle verbundenen Dampfauslass, der mindestens ein Dampfauslassrohr mit einer Mehrzahl von beabstandet zueinander angeordneten Dampfauslassöffnungen umfasst, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der Dampfquelle und dem mindestens einen Dampfauslassrohr mindestens ein Dampfverteilerrohr angeordnet ist, welches durch mindestens eine Dampfeinlassöffnung mit der Dampfquelle und durch mindestens eine Dampfverbindungsöffnung mit dem mindestens einen Dampfauslassrohr verbunden ist.An evaporator device for a coating system for coating plate-shaped or strip-shaped substrates, comprising a steam source for evaporating a coating material and a steam outlet connected to the steam source, comprising at least one steam outlet pipe with a plurality of spaced apart steam outlet openings, characterized in that between the steam source and the at least a steam outlet pipe is arranged at least one steam distribution pipe which is connected to the steam source through at least one steam inlet opening and to the at least one steam outlet pipe through at least one steam connection opening.

Verdampfereinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der Dampfquelle und dem mindestens einen Dampfauslassrohr mindestens ein Dampfverteilerrohr angeordnet ist, welches durch mindestens eine Dampfeinlassöffnung mit der Dampfquelle verbunden ist, mindestens zwei Dampfverbindungsöffnungen aufweist und durch jede der mindestens zwei Dampfverbindungsöffnungen mit mindestens einem Dampfauslassrohr verbunden ist.Vaporizer device according to claim 1, characterized in that between the steam source and the at least one steam outlet pipe at least one steam distribution pipe is arranged, which is connected by at least one steam inlet opening to the steam source, at least two steam connection openings and connected by at least two steam connection openings with at least one steam outlet pipe is.

Verdampfereinrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass sie in einer Beschichtungsanlage zur Beschichtung plattenförmiger oder bandförmiger Substrate, umfassend eine Vakuumkammer mit einer Transporteinrichtung zum Transport der Substrate in einer Transportrichtung, in der Nähe der transportierten Substrate so angeordnet ist, dass das mindestens eine Dampfverteilerrohr und das mindestens eine Dampfauslassrohr mit ihrer Längsachse jeweils etwa parallel zur Substratfläche und etwa quer zur Transportrichtung ausgerichtet sind und die Dampfauslassöffnungen der zu beschichtenden Seite des Substrats zugewandt sind.Evaporator device according to claim 1 or 2, characterized in that it is arranged in a coating installation for coating plate-shaped or strip-shaped substrates, comprising a vacuum chamber with a transport device for transporting the substrates in a transport direction in the vicinity of the transported substrates so that the at least one Steam distributor tube and the at least one steam outlet tube are aligned with their longitudinal axis approximately parallel to the substrate surface and approximately transversely to the transport direction and the steam outlet openings facing the side of the substrate to be coated.

Verdampfereinrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittelachse des mindestens einen Dampfverteilerrohres und die Mittelachse des mindestens einen Dampfauslassrohres so angeordnet sind, dass die Mittelachse des mindestens einen Dampfverteilerrohres einen größeren Abstand zum Substrat und einen seitlichen Versatz in Substrattransportrichtung relativ zur Mittelachse des mindestens einen Dampfauslassrohres aufweist.Vaporizer device according to claim 1 or 2, characterized in that the central axis of the at least one steam distribution pipe and the central axis of the at least one steam outlet pipe are arranged so that the central axis of the at least one steam distribution pipe a greater distance from the substrate and a lateral offset in the substrate transport relative to the center axis of the has at least one steam outlet pipe.

Verdampfereinrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass für den Leitwert CD1 des Dampfverteilerrohrs D1 und für den Leitwert CD2 des Dampfauslassrohrs D2 in der Richtung ihrer jeweils größten Ausdehnung die Relation CD1 > 2·CD2 gilt.Evaporator device according to claim 1 or 2, characterized in that for the conductance CD1 of the steam distribution pipe D1 and for the conductance CD2 of the steam outlet pipe D2 in the direction of their respective largest extent the relation CD1> 2 · CD2 applies.

Verdampfereinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass für den Summenleitwert CA1 der Dampfverbindungsöffnungen A1 und den Summenleitwert CA2 der Dampfauslassöffnungen A2 und für den Leitwert CD1 des Dampfverteilerrohrs D1 und für den Leitwert CD2 des Dampfauslassrohrs D2 in der Richtung ihrer jeweils größten Ausdehnung die Relation 1/(1/CA1 + 1/CA2) < (CD1 + CD2)/20 gilt.Evaporator device according to one of the preceding claims, characterized in that for the sum of conductance CA1 of the steam connection openings A1 and the cumulative conductivity CA2 of the steam outlet A2 and for the conductance CD1 of the steam manifold D1 and the conductance CD2 of the Dampfauslassrohrs D2 in the direction of their respective largest extent the relation 1 / (1 / CA1 + 1 / CA2) <(CD1 + CD2) / 20.

Verdampfereinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass für die Anzahl NA1 der Dampfverbindungsöffnungen A1 und den Summenleitwert CA2 der Dampfauslassöffnungen A2 und für den Leitwert CD2 des Dampfauslassrohrs D2 in der Richtung seiner größten Ausdehnung die Relation CA2 < (NA1·NA1·CD2)/20 gilt.Evaporator device according to one of the preceding claims, characterized in that for the number NA1 of the steam connection openings A1 and the cumulative conductivity CA2 of the steam outlet openings A2 and for the conductance CD2 of the steam outlet pipe D2 in the direction of its greatest extent, the relation CA2 <(NA1 · NA1 · CD2) / 20 applies.

Verdampfereinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass für den Summenleitwert CA1 der Dampfverbindungsöffnungen A1 und den Summenleitwert CA2 der Dampfauslassöffnungen A2 die Relation CA1 > 2·CA2 gilt.Evaporator device according to one of the preceding claims, characterized in that the relation CA1> 2 · CA2 applies to the sum conductance CA1 of the steam connection openings A1 and the sum conductance CA2 of the steam outlet openings A2.

Verdampfereinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens zwei Dampfauslassrohre D2 durch jeweils mindestens eine Dampfverbindungsöffnung mit dem mindestens einen Dampfverteilerrohr D1 verbunden sind. Evaporator device according to one of the preceding claims, characterized in that at least two steam outlet pipes D2 are connected by at least one steam connection opening with the at least one steam distribution pipe D1.

Verdampfereinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine Dampfverteilerrohr und/oder das mindestens eine Dampfauslassrohr auf Temperaturen über dem Kondensationspunkt des Beschichtungsmaterialdampfes beheizbar sind.Evaporator device according to one of the preceding claims, characterized in that the at least one steam distribution pipe and / or the at least one steam outlet pipe can be heated to temperatures above the condensation point of the coating material vapor.

Koverdampfersystem zum Herstellen von Mischschichten aus mindestens zwei Materialien, umfassend mindestens zwei benachbart zueinander angeordnete Verdampfereinrichtungen mit jeweils mindestens einer Dampfquelle und mindestens einem Dampfauslassrohr, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine Verdampfereinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche ausgebildet ist.Co-evaporator system for producing mixed layers of at least two materials, comprising at least two evaporator devices arranged adjacently to each other, each having at least one vapor source and at least one steam outlet tube, characterized in that at least one evaporator device according to one of the preceding claims is formed.

Koverdampfersystem nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die zu beschichtende Substratbreite größer als 400mm ist, der Abstand der Dampfauslassöffnungen vom Substrat kleiner als 100mm ist und der Abstand zweier benachbarter Anordnungen von Dampfauslassöffnungen der mindestens zwei Verdampfereinrichtungen kleiner als 100mm ist.Koverdampfersystem according to claim 11, characterized in that the substrate width to be coated is greater than 400mm, the distance of the Dampfauslassöffnungen from the substrate is less than 100mm and the distance between two adjacent arrangements of steam outlet openings of the at least two evaporator devices is less than 100mm.

Koverdampfersystem nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen den mindestens zwei Verdampfereinrichtungen untereinander und zwischen den Verdampfereinrichtungen und dem Substrat Blenden angeordnet sind, die als thermische Abschirmungen der einzelnen Komponenten untereinander wirken oder/und definierte Teile der emittierten Dampfströme absorbieren. Koverdampfersystem according to claim 11 or 12, characterized in that between the at least two evaporator means are arranged with each other and between the evaporator means and the substrate diaphragms which act as thermal shields of the individual components with each other or / and absorb defined parts of the emitted vapor streams.