DE102012103974A1

DE102012103974A1 - Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung zumindest eines Röntgenstrahlen abgebenden Brennflecks

Info

Publication number: DE102012103974A1
Application number: DE102012103974A
Authority: DE
Inventors: Auf Nichtnennung Antrag
Original assignee: Werth Messtechnik GmbH
Current assignee: Werth Messtechnik GmbH
Priority date: 2011-12-09
Filing date: 2012-05-07
Publication date: 2013-06-13

Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung un dein Verfahren zur Erzeugung zumindest eines Röntgenstrahlen abgebenden ersten Brennflecks mit einer Vorrichtung zumindest bestehend aus einem Elektronenstrahlen abgebenden Kathodenkörper, einer Anode, zumindest einem ein erstes Target tragenden Grundkörper, auf dem sich bei Bestrahlung mit Elektronenstrahlen ein Röntgenstrahlen erzeugender erster Brennfleck bildet und einem geschlossenen Gehäuse. Um insbesondere kleine Brennfleckdurchmesser zu erzielen, wird vorgeschlagen, dass die Größe des ersten wirksamen Brennflecks durch Begrenzung der Elektronenstrahlen und/oder der Röntgenstrahlen durch einen Blendenkörper, welcher zumindest einen mechanischen Blendenkanal aufweist, eingestellt wird.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Erzeugung zumindest eines Röntgenstrahlen abgebenden ersten Brennflecks, zumindest bestehend aus einem Elektronenstrahlen abgebenden Kathodenkörper, einer Anode, zumindest einem ein erstes Target tragenden Grundkörper, auf dem sich bei Bestrahlung mit Elektronenstrahlen ein Röntgenstrahlen erzeugender Brennfleck bildet, und einem geschlossenen Gehäuse.
Auch nimmt die Erfindung Bezug auf eine Vorrichtung zur Erzeugung von zumindest zwei Röntgenstrahlen abgebender Brennflecken, zumindest bestehend aus einem Elektronenstrahlen abgebenden Kathodenkörper, einer Anode, zwei Targets, auf denen sich bei Bestrahlung mit Elektronenstrahlen zumindest zwei Röntgenstrahlen erzeugende Brennflecke bilden, und einem geschlossenen Gehäuse.
Gegenstand der Erfindung ist ferner ein Verfahren zur Erzeugung zumindest eines Röntgenstrahlen abgebenden ersten Brennflecks mit einer Vorrichtung, zumindest bestehend aus einem Elektronenstrahlen abgebenden Kathodenkörper, einer Anode, zumindest einem ein erstes Target tragenden Grundkörper, auf dem sich bei Bestrahlung mit Elektronenstrahlen ein Röntgenstrahlen erzeugender erster Brennfleck bildet und einem geschlossenen Gehäuse.
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Erzeugung von zumindest zwei Röntgenstrahlen abgebender Brennflecken mit einer Vorrichtung, zumindest bestehend aus einem Elektronenstrahlen abgebenden Kathodenkörper, einer Anode, einem zumindest zwei Targets tragenden Körper, auf dem sich bei Bestrahlung mit Elektronenstrahlen zumindest zwei Röntgenstrahlen erzeugende Brennflecke bilden, und einem geschlossenen Gehäuse.
Die vorliegende Erfindung beschreibt eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Erzeugung eines Röntgenstrahlen abgebenden Brennflecks, dessen Durchmesser durch den Einsatz von mechanischen Blendenkanälen begrenzt wird.
Zur computertomografischen Messung von Objekten werden z. B. Röntgenstrahlenquellen eingesetzt. Eine hohe Abbildungsqualität ergibt sich dabei beim Vorliegen eines möglichst kleinen Röntgenstrahlen abgebenden Brennflecks. Der Brennfleck wird erzeugt, indem Elektronen, die von einer Kathode abgegeben werden, durch ein elektrisches Feld in Richtung einer Anode beschleunigt werden und auf ein so genanntes Target-Material treffen, wodurch beim Auftreffen der Elektronen im Bereich des so genannten Brennflecks Röntgenstrahlung abgegeben wird.
Besonders kleine Brennflecke im Bereich weniger Mikrometer lassen sich durch Ausführung der Kathode in Nadelform erreichen. Zusätzlich werden für sogenannte Transmissions-Targets dabei noch Gitter zur Fokussierung der Strahlung und rohrförmige Hohlkörper eingesetzt, um kleine Brennflecken zu erreichen. Nachteilig hierbei ist der Verschleiß der nadelförmigen Kathode bei höheren Strahlleistungen. Diese werden daher nur in so genannten offenen Röhrensystemen eingesetzt, bei denen das Filament, also der nadelförmige Teil der Elektrode, leicht ausgetauscht werden kann. Eine weitere Notwendigkeit für kleine Brennfleckgrößen ist die geringe Größe, insbesondere die geringe Dicke des Targets. Diese ist bei so genannten Transmissionstargets besonders gering. Diese weisen jedoch den Nachteil auf, dass auf Grund der kleinen Abmessungen nur geringe Röntgenstrahlleistungen erzeugt werden können, da ansonsten das Target durch die Bestrahlung mit Elektronen schmilzt. Es können also keine kleinen Brennfleckgrößen bei hohen Strahlleistungen erreicht werden.
In geschlossenen Röntgenröhren müssen bauartbedingt verschleißfreie oder verschleißarme Kathoden, beispielsweise in Wendelform eingesetzt werden. Die hierbei großflächig austretenden Elektronenstrahlen erzeugen dabei grundsätzlich größere Brennflecken als bei nadelförmigen Elektroden. Die kleinsten erreichbaren Brennfleckgrößen liegen im Bereich von ca. 80 bis 100 μm. Durch die massive Bauweise der hier eingesetzten Reflexions-Targets sind jedoch höhere Strahlleistungen möglich, da die Wärme besser abgeführt werden kann.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, die Nachteile des Standes der Technik zu vermeiden, insbesondere auch für geschlossene Röntgenröhren und insbesondere für hohe Strahlleistungen kleine Brennfleckdurchmesser zu erreichen. Auf eine aufwendige elektrische oder elektromagnetische Fokussierung des Röntgenstrahls soll dabei verzichtet werden.
Die Aufgabe löst die vorliegende Erfindung im Wesentliche durch den Einsatz eines Blendenkörpers, der mechanische Blendenkanäle enthält, die die wirksame Größe des Brennflecks begrenzt. Das Trägermaterials ist dabei typischerweise aus Kupfer und gegebenenfalls der Bereich um die Austrittsöffnung der Blendenkanäle aus Wolfram.
Durch einen ersten Blendenkanal, welcher zwischen Kathode und Target angeordnet ist, werden die von der Kathode abgegebenen Elektronenstrahlen in ihrer Ausbreitung begrenzt und auf das Target geleitet. Ein zweiter Blendenkanal kann zwischen dem Brennfleck auf dem Target und dem bestrahlten Objekt angeordnet werden, um auch die Ausbreitungsrichtung der Röntgenstrahlen zu begrenzen. Der Bereich um den Blendenkanal, welcher die Elektronenstrahlen begrenzt, muss möglichst massiv ausgeführt werden, um die durch die Absorption der Elektronen entstehende Wärme abzuführen. Zusätzlich kann dieser Bereich gekühlt werden, beispielsweise mit einer Wasserkühlung. Wird der Bereich um den Blendenkanal zur Begrenzung der Elektronenstrahlen aus einem Material, wie beispielsweise Wolfram, welches zur Erzeugung von Röntgenstrahlen geeignet ist, ausgeführt, so kann dieser Bereich als gesonderter Brennfleck betrachtet werden und zur Bestrahlung eines Objektes genutzt werden. Hierzu ist dieser Bereich zur Elektronenstrahlrichtung vorzugsweise 45° geneigt, um die Röntgenstrahlung seitlich zum Objekt zu führen. Der Blendenkörper kann zusammen mit dem Grundkörper als eine Einheit ausgeführt werden. Hierdurch werden eine gemeinsame Kühlung und das Abführen der Ladungen gewährleistet. Wird der Blendenkörper getrennt von dem Grundkörper ausgeführt, muss dieser separat gekühlt werden und elektrische Verbindungen müssen vorgesehen werden, um die Ladungen abzuführen.
Damit Brennflecken im Bereich weniger Mikrometer Durchmesser, wie beispielsweise 10 μm oder 3 μm erreichbar sind, müssen die entsprechenden Blendenkanäle zumindest bereichsweise einen kleinsten Durchmesser in diesem Bereich aufweisen. Bei Tiefen der Kanäle von mehreren Millimetern von ca. 1 bis 20 mm, um ausreichend Volumen für die Abführung der Wärme zu gewährleisten, ist die Ausführung einer weniger Mikrometer Durchmesser messenden Öffnung äußerst schwierig. Daher wird der Blendenkanal vorzugsweise mit gestuften Durchmessern bzw. Breiten ausgeführt. Dies hat den Vorteil, dass der kleinste Durchmesser nur in einer geringen Tiefe gefertigt werden muss.
Das Target wird vorzugsweise zur Elektronenstrahlrichtung so angeordnet, dass die entstehenden Röntgenstrahlen seitlich abgestrahlt werden, damit das Target massiv ausgeführt werden und die Wärme abgeführt werden kann.
Um entweder den ersten Brennfleck, direkt an dem Grundkörper, oder den zweiten Brennfleck, gebildet aus dem Bereich um die Öffnung des Blendenkanals, auf das zu messende Objekt zu richten, ist die gesamte Vorrichtung der Röntgenröhre dreh- oder verschiebbar.
Alternativ werden im Blendenkörper mehrere Blendenkanäle, vorzugsweise unterschiedlichen Durchmessers vorgesehen. Diese sind auf unterschiedliche Targets des Grundkörpers ausgerichtet und sollen getrennt voneinander betrieben werden. Dies wird beispielsweise durch mechanisches Verschieben des Blendenkörpers oder durch abwechselndes Abdecken zumindest eines der Blendenkanäle mit einem absorbierenden oder reflektierenden Material erreicht.
Mit der vorliegenden Vorrichtung ist es insbesondere möglich, Röntgensspannungen größer oder gleich 190 kV bzw. größer oder gleich 225 kV bei Brennfleckgrößen von ca. 100 μm als auch Brennfleckgrößen von kleiner oder gleich 10 μm zu erzeugen.
Gelöst wird die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe im Wesentlichen durch eine Vorrichtung zur Erzeugung zumindest eines Röntgenstrahlen abgebenden ersten Brennflecks, zumindest bestehend aus einem Elektronenstrahlen abgebenden Kathodenkörper, einer Anode, zumindest einem ein erstes Target tragenden Grundkörper, auf dem sich bei Bestrahlung mit Elektronenstrahlen ein Röntgenstrahlen erzeugender erster Brennfleck bildet, und einem geschlossenen Gehäuse, die sich dadurch auszeichnet, dass die Größe des ersten wirksamen Brennflecks durch Begrenzung der Elektronenstrahlen und/oder der Röntgenstrahlen durch einen Blendenkörper, welcher zumindest einen mechanischen Blendenkanal aufweist, einstellbar ist.
Insbesondre schlägt die Erfindung eine Vorrichtung zur Erzeugung von zumindest zwei Röntgenstrahlen abgebender Brennflecken, zumindest bestehend aus einem Elektronenstrahlen abgebenden Kathodenkörper, einer Anode, zwei Targets, auf denen sich bei Bestrahlung mit Elektronenstrahlen zumindest zwei Röntgenstrahlen erzeugende Brennflecke bilden, und einem geschlossenen Gehäuse vor, die sich dadurch auszeichnet, dass ein zweiter Brennfleck sich auf einen zweiten Target bildet, welches eine Öffnung besitzt und mit einem anschließenden Blendenkanal verbunden ist, der einen Teil der Elektronenstrahlen passieren lässt, der anschließend auf ein erstes Target trifft und einen ersten Brennfleck bildet, wobei die wirksame Größe des ersten Brennflecks eingestellt wird durch die Größe der Öffnung und/oder des Blendenkanals und vorzugsweise zusätzlich durch die Größe einer Blende, die in Ausbreitungsrichtung der durch den zweiten Brennfleck abgegebenen Röntgenstrahlung angeordnet ist.
Bevorzugterweise ist vorgesehen, dass das Target so angeordnet ist, dass Elektronenstrahlen und zumindest erste Röntgenstrahlen unterschiedliche Ausbreitungsrichtungen besitzen, vorzugsweise Targetfläche hierzu um einen Winkel von 6° bis 45°, besonders bevorzugt von 11° bis 25° oder von 40°, zur Ausbreitungsrichtung der Elektronenstrahlen gekippt angeordnet ist. Abhängig von der gewünschten, mit dem Röntgenstrahl zu erzielenden Vergrößerung bei einer computertomografischen Messung von Objekten (gebildet aus dem Verhältnis der Distanzen „Detektor-Brennfleck” zu „Bauteil-Brennfleck”) werden allgemein kleine Kippwinkel von 6° bis 11° oder große Winkel bis 45° eingesetzt. Grundlegend verschieden ist dabei die vom Elektronenstrahl bestrahlte Fläche. Diese steigt mit steigendem Kippwinkel und ermöglicht größere Leistungen, da die Wärme auf großen Flächen besser abgeführt werden kann, welche eher für geringe Vergrößerungen sinnvoll sind. Bei hohen Vergrößerungen werden kleine Brennflecken und damit geringe Leistungen benötigt, wodurch geringe Kippwinkel verwendet werden können.
Insbesondere zeichnet sich die Erfindung dadurch aus, dass der Blendenkörper aus zumindest einem Blendenkanal und ein den oder die Blendenkanäle umgebenden Körper, vorzugsweise Kupferkörper, besteht, der ausgebildet ist, um gekühlt zu werden, vorzugsweise Volumen besitzt, in dem Kühlkanäle integrierbar sind oder an das sich ein Kühlkörper anschließt, vorzugsweise indem das mathematische Verhältnis aus Länge des Blendenkanals in Millimetern und von Elektronenstrahlen bestrahlter Fläche des Blendenkörpers in Quadratmillimetern mindestens 50, bevorzugt mindestens 100, besonders bevorzugt mindestens 150, beträgt und/oder das mathematische Verhältnis aus Volumen des Blendenkörpers in Kubikmillimetern und von Elektronenstrahlen bestrahlter Fläche des Blendenkörpers in Quadratmillimetern mindestens 1000, bevorzugt mindestens 10.000, besonders bevorzugt mindestens 30.000, beträgt.
Bevorzugterweise sieht die Erfindung vor, dass der Blendenkörper aus dem das zumindest eine Target tragenden Grundkörper gebildet ist oder mit diesem eine Einheit bildet.
Hervorzuheben ist des Weiteren, dass der Blendenkörper und/oder der Grundkörper mit einer Kühlflüssigkeit, vorzugsweise mit Wasser, kühlbar ist, vorzugsweise durch in den Blendenkörper und/oder Grundkörper eingebrachte und/oder um diesen herum angeordnete Kühlkanäle.
Bevorzugterweise ist vorgesehen, dass das zweite Target und gegebenenfalls das erste Target jeweils aus einem Material der Gruppe Wolfram, Rhodium, Molybdän, Chrom, Eisen, Silber besteht.
Die Erfindung zeichnet sich auch dadurch aus, dass der Blendenkörper zumindest teilweise aus einem Material mit hoher Wärmeleitfähigkeit besteht, vorzugsweise mindestens der Wärmeleitfähigkeit von Kupfer, und vorzugsweise ein Target mit hoher Temperaturbeständigkeit trägt, vorzugsweise mindestens der Wärmeleitfähigkeit von Wolfram.
Insbesondere zeichnet sich die Erfindung dadurch aus, dass durch den Blendenkörper zumindest ein weiterer, zweiter Brennfleck bildbar ist, vorzugsweise durch ein die Blende direkt umgebendes Target, das mit Elektronenstrahlen bestrahlbar ist.
Hervorzuheben ist des Weiteren, dass durch den weiteren Brennfleck Röntgenstrahlen bildbar sind, die in ihrer Strahlrichtung von der der ersten Röntgenstrahlen abweicht, vorzugsweise um mindestens 30°, bevorzugt um mindestens 80°, besonders bevorzugt um 90°.
Nach einem besonders hervorzuhebenden Vorschlag ist vorgesehen, dass Mittel zum Drehen und/oder Verschieben der Vorrichtung vorgesehen sind, die die Strahlrichtung der ersten und der weiteren Röntgenstrahlen einstellen.
Besonders hervorzuheben ist, dass mindestens jeweils zwei Blendenkanäle zur Begrenzung der Elektronenstrahlen und der Röntgenstrahlen einsetzbar sind und vorzugsweise der Grundkörper zumindest zwei Targets aufweist.
Des Weiteren zeichnet sich die Erfindung dadurch aus, dass Mittel zur mechanischen Verschiebung des Blendenkörpers integriert sind, die die getrennte Bestrahlung der verschiedenen Blendenkanäle mit Elektronenstrahlen bzw. Röntgenstrahlen ermöglichen.
In einer besonderen Ausführung werden Mittel zur Veränderung der Einstellung der elektromagnetischen Fokussierung des Elektronenstrahls eingesetzt, wodurch der Durchmesser und/oder die Divergenz der Elektronenstrahlen, vorzugsweise im Bereich der Blende, verringert werden.
Es ist vorgesehen, dass die Mittel zur mechanischen Verschiebung des Grundkörpers und/oder des Blendenkörpers durch elektromagnetische Antriebe gebildet werden, die sich außerhalb des geschlossenen Gehäuses befindet, wobei vorzugsweise in den beiden Endlagen ohne anliegendes magnetisches Feld eine stabile Position des Blendenkörpers vorliegt.
Hervorzuheben ist insbesondere, dass Mittel zur Abdeckung vor zumindest einen Blendenkanal anordenbar sind, die die Elektronenstrahlen ausreichend schwächen, sodass keine signifikante Röntgenstrahlung vom nun nicht mehr bestrahlten Target ausgeht.
Somit wird vorgeschlagen, dass Mittel zur Veränderung der Einstellung der elektromagnetischen Fokussierung des Elektronenstrahls einsetzbar sind, wodurch der Durchmesser und/oder die Divergenz der Elektronenstrahlen, vorzugsweise im Bereich der Blende, verringert werden.
Die Erfindung sieht auch vor, dass Mittel zur Abdeckung vor zumindest einen Blendenkanal anordbar sind.
Die Erfindung zeichnet sich insbesondere auch dadurch aus, dass der Blendenkörper mit dem Grundkörper und/oder der Anode elektrisch verbunden ist oder dass der Blendenkörper mit dem Grundkörper elektrisch nicht verbunden ist und einen elektrischen Anschluss zum Abführen von Ladungen enthält.
Bevorzugterweise ist vorgesehen, dass der Blendenkanal zur Begrenzung der Elektronenstrahlen und/oder der Blendenkanal zur Begrenzung der Röntgenstrahlen durch eine Öffnung, vorzugsweise kreisrunde oder elliptische oder quadratische Öffnung, gebildet wird, welche einen konstanten Durchmesser bzw. Durchmesserverhältnis bzw. Breite oder abgestufte Durchmesser bzw. Durchmesserverhältnisse bzw. Breiten oder kontinuierlich veränderten Durchmesser bzw. Durchmesserverhältnis bzw. Breite, wie Kegel- bzw. Pyramidengeometrie, vorzugsweise elliptisch, aufweist.
Besonders hervorzuheben ist des Weiteren, dass der kleinste Durchmesser bzw. die kleinste Breite des Blendenkanals < 10 μm, bevorzugt < 3 μm und > 0,5 μm beträgt, und vorzugsweise der größte Durchmesser bzw. die größte Breite < 100 μm, bevorzugt < 50 μm und > 10 μm, beträgt oder der kleinste Durchmesser bzw. die kleinste Breite des Blendenkanals zwischen 10 μm und 150 μm beträgt und vorzugsweise der größte Durchmesser bzw. die größte Breite zwischen 150 μm und 5 mm beträgt.
Bevorzugterweise sieht die Erfindung vor, dass der Durchmesser bzw. die Breite des weiteren Brennflecks, gebildet durch das die Blende bzw. Öffnung des Blendenkörpers direkt umgebende Target, < 100 μm, bevorzugt < 80 μm, und > 10 μm, beträgt.
Insbesondere sieht die Erfindung vor, dass zumindest ein Blendenkanal zur Begrenzung der Röntgenstrahlen auf einen Brennfleck ausgerichtet ist.
Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass der Blendenkörper zumindest einen Blendenkanal zur Begrenzung der Elektronenstrahlen und zumindest einen Blendenkanal zur Begrenzung der Röntgenstrahlen enthält.
Bevorzugterweise ist vorgesehen, dass Röntgenspannungen ≥ 190 kV bis 450 kV, bevorzugt ≥ 225 kV bis 450 kV vorgesehen sind.
Vorgesehen ist insbesondere, dass die Vorrichtung in ein Koordinatenmessgerät integriert ist.
Ein Verfahren zur Erzeugung zumindest eines Röntgenstrahlen abgebenden ersten Brennflecks mit einer Vorrichtung zumindest bestehend aus einem Elektronenstrahlen abgebenden Kathodenkörper, einer Anode, zumindest einem ersten Target tragenden Grundkörper, auf dem sich bei Bestrahlung mit Elektronenstrahlen ein Röntgenstrahlen erzeugender erster Brennfleck bildet und einem geschlossenen Gehäuse zeichnet sich dadurch aus, dass die Größe des ersten wirksamen Brennflecks durch Begrenzung der Elektronenstrahlen und/oder der Röntgenstrahlen durch einen Blendenkörper, welcher zumindest einen mechanischen Blendenkanal aufweist, eingestellt wird.
Ferner bezieht sich die Erfindung auf ein Verfahren zur Erzeugung von zumindest zwei Röntgenstrahlen abgebender Brennflecken mit einer Vorrichtung, zumindest bestehend aus einem Elektronenstrahlen abgebenden Kathodenkörper, einer Anode, einem zumindest zwei Targets tragenden Grundkörper, auf dem sich bei Bestrahlung mit Elektronenstrahlen zumindest zwei Röntgenstrahlen erzeugende Brennflecke bilden, und einem geschlossenen Gehäuse, das sich dadurch auszeichnet, dass ein zweiter Brennfleck sich auf einem zweiten Target bildet, welches eine Öffnung besitzt und mit einem anschließenden Blendenkanal verbunden ist, der einen Teil der Elektronenstrahlen passieren lässt, der anschließend auf ein erstes Target trifft und einen erstten Brennfleck bildet, wobei die wirksame Größe des ersten Brennflecks eingestellt wird durch die Größe der Öffnung und/oder des Blendenkanals und vorzugsweise zusätzlich durch die Größe einer Blende, die in Ausbreitungsrichtung der durch den ersten Brennfleck abgegebenen Röntgenstrahlung angeordnet ist.
Insbesondere ist vorgesehen, dass durch Drehen und/oder Verschieben der Vorrichtung die Strahlrichtung der ersten und der weiteren Röntgenstrahlen eingestellt wird.
Die Erfindung zeichnet sich auch dadurch aus, dass durch mechanische Verschiebung des Blendenkörpers die getrennte Bestrahlung der verschiedenen Blendenkanäle mit Elektronenstrahlen bzw. Röntgenstrahlen erfolgt.
Insbesondere ist die Erfindung auch dadurch gekennzeichnet, dass die Einstellung der elektromagnetischen Fokussierung der Elektronenstrahlen verändert wird, um die verschiedenen Blendenkanäle mit Elektronenstrahlen bzw. Röntgenstrahlen getrennt zu bestrahlen.
Des Weiteren zeichnet sich die Erfindung dadurch aus, dass zumindest ein Blendenkanal abgedeckt wird.
Die Erfindung zeichnet sich auch dadurch aus, dass zur Verschiebung des Blendenkörpers ein elektromagnetischer Antriebe eingesetzt wird, der sich außerhalb der geschlossenen Röhre befindet, der den Blendenkörper vorzugsweise in die erste oder zweite Endlage verschiebt, in der der Blendenkörper ohne anliegendes magnetisches Feld eine stabile Position einnimmt und nach Erreichen einer Endlage abgeschaltet wird.
Des Weiteren sieht die Erfindung vor, dass erste und/oder zweite Röntgenstrahlen zur computertomographischen Messung eines Bauteils eingesetzt werden.
Gekennzeichnet ist die Erfindung auch dadurch, dass erste und/oder zweite Röntgenstrahlen zur computertomographischen Bestimmung von Messpunkten, vorzugsweise 3D Messpunkten, an einem Bauteil eingesetzt werden.
Weitere Einzelheiten, Vorteile und Merkmale der Erfindung ergeben sich nicht nur aus den Ansprüchen, den diesen zu entnehmenden Merkmale – für sich und/oder in Kombination – sondern auch aus der nachfolgenden Beschreibung von der Zeichnung zu entnehmenden bevorzugten Ausführungsbeispielen.
Es zeigen:
1 eine Röntgenröhre mit einem Reflexionstarget und einem nadelförmigen Filament nach dem Stand der Technik,
2 eine Röntgenröhre mit geschlossenem Gehäuse und wendelförmigen Filament nach dem Stand der Technik,
3 eine erste erfinderische Ausgestaltung in Erweiterung des in 2 gezeigten Standes der Technik für ein geschlossenes Röntgenröhrengehäuse,
4 eine weitere erfinderische Ausgestaltung, wobei der Blendenkörper in das Target integriert ist,
5 eine erste alternative Lösung, bei der die Röntgenstrahlen die Röntgenröhre in der gleichen Richtung verlassen,
6 eine zweite alternative Lösung, bei der die Röntgenstrahlen die Röntgenröhre in der gleichen Richtung verlassen,
7 eine erste alternative Ausgestaltungsmöglichkeiten des Blendenkanals und
8 eine zweite alternative Ausgestaltungsmöglichkeiten des Blendenkanals.
Die 1 und 2 zeigen Röntgenröhren mit einem Reflexionstarget 5 nach dem Stand der Technik. 1 zeigt einen Aufbau mit einem nadelförmigen Filament 3. Von diesem Filament 3, welches Teil der Kathode 2 ist, gehen Elektronenstrahlen 4 aus, die in Richtung einer Anode 11 beschleunigt werden. Nach dem Durchlaufen von diversen Zentrier- und Ablenkspulen 8 treffen diese auf das Target 5, welches seinerseits Röntgenstrahlung 9 durch eine für Röntgenstrahlen durchlässige Öffnung 10 eines evakuierten Gehäuses 1 abgibt. Das Target 5 befindet sich auf einem Grundkörper 6, welcher mit Hilfe einer Kühlvorrichtung 7 gekühlt wird. Da das nadelförmige Filament 3 hohem Verschleiß unterliegt, muss das Gehäuse 1 für Wartungszwecke und Austausch des Filaments 3 geöffnet werden können.
Im Gegensatz hierzu wird in 2 eine Röntgenröhre mit geschlossenem Gehäuse 12 dargestellt. Hierbei werden jedoch weniger verschleißanfällige wendelförmige Filamente 13 der Kathode 2 eingesetzt. Der sich dabei ergebende Brennfleck auf dem Target 5 ist im Gegensatz zu nadelförmigen Filamenten 3 deutlich größer, z. B. mindestens 80 bis 100 μm.
Das Target 5 besteht zumeist aus Wolfram. Es sind jedoch auch andere Materialien, wie Rhodium, Molybdän, Chrom, Eisen oder Silber möglich.
Da beim Auftreffen des Elektronenstrahls 4 bzw. der Elektronen auf das Target 5, abhängig von der Beschleunigungsspannung und der Leistung, hohe Wärmemengen entstehen, muss diese vom Target 5 abgeführt werden. Hierfür ist das Target mit einem Grundkörper 6 verbunden, der vorzugsweise aus Kupfer besteht und eine Kühlung, z. B. Flüssigkeitskühlung wie Wasserkühlung 7, enthält.
3 zeigt eine erste erfinderische Ausgestaltung in Erweiterung des in 2 gezeigten Standes der Technik für ein geschlossenes Röntgenröhrengehäuse 12. Hierbei wird ein Blendenkörper 14 mit einem Blendenkanal 15 und vorzugsweise einem weiteren Blendekanal 17 integriert. Durch den geringen Durchmesser des Blendenkanals 15 werden die Elektronenstrahlen 4 begrenzt und nur ein kleiner Teil dieser fällt auf das Target 5 und bildet die Röntgenstrahlung 9. Vorzugsweise zusätzlich wird die Röntgenstrahlung 9 durch den weiteren Blendenkanal 17 im Blendenkörper 14 begrenzt.
Nach einen weiteren erfinderischen Vorschlag wird im Blendenkörper 14 zusätzlich ein Target 18 integriert, welches vom größten Teil der Elektronenstrahlen 4 bestrahlt wird und eine weitere Röntgenstrahlung 16 durch ein weiteres Fenster 19 des Gehäuses 12 abgibt. Der auf dem Target 18 gebildete Brennfleck ist dabei deutlich größer als der besonders kleine Brennfleck auf dem Target 5. Zur Abführung der auf dem Target 18 beim Auftreffen der Elektronenstrahlen 4 entstehenden Wärme ist dieses durch eine Kühlung 19 gekühlt.
In 4 ist eine Ausgestaltung der Erfindung dargestellt, bei der der Blendenkörper 14 mit dem Grundkörper 6 eine Einheit bildet. Insbesondere kann es sich hierbei um den gleichen Körper handeln. In diesem Fall kann die Kühlung 7 und die Kühlung 19 ebenfalls eine gemeinsame Kühlung sein.
In den 3 und 4 verlässt, ohne Beschränkung der Allgemeinheit, der von dem zusätzlichen (zweiten) Target 18 ausgehende Röntgenstrahl 16 das geschlossene Gehäuse 12 in entgegen gesetzter Richtung zur von dem (ersten) Target 5 ausgehenden Röntgenstrahlung 9. Durch entsprechend veränderte Neigung des zweiten Targets 18 sind jedoch auch sämtliche verschiedene Austrittsrichtungen für den Röntgenstrahl 16 möglich. Um entweder den Röntgenstrahl 9 oder den weiteren Röntgenstrahl 16 auf ein zu messendes Objekt zu richten, wird die gesamte Vorrichtung 12 an einer mechanischen Drehachse befestigt und kann je nach Bedarf so ausgerichtet werden, dass entweder die Röntgenstrahlung 9 oder die weitere Röntgenstrahlung 16 das Messobjekt trifft.
Alternative Lösungen sind in den 5 und 6 dargestellt, wobei die Röntgenstrahlen 9 und 16 bzw. 9a und 9b in der gleichen Richtung die Röntgenröhre verlassen. In 5 wird hierzu der Grundkörper 6 und der Blendenkörper 14 bzw. die Einheit aus beiden in Richtung des Pfeils 26 bezüglich der Elektronenstrahlen 4 (4a bzw. 4b) verschoben. In der gezeichneten Grundstellung wird das Target 5a von den Elektronenstrahlen 4 (in dieser Stellung gekennzeichnet durch die Elektronenstrahlen 4a) bestrahlt, wodurch die Röntgenstrahlung 9a abgegeben wird. Hierzu ist im Blendenkörper 14 der Blendenkanal 15a integriert. Mit Hilfe von sich außerhalb des Gehäuses 12 befindlichen Antrieben 20, vorzugsweise elektromagnetischen Antrieben, wird ein mit dem Grundkörper 6 verbundener Träger 21 in der Richtung 26 zum Beispiel nach oben verschoben. Hierdurch wird ein Bolzen 23, welcher mit einer Feder 22 gegen die Öffnung 24 des Teils in der Grundstellung gedrückt wird, aus dieser Lage herausbewegt und kommt in der Lage 25 zum liegen. Anschließend kann das elektromagnetische Feld der Antriebe 20 abgeschaltet werden, um keine störenden elektromagnetischen Felder in der Röhre zu erzeugen. In dieser zweiten Lage wird nun das Target 5b entlang des Blendenkanals 15b durch die Elektronenstrahlen 4 (in dieser Lage mit 4b bezeichnet) bestrahlt und der Röntgenstrahl 9b wird in der gleichen Richtung wie zuvor der Röntgenstrahl 9a abgegeben.
Die Lösung in 6 erzeugt permanent die beiden Röntgenstrahlen 9 und 16, entsprechend der 4, wobei jedoch nun die Richtung des Röntgenstrahls 16 im Vergleich zur 4 umgekehrt ist, indem die Neigung des Targets 18 geändert wurde. In der dargestellten ersten Stellung verlassen jedoch nur die Röntgenstrahlen 9 das geschlossen Gehäuse 12 der Röntgenröhre, da die Röntgenstrahlen 16 mit einer Abdeckung 28 nahezu komplett abgeschwächt werden. Wird mit Hilfe des Antriebs 20 nun die Abdeckung 28 nach links entlang der Richtung des Pfeils 27 verschoben, rastet der Bolzen 23 in der Stellung 25 ein und der Antrieb 20 kann abgeschaltet werden. Die Abdeckung 28 verdeckt nun die Röntgenstrahlen 9 und lässt gleichzeitig durch die Öffnung 29 die Röntgenstrahlen 16 in Richtung des Messobjektes passieren.
Die 7 und 8 zeigen alternative Ausgestaltungsmöglichkeiten des Blendenkanals 15.
In 7 ist der Blendenkanal 15 in Bereiche unterschiedlicher Breite bzw. unterschiedlichen Durchmessers aufgeteilt. Nur im Bereich 30a wird der notwendige minimale Durchmesser von z. B. 10 μm gefertigt, damit dieser geringe Durchmesser in nur geringer Tiefe gefertigt werden muss. Die dahinter angeordneten Bereiche 30b und 30c können mit höherem Durchmesser gefertigt werde, bis hin zu z. B. 100 μm. Im gezeigten Beispiel sind drei verschiedene Durchmesser dargestellt, jedoch sind auch mehrere Stufungen oder auch weniger Stufen möglich. Die Länge der Bereiche 30a, 30b und 30c wird entsprechend der thermischen Belastbarkeit des eingesetzten Materials und der vorliegenden Elektronenstrahlleistung dimensioniert. Zudem muss beachtet werden, dass die Länge des Bereiches 30a die nach der Blende verbleibende Strahldivergenz und damit im Zusammenhang mit dem Abstand zum Target die Größe des Brennflecks beeinflusst. Der Bereich 30a wird beispielsweise mit einer Länge zwischen kleiner einem Millimeter, zum Beispiel 100 μm und wenigen Millimetern, zum Beispiel fünf Millimetern gewählt. Zudem wird der Blendenquerschnitt vorzugsweise elliptisch ausgeführt, um nach der Reflexion am Target ein kegelförmiges Röntgenstrahlprofil zu erzeugen. Die elliptische Ausführung ist dabei abhängig vom Winkel des Reflexionstargets zum Elektronenstrahl.
Ebenso kann die Stufung in umgekehrter Reihenfolge stattfinden, so dass der Abschnitt 30c der Abschnitt des geringsten Durchmessers ist und in Richtung 30b, 30a der Durchmesser ansteigt.
8 zeigt einen kegelförmigen Verlauf des Blendekanals 15. Auch hier wird der geringste Durchmesser von < 10 μm nur im rechten Bereich, im Bereich 30a erreicht, im Bereich 30c ist der Durchmesser deutlich größer z. B. 100 μm. Auch hier können die Bereiche 30a und 30c, also der Kegel andersherum angeordnet sein, so dass der geringste Durchmesser auf der linken Seite und der größte Durchmesser auf der rechten Seite erreicht wird.

Claims

Vorrichtung zur Erzeugung zumindest eines Röntgenstrahlen (9) abgebenden ersten Brennflecks, zumindest bestehend aus einem Elektronenstrahlen (4) abgebenden Kathodenkörper (2), einer Anode (11), zumindest einem ein erstes Target (5) tragenden Grundkörper (6), auf dem sich bei Bestrahlung mit Elektronenstrahlen ein Röntgenstrahlen erzeugender erster Brennfleck bildet, und einem geschlossenen Gehäuse (12), dadurch gekennzeichnet, dass die Größe des ersten wirksamen Brennflecks durch Begrenzung der Elektronenstrahlen (4) und/oder der Röntgenstrahlen (9) durch einen Blendenkörper (14), welcher zumindest einen mechanischen Blendenkanal (15) aufweist, einstellbar ist.
Vorrichtung zur Erzeugung von zumindest zwei Röntgenstrahlen (9, 16) abgebender Brennflecken, zumindest bestehend aus einem Elektronenstrahlen abgebenden Kathodenkörper (2), einer Anode (11), zwei Targets (5, 18), auf denen sich bei Bestrahlung mit Elektronenstrahlen (4) zumindest zwei Röntgenstrahlen (9, 16) erzeugende Brennflecke bilden, und einem geschlossenen Gehäuse (12), dadurch gekennzeichnet, dass ein zweiter Brennfleck sich auf einem zweiten Target (18) bildet, welches eine Öffnung besitzt und mit einem anschließenden Blendenkanal (15) verbunden ist, der einen Teil der Elektronenstrahlen (4) passieren lässt, der anschließend auf ein erstes Target (5) trifft und einen ersten Brennfleck bildet, wobei die wirksame Größe des ersten Brennflecks eingestellt wird durch die Größe der Öffnung und/oder des Blendenkanals und vorzugsweise zusätzlich durch die Größe einer Blende (17), die in Ausbreitungsrichtung der durch den zweiten Brennfleck abgegebenen Röntgenstrahlung (9) angeordnet ist.
Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das erste und/oder das zweite Target (5, 18) so angeordnet sind, dass Elektronenstrahlen (4) und jeweils erzeugte Röntgenstrahlen (9, 16) unterschiedliche Ausbreitungsrichtungen besitzen, vorzugsweise eine oder beide Targetflächen hierzu um einen Winkel von 6° bis 45°, besonders bevorzugt von 11° bis 25° oder von 40°, zur Ausbreitungsrichtung der Elektronenstrahlen gekippt angeordnet ist.
Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Blendenkörper (14) aus zumindest einem Blendenkanal (15) und ein den oder die Blendenkanäle umgebenden Körper, vorzugsweise Kupferkörper, besteht, der ausgebildet ist, um gekühlt zu werden, vorzugsweise Volumen besitzt, in dem Kühlkanäle (19) integrierbar sind oder an das sich ein Kühlkörper anschließt, vorzugsweise indem das mathematische Verhältnis aus Länge des Blendenkanals in Millimetern und von Elektronenstrahlen bestrahlter Fläche des Blendenkörpers in Quadratmillimetern mindestens 50, bevorzugt mindestens 100, besonders bevorzugt mindestens 150, beträgt und/oder das mathematische Verhältnis aus Volumen des Blendenkörpers in Kubikmillimetern und von Elektronenstrahlen bestrahlter Fläche des Blendenkörpers in Quadratmillimetern mindestens 1000, bevorzugt mindestens 10.000, besonders bevorzugt mindestens 30.000, beträgt.
Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Blendenkörper (14) aus das zumindest eine zweite Target (18) tragendem Grundkörper (6) gebildet ist oder mit diesem eine Einheit bildet.
Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Blendenkörper (14) und/oder der Grundkörper (6) mit einer Kühlflüssigkeit, vorzugsweise mit Wasser, kühlbar ist, vorzugsweise durch in den Blendenkörper und/oder Grundkörper eingebrachte und/oder um diesen herum angeordnete Kühlkanäle.
Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das zweite Target (18) und gegebenenfalls das erste Target (5) jeweils aus einem Material der Gruppe Wolfram, Rhodium, Molybdän, Chrom, Eisen, Silber besteht.
Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Blendenkörper (14) zumindest teilweise aus einem Material mit hoher Wärmeleitfähigkeit besteht, vorzugsweise mindestens der Wärmeleitfähigkeit von Kupfer, und vorzugsweise ein Target mit hoher Temperaturbeständigkeit trägt, vorzugsweise mindestens der Wärmeleitfähigkeit von Wolfram.
Vorrichtung nach zumindest Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass durch den Blendenkörper (14) zumindest ein weiterer, zweiter Brennfleck bildbar ist, vorzugsweise durch ein die Blende direkt umgebendes Target (18), das mit Elektronenstrahlen bestrahlbar ist.
Vorrichtung nach zumindest Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass durch den weiteren Brennfleck Röntgenstrahlen (16) bildbar sind, die in ihrer Strahlrichtung von der der ersten Röntgenstrahlen abweicht, vorzugsweise um mindestens 30°, bevorzugt um mindestens 80°, besonders bevorzugt um 90°.
Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass Mittel (20, 21) zum Drehen und/oder Verschieben vorgesehen sind, die die Strahlrichtung der ersten und der weiteren Röntgenstrahlen (9, 16) einstellen.
Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens jeweils zwei Blendenkanäle (15a, 15b) zur Begrenzung der Elektronenstrahlen (4a, 4b) und der Röntgenstrahlen einsetzbar sind und vorzugsweise der Grundkörper (6) zumindest zwei Targets aufweist.
Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass Mittel zur mechanischen Verschiebung des Blendenkörpers integriert sind, die die getrennte Bestrahlung der verschiedenen Blendenkanäle mit Elektronenstrahlen bzw. Röntgenstrahlen ermöglichen.
Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel (20) zur mechanischen Verschiebung des Grundkörpers (6) und/oder des Blendenkörpers (14) durch elektromagnetische Antriebe gebildet werden, die sich außerhalb des geschlossenen Gehäuses (12) befindet, wobei vorzugsweise in den beiden Endlagen ohne anliegendes magnetisches Feld eine stabile Position des Blendenkörpers vorliegt.
Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass Mittel zur Veränderung der Einstellung der elektromagnetischen Fokussierung des Elektronenstrahls einsetzbar sind, wodurch der Durchmesser und/oder die Divergenz der Elektronenstrahlen, vorzugsweise im Bereich der Blende, verringert werden.
Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass Mittel (28) zur Abdeckung vor zumindest einen Blendenkanal anordbar sind.
Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Blendenkörper (14) mit dem Grundkörper (6) und/oder dem Anodenkörper (11) elektrisch verbunden ist oder dass der Blendenkörper mit dem Grundkörper elektrisch nicht verbunden ist und einen elektrischen Anschluss zum Abführen von Ladungen enthält.
Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Blendenkanal (15) zur Begrenzung der Elektronenstrahlen und/oder der Blendenkanal (17) zur Begrenzung der Röntgenstrahlen durch eine Öffnung, vorzugsweise kreisrunde oder quadratische oder elliptische Öffnung, gebildet ist, welche einen konstanten Durchmesser bzw. Durchmesserverhältnis bzw. Breite oder abgestufte Durchmesser bzw. Durchmesserverhältnisse bzw. Breiten oder kontinuierlich veränderten Durchmesser bzw. Durchmesserverhältnis bzw. Breite, wie Kegel- bzw. Pyramidengeometrie, vorzugsweise elliptisch, aufweist.
Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der kleinste Durchmesser bzw. die kleinste Breite des Blendenkanals < 10 μm, bevorzugt < 3 μm und > 0,5 μm beträgt, und vorzugsweise der größte Durchmesser bzw. die größte Breite < 100 μm, bevorzugt < 50 μm und > 10 μm, beträgt oder der kleinste Durchmesser bzw. die kleinste Breite des Blendenkanals zwischen 10 μm und 150 μm beträgt und vorzugsweise der größte Durchmesser bzw. die größte Breite zwischen 150 μm und 5 mm beträgt.
Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Durchmesser bzw. die Breite des weiteren Brennflecks, gebildet durch das die Blende bzw. Öffnung des Blendenkörpers direkt umgebende Target, < 100 μm, bevorzugt < 80 μm, und > 10 μm, beträgt.
Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Blendenkanal zur Begrenzung der Röntgenstrahlen auf einen Brennfleck ausgerichtet ist.
Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Blendenkörper (14) zumindest einen Blendenkanal (15) zur Begrenzung der Elektronenstrahlen und zumindest einen Blendenkanal (17) zur Begrenzung der Röntgenstrahlen enthält.
Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass Röntgenspannungen ≥ 190 kV bis 450 kV, bevorzugt ≥ 225 kV bis 450 kV vorgesehen sind.
Vorrichtung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung in ein Koordinatenmessgerät integriert ist.
Verfahren zur Erzeugung zumindest eines Röntgenstrahlen abgebenden ersten Brennflecks mit einer Vorrichtung zumindest bestehend aus einem Elektronenstrahlen abgebenden Kathodenkörper, einer Anode, zumindest einem ein erstes Target tragenden Grundkörper, auf dem sich bei Bestrahlung mit Elektronenstrahlen ein Röntgenstrahlen erzeugender erster Brennfleck bildet und einem geschlossenen Gehäuse, dadurch gekennzeichnet, dass die Größe des ersten wirksamen Brennflecks durch Begrenzung der Elektronenstrahlen und/oder der Röntgenstrahlen durch einen Blendenkörper, welcher zumindest einen mechanischen Blendenkanal aufweist, eingestellt wird.
Verfahren zur Erzeugung von zumindest zwei Röntgenstrahlen abgebender Brennflecken mit einer Vorrichtung, zumindest bestehend aus einem Elektronenstrahlen abgebenden Kathodenkörper, einer Anode, einem zumindest zwei Targets tragenden Grundkörper, auf dem sich bei Bestrahlung mit Elektronenstrahlen zumindest zwei Röntgenstrahlen erzeugende Brennflecke bilden, und einem geschlossenen Gehäuse, dadurch gekennzeichnet, dass ein zweiter Brennfleck sich auf einem zweiten Target bildet, welches eine Öffnung besitzt und mit einem anschließenden Blendenkanal verbunden ist, der einen Teil der Elektronenstrahlen passieren lässt, der anschließend auf ein erstes Target trifft und einen ersten Brennfleck bildet, wobei die wirksame Größe des ersten Brennflecks eingestellt wird durch die Größe der Öffnung und/oder des Blendenkanals und vorzugsweise zusätzlich durch die Größe einer Blende, die in Ausbreitungsrichtung der durch den ersten Brennfleck abgegebenen Röntgenstrahlung angeordnet ist.
Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass durch Drehen und/oder Verschieben der Vorrichtung die Strahlrichtung der ersten und der weiteren Röntgenstrahlen eingestellt wird.
Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass durch mechanische Verschiebung des Blendenkörpers die getrennte Bestrahlung der verschiedenen Blendenkanäle mit Elektronenstrahlen bzw. Röntgenstrahlen erfolgt.
Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zur Verschiebung des Blendenkörpers ein elektromagnetischer Antriebe eingesetzt wird, der sich außerhalb der geschlossenen Röhre befindet, der den Blendenkörper vorzugsweise in die erste oder zweite Endlage verschiebt, in der der Blendenkörper ohne anliegendes magnetisches Feld eine stabile Position einnimmt und nach Erreichen einer Endlage abgeschaltet wird.
Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Einstellung der elektromagnetischen Fokussierung der Elektronenstrahlen verändert wird, um die verschiedenen Blendenkanäle mit Elektronenstrahlen getrennt zu bestrahlen.
Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Blendenkanal abgedeckt wird.
Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass erste und/oder zweite Röntgenstrahlen zur computertomographischen Messung eines Bauteils eingesetzt werden.
Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass erste und/oder zweite Röntgenstrahlen zur computertomographischen Bestimmung von Messpunkten, vorzugsweise 3D Messpunkten, an einem Bauteil eingesetzt werden.