DE102012007815A1 - Diamond coated saw wire for wire saw that is utilized for cutting hard-brittle materials into thin disks for manufacturing silicon wafers of semiconductor, has carbon fiber bundle embedded in hollow wire that is made of steel - Google Patents

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Abstract

The wire (10) has a core made of a carbon fiber bundle (12) that is formed from carbon fibers (14). Diamond particles are arranged on an external periphery surface of the wire, and the fiber bundle is embedded in a hollow wire (18) that is made of steel. The fiber bundle is arranged around a metallic twisted carrier wire and embedded into a resin matrix. The diamond particles are positively retained in the hollow wire that is manufactured by extrusion process. An internal bore (16) of the hollow wire is formed according to an outer diameter of the fiber bundle. An independent claim is also included for a method for manufacturing a saw wire.

Description

Die Erfindung betrifft einen Sägedraht für eine Drahtsäge nach dem Oberbegriff von Patentanspruch 1 sowie ein Verfahren zum Herstellen eines solchen Sägedrahts.The invention relates to a saw wire for a wire saw according to the preamble of patent claim 1 and a method for producing such a saw wire.

Diamant beschichtete Sägedrähte werden insbesondere zum Trennen von hartspröden Werkstoffen in dünne Scheiben eingesetzt. Ein wichtiges Anwendungsgebiet ist insbesondere die Herstellung von Silizium-Wafer in der Halbleitertechnologie.Diamond-coated sawing wires are used in particular for cutting hard-brittle materials into thin slices. An important field of application is in particular the production of silicon wafers in semiconductor technology.

Aus dem Stand der Technik bekannte Drahtsägen weisen Sägedrähte aus Stahl auf, die mit feinem Diamantpulver beschichtet werden. Beispielsweise kann auf die Oberfläche des Stahldrahts eine metallische Schichtmatrix, die chemisch oder galvanisch abgeschieden werden kann und aus Nickel, Chrom, Eisen oder Nickel-Eisen bestehen kann, aufgebracht werden. Während des Beschichtungsprozesses werden Diamantpartikel in die Schicht eingebracht bzw. in die bereits gebildete Schichtmatrix eingebetet.Wire saws known in the art have steel saw wires which are coated with fine diamond powder. For example, on the surface of the steel wire, a metallic layer matrix, which can be chemically or galvanically deposited and can consist of nickel, chromium, iron or nickel-iron, are applied. During the coating process diamond particles are introduced into the layer or embedded in the already formed layer matrix.

Die Qualität und Haltbarkeit derartiger Sägedrähte ist stark abhängig von der Duktilität und Haftfestigkeit der angebrachten Schicht, sowie von der Homogenität der Verteilung der eingebetteten Diamantpartikel. Die maximal erreichbare Schnittgeschwindigkeit hängt darüber hinaus von der Zugfestigkeit des Drahtmaterials sowie von der Haft- und Scherfestigkeit des aufgebrachten Schichtsystems ab.The quality and durability of such saw wires is highly dependent on the ductility and adhesion of the applied layer, as well as the homogeneity of the distribution of the embedded diamond particles. The maximum achievable cutting speed also depends on the tensile strength of the wire material and on the adhesive and shear strength of the applied layer system.

Auf Grund dieser Erfordernisse ist die Herstellung von Diamantsägedrähten aufwendig und teuer. Ein weiteres Problem liegt in der oftmals uhrgeringen Haltbarkeit der Sägedrähte. Üblicherweise werden als Drahtwerkstoff wärmebehandelte Stähle eingesetzt, die in der Regel eine Zugfestigkeit von 2000 MPa und ein E-Modul von 210 GPa bei einem Drahtdurchmesser von 150 bis 800 μm aufweisen. Die Zugfestigkeit des Drahtes limitiert dabei insbesondere die Vorspannung des Drahtes während des Sägens. Je höher die Festigkeit liegt, desto schneller kann der Sägevorgang durchgeführt werden und desto geringer fällt der Dauerverschleiß des Sägegrads aus.Due to these requirements, the production of diamond saw wires is complicated and expensive. Another problem is the often untethered durability of the saw wires. Heat-treated steels are usually used as the wire material, which generally have a tensile strength of 2000 MPa and an E modulus of 210 GPa with a wire diameter of 150 to 800 μm. The tensile strength of the wire limits in particular the bias of the wire during sawing. The higher the strength, the faster the sawing process can be carried out and the less the continuous wear of the sawing grade.

Es ist somit Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Sägedraht nach dem Oberbegriff von Patentanspruch 1 sowie ein Verfahren zu dessen Herstellung bereit zu stellen, welche besonders kostengünstig sind und dabei gleichzeitig den Verschleiß beim Sägen reduzieren und eine höhere Sägegeschwindigkeit erlauben.It is therefore an object of the present invention to provide a saw wire according to the preamble of claim 1 and a method for its production, which are particularly cost-effective while reducing the wear during sawing and allow a higher sawing speed.

Diese Aufgabe wird durch einen Sägedraht mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 sowie durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Patentanspruchs 5 gelöst.This object is achieved by a sawing wire having the features of patent claim 1 and by a method having the features of patent claim 5.

Ein derartiger Sägedraht für eine Drahtsäge weist einen Kern aus einem Faserstrang, insbesondere aus Kohlefasern auf und ist auf seiner Außenumfangsfläche mit Hartstoffpartikeln, insbesondere aus Diamant besetzt. Erfindungsgemäß ist dabei vorgesehen, dass der Faserstrang in einem metallischen Mantel, insbesondere aus Stahl eingebetet ist. Die Kombination von hoch zugfesten Kohlefasern mit einem Stahlmantel erlaubt es, Zugfestigkeiten von ca. 5500 MPa und E-Module von ca. 400 GPa zu erreichen, welche deutlich über den Eigenschaften von reinen Stahldrähten liegen. Hierdurch ist eine besonders hohe Vorspannung während des Sägens ermöglicht, wobei gleichzeitig der Dauerverschleiß des Drahtes reduziert wird. Der Stahlmantel stützt dabei das Kohlefaserbündel, so dass verglichen mit reinen Kohlefaserdrähten ein besonders geringer Verschleiß gewährleistet werden kann. Insbesondere wird so vermieden, dass die Diamantpartikel während des Sägens das Kohlefaserbündel beschädigen und dessen Festigkeit reduzieren.Such a saw wire for a wire saw has a core of a fiber strand, in particular of carbon fibers and is on its outer peripheral surface with hard material particles, in particular made of diamond. According to the invention it is provided that the fiber strand is embedded in a metallic shell, in particular of steel. The combination of high-tensile carbon fibers with a steel jacket makes it possible to achieve tensile strengths of approx. 5500 MPa and E-modules of approx. 400 GPa, which are well above the properties of pure steel wires. This allows a particularly high bias during sawing, while the endurance of the wire is reduced. The steel jacket supports the carbon fiber bundle, so that compared to pure carbon fiber wires a particularly low wear can be guaranteed. In particular, it is avoided that the diamond particles during sawing damage the carbon fiber bundle and reduce its strength.

In weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist der Faserstrang um einen metallischen Trägerdraht angeordnet, insbesondere um ihn herum geflochten. Hierdurch ergibt sich ein insgesamt 3-schichtiger Aufbau aus Trägerdraht, Kohlefasern und Deckmantel. Dies verleiht den Sägendraht eine besonders hohe Festigkeit.In a further embodiment of the invention, the fiber strand is arranged around a metallic carrier wire, in particular braided around it. This results in a total of 3-layer structure of carrier wire, carbon fibers and cover. This gives the saw wire a particularly high strength.

Durch die Einbettung des Faserstrangs in eine Harzmatrix kann die Haltbarkeit des Sägedrahts weiter erhöht werden.By embedding the fiber strand in a resin matrix, the durability of the saw wire can be further increased.

Um auch die Scherfestigkeit und damit die Haltbarkeit der Hartstoffpartikel am Draht zu erhöhen, ist es zweckmäßig, die Hartstoffpartikel formschlüssig in den metallischen Mantel aufzunehmen. Dies kann beispielsweise durch Einwalzen oder dergleichen geschehen. Neben der Festigkeit des Drahtes selber wird so die Haltbarkeit der eigentlichen schneidenden Element am Draht verbessert, so dass auch diese Verschleißquelle reduziert wird.In order to increase the shear strength and thus the durability of the hard particles on the wire, it is expedient to receive the hard particles positively in the metallic shell. This can be done for example by rolling or the like. In addition to the strength of the wire itself so the durability of the actual cutting element on the wire is improved, so that this source of wear is reduced.

Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zum Herstellen eines Sägedrahts für eine Drahtsäge, bei welchem ein Faserbündel, insbesondere aus Kohlefasern, in einen metallischen Mantel eingebettet wird, dessen Außenumfangsfläche anschließend durch Walzen mit Harzstoffpartikeln, insbesondere mit Diamantpartikel, versehen wird.The invention further relates to a method for producing a saw wire for a wire saw, in which a fiber bundle, in particular of carbon fibers, is embedded in a metallic shell, the outer peripheral surface is then provided by rolling with Harzstoffpartikeln, in particular with diamond particles.

Wie bereits anhand des erfindungsgemäßen Sägedrahts geschildert, kann so ein Draht geschaffen werden, der sowohl besonders zugfest und damit unter besonders hoher Spannung betreibbar ist, als auch eine besonders haltbare Beschichtung mit Hartstoffpartikeln aufweist. Insgesamt kann mit einem derart hergestellten Draht somit eine besonders hohe Schnittgeschwindigkeit beim Drahtsägen bei gleichzeitig geringen Drahtverschleiß erzielt werden.As already described with reference to the saw wire according to the invention, a wire can thus be created which is both particularly resistant to tension and thus operable under particularly high tension, as well as a particularly durable coating Has hard particles. Overall, a particularly high cutting speed during wire sawing with simultaneously low wire wear can thus be achieved with a wire produced in this way.

Vorzugsweise wird das Faserbündel vor dem Einbetten mit einem Harz imprägniert, um dessen Verbund mit dem Stahlmantel besonders stabil zu gestalten.Preferably, the fiber bundle is impregnated with a resin prior to embedding in order to make its bonding with the steel shell particularly stable.

Es ist ferner zweckmäßig, wenn vor dem Aufbringen der Hartstoffpartikel der metallische Mantel in einem ersten Walzschritt bei 1000 bis 1200°C unter Aktivierung des Harzes warm umgeformt wird. Hierdurch wird eine sehr festen Verbindung zwischen dem Trägerdraht, also dem Faserbündel, und dem Deckmantel geschaffen.It is also expedient if, before the application of the hard material particles, the metallic shell is hot-formed in a first rolling step at from 1000 to 1200 ° C. with the activation of the resin. As a result, a very strong connection between the carrier wire, so the fiber bundle, and the cover is created.

In einem zweiten Walzschritt wird zum Aufbringen der Hartstoffpartikel der Sägedraht bei 500 bis 700°C haltbar umgeformt. Hierdurch wird der Verbunddraht auf den gewünschten Enddurchmesser gebracht, während die Hartstoffpartikel gleichzeitig form- und reibschlüssig besonders stabil in den Draht eingebracht werden.In a second rolling step, the saw wire is thermoformed at 500 to 700 ° C for applying the hard material particles. As a result, the composite wire is brought to the desired final diameter, while the hard particles are introduced at the same time form and frictionally particularly stable in the wire.

Nach dem Aufbringen der Hartstoffpartikel ist es zweckmäßig, den Sägedraht noch in einem dritten Walzschritt bei 200 bis 300°C halbwarm umzuformen. Dadurch gewinnt der Verbunddraht eine höhere Duktilität, so dass seine Verschleißfestigkeit weiter verbessert wird.After application of the hard material particles, it is expedient to form the saw wire in a third rolling step at 200 to 300 ° C half-warm. As a result, the composite wire gains a higher ductility, so that its wear resistance is further improved.

Das Faserbündel wird ferner zweckmäßigerweise vor dem Einbetten in den Mantel um einen metallischen Trägerdraht angeordnet, insbesondere geflochten, um so eine besonders gute Haltbarkeit zu schaffen.The fiber bundle is expediently arranged before embedding in the shell to a metallic support wire, in particular braided, so as to provide a particularly good durability.

Im Folgenden wird die Erfindung und ihre Ausführungsformen anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:In the following the invention and its embodiments will be explained in more detail with reference to the drawing. Show it:

1 eine schematische Schnittdarstellung durch ein Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Sägedrahtes nach Einbringen des Kohlefaserbündels in den Stahlmantel; 1 a schematic sectional view through an embodiment of a saw wire according to the invention after introduction of the carbon fiber bundle in the steel shell;

2 eine schematische Querschnittsdarstellung des Drahtes gemäß 1 nach dem ersten Walzschritt; 2 a schematic cross-sectional view of the wire according to 1 after the first rolling step;

3 eine schematische Querschnittsdarstellung des Drahtes gemäß 1 und 2 nach dem zweiten Walzschritt; 3 a schematic cross-sectional view of the wire according to 1 and 2 after the second rolling step;

4 eine schematische Darstellung einer Walzanordnung zum Herstellen eines Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Sägedrahtes. 4 a schematic representation of a rolling assembly for producing an embodiment of a saw wire according to the invention.

Zur Herstellung eines im Ganzen mit 10 bezeichneten Sägedrahtes für eine Drahtsäge wurde zunächst ein Bündel 12 aus Kohlefasern 14, die der Übersichtlichkeit halber nicht alle bezeichnet sind, hergestellt. Die Kohlefasern 14 können dabei in einem Trägerdraht geflochten werden. Insgesamt besteht das Bündel 12 aus ca. 10 bis 100 einzelnen Fasern und weist einen Durchmesser von 150 bis 1000 μm auf. Das Bündel 12 wird in der Folge in einem inneren Hohlraum 16 eines Hohldrahts 18 aus Stahl eingeführt.To produce a whole with 10 designated saw wire for a wire saw was initially a bundle 12 made of carbon fibers 14 , which for the sake of clarity not all are designated produced. The carbon fibers 14 can be braided in a carrier wire. Overall, the bundle exists 12 from about 10 to 100 individual fibers and has a diameter of 150 to 1000 microns. The bundle 12 is subsequently in an inner cavity 16 a hollow wire 18 made of steel.

Der Hohldraht 18 besteht dabei aus einem hochfesten Stahllegierung und kann durch Strangpressen hergestellt werden. Die Innenbohrung 16 des Hohldrahtes ist nach dem Außendurchmesser des Kohlefaserbündels 12 auszulegen und sollte diesen leicht übersteigen, so dass das Kohlefaserbündel 12 leicht eingeführt werden kann. Hierfür bietet sich ein Innendurchmesser von 300 bis 1500 μm an. Das Einführen des Kohlefaserbündels 12 in den Hohlraum 16 kann durch kontinuierliches Ziehen erfolgen. Da die Gradheit des Kohlfaserbündels 12 dank seiner hohen Hart sehr hoch ist, kann der Hohldraht 18, insbesondere beim vorher genannten Aufmaß des Innendurchmessers, problemlos aufgezogen werden.The hollow wire 18 consists of a high-strength steel alloy and can be produced by extrusion. The inner bore 16 of the hollow wire is according to the outer diameter of the carbon fiber bundle 12 and should easily exceed this, leaving the carbon fiber bundle 12 can be easily introduced. For this purpose, an inner diameter of 300 to 1500 microns offers. The insertion of the carbon fiber bundle 12 in the cavity 16 can be done by continuous drawing. Because the degree of carbon fiber bundle 12 Thanks to its high hardness is very high, the hollow wire can 18 , especially in the aforementioned allowance of the inner diameter, are easily reared.

Vor der Einführung des Kohlfaserbündels 12 in den inneren Hohlraum 16 des Hohldrahts 18 wird das Kohlfaserbündel 12 vorzugsweise mit einer epoxid- oder polyesterharzhaltigen Präpäration imprägniert, so dass ich beim Einführen ein dünner Film des Harzes um das Kohlefaserbündel 12 bildet.Before the introduction of the carbon fiber bundle 12 in the inner cavity 16 of the hollow wire 18 becomes the cabbage fiber bundle 12 preferably impregnated with an epoxy or polyester resin-containing preparation, so that when I introduce a thin film of the resin around the carbon fiber bundle 12 forms.

Der so hergestellte Verbund aus Hohldraht 18 und Köhlefaserbündel 12 wird in der Folge in einer ersten Walzstation warm umgeformt. Die Walzstation weist zwei gegenläufig rollende Walzen auf, deren Achsen ca. 15°C zueinander versetzt sind. In der ersten Walzstation wird, wie im Querschnitt in 2 veranschaulicht der Außendurchmesser des Verbundes aus Hohldraht 18 und Kohlefaserbündel 12 auf ca. 90% des Ausgangsdurchmessers reduziert. Die Temperatur der Walzen beträgt dabei ca. 1100°C, wodurch gleichzeitig das vorher aufgebrachte Haftvermittlerharz um das Kohlefaserbündel 12 aktiviert wird. Hierdurch wird eine sehr feste Verbindung zwischen den Kohlefaserbündel 12 und dem Hohldraht 18 hergestellt.The composite of hollow wire thus produced 18 and Köhlefaserbündel 12 is subsequently thermoformed in a first rolling station. The rolling station has two counter-rotating rollers whose axes are offset by about 15 ° C to each other. In the first rolling station, as in cross section in 2 illustrates the outer diameter of the composite of hollow wire 18 and carbon fiber bundles 12 reduced to about 90% of the initial diameter. The temperature of the rollers is about 1100 ° C, thereby simultaneously the previously applied adhesive resin around the carbon fiber bundle 12 is activated. This creates a very strong bond between the carbon fiber bundles 12 and the hollow wire 18 produced.

In einer zweiten Walzstation wird der so erzeugte Verbunddraht 10 auf den gewünschten Enddurchmesser gewalzt. Hierbei wird gleichzeitig Diamantpulver in die Walzfuge eingebracht, so dass sich Diamantpartikel 20 in die äußere Oberfläche 22 des Hohldrahtes 18 einlagern. Durch die form- und reibschlüssige Verbindung zwischen Diamantpartikeln 20 und Hohldraht 18 wird eine besonders gute Haltbarkeit der Diamantpartikel 20 sichergestellt. Die Temperatur bei diesem Walzschritt beträgt ca. 600°C, um eine höhere Verbindungsfestigkeit zwischen Diamantpartikeln 20 und dem Material des Hohldrahtes 18 durch eine definierte Schrumpfung nach dem Walzen zu gewährleisten.In a second rolling station, the composite wire thus produced becomes 10 rolled to the desired final diameter. At the same time diamond powder is introduced into the rolling joint, so that diamond particles 20 in the outer surface 22 of the hollow wire 18 store. Due to the positive and frictional connection between diamond particles 20 and hollow wire 18 is a particularly good durability of the diamond particles 20 ensured. The temperature in this rolling step is about 600 ° C, to a higher bonding strength between diamond particles 20 and the material of the hollow wire 18 to ensure a defined shrinkage after rolling.

Unmittelbar nach dem zweiten Walzvorgang folgt die thermische Schrumpfung des Hohldrahtes 18 und ein einschließender dritter Walzvorgang, der bei einem sehr leichten Walzdruck und bei einer Temperatur von 250°C durchgeführt wird, wobei der Verbunddraht 10 eine höhere Duktilität gewinnt.Immediately after the second rolling follows the thermal shrinkage of the hollow wire 18 and an enclosing third rolling operation performed at a very light rolling pressure and at a temperature of 250 ° C, the composite wire 10 a higher ductility wins.

4 zeigt exemplarisch eine Walzstation zur Durchführung des geschilderten Verfahrens. Die gegenläufig rotierenden Walzen 24, 26 weisen einen Winkel zwischen ihren jeweiligen Rotationsachsen 28, 30 von ca. 15°C auf. Hierdurch wird der Draht 10, der vor Eintritt in die Walzen eine Imprägniervorrichtung 32 durchläuft in Rotation um den Pfeil 34 versetzt, so dass ein besonders gleichmäßiges Walzergebnis erzielt wird. 4 shows an example of a rolling station for carrying out the described method. The counter-rotating rollers 24 . 26 have an angle between their respective axes of rotation 28 . 30 from about 15 ° C on. This will be the wire 10 , before entering the rollers an impregnator 32 goes through rotation around the arrow 34 offset, so that a particularly uniform rolling result is achieved.

Insgesamt wird so ein besonders verschleißarmer, dehnungsstabiler und induktiver Sägedraht geschaffen, mit dem besonders hohe Sägegeschwindigkeiten bei besonders geringem Abrieb realisiert werden können.Overall, a particularly low-wear, strain-resistant and inductive sawing wire is thus created, with which particularly high sawing speeds can be realized with particularly low abrasion.

Claims (10)

Sägedraht (10) für eine Drahtsäge, welcher einen Kern aus einem Faserstrang (12), insbesondere aus Kohlefasern, aufweist, und welcher auf seiner Außenumfangsfläche (22) mit Hartstoffpartikeln (20), insbesondere aus Diamant, besetzt ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Faserstrang (12) in einen metallischen Mantel (18), insbesondere aus Stahl, eingebettet ist.Saw wire ( 10 ) for a wire saw which comprises a core of a fiber strand ( 12 ), in particular of carbon fibers, and which on its outer peripheral surface ( 22 ) with hard material particles ( 20 ), in particular of diamond, is occupied, characterized in that the fiber strand ( 12 ) in a metallic shell ( 18 ), in particular of steel, is embedded. Sägedraht (10) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Faserstrang (12) um einen metallischen Trägerdraht angeordnet, insbesondere geflochten, ist.Saw wire ( 10 ) according to claim 1, characterized in that the fiber strand ( 12 ) is arranged around a metallic support wire, in particular braided, is. Sägedraht (10) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Faserstrang (12) in eine Harzmatrix eingebettet ist.Saw wire ( 10 ) according to claim 1 or 2, characterized in that the fiber strand ( 12 ) is embedded in a resin matrix. Sägedraht (10) nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Hartstoffpartikel (22) formschlüssig in dem metallischen Mantel (18) aufgenommen sind.Saw wire ( 10 ) according to one of claims 1 to 3, characterized in that the hard material particles ( 22 ) in the metallic shell ( 18 ) are included. Verfahren zum Herstellen eines Sägedrahts (10) für eine Drahtsäge, bei welchem ein Faserbündel (12), insbesondere aus Kohlefasern, in einen metallischen Mantel (18) eingebettet wird, dessen Außenumfangsfläche (22) anschließend durch Walzen mit Hartstoffpartikeln (20), insbesondere mit Diamantpartikeln, versehen wird.Method for producing a sawing wire ( 10 ) for a wire saw, in which a fiber bundle ( 12 ), in particular of carbon fibers, in a metallic shell ( 18 ) whose outer peripheral surface ( 22 ) by rolling with hard particles ( 20 ), in particular with diamond particles. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Faserbündel (12) vor dem Einbetten mit einem Harz imprägniert wird.Method according to claim 5, characterized in that the fiber bundle ( 12 ) is impregnated with a resin before embedding. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass vor dem Aufbringen der Hartstoffpartikel (20) der metallische Mantel (18) in einem ersten Walzschritt bei 1000 bis 1200°C unter Aktivierung des Harzes warmumgeformt wird.A method according to claim 6, characterized in that before the application of the hard material particles ( 20 ) the metallic shell ( 18 ) is hot-worked in a first rolling step at 1000 to 1200 ° C with activation of the resin. Verfahren nach einem der Ansprüche 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass zum Aufbringen der Hartstoffpartikel (20) der Sägedraht (10) in einem zweiten Walzschritt bei 500 bis 700°C halbwarmumgeformt wird.Method according to one of claims 5 to 7, characterized in that for applying the hard material particles ( 20 ) saw wire ( 10 ) is semi-hot formed at 500 to 700 ° C in a second rolling step. Verfahren nach einem der Ansprüche 5 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass nach dem Aufbringen der Hartstoffpartikel (20) der Sägedraht (10) in einem dritten Walzschritt bei 200 bis 300°C halbwarmumgeformt wird.Method according to one of claims 5 to 8, characterized in that after the application of the hard material particles ( 20 ) saw wire ( 10 ) is semi-hot formed in a third rolling step at 200 to 300 ° C. Verfahren nach einem der Ansprüche 5 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Faserbündel (12) vordem Einbetten in den Mantel (18) um einen metallischen Trägerdraht angeordnet, insbesondere geflochten wird.Method according to one of claims 5 to 9, characterized in that the fiber bundle ( 12 ) before embedding in the coat ( 18 ) is arranged around a metallic support wire, in particular braided.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102015204275B3 (en) * 2015-03-10 2016-05-12 Siltronic Ag Method for resuming a wire-cutting operation with structured saw wire after interruption
DE102016224640A1 (en) 2016-12-09 2018-06-14 Siltronic Ag Method for sawing a workpiece with a wire saw
CN108315803A (en) * 2018-05-11 2018-07-24 山东大学 A kind of carbon fiber substrate electroplating diamond wire saw silk and preparation method thereof
WO2022253578A1 (en) 2021-05-31 2022-12-08 Siltronic Ag Method for simultaneously cutting a plurality of disks from a workpiece

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102015204275B3 (en) * 2015-03-10 2016-05-12 Siltronic Ag Method for resuming a wire-cutting operation with structured saw wire after interruption
DE102016224640A1 (en) 2016-12-09 2018-06-14 Siltronic Ag Method for sawing a workpiece with a wire saw
DE102016224640B4 (en) 2016-12-09 2024-03-28 Siltronic Ag Method for sawing a workpiece with a wire saw
CN108315803A (en) * 2018-05-11 2018-07-24 山东大学 A kind of carbon fiber substrate electroplating diamond wire saw silk and preparation method thereof
WO2022253578A1 (en) 2021-05-31 2022-12-08 Siltronic Ag Method for simultaneously cutting a plurality of disks from a workpiece
US11717930B2 (en) 2021-05-31 2023-08-08 Siltronic Corporation Method for simultaneously cutting a plurality of disks from a workpiece

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