DE102011088099A1 - Vacuum chamber for use during manufacture of substrate, has inner layer which is secured to wall of metallic chamber housing - Google Patents

Abstract

The vacuum chamber has inner layer (7) which is secured to wall of metallic chamber housing (1). The inner layer is made of material such as stainless steel which is corrosion resistant and has reduced sorption and desorption rate of water vapor. An independent claim is included for method for manufacturing vacuum chamber.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vakuumkammer mit einem metallischen Kammergehäuse, welches mittelbar oder unmittelbar evakuierbar und gegenüber der Umgebung abgrenzbar ist. The invention relates to a vacuum chamber with a metallic chamber housing which can be evacuated directly or indirectly and can be delimited from the environment.

Derartige Vakuumkammern werden für sehr verschiedene Anwendungen benötigt und können lediglich ein evakuiertes Vakuum zur Verfügung stellen oder der Bearbeitung, Behandlung, Lagerung oder dem Transport verschiedenster Gegenstände und sehr unterschiedlichen Bedingungen dienen. Eine solche Vakuumkammer kann für sich allein gegenüber der Umgebung durch geeignete Verschlussmechanismen gegenüber atmosphärischem Druck oder als Teil eines größeren Volumens gegenüber dem restlichen Volumen, welches auch unter einem anderen als atmosphärischem Druck stehen kann, abgrenzbar sein. Je nach Druckdifferenz sind verschiedene Mittel zur Abgrenzung bekannt. Such vacuum chambers are required for very different applications and can only provide an evacuated vacuum or serve the processing, treatment, storage or transport of various objects and very different conditions. Such a vacuum chamber may by itself be delimitable from the environment by suitable sealing mechanisms against atmospheric pressure or as part of a larger volume than the remaining volume, which may also be at a pressure other than atmospheric pressure. Depending on the pressure difference, various means of demarcation are known.

Die in einer Vakuumkammer zu bearbeitenden Substrate können verschiedenster Art und Form sein. Auch die Art der Bearbeitung und Behandlung sind sehr vielfältig, so dass die Gestaltung der Vakuumkammer, insbesondere deren Größe und Form, sowohl durch das Substrat als auch durch die in der Vakuumkammer auszuführenden Arbeiten bestimmt wird. Bekannt sind Vakuumkammern mit planaren oder gewölbten Wandungen oder Kombinationen von beidem. Auch ein- oder mehrteilige Wandungen sind bekannt. The substrates to be processed in a vacuum chamber can be of very different types and shapes. The type of processing and treatment are very diverse, so that the design of the vacuum chamber, in particular its size and shape, is determined both by the substrate and by the work to be carried out in the vacuum chamber. Are known vacuum chambers with planar or curved walls or combinations of both. One- or multi-part walls are known.

Derartige Vakuumkammern sind allgemein aus einem metallischen Kammergehäuse gebildet und weisen Mittel zur Herstellung des Vakuums im Inneren des Kammergehäuses. Diese Mittel können der unmittelbaren Vakuumerzeugung in der Kammer dienen, z.B. durch den direkten Anschluss einer Pumpeinheit oder den Anschluss von Pumpleitungen, die ihrerseits mit einem Pumpstand verbunden sind. Auch mittelbare Vakuumerzeugung findet häufig Anwendung, wobei die Absaugung über benachbarte Kammern erfolgt und die Volumina beider Kammern mit geeigneten Öffnungen miteinander in Verbindung stehen. Diese Öffnungen können durch solche Zu- oder Abgänge realisiert sein, die der Bedienung der Vakuumkammer und deren Einrichtungen dienen. Alternativ oder ergänzend kann die zu evakuierende Vakuumkammer auch über Saugöffnungen geeigneten anderen Volumina, z.B. weiteren Vakuumkammern oder Pufferkammern verbunden sein. Such vacuum chambers are generally formed from a metallic chamber housing and have means for producing the vacuum in the interior of the chamber housing. These means may serve for immediate vacuum generation in the chamber, e.g. by the direct connection of a pump unit or the connection of pumping lines, which in turn are connected to a pumping station. Indirect vacuum generation is also frequently used, the suction taking place via adjacent chambers and the volumes of both chambers communicating with each other with suitable openings. These openings can be realized by such entrances or exits, which serve the operation of the vacuum chamber and their facilities. Alternatively or additionally, the vacuum chamber to be evacuated can also be provided with suction openings of other suitable volumes, e.g. be connected to other vacuum chambers or buffer chambers.

Je nach Zweck der Vakuumkammer und Art der Substrate können verschiedene Einbauten im Kammergehäuse angeordnet sein. Diese Einbauten können der Aussteifung dienen, je nach Größe und Gestalt der Kammerwandung, sie können der Montage von Komponenten und Arbeitsmitteln dienen, der Handhabung der Substrate oder der Bedienung verschiedener Geräte und Messmittel in der Vakuumkammer. Depending on the purpose of the vacuum chamber and the nature of the substrates, various internals may be arranged in the chamber housing. Depending on the size and shape of the chamber wall, these installations can serve for stiffening; they can be used to assemble components and working materials, to handle the substrates or to operate various devices and measuring devices in the vacuum chamber.

Als Material für die Kammerwandung wird häufig Stahl oder Edelstahl verwendet. Die Vorteile vom Edelstahl liegen in den vergleichsweise niedrigen Desorptionsraten von Gasen und Wasser ins Vakuum und in der guten Korrosionsbeständigkeit, auch gegenüber ungünstigen klimatischen Bedingungen in und um die Vakuumkammer. Wenn z.B. bei einer geöffneten Vakuumkammer Wasser aus der Umgebungsluft eindringt und an die Kammerwand absorbiert, kann es beim Evakuieren vergleichsweise einfach entfernt werden. Nachteilig sind jedoch der hohe Preis sowie eine schwierigere Verarbeitung von Edelstahl im Vergleich zu Stahl. The material used for the chamber wall is often steel or stainless steel. The advantages of stainless steel lie in the comparatively low desorption rates of gases and water in the vacuum and in the good corrosion resistance, even against unfavorable climatic conditions in and around the vacuum chamber. If e.g. When water from the ambient air penetrates into an open vacuum chamber and absorbs it to the chamber wall, it can be removed comparatively easily during evacuation. The disadvantage, however, is the high price and a more difficult processing of stainless steel compared to steel.

Vorteile vom Stahl, häufig auch als Baustahl bezeichnet, sind der niedrige Preis und dessen vergleichsweise einfache Verarbeitung. Auch die Desorptionsrate von Gasen und Wasser ins Vakuum ist im nichtkorrodierten Zustand nur geringfügig höher als bei Edelstahl. Nachteile von Baustahl sind schlechte Korrosionsbeständigkeit, insbesondere bei ungünstigen Umgebungsbedingungen. Die korrodierten Oberflächen sind porös, die Aufnahme und Desorption von Gasen und Wasser steigt, wodurch sich der Basisdruck solcher Anlagen mit der Zeit verschlechtern kann. Insbesondere können Korrosionspartikel entstehen, die eine schädliche Auswirkung auf die Qualität des Vakuums und damit auf die Gegenstände haben können, die mit der Vakuumkammer in einer Beziehung stehen. Advantages of steel, often referred to as structural steel, are the low price and its comparatively simple processing. Also, the desorption rate of gases and water into the vacuum is only slightly higher in non-corroded state than in stainless steel. Disadvantages of mild steel are poor corrosion resistance, especially in unfavorable environmental conditions. The corroded surfaces are porous, the uptake and desorption of gases and water increases, which may cause the base pressure of such equipment to deteriorate over time. In particular, corrosion particles may arise which may have a detrimental effect on the quality of the vacuum and hence on the articles which are in communication with the vacuum chamber.

Zum Korrosionsschutz von Baustahl sind Beschichtungen bekannt, aber nur wenige weisen eine ausreichend niedrige Desorption, eine technologisch unproblematische Auftragung sowie günstige Realisierungskosten auf. Z.B. werden organische Lacke verwendet, die Korrosionsschutz bieten. Auch Pulverbeschichtungen können gute korrosionsbeständige Eigenschaften aufweisen, sind aber bei großen Baustahlkammern kaum zu einem kommerziell sinnvollen Preis aufzutragen. For corrosion protection of structural steel coatings are known, but only a few have a sufficiently low desorption, a technologically unproblematic application and low implementation costs. For example, Organic paints are used that provide corrosion protection. Even powder coatings can have good corrosion-resistant properties, but are hardly applied to a commercially reasonable price in large structural steel chambers.

Für Vakuumanwendungen eventuell verwendbare organische Lacke weisen eine relativ hohe Desorptionsrate im Bereich von 1 × 10–2 mbar·l/(s·m²) auf. Sie nehmen auch verhältnismäßig viel Feuchtigkeit auf, wenn z.B. beim Öffnen der Vakuumkammer zur Bestückung mit Gegenständen oder zur Wartung atmosphärische Bedingungen anliegen. Deshalb ist ihr Einsatz nur auf Vakuumanwendungen mit niedrigen Anforderungen an die Desorption der Kammerwände beschränkt: z.B. in Schleusen. Um die Beschichtungen auch in Hochvakuum-Bereichen verwenden zu können, muss man solche Beschichtungen finden, die eine um Größenordnungen tiefere Desorptionsrate als 1 × 10–2 mbar·l/(s m²) aufweisen, kommerziell verfügbar und mit vertretbarem Aufwand realisierbar sind. Organic coatings which may be used for vacuum applications have a relatively high desorption rate in the range of 1 × 10 -2 mbar · l / (s · m ² ). They also absorb a relatively large amount of moisture, for example, when atmospheric conditions prevail when opening the vacuum chamber for equipment or for maintenance. Therefore, their use is limited only to vacuum applications with low demands on the desorption of the chamber walls: eg in locks. In order to be able to use the coatings even in high-vacuum ranges, it is necessary to find coatings which have an order of magnitude lower desorption rate than 1 × 10 -2 mbar · l / (sm ² ), are commercially available and feasible with reasonable effort.

Der Erfindung liegt somit die Aufgabe zugrunde, eine Vakuumkammer anzugeben, deren metallischen Kammergehäuse aus einem preiswerten und gut zu verarbeitenden Material besteht und eine zumindest der Umgebungsluft gegenüber verbesserte Korrosionsbeständigkeit aufweist, bei gleichzeitiger Einhaltung einer möglichst niedrigen Desorption von Wasser ins Vakuum bzw. Aufnahme von Wasser aus der umgebenden Atmosphäre. The invention is therefore based on the object to provide a vacuum chamber, the metallic chamber housing consists of a cheap and easy to process material and at least the ambient air has improved corrosion resistance, while maintaining the lowest possible desorption of water into the vacuum or water from the surrounding atmosphere.

Zur Lösung der Aufgabe wird eine Vakuumkammer nach Anspruch 1 vorgeschlagen. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind in den Ansprüchen 2 bis 9 beschrieben. Eine solche Vakuumkammer kann mit der in den Ansprüche 1 bis 9 beschriebenen Verkleidung hergestellt oder vorhandene Vakuumkammern mit einer solchen Verkleidung modifiziert werden. To solve the problem, a vacuum chamber according to claim 1 is proposed. Advantageous embodiments are described in claims 2 to 9. Such a vacuum chamber can be made with the cladding described in claims 1 to 9 or existing vacuum chambers can be modified with such a cladding.

Mittels der Verkleidung, die die Wandung des Kammergehäuses im Inneren der Vakuumkammer abschnittsweise oder vollständig überdeckt, kann die Wandung selbst vollständig oder zumindest in den Bereichen, wo die Verkleidung die Wandung überdeckt oder das Wandungsmaterial keinen relevanten Einfluss auf das Vakuum hat aus einem, verglichen z.B. zu Edelstahl, preiswerteren und besser zu verarbeitbaren Material wie z.B. aus sonst im Maschinenbau verwendeten Baustahl hergestellt werden. Die Eigenschaften der inneren Oberfläche der Vakuumkammer werden zumindest im wesentlichen Umfang durch die Verkleidung definiert. By means of the lining which partially or completely covers the wall of the chamber housing in the interior of the vacuum chamber, the wall itself can be completely or at least in the areas where the lining covers the wall or the wall material has no relevant influence on the vacuum from a, e.g. to stainless steel, cheaper and more workable material such. made of otherwise used in mechanical engineering construction steel. The properties of the inner surface of the vacuum chamber are at least substantially defined by the cladding.

Die Verkleidung kann erfindungsgemäß auf sehr unterschiedliche Weise befestigt werden, sehr unterschiedliche Gestalt annehmen und zudem aus verschiedenen Materialien hergestellt sein, ohne die weiteren Anforderungen an das Kammergehäuses, wie insbesondere Dichtheit und Steifigkeit, zu vermindern. Damit ist eine gezielte Anpassung der Eigenschaften der inneren Oberfläche an die Anforderungen der Vakuumkammer entsprechend deren Verwendungszweck möglich. Umfang, Gestaltung und Material der Verkleidung kann aufgrund seiner Variabilität hinsichtlich des Kosten- und Materialaufwandes im Verhältnis zur technischen Wirkung optimiert werden. According to the invention, the cladding can be fastened in very different ways, take on very different shapes, and moreover can be made of different materials, without reducing the further requirements for the chamber housing, in particular tightness and rigidity. For a targeted adaptation of the properties of the inner surface of the requirements of the vacuum chamber according to their intended use is possible. The scope, design and material of the cladding can be optimized in relation to the technical effect due to its variability in terms of cost and material costs.

Die Anpassung an die Anforderungen der Vakuumkammer betrifft insbesondere die unmittelbar die Herstellung des Vakuums betreffenden Eigenschaften wie den Korrosionsschutz und das Sorptions- und Desorptionsverhalten gegenüber Wasserdampf und den Bestandteilen von Luft, so dass insbesondere nach einer Belüftung der Vakuumkammer das erforderliche Vakuum mit gegenüber der unter der Verkleidung liegenden Wandung der Vakuumkammer geringerem Energie- und Zeitaufwand herstellbar ist. Welches Sorptionsverhalten und welche Desorptionsraten akzeptabel sind, hängt von der Höhe des zu ereichenden Vakuums und dem Verwendungszweck der Vakuumkammer ab, wobei bei der Auswahl des geeigneten Materials der zumindest innersten Schicht der Verkleidung das Sorptions- und Desorptionsverhalten auch gegenüber anderen Gases beeinflusst werden kann. Da sowohl Korrosion als auch Sorption und Desorption von der innersten Oberfläche der Wandung bestimmt werden, ist es ausreichend, wenn zumindest die innerste Schicht die gewünschten Eigenschaften aufweist. Da die Verkleidung nicht vollflächig erfolgen muss, ist es auch nicht erforderlich, die innerste Oberfläche einschließlich aller Anschlussflächen, Kanten usw. mit den beschriebenen Eigenschaften herzustellen. Auch flächenmäßig kann eine Optimierung zwischen Aufwand und Wirkung vorgenommen werden. The adaptation to the requirements of the vacuum chamber relates in particular directly to the production of the vacuum properties such as corrosion protection and the sorption and desorption against water vapor and the components of air, so that in particular after aeration of the vacuum chamber, the required vacuum with respect to the under Panel lying wall of the vacuum chamber lower energy and time can be produced. Which sorption behavior and which desorption rates are acceptable depends on the height of the vacuum to be achieved and the intended use of the vacuum chamber, whereby the selection of the suitable material of the at least innermost layer of the cladding can influence the sorption and desorption behavior compared to other gases. Since both corrosion and sorption and desorption are determined by the innermost surface of the wall, it is sufficient if at least the innermost layer has the desired properties. Since the cladding does not have to be over the entire surface, it is not necessary to produce the innermost surface including all connection surfaces, edges, etc. with the described properties. Also in terms of area an optimization between effort and effect can be made.

Die Anpassung betrifft neben dem Material auch die Form der Vakuumkammer. Die Verkleidung kann mit den vorgeschlagenen Ausgestaltungen als platten- und/oder folienförmige Verkleidung der Geometrie der Wandung des Kammergehäuses angepasst werden. Darüber hinaus kann die Verkleidung mit den erforderlichen Anschlüssen, Durchgängen, Flansche usw. versehen sein, so dass die Einbauten der Vakuumkammer durch die Verkleidung geführt oder durch diese fortgesetzt und die Elemente der Kammerperipherie ungehindert genutzt werden können. The adaptation concerns not only the material but also the shape of the vacuum chamber. The cladding can be adapted with the proposed embodiments as a plate and / or foil-shaped cladding of the geometry of the wall of the chamber housing. In addition, the panel can be provided with the necessary connections, passages, flanges, etc., so that the internals of the vacuum chamber can be passed through or continued through the panel and the elements of the chamber periphery can be used unhindered.

Mit der Gestaltung der Verkleidung verknüpft ist auch deren Befestigung an der Wandung des Kammergehäuses. Diese kann für die verschiedenen Arten der Verkleidung durch Kleben oder eine mechanische Befestigung, letztere z.B. auch unter thermischen Einfluss erfolgen, so dass eine auch unter den Bedingungen zur Herstellung und Aufrechterhaltung des Vakuums eine stabile Verbindung erzielt werden kann. Sowohl die mechanischen Halterungen als auch das Klebeverfahren und der Klebstoff sind insbesondere einerseits an die Art der Verkleidung und andererseits an die Anforderungen des Vakuums angepasst. Linked with the design of the panel is also their attachment to the wall of the chamber housing. This can be done for the different types of cladding by gluing or mechanical fastening, the latter e.g. be carried out under thermal influence, so that even under the conditions for producing and maintaining the vacuum, a stable connection can be achieved. Both the mechanical brackets and the adhesive method and the adhesive are particularly adapted on the one hand to the type of cladding and on the other hand to the requirements of the vacuum.

Allgemein sind bei einer solchen Befestigung, bei welcher keine Hohlräume oder Hohlräume mit ähnlichen Vakuumbedingungen wie in der Kammer ausgebildet sind, nur geringe Haltekräfte notwendig, sofern die Haltemittel ausreichend bemessen sind, um die Verkleidung auch unter thermisch wechselnden Bedingungen in ihrer Position zu halten oder Verschiebungen auszugleichen. In general, in such a fixture, in which no cavities or cavities are formed with similar vacuum conditions as in the chamber, only small holding forces necessary if the holding means are dimensioned sufficiently to keep the panel in position under thermally changing conditions or displacements compensate.

Eine Verbesserung der Haftung bei Klebeverbindungen kann durch geeignete Aufarbeitung einer oder beider miteinander zu verbindenden Oberflächen erfolgen. Geeignet sind z.B. die Verwendung von Haftvermittlerschichten und/oder das Aufrauhen der Oberflächen. An improvement in the adhesion of adhesive bonds can be done by suitable work-up of one or both surfaces to be joined together. Suitable examples are the use of primer layers and / or surface roughening.

Wenn entsprechend einer Ausgestaltung der Erfindung die Verkleidung aus plattenförmigen Elemente gebildet ist, kann die Steifigkeit der Platte und/oder geeignet Halterungen diese Kräfte aufnehmen. Eine solche plattenförmige Verkleidung kann z.B. aus Edelstahl bestehen, wobei die Kostenreduzierung durch den geringeren Materialbedarf möglich ist, bei sonst bekannter Vakuumverträglichkeit des Materials. If according to one embodiment of the invention, the panel is formed of plate-shaped elements, the rigidity of the plate and / or suitable brackets can absorb these forces. Such a plate-shaped lining can e.g. consist of stainless steel, whereby the cost reduction is possible due to the lower material requirements, with otherwise known vacuum compatibility of the material.

Die plattenförmigen Elemente können an der Wandung des Kammergehäuses unmittelbar anschließen oder entsprechend einer weiteren Ausgestaltung mit einem Abstand, z.B. mittels Abstandshalter, zur Wandung befestigt sein. In letzterem Fall können z.B. Sprünge in der Fläche ausgeglichen und gegebenenfalls der innere Oberfläche vereinfacht und reduziert werden. Ein so zwischen der Wandung und der plattenförmigen Verkleidung gebildeter Zwischenraum ist mittels einer geeigneten Dichtung vakuumdicht verschlossen, so dass auch in dieser Ausgestaltung die Eigenschaften der Verkleidung das vakuumtechnische Verhalten in der Vakuumkammer bestimmen. The plate-shaped elements can connect directly to the wall of the chamber housing or according to a further embodiment with a distance, e.g. by means of spacers, be attached to the wall. In the latter case, e.g. Balancing cracks in the surface and possibly simplifying and reducing the inner surface. A gap thus formed between the wall and the plate-shaped lining is sealed in a vacuum-tight manner by means of a suitable seal, so that the properties of the lining also determine the vacuum-technical behavior in the vacuum chamber in this embodiment.

In Abhängigkeit von z.B. der Höhe des zu erzielenden Vakuums und/oder der Größe des Zwischenraumes und/oder der Dichtheit von Material der Verkleidung und Dichtung kann der Zwischenraum entsprechend einer weiteren Ausgestaltung evakuierbar sein. Häufig reicht hierfür Grob- oder Feinvakuum bereits aus, so dass Lecks in der Dichtung vernachlässigbar sind und unerwünschte Deformationen in der Verkleidung vermieden werden können. Depending on e.g. the height of the vacuum to be achieved and / or the size of the intermediate space and / or the tightness of the material of the lining and seal, the intermediate space may be evacuated according to a further embodiment. Frequently, coarse or fine vacuum is already sufficient for this, so that leaks in the seal are negligible and undesired deformations in the lining can be avoided.

Die Verkleidung kann in einer weiteren Ausgestaltung durch eine Folie gebildet oder ergänzt werden. Als Folien kommen sowohl Kunststoff- als auch Metallfolien in Betracht, soweit sie das erforderliche Korrosions- und Sorptions- sowie Desorptionsverhalten aufweisen. Die Verkleidung wird durch eine Folie gebildet, wenn die Folie, auch wiederum mechanisch oder durch Kleben gehalten, direkt auf der Wandung des Kammergehäuses befestigt wird oder alternativ auf einer zuvor beschriebenen plattenförmigen Verkleidung. In beiden Fällen wird die innerste Schicht der Verkleidung durch die Folie gebildet und das Vakuumverhalten durch die Folie maßgeblich bestimmt. The cladding can be formed or supplemented in a further embodiment by a film. As films both plastic and metal foils come into consideration, as far as they have the required corrosion and sorption and desorption. The cladding is formed by a foil when the foil, again mechanically or adhesively held, is fastened directly to the wall of the chamber housing or, alternatively, to a previously described plate-shaped cladding. In both cases, the innermost layer of the lining is formed by the film and the vacuum behavior determined by the film significantly.

Die Verwendung von Folie hat den Vorteil des geringeren Preises, der kommerziell sehr variablen Verfügbarkeit, auch mit verschiedenen Beschichtungen, und der Möglichkeit der mit angemessenem Aufwand auch manuell herstellbaren Verkleidung. So können große Teile der Wandung, auch bei bereits bestehenden Anlagen, mit geringem Aufwand folienverkleidet werden. Auch wenn nicht die gesamte innere, zum Vakuum orientierte Fläche nicht mit Folie verkleidet werden kann, ist der Anteil der verkleideten Oberfläche so groß, dass eine relevante Reduktion der Desorption in die Kammer erzielbar ist. The use of film has the advantage of lower price, the commercially very variable availability, even with different coatings, and the possibility of also manually manufacturable panel with reasonable effort. Thus, large parts of the wall, even in existing systems, are foil-coated with little effort. Although not the entire inner, vacuum-oriented surface can not be clad with foil, the proportion of clad surface is so large that a relevant reduction in desorption into the chamber is achievable.

Sowohl die Verwendung von plattenförmigen Verkleidungen als auch von Folienverkleidungen gestattet eine Optimierung der Sorptions- und Desorptionseigenschaften und/oder der elektrischen und/oder der optischen Eigenschaften für bestimmte Anforderungen des Vakuums oder Verwendungen der Vakuumkammer durch eine Beschichtung der inneren Oberfläche. Die Beschichtung kann mit den Materialien erfolgen, die diesen Anforderungen entsprechen und kann aus metallischen oder nichtmetallischen Materialien bestehen, auch keramische Materialien, deren Eigenschaften gezielt beeinflusst werden können, sind durch eine Beschichtung nutzbar. So können z.B. thermisches Verhalten, elektrische Leitfähigkeit oder die Beständigkeit gegenüber besonderen Materialien gezielt eingestellt werden. Die Beschichtung kann vor oder nach dem Einbau der Verkleidung in der Vakuumkammer erfolgen, wobei eine Beschichtung vor dem Einbau aufgrund der geometrischen Bedingungen oder der bereits mit Beschichtung angebotenen Folien mitunter einfacher zu realisieren ist. Both the use of plate-like liners and foil liners allows for optimization of sorption and desorption properties and / or electrical and / or optical properties for certain vacuum or vacuum chamber uses by coating the inner surface. The coating can be carried out with the materials that meet these requirements and can be made of metallic or non-metallic materials, even ceramic materials whose properties can be specifically influenced, can be used by a coating. Thus, e.g. thermal behavior, electrical conductivity or resistance to special materials can be adjusted. The coating can be carried out before or after the installation of the lining in the vacuum chamber, wherein a coating prior to installation due to the geometric conditions or the already offered with coating films is sometimes easier to implement.

Als Materialien kommen z.B. Edelstahl, Aluminium, Kupfer, Titan, Molybdän oder andere Metalle in Betracht. Auch oxidische Verbindungen von Silizium, Kohlenstoff oder anderen Werkstoffen, die auch als keramische Schichten aufgebracht sind, sind verwendbar. Darüber hinaus können entsprechend einer weiteren Ausgestaltung auch mehrlagige Beschichtungen in Form einer Stapelanordnung der übereinander liegenden Schichten vorteilhaft sein, so dass verschiedene Eigenschaften miteinander kombinierbar sind, wie es z.B. von herkömmlichen Oberflächenveredelungen bekannt ist. As materials are e.g. Stainless steel, aluminum, copper, titanium, molybdenum or other metals into consideration. Oxidic compounds of silicon, carbon or other materials, which are also applied as ceramic layers, are usable. In addition, according to a further embodiment, multi-layer coatings in the form of a stack arrangement of the superimposed layers can also be advantageous, so that different properties can be combined with one another, as described e.g. known from conventional surface finishes.

Die Erfindung soll nachfolgend anhand eines Ausführungsbeispieles näher erläutert werden. In der zugehörigen Zeichnung zeigt The invention will be explained in more detail with reference to an embodiment. In the accompanying drawing shows

1 eine erfindungsgemäße Vakuumkammer in Schnittdarstellung und 1 a vacuum chamber according to the invention in sectional view and

2A und 2B zwei Detaildarstellungen der Wandung des Kammergehäuses aus 1. 2A and 2 B two detailed views of the wall of the chamber housing 1 ,

1 zeigt eine Vakuumkammer, die z.B. für die Vakuumbehandlung oder Schleusung von flächigen Substraten in Vakuumdurchlaufanlagen verwendet wird. In der Darstellung sind zur besseren Übersicht für die Darstellung der Erfindung nicht relevante Einbauten nicht dargestellt, wie z.B. Mittel zum Halten, Transportieren und Bearbeiten der Substrate oder Vakuumerzeuger. 1 shows a vacuum chamber, which is used for example for the vacuum treatment or smuggling of sheet-like substrates in vacuum continuous flow systems. In the illustration, for a better overview for the representation of the invention are not relevant internals not shown, such as means for holding, transporting and processing of the substrates or vacuum generator.

Die Vakuumkammer gemäß 1 umfasst ein Kammergehäuse 1, dass aus einem trogähnlichen Unterteil 2 und einem Deckel 3 gebildet ist. Unterteil 2 und Deckel 3 sind miteinander durch zwei parallele, den Kammerflansch 6 umlaufende Vakuumdichtungen 4 verbunden, zur Abdichtung des Kammervolumens gegenüber der umgebenden Atmosphäre. Das Kammergehäuse 1 besteht aus einem Baustahl. In der Vakuumkammer kann mittels eines Vakuumerzeugers (nicht dargestellt) Hochvakuum im Bereich bis 10^–5 Pa hergestellt werden. The vacuum chamber according to 1 includes a chamber housing 1 that from a trough-like lower part 2 and a lid 3 is formed. lower part 2 and lid 3 are connected to each other by two parallel, the chamber flange 6 circulating vacuum seals 4 connected to seal the chamber volume from the surrounding atmosphere. The chamber housing 1 consists of a structural steel. In the vacuum chamber can be produced by means of a vacuum generator (not shown) high vacuum in the range to 10 ^-5 Pa.

An einer seitlichen Wandung des Kammergehäuses 1 ist ein weiterer Flansch für einen Zugang 15 angeordnet, der dem Anschluss von Peripheriegeräten wie z.B. Messmitteln dient. On a side wall of the chamber housing 1 is another flange for access 15 arranged, which serves the connection of peripheral devices such as measuring means.

Auf allen seitlichen und der oberen sowie unteren Wandungen, die im Ausführungsbeispiel planar sind, des Kammergehäuses 1 sind im Inneren der Vakuumkammer Verkleidungen 7 angeordnet, so dass die gesamte innerste Schicht 7 aus einem gegenüber Wasser korrosionsbeständigen Material besteht, was eine geringe Adsorption von Wasserdampf und geringe Desorption aufweist. On all lateral and upper and lower walls, which are planar in the embodiment, the chamber housing 1 are inside the vacuum chamber panels 7 arranged so that the entire innermost layer 7 consists of a water corrosion resistant material, which has a low adsorption of water vapor and low desorption.

An den Wandungen, die aufgrund der Verwendung der Vakuumkammer keine Durchbrüche aufweisen, ist die Verkleidung durch eine 3 mm starke Platte 8 aus Edelstahl gebildet, die mittels Distanzelemente 10 in einem Abstand zur Wandung des Kammergehäuses 1 angeordnet und mittels geeigneter Befestigungselemente 13, hier z.B. Schrauben, mit der Wandung verbunden sind. Die dargestellten Distanzelemente 10 stellen nur eine Variante für die Realisierung des Zwischenraumes dar. Andere Ausgestaltungen sind möglich. Das in 1 mit A gekennzeichnete Detail der beispielhaft und nicht beschränkend dargestellten Befestigung in Verbindung mit den Distanzelementen 10 ist in 2A dargestellt. On the walls, which have no breakthroughs due to the use of the vacuum chamber, the cladding is by a 3 mm thick plate 8th Made of stainless steel, by means of spacer elements 10 at a distance from the wall of the chamber housing 1 arranged and by means of suitable fasteners 13 , here eg screws, are connected to the wall. The illustrated spacer elements 10 represent only a variant for the realization of the gap. Other embodiments are possible. This in 1 A marked detail of the exemplary attachment and not limiting shown in connection with the spacer elements 10 is in 2A shown.

Daran ist die Befestigung der Platte 8 am Deckel 3 des Kammergehäuses 1 gezeigt. Aufgrund der zwischen Deckel 3 und Platte 8 eingelegten Distanzelemente entsteht ein Zwischenraum 14, der umlaufend im Randbereich der Platte 8 durch eine elastische Dichtung 9 verschlossen ist. Die Befestigung der Platten 8 unter Bildung eines Zwischenraumes 14 ist in gleicher Weise an der unteren und den seitlichen Wandungen mit Ausnahme der in Blickrichtung rechten seitlichen Wandung erfolgt. Jeder der Zwischenräume 14 ist über einen Flansch 5 mit einem Vakuumerzeuger (nicht dargestellt) verbindbar, so dass die Zwischenräume 14 auf Grobvakuum im Bereich von bis 10⁴ Pa oder tiefer evakuiert werden können. This is the attachment of the plate 8th on the lid 3 of the chamber housing 1 shown. Due to the between lid 3 and plate 8th inserted spacers creates a gap 14 , which revolves around the edge of the plate 8th through an elastic seal nine is closed. The fixing of the plates 8th forming a gap 14 is done in the same way on the lower and side walls with the exception of the right side wall in the viewing direction. Each of the spaces 14 is over a flange 5 connectable to a vacuum generator (not shown) so that the interstices 14 can be evacuated to a rough vacuum in the range of up to 10 ⁴ Pa or lower.

Die in der Darstellung der 1 rechte Wandung des Kammergehäuses 1, welche den Zugang 15 aufweist, eine Verkleidung aus einer metallischen Folie 11 auf der Wandung des Kammergehäuses 1 befestigt. Die Folie 11 ist mittels einer flächigen Schicht Klebstoff 12 befestigt und umgibt den Zugang 15. Das Detail B in 1 ist in 2B dargestellt und zeigt die vollflächige Verbindung zwischen Folie 11 und Kammergehäuse 1 mittels Klebstoff 12. The in the presentation of the 1 right wall of the chamber housing 1 giving access 15 has, a cladding of a metallic foil 11 on the wall of the chamber housing 1 attached. The foil 11 is by means of a sheet of adhesive 12 attached and surrounds the access 15 , The detail B in 1 is in 2 B shown and shows the full-surface connection between the film 11 and chamber housing 1 by means of adhesive 12 ,

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

11

Kammergehäuse chamber housing

22

Unterteil lower part

33

Deckel cover

44

Vakuumdichtung vacuum seal

55

Flansch flange

66

Kammerflansch chamber flange

77

innerste Schicht innermost layer

88th

Platte plate

99

Dichtung poetry

1010

Distanzelement spacer

1111

Folie foil

1212

Klebstoff adhesive

1313

Befestigungsmittel fastener

1414

Zwischenraum gap

1515

Zugang Access

Claims (10)

Vakuumkammer mit einem metallischen Kammergehäuse, dadurch gekennzeichnet, dass an der Wandung des Kammergehäuses (1) zumindest abschnittsweise eine Verkleidung mechanisch oder durch Kleben befestigt ist, die zumindest als innerste Schicht (7) ein Material aufweist, das verglichen zum Material der Wandung einen verbesserten Korrosionsschutz und/oder verringerte Sorptions- und Desorptionsrate zumindest von Wasserdampf und den Bestandteilen von Luft aufweist. Vacuum chamber with a metallic chamber housing, characterized in that on the wall of the chamber housing ( 1 ) at least in sections, a cladding is fixed mechanically or by gluing, at least as innermost layer ( 7 ) has a material which has improved corrosion protection and / or reduced sorption and desorption rate of at least steam and the constituents of air as compared to the material of the wall. Vakuumkammer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Verkleidung eine Platte (8) umfasst, die an einer Wandung des Kammergehäuses (1) befestigt ist. Vacuum chamber according to claim 1, characterized in that the lining comprises a plate ( 8th ), which on a wall of the chamber housing ( 1 ) is attached. Vakuumkammer nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Platte (8) unter Einhaltung eines Abstandes zwischen der Platte (8) und der Wandung an der Wandung des Kammergehäuses (1) befestigt und ein so gebildeter Zwischenraum (14) mit einer Dichtung (9) vakuumdicht verschlossen ist. Vacuum chamber according to one of the preceding claims, characterized in that a plate ( 8th ) while maintaining a distance between the plate ( 8th ) and the wall on the wall of the chamber housing ( 1 ) and a space thus formed ( 14 ) with a seal ( nine ) is sealed vacuum-tight. Vakuumkammer nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Zwischenraum (14) evakuierbar ist. Vacuum chamber according to claim 3, characterized in that the intermediate space ( 14 ) is evacuable. Vakuumkammer nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Verkleidung als innerste Schicht (7) eine Folie (11) aus Metall oder Kunststoff umfasst oder durch eine solche Folie (11) gebildet ist. Vacuum chamber according to one of the preceding claims, characterized in that the lining as innermost layer ( 7 ) a film ( 11 ) made of metal or plastic or by such a film ( 11 ) is formed. Vakuumkammer nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass Oberfläche der innere Schicht (7) der Verkleidung mechanisch bearbeitet und/oder beschichtet ist. Vacuum chamber according to one of the preceding claims, characterized in that the surface of the inner layer ( 7 ) of the panel is machined and / or coated. Vakuumkammer nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass mittels einer metallischen oder nichtmetallischen oder keramischen Beschichtung gewünschte Sorptions- und Desorptionseigenschaften gegenüber einem Material und/oder gewünschte elektrische und/oder optische und/oder chemische Eigenschaften der Verkleidung eingestellt sind. Vacuum chamber according to claim 6, characterized in that by means of a metallic or non-metallic or ceramic coating desired sorption and desorption against a material and / or desired electrical and / or optical and / or chemical properties of the lining are set. Vakuumkammer nach einem der Ansprüche 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung auf der Oberfläche der innersten Schicht (7) eine Stapelanordnung aus mehr als einer Schicht umfasst. Vacuum chamber according to one of claims 6 or 7, characterized in that the coating on the surface of the innermost layer ( 7 ) comprises a stack arrangement of more than one layer. Vakuumkammer nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Wandung des Kammergehäuses (1) vollständig oder abschnittsweise aus Baustahl besteht. Vacuum chamber according to one of the preceding claims, characterized in that the wall of the chamber housing ( 1 ) consists entirely or partially of structural steel. Verfahren zur Herstellung einer Vakuumkammer mit einem metallischen Kammergehäuse, dadurch gekennzeichnet, dass an einer Wandung des Kammergehäuses (1) zumindest abschnittsweise eine Verkleidung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 9 befestigt wird. Method for producing a vacuum chamber with a metallic chamber housing, characterized in that on a wall of the chamber housing ( 1 ) At least in sections a cladding according to one of claims 1 to 9 is attached.

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