DE102011056648A1 - Pressure sensor e.g. oil pressure sensor for sensing pressure in work fluid of automatic vehicle transmission, has diaphragm partially covered such that work fluid is diverted before impinging on sensor membrane in fluid flow direction - Google Patents

Abstract

The sensor (1) has an inlet opening (6) for entering of a work fluid into the sensor by a diaphragm (2) i.e. nozzle. The diaphragm has a groove-shaped recess (7) and is partially covered such that the work fluid is supplied to the inlet opening through the recess and diverted before impinging on a sensor membrane (3) in a fluid flow direction. The groove-shaped recess completely penetrates in a longitudinal direction such that diaphragm inlet openings are laterally formed opposite to the diaphragm. A cross-section of the recess is reduced compare to a cross-section of a supply section (5). The diaphragm is manufactured from a metallic or ceramic material or a plastic or a plastic mixture.

Description

Die Erfindung betrifft einen Drucksensor zur Anordnung in einem Arbeitsfluid nach den Merkmalen des Oberbegriffs des Anspruchs 1. The invention relates to a pressure sensor for arrangement in a working fluid according to the features of the preamble of claim 1.

Im Stand der Technik sind Blenden für Drucksensoren bekannt, welche als Drosselabschnitt oder Drosselbohrung oder -düse ausgebildet sind. In the prior art diaphragms are known for pressure sensors, which are designed as a throttle section or throttle bore or nozzle.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen im Vergleich zum Stand der Technik verbesserten Drucksensor zur Anordnung in einem Arbeitsfluid anzugeben. The invention has for its object to provide an improved compared to the prior art pressure sensor for arrangement in a working fluid.

Hinsichtlich des Drucksensors wird die Aufgabe erfindungsgemäß durch einen Drucksensor zur Anordnung in einem Arbeitsfluid mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. With regard to the pressure sensor, the object is achieved by a pressure sensor for arrangement in a working fluid having the features of claim 1.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche. Beim Drucksensor zur Anordnung in einem Arbeitsfluid ist eine Eintrittsöffnung zum Eintritt des Arbeitsfluids in den Drucksensor erfindungsgemäß mittels einer Blende, welche eine nutförmige Aussparung umfasst, zumindest teil- oder abschnittsweise derart bedeckt, dass das Arbeitsfluid der Eintrittsöffnung durch die nutförmige Aussparung zuführbar und dabei vor einem Auftreffen auf eine Sensormembran umlenkbar ist. Dadurch ist eine Strömung des die Blende und die Eintrittsöffnung durchströmenden Arbeitsfluids nicht direkt auf die Sensormembran gerichtet, wie dies bei herkömmlichen Blenden mit Düsenöffnungen der Fall ist, so dass ein sogenannter Flüssigkeitsschlag und/oder eine Kavitation, welche eine Beschädigung oder Zerstörung des Drucksensors und insbesondere der Sensormembran bewirken, sicher vermieden sind. Advantageous embodiments of the invention are the subject of the dependent claims. In the pressure sensor for arrangement in a working fluid, an inlet opening for the inlet of the working fluid into the pressure sensor according to the invention by means of a diaphragm which comprises a groove-shaped recess, at least partially or partially covered so that the working fluid of the inlet opening fed through the groove-shaped recess and thereby in front of a Impact on a sensor membrane is deflected. As a result, a flow of the working fluid flowing through the baffle and the inlet opening is not directed directly at the sensor membrane, as is the case with conventional orifices with nozzle openings, so that a so-called liquid impact and / or cavitation which damages or destroys the pressure sensor and in particular cause the sensor membrane are safely avoided.

Mikromechanische Halbleiterdrucksensoren werden als Öldrucksensoren in Fahrzeuggetrieben verwendet. Dabei treten allerdings physikalische Effekte wie Kavitation, beispielsweise durch schnelle Schaltvorgänge, und/oder Flüssigkeitsschlag, beispielsweise durch Luft- oder Gaseinschlüsse, im Schmiermittelkreislauf auf. Da diese Öldrucksensoren aufgrund der kleinen Sensormembranfläche nur sehr geringe Sensormembrandicken aufweisen, reagieren diese sehr empfindlich auf die hohen mechanischen Belastungen durch derartige physikalische Effekte. Micromechanical semiconductor pressure sensors are used as oil pressure sensors in vehicle transmissions. However, physical effects such as cavitation, for example due to rapid switching operations, and / or liquid shock, for example due to air or gas inclusions, occur in the lubricant circuit. Since these oil pressure sensors have only very small sensor membrane thicknesses due to the small sensor membrane area, they react very sensitively to the high mechanical loads caused by such physical effects.

Zum Schutz der Sensormembran wird vor einem Zuführabschnitt des Drucksensors eine Blende angebracht. Diese verhindert das Entstehen von Kavitationsblasen im Bereich zwischen Blende und Sensormembran. Damit wird auch eine Implosion dieser Kavitationsblasen im Bereich der Sensormembran verhindert und damit die Sensormembran effektiv vor den dabei entstehenden hohen mechanischen Belastungen geschützt. To protect the sensor membrane, a diaphragm is mounted in front of a feed section of the pressure sensor. This prevents the formation of cavitation bubbles in the area between the diaphragm and sensor diaphragm. This also prevents an implosion of these cavitation bubbles in the region of the sensor membrane and thus effectively protects the sensor membrane from the resulting high mechanical loads.

Weiterhin verhindert die Blende, dass bei im Zuführabschnitt eingeschlossener Luft und schnellem Druckanstieg das Arbeitsfluid mit zu hoher Geschwindigkeit in den Zuführabschnitt strömt und auf die Sensormembran trifft. Furthermore, the orifice prevents the trapped fluid from flowing into the delivery section at too high a velocity and impinging on the sensor membrane when the air trapped in the delivery section and the pressure increases rapidly.

Zweckmäßigerweise ist eine solche Blende auf einfache Weise an alle Größen von Eintrittsöffnungen von Drucksensoren skaliert anpassbar. Appropriately, such a panel is easily scaled to all sizes of inlet openings of pressure sensors adaptable.

Vorteilhafterweise durchdringt die nutförmige Aussparung die Blende in Längsrichtung vollständig, so dass seitlich an der Blende gegenüberliegende Blendeneintrittsöffnungen ausgebildet sind. Auf diese Weise wird eine turbulente Strömung des Arbeitsfluids in der nutförmigen Aussparung und der Eintrittsöffnung erzeugt. Dadurch ist eine Durchflusscharakteristik der Blende weniger von der Viskosität und somit der Temperatur des Arbeitsfluids abhängig als bei einer durch eine herkömmliche Düsenöffnung erzeugten laminaren Strömung. Advantageously, the groove-shaped recess penetrates the panel in the longitudinal direction completely, so that laterally opposite to the panel aperture entrance openings are formed. In this way, a turbulent flow of the working fluid is generated in the groove-shaped recess and the inlet opening. As a result, a flow characteristic of the orifice is less dependent on the viscosity and thus the temperature of the working fluid than on a laminar flow generated by a conventional nozzle orifice.

Besonders bevorzugt ist die nutförmige Aussparung verrundet ausgeformt. Particularly preferably, the groove-shaped recess is formed rounded.

Zweckmäßigerweise ist die nutförmige Aussparung in oder an eine oder einer Kontaktseite der Blende mit dem Drucksensor eingebracht oder ausgeformt. Dabei behindert die Blende eine Entlüftung eines Zuführabschnitts des Drucksensors nur in einem geringen Maße. Conveniently, the groove-shaped recess is introduced or formed in or on one or a contact side of the diaphragm with the pressure sensor. The aperture obstructs a venting of a feed section of the pressure sensor only to a small extent.

Weiterhin ist eine solche Entlüftung von einer Einbaulage des Drucksensors unabhängig. Furthermore, such a vent of a mounting position of the pressure sensor is independent.

Besonders vorteilhafterweise ist die Blende form-, stoff- und/oder kraftschlüssig am Drucksensor befestigt, so dass alle bekannten und bewährten Befestigungsverfahren zur Anordnung der Blende am Drucksensor anwendbar sind. Particularly advantageously, the diaphragm is positively, materially and / or non-positively attached to the pressure sensor, so that all known and proven fastening methods for the arrangement of the diaphragm are applicable to the pressure sensor.

Besonders zweckmäßigerweise weist ein zwischen Eintrittsöffnung und Sensormembran angeordneter Zuführabschnitt des Drucksensors eine Längserstreckung auf, welche im Wesentlichen senkrecht zur Längserstreckung der nutförmigen Aussparung der Blende angeordnet oder ausgerichtet ist, so dass derart eine Umlenkung des einströmenden Arbeitsfluids bewirkt ist. Particularly expediently, a feed section of the pressure sensor arranged between inlet opening and sensor membrane has a longitudinal extension which is arranged or aligned substantially perpendicular to the longitudinal extent of the groove-shaped recess of the panel, so that a deflection of the incoming working fluid is effected in this way.

In einer vorteilhaften Ausführungsform ist ein Querschnitt der nutförmigen Aussparung im Vergleich zu einem Querschnitt des Zuführabschnitts verringert, so dass eine Fließgeschwindigkeit des einströmenden Arbeitsfluids verringert ist. In an advantageous embodiment, a cross section of the groove-shaped recess is reduced compared to a cross section of the feed section, so that a flow rate of the inflowing working fluid is reduced.

Vorteilhafterweise ist die Blende aus einem metallischen oder keramischen Werkstoff oder einem Kunststoff oder einem Kunststoffgemisch gefertigt, so dass herkömmliche und prozesssichere Fertigungsverfahren zu deren Herstellung anwendbar sind. Advantageously, the diaphragm is made of a metallic or ceramic material or a plastic or a plastic mixture, so that conventional and process-safe manufacturing processes are applicable to their production.

Der Drucksensor ist als herkömmlicher mikromechanischer Halbleiterdrucksensor ausgebildet. The pressure sensor is designed as a conventional micromechanical semiconductor pressure sensor.

Besonders bevorzugt ist der Drucksensor als Öldrucksensor für ein Fahrzeuggetriebe ausgebildet. Particularly preferably, the pressure sensor is designed as an oil pressure sensor for a vehicle transmission.

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden im Folgenden anhand von Zeichnungen näher erläutert. Embodiments of the invention are explained in more detail below with reference to drawings.

Darin zeigen: Show:

1 schematisch eine Schnittdarstellung eines Drucksensors mit einer erfindungsgemäß ausgeformten Blende und 1 schematically a sectional view of a pressure sensor with an inventively shaped aperture and

2 schematisch eine perspektivische Darstellung einer Blende. Einander entsprechende Teile sind in allen Figuren mit den gleichen Bezugszeichen versehen. 2 schematically a perspective view of a panel. Corresponding parts are provided in all figures with the same reference numerals.

1 zeigt schematisch eine Schnittdarstellung eines Drucksensors 1 mit einer erfindungsgemäß ausgeformten Blende 2. 1 schematically shows a sectional view of a pressure sensor 1 with an aperture formed according to the invention 2 ,

Bei dem Drucksensor 1 handelt es sich bevorzugt um einen herkömmlichen mikromechanischen Halbleiterdrucksensor. Dabei kann der mikromechanische Halbleiterdrucksensor als piezoresistiver oder piezoelektrischer Drucksensor ausgebildet sein. At the pressure sensor 1 it is preferably a conventional micromechanical semiconductor pressure sensor. In this case, the micromechanical semiconductor pressure sensor may be formed as a piezoresistive or piezoelectric pressure sensor.

Der Drucksensor 1 umfasst zumindest eine Sensormembran 3 und einen Sensorträger oder ein Sensorgehäuse 4. Die Sensormembran 3 ist dabei auf herkömmliche Weise in oder am Sensorgehäuse 4 angeordnet und bevorzugt von diesem umgeben. The pressure sensor 1 comprises at least one sensor membrane 3 and a sensor carrier or a sensor housing 4 , The sensor membrane 3 is in a conventional manner in or on the sensor housing 4 arranged and preferably surrounded by this.

Der Drucksensor 1 ist mit einem Schmiermittelkreislauf gekoppelt oder in einem Schmiermittelkreislauf angeordnet, wobei im Schmiermittelkreislauf ein nicht dargestelltes Arbeitsfluid zirkuliert. Der Schmiermittelkreislauf ist bevorzugt Teil eines herkömmlichen Fahrzeuggetriebes, beispielsweise eines automatischen oder eines automatisierten Getriebes. Besonders bevorzugt ist der Drucksensor 1 als Öldrucksensor für ein Fahrzeuggetriebe ausgebildet. The pressure sensor 1 is coupled to a lubricant circuit or arranged in a lubricant circuit, wherein circulating in the lubricant circuit, not shown working fluid. The lubricant circuit is preferably part of a conventional vehicle transmission, such as an automatic or an automated transmission. Particularly preferred is the pressure sensor 1 designed as an oil pressure sensor for a vehicle transmission.

Im Sensorgehäuse 4 ist ein Zuführabschnitt 5 derart eingebracht oder ausgeformt und ausgerichtet, dass das Arbeitsfluid durch eine Eintrittsöffnung 6 hindurch der Sensormembran 3 mittels des Zuführabschnitts 5 zugeführt wird. In the sensor housing 4 is a feeding section 5 so introduced or formed and aligned that the working fluid through an inlet opening 6 through the sensor membrane 3 by means of the feeding section 5 is supplied.

Mikromechanische Halbleiterdrucksensoren werden als Drucksensoren 1, insbesondere Öldrucksensoren, in Fahrzeuggetrieben verwendet. Dabei treten allerdings physikalische Effekte wie Kavitation, beispielsweise durch schnelle Schaltvorgänge, und/oder Flüssigkeitsschlag, beispielsweise durch Luft- oder Gaseinschlüsse, im Schmiermittelkreislauf auf. Da diese Öldrucksensoren aufgrund der kleinen Sensormembranfläche nur sehr geringe Sensormembrandicken aufweisen, reagieren diese sehr empfindlich auf die hohen mechanischen Belastungen durch derartige physikalische Effekte. Micromechanical semiconductor pressure sensors are called pressure sensors 1 , in particular oil pressure sensors, used in vehicle transmissions. However, physical effects such as cavitation, for example due to rapid switching operations, and / or liquid shock, for example due to air or gas inclusions, occur in the lubricant circuit. Since these oil pressure sensors have only very small sensor membrane thicknesses due to the small sensor membrane area, they react very sensitively to the high mechanical loads caused by such physical effects.

Herkömmliche Blenden weisen Düsenöffnungen auf, wodurch eine Strömung des die Blende und die Eintrittsöffnung durchströmenden Arbeitsfluids direkt auf die Sensormembran 3 gerichtet ist, so dass Kavitationsblasen oder Flüssigkeitsschlag direkt auf die Sensormembran 3 einwirken können. Conventional diaphragms have nozzle openings, whereby a flow of the working fluid flowing through the diaphragm and the inlet opening directly onto the sensor diaphragm 3 is directed so that cavitation bubbles or liquid blow directly onto the sensor membrane 3 can act.

Beim erfindungsgemäßen Drucksensor ist die Eintrittsöffnung 6 zum Eintritt des Arbeitsfluids in den Drucksensor 1 mittels der Blende 2, welche zumindest eine nutförmige Aussparung 7 umfasst, zumindest teil- oder abschnittsweise derart bedeckt, dass das Arbeitsfluid der Eintrittsöffnung 6 durch die nutförmige Aussparung 7 zuführbar ist. Dabei wird das Arbeitsfluid vor einem Auftreffen auf die Sensormembran 3 umgelenkt. In the pressure sensor according to the invention, the inlet opening 6 for entry of the working fluid into the pressure sensor 1 by means of the aperture 2 , which at least one groove-shaped recess 7 comprises, at least partially or partially covered so that the working fluid of the inlet opening 6 through the groove-shaped recess 7 can be fed. In this case, the working fluid is before hitting the sensor membrane 3 diverted.

Somit wird die Blende 2 zum Schutz der Sensormembran 3 vor dem Zuführabschnitt 5 des Drucksensors 1 angebracht. Diese Blende 2 verhindert das Entstehen von Kavitationsblasen im Bereich zwischen Blende 2 und Sensormembran 3, insbesondere im Zuführabschnitt 5. Damit wird auch eine Implosion dieser Kavitationsblasen im Bereich der Sensormembran 3 verhindert und damit die Sensormembran 3 effektiv vor den dabei entstehenden hohen mechanischen Belastungen geschützt. Thus, the aperture becomes 2 to protect the sensor membrane 3 before the feeding section 5 of the pressure sensor 1 appropriate. This aperture 2 prevents the formation of cavitation bubbles in the area between the aperture 2 and sensor membrane 3 , in particular in the feeding section 5 , This also causes an implosion of these cavitation bubbles in the area of the sensor membrane 3 prevents and thus the sensor membrane 3 effectively protected against the resulting high mechanical loads.

Durch die erfindungsgemäß ausgeformte Blende 2 ist eine Strömung des die Blende 2 und die Eintrittsöffnung 6 durchströmenden Arbeitsfluids nicht direkt auf die Sensormembran 3 gerichtet, wie dies bei herkömmlichen Blenden mit Düsenöffnungen der Fall ist, so dass ein sogenannter Flüssigkeitsschlag und/oder eine Kavitation, welche eine Beschädigung oder Zerstörung des Drucksensors 1 und insbesondere der Sensormembran 3 bewirken, sicher vermieden sind. By the invention shaped aperture 2 is a flow of the iris 2 and the entrance opening 6 flowing through working fluid not directly on the sensor membrane 3 directed, as is the case with conventional orifices with nozzle openings, so that a so-called liquid shock and / or cavitation, which damage or destruction of the pressure sensor 1 and in particular the sensor membrane 3 cause, are safely avoided.

2 zeigt schematisch eine perspektivische Darstellung einer solchen Blende 2. 2 schematically shows a perspective view of such a panel 2 ,

Die Blende 2 ist aus einem metallischen oder keramischen Werkstoff oder einem Kunststoff oder einem Kunststoffgemisch gefertigt, so dass herkömmliche und prozesssichere Fertigungsverfahren, wie beispielsweise das Spritzgießen, zu deren Herstellung anwendbar sind. The aperture 2 is made of a metallic or ceramic material or a plastic or a plastic mixture, so that conventional and process-safe manufacturing methods, such as injection molding, are applicable to their production.

Die Blende 2 ist form-, stoff- und/oder kraftschlüssig am Drucksensor 1 befestigt, so dass alle bekannten und bewährten Befestigungsverfahren, wie beispielsweise Schweißen, Löten, Kleben, Verstemmen oder Schrauben, zur Anordnung der Blende 2 am Drucksensor 1 anwendbar sind. The aperture 2 is positive, material and / or non-positive on the pressure sensor 1 attached, so that all known and proven fastening methods, such as welding, soldering, gluing, caulking or screws, for the arrangement of the aperture 2 at the pressure sensor 1 are applicable.

Die nutförmige Aussparung 7 ist in einer Kontaktseite 8 der Blende 2 mit dem Drucksensor 1 in selbige eingebracht oder an einer Kontaktseite 8 der Blende 2 mit dem Drucksensor 1 ausgeformt. The groove-shaped recess 7 is in a contact page 8th the aperture 2 with the pressure sensor 1 placed in the same or on a contact page 8th the aperture 2 with the pressure sensor 1 formed.

Dabei weist die nutförmige Aussparung 7 einen solchen Querschnitt auf, dass eine Entlüftung des Zuführabschnitts 5 des Drucksensors 1 nicht oder nur in einem geringen Maße behindert ist. In this case, the groove-shaped recess 7 such a cross-section that a venting of the feed section 5 of the pressure sensor 1 not or only to a limited extent is disabled.

Weiterhin ist eine solche Entlüftung von einer Einbaulage des Drucksensors 1 unabhängig. Furthermore, such a vent of a mounting position of the pressure sensor 1 independently.

Besonders bevorzugt ist die nutförmige Aussparung 7 mit einem halbkreisförmigen Querschnitt oder verrundet ausgeformt. Particularly preferred is the groove-shaped recess 7 with a semicircular cross-section or rounded shape.

Die Kontaktseite 8 der Blende 2 weist bevorzugt eine kreisrunde Ausformung auf. Die nutförmige Aussparung 7 durchdringt die Blende 2 in Längsrichtung an der Kontaktseite 8 vollständig, so dass seitlich an der Blende 2 gegenüberliegende Blendeneintrittsöffnungen 9 ausgebildet sind. Auf diese Weise wird eine turbulente Strömung des Arbeitsfluids in der nutförmigen Aussparung 7, der Eintrittsöffnung 6 und/oder im Zuführabschnitt 5 erzeugt. Dadurch ist eine Durchflusscharakteristik der Blende 2 weniger von der Viskosität und somit der Temperatur des Arbeitsfluids abhängig als bei einer durch eine herkömmliche Düsenöffnung erzeugten laminaren Strömung. The contact page 8th the aperture 2 preferably has a circular shape. The groove-shaped recess 7 penetrates the aperture 2 in the longitudinal direction on the contact side 8th completely, leaving the side of the panel 2 opposite aperture entries 9 are formed. In this way, a turbulent flow of the working fluid in the groove-shaped recess 7 , the entrance opening 6 and / or in the feeding section 5 generated. This is a flow characteristic of the aperture 2 less dependent on the viscosity and thus the temperature of the working fluid than on a laminar flow generated by a conventional nozzle orifice.

Weiterhin ist der Querschnitt der nutförmigen Aussparung 7 derart ausgeformt, dass mittels der Blende 2 verhindert ist, dass bei im Zuführabschnitt 5 eingeschlossener Luft und schnellem Druckanstieg das Arbeitsfluid mit zu hoher Geschwindigkeit in den Zuführabschnitt 5 strömt und auf die Sensormembran 3 trifft. Furthermore, the cross section of the groove-shaped recess 7 shaped such that by means of the aperture 2 is prevented that in the feed section 5 trapped air and rapid increase in pressure, the working fluid at a high speed in the feed section 5 flows and onto the sensor membrane 3 meets.

Der zwischen Eintrittsöffnung 6 und Sensormembran 3 angeordnete Zuführabschnitt 5 des Drucksensors 1 weist eine Längserstreckung auf, welche im Wesentlichen senkrecht zur Längserstreckung der nutförmigen Aussparung 7 der Blende 2 angeordnet oder ausgerichtet ist, so dass derart eine Umlenkung des einströmenden Arbeitsfluids bewirkt ist. The between entrance opening 6 and sensor membrane 3 arranged feed section 5 of the pressure sensor 1 has a longitudinal extent, which is substantially perpendicular to the longitudinal extent of the groove-shaped recess 7 the aperture 2 is arranged or aligned, so that in such a deflection of the incoming working fluid is effected.

In einer vorteilhaften und bevorzugten Ausführungsform ist der Querschnitt der nutförmigen Aussparung 7 im Vergleich zu einem Querschnitt des Zuführabschnitts 5 verringert, so dass derart eine Fließgeschwindigkeit des einströmenden Arbeitsfluids verringert ist. In an advantageous and preferred embodiment, the cross section of the groove-shaped recess 7 compared to a cross section of the feed section 5 decreases, so that a flow rate of the inflowing working fluid is reduced.

An einer der Kontaktseite abgewandten Seite ist die Blende kegelstumpfartig, halbkugelartig oder anderweitig verrundet ausgebildet, so dass bei vorbeiströmendem Arbeitsfluid ein geringst möglicher Strömungswiderstand aufgeprägt wird. On a side facing away from the contact side, the aperture is frusto-conical, hemispherical or otherwise rounded, so that the least possible flow resistance is imparted when the working fluid flows by.

Zweckmäßigerweise ist eine solche Blende auf einfache Weise an alle Größen von Eintrittsöffnungen 6 von Drucksensoren 1 skaliert anpassbar. Conveniently, such a panel in a simple manner to all sizes of inlet openings 6 of pressure sensors 1 scales customizable.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

1 1

Drucksensor pressure sensor

2 2

Blende cover

3 3

Sensormembran sensor diaphragm

4 4

Sensorgehäuse sensor housing

5 5

Zuführabschnitt feeding

6 6

Eintrittsöffnung inlet opening

7 7

Aussparung recess

8 8th

Kontaktseite Contact

9 9

Blendeneintrittsöffnung Dazzle inlet opening

Claims (10)

Drucksensor (1) zur Anordnung in einem Arbeitsfluid, wobei eine Eintrittsöffnung (6) zum Eintritt des Arbeitsfluids in den Drucksensor (1) mittels einer Blende (2), welche zumindest eine nutförmige Aussparung (7) umfasst, zumindest teil- oder abschnittsweise derart bedeckt ist, dass das Arbeitsfluid der Eintrittsöffnung (6) durch die nutförmige Aussparung (7) zuführbar und vor einem Auftreffen auf eine Sensormembran (3) in seiner Fließrichtung umlenkbar ist. Pressure sensor ( 1 ) for arrangement in a working fluid, wherein an inlet opening ( 6 ) for the entry of the working fluid into the pressure sensor ( 1 ) by means of a diaphragm ( 2 ), which at least one groove-shaped recess ( 7 ), is at least partially or partially covered in such a way that the working fluid of the inlet opening ( 6 ) through the groove-shaped recess ( 7 ) and before impinging on a sensor membrane ( 3 ) is deflectable in its flow direction. Drucksensor (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die nutförmige Aussparung (7) die Blende (2) in Längsrichtung vollständig durchdringt, so dass seitlich an der Blende (2) gegenüberliegende Blendeneintrittsöffnungen (9) ausgebildet sind. Pressure sensor ( 1 ) according to claim 1, characterized in that the groove-shaped recess ( 7 ) the aperture ( 2 ) penetrates completely in the longitudinal direction, so that laterally on the diaphragm ( 2 ) opposing aperture inlet openings ( 9 ) are formed. Drucksensor (1) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die nutförmige Aussparung (7) verrundet ausgeformt ist. Pressure sensor ( 1 ) according to claim 1 or 2, characterized in that the groove-shaped recess ( 7 ) rounded is formed. Drucksensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die nutförmige Aussparung (7) in oder an eine oder einer Kontaktseite (8) der Blende (1) mit dem Drucksensor (1) eingebracht oder ausgeformt ist. Pressure sensor ( 1 ) according to one of the preceding claims, characterized in that the groove-shaped recess ( 7 ) in or on one or a contact page ( 8th ) the aperture ( 1 ) with the pressure sensor ( 1 ) is introduced or formed. Drucksensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Blende (2) form-, stoff- und/oder kraftschlüssig am Drucksensor (1) befestigt ist. Pressure sensor ( 1 ) according to one of the preceding claims, characterized in that the Cover ( 2 ) positively, materially and / or non-positively on the pressure sensor ( 1 ) is attached. Drucksensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein zwischen Eintrittsöffnung (6) und Sensormembran (3) angeordneter Zuführabschnitt (5) eine Längserstreckung aufweist, welche im Wesentlichen senkrecht zur Längserstreckung der nutförmigen Aussparung (7) der Blende (2) angeordnet oder ausgerichtet ist. Pressure sensor ( 1 ) according to one of the preceding claims, characterized in that a between inlet ( 6 ) and sensor membrane ( 3 ) arranged feed section ( 5 ) has a longitudinal extent, which is substantially perpendicular to the longitudinal extent of the groove-shaped recess ( 7 ) the aperture ( 2 ) is arranged or aligned. Drucksensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein Querschnitt der nutförmigen Aussparung (7) im Vergleich zu einem Querschnitt des Zuführabschnitts (5) verringert ist. Pressure sensor ( 1 ) according to one of the preceding claims, characterized in that a cross section of the groove-shaped recess ( 7 ) compared to a cross-section of the feed section ( 5 ) is reduced. Drucksensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Blende (2) aus einem metallischen oder keramischen Werkstoff oder einem Kunststoff oder einem Kunststoffgemisch gefertigt ist. Pressure sensor ( 1 ) according to one of the preceding claims, characterized in that the diaphragm ( 2 ) is made of a metallic or ceramic material or a plastic or a plastic mixture. Drucksensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Drucksensor (1) als mikromechanischer Halbleiterdrucksensor ausgebildet ist. Pressure sensor ( 1 ) according to one of the preceding claims, characterized in that the pressure sensor ( 1 ) is formed as a micromechanical semiconductor pressure sensor. Drucksensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Drucksensor (1) als Öldrucksensor für ein Fahrzeuggetriebe ausgebildet ist. Pressure sensor ( 1 ) according to one of the preceding claims, characterized in that the pressure sensor ( 1 ) is designed as an oil pressure sensor for a vehicle transmission.

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