DE102011015464B4 - Vacuum pumping device and method for dusty gases - Google Patents

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpeinrichtung sowie adäquat ein Verfahren mit dem Fokus auf langzeitstabiles und schnelles Evakuieren bei vorhandenen Störpartikeln wie Staub im zu evakuierenden Gas. Derartiges findet in der Vakuumbehandlung von großflächigen Substraten beispielsweise in der Glasbeschichtung seine Anwendung. Es ist die Aufgabe der Erfindung, eine staubresistente Vakuumpumpeinrichtung aufgrund fehlender Lösungen zu schaffen sowie adäquat ein Vakuumpumpverfahren aufzuzeigen. Die Lösung besteht in einer Vakuumpumpeinrichtung zum Evakuieren mindestens eines Vakuumbehälters, die zum Erreichen und Erhalten des Endvakuums mit einem Enddruck Pumpmittel und Leitungsmittel umfasst, dass zu den Pumpmitteln mit Einlass und Auslass mindestens eine Vakuumpumpe zählt, dass die Leitungsmittel gasleitend sowie vakuumstabil in Gasflussrichtung betrachtet sowohl einen Auslass eines Vakuumbehälters mit dem Einlass eines als Endpumpe zum Erreichen des Enddrucks vorgesehenen Pumpmittels als auch die Pumpmittel untereinander vom Auslass zum Einlass verbinden und dass am Auslass eines Pumpmittels atmosphärischer Druck als Normaldruck anliegt, wobei die Endpumpe ausschließlich als Schraubenpumpe ausgeführt ist und kennzeichnenderweise der im Bereich des Feinvakuums liegende Enddruck in einem Vakuumbehälter, der zum Einschleusen von Substraten in die Anlage vorgesehen ist, erzeugt wird.The invention relates to a vacuum pump device and adequately to a method with the focus on long-term stable and fast evacuation in the presence of interfering particles such as dust in the gas to be evacuated. This is used in the vacuum treatment of large-area substrates, for example in glass coating. It is the object of the invention to create a dust-resistant vacuum pump device due to a lack of solutions and to adequately demonstrate a vacuum pump method. The solution consists in a vacuum pump device for evacuating at least one vacuum container, which, in order to achieve and maintain the end vacuum with an end pressure, comprises pumping means and line means that includes at least one vacuum pump among the pumping means with inlet and outlet that the line means both gas-conducting and vacuum-stable in the gas flow direction connect an outlet of a vacuum container to the inlet of a pumping means provided as a final pump to achieve the final pressure and also connect the pumping means to one another from the outlet to the inlet and that atmospheric pressure is present as normal pressure at the outlet of a pumping means, the final pump being designed exclusively as a screw pump and characteristically that in the Area of the fine vacuum lying final pressure is generated in a vacuum container, which is provided for introducing substrates into the system.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpeinrichtung sowie adäquat ein Verfahren mit dem Fokus auf langzeitstabiles und schnelles Evakuieren bei vorhandenen Störpartikeln wie Staub im zu evakuierenden Gas. Derartiges findet in der Vakuumbehandlung von großflächigen Substraten beispielsweise in der Glasbeschichtung seine Anwendung.The invention relates to a vacuum pump device as well as an adequate method with the focus on long-term stable and rapid evacuation of existing impurities such as dust in the gas to be evacuated. Such is used in the vacuum treatment of large-area substrates, for example in the glass coating its application.

Das Anwendungsgebiet zielt allgemein auf die Vakuumtechnologie und, soweit gewerblich anwendbar, auf die Vakuumbehandlung, was die Vakuumbeschichtung wie Sputtern und Elektronenstrahlverdampfen sowie Ätzverfahren wie Plasmaätzen mit einbezieht, ab.The field of application is generally vacuum technology and, where commercially applicable, vacuum treatment, which involves vacuum coating such as sputtering and electron beam evaporation, as well as etching processes such as plasma etching.

Gattungsgemäße Vakuumpumpeinrichtungen und Verfahren greifen auf Pumpmittel bzw. Pumpen, die sich verschiedene Wirkprinzipien zu Nutze machen, zurück. Bekannt sind demnach mechanische Pumpen wie beispielsweise Drehschieberpumpen, Drehkolbenpumpen bzw. berührungslos arbeitende Roots-Pumpen sowie Schraubenpumpen und Turbomolekularpumpen. Die nach ihren Wirkprinzipien und Bauformen für unterschiedliche Einsatzbereiche geeigneten Pumpen klassifizieren sich in der Vakuumtechnik im Wesentlichen nach Fördermengen und druckspezifischer Eignung (Eingangs- und Ausgangsdruckbereiche). Vereinfacht werden demnach die Pumpen eignungsgemäß für Vor- und Endvakuum unterschieden. Die Kopplung solcher Pumpen mit abweichender Eignung für Druckbereiche ist üblich. Beispielsweise stellen Pumpen ein Vorvakuum für die Pumpen, die darauf aufbauend Hochvakuum in der Kammer erzeugen können, bereit. Zur Klassifizierung sind Grobvakuum (bis 10 mbar), Feinvakuum (bis 10–3 mbar) und Hochvakuum (bis 10–7 mbar) in der Fachwelt einheitlich bekannt. Pumpen, die besonders schnelles Evakuieren ermöglichen, bezeichnet der Fachmann auch als Booster. Sie kommen kombiniert mit Vorpumpen zum Einsatz.Generic vacuum pumping devices and methods rely on pumping means or pumps that make use of different principles of action, back. Accordingly, mechanical pumps such as rotary vane pumps, rotary lobe pumps or non-contact Roots pumps and screw pumps and turbomolecular pumps are known. The pumps, which are suitable for different applications according to their principles of operation and design, are classified in terms of delivery rates and pressure-specific suitability (input and output pressure ranges) in vacuum technology. Simplified accordingly, the pumps are distinguished according to fitness for pre-vacuum and final vacuum. The coupling of such pumps with different suitability for pressure ranges is common. For example, pumps provide a pre-vacuum for the pumps, which can then create high vacuum in the chamber. For classification, rough vacuum (up to 10 mbar), fine vacuum (up to 10 -3 mbar) and high vacuum (up to 10 -7 mbar) are uniformly known in the art. Pumps that enable particularly rapid evacuation, referred to the expert as a booster. They are used in combination with backing pumps.

Der aufeinander abgestimmte Betrieb von Vor- und End- sowie Hochvakuumpumpen kennt im Wesentlichen zwei Formen: entweder sequentiell gekoppelt und gleichzeitig aktiv oder parallel an das Vakuum gekoppelt und sequentiell aktiv, wobei optimale Lösungen gesteuert beide Formen oder auch Kombinationen mittels Ventilen und Leitungen zulassen.The coordinated operation of pre-and end and high vacuum pumps basically has two forms: either sequentially coupled and simultaneously active or parallel coupled to the vacuum and sequentially active, with optimal solutions controlled both forms or combinations by means of valves and lines allow.

Aus DE 42 13 763 B4 ist neben der parallelen Anordnung von Vakuumpumpen und Hochvakuumpumpen zur Kammer und der wechselweisen Verwendung von Pumpen nach Druckstufen bzw. im zeitlichen Verlauf des Evakuierens auch bekannt, das Vakuum in Kammern, die über einen Spalt verbunden sind, auf unterschiedlichen Druck zu halten. Diese technische Lehre regt an, Wickelkammer und Beschichtungskammer für bandförmige Substrate durch druckabhängig mittels Ventilen, Leitungen und Pumpen eingestellte Betriebszustände möglichst schnell zu evakuieren In der Vakuumbeschichtung und insbesondere bei Durchlaufbeschichtungsanlagen hat das Vakuum einen dahingehend örtlichen Bezug, dass es dem Substratlauf folgend zunächst einen sukzessiv auf Grob-, Fein- und Hochvakuum abgesenkten Druck erreicht, hält und gegen Ausgang verliert.Out DE 42 13 763 B4 In addition to the parallel arrangement of vacuum pumps and high vacuum pumps to the chamber and the alternate use of pumps after pressure stages or in the course of evacuation is also known to keep the vacuum in chambers, which are connected via a gap at different pressure. This technical teaching suggests to evacuate winding chamber and coating chamber for strip-shaped substrates as quickly as possible by operating pressure adjusted by means of valves, lines and pumps operating conditions in the vacuum coating and in particular in continuous coating systems, the vacuum has a locally relevant reference that it follows the substrate running first a successively on Coarse, fine and high vacuum lowered pressure reached, stops and loses output.

Die Formate zu beschichtender Substrate sind maßgeblich für die Dimensionierung der Kammer. Folglich steigt mit größeren Substratabmaßen die Herausforderung an die Evakuierungstechnik, da insbesondere größere Volumen in Schleusen abzupumpen sind. Die Stabilisierung des Vakuums oder auch Druckabstufungen im übrigen Teil einer Durchlaufbeschichtungsanlage gestalten sich für größere Kammervolumen schwieriger als für kleinere. Die Grenze zwischen beiden läge bei ca. 1 m Substratbreite.The formats of substrates to be coated are decisive for the dimensioning of the chamber. Consequently, with larger substrate dimensions, the challenge of evacuation technology increases, since in particular larger volumes are to be pumped off in locks. The stabilization of the vacuum or even pressure gradations in the remaining part of a continuous coating system are more difficult for larger chamber volumes than for smaller ones. The boundary between the two would be about 1 m substrate width.

In Betracht kommen im Umfeld der Erfindung vorrangig großflächige Substrate mit seitlichen Abmaßen im einstelligen Meter-Bereich; normierte Glasscheiben. Da Oberfläche und Ausdehnung des Substrats maßgeblich sind, schließt hier der Substrat-Begriff neben scheibenförmigen und flächigen auch langgestreckte Substrate wie Rohre oder Stäbe ein. Auch sind bandförmige quasi Endlos-Substrate wie Folienbänder aus Metall oder Kunststoff von der Erfindung mit erfasst. Die Problematik, das Vakuum in einer Anlage aufzubauen und zu halten, ist für Endlos- oder Einzelsubstrate gleichermaßen hoch. Zu Durchlaufbeschichtungsanlagen, die im Air-to-Air Modus betrieben werden, liegen die vakuumspezifischen Anforderungen wegen des kontinuierlichen Substratdurchlaufs im Minuten-/Sekunden-Takt meist höher als zu so genannten Batch-Anlagen. Letztere beschichten das eingeschlossene Substrat – Folienrolle – und sind in Stunden- oder Tagesabständen zu evakuieren.Considered in the context of the invention primarily large-area substrates with lateral dimensions in the single-digit meter range; standardized glass panes. Since the surface and extent of the substrate are decisive, here the substrate term includes not only disc-shaped and flat but also elongated substrates such as tubes or rods. Band-shaped quasi endless substrates such as foil strips made of metal or plastic are also covered by the invention. The problem of building and maintaining the vacuum in a system is equally high for endless or single substrates. For continuous coating plants, which are operated in the air-to-air mode, the vacuum-specific requirements are usually higher in a minute / second cycle than in so-called batch plants because of the continuous substrate flow. The latter coat the enclosed substrate - film roll - and are to be evacuated at hourly or daily intervals.

Der nachfolgend verwendete Enddruck-Begriff ist nicht mit dem gleichnamigen Pumpen-Parameter zu verwechseln. Er bezieht sich auf den Soll-Innendruck einer Vakuumkammer. Enddruck meint hier den Sollwert, der bei geschlossenem Vakuum(-behälter), dem zunächst keine prozessrelevanten Gase wie Prozess- oder Arbeitsgase zugeführt sind, zu erreichen ist. Das könnte bei der Vakuumbeschichtung ein Enddruck von ca. 10–5 mbar (Hochvakuum) sein, wonach mit der Zufuhr von Gasen in der Kammer ein sogenannter Arbeitsdruck beispielsweise von 10–3 mbar vorläge.The final pressure term used below should not be confused with the pump parameter of the same name. It refers to the nominal internal pressure of a vacuum chamber. Final pressure here means the desired value which can be achieved with the vacuum (container) closed, to which initially no process-relevant gases such as process gases or working gases are supplied. This could be a final pressure of about 10 -5 mbar (high vacuum) in the vacuum coating, after which, with the supply of gases in the chamber, a so-called working pressure, for example, of 10 -3 mbar vorläge.

Dieses Gleichgewicht von Gaszufuhr und Gasabfuhr ist primär auf einen stabilen Druck hin aufrecht zu erhalten. Davon hängt maßgeblich die Beschichtungsqualität ab. Auch ist das Gleichgewicht dahingehend belastbar oder limitierend, inwieweit die Pumpmittel der Gaszufuhr entgegenwirken können. Auch ist die Bezeichnung Basisdruck anstatt Enddruck geläufig.This balance of gas supply and gas removal is primarily to maintain a stable pressure out. Of these, the coating quality depends significantly. Also is the balance Reliable or limiting, to what extent the pumping means can counteract the gas supply. Also, the term base pressure instead of final pressure is common.

Das Vorstehende näher erläuternd ist aus DE 103 48 639 A1 ein Schleusensystem entnehmbar sowie Pumpen über Ventile und Leitungen derart zu betrieben, dass zu einem Vorvakuumpumpsystem ein Hochvakuumpumpsystem zwischen Vorvakuumschleusenkammer und Vorvakuumpumpsystem zuschaltbar ist, was im Wesen den betriebsbedingt dynamischen Einsatz von Hochvakuumpumpen, so genannten Boostern, anregt.The above explanatory is out DE 103 48 639 A1 a lock system can be removed and operated pumps via valves and lines such that a Vorvakuumpumpsystem a high vacuum pump system between Vorvakuumschleusenkammer and Vorvakuumpumpsystem is switchable, which in essence the operationally dynamic use of high vacuum pumps, so-called boosters, stimulates.

Im Evakuierungsprozess sind auch Störpartikel dem Vakuum zu entziehen, um primär den für die Beschichtung vorgesehenen Prozessbereich frei von diesen zu halten. Das betrifft sowohl die für den Prozess vorgesehene Vakuumkammer (Prozesskammer) als auch an diese angrenzende Kammern (Puffer-, Transfer-, Schleusenkammer). Der Prozessbereich ist betriebsbedingt nicht gänzlich frei von Partikeln. Beispielsweise gelangt feiner Staub beim Belüften in die Kammer, die Substrate können Partikel mit sich führen und auch durch Beschichtung verbleiben Rückstände in der Kammer.In the evacuation process, it is also necessary to remove interfering particles from the vacuum in order to primarily keep the process area provided for the coating free of these. This applies both to the vacuum chamber intended for the process (process chamber) and to adjacent chambers (buffer, transfer, lock chamber). Due to operational reasons, the process area is not completely free of particles. For example, fine dust passes into the chamber during venting, the substrates can carry particles with them, and even coatings leave residues in the chamber.

Substratschleusen und insbesondere Eingangsschleusen sind besonders von Staub betroffen. Es handelt sich um einen beidseitig in Richtung des Substrattransports den Transport abtrennbaren Behälter, der sowohl gegenüber der äußeren Umgebung der Anlage als auch gegenüber der übrigen Anlage sowie gegenüber beiden gasdicht evakuierbar ist. Bei hochproduktiven Anlagen bedarf es einer besonders dynamischen Evakuierung. Mittel wie Filter zum Auffangen von Störpartikeln bzw. Staub sind in der Schleusenkammer von Nachteil, da sie das zu evakuierende Volumen vergrößern.Substrate locks and in particular entrance locks are particularly affected by dust. It is a container which can be separated on both sides in the direction of transporting the substrate and which can be evacuated in a gastight manner both with respect to the external environment of the installation and with respect to the rest of the installation and with respect to both. Highly productive systems require a particularly dynamic evacuation. Means such as filters for catching sturgeon particles or dust are disadvantageous in the lock chamber, since they increase the volume to be evacuated.

Da mittels robuster oder leistungsstarker Pumpen oder durch Evakuieren über Vakuum-Vorrats-Behälter dieses Problem besser lösbar erscheint, richtet sich ein Augenmerk auf die Pumpen selbst bzw. auf solche mit guter Partikel- oder Staubresistenz sowie Langzeiteignung.Since this problem can be solved better by means of robust or powerful pumps or by evacuation via a vacuum storage container, attention is paid to the pumps themselves or to those with good particle or dust resistance and long-term suitability.

Diesbezüglich problematisch sind ölgeschmierte Roots- und Drehschieberpumpen. Deren Getrieberaum verlassen bei Druckunterschieden in Richtung Schöpfraum trotz Dichtungsmittel Partikel des Schmiermittels und verschmutzen so den Gasdurchlass; Staub lagert sich ab. Diese vergleichsweise kostengünstigen Pumpen sind unter anderem aufgrund ihrer Saugleistung für das Erzeugen des Vorvakuums etabliert. Der Wartungsaufwand im Langzeitbetrieb nimmt bei Staubablagerungen deutlich zu.In this regard, oil-lubricated roots and rotary vane pumps are problematic. Their gear chamber leave in pressure differences in the direction of the pump chamber despite sealant particles of the lubricant and so pollute the gas passage; Dust deposits. These comparatively inexpensive pumps are established, inter alia, because of their suction power for generating the backing vacuum. The maintenance effort in long-term operation increases significantly with dust deposits.

Bei trocken arbeitenden Pumpen besteht das vorstehende Problem mit Staubablagerungen aufgrund von Haftfilmen nicht. Jedoch können sich bei erreichtem Vakuum und bei folglich geringem Durchfluss temporär Ablagerungen bilden. Derartiges ist zu trocken betriebenen Schraubenpumpen bekannt sowie auch, dem mittels Gaszirkulation entgegen zu wirken. Die langzeitstabile Funktion bei Staubeinflüssen sowie einfache Reinigung oder Wartung sind bei Schraubenpumpen gegeben. Bekanntermaßen ist die Schraubenpumpe als Vorvakuumpumpe gegen atmosphärische Drücke einsetzbar. Bekannt ist auch, Schraubenpumpen für erhöhte Saugleistung zu modifizieren. Mit Solchen ist jedoch kein Dauerbetrieb möglich. Sie wechseln in kurzen Zeitintervallen den Aus- und Ein-Zustand – Kurztakt-Schraubenpumpen –.In dry-type pumps, the above problem with dust deposits due to adhesive films does not exist. However, deposits may form temporarily when the vacuum is reached and consequently at a low flow rate. Such is known to dry operated screw pumps as well as to counteract by means of gas circulation. The long-term stable function with dust influences as well as simple cleaning or maintenance are given with screw pumps. As is known, the screw pump can be used as a backing pump against atmospheric pressures. It is also known to modify screw pumps for increased suction power. With such, however, no continuous operation is possible. They change the off and on state in short time intervals - short-cycle screw pumps -.

In DE 201 22 386 U1 wird ein Pumpensystem vorgestellt, in dem zunächst eine Drehkolbenpumpe an einen zu evakuierenden Gefäß und weiter in Reihe geschalten an der Drehkolbenpumpe eine Schraubenpumpe angeschlossen ist. An der Drehkolbenpumpe sind Kühlmittel vorgesehen, um eine Überhitzungen und/oder Beschädigung der Drehkolbenpumpe zu vermeiden.In DE 201 22 386 U1 a pump system is presented, in which first a rotary lobe pump is connected to a vessel to be evacuated and further connected in series to the rotary lobe pump a screw pump. At the rotary pump coolant are provided to prevent overheating and / or damage to the rotary pump.

Zwei Verfahren für das Reinigen von Vakuum- und insbesondere Schraubenpumpen sind bekannt aus WO 2006/067032 A1 und aus DE 10 2008 030 788 A1 , wobei ein Reinigungsfluid zum Einsatz kommt, das Partikel aus der Pumpe entfernt. Die Partikel gelangen so entweder in eine Art Filter oder in einen Vorratsbehälter. Diese Verfahren lassen das Reinigen der Pumpe im laufenden Betrieb folglich ohne Demontage der Pumpe zu.Two methods for cleaning vacuum and especially screw pumps are known WO 2006/067032 A1 and from DE 10 2008 030 788 A1 Using a cleaning fluid that removes particles from the pump. The particles are thus either in a kind of filter or in a reservoir. These procedures allow the cleaning of the pump during operation, thus without disassembly of the pump.

Weiterhin sind Flüssigkeitsringpumpen bekannt. Ihr Einsatz ist verbunden mit dem Kompromiss der hohen Saugleistung bei für Vakuum vergleichsweise hohem Enddruck (einlassseitiger Enddruck: max. 100 mbar). Auch sind Flüssigkeitsringpumpen zweistufig gekoppelt in Reihen-Schaltung möglich. Wegen des Wirkprinzips mit Verwendung einer Flüssigkeit ist der erreichbare Enddruck begrenzt.Furthermore, liquid ring pumps are known. Their use is associated with the compromise of the high suction power with a comparatively high final pressure for vacuum (inlet end pressure: max 100 mbar). Also liquid ring pumps are two-stage coupled in series connection possible. Because of the principle of action with the use of a liquid, the achievable final pressure is limited.

Aus dem Stand der Technik sind vielfältig Pumpen-Lösungen für das Evakuieren bekannt. Jedoch fehlen insbesondere geeignete Mittel oder Pumpen, die bei Störpartikeln bzw. Staub im abzupumpenden Gas langzeitstabil ein schnelles Evakuieren erlauben.Pumping solutions for evacuation are widely known from the prior art. However, in particular, there are no suitable means or pumps which permit long-term stable evacuation of stubborn particles or dust in the gas to be pumped.

Daher ist es die Aufgabe der Erfindung, eine staubresistente Vakuumpumpeinrichtung zu schaffen, die die vorstehenden Probleme überwindet. Weiter ist es ihre Aufgabe, adäquat ein Verfahren aufzuzeigen.Therefore, it is the object of the invention to provide a dust-resistant vacuum pump device which overcomes the above problems. It is also their task to adequately present a procedure.

Die Aufgabe löst die Vakuumpumpeinrichtung mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 und adäquat das Vakuumpumpverfahren mit den Merkmalen des Patentanspruchs 13. Vorteilhafte Ausgestaltungsformen der Erfindung sind Gegenstand von Unteransprüchen. The object is achieved by the vacuum pump device having the features of patent claim 1 and adequately the vacuum pumping method with the features of claim 13. Advantageous embodiments of the invention are the subject of dependent claims.

Die Vakuumpumpeinrichtung umfasst gattungsgemäß zum Evakuieren mindestens eines Vakuumbehälters, der vorgesehen ist in einer Anlage für die Vakuumbehandlung von Substraten bei einen vorgegebenen Endvakuum, zum Erreichen und Erhalten des Endvakuums mit einem Enddruck Pumpmittel und Leitungsmittel. Zu den Pumpmitteln mit Einlass und Auslass zählt mindestens eine Vakuumpumpe. Die Leitungsmittel verbinden gasleitend sowie vakuumstabil in Gasflussrichtung betrachtet sowohl einen Auslass eines Vakuumbehälters mit dem Einlass eines als Endpumpe zum Erreichen des Enddrucks vorgesehenen Pumpmittels als auch die Pumpmittel untereinander vom Auslass zum Einlass. Am Auslass eines Pumpmittels liegt atmosphärischer Druck als Normaldruck an. Die Endpumpe ist als mindestens eine Schraubenpumpe als einzige ihrer Art ausgeführt.The vacuum pump device generically comprises for evacuating at least one vacuum container which is provided in a system for the vacuum treatment of substrates at a predetermined final vacuum, for achieving and maintaining the final vacuum with a final pressure pumping means and conduit means. At least one vacuum pump is one of the pump means with inlet and outlet. The conduit means connect gas-conducting as well as vacuum-stable in the gas flow direction considered both an outlet of a vacuum container with the inlet of a pump provided as a final pump to reach the final pressure pumping means and the pumping means with each other from the outlet to the inlet. At the outlet of a pumping means atmospheric pressure is applied as normal pressure. The final pump is designed as at least one screw pump as the only one of its kind.

Kennzeichnend für die Vakuumpumpeinrichtung ist, dass der im Bereich des Feinvakuums liegende Enddruck in einem Vakuumbehälter erzeugt wird, der zum Einschleusen von Substraten in angrenzende Behälter der Anlage vorgesehen ist.Characteristic of the vacuum pump device is that the final pressure lying in the region of the fine vacuum is generated in a vacuum container which is provided for introducing substrates into adjacent containers of the system.

Mit anderen Worten löst die Schraubenpumpe die Aufgabe, eingangsseitig das Endvakuum im Vakuumbehälter aufzubauen. Damit geht ihr Einsatzspektrum über das als Vorvakuumpumpe hinaus. Der robuste Aufbau einer trocken laufenden Schraubenpumpe trotzt staubhaltigen Gasen. Der Aufwand für Reinigung und Wartung reduziert sich zudem aufgrund der dahingehenden Vorsehung an Schraubenpumpen. Solche lassen sich unkompliziert öffnen oder verfügen über Einlässe zum Spülen mit reinigenden Flüssigkeiten. Als Bereich des Feinvakuums wird von 10–0 bis 10–3 mbar ausgegangen. Enddrücke von weniger als 10–1 mbar sind üblich. Das Einschleusen von Substraten in eine Anlage erfolgt über die Eingangsschleuse. Die Schraubenpumpe leistet in einer bestenfalls modifizierten Bauweise die für Eingangsschleusen erforderlichen hohen Fördermengen.In other words, the screw pump solves the task of the input side to build the final vacuum in the vacuum tank. Their range of uses goes beyond that of a backing pump. The robust design of a dry-running screw pump defies dusty gases. The effort for cleaning and maintenance is also reduced due to the provision of screw pumps. Such can be easily opened or have inlets for rinsing with cleaning liquids. As a range of fine vacuum is assumed from 10 -0 to 10 -3 mbar. Final pressures of less than 10 -1 mbar are common. The introduction of substrates into a plant takes place via the entrance lock. The screw pump provides in a modified at best modified construction, the high flow rates required for entry locks.

Nach einer Ausgestaltung der Erfindung liegt am Auslass der Endpumpe Normaldruck an. Da eine Endpumpe wie die Schraubenpumpe an sich gegen Normaldruck arbeiten kann, ließe sich vorteilhafterweise auf anders geartete Pumpmittel verzichten.According to one embodiment of the invention, normal pressure is applied at the outlet of the end pump. Since a final pump such as the screw pump can work against normal pressure per se, could advantageously dispense with other types of pumping means.

Es bietet sich nach dem Vorhergehenden an, dass die Endpumpe eine Förderleistung von mindestens 2000 m3/h aufweist.It makes sense according to the preceding that the final pump has a capacity of at least 2000 m 3 / h.

In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung zählt zu den Pumpmitteln weiter mindestens eine Vakuumpumpe als Vorpumpe, an deren Auslass Normaldruck anliegt und an deren Einlass sie ein Vorvakuum mit unter Normaldruck liegenden Vordruck herzustellen ausgestattet ist. Eine Vakuumpumpe für das Vorvakuum vorzusehen spart Zeit. Leistet die Endpumpe allein die erwartete Evakuierunigszeit nicht, schafft die Vorpumpe Abhilfe.In a preferred embodiment of the invention, the pumping means further comprises at least one vacuum pump as a backing pump, at the outlet of which atmospheric pressure is applied and at the inlet of which it is equipped to produce a pre-vacuum with a pre-pressure under normal pressure. Providing a vacuum pump for the pre-vacuum saves time. If the final pump alone does not provide the expected evacuation time, the forepump will remedy the situation.

Es bietet sich besonders an, dass der Einlass der Vorpumpe mit mindestens einem Auslass einer Endpumpe verbunden ist. Das stellt den Einsatz der Schraubenpumpe beziehungsweise der Endpumpe als so genannten Booster dar. Demnach soll auch explizit vorgeschlagen sein, mehrere Endpumpen vor einer Vorpumpe als Booster einzusetzen. Damit lösen sich die Probleme mit Staub bei Booster-Lösungen mit Roots-Pumpen.It is particularly appropriate that the inlet of the fore pump is connected to at least one outlet of an end pump. This represents the use of the screw pump or the end pump as a so-called booster. Accordingly, it should also be explicitly proposed to use several end pumps before a backing pump as a booster. This solves the problems with dust in booster solutions with Roots pumps.

In einer vorteilhaften Form der Ausgestaltung der Erfindung ist die Vorpumpe als Flüssigkeitsringpumpe ausgeführt. Diese außerordentlich robuste Pumpe begünstigt ihren zweckbestimmten Einsatz für staubhaltige Gase. Zudem verfügt sie über ein enormes Saugvermögen von mehr als 10.000 m3/h. Was deren breiten Einsatz aufgrund des maximal leistbaren Vorvakuums bislang verhinderte, überwindet sie zusammen mit der erfindungsgemäßen Schraubenpumpe als Endpumpe. insbesondere dadurch, dass die Schraubenpumpe geringere Anforderungen an das Vorvakuum stellt als bekannte Roots-Pumpen, erweist sich die Flüssigkeitsringpumpe als enorm vorteilhaft zum Einen und zum Zweiten aufgrund ihres hohen Saug- beziehungsweise Fördervermögens zum insgesamt schnellen Evakuieren des Vakuumbehälters. Aufgrund Fördervermögens vermag sie zudem das Vorvakuum für mehrere Endpumpen parallel bereitzustellen.In an advantageous form of the embodiment of the invention, the backing pump is designed as a liquid ring pump. This extremely robust pump favors its dedicated use for dusty gases. In addition, it has an enormous pumping speed of more than 10,000 m 3 / h. What prevented their widespread use due to the maximum advance vacuum, it overcomes together with the screw pump according to the invention as a final pump. in particular the fact that the screw pump makes lower demands on the pre-vacuum than known Roots pumps, the liquid ring pump proves to be enormously advantageous for one and the second due to their high suction or conveying capacity for overall rapid evacuation of the vacuum vessel. Due to its capacity, it is also able to provide the pre-vacuum for several end pumps in parallel.

Zweckmäßigerweise ist nach dem Vorhergehenden der Vordruck auf weniger als 200 mbar festgelegt. Zudem ist es von Vorteil, dass die Endpumpe eine Förderleistung von mindestens 1500 m3/h aufweist.Conveniently, according to the preceding, the form is set to less than 200 mbar. In addition, it is advantageous that the final pump has a delivery capacity of at least 1500 m 3 / h.

Als Vorpumpe wird hier die Flüssigkeitsringpumpe favorisiert. Andere übliche Vorpumpen wie Drehschieberpumpe, Drehkolbenpumpe und Schraubenpumpe sollen dadurch nicht ausgeschlossen sein.As a backing pump, the liquid ring pump is favored here. Other conventional backing pumps such as rotary vane pump, rotary lobe pump and screw pump should not be excluded.

Vorteilhafterweise ist ein Vakuumtank zur bei Normaldruck beginnenden Evakuierung des Vakuumbehälters mit einem Auslass des Vakuumbehälters über Leitungsmittel mit einem Ventil unterbrechbar verbunden. Der Vakuumtank ist analog dem Vakuumbehälter mit Pump- und Leitungsmitteln evakuierbar verbunden. Der Vakuumtank, der als Vorratsbehälter fungiert, bewährt sich an Substratschleusen und insbesondere an Eingangsschleusen, wo der Evakuierungsvorgang infolge des vergleichsweise schnell auszubildenden Vakuums die Pumptechnik an ihre Leistungsgrenzen führt. Mit dem gegenüber Pumpen vergleichsweise preiswerten Vakuumtank lassen ablaufbedingt notwendige Auszeiten der Vakuumpumpen dahingehend nachnutzen, dass Vakuum in einem separaten Behälter aufgebaut wird. Um Gasströmungen und Druckschwankungen im eigentlichen Vakuumbehälter auszuschließen, ist das Ventil notwendig.Advantageously, a vacuum tank for starting at atmospheric pressure evacuation of the vacuum vessel is connected to an outlet of the vacuum vessel via conduit means with a valve interruptible. The vacuum tank is connected evacuably analogous to the vacuum container with pumping and conduit means. The vacuum tank, which acts as a reservoir, proves itself Substrate locks and in particular at entrance locks, where the evacuation process leads due to the comparatively fast trainees vacuum pumping technology to their performance limits. With the comparatively low-cost vacuum tank compared to pumps, drainage times of the vacuum pumps that are necessary due to the process can be used to the effect that vacuum is built up in a separate container. To exclude gas flows and pressure fluctuations in the actual vacuum tank, the valve is necessary.

Zweckmäßigerweise sind die Pump- und Leitungsmittel eingangsseitig sowohl mit dem Vakuumbehälter als auch mit dem Vakuumtank wechselweise über Ventile unterbrechbar verbunden, sodass Pump- und Leitungsmittel entweder den Vakuumbehälter oder den Vakuumtank evakuieren. Um die Pumpen effektiv durchlaufend zu nutzen, ist es nicht zwingend erforderlich, Vakuumbehälter und Vakuumtank mit separaten Pumpen eigens für deren Evakuierung auszustatten. Vielmehr sind ablaufende Prozesse wie der des Einschleusens von Taktzeiten bestimmt, in denen die Pumpen auf das Vakuum zeitlich anteilig keinen bestimmenden Einfluss nehmen dürfen. Um deren Leistung sinnvoll zu kanalisieren, helfen Puffer wie Vakuumtanks die Pumpwirkung zu akkumulieren. Weiter optimiert bezüglich Druck, Zeitaufwand und zu evakuierenden Volumen, stellt ein System, in dem wechselweise Behälter und Tank zu evakuieren sind, einen zweckdienlichen kostengünstigen Kompromiss dar.Conveniently, the pumping and conduit means are on the input side connected to both the vacuum tank and the vacuum tank alternately interruptible valves, so pumping and conduit evacuate either the vacuum tank or the vacuum tank. In order to use the pumps effectively continuously, it is not absolutely necessary to equip the vacuum container and vacuum tank with separate pumps specifically for their evacuation. Rather, expiring processes such as the introduction of cycle times are determined, in which the pumps on the vacuum may take part temporally no decisive influence. To usefully channel their performance, buffers such as vacuum tanks help to accumulate the pumping action. Further optimized in terms of pressure, time and volume to be evacuated, a system in which to alternately container and tank to evacuate, represents a convenient low-cost compromise.

In einer vorteilhaften Form der Ausgestaltung der Erfindung ist in der unterbrechbaren Verbindung zwischen Vakuumbehälter und Vakuumtank zwischen Ventil und Vakuumtank ein Filter Einlass und Auslass sowie optional ein Ventil zum beidseitigen Absperren des Filters angeordnet und es sind die Pump- und Leitungsmittel eingangsseitig zwischen Auslass des Filters und dem Vakuumtank vorzugsweise direkt mit Vakuumtank verbunden. Der bislang wegen seines Volumens als hinderlich für den zeitlichen Bedarf der Evakuierung angesehene Filter ist so vom Volumen des Vakuumbehälters abtrennbar und folglich in weniger zeitkritischen Pumpphasen mit zu evakuieren. Die bevorzugte Anordnung verhindert, dass im Filter aufgefangene Partikel in den Vakuumbehälter zurück gelangen können. Die direkte Verbindung mit dem Vakuumtank eingangsseitig der Pump- und Leitungsmittel bewirkt, dass im Filter aufgefangene Partikel nicht in die Pumpen gelangen. Selbiges könnte dem entgegen vorteilhaft zum Reinigen des Filters betragen (Rückspülen des Filters).In an advantageous embodiment of the invention, a filter inlet and outlet and optionally a valve for blocking the filter on both sides is arranged in the interruptible connection between the vacuum container and vacuum tank between the valve and vacuum tank and the pumping and conduit means are on the input side between the outlet of the filter and the vacuum tank preferably connected directly to the vacuum tank. The so far considered because of its volume as a hindrance to the temporal needs of the evacuation filter is so separated from the volume of the vacuum vessel and thus to evacuate in less time-critical pumping phases with. The preferred arrangement prevents particles trapped in the filter from returning to the vacuum container. The direct connection with the vacuum tank on the input side of the pump and conduit means that particles caught in the filter do not get into the pumps. The same could be advantageous for cleaning the filter (backwashing the filter).

Es ist von Vorteil, dass den Vordruck einschließende Leitungsmittel zwischen den Einlässen der Vorpumpen beziehungsweise zwischen den Auslässen der Endpumpen jeweils über Ventile unterbrechbar verbunden sind. Damit können mehrere Vorpumpen ein Vorvakuum für mehrere Endpumpen zur Verfügung stellen. Bei mehreren Vorpumpen ließen diese sich bedarfsabhängig aktivieren. Einen Vakuumtank für das Vorvakuum mit in die Leitungsmittel einzubinden, wäre eine weitere Option um Bedarfsdiskontinuitäten auszugleichen.It is of advantage that line means enclosing the admission pressure are connected in an interruptible manner in each case between the inlets of the fore pumps or between the outlets of the end pumps via valves. This allows several backing pumps to provide a pre-vacuum for several end pumps. With several backing pumps, these could be activated as required. Integrating a vacuum tank for the pre-vacuum into the conduit would be another option to compensate for demand discontinuities.

Nachfolgend soll die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels näher beschrieben werden. Es zeigt die 1 die Vakuumpumpvorrichtung an einem Vakuumbehälter 1. Stark vereinfacht dargestellt wird das Substrat 2 in dem Vakuumbehälter 1, der als Eingangsschleuse selbst Teil einer Anlage ist, behandelt. Über eine Eingangsschleuse einer Anlage gelangen die Substrate in die Anlage. Dort ändern sich die Druckverhältnisse mit höchster Dynamik. Drei Leitungen 5 sind mit Auslässen 10 des Vakuumbehälters 1 und jeweils über Ventile 11 und 12 unterbrechbar verbunden. Zwei der drei Leitungen 5 führen jeweils zu den zwei Endpumpen 3. Zwischen diesen beiden Leitungen 5 erlaubt eine weitere Leitung 5 über ein Ventil 14 die Einlässe 9 der beiden Endpumpen 3 zu verbunden. Ist das Ventil 14 geschlossen und sind die beiden Ventile 11 geöffnet, evakuieren die Endpumpen 3 das Volumen des Vakuumbehälters 1. In diesem Fall sind zumindest die Ventile 12 und 15 geschlossen. Ist der Evakuierungsprozess abgeschlossen, so wie es bei einer Eingangsschleuse einer Anlage der Fall wäre, schließen die Ventile 11 und der weitere Transport des Substrates würde sich anschließen. Zeitgleich zu Substrattransport und unmittelbar mit Schließen der Ventile 11 öffnen die Ventile 14 und 15 und stellen so eine Verbindung zum Vakuumtank 6 her. Damit evakuieren sie das Volumen des Vakuumtanks 6. Bedarfsweise könnten auch die Ventile 14 und 11 bei der Evakuierung des Vakuumbehälters 1 geschlossen bleiben sowie das Ventil 15 geöffnet. Dann evakuiert eine Endpumpe 3 den Vakuumbehälter 1 und die zweite Endpumpe 3 den Vakuumtank 6. Ist der Substrattransport abgeschlossen und der Behälter 1 durch Belüften wieder auf Normaldruck gebracht sowie dicht verschlossen, bietet sich als erster Schritt bei der Evakuierung des Vakuumbehälters 1 an, die Ventile 12 und 13 zu öffnen. Der Gasfluss muss den Filter 7 passieren, der Staub wird dort aufgefangen, gelangt nicht in den Tank und ist zumindest anteilig Vakuumbehälter 1 entzogen. Durch die Verbindung zwischen Tank 6 und Behälter 1 erfolgt ein rascher Ausgleich des Druckunterschiedes zwischen Beiden und ein erstes Vakuum bildet sich im Behälter 1 aus. Die laufenden Endpumpen 3 werden durch zeitgleiches Schließen der Ventile 12 und 15 (optional Ventil 14) sowie Öffnen der Ventile 11 wieder mit der Kammer verbunden und der beschriebe Zyklus beginnt von Neuem. Mit der nicht zwingend erforderlichen Vorpumpe 4 ließe sich die Vorrichtung weiter zeitlich optimieren. Prinzipiell können als Schraubenpumpen ausgeführte Endpumpen 3 an ihrem Auslass 10 gegen Atmosphäre arbeiten. Als Vorpumpe 4 eine robuste Flüssigkeitsringpumpe einzusetzen, ist vorteilhaft. Sie kann insbesondere wegen ihrer hohen Fördermengen, wie es auch die Figur zeigt, das Vorvakuum für mehrere Endpumpen 3 erzeugen. Es dürfen aber auch auf an sich bekannte Vorpumpen 4 wie beispielsweise Schrauben-, Drehkolben- und Drehschieberpumpen anstatt der Flüssigkeitsringpumpe zum Einsatz kommen.The invention will be described in more detail with reference to an embodiment. It shows the 1 the vacuum pumping device to a vacuum container 1 , The substrate is shown greatly simplified 2 in the vacuum container 1 , which is part of a system as an entrance lock itself, treated. The substrates enter the system via an entrance lock of a system. There, the pressure conditions change with maximum dynamics. Three lines 5 are with outlets 10 of the vacuum container 1 and each via valves 11 and 12 disconnected connected. Two of the three wires 5 lead each to the two end pumps 3 , Between these two lines 5 allows another line 5 via a valve 14 the inlets 9 the two end pumps 3 too connected. Is the valve 14 closed and are the two valves 11 open, evacuate the end pumps 3 the volume of the vacuum container 1 , In this case, at least the valves 12 and 15 closed. Once the evacuation process is complete, as would be the case with an intake lock on a system, the valves close 11 and the further transport of the substrate would follow. Simultaneous with substrate transport and immediately with closing of the valves 11 open the valves 14 and 15 and thus connect to the vacuum tank 6 ago. This evacuates the volume of the vacuum tank 6 , If necessary, the valves could 14 and 11 during the evacuation of the vacuum tank 1 remain closed and the valve 15 open. Then a final pump evacuates 3 the vacuum tank 1 and the second end pump 3 the vacuum tank 6 , Is the substrate transport completed and the container 1 brought back to normal pressure by venting and tightly sealed, is the first step in the evacuation of the vacuum vessel 1 on, the valves 12 and 13 to open. The gas flow must be the filter 7 happen, the dust is caught there, does not get into the tank and is at least partially vacuum container 1 withdrawn. By the connection between tank 6 and containers 1 there is a rapid compensation of the pressure difference between the two and a first vacuum is formed in the container 1 out. The current end pumps 3 be closed by closing the valves at the same time 12 and 15 (optional valve 14 ) and opening the valves 11 reconnected to the chamber and the cycle begins again. With the not necessarily necessary forepump 4 the device could be further optimized in terms of time. In principle, pump pumps designed as end pumps 3 at her outlet 10 working against the atmosphere. As a fore pump 4 To use a robust liquid ring pump is advantageous. It can, in particular because of their high flow rates, as shown in the figure, the pre-vacuum for several end pumps 3 produce. But it may also be on per se known backing pumps 4 such as screw, rotary and rotary vane pumps are used instead of the liquid ring pump.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

11
Vakuumbehältervacuum vessel
22
Substratsubstratum
33
EndpumpeEndpumpe
44
Vorpumpebacking pump
55
Leitungsmittelconduit means
66
Vakuumtankvacuum tank
77
Filterfilter
88th
GasflussrichtungGas flow direction
99
Einlassinlet
1010
Auslassoutlet
1111
VentilValve
1212
VentilValve
1313
VentilValve
1414
VentilValve
1515
VentilValve

Claims (19)

Vakuumpumpeinrichtung zum Evakuieren mindestens eines Vakuumbehälters (1), der vorgesehen ist in einer Anlage für die Vakuumbehandlung von Substraten (2) bei einem vorgegebenen Endvakuum, die zum Erreichen und Erhalten des Endvakuums mit einem Enddruck Pumpmittel und Leitungsmittel (5) umfasst, dass zu den Pumpmitteln mit Einlass (9) und Auslass (10) mindestens eine Vakuumpumpe zählt, dass die Leitungsmittel (5) gasleitend sowie vakuumstabil in Gasflussrichtung (8) betrachtet sowohl einen Auslass (10) eines Vakuumbehälters (1) mit dem Einlass (9) eines als Endpumpe (3) zum Erreichen des Enddrucks vorgesehenen Pumpmittels als auch die Pumpmittel untereinander vom Auslass (10) zum Einlass (9) verbinden, dass am Auslass (10) eines Pumpmittels atmosphärischer Druck als Normaldruck anliegt und dass die Endpumpe (3) als mindestens eine Schraubenpumpe als einzige ihrer Art ausgeführt ist, dadurch gekennzeichnet, dass der im Bereich des Feinvakuums liegende Enddruck in einem Vakuumbehälter (1) erzeugt wird, der zum Einschleusen von Substraten (2) in angrenzende Behälter der Anlage vorgesehen ist.Vacuum pump device for evacuating at least one vacuum container ( 1 ), which is provided in a plant for the vacuum treatment of substrates ( 2 ) at a given final vacuum, which, in order to achieve and maintain the final vacuum with a final pressure, pumping means and conduit means ( 5 ) that to the pumping means with inlet ( 9 ) and outlet ( 10 ) at least one vacuum pump counts that the conduit means ( 5 ) Gas-conducting and vacuum-stable in gas flow direction ( 8th ) considers both an outlet ( 10 ) of a vacuum container ( 1 ) with the inlet ( 9 ) as a final pump ( 3 ) provided for reaching the final pressure pumping means and the pumping means from each other from the outlet ( 10 ) to the inlet ( 9 ) connect that at the outlet ( 10 ) of a pumping means atmospheric pressure is applied as normal pressure and that the final pump ( 3 ) is designed as at least one screw pump as the only one of its kind, characterized in that the final pressure lying in the region of the fine vacuum in a vacuum container ( 1 ), which is used for introducing substrates ( 2 ) is provided in adjacent container of the system. Vakuumpumpeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass am Auslass (10) der Endpumpe (3) Normaldruck anliegt.Vacuum pump device according to claim 1, characterized in that at the outlet ( 10 ) of the end pump ( 3 ) Normal pressure is applied. Vakuumpumpeinrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Endpumpe (3) eine Förderleistung von mindestens 2000 m3/h aufweist.Vacuum pump device according to claim 1 or 2, characterized in that the end pump ( 3 ) has a capacity of at least 2000 m 3 / h. Vakuumpumpeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zu den Pumpmitteln weiter mindestens eine Vakuumpumpe als Vorpumpe (4) zählt, an deren Auslass (10) Normaldruck anliegt und an deren Einlass (9) sie ein Vorvakuum mit unter Normaldruck liegenden Vordruck herzustellen ausgestattet ist.Vacuum pump device according to claim 1, characterized in that at least one vacuum pump as forepump ( 4 ) counts at whose outlet ( 10 ) Normal pressure and at the inlet ( 9 ) it is equipped to produce a pre-vacuum with pre-atmospheric pressure under normal pressure. Vakuumpumpeinrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Einlass der Vorpumpe (4) mit mindestens einem Auslass (10) einer Endpumpe (3) verbunden ist.Vacuum pump device according to claim 4, characterized in that the inlet of the backing pump ( 4 ) with at least one outlet ( 10 ) a final pump ( 3 ) connected is. Vakuumpumpeinrichtung nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorpumpe (4) als Flüssigkeitsringpumpe ausgeführt ist.Vacuum pump device according to claim 4 or 5, characterized in that the forepump ( 4 ) is designed as a liquid ring pump. Vakuumpumpeinrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Vordruck auf weniger als 200 mbar festgelegt ist.Vacuum pump device according to one of claims 4 to 6, characterized in that the admission pressure is set to less than 200 mbar. Vakuumpumpeinrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Endpumpe (3) eine Förderleistung von mindestens 1500 m3/h aufweist.Vacuum pump device according to one of claims 4 to 7, characterized in that the end pump ( 3 ) has a capacity of at least 1500 m 3 / h. Vakuumpumpeinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass ein Vakuumtank (6) zur bei Normaldruck beginnenden Evakuierung des Vakuumbehälters (1) mit einem Auslass (10) des Vakuumbehälters (1) über Leitungsmittel (5) mit einem Ventil (11) unterbrechbar und der Vakuumtank (6) analog dem Vakuumbehälter (1) mit Pump- und Leitungsmitteln (3, 5) evakuierbar verbunden ist.Vacuum pump device according to one of claims 1 to 8, characterized in that a vacuum tank ( 6 ) for evacuation of the vacuum vessel beginning at normal pressure ( 1 ) with an outlet ( 10 ) of the vacuum container ( 1 ) via conduit means ( 5 ) with a valve ( 11 ) and the vacuum tank ( 6 ) analogous to the vacuum container ( 1 ) with pumping and conducting means ( 3 . 5 ) is connected evacuatable. Vakuumpumpeinrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Pump- und Leitungsmittel (3, 5) eingangsseitig sowohl mit dem Vakuumbehälter (1) als auch mit dem Vakuumtank (6) wechselweise über Ventile (11, 14, 15) unterbrechbar verbunden sind, sodass Pump- und Leitungsmittel (3, 5) entweder den Vakuumbehälter (1) oder den Vakuumtank (6) evakuieren.Vacuum pump device according to claim 9, characterized in that the pumping and conducting means ( 3 . 5 ) on the input side with both the vacuum container ( 1 ) as well as with the vacuum tank ( 6 ) alternately via valves ( 11 . 14 . 15 ) are interruptably connected so that pumping and conduit means ( 3 . 5 ) either the vacuum container ( 1 ) or the vacuum tank ( 6 ) evacuate. Vakuumpumpeinrichtung nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass in der unterbrechbaren Verbindung zwischen Vakuumbehälter (1) und Vakuumtank (6) zwischen Ventil (12) und Vakuumtank (6) ein Filter (7) mit Einlass (9) und Auslass (10) sowie optional ein Ventil (13) zum beidseitigen Absperren des Filters (7) angeordnet ist und dass die Pump- und Leitungsmittel (3, 5) eingangsseitig zwischen Auslass (10) des Filters (7) und dem Vakuumtank (6) vorzugsweise direkt mit Vakuumtank (6) verbunden sind.Vacuum pump device according to claim 9 or 10, characterized in that in the interruptible connection between vacuum container ( 1 ) and vacuum tank ( 6 ) between valve ( 12 ) and vacuum tank ( 6 ) a filter ( 7 ) with inlet ( 9 ) and outlet ( 10 ) as well as an optional valve ( 13 ) for blocking the filter on both sides ( 7 ) and that the pumping and conducting means ( 3 . 5 ) on the input side between outlet ( 10 ) of the filter ( 7 ) and the Vacuum tank ( 6 ) preferably directly with vacuum tank ( 6 ) are connected. Vakuumpumpeinrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die den Vordruck einschließenden Leitungsmittel (5) zwischen den Einlässen (9) der Vorpumpen (4) und den Auslässen (10) der Endpumpen (3) mit jeweils mindestens einem Ventil (14) unterbrechbar verbunden sind.Vacuum pump device according to one of claims 3 to 11, characterized in that the conduit means enclosing the admission pressure ( 5 ) between the inlets ( 9 ) of the forepumps ( 4 ) and the outlets ( 10 ) of the end pumps ( 3 ) each with at least one valve ( 14 ) are connected interruptible. Vakuumpumpverfahren zum Evakuieren mindestens eines Vakuumbehälters (1), der vorgesehen ist in einer Anlage für die Vakuumbehandlung von Substraten (2) bei einem vorgegebenen Endvakuum, das zum Erreichen und Erhalten des Endvakuums mit einem Enddruck Pumpmittel und Leitungsmittel (5) einsetzt, dass durch die Pumpmittel zwischen deren Einlass (9) und Auslass (10) mit mindestens einer Vakuumpumpe eine Druckdifferenz aufgebaut wird, dass durch die Leitungsmittel (5) der jeweilige Druck sowohl zwischen einem Auslass (10) des Vakuumbehälters (1) und dem Einlass (9) eines als Endpumpe (3) zum Erreichen des Enddrucks vorgesehenen Pumpmittels als auch zwischen Auslass und Einlass der Pumpmittel geleitet wird und dass ein Pumpmittel gegen den am Auslass (10) anliegenden atmosphärischen Druck als Normaldruck betrieben wird und dass als Endpumpe (3) mindestens eine Schraubenpumpe als einzige ihrer Art betrieben wird, dadurch gekennzeichnet, dass der im Bereich des Feinvakuums liegende Enddruck in einem Vakuumbehälter (1), der zum Einschleusen von Substraten in angrenzende Behälter der Anlage vorgesehen ist, erzeugt wird.Vacuum pumping method for evacuating at least one vacuum container ( 1 ), which is provided in a plant for the vacuum treatment of substrates ( 2 ) at a given final vacuum, which, in order to achieve and maintain the final vacuum with a final pressure, pumping means and conduit means ( 5 ) is used by the pumping means between the inlet ( 9 ) and outlet ( 10 ) is constructed with at least one vacuum pump, a pressure difference that by the conduit means ( 5 ) the respective pressure both between an outlet ( 10 ) of the vacuum container ( 1 ) and the inlet ( 9 ) as a final pump ( 3 ) is led to reach the end pressure provided pumping means and between the outlet and inlet of the pumping means and that a pumping means against the at the outlet ( 10 ) atmospheric pressure is operated as normal pressure and that as end pump ( 3 ) at least one screw pump is operated as the only one of its kind, characterized in that the end pressure lying in the region of the fine vacuum is in a vacuum container ( 1 ), which is provided for introducing substrates into adjacent containers of the plant is generated. Vakuumpumpverfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Endpumpe (3) gegen Normaldruck am Auslass (10) betrieben wird.Vacuum pumping method according to claim 13, characterized in that the end pump ( 3 ) against normal pressure at the outlet ( 10 ) is operated. Vakuumpumpverfahren nach Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Endpumpe (3) mit einer minimalen Förderleistung von 2000 m3/h betrieben wird.Vacuum pumping method according to claim 13 or 14, characterized in that the end pump ( 3 ) is operated with a minimum capacity of 2000 m 3 / h. Vakuumpumpverfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass zu den Pumpmitteln weiter mindestens eine Vakuumpumpe als Vorpumpe (4) zählt, die eine Druckdifferenz zwischen Normaldruck am Auslass (10) und einem unter Normaldruck liegenden Vordruck als Vorvakuum erzeugt.Vacuum pumping method according to claim 13, characterized in that at least one vacuum pump as forepump ( 4 ), which is a pressure difference between normal pressure at the outlet ( 10 ) and a pressure lying under normal pressure as a pre-vacuum. Vakuumpumpverfahren nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass als Vorpumpe (4) eine Flüssigkeitsringpumpe betrieben wird.Vacuum pumping method according to claim 16, characterized in that as forepump ( 4 ) a liquid ring pump is operated. Vakuumpumpverfahren nach Anspruch 16 oder 17, dadurch gekennzeichnet, dass der Vordruck auf weniger als 200 mbar festgelegt wird.Vacuum pumping method according to claim 16 or 17, characterized in that the admission pressure is set to less than 200 mbar. Vakuumpumpverfahren nach einem der Ansprüche 16 bis 18, dadurch gekennzeichnet, dass die Endpumpe (3) mit einer minimalen Förderleistung von 1500 m3/h betrieben wird.Vacuum pumping method according to one of claims 16 to 18, characterized in that the end pump ( 3 ) is operated with a minimum capacity of 1500 m 3 / h.
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