DE102011015411A1 - Device for deflecting laser radiation and laser device with such a device - Google Patents

Device for deflecting laser radiation and laser device with such a device Download PDF

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DE102011015411A1
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Aleksei Mikhailov
Dr. Krasnaberski Aliaksei
Yury Kolotushkin
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Abstract

Vorrichtung zur Ablenkung von Laserstrahlung (8), umfassend einen Wellenleiter (1) mit einer Eintrittsfläche (6) und einer Austrittsfläche (7), die in Z-Richtung einen Abstand (L) zueinander aufweisen, wobei der Wellenleiter (1) in X-Richtung eine größere Ausdehnung aufweist als in Y-Richtung, sowie mindestens zwei Elektroden (4, 5), die an dem Wellenleiter (1) angeordnet sind, wobei an die mindestens zwei Elektroden (4, 5) eine Ablenkspannung (+V, –V) angelegt werden kann, so dass die Laserstrahlung in dem Wellenleiter (1) elektrooptisch hinsichtlich der X-Richtung abgelenkt wird, wobei der Abstand (L) zwischen der Eintrittsfläche (6) und der Austrittsfläche (7) des Wellenleiters (1) in der Z-Richtung eine derartige Größe aufweist, dass das Profil der Laserstrahlung nach dem Austritt aus der Austrittsfläche (7) dem Profil der Laserstrahlung vor dem Eintritt in die Eintrittsfläche (6) entspricht. Insbesondere entspricht dabei der Abstand (L) der Talbotlänge der Laserstrahlung.Device for deflecting laser radiation (8), comprising a waveguide (1) having an entrance surface (6) and an exit surface (7) spaced apart in the Z direction (L), the waveguide (1) being in X direction. Direction has a greater extent than in the Y direction, and at least two electrodes (4, 5) which are arranged on the waveguide (1), wherein the at least two electrodes (4, 5) has a deflection voltage (+ V, -V ) can be applied so that the laser radiation in the waveguide (1) is deflected electro-optically with respect to the X direction, wherein the distance (L) between the entrance surface (6) and the exit surface (7) of the waveguide (1) in the Z Direction has such a size that the profile of the laser radiation after exiting the exit surface (7) corresponds to the profile of the laser radiation before entering the entrance surface (6). In particular, the distance (L) corresponds to the Talbot length of the laser radiation.

Figure 00000001
Figure 00000001

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Ablenkung von Laserstrahlung gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 sowie eine Laservorrichtung gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 10.The present invention relates to a device for deflecting laser radiation according to the preamble of claim 1 and to a laser device according to the preamble of claim 10.

Definitionen: In Ausbreitungsrichtung der Laserstrahlung meint mittlere Ausbreitungsrichtung der Laserstrahlung, insbesondere wenn diese keine ebene Welle ist oder zumindest teilweise divergent ist. Mit Laserstrahl, Lichtstrahl, Teilstrahl oder Strahl ist, wenn nicht ausdrücklich anderes angegeben ist, kein idealisierter Strahl der geometrischen Optik gemeint, sondern ein realer Lichtstrahl, wie beispielsweise ein Laserstrahl, der keinen infinitesimal kleinen, sondern einen ausgedehnten Strahlquerschnitt aufweist.Definitions: In the propagation direction of the laser radiation means mean propagation direction of the laser radiation, especially if this is not a plane wave or at least partially divergent. By laser beam, light beam, sub-beam or beam is, unless expressly stated otherwise, not an idealized beam of geometric optics meant, but a real light beam, such as a laser beam, which has no infinitesimal small, but an extended beam cross-section.

Eine Vorrichtung der eingangs genannten Art ist beispielsweise aus der US 6,449,084 B1 bekannt. Die darin beschriebene Vorrichtung umfasst einen als Quader ausgebildeten Wellenleiter, der in einer ersten Querrichtung deutlich ausgedehnter ist als in einer zweiten, zu der ersten senkrechten Querrichtung. Es ergibt sich also eine weitgehend planare Geometrie, bei der auf den ausgedehnten flächigen Seiten Elektroden zur Ablenkung der Laserstrahlung angeordnet sind. Der Hauptvorteil der planaren Geometrie besteht in der wesentlichen Verkleinerung der Steuerspannung trotz großer möglicher Ablenkwinkel.A device of the type mentioned is, for example, from the US Pat. No. 6,449,084 B1 known. The apparatus described therein comprises a waveguide in the form of a cuboid, which is considerably more extensive in a first transverse direction than in a second, perpendicular to the first, transverse direction. This results in a largely planar geometry in which electrodes for deflecting the laser radiation are arranged on the extensive flat sides. The main advantage of the planar geometry is the substantial reduction of the control voltage despite the large possible deflection angle.

Der Nachteil einer derartigen Wellenleitergeometrie aus dem Stand der Technik ist die Verzerrung des querlaufenden Profils des Laserstrahlbündels bei seiner Ausbreitung durch den Wellenleiter. Da das Profil des Laserstrahlbündels im Ausgang die Superposition der Moden des Wellenleiters darstellt und sich die Phasenverhältnisse zwischen verschiedenen Moden während der Ausbreitung durch den Wellenleiter ändern, unterscheidet sich das Profil des Laserstrahlbündels nach dem Austritt aus dem Wellenleiter von dem Profil des Laserstrahlbündels vor dem Eintritt in den Wellenleiter. Dies ist in 4 durch die nach dem Hindurchtritt durch den Wellenleiter 1' auseinanderlaufende Laserstrahlung 8', 8'' angedeutet.The disadvantage of such a prior art waveguide geometry is the distortion of the transverse profile of the laser beam as it propagates through the waveguide. Since the profile of the laser beam in the output represents the superposition of the modes of the waveguide and the phase relationships between different modes change during propagation through the waveguide, the profile of the laser beam after exiting the waveguide differs from the profile of the laser beam prior to entering the waveguide. This is in 4 after passing through the waveguide 1' diverging laser radiation 8th' . 8th'' indicated.

Das der vorliegenden Erfindung zugrunde liegende Problem ist die Schaffung einer Vorrichtung der eingangs genannten Art, die eine Änderung des Profils der Laserstrahlung verhindern oder zumindest reduzieren kann. Weiterhin soll eine Laservorrichtung mit einer derartigen Vorrichtung angegeben werden.The problem underlying the present invention is the provision of a device of the type mentioned, which can prevent or at least reduce a change in the profile of the laser radiation. Furthermore, a laser device should be specified with such a device.

Dies wird erfindungsgemäß durch eine Vorrichtung der eingangs genannten Art mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 1 und eine Laservorrichtung mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 10 erreicht. Die Unteransprüche betreffen bevorzugte Ausgestaltungen der Erfindung.This is inventively achieved by a device of the type mentioned above with the characterizing features of claim 1 and a laser device with the characterizing features of claim 10. The subclaims relate to preferred embodiments of the invention.

Gemäß Anspruch 1 ist vorgesehen, dass der Abstand zwischen der Eintrittsfläche und der Austrittsfläche des mindestens einen Wellenleiters in der ersten Richtung eine derartige Größe aufweist, dass das Profil der Laserstrahlung nach dem Austritt aus der Austrittsfläche dem Profil der Laserstrahlung vor dem Eintritt in die Eintrittsfläche entspricht. Durch die Erhaltung des Profils der Laserstrahlen ergibt sich beispielsweise die Möglichkeit, zwei zueinander senkrechte Wellenleiter hintereinander anzuordnen, um die Laserstrahlung nacheinander in zwei zueinander senkrechten Richtungen abzulenken. Mögliche Anwendungen sind beispielsweise die Horizontal- und die Vertikalablenkung in einem Laserfernsehen. Weiterhin kann aufgrund der Profilerhaltung die Form der Elektroden vergleichsweise frei gewählt werden.According to claim 1 it is provided that the distance between the entrance surface and the exit surface of the at least one waveguide in the first direction has a size such that the profile of the laser radiation after exiting the exit surface corresponds to the profile of the laser radiation prior to entry into the entrance surface , By preserving the profile of the laser beams, for example, it is possible to arrange two mutually perpendicular waveguides one behind the other in order to deflect the laser radiation successively in two mutually perpendicular directions. Possible applications are, for example, the horizontal and the vertical deflection in a laser television. Furthermore, due to the profile preservation, the shape of the electrodes can be chosen comparatively freely.

Es kann insbesondere vorgesehen sein, dass der Abstand zwischen der Eintrittsfläche und der Austrittsfläche des mindestens einen Wellenleiters in der ersten Richtung der Talbotlänge oder einem ganzzahligen Vielfachen der Talbotlänge für Licht mit der Wellenlänge der abzulenkenden Laserstrahlung entspricht. Dadurch wird durch äußere geometrische Vorgaben die Profilerhaltung der Laserstrahlung erreicht.It can be provided in particular that the distance between the entrance surface and the exit surface of the at least one waveguide in the first direction corresponds to the Talbot length or an integral multiple of the Talbot length for light with the wavelength of the laser radiation to be deflected. As a result, the profile preservation of the laser radiation is achieved by external geometric specifications.

Alternativ kann auch vorgesehen sein, dass der Abstand zwischen der Eintrittsfläche und der Austrittsfläche des mindestens einen Wellenleiters in der ersten Richtung der Hälfte der Talbotlänge oder einem ungradzahligen Vielfachen der Hälfte der Talbotlänge für Licht mit der Wellenlänge der abzulenkenden Laserstrahlung entspricht.Alternatively, it can also be provided that the distance between the entry surface and the exit surface of the at least one waveguide in the first direction corresponds to half the Talbot length or an odd number of times half the Talbot length for light having the wavelength of the laser radiation to be deflected.

Vorzugsweise gilt für die Talbotlänge LT: LT = 8nD2/λ0 wobei n der Brechungsindex des mindestens einen Wellenleiters,
D die Ausdehnung des mindestens einen Wellenleiters in der dritten Richtung und
λ0 die Vakuum-Wellenlänge der abzulenkenden Laserstrahlung ist.Preferably, for the Talbot length L T : L T = 8nD 2 / λ 0 where n is the refractive index of the at least one waveguide,
D is the extent of the at least one waveguide in the third direction and
λ 0 is the vacuum wavelength of the laser radiation to be deflected.

Gemäß Anspruch 10 ist die Laservorrichtung dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung zur Ablenkung von Laserstrahlung eine erfindungsgemäße Vorrichtung ist.According to claim 10, the laser device is characterized in that the device for deflecting laser radiation is a device according to the invention.

Weitere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden deutlich anhand der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele unter Bezugnahme auf die beiliegenden Abbildungen. Darin zeigenFurther features and advantages of the present invention will become apparent from the following description of preferred embodiments with reference to the accompanying drawings. Show in it

1 eine schematische Seitenansicht einer ersten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung; 1 a schematic side view of a first embodiment of a device according to the invention;

2 eine Draufsicht auf die Vorrichtung gemäß 1; 2 a plan view of the device according to 1 ;

3 eine 1 entsprechende schematische Seitenansicht der Vorrichtung gemäß 1 mit einem schematisch angedeuteten Laserstrahl; 3 a 1 corresponding schematic side view of the device according to 1 with a schematically indicated laser beam;

4 eine 1 entsprechende schematische Seitenansicht auf eine Vorrichtung gemäß dem Stand der Technik; 4 a 1 corresponding schematic side view of a device according to the prior art;

5 eine schematische Seitenansicht einer zweiten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung; 5 a schematic side view of a second embodiment of a device according to the invention;

6 eine Draufsicht auf die Vorrichtung gemäß 5. 6 a plan view of the device according to 5 ,

Zur Verdeutlichung ist in einigen der Figuren ein kartesisches Koordinatensystem eingezeichnet. Weiterhin sind in den Figuren gleiche oder funktional gleiche Teile mit gleichen Bezugszeichen versehen.For clarity, a Cartesian coordinate system is shown in some of the figures. Furthermore, identical or functionally identical parts are provided with the same reference numerals in the figures.

Die aus 1 und 2 ersichtliche Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung umfasst einen Wellenleiter 1, der ein transparentes Substrat 2 und eine Mehrzahl von dünnen, flächigen Elektroden 3, 4, 5 aufweist. Die Elektroden 3, 4, 5 können entweder direkt auf das Substrat 2 aufgebracht sein oder aber von diesem jeweils durch eine oder mehrere geeignete Zwischenschichten getrennt sein.From 1 and 2 apparent embodiment of a device according to the invention comprises a waveguide 1 that is a transparent substrate 2 and a plurality of thin, flat electrodes 3 . 4 . 5 having. The electrodes 3 . 4 . 5 can either be directly on the substrate 2 be applied or separated from this in each case by one or more suitable intermediate layers.

Das Substrat ist quaderförmig und weist in einer ersten Richtung Z eine Ausdehnung L, in einer zweiten Richtung X eine Ausdehnung B und in einer dritten Richtung Y eine Ausdehnung D auf. Dabei ist die Ausdehnung B in der zweiten Richtung X deutlich größer, beispielsweise 5 bis 10 mal so groß wie die Ausdehnung D in der dritten Richtung Y.The substrate is parallelepiped-shaped and has an extension L in a first direction Z, an extension B in a second direction X and an extension D in a third direction Y. In this case, the extent B in the second direction X is significantly greater, for example 5 to 10 times as large as the extent D in the third direction Y.

Auf der in 1 und 2 unteren Seite des Substrats 2 ist eine, die untere Seite insbesondere vollflächig abdeckende, Elektrode 3 angeordnet, die mit einem ersten Potential verbunden ist. Das erste Potential kann mit der Erde verbunden sein, wie dies in 1 schematisch angedeutet ist.On the in 1 and 2 lower side of the substrate 2 is one, the lower side in particular over the entire surface covering, electrode 3 arranged, which is connected to a first potential. The first potential can be connected to the earth, as in 1 is indicated schematically.

Auf der in 1 und 2 oberen Seite des Substrats 2 sind zwei Elektroden 4, 5 mit dreieckigem Umriss angeordnet. Dabei sind die Dreiecke der Elektroden um 180° versetzt zueinander, so dass die Spitze des einen Dreiecks mit der Grundfläche des anderen Dreiecks bündig abschließt und umgekehrt. Die beiden Elektroden sind nur schematisch dargestellt und können sich bis auf einen schmalen Schlitz zwischen ihnen dabei zusammen über fast die gesamte obere Seite des Substrats 2 erstrecken.On the in 1 and 2 upper side of the substrate 2 are two electrodes 4 . 5 arranged with triangular outline. The triangles of the electrodes are offset by 180 ° to each other, so that the tip of one triangle is flush with the base of the other triangle and vice versa. The two electrodes are shown only schematically and, apart from a narrow slit between them, can together over almost the entire upper side of the substrate 2 extend.

Die erste Elektrode 4 der beiden Elektroden ist mit einem zweiten Potential verbunden, wobei zwischen dem zweiten Potential und dem ersten Potential eine Spannung +V anliegen kann. Die zweite Elektrode 5 der beiden Elektroden ist mit einem dritten Potential verbunden, wobei zwischen dem dritten Potential und dem ersten Potential eine Spannung –V anliegen kann. Insbesondere können die Absolutwerte der Spannungen +V und –V gleich groß sein.The first electrode 4 the two electrodes is connected to a second potential, wherein a voltage + V can be present between the second potential and the first potential. The second electrode 5 the two electrodes is connected to a third potential, wherein between the third potential and the first potential, a voltage -V can be applied. In particular, the absolute values of the voltages + V and -V can be equal.

Die Geometrie der Elektroden 3, 4, 5 und die Geometrie des Substrats 2 sowie die Spannung +V, –V sind so gewählt, dass eine in die Eintrittsfläche 6 eintretende Laserstrahlung bei angelegter Spannung in X-Richtung abgelenkt wird.The geometry of the electrodes 3 . 4 . 5 and the geometry of the substrate 2 as well as the voltage + V, -V are chosen so that one in the entrance surface 6 entering laser radiation is deflected at applied voltage in the X direction.

Auf seiner in 1 und 2 linken Seite weist das Substrat 2 eine Eintrittsfläche 6 auf, in die die abzulenkende Laserstrahlung eintreten kann. Auf seiner in 1 und 2 rechten Seite weist das Substrat 2 eine Austrittsfläche 7 auf, aus der die abzulenkende Laserstrahlung austreten kann. Die Eintritts- und die Austrittsfläche 6, 7 erstrecken sich jeweils in einer X-Y-Ebene und sind in Z-Richtung durch eine Strecke voneinander beabstandet, die der Ausdehnung L des Substrats 2 in Z-Richtung entspricht.On his in 1 and 2 left side shows the substrate 2 an entrance area 6 into which the laser radiation to be deflected can enter. On his in 1 and 2 right side shows the substrate 2 an exit surface 7 on, from which the laser radiation to be deflected can escape. The entrance and exit surfaces 6 . 7 each extend in an XY plane and are spaced apart in the Z direction by a distance, that of the extension L of the substrate 2 in the Z direction.

Diese Ausdehnung L beziehungsweise dieser Abstand der Eintrittsfläche 6 von der Austrittsfläche 7 ist gleich der Talbotlänge LT für die abzulenkende Laserstrahlung. Es ist also L = LT. Für die Talbotlänge (LT) gilt: LT = 8nD2/λ0 wobei n der Brechungsindex des Wellenleiters 1 beziehungsweise des Substrats 2 des Wellenleiters 1, D die Ausdehnung des Wellenleiters 1 beziehungsweise des Substrats 2 des Wellenleiters 1 in der Y-Richtung und λ0 die Vakuum-Wellenlänge der abzulenkenden Laserstrahlung ist.This extension L or this distance of the entrance surface 6 from the exit surface 7 is equal to the Talbot length L T for the laser radiation to be deflected. It is therefore L = L T. For the Talbot length (L T ) applies: L T = 8nD 2 / λ 0 where n is the refractive index of the waveguide 1 or the substrate 2 of the waveguide 1 , D the extension of the waveguide 1 or the substrate 2 of the waveguide 1 in the Y direction and λ 0 is the vacuum wavelength of the laser radiation to be deflected.

Alternativ dazu kann die Ausdehnung L beziehungsweise der Abstand der Eintrittsfläche 6 von der Austrittsfläche 7 gleich einem ganzzahligen Vielfachen der Talbotlänge LT sein. Alternativ dazu kann die Ausdehnung L beziehungsweise der Abstand der Eintrittsfläche 6 von der Austrittsfläche 7 gleich Hälfte der Talbotlänge LT oder einem ungradzahligen Vielfachen der Hälfte der Talbotlänge LT sein.Alternatively, the extent L or the distance of the entrance surface 6 from the exit surface 7 equal to an integer multiple of the Talbot length L T. Alternatively, the extent L or the distance of the entrance surface 6 from the exit surface 7 equal to half the Talbot length L T, or an odd-numbered multiple of half the Talbot length L T.

Durch die genannte Wahl der Ausdehnung L beziehungsweise des Abstandes der Eintrittsfläche 6 von der Austrittsfläche 7 relativ zur Talbotlänge LT kann erreicht werden, dass die durch das Substrat 2 hindurchtretende Laserstrahlung ihr Profil beibehält.By said choice of the extent L or the distance of the entrance surface 6 from the exit surface 7 relative to the Talbot length L T can be achieved that through the substrate 2 passing laser radiation maintains its profile.

Dies ist in 3 veranschaulicht. Dort tritt eine Laserstrahlung 8 schräg von unten in die Eintrittsfläche 6 ein und schräg nach oben aus der Austrittsfläche 7 aus. Sie verändert also hinsichtlich der Y-Richtung nicht ihre ursprüngliche Ausbreitungsrichtung, sondern wird lediglich durch die Anlegung entsprechender Spannungen +V und –V hinsichtlich der X-Richtung abgelenkt. This is in 3 illustrated. There occurs a laser radiation 8th diagonally from below into the entrance area 6 one and obliquely upward from the exit surface 7 out. Thus, it does not change its original propagation direction with respect to the Y-direction, but is deflected only by the application of corresponding voltages + V and -V with respect to the X-direction.

Dagegen zeigt 4 den Hindurchtritt einer vergleichbaren Laserstrahlung 8 durch einen Wellenleiter 1' gemäß dem Stand der Technik. Dabei diesem die Ausdehnung L' in Z-Richtung weder der Talbotlänge LT, noch einem ganzzahligen Vielfachen der Talbotlänge LT, noch der Hälfte der Talbotlänge LT, noch einem ungradzahligen Vielfachen der Hälfte der Talbotlänge LT entspricht, behält die Laserstrahlung 8 ihr Profil nicht bei und läuft nach dem Austritt aus der Austrittsfläche 7' in Y-Richtung auseinander. Dies wird in 4 durch die sich in zwei Richtungen ausbreitende Laserstrahlung 8' und 8'' angedeutet.On the other hand shows 4 the passage of a comparable laser radiation 8th through a waveguide 1' according to the prior art. In this case, the extension L 'in the Z direction neither the Talbot length L T , nor an integral multiple of the Talbot length L T , nor half of the Talbot length L T , nor an odd number of times the half Talbotlänge L T corresponds, the laser radiation reserves 8th her profile does not and runs after exiting the exit surface 7 ' apart in the Y direction. This will be in 4 by the laser radiation propagating in two directions 8th' and 8th'' indicated.

Aufgrund der profilerhaltenden Wirkung der Abstimmung der Ausdehnung L mit der Talbotlänge LT können zwei erfindungsgemäß gestaltete Wellenleiter 1, 10 in Z-Richtung hintereinander angeordnet werden. Dies ist in den 5 und 6 abgebildet.Because of the profile-preserving effect of the tuning of the extent L with the Talbot length L T , two waveguides designed according to the invention can be used 1 . 10 be arranged in the Z direction one behind the other. This is in the 5 and 6 displayed.

Von dem ersten Wellenleiter 1 wird die Laserstrahlung in positiver X-Richtung abgelenkt, ohne dass dabei eine Aufweitung der Laserstrahlung 8 stattfindet. Weiterhin findet auch keine Beeinflussung der Laserstrahlung 8 in Y-Richtung statt.From the first waveguide 1 The laser radiation is deflected in the positive X direction, without causing a widening of the laser radiation 8th takes place. Furthermore, there is no influence on the laser radiation 8th in the Y direction.

Von dem zweiten Wellenleiter 10 wird die Laserstrahlung in positiver Y-Richtung abgelenkt, ohne dass dabei eine Aufweitung der Laserstrahlung 8 stattfindet. Weiterhin findet auch keine Beeinflussung der Laserstrahlung 8 in X-Richtung statt.From the second waveguide 10 The laser radiation is deflected in the positive Y direction, without causing a widening of the laser radiation 8th takes place. Furthermore, there is no influence on the laser radiation 8th in the X direction.

Nach Hindurchtritt durch die beiden Wellenleiter 1, 10 ist die Laserstrahlung 8 sowohl in X- als auch in Y-Richtung abgelenkt, ohne dass sich das Profil der, Laserstrahlung geändert hat.After passing through the two waveguides 1 . 10 is the laser radiation 8th deflected in both the X and Y directions without the profile of the laser radiation having changed.

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • US 6449084 B1 [0003] US 6449084 B1 [0003]

Claims (10)

Vorrichtung zur Ablenkung von Laserstrahlung (8), umfassend – mindestens einen Wellenleiter (1, 10) mit einer Eintrittsfläche (6) und einer Austrittsfläche (7) für die Laserstrahlung (8), wobei die Eintrittsfläche (6) und die Austrittsfläche (7) in einer ersten Richtung (Z) einen Abstand (L) zueinander aufweisen, wobei der Wellenleiter (1, 10) in einer zweiten, zu der ersten senkrechten Richtung (X) eine größere Ausdehnung als in einer dritten, zu der ersten und zu der zweiten senkrechten Richtung (Y) aufweist; – mindestens zwei Elektroden (3, 4, 5), die an dem oder in der Nähe des mindestens einen Wellenleiters (1, 10) angeordnet sind, wobei an die mindestens zwei Elektroden (3, 4, 5) eine Ablenkspannung (+V, –V) angelegt werden kann, so dass die Laserstrahlung (8) in dem mindestens einen Wellenleiter (1, 10) und/oder bei dem Austritt aus dem mindestens einen Wellenleiter (1, 10) elektrooptisch zumindest hinsichtlich der zweiten Richtung (X) abgelenkt wird, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand (L) zwischen der Eintrittsfläche (6) und der Austrittsfläche (7) des mindestens einen Wellenleiters (1, 10) in der ersten Richtung (Z) eine derartige Größe aufweist, dass das Profil der Laserstrahlung (8) nach dem Austritt aus der Austrittsfläche (7) dem Profil der Laserstrahlung (8) vor dem Eintritt in die Eintrittsfläche (6) entspricht.Device for deflecting laser radiation ( 8th ), comprising - at least one waveguide ( 1 . 10 ) with an entrance surface ( 6 ) and an exit surface ( 7 ) for the laser radiation ( 8th ), wherein the entrance surface ( 6 ) and the exit surface ( 7 ) in a first direction (Z) have a distance (L) from each other, wherein the waveguide ( 1 . 10 ) in a second, to the first vertical direction (X) has a greater extent than in a third, to the first and to the second vertical direction (Y); At least two electrodes ( 3 . 4 . 5 ) at or near the at least one waveguide ( 1 . 10 ) are arranged, wherein the at least two electrodes ( 3 . 4 . 5 ) a deflection voltage (+ V, -V) can be applied so that the laser radiation ( 8th ) in the at least one waveguide ( 1 . 10 ) and / or at the exit from the at least one waveguide ( 1 . 10 ) is electro-optically deflected at least with regard to the second direction (X), characterized in that the distance (L) between the entrance surface (X) 6 ) and the exit surface ( 7 ) of the at least one waveguide ( 1 . 10 ) in the first direction (Z) has a size such that the profile of the laser radiation ( 8th ) after exiting the exit surface ( 7 ) the profile of the laser radiation ( 8th ) before entering the entrance surface ( 6 ) corresponds. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand (L) zwischen der Eintrittsfläche (6) und der Austrittsfläche (7) des mindestens einen Wellenleiters (1, 10) in der ersten Richtung (Z) der Talbotlänge (LT) oder einem ganzzahligen Vielfachen der Talbotlänge (LT) für Licht mit der Wellenlänge (λ0) der abzulenkenden Laserstrahlung (8) entspricht.Apparatus according to claim 1, characterized in that the distance (L) between the entrance surface ( 6 ) and the exit surface ( 7 ) of the at least one waveguide ( 1 . 10 ) in the first direction (Z) of the Talbot length (L T ) or an integer multiple of the Talbot length (L T ) for light with the wavelength (λ 0 ) of the laser radiation to be deflected ( 8th ) corresponds. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand (L) zwischen der Eintrittsfläche (6) und der Austrittsfläche (7) des mindestens einen Wellenleiters (1, 10) in der ersten Richtung (Z) der Hälfte der Talbotlänge (LT) oder einem ungradzahligen Vielfachen der Hälfte der Talbotlänge (LT) für Licht mit der Wellenlänge (λ0) der abzulenkenden Laserstrahlung (8) entspricht.Apparatus according to claim 1, characterized in that the distance (L) between the entrance surface ( 6 ) and the exit surface ( 7 ) of the at least one waveguide ( 1 . 10 ) in the first direction (Z) of half of the Talbot length (L T ) or an odd number of times half of the Talbot length (L T ) for light having the wavelength (λ 0 ) of the laser radiation to be deflected ( 8th ) corresponds. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass für die Talbotlänge (LT) gilt: LT = 8nD/λ0 – wobei n der Brechungsindex des mindestens einen Wellenleiters (1, 10), – D die Ausdehnung des mindestens einen Wellenleiters (1, 10) in der dritten Richtung (Y) und – λ0 die Vakuum-Wellenlänge der abzulenkenden Laserstrahlung (8) ist.Device according to one of claims 2 or 3, characterized in that for the Talbot length (L T ) applies: L T = 8nD / λ 0 Where n is the refractive index of the at least one waveguide ( 1 . 10 ), D is the extent of the at least one waveguide ( 1 . 10 ) in the third direction (Y) and - λ 0, the vacuum wavelength of the laser radiation to be deflected ( 8th ). Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Ausdehnung (B) des mindestens einen Wellenleiters (1, 10) in der zweiten Richtung (X) mehr als doppelt so groß, vorzugsweise mehr als fünf mal so groß wie die Ausdehnung (D) in der dritten Richtung (Y) ist.Device according to one of claims 1 to 4, characterized in that the extension (B) of the at least one waveguide ( 1 . 10 ) in the second direction (X) is more than twice as large, preferably more than five times as large as the dimension (D) in the third direction (Y). Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass auf zwei Flächen des mindestens einen Wellenleiters (1, 10), die in der dritten Richtung (Y) einander gegenüberliegen jeweils mindestens eine Elektrode (3, 4, 5) mittelbar oder unmittelbar angeordnet ist.Device according to one of claims 1 to 5, characterized in that on two surfaces of the at least one waveguide ( 1 . 10 ) facing each other in the third direction (Y) at least one electrode ( 3 . 4 . 5 ) is arranged directly or indirectly. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass auf einer der beiden in der dritten Richtung (Y) einander gegenüberliegen Flächen zwei voneinander separierte Elektroden (4, 5) angeordnet sind.Apparatus according to claim 6, characterized in that on one of the two in the third direction (Y) facing each other surfaces two separate electrodes ( 4 . 5 ) are arranged. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung zwei Wellenleiter (1, 10) umfasst, die derart hintereinander angeordnet sind, dass die abzulenkende Laserstrahlung (8) nacheinander durch die beiden Wellenleiter (1, 10) hindurchtreten kann.Device according to one of claims 1 to 7, characterized in that the device comprises two waveguides ( 1 . 10 ), which are arranged one behind the other such that the laser radiation to be deflected ( 8th ) successively through the two waveguides ( 1 . 10 ) can pass through. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Wellenleiter (1, 10) in der ersten Richtung (Z) um 90° zueinander verdreht sind, so dass die Vorrichtung die Laserstrahlung (8) in zwei zueinander senkrechten Richtungen (X, Y) ablenken kann.Device according to claim 8, characterized in that the two waveguides ( 1 . 10 ) in the first direction (Z) are rotated by 90 ° to each other, so that the device, the laser radiation ( 8th ) can deflect in two mutually perpendicular directions (X, Y). Laservorrichtung, umfassend – eine Laserlichtquelle, die Laserstrahlung (8) mit einer Wellenlänge (λ0) aussenden kann, – eine Vorrichtung zur Ablenkung der Laserstrahlung (8), dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung zur Ablenkung der Laserstrahlung (8) eine Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9 ist.Laser apparatus, comprising - a laser light source, the laser radiation ( 8th ) with a wavelength (λ 0 ), - a device for deflecting the laser radiation ( 8th ), characterized in that the device for deflecting the laser radiation ( 8th ) is a device according to one of claims 1 to 9.
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