DE102010054931B4 - Rotor surface with signal generator structure and manufacturing method for same and sensor system for determining the position of a rotor - Google Patents
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Abstract
Verfahren zur Herstellung einer Signalgeberstruktur (2)
auf einer Oberfläche eines Rotors (1),
wobei die Signalgeberstruktur (2) ein elektrisch leitfähiges Material aufweist, dessen elektrische Leitfähigkeit sich von einer elektrischen Leitfähigkeit des Rotormaterials unterscheidet, und
wobei die Signalgeberstruktur (2) eine sich in Bewegungsrichtung ändernde Breite aufweist,
wobei das Aufbringen der Signalgeberstruktur (2) mittels thermischem Spritzen erfolgt
dadurch gekennzeichnet, dass vor dem Ausführen des thermischen Spritzens eine Aktivierung zumindest eines für die Signalgeberstruktur (2) vorgesehenen Bereichs der Oberfläche des Rotors (1) durch mechanisches Aufrauen unter Schaffung von Hinterschnitten ausgeführt wird.Method for producing a signal generator structure (2)
on a surface of a rotor (1),
wherein the signal generator structure (2) comprises an electrically conductive material whose electrical conductivity differs from an electrical conductivity of the rotor material, and
wherein the signal generator structure (2) has a width that changes in the direction of movement,
wherein the application of the signal generator structure (2) takes place by means of thermal spraying
characterized in that prior to the execution of the thermal spraying, an activation of at least one area of the surface of the rotor (1) intended for the signal generator structure (2) is carried out by mechanical roughening to create undercuts.
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Signalgeberstruktur auf einer Rotoroberfläche, den Rotor mit der auf der Oberfläche aufgebrachten Signalgeberstruktur und ein Sensorsystem zur Lagebestimmung für einen Rotor. Ein gattungsgemäßes Verfahren zur Herstellung einer Signalgeberstruktur auf einer Rotoroberfläche ist z. B. aus der
Um einen Rotor, beziehungsweise eine rotierende Maschine zu regeln, ist es erforderlich, die Drehzahl des Rotors zu messen. Die Genauigkeit bei der Regelung des Motors hängt folglich von der Drehzahlmessung ab, die auf verschiedene Weise ermittelt werden kann. Es ist bekannt, eine mit einem Sensor zusammenwirkende Sensorspur auf einen Rotorträger aufzubringen, so dass der Sensor die Drehzahl ermitteln kann. Je höher die Qualität der Sensorspur ist, desto aufwändiger und teuerer ist bis dato das Verfahren zur Herstellung eines solchen Sensorsystems.To control a rotor or a rotating machine, it is necessary to measure the speed of the rotor. The accuracy of the control of the motor thus depends on the speed measurement, which can be determined in various ways. It is known to apply a cooperating with a sensor sensor track on a rotor carrier, so that the sensor can determine the speed. The higher the quality of the sensor track, the more complex and expensive to date the method for producing such a sensor system.
Bekannte Sensorsysteme verwenden Sensorspuren, die durch kinetisches Spritzen, also Kaltgasspritzen, auf den Rotor aufgebracht werden. Die Sensorgeometrie wird dort mit Hilfe einer Maskierung der Kaltgasspritzschicht erhalten. Um die Oberfläche des Rotors der Spritzschicht durch Kaltgasspritzen vorzubereiten, werden üblicherweise die Rotoroberflächenpartien, die beschichtet werden sollen, mittels Korundstrahlen aktiviert, um die Hafteigenschaften der Oberfläche zu verbessern. Dabei werden Korundpartikel auf der Oberfläche hinterlassen, die als verunreinigende Partikel im Prozess verschleppt werden können.Known sensor systems use sensor tracks, which are applied to the rotor by kinetic spraying, ie cold gas spraying. The sensor geometry is obtained there by means of a masking of the cold gas spray coating. In order to prepare the surface of the rotor of the sprayed layer by cold gas spraying, usually the rotor surface areas to be coated are activated by corundum blasting to improve the adhesive properties of the surface. This corundum particles are left on the surface, which can be carried off as contaminating particles in the process.
Ferner ist das kinetische Spritzen ein sehr teures Verfahren, da große Gasmengen erforderlich sind und da der Beschichtungswerkstoff (Pulver in einer ganz bestimmten Korngröße) teuer ist. Schließlich ist der zur Druckerzeugung und zur Erwärmung der Prozessgase notwendige Energieeintrag sehr hoch und insofern ebenfalls mit Kosten verbunden, die das kinetische Spritzen großserientechnisch nicht als geeignet erscheinen lassen.Furthermore, kinetic spraying is a very expensive process, since large amounts of gas are required and because the coating material (powder in a very specific grain size) is expensive. Finally, the energy input necessary to generate pressure and to heat the process gases is very high and, to that extent, also entails costs which make kinetic spraying not suitable for large-scale production.
Die vorgenannte Sensorspur dient daher in Zusammenwirkung mit dem Sensor als Lagegeber. Ein weiterer Lagegeber und ein zugehöriges Verfahren zum Erfassen einer Position eines Läufers einer Maschine ist aus der
Ausgehend von diesem Stand der Technik ergibt sich die Aufgabe, ein Herstellungsverfahren für eine Signalgeberstruktur zu schaffen, das zur Großserienfertigung geeignet ist.Based on this prior art, the object is to provide a manufacturing method for a signal generator structure, which is suitable for mass production.
Diese Aufgabe wird durch das Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.This object is achieved by the method having the features of
Weiter ergibt sich die Aufgabe, Rotoren zu schaffen, die verbesserte Signalgeberstrukturen aufweisen. Der Rotor mit den Merkmalen des Anspruchs 6 löst diese Aufgabe.Another object is to provide rotors having improved signal generator structures. The rotor with the features of claim 6 solves this problem.
Schließlich ergibt sich die Aufgabe der Bereitstellung eines verbesserten Sensorsystems zur Lagebestimmung für Rotoren.Finally, the object of providing an improved sensor system for determining the position of rotors.
Diese Aufgabe wird durch das Sensorsystem mit den Merkmalen des Anspruchs 10 gelöst.This object is achieved by the sensor system having the features of claim 10.
Weiterbildungen des Verfahrens und der Vorrichtungen werden in den jeweiligen Unteransprüchen ausgeführt.Further developments of the method and the devices are carried out in the respective subclaims.
Erfindungsgemäß wird ein Verfahren zur Herstellung einer Signalgeberstruktur auf einer Rotoroberfläche bereitgestellt. Die Signalgeberstruktur soll dabei ein elektrisch leitfähiges Material aufweisen, dessen elektrische Leitfähigkeit sich von der elektrischen Leitfähigkeit des Rotormaterials unterscheidet, also größer oder kleiner ist, um als Signalgeber in Zusammenwirkung mit einem Lagesensor dienen zu können. Zu diesem Zweck weist die Signalgeberstruktur auf bekannte Weise eine sich in Bewegungsrichtung ändernde Breite auf. Das erfindungsgemäße Verfahren sieht nunmehr das Aufbringen der Signalgeberstruktur mittels thermischem Spritzen vor. Dadurch wird vorteilhaft erreicht, dass auf kostengünstige Weise eine hochgenaue Sensorspur geschaffen werden kann, die direkt auf das rotierende Teil gebracht wird. Dies erfolgt in einer weiteren Ausführungsform vorteilhaft mittels Lichtbogendrahtspritzen. Zur Lageerkennung kann nun ein hochsensibler Sensor verwendet werden. Grundsätzlich kann die durch Lichtbogendrahtspritzen erzeugte Sensorspur auf allen möglichen Grundwerkstoffen (z. B. eisenhaltiges Material, insbesondere aus Stahl- oder Eisenguss; Aluminium, etc.) aufgebracht werden.According to the invention, a method is provided for producing a signal generator structure on a rotor surface. In this case, the signal generator structure should have an electrically conductive material whose electrical conductivity differs from the electrical conductivity of the rotor material, that is to say is greater or smaller in order to be able to serve as a signal generator in cooperation with a position sensor. For this purpose, the signal generator structure has, in a known manner, a width which changes in the direction of movement. The inventive method now provides for the application of the signal generator structure by means of thermal spraying. This advantageously achieves that a highly accurate sensor track can be created in a cost-effective manner, directly to the rotating Part is brought. This is done in a further embodiment advantageously by means of arc wire spraying. To detect the position, a highly sensitive sensor can now be used. In principle, the sensor track generated by arc wire spraying can be applied to all possible base materials (eg iron-containing material, in particular of steel or cast iron, aluminum, etc.).
Erfindungsgemäß wird vor dem Ausführen des thermischen Spritzens die Oberfläche des Rotors zumindest in den Bereichen, auf die die Signalgeberspur thermisch gespritzt werden soll, durch mechanisches Aufrauen aktiviert. Aus z. B. der
Derartige Querschnittsprofile können etwa erreicht werden, indem ein spanabhebender Drehbearbeitungsprozess unter Verwendung eines Schneidwerkzeugs eingesetzt wird, das Vertiefungen in der Oberfläche erzeugt. Dem Schneidwerkzeug kann unmittelbar ein Umformwerkzeug nachgeführt werden, das die Oberflächenstrukturen, die die Vertiefungen begrenzen, umformt und dabei eine hinterschnittene Vertiefungslinie mit der gewünschten Querschnittprofilgestaltung bereitstellt. Durch den Schneidvorgang, bei dem zunächst die Vertiefungen in die Rotoroberfläche eingebracht werden, bilden sich direkt neben den Vertiefungen Mikrostrukturen wie Vorsprünge, Rillen, Ausstülpungen oder Ausbuchtungen. Diese werden durch den sich unmittelbar an diesen Schneidvorgang anschließenden Umformschritt derart verformend oder brechend nachbearbeitet, dass sich Hinterschnitte in Bezug zu der Rotoroberfläche ausbilden; die Vertiefung sich also in Richtung ihrer Basis von der Oberfläche her kommend aufweitet.Such cross-sectional profiles can be achieved, for example, by using a cutting turning process using a cutting tool which produces recesses in the surface. The cutting tool can be tracked directly a forming tool, which transforms the surface structures that define the recesses, while providing an undercut recess line with the desired cross-sectional profile design. By means of the cutting process, in which the depressions are first introduced into the rotor surface, microstructures such as projections, grooves, protuberances or bulges are formed directly next to the depressions. These are reworked in such a deforming or refractive manner by the forming step immediately following this cutting process such that undercuts are formed with respect to the rotor surface; the depression thus widens in the direction of its base coming from the surface.
Durch ein solches mechanisches Aufrauverfahren der Rotoroberfläche ist das Einbringen definierter Oberflächenstrukturen anders als bei den Korund- oder Hochdruckwasserstrahlverfahren möglich. Zudem ist das mechanische Aufrauen gegenüber diesen Strahlverfahren kostengünstiger und platzsparender, während zugleich Bauteilverschmutzungen beziehungsweise Feststoffeinlagerungen durch Korundpartikel vermieden werden. Zudem kann dieser Drehbearbeitungsprozess in einen bestehenden Drehbearbeitungsprozess integriert werden und beispielsweise an der gleichen Maschine wie ein zuvor stattfindendes Feindrehen der Rotoroberfläche durchgeführt werden, wobei lediglich das Bearbeitungswerkzeug ausgetauscht werden muss.By such a mechanical Aufrauverfahren the rotor surface, the introduction of defined surface structures unlike the corundum or high-pressure water jet method is possible. In addition, the mechanical roughening compared to this blasting process is cheaper and more space-saving, while at the same time component contamination or solid deposits are prevented by corundum particles. In addition, this turning process can be integrated into an existing turning process and, for example, carried out on the same machine as a previous fine turning the rotor surface, with only the machining tool must be replaced.
Auf die mittels der definierten Oberflächenstrukturen aktivierte Rotoroberfläche wird dann die thermische gespritzte Signalgeberstruktur aufgebracht, die sich durch die Hinterschnitte mit dem Rotor mechanisch verklammert und hervorragend haftet.On the activated by means of the defined surface structures rotor surface then the thermal sprayed signal generator structure is applied, which mechanically clamped by the undercuts with the rotor and excellent adhesion.
Das Lichtbogendrahtspritzen kann mit einem Aluminiumdraht ausgeführt werden. Zwar sind andere Materialien wie beispielsweise Messing, Bronze oder Kupfer ebenfalls denkbar, jedoch ist Aluminium eine kostengünstige Lösung, die zudem den Vorteil eines optimalen Signalhubs bei Verwendung der Signalgeberstruktur als Sensorspur (insbesondere auf einem Grundkörper auf Eisenbasis) aufweist. Hierbei werden insbesondere Aluminiumdrähte bevorzugt, die einen Aluminiumgehalt von 99,0 bis 99,9%, bevorzugt von 99,5% Aluminium aufweisen. Als eine geeignete Drahtvorschubgeschwindigkeit hat sich eine Geschwindigkeit im Bereich von 5,5 bis 8,0 m/min erwiesen. Bevorzugt ist jedoch eine Drahtvorschubgeschwindigkeit von 6,0 bis 7,0 m/min, wie beispielsweise eine Drahtvorschubgeschwindigkeit von 6,3 m/min. Generell ist das Lichtbogendrahtspritzen ein sehr stabiles Verfahren im Vergleich zu anderen thermischen Spritzverfahren und ermöglicht daher ein großes Prozessfenster mit relativ hohen Schwankungsbreiten der genannten Verfahrensparameter.The arc wire spraying can be carried out with an aluminum wire. Although other materials such as brass, bronze or copper are also conceivable, however, aluminum is a cost-effective solution, which also has the advantage of an optimal signal lift when using the signal generator structure as a sensor track (especially on an iron-based body). In this case, in particular aluminum wires are preferred which have an aluminum content of 99.0 to 99.9%, preferably 99.5% aluminum. As a suitable wire feed speed, a speed in the range of 5.5 to 8.0 m / min has been found. However, a wire feed speed of 6.0 to 7.0 m / min is preferable, such as a wire feed speed of 6.3 m / min. In general, the arc wire spraying is a very stable process compared to other thermal spraying process and therefore allows a large process window with relatively high fluctuation margins of said process parameters.
Das Lichtbogendrahtspritzen erfolgt vorteilhaft unter Verwendung von Stickstoff als Zerstäubergas. Im Zusammenhang mit den vorgenannten Verfahrensparametern wird bevorzugt, dass der Stickstoff mit einer Zuführrate von 1.200 l/min zugeführt wird. Noch stärker bevorzugt ist, dass der Stickstoff mit der vorgenannten Zuführrate mit einem Druck von 5 bar zugeführt wird.The arc wire spraying is advantageously carried out using nitrogen as Zerstäubergas. In connection with the aforementioned process parameters it is preferred that the nitrogen is supplied at a feed rate of 1200 l / min. Even more preferred is that the nitrogen is supplied at the aforementioned feed rate at a pressure of 5 bar.
Die zur Erzeugung des Lichtbogens notwendige Spannung kann im Bereich von 25 bis 30 Volt, bevorzugt von 26 bis 28 Volt liegen. Als besonders geeignet hat sich mit den vorgenannten Verfahrensparametern eine Spannung von 27,5 Volt erwiesen.The voltage required to generate the arc can be in the range of 25 to 30 volts, preferably 26 to 28 volts. Particularly suitable has been found with the aforementioned process parameters, a voltage of 27.5 volts.
Vorteilhaft wird ferner vor dem Schritt des thermischen Spritzens eine Maskierung aufgebracht. Die Maskierung stellt sicher, dass die thermische Spritzschicht bezüglich ihrer Form hochpräzise aufgebracht werden kann. So kann die Sensorspur mit sehr hohem Auftragswirkungsgrad durch den vorgenannten Aluminiumdraht oder auch durch einen anderen geeigneten Ausgangsdrahtwerkstoff, der aus Kupfer, einer Kupferlegierung oder auch einer Aluminiumlegierung bestehen kann, schnell auf den Rotor aufgebracht werden. Durch die Maskierung, die die Geometrie der Signalgeberstruktur darstellt, kann die Sensorspur direkt in der richtigen Form und Beschichtungsdicke aufgebracht werden; dies kann axial als auch radial erfolgen.Advantageously, a masking is also applied before the step of thermal spraying. The masking ensures that the thermal sprayed layer can be applied with high precision in terms of its shape. Thus, the sensor track with a very high order efficiency by the aforementioned aluminum wire or by a other suitable starting wire material, which may consist of copper, a copper alloy or an aluminum alloy, are applied quickly to the rotor. The masking, which represents the geometry of the transducer structure, allows the sensor track to be applied directly in the correct shape and coating thickness; this can be done axially as well as radially.
Vorteilhaft kann die Maskierung aus einem Material bestehen, das lösbar auf der Rotoroberfläche positioniert werden kann, so dass die Maskierung nach erfolgtem Lichtbogendrahtspritzen abgenommen werden kann, um einer weiteren Verwendung zugeführt zu werden. Selbstverständlich kann es erforderlich sein, die Maskierung beziehungsweise die Maske hierzu zu reinigen. Die Maskierung der Oberfläche wird so vorgesehen, dass die für die Signalgeberstruktur vorgesehenen Stellen von der Maskierung frei bleiben.Advantageously, the masking may consist of a material which can be detachably positioned on the rotor surface, so that the masking can be removed after successful arc wire spraying in order to be supplied for further use. Of course, it may be necessary to clean the mask or the mask for this purpose. The masking of the surface is provided in such a way that the points provided for the signal generator structure remain free of the masking.
Es kann, insbesondere wenn keine Maskierung verwendet wird, erforderlich sein, nach dem Schritt des thermischen Spritzens einen mechanischen Nachbearbeitungsschritt vorzusehen, um die Schichtdicke in der Signalgeberstruktur zu egalisieren oder um die Form der Signalgeberstruktur zu perfektionieren.In particular, when no masking is used, it may be necessary to provide a mechanical post-processing step after the step of thermal spraying in order to equalize the layer thickness in the switch structure or to perfect the shape of the switch structure.
So kann erfindungsgemäß ein Rotor mit einer Oberfläche geschaffen werden, die eine Signalgeberstruktur aus einem elektrisch leitfähigen Material aufweist, dessen Leitfähigkeit sich von der Leitfähigkeit des Rotormaterials unterscheidet. Die auf dem Rotor vorgesehene Signalgeberstruktur hat eine in Bewegungsrichtung sich ändernde Breite und ist erfindungsgemäß eine thermische Spritzschicht. Die Signalgeberstruktur kann aus Kupfer oder Aluminium oder einem entsprechend kupferhaltigen oder aluminiumhaltigen Material bestehen, wobei die kupferhaltigen Materialien insbesondere Messing und Bronze einschließen. Der Rotor hingegen weist ein eisenhaltiges Material auf. Er kann aus einem Stahl- oder Eisengusswerkstoff bestehen. Die Oberfläche des Rotors zeigt erfindungsgemäß zumindest in dem zur Ausbildung der Signalgeberstruktur vorgesehenen Bereich eine Struktur mit aufgerautem Charakter, und zwar eine Struktur mit Hinterschnitten, beziehungsweise mit hinterschnittenen Vertiefungslinien, die besonders geeignet sind, da sie mit der thermischen Spritzschicht eine Verklammerung bereitstellen.Thus, according to the invention, a rotor having a surface can be created which has a signal generator structure of an electrically conductive material whose conductivity differs from the conductivity of the rotor material. The signal generator structure provided on the rotor has a width which changes in the direction of movement and, according to the invention, is a thermal spray coating. The signal generator structure may consist of copper or aluminum or a corresponding copper-containing or aluminum-containing material, wherein the copper-containing materials in particular include brass and bronze. The rotor, however, has an iron-containing material. It can consist of a steel or cast iron material. According to the invention, the surface of the rotor exhibits, at least in the area provided for forming the signal generator structure, a structure with roughened character, namely a structure with undercuts or with undercut indentation lines, which are particularly suitable because they provide a clamping with the thermal sprayed layer.
Vorteilhaft erweist sich die Verwendung einer thermischen Spritzschicht insbesondere deshalb, da diese eine Mikrostruktur, wie etwa eine lamellenartige Mikrostruktur haben kann, die der Sensorspur eine gute Festigkeit und Beständigkeit verleiht und auch für gute Umformeigenschaften der Sensorspur für eine eventuelle Nachbearbeitung sorgt.In particular, the use of a thermal sprayed coating proves advantageous because it may have a microstructure, such as a lamellar microstructure, which gives the sensor track good strength and durability and also ensures good forming properties of the sensor track for any post-processing.
Die Schichtdicke der Signalgeberstruktur ist über die gesamte Signalgeberstruktur gleich bleibend. Es wird vorgeschlagen, die Dicke mit einem Wert von 100 bis 400 μm, bevorzugt von 200 bis 350 µm, und am stärksten bevorzugt von 300 µm zu wählen. Es wurde festgestellt, dass der Signalhub beziehungsweise die Sensorempfindlichkeit sowohl bei 500 kHz als auch bei 1.000 kHz am höchsten ist, wenn die Schichtdicke der Signalgeberstruktur 300 µm beträgt, wenn die Signalgeberstruktur aus Aluminium beschaffen ist. Zwar wurde für Aluminium bei einer Schichtdicke von 100 µm eine weithingehend gute Sensorempfindlichkeit nachgewiesen, jedoch mit einer Einschränkung bei 140°C und 500 kHz. Wird Messing in einer Stärke von 300 µm verwendet, so zeigen sich über einen Temperaturbereich von –40 bis 140°C auch für Messing sowohl bei 500 kHz als auch bei 1.000 kHz noch gute Resultate, wohingegen sich 100 µm Schichtdicke für Messing als nicht ausreichend, beziehungsweise ungenügend erwiesen haben.The layer thickness of the signal generator structure is constant over the entire signal generator structure. It is proposed to choose the thickness with a value of 100 to 400 μm, preferably of 200 to 350 μm, and most preferably of 300 μm. It has been found that signal lift or sensor sensitivity is highest at both 500 kHz and 1000 kHz when the layer thickness of the transducer structure is 300 μm when the transducer structure is made of aluminum. Although for aluminum at a layer thickness of 100 microns a widely good sensor sensitivity was detected, but with a restriction at 140 ° C and 500 kHz. If brass is used with a thickness of 300 microns, then over a temperature range of -40 to 140 ° C for brass both at 500 kHz and at 1000 kHz still good results, whereas 100 microns layer thickness for brass is not sufficient, or have proved insufficient.
Ferner ist ein Sensorsystem zur Lagebestimmung für einen Rotor Gegenstand der vorliegenden Erfindung: Das Sensorsystem weist einen Lagesensor auf, der durch eine erfindungsgemäße Signalgeberstruktur, die auf der Oberfläche des Rotors angeordnet ist, Signale empfängt. Diese Signalgeberstruktur hat eine in Bewegungsrichtung sich ändernde Breite. Sie besteht aus einer aus elektrisch leitfähigem Material beschaffenen thermischen Spritzschicht und ist daher vorteilhaft großseriengeeignet, kostengünstig und hochpräzise aufbringbar, wobei darauf zu achten ist, dass das Material der Signalgeberstruktur eine Leitfähigkeit aufweist, die größer oder kleiner ist als die des Rotormaterials. Daher wird für die Signalgeberstruktur ein Kupfer oder Aluminium, ein kupfer- oder aluminiumhaltiges Material gewählt, während der Rotor aus eisenhaltigem Material bestehen soll. Erfindungsgemäß weist die Oberfläche des Rotors eine aufgeraute Struktur mit Hinterschnitten auf, die mit der thermischen Spritzschicht eine Verklammerung bereitstellt.Furthermore, a sensor system for determining the position of a rotor is the subject of the present invention: The sensor system has a position sensor, which receives signals by means of a signal generator structure according to the invention, which is arranged on the surface of the rotor. This signal generator structure has a width that changes in the direction of movement. It consists of a thermal sprayed layer made of electrically conductive material and is therefore advantageously suitable for mass production, cost-effective and highly precisely applied, it being important to ensure that the material of the signal generator structure has a conductivity which is greater or less than that of the rotor material. Therefore, a copper or aluminum, a copper or aluminum-containing material is selected for the signal generator structure, while the rotor is to consist of iron-containing material. According to the invention, the surface of the rotor has a roughened structure with undercuts, which provides a clamping with the thermal sprayed layer.
Die Signalsensibilität des Signalgebers, beziehungsweise der Signalgeberstruktur des erfindungsgemäßen Sensorsystems wird verfeinert, indem die Signalgeberstruktur eine Mikrostruktur, insbesondere eine lamellenartige Mikrostruktur aufweist. Die vorgeschlagene Schichtdicke der Signalgeberstruktur, die über die gesamte Signalgeberstruktur gleich ist, beträgt bevorzugt 300 µm. Mit einer derartigen Schichtdicke lässt sich vorteilhaft selbst im Temperaturbereich von –40 bis 140°C bei einer Frequenz von 500 kHz oder auch 1.000 kHz eine sehr gute Sensorempfindlichkeit erzielen.The signal sensitivity of the signal generator or of the signal generator structure of the sensor system according to the invention is refined by the signal generator structure having a microstructure, in particular a lamellar microstructure. The proposed layer thickness of the signal generator structure, which is the same over the entire signal generator structure, is preferably 300 μm. With such a layer thickness can be advantageously even in the temperature range of -40 to 140 ° C at a frequency of 500 kHz or 1000 kHz achieve a very good sensor sensitivity.
Diese und weitere Vorteile werden durch die nachfolgende Beschreibung unter Bezug auf die begleitenden Figuren dargelegt.These and other advantages are set forth by the following description with reference to the accompanying figures.
Der Bezug auf die Figuren in der Beschreibung dient der Unterstützung der Beschreibung und dem erleichterten Verständnis des Gegenstands. Gegenstände oder Teile von Gegenständen, die im Wesentlichen gleich oder ähnlich sind, können mit denselben Bezugszeichen versehen sein. Die Figuren sind lediglich eine schematische Darstellung einer Ausführungsform der Erfindung. The reference to the figures in the description is to aid in the description and understanding of the subject matter. Articles or parts of objects which are substantially the same or similar may be given the same reference numerals. The figures are merely a schematic representation of an embodiment of the invention.
Dabei zeigen:Showing:
Ein erfindungsgemäßer Rotor
Ebenfalls nicht zu sehen ist, dass die Signalgeberstruktur
Das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung der Signalgeberstruktur
Wie weiter aus
Die Signalgeberstruktur
Sofern es erforderlich sein sollte, kann das oben erwähnte mechanische Fertigbearbeiten zur Korrektur von Form und Dicke der Signalgeberstruktur nunmehr erfolgen. So bietet das erfindungsgemäße Verfahren zum Herstellen einer Signalgeberstruktur
Ein ähnliches Bild ergibt sich für einen 1.000 kHz Sensor, dessen Versuchsergebnisse hier nicht dargestellt sind. Insgesamt sind dort die Sensorempfindlichkeiten im Vergleich mit der Kupfer-Referenz höher, so dass dort auch Aluminiumsensorspuren mit 100 µm Dicke bei allen Temperaturen gute Sensorempfindlichkeit aufweisen. Signalgeberstrukturen aus Messing mit 100 µm hingegen weisen auch bei 1.000 kHz nur mangelhafte bis ungenügende Signalhübe auf. Aluminium als Material für die Signalgeberstruktur ist daher nicht nur kostengünstig, sonder zeichnet sich auch durch optimale Sensorempfindlichkeit aus.A similar picture emerges for a 1,000 kHz sensor whose test results are not shown here. Overall, the sensor sensitivities are higher in comparison with the copper reference, so that even aluminum sensor traces with a thickness of 100 μm have good sensor sensitivity at all temperatures. Signaling structures made of 100 μm brass, on the other hand, have only insufficient or insufficient signal pick-up even at 1,000 kHz. Aluminum as a material for the signal generator structure is therefore not only inexpensive, but also characterized by optimum sensor sensitivity.
Claims (13)
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