DE102010021241A1 - vacuum pump - Google Patents

Abstract

Bei einer Vakuumpumpe sind an einer Außenseite eines Pumpengehäuses (24) Halteelemente (36), (38), (46) angeordnet. Diese dienen zur Aufnahme mindestens eines Masseelements (41), (43), (45), (48). Durch derartige Masseelemente, die zu einer Längsachse (34) der Vakuumpumpe (10) vorzugsweise asymmetrisch angeordnet sind, können auftretende Schwingungen unterdrückt werden.In the case of a vacuum pump, holding elements (36), (38), (46) are arranged on an outside of a pump housing (24). These serve to accommodate at least one mass element (41), (43), (45), (48). Such mass elements, which are preferably arranged asymmetrically to a longitudinal axis (34) of the vacuum pump (10), can suppress vibrations that occur.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere eine Turbomolekularpumpe.The invention relates to a vacuum pump, in particular a turbomolecular pump.

Vakuumpumpen werden beispielsweise zur Evakuierung von Kammern einer Anlage eingesetzt, die zur optischen oder elektronischen Untersuchung von Proben dient. Hierbei kann es sich beispielsweise um Massenspektrometer, Elektronenmikroskope, Anlagen für Beschichtungsprozesse etc. handeln. Derartige Anlagen haben häufig eine sehr hohe Auflösung von beispielsweise 1 bis 2 nm. Von der Vakuumpumpe können Schwingungen auf die Anlage übertragen werden, die zur Verfälschung der Messergebnisse führen. Es können auch Resonanzen angeregt werden, die z. B. Geräusche verursachen oder Strukturschäden hervorrufen können. Derartige Schwingungen können beispielsweise auf Grund einer Unwucht der rotierenden Pumpelemente hervorgerufen werden. Auch bei sehr hochpräzise gewuchteten Pumpelementen besteht stets ein Risiko, dass dennoch ungewollte Schwingungen auf die Anlage übertragen werden. Ferner können Schwingungen oder Bewegungen in der Pumpe dadurch hervorgerufen werden, dass die Pumpe unsymmetrisch mit Anschluss- oder Anbauelementen verbunden ist. Hierbei handelt es sich beispielsweise um an der Pumpe angeordnete elektronische Steuerelemente, angeschlossene weitere Pumpen, wie Vorvakuumpumpen oder elektrische Leitungen, die bei Turbomolekularpumpen einen Durchmesser von ca. einem Zentimeter oder mehr aufweisen können und daher relativ schwer sind. Durch asymmetrische Anbau- oder Anschlusselemente kann ein Taumeln oder Pendeln der Pumpe im Wesentlichen senkrecht zur Längsachse hervorgerufen werden. Eine derartige Pendel- oder Taumelbewegung hat ferner den Nachteil, dass unabhängig von der Übertragung von Schwingungen auf die Anlage eine Relativbewegung zwischen dem schnell rotierenden Rotor und dem Gehäuse stattfindet. Dies führt bei mechanisch gelagerten Pumpen zu hohen Lagerbelastungen. Bei elektromagnetisch gelagerten Pumpen führt dies zur Belastung der Magnetlager-Elektronik. Auch die hierdurch auf das Pumpelement, wie den Rotor wirkenden Kräfte und Momente können dauerhaft zu Beschädigungen der Pumpelemente führen. Hierdurch ist die Lebensdauer der Lager und/oder der Pumpelemente beeinträchtigt.Vacuum pumps are used, for example, for evacuating chambers of a plant, which serves for the optical or electronic examination of samples. These may, for example, be mass spectrometers, electron microscopes, systems for coating processes, etc. Such systems often have a very high resolution, for example, 1 to 2 nm. From the vacuum pump vibrations can be transferred to the system, which lead to the falsification of the results. It can also be excited resonances z. B. may cause noise or cause structural damage. Such vibrations can be caused for example due to an imbalance of the rotating pumping elements. Even with very high-precision balanced pumping elements, there is always a risk that unwanted vibrations will still be transmitted to the system. Furthermore, vibrations or movements in the pump can be caused by the fact that the pump is connected asymmetrically with connection or attachment elements. These are, for example, arranged on the pump electronic controls, connected further pumps, such as backing pumps or electrical lines, which may have a diameter of about one centimeter or more in turbomolecular pumps and therefore are relatively heavy. Asymmetrical attachment or connection elements may cause the pump to wobble or oscillate substantially perpendicular to the longitudinal axis. Such a pendulum or wobble movement also has the disadvantage that, regardless of the transmission of vibrations to the system, a relative movement between the rapidly rotating rotor and the housing takes place. This leads to mechanically loaded pumps to high bearing loads. For electromagnetically mounted pumps, this leads to loading of the magnetic bearing electronics. The forces and moments acting thereon on the pumping element, such as the rotor, can permanently lead to damage of the pumping elements. As a result, the life of the bearings and / or the pumping elements is impaired.

Um die von der Vakuumpumpe auf die Anlage übertragenen Schwingungen zu dämpfen, ist es bekannt, zwischen der Vakuumpumpe und der Anlage mechanische Dämpfungselemente vorzusehen. Hierdurch kann jedoch nur eine Verringerung der übertragenen Schwingungen erfolgen. Insbesondere die Übertragung von Schwingungen mit niedrigen Frequenzen, insbesondere im Bereich bis zu 200 Hz können hierdurch nur bedingt gedämpft werden. Auch können derartige Dämpfungselemente nur schwer auf den Einbauzustand der Vakuumpumpe angepasst werden. Des Weiteren ist es bekannt, Schwingungen aktiv zu dämpfen. Hierzu werden in die Vakuumpumpe phasenversetzt Schwingungen durch einen Schwingungserzeuger eingeleitet, so dass ein gegenseitiges Auslöschen der Schwingungen erfolgt. Derartige Bauteile sind einerseits teuer und andererseits ist es hierdurch nicht möglich, niederfrequente Schwingungen zu unterdrücken.In order to dampen the vibrations transmitted by the vacuum pump to the system, it is known to provide mechanical damping elements between the vacuum pump and the system. However, this can only be done a reduction of the transmitted vibrations. In particular, the transmission of vibrations at low frequencies, especially in the range up to 200 Hz can be damped only partially. Also, such damping elements are difficult to adapt to the installed state of the vacuum pump. Furthermore, it is known to actively damp vibrations. For this purpose, in the vacuum pump phase-shifted vibrations are introduced by a vibration generator, so that a mutual extinction of the vibrations takes place. On the one hand, such components are expensive and on the other hand it is not possible to suppress low-frequency vibrations.

Aufgabe der Erfindung ist es, eine Vakuumpumpe, insbesondere eine Turbomolekularpumpe zu schaffen, bei der die Übertragung kritischer, insbesondere niederfrequenter Schwingungen auf eine Anlage vermieden wird und/oder deren Lebensdauer durch Verringerung der Relativbewegung zwischen Pumpelementen und Gehäuse verringert wird.The object of the invention is to provide a vacuum pump, in particular a turbomolecular pump, in which the transmission of critical, in particular low-frequency vibrations is avoided on a system and / or their life is reduced by reducing the relative movement between pumping elements and housing.

Die Lösung zumindest einer der beiden Aufgaben erfolgt erfindungsgemäß durch die Merkmale des Anspruchs 1.The solution of at least one of the two objects is achieved according to the invention by the features of claim 1.

Die erfindungsgemäße Vakuumpumpe bei der es sich vorzugsweise um eine Turbomolekularpumpe handelt, weist einen von einem Pumpengehäuse ausgebildeten Schöpfraum auf. In dem Schöpfraum ist mindestens ein Pumpelement angeordnet, bei dem es sich insbesondere um einen Rotor einer Turbomolekularpumpe handelt. Zur Verringerung von Schwingungen, die beispielsweise durch eine verbleibende Unwucht des Pumpelements und/oder durch asymmetrisch mit dem Pumpgehäuse verbundene Bauteile hervorgerufen werden, ist erfindungsgemäß mit dem Pumpgehäuse mindestens ein Halteelement verbunden. Das Halteelement dient zur Aufnahme mindestens eines Masseelements. Durch das Vorsehen mindestens eines, vorzugsweise mehrerer Masseelemente, die sich zusammen mit dem Pumpengehäuse bewegen, ist es je nach Anordnung und/oder Gewicht der Masseelemente möglich, kritische Schwingungen zu unterdrücken bzw. deren Auftreten zu vermeiden. Insbesondere ist es hierdurch möglich, die besonders kritischen Schwingungen im niederfrequenten Bereich bis 200 Hz zu unterdrücken.The vacuum pump according to the invention, which is preferably a turbomolecular pump, has a pump chamber formed by a pump housing. At least one pump element, which is in particular a rotor of a turbomolecular pump, is arranged in the pump chamber. To reduce vibrations, which are caused for example by a remaining imbalance of the pumping element and / or by asymmetrically connected to the pump housing components, according to the invention with the pump housing at least one holding element is connected. The holding element serves to receive at least one mass element. By providing at least one, preferably a plurality of mass elements, which move together with the pump housing, it is possible depending on the arrangement and / or weight of the mass elements to suppress critical vibrations or to prevent their occurrence. In particular, this makes it possible to suppress the particularly critical vibrations in the low-frequency range up to 200 Hz.

Vorzugsweise können mit der Pumpe mehrere unterschiedliche Masseelemente in jeweils unterschiedlichen Positionen verbunden werden. Hierdurch ist es möglich, die Pumpe abzustimmen. Es ist somit auf einfache Weise möglich, je nach Einsatz der Vakuumpumpe diese beispielsweise in Abhängigkeit der verwendeten Anschlüsse und Anbauten auf den entsprechenden Einsatzbereich bzw. entsprechende Anlage abzustimmen. Dies ist erfindungsgemäß auf einfache Weise durch entsprechendes Anordnen und/oder Austauschen von Masseelementen möglich. Eine aufwändige und teure Spezialkonstruktion in Abhängigkeit der Verwendung der Vakuumpumpe bzw. der Anlage, an die die Vakuumpumpe angeschlossen ist, ist somit erfindungsgemäß nicht mehr erforderlich. Vielmehr können identische Pumpen für unterschiedliche Anwendungszwecke eingesetzt und auf einfache Weise auf den Anwendungsfall abgestimmt werden.Preferably, several different mass elements can be connected in different positions with the pump. This makes it possible to tune the pump. It is thus possible in a simple manner, depending on the use of the vacuum pump, for example, to tune it to the corresponding area of use or corresponding installation depending on the connections and attachments used. This is possible according to the invention in a simple manner by appropriate arrangement and / or replacement of mass elements. A complex and expensive special construction depending on the use of the Vacuum pump or the system to which the vacuum pump is connected, is therefore no longer required according to the invention. Rather, identical pumps can be used for different applications and be easily adapted to the application.

Vorzugsweise weist das Halteelement zur Aufnahme mehrerer, insbesondere unterschiedlicher Masseelemente mehrere Ausnehmungen oder Fächer auf. In diese können die Masseelemente beispielsweise eingesteckt werden. Da die Masseelemente vorzugsweise lösbar in den Ausnehmungen bzw. Fächern gehalten sind, ist ein einfaches Austauschen der Masseelemente möglich. Das Halten der Masseelemente erfolgt hierbei auch beispielsweise auf Grund der auftretenden Reibung zwischen Masseelement und Ausnehmung bzw. Fach oder durch das Vorsehen von Fixierelementen. Es ist daher auf einfache Weise möglich, die Vakuumpumpe je nach Einsatzzweck abzustimmen. So können die auftretenden Schwingungen gemessen und durch Austausch und/oder Anordnung der Masseelemente in anderen Ausnehmungen oder Fächern verändert werden.Preferably, the holding element for receiving a plurality, in particular different mass elements on a plurality of recesses or compartments. In this, the mass elements can be inserted, for example. Since the mass elements are preferably held releasably in the recesses or compartments, a simple replacement of the mass elements is possible. The holding of the mass elements takes place here, for example, due to the friction occurring between the mass element and the recess or compartment or by the provision of fixing elements. It is therefore possible in a simple manner to tune the vacuum pump depending on the application. Thus, the vibrations occurring can be measured and changed by replacement and / or arrangement of the mass elements in other recesses or subjects.

Die Ausnehmungen bzw. Fächer sind, bezogen auf die Längsachse der Vakuumpumpe, bei der es sich bei einer Turbomolekularpumpe um die Rotationsachse des Rotors handelt, derart angeordnet, dass ein asymmetrisches Anordnen unterschiedlicher Masseelemente an einer Vielzahl von Positionen möglich ist.The recesses or compartments, with respect to the longitudinal axis of the vacuum pump, which is a turbo-molecular pump about the axis of rotation of the rotor, arranged such that an asymmetrical arrangement of different mass elements in a variety of positions is possible.

Die verwendeten Masseelemente weisen vorzugsweise unterschiedliche Gewichte auf. Ein Variieren der Gewichte kann durch Verwenden von Masseelementen in unterschiedlicher Größe und/oder unterschiedlicher Materialien realisiert werden.The mass elements used preferably have different weights. Varying the weights can be realized by using mass elements of different sizes and / or different materials.

Die Masseelemente sind beispielsweise stabförmig ausgebildet und können somit auf einfache Weise in Ausnehmungen oder Fächer eingesteckt werden.The mass elements are for example rod-shaped and can thus be easily inserted into recesses or compartments.

Ferner ist es bei einer weiteren erfindungsgemäßen Ausführungsform möglich, Masseelemente als Schüttung vorzusehen. Die entsprechende Schüttung, bei der es sich beispielsweise um eine Kugelschüttung handeln kann, kann in den unterschiedlichen Fächern angeordnet werden. Hierdurch ist ein sehr feines Abstimmen der an einem bestimmten Ort angeordneten Masse möglich, indem die Schüttung beispielsweise Kugeln aus unterschiedlichem Material und/oder unterschiedlicher Größe aufweist.Furthermore, it is possible in a further embodiment according to the invention to provide mass elements as a bed. The corresponding bed, which may be, for example, a ball bed, can be arranged in the different compartments. As a result, a very fine tuning of the arranged at a certain location mass is possible by the bed, for example, balls of different material and / or different size.

Ebenso ist es möglich, als Masseelemente Flüssigkeiten vorzusehen, die insbesondere eine unterschiedliche Viskosität aufweisen. Diese können ebenfalls in den Fächern angeordnet werden.It is also possible to provide liquids as mass elements, which in particular have a different viscosity. These can also be arranged in the compartments.

Um ein Bewegen der Schüttung oder der Flüssigkeiten in den Fächern zu vermeiden, können diese größenvariabel ausgebildet sein, so dass das entsprechende Fach stets vollständig mit der Flüssigkeit oder der Schüttung gefüllt ist. Hierzu können beispielsweise eine Seitenwand und/oder ein Deckel des Faches verschiebbar ausgebildet sein.To avoid moving the bed or liquids in the compartments, these may be variable in size, so that the corresponding compartment is always completely filled with the liquid or the bed. For this purpose, for example, a side wall and / or a lid of the compartment can be designed to be displaceable.

Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform ist das mindestens eine Halteelement stabförmig ausgebildet und dient zur Aufnahme von scheibenförmigen, insbesondere runden Masseelementen. Diese können auf das Halteelement aufgesteckt und beispielsweise durch eine Mutter oder dergleichen fixiert werden. Hierbei ist es auch möglich, asymmetrische Scheiben als Masseelemente auf den Halteelementen anzuordnen.In a further preferred embodiment, the at least one holding element is rod-shaped and serves to receive disk-shaped, in particular round mass elements. These can be plugged onto the retaining element and fixed for example by a nut or the like. In this case it is also possible to arrange asymmetrical disks as mass elements on the retaining elements.

Selbstverständlich können die vorstehend beschriebenen Ausführungsformen auch beliebig miteinander kombiniert werden.Of course, the embodiments described above can also be combined with each other as desired.

Das Halteelement, das vorzugsweise eine Vielzahl von Ausnehmungen, Fächern und/oder stiftförmige Ansätze aufweist, ist vorzugsweise an einer Stirnseite des Pumpengehäuses angeordnet. Bei der Stirnseite des Pumpengehäuses handelt es sich insbesondere um eine sich senkrecht zur Pumpenlängsachse erstreckende Fläche. Bevorzugt ist es hierbei, dass das Halteelement dieselben Abmessungen wie die Stirnseite aufweist und sich somit über die gesamte Stirnseite erstreckt.The holding element, which preferably has a plurality of recesses, compartments and / or pin-shaped projections, is preferably arranged on an end face of the pump housing. The end face of the pump housing is, in particular, a surface extending perpendicular to the pump longitudinal axis. It is preferred in this case that the holding element has the same dimensions as the end face and thus extends over the entire end face.

Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform umgibt das Halteelement die Vakuumpumpe zumindest teilweise. Vorzugsweise ist das Halteelement ringförmig ausgebildet und insbesondere symmetrisch zur Längsachse angeordnet. Bei einem derartigen Halteelement ist es möglich, um die Vakuumpumpe herum ggf. auch in einem unterschiedlichen Abstand zur Längsachse Masseelement anzuordnen. Bei einem derartigen Halteelement ist es auf einfache Weise möglich, in unterschiedlichen Abständen zur Längsachse der Vakuumpumpe an unterschiedlichen Orten Masseelemente vorzusehen. Hierzu weist eine bevorzugte Ausführungsform das Halteelement eine Vielzahl sich parallel oder in einem Winkel zur Längsache erstreckende Ausnehmung bzw. Fächer auf.In a further preferred embodiment, the holding element surrounds the vacuum pump at least partially. Preferably, the holding element is annular and in particular arranged symmetrically to the longitudinal axis. In such a holding element, it is possible to arrange mass element around the vacuum pump, possibly also at a different distance from the longitudinal axis. With such a holding element, it is possible in a simple manner to provide mass elements at different distances from the longitudinal axis of the vacuum pump at different locations. For this purpose, a preferred embodiment, the holding element has a plurality of parallel or at an angle to the longitudinal axis extending recess or fan.

Selbstverständlich können mit einer Vakuumpumpe auch unterschiedlich ausgestaltete Halteelemente verbunden sein.Of course, differently configured holding elements can be connected to a vacuum pump.

Ebenso ist es möglich, mindestens ein Masseelement über ein Halteelement asymmetrisch zu der Längsachse der Vakuumpumpe anzuordnen. Hierbei kann das mindestens eine Masseelement an dem insbesondere stabförmigen Halteelement derart angeordnet sein, dass die relative Lage des Masseelements zu dem Halteelement verändert werden kann. Dies ist beispielsweise möglich, indem das Masseelement eine Bohrung aufweist, durch die das Halteelement ragt und die Bohrung asymmetrisch in dem Masseelement vorgesehen ist. Insbesondere handelt es sich bei dem Masseelement beispielsweise um eine Quader, wobei die Verbindung mit dem Halteteil vorzugsweise in einem Abstand zum Quaderschwerpunkt erfolgt. Durch einfaches Drehen des Masseelements um das Halteteil kann somit eingestellt werden, welche Schwingungen durch das Masseelement unterdrückt werden sollen. Hierdurch ist es möglich, kritische Schwingungen zu unterdrücken, die insbesondere im niederfrequenten Bereich bis 100 Hz auftreten.It is also possible to arrange at least one mass element via a retaining element asymmetrically to the longitudinal axis of the vacuum pump. In this case, the at least one mass element may be arranged on the particular rod-shaped holding element such that the relative position of the Mass element can be changed to the holding element. This is possible, for example, in that the mass element has a bore through which the retaining element protrudes and the bore is provided asymmetrically in the mass element. In particular, the mass element is, for example, a cuboid, wherein the connection to the holding part preferably takes place at a distance from the center of mass of the cuboid. By simply turning the mass element around the holding part can thus be adjusted, which vibrations are to be suppressed by the mass element. This makes it possible to suppress critical vibrations that occur especially in the low-frequency range up to 100 Hz.

Selbstverständlich ist es möglich, zwischen einzelnen Masseelementen Zusatzelemente wie Schwingungsdämpfer und dergleichen anzuordnen. Auch das Vorsehen von Abstandselementen, um den Abstand der einzelnen Masseelement zum Pumpengehäuse bzw. zur Längsachse des Pumpengehäuses zu variieren, ist möglich.Of course, it is possible to arrange additional elements such as vibration dampers and the like between individual mass elements. The provision of spacer elements in order to vary the distance of the individual mass element to the pump housing or to the longitudinal axis of the pump housing is possible.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand bevorzugter Ausführungsformen näher erläutert.The invention will be explained in more detail below with reference to preferred embodiments.

Es zeigen:Show it:

1 eine stark vereinfachte schematische Seitenansicht einer Anlage angeordneten Vakuumpumpe, 1 a simplified schematic side view of a plant arranged vacuum pump,

2 eine schematische Draufsicht eines Ausschnittes eines ringförmigen Halteelements, 2 a schematic plan view of a section of an annular retaining element,

3 eine schematische Draufsicht eines Ausschnittes eines an einer Stirnseite der Vakuumpumpe angeordneten Halteelements, 3 FIG. 2 a schematic plan view of a section of a holding element arranged on an end face of the vacuum pump, FIG.

4 eine schematische Ansicht zweier Masseelemente und 4 a schematic view of two mass elements and

5 eine schematische Seitenansicht einer weiteren Ausführungsform eines Halteelements mit Masseelementen. 5 a schematic side view of another embodiment of a holding element with mass elements.

Eine Vakuumpumpe 10 wie eine Turbomolekularpumpe ist beispielsweise über einen Flansch 12 an einem Gehäuse 14 einer Anlage angeordnet, so dass von der Pumpe, wie durch einen Pfeil 16 angedeutet aus einer Kammer der Anlage 14 Medium, insbesondere Gase abgesaugt werden können. Die Vakuumpumpe 10 weist einen Auslass 18 auf, aus dem das gepumpte Medium in Richtung eines Pfeils 20 abgegeben wird. Mit dem Auslass 18 kann beispielsweise eine Vorvakuumpumpe verbunden sein. Mit einer Außenseite 22 wie einer Mantelfläche des Gehäuses 24 der Vakuumpumpe 10 kann eine Steuereinrichtung 26 sowie auch ein Kabel 28 verbunden sein.A vacuum pump 10 like a turbomolecular pump is for example via a flange 12 on a housing 14 arranged a plant, so by the pump, as indicated by an arrow 16 indicated from a chamber of the plant 14 Medium, especially gases can be sucked. The vacuum pump 10 has an outlet 18 on, from which the pumped medium in the direction of an arrow 20 is delivered. With the outlet 18 For example, a backing pump may be connected. With an outside 22 as a lateral surface of the housing 24 the vacuum pump 10 can be a control device 26 as well as a cable 28 be connected.

Innerhalb des Pumpengehäuses 24 ist bei einer Turbomolekularpumpe ein Pumpelement 30 in Form eines Rotors innerhalb des durch das Pumpengehäuse 24 ausgebildeten Schöpfraums 32 angeordnet. Der Rotor 30 rotiert mit hoher Drehzahl um eine Längsachse 34.Inside the pump housing 24 is a pumping element in a turbomolecular pump 30 in the form of a rotor within the through the pump housing 24 trained scoop space 32 arranged. The rotor 30 rotates at high speed about a longitudinal axis 34 ,

Trotz aufwändiger und präziser Wuchtverfahren verbleibende Unwucht des Rotors 30 und/oder auf Grund der, bezogen auf die Längsachse 34 unsymmetrisch am Gehäuse befestigten Elemente treten Schwingungen der gesamten Vakuumpumpe auf. Diese werden einerseits auf die Anlage 14 übertragen und können andererseits zu Relativbewegungen zwischen dem Rotor 30 und dem Pumpengehäuse 24 führen.Despite elaborate and precise balancing method remaining imbalance of the rotor 30 and / or on the basis of, with respect to the longitudinal axis 34 Unbalanced attached to the housing elements occur vibrations of the entire vacuum pump. These are on the one hand on the plant 14 on the other hand, to relative movements between the rotor 30 and the pump housing 24 to lead.

Zur Unterdrückung dieser Schwingungen, insbesondere in niederfrequenten Bereichen von bis zu 200 Hz sind erfindungsgemäß Halteelemente 36, 38 mit dem Pumpengehäuse 24 verbunden. Im dargestellten Ausführungsbeispiel ist ein erstes Halteelement 36 mit einer Stirnfläche 40 des Pumpengehäuses 24 vollflächig verbunden, so dass die gesamte Stirnseite 40 von dem Halteelement 36 bedeckt ist. Das zweite Halteelement 38 ist im dargestellten Ausführungsbeispiel ringförmig ausgebildet und umgibt das Pumpengehäuse 24.To suppress these vibrations, in particular in low-frequency ranges of up to 200 Hz are holding elements according to the invention 36 . 38 with the pump housing 24 connected. In the illustrated embodiment, a first holding element 36 with a face 40 of the pump housing 24 connected all over, so that the entire front page 40 from the holding element 36 is covered. The second holding element 38 is annular in the illustrated embodiment and surrounds the pump housing 24 ,

Das ringförmige Halteelement 38 weist, wie aus dem in 2 dargestellten Ausschnitt ersichtlich, mehrere Ausnehmungen oder Fächer 40, 42, 44 auf. In die im dargestellten Ausführungsbeispiel zylindrischen Ausnehmungen 40, 42 können stabförmige Masseelemente unterschiedlichen Gewichts eingesteckt werden. Diese sind in den Ausnehmungen 40, 42 z. B. durch Reibung fixiert.The annular retaining element 38 shows how out of the 2 shown cutout, several recesses or subjects 40 . 42 . 44 on. In the cylindrical in the illustrated embodiment recesses 40 . 42 rod-shaped mass elements of different weights can be inserted. These are in the recesses 40 . 42 z. B. fixed by friction.

Die Ausnehmungen 40, 42 die selbstverständlich auch einen anderen Querschnitt aufweisen können und die ggf. auch unterschiedlich groß sind, verlaufen im Wesentlichen radial zur Längsachse 34. Ebenso können Ausnehmungen 42 vorgesehen sein, die parallel zur Längsachse 34 verlaufen.The recesses 40 . 42 which of course may also have a different cross-section and which may also have different sizes, extend substantially radially to the longitudinal axis 34 , Likewise, recesses can 42 be provided, which is parallel to the longitudinal axis 34 run.

Zur Verdeutlichung der unterschiedlichen Ausführungsformen der Erfindung ist in 2 ferner ein Fach 44 dargestellt. Im Fach 44 können als Masseelement unterschiedliche Flüssigkeiten und/oder eine Schüttung angeordnet werden.To illustrate the different embodiments of the invention is in 2 also a subject 44 shown. In the subject 44 can be arranged as a mass element different liquids and / or a bed.

Entsprechend sind auch bei dem in 3 dargestellten Halteelement 36 Ausnehmungen 40, 42, 44 vorgesehen.Accordingly, also in the in 3 shown holding element 36 recesses 40 . 42 . 44 intended.

In 4 sind schematisch zwei Masseelemente 41, 43 dargestellt, die in den Ausnehmungen 40, 42 durch Einstecken angeordnet werden können. In den Fächern 44 ist als Masseelement jeweils eine Kugelschüttung 45 gezeigt.In 4 are schematically two mass elements 41 . 43 shown in the recesses 40 . 42 can be arranged by plugging. In the subjects 44 is as a mass element each a ball bed 45 shown.

Bei einer weiteren Ausführungsform (5) sind mit dem Pumpengehäuse 24 stabförmige Halteelemente 46 verbunden. Diese können sowohl mit der Stirnseite 40 als auch der Mantelfläche 22 des Pumpengehäuses 24 verbunden sein. Auf die stabförmigen Halteelementen 46 können scheibenförmige Masseelemente 48 aufgesteckt werden. Die scheibenförmigen Masseelemente 48 können unterschiedliche Gewichte aufweisen. Dies ist durch die Verwendung unterschiedlicher Materialien, unterschiedlicher Größen bzw. Volumina möglich. Ferner können die Masseelemente 48 asymmetrisch ausgestaltet sein.In a further embodiment ( 5 ) are with the pump housing 24 rod-shaped holding elements 46 connected. These can be both with the front side 40 as well as the lateral surface 22 of the pump housing 24 be connected. On the rod-shaped holding elements 46 can be disc-shaped mass elements 48 be plugged. The disc-shaped mass elements 48 can have different weights. This is possible through the use of different materials, different sizes or volumes. Furthermore, the mass elements 48 be designed asymmetrically.

Claims (12)

Vakuumpumpe insbesondere Turbomolekularpumpe mit einem einen Schöpfraum (32) ausbildenden Pumpengehäuse (24) und mindestens einem in dem Schöpfraum (32) angeordneten Pumpelement (30), gekennzeichnet durch mindestens ein mit dem Pumpengehäuse (24) verbundenen Halteelement (36), (38), (48) zur Aufnahme mindestens eines Masseelements (41), (43), (45), (46).Vacuum pump, in particular turbomolecular pump with a pump chamber ( 32 ) forming pump housing ( 24 ) and at least one in the pump chamber ( 32 ) arranged pumping element ( 30 ), characterized by at least one with the pump housing ( 24 ) connected holding element ( 36 ) 38 ) 48 ) for receiving at least one mass element ( 41 ) 43 ) 45 ) 46 ). Vakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Halteelement (36), (38) mehrere Ausnehmungen und (40), (42) und/oder Fächer (44) zur Aufnahme jeweils mindestens eines Masseelements (41), (43), (45) aufweist.Vacuum pump according to claim 1, characterized in that the retaining element ( 36 ) 38 ) several recesses and ( 40 ) 42 ) and / or compartments ( 44 ) for receiving in each case at least one mass element ( 41 ) 43 ) 45 ) having. Vakuumpumpe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Ausnehmungen (40), (42) und/oder die Fächer (44) bezogen auf eine Längsachse (34) der Vakuumpumpe (10) asymmetrisch angeordnet sind.Vacuum pump according to claim 1 or 2, characterized in that the recesses ( 40 ) 42 ) and / or the subjects ( 44 ) relative to a longitudinal axis ( 34 ) of the vacuum pump ( 10 ) are arranged asymmetrically. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Masseelement (41), (43), (45), (48) unterschiedliche Gewichte aufweisen.Vacuum pump according to one of claims 1 to 3, characterized in that the mass element ( 41 ) 43 ) 45 ) 48 ) have different weights. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere insbesondere unterschiedliche Masseelemente (41), (43), (45) in einer Ausnehmung (40), (42) und/oder einem Fach (45) angeordnet werden können.Vacuum pump according to one of claims 1 to 4, characterized in that several in particular different mass elements ( 41 ) 43 ) 45 ) in a recess ( 40 ) 42 ) and / or a compartment ( 45 ) can be arranged. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Masseelemente (41), (43) stabförmig ausgebildet sind.Vacuum pump according to one of claims 1 to 5, characterized in that the mass elements ( 41 ) 43 ) are rod-shaped. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Masseelemente als Schüttung (45) insbesondere als Kugelschüttung in den Fächern (44) angeordnet werden können.Vacuum pump according to one of claims 1 to 6, characterized in that the mass elements as a bed ( 45 ) in particular as a ball bed in the subjects ( 44 ) can be arranged. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass als Masseelemente Flüssigkeiten insbesondere unterschiedlicher Viskosität vorgesehen sind.Vacuum pump according to one of claims 1 to 7, characterized in that are provided as mass elements liquids in particular of different viscosity. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Halteelement (46) stabförmig ausgebildet ist, zur Aufnahme von scheibenförmigen Masseelementen (48).Vacuum pump according to one of claims 1 to 8, characterized in that at least one retaining element ( 46 ) is rod-shaped, for receiving disk-shaped mass elements ( 48 ). Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Masseelemente (41), (43), (45), (48) lösbar in den Ausnehmungen (40), (42) und/oder den Fächern (44) und/oder den stabförmigen Halteelementen (46) angeordnet bzw. mit diesen verbunden sind.Vacuum pump according to one of claims 1 to 9, characterized in that the mass elements ( 41 ) 43 ) 45 ) 48 ) detachable in the recesses ( 40 ) 42 ) and / or the subjects ( 44 ) and / or the rod-shaped holding elements ( 46 ) are arranged or connected to these. Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Halteelement (36) an einer Stirnseite (40) des Pumpengehäuses (24) angeordnet ist und sich vorzugsweise über die gesamte Stirnseite (40) erstreckt.Vacuum pump according to one of claims 1 to 10, characterized in that at least one retaining element ( 36 ) on a front side ( 40 ) of the pump housing ( 24 ) is arranged and preferably over the entire end face ( 40 ). Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass das eine Halteelement (38) die Vakuumpumpe (10) zumindest teilweise umgibt, insbesondere ringförmig ausgebildet ist.Vacuum pump according to one of claims 1 to 11, characterized in that the one retaining element ( 38 ) the vacuum pump ( 10 ) at least partially surrounds, in particular annular.

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