DE102009044922B3

DE102009044922B3 - Vorrichtung zur Bestimmung und/oder Überwachung mindestens einer Prozessgröße

Info

Publication number: DE102009044922B3
Application number: DE200910044922
Authority: DE
Inventors: Helmut Pfeiffer
Original assignee: Endress and Hauser SE and Co KG
Current assignee: Endress and Hauser SE and Co KG
Priority date: 2009-09-23
Filing date: 2009-09-23
Publication date: 2011-05-19
Anticipated expiration: 2029-09-24

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Bestimmung und/oder Überwachung mindestens einer Prozessgröße eines Mediums, mit einer mechanisch schwingfähigen Einheit (2), mit mindestens einer Antriebs-/Empfangseinheit (3), welche die mechanisch schwinnregt und welche von der mechanisch schwingfähigen Einheit (2) mechanische Schwingungen empfängt, mit einer Regel-/Auswerteeinheit, welche die mechanischen Schwingungen der mechanisch schwingfähigen Einheit (2) regelt und welche die Prozessgröße bestimmt und/oder überwacht, und mit einem ersten, mit der mechanisch schwingfähigen Einheit (2) gekoppelten, schwingfähigen Kompensationselement (4). Die Erfindung beinhaltet, dass das erste Kompensationselement (4) derart ausgestaltet ist, dass dessen Resonanzfrequenz an die Schwingfrequenz der mechanisch schwingfähigen Einheit (2) in Luft angepasst ist, dass mindestens ein zweites, mit der mechanisch schwingfähigen Einheit (2) gekoppeltes, schwingfähiges Kompensationselement (5) vorgesehen ist, und dass das zweite Kompensationselement (5) derart ausgestaltet ist, dass dessen Resonanzfrequenz an die Schwingfrequenz der mechanisch schwingfähigen Einheit (2) im Medium angepasst ist.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Bestimmung und/oder Überwachung mindestens einer Prozessgröße eines Mediums, mit einer mechanisch schwingfähigen Einheit, mit mindestens einer Antriebs-/Empfangseinheit, welche die mechanisch schwingfähige Einheit zu mechanischen Schwingungen anregt und welche von der mechanisch schwingfähigen Einheit mechanische Schwingungen empfängt, mit einer Regel-/Auswerteeinheit, welche die mechanischen Schwingungen der mechanisch schwingfähigen Einheit regelt und welche die Prozessgröße bestimmt und/oder überwacht, und mit einem ersten, mit der mechanisch schwingfähigen Einheit gekoppelten, schwingfähigen Kompensationselement. Die Prozessgröße ist beispielsweise der Füllstand eines Schüttguts oder einer Flüssigkeit in einem Behälter oder die Viskosität oder die Dichte einer Flüssigkeit.
Eine solche Vorrichtung eignet sich besonders zur Füllstandsmessung eines Mediums im Behälter. Das dahinter stehende Messprinzip ist hierbei, dass die Schwingungen der schwingfähigen Einheit – beispielsweise zwei Schwingstäbedavon abhängig sind, ob die schwingfähige Einheit mit Medium bedeckt ist oder nicht. Bei Bedeckung der schwingfähigen Einheit mit einer Flüssigkeit nimmt beispielsweise die Frequenz der Schwingungen ab, sodass hierdurch das Erreichen des Füllstands, auf dessen Höhe die Vorrichtung im Behälter angeordnet ist, signalisiert wird.
Um zu vermeiden, dass Kräfte auf die Einspannung der schwingfähigen Einheit am Messgerät wirken und dem Schwingsystem hierdurch Energie entzogen wird, ist es wichtig derartige Vorrichtungen durch spezielle Konstruktionen zu entkoppeln. Beispielsweise wird dies erreicht, indem zwei identisch ausgestaltete Schwingstäbe auf einer Membran aufgebracht sind, welche durch die Membran zu gegensinnigen Schwingungen angeregt werden. Die wirkenden Kräfte sind einander entgegengesetzt und heben sich somit auf. Sind die Schwingstäbe allerdings nicht senkrecht auf der Membran angeordnet, sondern jeweils um einen bestimmten Winkel nach außen gespreizt, so wirken zusätzliche axiale Kräfte parallel zur Längsachse der Schwingstäbe. Diese sind gleichgerichtet und kompensieren sich nicht gegenseitig.
Die Folge ist Energieverlust, was zum Stillstand der schwingfähigen Einheit und somit zum Ausfall der Messfunktion führen kann.
Aus der Schrift DE 10 2004 036 018 A1 der Anmelderin ist eine Vorrichtung mit einer schwingfähigen Einheit bekannt, welche mit einer Kompensationsmasse gekoppelt ist, um die durch die Schwingungen der schwingfähigen Einheit auf die Einspannung wirkenden Kräfte zu kompensieren. Die Kompensationsmasse ist hierbei derart ausgestaltet, dass sie Schwingungen ausführt, welche im Wesentlichen senkrecht auf der Richtung der Schwingungen der mechanisch schwingfähigen Einheit stehen und somit die axial wirkenden Kräfte kompensiert werden. Die Kompensationsmasse kann jedoch nur auf eine bestimmte Schwingfrequenz oder einen engen Frequenzbereich abgestimmt sein, beispielsweise auf die Schwingfrequenz der schwingfähigen Einheit im Medium oder auf deren Schwingfrequenz in Luft oder einen Kompromiss bilden. Die Entkopplung ist somit nicht jederzeit gewährleistet.
In der EP 0 848 237 A1 ist eine Vorrichtung mit einer schwingfähigen Einheit beschrieben, die aus zwei sich koaxial umgebenden Schwingstäben besteht und welche ein Kompensationselement aufweist, welches in seiner Position entlang einer Längsachse der Schwingstäbe verstellbar ist. Ändert sich die Schwingfrequenz in Luft des äußeren Stabes z. B. auf Grund von Ansatzbildung, verschiebt eine Steuereinheit das Kompensationselement derart, dass innerer und äußerer Stab wieder mit der gleichen Frequenz schwingen, d. h. die Resonanzfrequenz an die Schwingfrequenz in Luft angepasst ist.
Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, eine Vorrichtung mit einer mechanisch schwingfähigen Einheit bereit zu stellen, auf deren Einspannung in jedem während der Anwendung auftretenden Zustand keine Reaktionskräfte wirken.
Die Aufgabe wird dadurch gelöst, dass das erste Kompensationselement derart ausgestaltet ist, dass dessen Resonanzfrequenz an die Schwingfrequenz der mechanisch schwingfähigen Einheit in Luft angepasst ist, dass mindestens ein zweites, mit der mechanisch schwingfähigen Einheit gekoppeltes, schwingfähiges Kompensationselement vorgesehen ist, und dass das zweite Kompensationselement derart ausgestaltet ist, dass dessen Resonanzfrequenz an die Schwingfrequenz der mechanisch schwingfähigen Einheit im Medium angepasst ist.
Als Kompensationselement kann prinzipiell jedes Element der Vorrichtung bezeichnet werden, das schwingfähig und zu Resonanzschwingungen anregbar ist, wobei durch die Schwingung der schwingfähigen Einheit auftretende Kräfte zumindest teilweise von den durch die Ausführung der Resonanzschwingungen des Kompensationselements hervorgerufenen Kräfte kompensiert werden. Die Schwingfrequenz des Kompensationselements ist hierbei durch dessen Masse und dessen Steifigkeit gegeben. In der Regel besteht ein aktiv zu Kompensationszwecken in die Vorrichtung eingebrachtes Kompensationselement aus einer Kompensationsmasse und einem Federelement oder einer Membran zur Anregung und/oder Übertragung der Schwingungen der Kompensationsmasse. Beispielsweise wird ein Kompensationselement aus einem ringförmigen Masseelement und aus einer kreisringförmigen Membran gebildet, wobei letztere den Kontakt zwischen dem Masseelement und dem rohrförmigen Gehäuse des Schwingsystems herstellt.
Durch die Anbringung zweier Kompensationselemente wird erreicht, dass das Schwingsystem sowohl bei der Schwingung in Luft als auch bei der Schwingung im Medium nahezu vollständig entkoppelt ist. Die Anpassung der Resonanzfrequenz der Kompensationselemente an die jeweiligen Resonanzfrequenzen des Schwingsystems in Luft und im Medium erfolgt über die entsprechende Wahl der Masse und der Steifigkeit des Kompensationselements. Bei korrekter Anpassung schwingt dann im Wesentlichen nur dasjenige Kompensationselement, dessen Resonanzfrequenz der aktuellen Schwingfrequenz des Schwingsystems entspricht. Ein Kompensationselement, dessen Resonanzfrequenz nicht mit der Schwingfrequenz des Schwingsystems übereinstimmt schwingt entweder gar nicht oder auf Grund der gegenseitigen Kopplung nur mit einer sehr geringen Amplitude, sodass die Entkopplung des Systems nicht davon beeinflusst wird.
In einer ersten Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Lösung ist das schwingfähige Kompensationselement derartig ausgestaltet, dass es gegenphasig zu der mechanisch schwingfähigen Einheit schwingt. Hierdurch treten entgegen gesetzte Kräfte auf, die sich bei gleichem Betrag kompensieren.
Bei einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist mindestens ein drittes, mit der mechanisch schwingfähigen Einheit gekoppeltes, schwingfähiges Kompensationselement vorgesehen, welches derart ausgestaltet ist, dass dessen Resonanzfrequenz zwischen der Schwingfrequenz der mechanisch schwingfähigen Einheit in Luft und der im Medium liegt. Ist das schwingfähige Element eine Schwinggabel oder ein Schwingstab, so ist es möglich, dass die schwingfähige Einheit nur teilweise vom Medium bedeckt ist. Die Schwingfrequenz des schwingfähigen Systems liegt dann zwischen der Frequenz in Luft und der Frequenz im Medium. Gleiches gilt, wenn Medium an dem schwingfähigen Element haftet und Ansatz bildet. Die Schwingfrequenz in Luft ist dann verringert, da der Ansatz zusätzlich mitzubewegende Masse bildet. Mindestens ein weiteres Kompensationselement, dessen Resonanzfrequenz im Bereich zwischen diesen beiden Frequenzen liegt, gewährleistet, dass die Entkopplung auch in diesem Frequenzbereich sicher gestellt ist.
Bei einer Weiterbildung der Erfindung ist mindestens ein viertes, mit der mechanisch schwingfähigen Einheit gekoppeltes, schwingfähiges Kompensationselement vorgesehen, welches derart ausgestaltet ist, dass dessen Resonanzfrequenz derart unterhalb der Schwingfrequenz der mechanisch schwingfähigen Einheit im Medium liegt, dass sie einer Schwingfrequenz der mechanisch schwingfähigen Einheit mit Ansatz im Medium oder ohne Ansatz und mit höherer Mediumsdichte entspricht. Bildet sich an der schwingfähigen Einheit Ansatz, welcher auch im Medium an derselben haftet, so führt dies zu einer verringerten Schwingfrequenz. Ein weiteres Kompensationselement, dessen Resonanzfrequenz um einen geringen Prozentsatz unterhalb der Schwingfrequenz der schwingfähigen Einheit im Medium liegt, dient der Entkopplung des Schwingsystems, wenn sich die Schwingfrequenz so weit verringert hat, dass das Kompensationselement, dessen Resonanzfrequenz bei der Schwingfrequenz im Medium liegt, die Entkopplung nicht mehr sicher stellen kann. Das vierte Kompensationselement kann nicht nur bei Ansatzbildung auftretende Kräfte kompensieren, sondern auch zur Kompensation bei Medien mit höherer Dichte dienen.
Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung besteht das schwingfähige Kompensationselement aus einer Kompensationsmasse und einem Federelement, wobei die Masse der Kompensationsmasse und die Steifigkeit des Federelements derart gewählt sind, dass die Schwingfrequenz des Kompensationselements der zu kompensierenden Schwingfrequenz der mechanisch schwingfähigen Einheit entspricht.
Gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Lösung besteht das schwingfähige Kompensationselement aus einer Kompensationsmasse und einer Membran.
In einem vorteilhaften Ausführungsbeispiel sind die Kompensationsmasse und die Membran des schwingfähigen Kompensationselements ringförmig ausgestaltet.
Eine Weiterbildung der erfindungsgemäßen Lösung besteht darin, dass ein Gehäuse vorgesehen ist, dass die mechanisch schwingfähige Einheit mit dem Gehäuse verbunden ist, und dass das schwingfähige Kompensationselement mit dem Gehäuse verbunden ist. Die Schwingungen der schwingfähigen Einheit werden durch diese Art der Anbringung des Kompensationselements über das Gehäuse an das Kompensationselement übertragen.
Gemäß einem Ausführungsbeispiel ist die Kompensationsmasse über die Membran mit dem Gehäuse verbunden. Durch die Dicke der Membran ist die Steifigkeit des Kompensationselements einstellbar.
Eine Ausgestaltung sieht vor, dass es sich bei der Prozessgröße um den Füllstand, die Dichte und/oder die Viskosität des Mediums handelt. Andere Prozessgrößen sind jedoch ebenfalls möglich.
Die Erfindung wird anhand der nachfolgenden Figuren näher erläutert.
1 zeigt eine schematische Darstellung einer schwingfähigen Einheit mit zwei Kompensationselementen;
2 zeigt eine schematische Darstellung einer schwingfähigen Einheit an einer Rohrverlängerung mit fünf Kompensationselementen.
1 zeigt eine schematische Detailansicht eines vibronischen Messgeräts 1, wobei der die schwingfähige Einheit umfassende Teil im Schnitt dargestellt ist. Der Übersicht wegen ist nur ein Schnitt der linken Hälfte dargestellt; um einen vollständigen Schnitt des ausgewählten Bereichs zu erhalten ist die linke Hälfte um die rechte Hälfte zu ergänzen, welche man durch Spiegelung der linken Hälfte an der eingezeichneten Symmetrieachse S erhält.
Die schwingfähige Einheit 2 ist hier als Membran dargestellt. Auf der Membran kann jedoch auch eine Schwinggabel, welche aus zwei voneinander beabstandeten Schwingstäben besteht, angebracht sein.
Die schwingfähige Einheit 2 ist Teil des Gehäuses 8 und schließt dieses in einem Endbereich ab.
An der sich im Gehäuse 8 befindenden Innenseite der schwingfähigen Einheit 2 ist die Antriebs-/Empfangseinheit 3 angebracht, welche die schwingfähige Einheit 2 zu resonanten Schwingungen anregt und deren Schwingungssignale empfängt. Bevorzugt handelt es sich bei der Antriebs-/Empfangseinheit 3 um piezoelektrische Elemente, wobei entweder dieselben piezoelektrischen Elemente zum Antrieb und zum Empfang dienen, oder Antriebselemente und separate Empfangselemente vorgesehen sind.
Im Gehäuse 8 sind ein erstes Kompensationselement 4 und ein zweites Kompensationselement 5 angebracht. In diesem Ausführungsbeispiel sind die Kompensationselemente 4, 5 jeweils aus einer Kompensationsmasse 10 und einer Membran 9 aufgebaut, wobei die Kompensationsmasse 10 über die Membran 9 mit dem Gehäuse 8 verbunden ist. Die Membran ist vorzugsweise kreisringförmig ausgestaltet. Die Steifigkeit der Membran 9 und die Masse der Kompensationsmasse 10 sind hierbei jeweils derart an die schwingfähige Einheit 2 angepasst, dass durch die Schwingung eines Kompensationselements 4, 5 die durch die Schwingungen der schwingfähigen Einheit 2 auf die Einspannung wirkenden Kräfte kompensiert werden.
Da die Reaktionskräfte von der Schwingfrequenz abhängen, sind zwei Kompensationselemente 4, 5 vorgesehen. Das erste Kompensationselement 4 ist an die Schwingfrequenz der schwingfähigen Einheit 2 in Luft, also in freiem Zustand, angepasst, während das zweite Kompensationselement 5 an die Schwingfrequenz im Medium, also im bedeckten Zustand angepasst ist. Da ein bestimmter Frequenzbereich zwischen den beiden Frequenzen liegt, auf welche die beiden Kompensationselemente 4, 5 abgestimmt sind, schwingt jeweils nur dasjenige Kompensationselement, dessen Resonanzfrequenz mit derjenigen der schwingfähigen Einheit 2 im aktuellen Bedeckungszustand übereinstimmt und das jeweils andere ist nahezu in Ruhe. Auf diese Weise ist gewährleistet, dass das vibronische Messgerät 1 sowohl in bedecktem als auch in freiem Zustand nahezu vollständig entkoppelt ist.
Um die unterschiedlichen Steifigkeiten und Massen der Kompensationselemente 4, 5 zu verdeutlichen sind die beiden Membrane 9 und die beiden Kompensationsmassen 10 jeweils unterschiedlich groß dargestellt. Hierbei handelt es sich jedoch lediglich um eine Illustration und keine realitätsgetreue Darstellung; Größen, Dicken und Abstände sind gemäß den jeweiligen kompensations- und konstruktionstechnischen Erfordernissen zu wählen.
2 offenbart einen Teilausschnitt eines vibronischen Messgeräts mit einer schwingfähigen Einheit 2 und fünf Kompensationselementen 4, 5, 6, 61, 7 in schematischer Darstellung. Neben dem ersten Kompensationselement 4 und dem zweiten Kompensationselement 5 sind in diesem bevorzugten Ausführungsbeispiel drei weitere Kompensationselemente 6, 61, 7 vorhanden. Die Massen und Steifigkeiten der weiteren Kompensationselemente 6, 61, 7 sind hierbei so an die Schwingungen der schwingfähigen Einheit 2 angepasst, dass die Entkopplung auch im Falle von teilweiser Bedeckung mit Medium und Ansatzbildung sichergestellt bleibt. Die Anzahl der Kompensationselemente ist hierbei nur beispielhaft gewählt. Es versteht sich von selbst, dass beliebig viele Kompensationselemente vorhanden sein können.
Die Schwingfrequenz wird bei Ansatzbildung verringert. Bei steigender Ansatzmenge verringert sich die Schwingfrequenz immer weiter, sodass die Resonanzfrequenz der Kompensationselemente nicht mehr getroffen wird und auch der Nahbereich um die Resonanzfrequenz verlassen wird, sodass das erste Kompensationselement 4 oder das zweite Kompensationselement 5 nicht mehr schwingt.
Zur Kompensation der bei Schwingung der schwingfähigen Einheit 2 mit einer bestimmten Ansatzmenge in Luft auftretenden Kräfte ist ein drittes Kompensationselement 6 am Gehäuse 8 angebracht, deren Masse und Steifigkeit derart angepasst ist, dass dessen Resonanzfrequenz zwischen den Frequenzen liegt, mit welchen die ansatzfreie schwingfähige Einheit 2 in Luft und im Medium schwingt.
Zur Kompensation der bei der Schwingung der schwingfähigen Einheit 2 mit einer bestimmten Ansatzmenge im Medium auftretenden Kräfte ist ein viertes Kompensationselement 7 vorgesehen, welches so ausgestaltet ist, dass es mit einer Frequenz schwingt, welche unterhalb der Schwingfrequenz der schwingfähigen Einheit 2 im Medium liegt. An welche Frequenz das vierte Kompensationselement 7 bevorzugt angepasst ist, kann beispielsweise aus Simulationen mit bestimmten typischen Ansatzmengen an der schwingfähigen Einheit bestimmt werden.
Gegebenenfalls ist ein fünftes Kompensationselement 61 am Gehäuse 8 angebracht, dessen Masse und Steifigkeit ähnliche Werte wie bei dem dritten Kompensationselement 6 annehmen, sodass dessen Resonanzfrequenz im Bereich zwischen der Schwingfrequenz in Luft und im Medium ohne Ansatz liegt. Beispielsweise wird der Frequenzbereich zwischen der Schwingfrequenz in Medium und der in Luft durch die Resonanzfrequenzen des dritten Kompensationselements 6 und des fünften Kompensationselements 61 in drei gleich große Intervalle unterteilt. Da ein Kompensationselement nicht nur bei seiner Resonanzfrequenz, sondern ebenfalls in einem Nahbereich um diese Resonanzfrequenz zu Schwingungen angeregt wird, ist hierdurch nicht nur die Kräftekompensation bei einer bestimmten Ansatzdicke sondern über einen bestimmten Bereich von Ansatzdicken gegeben. Der Nahbereich um die Resonanzfrequenz beträgt beispielsweise ein bis zwei Prozent.
Bezugszeichenliste

1: Vibronisches Messgerät
2: Mechanisch schwingfähige Einheit
3: Antriebs-/Empfangseinheit
4: Erstes Kompensationselement (Luft)
5: Zweites Kompensationselement (Medium)
6: Drittes Kompensationselement (Luft und Ansatz)
61: Fünftes Kompensationselement (Luft und Ansatz)
7: Viertes Kompensationselement (Medium und Ansatz)
8: Gehäuse
9: Membran
10: Kompensationsmasse
S: Symmetrieachse

Claims

Vorrichtung zur Bestimmung und/oder Überwachung mindestens einer Prozessgröße eines Mediums, mit einer mechanisch schwingfähigen Einheit (2), mit mindestens einer Antriebs-/Empfangseinheit (3), welche die mechanisch schwingfähige Einheit (2) zu mechanischen Schwingungen anregt und welche von der mechanisch schwingfähigen Einheit (2) mechanische Schwingungen empfängt, mit einer Regel-/Auswerteeinheit, welche die mechanischen Schwingungen der mechanisch schwingfähigen Einheit (2) regelt und welche die Prozessgröße bestimmt und/oder überwacht, mit einem ersten, mit der mechanisch schwingfähigen Einheit (2) gekoppelten, schwingfähigen Kompensationselement (4), und mit einem zweiten, mit der mechanisch schwingfähigen Einheit (2) gekoppelten, schwingfähigen Kompensationselement (5), wobei das erste Kompensationselement (4) derart ausgestaltet ist, dass dessen Resonanzfrequenz an die Schwingfrequenz der mechanisch schwingfähigen Einheit (2) in Luft angepasst ist, und wobei das zweite Kompensationselement (5) derart ausgestaltet ist, dass dessen Resonanzfrequenz an die Schwingfrequenz der mechanisch schwingfähigen Einheit (2) im Medium angepasst ist.
Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das schwingfähige Kompensationselement (4, 5, 6, 61, 7) derartig ausgestaltet ist, dass es gegenphasig zu der mechanisch schwingfähigen Einheit (2) schwingt.
Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein drittes, mit der mechanisch schwingfähigen Einheit (2) gekoppeltes, schwingfähiges Kompensationselement (6, 61) vorgesehen ist, welches derart ausgestaltet ist, dass dessen Resonanzfrequenz zwischen der Schwingfrequenz der mechanisch schwingfähigen Einheit (2) in Luft und der im Medium liegt.
Vorrichtung nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein viertes, mit der mechanisch schwingfähigen Einheit (2) gekoppeltes, schwingfähiges Kompensationselement (7) vorgesehen ist, welches derart ausgestaltet ist, dass dessen Resonanzfrequenz derart unterhalb der Schwingfrequenz der mechanisch schwingfähigen Einheit (2) im Medium liegt, dass sie einer Schwingfrequenz der mechanisch schwingfähigen Einheit (2) mit Ansatz im Medium oder ohne Ansatz und mit höherer Mediumsdichte entspricht.
Vorrichtung nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das schwingfähige Kompensationselement (4, 5, 6, 61, 7) aus einer Kompensationsmasse (10) und einem Federelement besteht, wobei die Masse der Kompensationsmasse (10) und die Steifigkeit des Federelements derart gewählt sind, dass die Schwingfrequenz des Kompensationselements (4, 5, 6, 61, 7) der zu kompensierenden Schwingfrequenz der mechanisch schwingfähigen Einheit (2) entspricht.
Vorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 1–5, dadurch gekennzeichnet, dass das schwingfähige Kompensationselement (4, 5, 6, 61, 7) aus einer Kompensationsmasse (10) und einer Membran (9) besteht.
Vorrichtung nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein Gehäuse (8) vorgesehen ist, dass die mechanisch schwingfähige Einheit (2) mit dem Gehäuse (8) verbunden ist, und dass das schwingfähige Kompensationselement (4, 5, 6, 61, 7) mit dem Gehäuse (8) verbunden ist.
Vorrichtung nach Anspruch 6 und 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Kompensationsmasse (10) über die Membran (9) mit dem Gehäuse (8) verbunden ist.
Vorrichtung nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei der Prozessgröße um den Füllstand, die Dichte und/oder die Viskosität des Mediums handelt.