DE102009031705A1 - Micromechanical pressure sensor has substrate and diaphragm, which has piezo-resistive sensor elements, where substrate has framework with rectangular cross section - Google Patents

Abstract

The micromechanical pressure sensor has a substrate and a diaphragm (2), which has piezo-resistive sensor elements. The substrate has a framework (1) with rectangular cross section, at which the diaphragm is arranged. A central arranged mass element (3) is provided at the lower surface of the diaphragm.

Description

Die Erfindung betrifft einen mikromechanischen Drucksensor mit einem Substrat und einer Membran, an der sich piezoresistive Sensorelemente befinden.The The invention relates to a micromechanical pressure sensor with a Substrate and a diaphragm on which piezoresistive sensor elements are located.

Die Erfindung ist vorzugsweise für Druckmessungen mit häufig wechselnden Belastungen einsetzbar.The Invention is preferably for pressure measurements with frequent can be used for changing loads.

Im Stand der Technik sind verschiedene mikromechanische Anordnungen zur Druckmessung bekannt.in the State of the art are various micromechanical arrangements known for pressure measurement.

In JP 61-82130 wird beispielsweise eine Drucksensorvorrichtung beschrieben, die Druckschwankungen eines Gases oder einer Flüssigkeit erkennt und in elektrische Signale umwandelt. Dabei wird eine Einrichtung verwendet, die Schwankungen des aufgebrachten Drucks als Änderungen der Oszillationsfrequenz eines Sensorteils erkennt.In JP 61-82130 For example, a pressure sensor device is described which detects pressure fluctuations of a gas or a liquid and converts it into electrical signals. In this case, a device is used which detects fluctuations in the applied pressure as changes in the oscillation frequency of a sensor part.

Ferner ist in DE 11 2004 002 281 T5 eine Anordnung zur Druckmessung angegeben, bei der ein Sensorsubstrat auf seiner unteren Oberfläche ein oberflächenakustisches Wellenelement zur Druckerkennung enthält, welches auf einem Trägersubstrat befestigt ist. Das oberflächenakustische Wellenelement ist zur Druckerkennung hermetisch in dem abgedichteten Raum eingeschlossen.Furthermore, in DE 11 2004 002 281 T5 an arrangement for pressure measurement is provided in which a sensor substrate on its lower surface contains a surface acoustic wave element for pressure detection, which is mounted on a carrier substrate. The surface acoustic wave element is hermetically sealed in the sealed space for pressure detection.

In US 44 54 771 ist eine Druckmessdose beschrieben, welche ein Substrat und eine Membran mit einem Masseelement enthält. An der Membran befinden sich Sensorelemente. Das Substrat weit einen kreisförmigen Rahmen auf, an dem die Membran angeordnet ist. Nachteilig ist dabei eine hohe Anfälligkeit gegen Quereinflüsse.In US 44 54 771 a pressure cell is described, which contains a substrate and a membrane with a mass element. There are sensor elements on the membrane. The substrate far a circular frame on which the membrane is arranged. The disadvantage here is a high susceptibility to cross influences.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Drucksensor der eingangs genannten Art zu schaffen, der geringe Abmessungen aufweist und bei dem Torsionsbeanspruchungen der Membran weitgehend vermieden werden.Of the Invention is based on the object, a pressure sensor of the beginning mentioned type to create, which has small dimensions and largely avoided in the torsional stresses of the membrane become.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe mit einer Anordnung gelöst, welche die in Anspruch 1 angegebenen Merkmale enthält.According to the invention the object is achieved with an arrangement which the claim 1 features specified.

Vorteilhafte Ausgestaltungen sind in den Unteransprüchen angegeben.advantageous Embodiments are specified in the subclaims.

Gegenstand der Erfindung sind auch Merkmalskombinationen bei denen die in der Beschreibung und/oder in den Ansprüchen angegebenen Einzelmerkmale beliebig miteinander kombiniert werden.object The invention also feature combinations in which in the Description and / or specified in the claims individual features be combined with each other as desired.

Der Drucksensor weist ein Substrat mit einem Rahmen auf, an dem die Membran angeordnet ist. An der Unterseite der Membran befindet sich ein zentral angeordnetes Masseelement. Damit werden geringe Abmessungen der Anordnung ermöglicht. Die streifenförmigen Abschnitte der Membran, die sich zwischen Rahmen und Masseelement befinden, sind jeweils mit zwei partiellen Verstärkungen versehen. Damit werden sowohl eine hohe Sicherheit gegenüber Torsionsbeanspruchungen erreicht als auch Nichtlinearitäten der Druck-Auslenkungs-Abhängigkeit verringert. Zweckmäßigerweise befinden sich die piezoresistiven Sensoren in den Verstärkungen.Of the Pressure sensor has a substrate with a frame on which the Membrane is arranged. At the bottom of the membrane is located a centrally located mass element. This will be small dimensions the arrangement allows. The strip-shaped Sections of the diaphragm, extending between frame and mass element are each with two partial reinforcements Mistake. This is both a high security compared Torsional stresses achieved as well as nonlinearities reduces the pressure-deflection dependence. Conveniently, the piezoresistive sensors are located in the reinforcements.

Eine vorteilhafte Ausführung sieht vor, dass die Verstärkungen symmetrisch jeweils rechts und links der Mitte der streifenförmigen Abschnitte angebracht sind.A advantageous embodiment provides that the reinforcements symmetrical in each case right and left of the middle of the strip-shaped Sections are attached.

Ferner ist es möglich, dass die streifenförmigen Verstärkungen an den Ecken des Masseelementes angeordnet sind.Further it is possible that the strip-shaped reinforcements are arranged at the corners of the mass element.

Eine weitere vorteilhafte Ausführung entsteht dadurch, dass die piezoresistiven Zonen in der Membran zu einer Wheatstonschen Messbrücke geschaltet sind, mit der die druckabhängige Auslenkung der Membran erfasst wird.A Another advantageous embodiment arises from the fact that the piezoresistive zones in the membrane to a Wheatstone Measuring bridge are connected, with the pressure-dependent Deflection of the membrane is detected.

Die zweifache Anordnung der Versteifungen ermöglicht es, dass die piezoresistiven Zonen in der Membran zu zwei Wheatstonschen Messbrücken geschaltet sind. Damit können auch Temperaturunterschiede bei der Messung kompensiert werden.The double arrangement of the stiffeners allows that the piezoresistive zones in the membrane to two Wheatstone Measuring bridges are connected. With that too can Temperature differences are compensated during the measurement.

Die Erfindung wird im Folgenden anhand eines Ausführungsbeispieles näher erläutert.The Invention will be described below with reference to an embodiment explained in more detail.

In den zugehörigen Zeichnungen zeigen:In show the accompanying drawings:

1 eine perspektivische Ansicht eines Ausschnittes auf eine Anordnung mit außermittiger Verstärkung der Membran, 1 a perspective view of a section of an arrangement with eccentric reinforcement of the membrane,

2 eine perspektivische Ansicht eines Ausschnittes auf eine Anordnung mit Verstärkung der Membran an den Ecken, und 2 a perspective view of a section of an arrangement with reinforcement of the membrane at the corners, and

3 eine schematische Darstellung einer Messbrückenschaltung. 3 a schematic representation of a measuring bridge circuit.

Die in 1 dargestellte Anordnung besteht aus einem Substrat, welches einen rechteckförmigen Rahmen 1 enthält, an dessen Oberseite eine Membran 2 angeordnet ist. An der Unterseite der Membran 2 befindet sich ein zentral angeordnetes Masseelement 3 mit rechteckigem Querschnitt. Die Membran 2 ist mit piezoresistiven Sensorelementen versehen. Diese sind im Randbereich der Membran 2 in diese eindiffundiert. Die streifenförmigen Abschnitte der Membran 2, die sich zwischen Rahmen und Masseelement 3 befinden, sind mit jeweils zwei partiellen Verstärkungen 2.1 und 2.2 versehen. Diese Verstärkungen 2.1, 2.5 oder 2.2 und 2.6 oder 2.3 und 2.7 oder 2.4 und 2.8 sind symmetrisch rechts und links der Mitte der streifenförmigen Abschnitte angebracht.In the 1 illustrated arrangement consists of a substrate, which is a rectangular frame 1 contains, at its top a membrane 2 is arranged. At the bottom of the membrane 2 There is a centrally located mass element 3 with rectangular cross section. The membrane 2 is provided with piezoresistive sensor elements. These are in the edge region of the membrane 2 diffused into this. The strip-shaped sections of the membrane 2 that is between frame and mass lement 3 are each with two partial reinforcements 2.1 and 2.2 Mistake. These reinforcements 2.1 . 2.5 or 2.2 and 2.6 or 2.3 and 2.7 or 2.4 and 2.8 are symmetrically mounted on the right and left of the middle of the strip-shaped sections.

Bei der in 2 gezeigten Ausführung befinden sich die Verstärkungen 2.1 ... 2.8 der streifenförmigen Abschnitte an den Ecken des Massenelementes.At the in 2 The execution shown are the reinforcements 2.1 ... 2.8 the strip-shaped sections at the corners of the mass element.

In 3 ist eine Messbrückenschaltung schematisch dargestellt. In jedem der acht Verstärkungen 2.1 ... 2.8 befinden sich piezoresistive Sensorelemente. Dabei bildet jeweils ein piezoresistives Sensorelement aus einer sich in einem Streifen befindenden Verstärkung 2.1, 2.2, 2.3 und 2.4 ein Widerstandselement einer Messbrücke. Eine zweite Messbrücke kann aus den piezoresistiven Sensorelementen gebildet werden, die sich in den Verstärkungen 2.5, 2.6, 2.7 und 2.8 befinden. Beide Messbrücken enthalten je ein Widerstandselement, welches einem der vier streifenförmigen Membranabschnitten zugeordnet ist.In 3 a measuring bridge circuit is shown schematically. In each of the eight reinforcements 2.1 ... 2.8 are piezoresistive sensor elements. In each case, a piezoresistive sensor element forms from a reinforcement located in a strip 2.1 . 2.2 . 2.3 and 2.4 a resistance element of a measuring bridge. A second measuring bridge can be formed from the piezoresistive sensor elements located in the reinforcements 2.5 . 2.6 . 2.7 and 2.8 are located. Both measuring bridges each contain a resistance element which is assigned to one of the four strip-shaped membrane sections.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

11

Rahmenframe

22

Membranmembrane

2.1 ... 2.82.1 ... 2.8

Verstärkungreinforcement

33

Masseelementmass element

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

• - JP 61-82130 [0004] - JP 61-82130 [0004]
• - DE 112004002281 T5 [0005] - DE 112004002281 T5 [0005]
• - US 4454771 [0006] US 4454771 [0006]

Claims (3)

Mikromechanischer Drucksensor mit einem Substrat und einer Membran (2), an der sich piezoresistive Sensorelemente befinden, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat einen Rahmen (1) mit rechteckigen Querschnitt aufweist, an dem die Membran (2) angeordnet ist, wobei sich an der Unterseite der Membran (2) ein zentral angeordnetes Masseelement (3) befindet und die Membran (2) an streifenförmigen Abschnitten, die sich zwischen Rahmen (1) und Masseelement (3) an dessen Ecken befinden, mit jeweils zwei partiellen Verstärkungen (2.1, 2.2) versehen ist, die symmetrisch rechts und links der Mitte der streifenförmigen Abschnitte angebracht sind.Micromechanical pressure sensor with a substrate and a membrane ( 2 ), on which piezoresistive sensor elements are located, characterized in that the substrate has a frame ( 1 ) having a rectangular cross section, on which the membrane ( 2 ) is arranged, wherein at the bottom of the membrane ( 2 ) a centrally arranged mass element ( 3 ) and the membrane ( 2 ) on strip-shaped sections extending between frames ( 1 ) and mass element ( 3 ) at its corners, each with two partial reinforcements ( 2.1 . 2.2 ), which are mounted symmetrically on the right and left of the middle of the strip-shaped sections. Drucksensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die piezoresistiven Zonen in der Membran (2) zu einer Wheatstonschen Messbrücke geschaltet sind, mit der die druckabhängige Auslenkung der Membran (2) erfasst wird.Pressure sensor according to claim 1, characterized in that the piezoresistive zones in the membrane ( 2 ) are connected to a Wheatstone bridge, with which the pressure-dependent deflection of the membrane ( 2 ) is detected. Drucksensor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die piezoresistiven Zonen in der Membran (2) zu zwei Wheatstonschen Messbrücken geschaltet sind.Pressure sensor according to claim 1 or 2, characterized in that the piezoresistive zones in the membrane ( 2 ) are connected to two Wheatstone bridges.

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