DE102009028258A1 - Relative pressure sensor for detecting difference between media pressure and atmospheric pressure, has reference air path running between base plate and substrate body beside pressure-bearing bonded joint, so that joint encloses path - Google Patents

Relative pressure sensor for detecting difference between media pressure and atmospheric pressure, has reference air path running between base plate and substrate body beside pressure-bearing bonded joint, so that joint encloses path Download PDF

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Abstract

The sensor (1) has a pressure transducer held in a transducer chamber by a base plate (4) and socket (5). The base plate and the socket close an opening of the chamber in a pressure-tight manner, and a measurement membrane (14) has a side that is pressurized with media pressure by a pressure line, where the side is turned toward a reference pressure chamber (11). A reference air path i.e. reference air pipe (8), runs between the base plate and a substrate body (3) beside a pressure-bearing bonded joint (7), so that the joint encloses the path or the path encloses the joint.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Relativdrucksensor, zum Erfassen der Differenz zwischen einem Mediendruck und dem Atmosphärendruck.The The present invention relates to a relative pressure sensor for detecting the difference between a media pressure and the atmospheric pressure.

Ein gattungsgemäßer Relativdrucksensor umfasst
einen Druckmesswandler, wobei der Druckmesswandler eine Messmembran und einen Substratkörper aufweist, wobei zwischen der Messmembran und dem Substratkörper eine Referenzdruckkammer ausgebildet ist,
einen Trägerkörper, wobei der Substratkörper mittels einer drucktragenden Klebung mit dem Trägerkörper verbunden ist,
wobei sich durch den Substratkörper und den Trägerkörper ein Referenzdruckpfad erstreckt, um den Referenzdruck in die Referenzdruckkammer einzuleiten,
einen Messwerkkörper, in dem eine Wandlerkammer ausgebildet ist,
wobei die Wandlerkammer eine erste Öffnung und eine zweite Öffnung aufweist,
wobei der Druckmesswandler durch die erste Öffnung in die Wandlerkammer eingebracht ist und mittels des Trägerkörpers in der Wandlerkammer gehalten wird,
wobei der Trägerkörper die erste Öffnung druckdicht verschließt, und
wobei eine der Referenzdruckkammer abgewandte Seite der Messmembran durch die zweite Öffnung mit dem Mediendruck beaufschlagbar ist.A generic relative pressure sensor comprises
a pressure transducer, wherein the pressure transducer comprises a measuring membrane and a substrate body, wherein between the measuring diaphragm and the substrate body, a reference pressure chamber is formed,
a carrier body, wherein the substrate body is connected by means of a pressure-bearing adhesive bond to the carrier body,
wherein a reference pressure path extends through the substrate body and the carrier body to introduce the reference pressure into the reference pressure chamber,
a measuring body in which a transducer chamber is formed,
wherein the transducer chamber has a first opening and a second opening,
wherein the pressure transducer is introduced through the first opening in the converter chamber and is held by means of the carrier body in the converter chamber,
wherein the carrier body pressure-tightly closes the first opening, and
wherein a side facing away from the reference pressure chamber of the measuring diaphragm can be acted upon by the second opening with the media pressure.

Bei gattungsgemäßen Relativdrucksensoren erweist es sich als Problem, dass die drucktragende Klebung feuchteempfindlich ist. Dies führt zu mechanischen Spannungen im Druckmesswandler, die letztlich Messfehler bewirken. Dazu beschreibt die deutsche Patentanmeldung mit dem Aktenzeichen 10 2008 043 175 Ansätze, die Topologie der drucktragenden Klebung, durch welche bei den gattungsgemäßen Relativdrucksensoren der Referenzdruckpfad verläuft, dergestalt zu verändern, dass die drucktragende Klebung mit einer Feuchtebarriere vor der Referenzluft geschützt wird.In generic relative pressure sensors, it proves to be a problem that the pressure-bearing bond is sensitive to moisture. This leads to mechanical stresses in the pressure transducer, which ultimately cause measurement errors. This describes the German patent application with the file reference 10 2008 043 175 Approaches to change the topology of the pressure-bearing bond through which runs in the generic relative pressure sensors of the reference pressure path, such that the pressure-bearing bond is protected with a moisture barrier from the reference air.

Wenngleich diese Ansätze eine Verbesserung bewirken, sind sie keine grundsätzlichen Lösungen, da die Arten der Barrieren, beispielsweise eine Silikonschicht auf der Klebung oder ein Gummischlauch zwischen Klebung und Referenzluftpfad nicht hermetisch dicht sind und insofern im Verhältnis zum Aufwand hinsichtlich der erzielten Verbesserung noch zu wünschen übrig lassen.Although these approaches are an improvement, they are not fundamental solutions, as the types of barriers, For example, a silicone layer on the bond or a rubber hose between bond and reference air path are not hermetically sealed and thus in relation to the effort in terms of improvement still to be desired to let.

Es ist daher die Aufgabe der Erfindung, hier Abhilfe zu schaffen.It is therefore the object of the invention to remedy this situation.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch den Relativdrucksensor gemäß dem unabhängigen Patentanspruch 1.The The object is achieved by the relative pressure sensor according to the independent Claim 1.

Der erfindungsgemäße Relativdrucksensor, ist gegenüber einem gattungsgemäßen Relativdrucksensor dadurch gekennzeichnet, dass der Referenzluftpfad zwischen Trägerkörper und Substratkörper neben der drucktragenden Klebung verläuft, wobei weder die drucktragende Klebung den Referenzuftpfad umschließt noch der Referenzluftpfad die drucktragende Klebung umschließt.Of the Relative pressure sensor according to the invention, is opposite a generic relative pressure sensor characterized characterized in that the reference air path between the carrier body and substrate body runs next to the pressure-bearing bond, wherein neither the pressure-bearing bond surrounds the reference air path nor the reference air path encloses the pressure-bearing bond.

Der Begriff „drucktragend” bezeichnet im Zusammenhang mit der vorliegenden Erfindung die Eigenschaft, dass jene Kräfte, welche aufgrund einer Druckbeaufschlagung des Druckmesswandlers in der Wandlerkammer auf die Klebung einwirken, praktisch zu keinen irreversiblen Verformungen der Klebung führen, die eine Auswirkung auf die den Nullpunkt und die Spanne des Sensors haben könnten.Of the Term "pressure bearing" in connection with the present invention the property that those forces, which due to pressurization of the pressure transducer act in the transducer chamber on the bond, virtually no cause irreversible deformation of the bond, the one Affect the zero and span of the sensor could.

Die Schubspannung in der Klebung sollte bei einer Druckbaufschlagung des beispielsweise nicht mehr als das E/500, vorzugsweise nicht mehr als das E/1000 betragen, wobei E das Elastizitätsmodul des für die Klebung verwendeten Werkstoffs ist.The Shear stress in the bond should be at a Druckbaufschlagung for example, not more than the E / 500, preferably not more than the E / 1000, where E is the modulus of elasticity of the material used for the bonding is.

Es ist offensichtlich, dass die tatsächlich auftretende Schubspannung drei Größen eingehen, nämlich erstens die Materialeigenschaften des Werkstoffs, zweitens die wirksame Fläche der Klebung und drittens der anliegende Druck, bzw. der spezifizierte Maximaldruck.It is obvious that the actual shear stress occurring three sizes, namely first the material properties of the material, secondly the effective Surface of the bond and thirdly the applied pressure, or the specified maximum pressure.

Als Werkstoff für die Klebung sind insbeondere Epoxidklebstoffe geeignet, welche beispielsweise ein Elastizitätsmodul zwischen etwa 2000 MPa und etwa 4000 MPa aufweisen können.When Bonding materials are, in particular, epoxy adhesives suitable, for example, a modulus of elasticity between may have about 2000 MPa and about 4000 MPa.

Die wirksame Fläche der Klebung ist in einer Weiterbildung der Erfindung gegenüber der Grundfläche des Substratkörpers reduziert, um auf diese Weise eine Einschnürung zwischen Substratkörper und Trägerkörper auszubilden. Die Einschnürung bewirkt, dass mechanische Spannungen im Substratkörper aufgrund unterschiedlicher Wärmeausdehnungskoeffizienten von Substratkörper und Trägerkörper gegenüber einer Ausgestaltung mit einer Klebung über die gesamte Basisfläche des Substratkörpers reduziert sind. Insoweit als die Klebung nun vollflächig sein kann, und keinen Durchgang für den Referenzdruckpfad enthält, kann die gleiche wirksame Fläche der Klebung bei geringeren äußeren Abmessungen erzielt werden, was mit einer Reduzierung der durch die Klebung bewirkten mechanischen Spannungen im Substratkörper einhergeht. In einer Weiterbildung der Erfindung beträgt die vom Rand der Klebung eingeschlossene Fläche nicht mehr als 18%, vorzugsweise nicht mehr als 12% und weiter bevorzugt nicht mehr als 6% der Basisfläche des Substratkörpers.The effective surface of the bond is in a development the invention relative to the base surface of the substrate body reduced, in this way a constriction between Form substrate body and carrier body. The constriction causes mechanical stresses in the Substrate body due to different thermal expansion coefficients of substrate body and carrier body opposite an embodiment with a bond over the entire Base surface of the substrate body are reduced. Insofar as the bond can now be full-surface, and does not contain a passage for the reference pressure path, can be the same effective area of adhesion at lower outer Dimensions are achieved, resulting in a reduction of through the Bonding caused mechanical stresses in the substrate body accompanied. In one embodiment of the invention the area enclosed by the edge of the bond no longer than 18%, preferably not more than 12% and more preferably not more as 6% of the base area of the substrate body.

In einer Weiterbildung umfasst der Referenzdruckpfad einen ersten Abschnitt mit einem Kanal durch den Substratkörper umfasst, der sich zwischen einer ersten Öffnung in einer ersten Oberfläche des Substratkörpers, die der Referenzdruckkammer zugewandt ist, und einer zweiten Öffnung in einer zweiten Oberfläche des Substratkörpers, die dem Trägerkörper zugewandt ist, erstreckt, wobei die zweite Öffnung in der zweiten Oberfläche mit einem zweiten Abschnitt des Referenzdruckpfads kommuniziert, der sich durch den Trägerkörper erstreckt.In In a further development, the reference print path comprises a first section comprising a channel through the substrate body extending between one first opening in a first surface of the substrate body, which faces the reference pressure chamber, and a second opening in a second surface of the substrate body, which faces the carrier body, extends, the second opening in the second surface communicates with a second portion of the reference print path, which extends through the carrier body.

In einer Ausgestaltung der Erfindung fluchtet die zweite Öffnung mit einer dritten Öffnung, des zweiten Abschnitts des Referenzdruckpfads, wobei zwischen der zweiten Öffnung und der dritten Öffnung ein ringförmiger Dichtungskörper angeordnet ist, durch welchen der erste Abschnitt des Referenzdruckpfades mit dem zweiten Abschnitt des Referenzdruckpfades druckdicht verbunden ist.In According to one embodiment of the invention, the second opening is aligned with a third opening, the second portion of the reference printing path, being between the second opening and the third opening an annular sealing body is arranged, by which the first portion of the reference pressure path with the second section of the reference pressure path is connected pressure-tight.

Der Dichtungskörper ist in einer Ausgestaltung der Erfindung nicht drucktragend. Insbesondere weist der Dichtungskörper einen Werkstoff auf dessen Elastizitätsmodul mindestens um einen Faktor 5, bevorzugt mindestens um einen Faktor 10 weiter bevorzugt mindestens um einen Faktor 20 kleiner ist als das Elastizitätsmodul des Werkstoffs der Klebung.Of the Sealing body is in one embodiment of the invention not pressure-bearing. In particular, the sealing body a material on its modulus of elasticity at least by a factor of 5, preferably at least a factor of 10 further is preferably at least a factor of 20 smaller than the elastic modulus the material of the bond.

Der Dichtungskörper umfasst vorzugsweise ebenfalls einen Klebstoff, so dass er weitgehend ohne Einspannkräfte in Position gehalten wird. Der Dichtungskörper kann als Werkstoff ein Elastomer bzw. einen elastomerhaltigen Klebstoff aufweisen, insbesondere Silikonkleber, welche beispielsweise ein Elastizitätsmodul zwischen etwa 10 MPa und 100 MPa aufweisen können.Of the Sealing body preferably also comprises an adhesive, so that he kept largely in position without clamping forces becomes. The sealing body may be an elastomer or have an elastomeric adhesive, in particular silicone adhesive, which, for example, a modulus of elasticity between about 10 MPa and 100 MPa.

In einer Ausgestaltung der Erfindung ist die Anlagefläche des Dichtungskörpers an dem Substratkörper, welche mit der Anlagefläche des Dichtungskörper um die dritte Öffnung mindestens um einen Faktor 2, bevorzugt mindestens um einen Faktor 4 kleiner als die wirksame Fläche der Klebung an dem Substratkörper, die mit der wirksamen Fläche der Klebung an dem Trägerkörper fluchtet.In An embodiment of the invention is the contact surface the sealing body on the substrate body, which with the contact surface of the seal body to the third opening at least a factor of 2, preferably at least a factor of 4 smaller than the effective area the bond to the substrate body, with the effective Surface of the bond to the carrier body flees.

Durch die beschriebene, weiche Ausgestaltung des Dichtungskörpers, ist gewährleistet, dass keine unvertretbar großen mechanischen Spannungen über den Dichtkörper in den Substratkörper eingeleitet werden.By the described, soft design of the seal body, is guaranteed that no unreasonably large mechanical stresses on the sealing body in the substrate body are introduced.

Der Trägerkörper kann einteilig oder mehrteilig gestaltet sein. In einer Weiterbildung der Erfindung umfasst er eine Basisplatte, ein Rohr, welches sich durch die Basisplatte erstreckt, und den zweiten Abschnitt des Referenzdruckpfades bildet, sowie einen Sockel, der an der Basisplatte befestigt ist, und an dem der Substratkörper mittels der Klebung befestigt ist.Of the Carrier body can be designed in one piece or multiple parts be. In a development of the invention, it comprises a base plate, a tube which extends through the base plate, and the second section of the reference pressure path, and a pedestal, which is attached to the base plate, and on which the substrate body is attached by means of gluing.

Die Erfindung wird nun anhand des in den Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispiels erläutert. Es zeigt:The Invention will now be described with reference to the embodiment shown in the drawings explained. It shows:

1: einen Längsschnitt durch ein Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Druckmesswandler; und 1 a longitudinal section through an embodiment of a pressure transducer according to the invention; and

2: einen Längsschnitt durch einen Erfindungsgemäßen Relativdrucksensor. 2 : a longitudinal section through a relative pressure sensor according to the invention.

Der in 1 gezeigte Druckmesswandler 1 umfasst einen Siliziumchip 2, der mittels anodischen Verbindens an einem im wesentlichen quaderförmigen Substratkörper 3 befestigt ist, welcher ein Borosilikatglas (Pyrex) aufweist. Der Substratkörper ist an einem Trägerkörper befestigt, wobei der Trägerkörper eine Basisplatte 4 und einen Sockel 5 umfasst, der mit einer Hartlotverbindung 6 in einer Bohrung der Basisplatte 4 befestigt ist. An einer Stirnfläche des Sockels 5, die einer Basisfläche des Substratkörpers 3 zugewandt ist, ist der Substratkörper mittels einer drucktragenden Klebung 7 befestigt. Die drucktragende Klebung kann insbesondere ein Epoxydharz umfassen. Der Trägerkörper umfasst weiterhin ein Referenzluftrohr 8, welches in einer Bohrung der Basisplatte 4 mittels einer Hartlotverbindung 9 fixiert ist. Das Rohr 8 fluchtet mit einer Bohrung 10, die sich in axialer Richtung durch den Substratkörper 3 erstreckt und in einer Referenzdruckkammer 11 mündet, die zwischen dem Siliziumchip 2 und dem Substratköper 3 ausgebildet ist. Zwischen der Bohrung 10 und dem Referenzluftrohr 8 ist ein Dichtungskörper 12 angeordnet, der aus einem Silikonkleber gebildet ist. Der Dichtungskörper 12 dichtet den Referenzluftpfad 12 durch die Bohrung 10 und des Referenzluftrohr 8 gegenüber der Umgebung ab und verhindert das Eindringen von Öl, mit welchem der Substratkörper 3 und der Siliziumchip 2 im Messbetrieb isostatisch beaufschlagt werden. Der Siliziumchip 2 umfasst einen Randbereich 13, dessen Basis des anodischen Verbindens an einer Oberfläche des Substratkörpers 2 befestigt ist, und eine Messmembran 14, welche von dem Randbereich bereits getragen wird, und welche eine Wandlerschaltung aufweist, um eine druckabhängige Verformung der Messmembran in ein elektrisches Signal zu wandeln. Die Wandlerschaltung umfasst beispielsweise piezoresistive Widerstandselemente. Gleichermaßen kann ein kapazitiver Wandler vorgesehen, sein, wobei mindestens eine Elektrode an der Messmembran vorzusehen ist. Eine Gegenelektrode kann beispielsweise am Substratkörper oder einem Grundkörper vorgesehen sein, der ggf. zwischen Substratkörper und Messmembran angeordnet ist.The in 1 shown pressure transducer 1 includes a silicon chip 2 by means of anodic bonding to a substantially cuboid substrate body 3 attached, which has a borosilicate glass (Pyrex). The substrate body is attached to a carrier body, wherein the carrier body is a base plate 4 and a pedestal 5 includes that with a braze joint 6 in a hole in the base plate 4 is attached. On an end face of the base 5 that is a base surface of the substrate body 3 is facing, the substrate body by means of a pressure-bearing bond 7 attached. The pressure-bearing adhesive bond may in particular comprise an epoxy resin. The carrier body further comprises a reference air tube 8th which is in a hole in the base plate 4 by means of a braze joint 9 is fixed. The pipe 8th Aligns with a hole 10 extending in the axial direction through the substrate body 3 extends and in a reference pressure chamber 11 which flows between the silicon chip 2 and the substrate body 3 is trained. Between the hole 10 and the reference air tube 8th is a sealing body 12 arranged, which is formed of a silicone adhesive. The seal body 12 seals the reference air path 12 through the hole 10 and the reference air tube 8th from the environment and prevents the penetration of oil, with which the substrate body 3 and the silicon chip 2 be applied isostatically in measuring operation. The silicon chip 2 includes a border area 13 , whose base of anodic bonding on a surface of the substrate body 2 is attached, and a measuring diaphragm 14 , which is already carried by the edge region, and which has a converter circuit to convert a pressure-dependent deformation of the measuring diaphragm into an electrical signal. The converter circuit comprises, for example, piezoresistive resistance elements. Similarly, a capacitive transducer may be provided, wherein at least one electrode is to be provided on the measuring diaphragm. A counterelectrode can be provided, for example, on the substrate body or on a base body, which is optionally arranged between the substrate body and the measuring membrane.

2 zeigt nun schematisch, wie der Druckmesswandler aus 1 in einem Messwerkkörper angeordnet ist, um den erfindungsgemäßen Relativdrucksensor zu vervollständigen. Der Relativdrucksensor umfasst außer dem Druckmesswandler 1 einen Messwerkkörper 20, in dem durch eine Sacklochbohrung eine Wandlerkammer 21 ausgebildet ist. Von einer der Wandlerkammer 21 abgewandten äußeren Oberfläche 22 des Messwerkkörpers 20 erstreckt sich eine Druckzuleitung 23 zu einer Stirnfläche 24 der Wandlerkammer 21. Die Druckzuleitung 23 erfüllt vorzugsweise die Anforderungen an eine Flammendurchschlagsperre. An der äußeren Oberfläche 22 ist ein Membranbett 25 ausgebildet, welches unter Bildung einer Druckeinleitungskammer 26 von einer Trennmembran 27 überdeckt ist, die entlang ihres Randes druckdicht mit der äußeren Oberfläche 22 verschweißt ist. Der Druckmesswandler ist mit dem Siliziumchip 2 voran in die Wandlerkammer 21 eingesetzt, wobei die Basisplatte 4 durch Hartlöten oder durch Schweißen druckdicht mit dem Messwerkkörper verbunden ist. Das verbleibende freie Volumen in der Wanderkammer 21, die Druckzuleitung 23 und die Druckeinleitungskammer 26 sind mit einer Übertragungsflüssigkeit, insbesondere einem Übertragungsöl gefüllt, um einem auf die Trennmembran 27 einwirkenden Druck auf die Messmembran des Druckmesswandlers zu übertragen. Die Auslenkung der Messmembran des Druckmesswandlers hängt von der Differenz zwischen dem angeleitetem Mediendruck und dem in der Referenzdruckkammer 26 wirkenden Atmosphärendruck ab. 2 now shows schematically how the pressure transducer from 1 in a measuring mechanism body is arranged to complete the relative pressure sensor according to the invention. The relative pressure sensor includes except the pressure transducer 1 a measuring body 20 in which by a blind hole a converter chamber 21 is trained. From one of the converter chamber 21 remote outer surface 22 of the measuring mechanism body 20 extends a pressure supply line 23 to a face 24 the converter chamber 21 , The pressure supply line 23 preferably meets the requirements for a flame arrester. At the outer surface 22 is a membrane bed 25 formed, which to form a pressure introduction chamber 26 from a separation membrane 27 is covered, along its edge pressure-tight with the outer surface 22 is welded. The pressure transducer is connected to the silicon chip 2 ahead in the converter chamber 21 used, with the base plate 4 by brazing or by welding pressure-tightly connected to the measuring body. The remaining free volume in the moving chamber 21 , the pressure supply 23 and the pressure introduction chamber 26 are filled with a transfer liquid, in particular a transfer oil to one on the separation membrane 27 to transmit acting pressure to the measuring diaphragm of the pressure transducer. The deflection of the measuring diaphragm of the pressure transducer depends on the difference between the applied fluid pressure and that in the reference pressure chamber 26 acting atmospheric pressure.

Durch die dargestellte Konstruktion ist die drucktragende Klebung 7 von jeglichen Feuchteeinflüssen geschützt, wodurch die Gefahr des Quellens der Klebung und damit einhergehende Probleme eliminiert sind.The illustrated construction is the pressure-bearing bond 7 protected from any moisture, eliminating the risk of swelling and associated problems.

Die Kontaktierung der Wandlerschaltung kann beispielsweise in der Weise erfolgen, wie es in der Patentanmeldung mit dem Aktenzeichen 10 2009 001133 dargestellt ist. Gleichermaßen können die dort offenbarten Füllkörper in der Wandlerkammer vorgesehen sein, um das verbleibende Ölvolumen zu minimieren. Auf die Darstellung der Kontaktierung und der Füllkörper wird in der vorliegenden Anmeldung im sinne der Übersichtlichkeit verzichtet.The Contacting the converter circuit, for example, in the way be carried out as in the patent application with the file number 10 2009 001133 is shown. Likewise provided there filler material provided in the converter chamber be to minimize the remaining oil volume. On the representation of the contact and the filler is in the present application in the sense of clarity waived.

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • - DE 102008043175 [0003] - DE 102008043175 [0003]

Claims (5)

Relativdrucksensor umfassend: einen Druckmesswandler (1), wobei der Druckmesswandler eine Messmembran (14) und einen Substratkörper (3) aufweist, wobei zwischen der Messmembran (14) und dem Substratkörper (3) eine Referenzdruckkammer (11) ausgebildet ist, einen Trägerkörper (4, 5), wobei der Substratkörper mittels einer drucktragenden Klebung (7) mit dem Trägerkörper verbunden ist, wobei sich durch den Substratkörper (3) und den Trägerkörper (4) ein Referenzdruckpfad (10, 8) erstreckt, um den Referenzdruck in die Referenzdruckkammer (11) einzuleiten, einen Messwerkkörper (20), in dem eine Wandlerkammer ausgebildet ist, wobei die Wanderkammer (21) eine erste Öffnung und eine zweite Öffnung (23) aufweist, wobei der Druckmesswandler (1) durch die erste Öffnung in die Wandlerkammer eingebracht ist und mittels des Trägerkörpers in der Wanderkammer gehalten wird, wobei der Trägerkörper (4) die erste Öffnung druckdicht verschließt, und wobei eine der Referenzdruckkammer (11) abgewandte Seite der Messmembran (14) durch die zweite Öffnung mit dem Mediendruck beaufschlagbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Referenzluftpfad (10, 8) zwischen Trägerkörper (4, 5) und Substratkörper (3) neben der drucktragenden Klebung (7) verläuft, wobei weder die drucktragende Klebung den Referenzuftpfad umschließt noch der Referenzluftpfad die drucktragende Klebung umschließt.Relative pressure sensor comprising: a pressure transducer ( 1 ), wherein the pressure transducer is a measuring membrane ( 14 ) and a substrate body ( 3 ), wherein between the measuring membrane ( 14 ) and the substrate body ( 3 ) a reference pressure chamber ( 11 ) is formed, a carrier body ( 4 . 5 ), wherein the substrate body by means of a pressure-bearing bond ( 7 ) is connected to the carrier body, wherein through the substrate body ( 3 ) and the carrier body ( 4 ) a reference pressure path ( 10 . 8th ) extends to the reference pressure in the reference pressure chamber ( 11 ), a measuring body ( 20 ), in which a converter chamber is formed, wherein the traveling chamber ( 21 ) a first opening and a second opening ( 23 ), wherein the pressure transducer ( 1 ) is introduced through the first opening in the converter chamber and is held by means of the carrier body in the moving chamber, wherein the carrier body ( 4 ) closes the first opening pressure-tight, and wherein one of the reference pressure chamber ( 11 ) facing away from the measuring membrane ( 14 ) can be acted upon by the second opening with the media pressure, characterized in that the reference air path ( 10 . 8th ) between carrier body ( 4 . 5 ) and substrate body ( 3 ) next to the pressure-bearing bond ( 7 ), wherein neither the pressure-bearing adhesive encloses the reference air path nor the reference air path enclosing the pressure-bearing bond. Relativdrucksensor nach Anspruch 1, wobei der Referenzdruckpfad einen ersten Abschnitt mit einem Kanal durch den Substratkörper umfasst, der sich zwischen einer ersten Öffnung in einer ersten Oberfläche des Substratkörpers, die der Referenzdruckkammer zugewandt ist, und einer zweiten Öffnung in einer zweiten Oberfläche des Substratkörpers, die dem Trägerkörper zugewandt ist, erstreckt, wobei der Referenzdruckpfad weiterhin einen zweiten Abschnitt umfasst, wobei die zweite Öffnung in der zweiten Oberfläche mit dem zweiten Abschnitt des Referenzdruckpfads kommuniziert, der sich durch den Trägerkörper erstreckt.A relative pressure sensor according to claim 1, wherein the reference pressure path a first portion having a channel through the substrate body includes, extending between a first opening in one first surface of the substrate body, which is the Reference pressure chamber faces, and a second opening in a second surface of the substrate body, which faces the carrier body extends, wherein the reference print path further comprises a second section, the second opening in the second surface communicates with the second portion of the reference print path, the extends through the carrier body. Relativdrucksensor nach Anspruch 2, wobei die zweite Öffnung mit einer dritten Öffnung, des zweiten Abschnitts des Referenzdruckpfads fluchtet, wobei zwischen der zweiten Öffnung und der dritten Öffnung ein ringförmiger Dichtungskörper angeordnet ist, durch welchen der erste Abschnitt des Referenzdruckpfades mit dem zweiten Abschnitt des Referenzdruckpfades druckdicht verbunden ist.A relative pressure sensor according to claim 2, wherein the second opening with a third opening, the second portion of the reference print path is aligned, wherein between the second opening and the third opening an annular sealing body is arranged, by which the first portion of the reference pressure path with the second section of the reference pressure path is connected pressure-tight. Relativdrucksensor nach Anspruch 3, wobei der Dichtungskörper einen Werkstoff aufweist, dessen Elastizitätsmodul mindestens um einen Faktor 5, bevorzugt mindestens um einen Faktor 10 weiter bevorzugt mindestens um einen Faktor 20 kleiner ist als das Elastizitätsmodul des Werkstoffs der Klebung.Relative pressure sensor according to claim 3, wherein the sealing body a material whose modulus of elasticity is at least by a factor of 5, preferably at least a factor of 10 further is preferably at least a factor of 20 smaller than the elastic modulus the material of the bond. Relativdrucksensor nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei der Trägerkörper eine Basisplatte, ein Rohr, welches sich durch die Basisplatte erstreckt, und den zweiten Abschnitt des Referenzdruckpfades bildet, sowie einen Sockel, umfasst, wobei der Sockel an der Basisplatte befestigt ist, und an dem der Substratkörper mittels der Klebung befestigt ist.Relative pressure sensor according to one of the claims 1 to 4, wherein the carrier body, a base plate, a Pipe which extends through the base plate, and the second Section of the reference pressure path forms, as well as a base comprises, wherein the base is fixed to the base plate, and on which the Substrate body is attached by means of gluing.
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