DE102009011599A1 - Oszillator-Verstärker-Anordnungen mit Amplituden-Einstellung - Google Patents

Oszillator-Verstärker-Anordnungen mit Amplituden-Einstellung Download PDF

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Abstract

Oszillator-Verstärker-Anordnung bestehend aus mindestens einem Oszillator und mindestens einer Verstärkerstufe, dadurch gekennzeichnet, dass zur Veränderung der Leistung bzw. Pulsenergie des Strahls aus dem Oszillator-Verstärker eine optische Komponente zwischen dem Oszillator und dem Verstärker angeordnet wird, die die Strahleigenschaften von mindestens einem Teil des Strahls aus dem Oszillator gezielt ändert, und nach dem Verstärker mindestens eine Komponente in den Strahlgang angeordnet wird, die den verstärkten Strahl nach den Strahleigenschaften gruppiert bzw. aufgeteilt werden.

Description

  • Abstract
  • Diese vorliegende Patentanmeldung bezieht sich auf Oszillator-Verstärker-Anordnungen aus mindestens einem Oszillator und mindestens einem einstufigen Verstärker. Zur Veränderung des verstärkenden Strahls wird eine optische Komponente zwischen dem Oszillator und dem Verstärker angeordnet, die die Strahleigenschaften wie Polarisation, Ausbreitungsrichtung und/oder Wellenlänge von mindestens einem Teil des Strahls aus Oszillator ändert, und nach dem Verstärker mindestens eine Komponente in dem Strahlgang angeordnet wird, die den verstärkten Strahl nach Eigenschaften wie Polarisation, Ausbreitungsrichtung und/oder Wellenlänge gruppiert bzw. aufteilt. Zur Veränderung der Strahleigenschaften der Polarisation kann eine Komponente wie Pockel-Zelle, die aus einem elektrooptischen Kristall, einem Elektrodenpaar und einem Hochspannungstreiber besteht. Die am häufigsten verwendeten elektrooptischen Kristalle BBO, KTP, RTP, LiNbO3, etc.. Zur Veränderung der Amplitude der Laserleistung bzw. Pulsenergie kann auch ein akustooptisches Medium verwendet werden, in dem Medium ein Beugungsgitter durch die Schallwellen generiert wird und an die Beugungsgitter der Strahl eine Ablenkung erfährt. Zur Änderung der Ausbreitungsrichtung kann ein akustooptischer oder ein elektrooptischer Deflektor verwendet werden. Zur Veränderung der Wellenlänge kann ein akustooptischer oder elektrooptischer Phasenmodulator verwendet werden.
  • Stand der Technik
  • Optische Verstärker bzw. Laser stellen für viele Anwendungen als flexible Werkzeuge dar. Dennoch wird ihr Einsatz für andere viele Anwendungen durch die Eigenschaften verfügbarer Leistung, strahlqualiät und Pulsdauer begrenzt. Ein der limitierenden Faktor ist die relative geringe Strahlqualität bei hoher Ausgangsleistung. Des Weiteren ist die Pulsdauer von optischen Verstärkern durch physikalische Prozesse bei Pulserzeugung wie Güteschaltung, Modelocking auf isoliertem Zeitfenster beschränkt.
  • Zur Steigerung der Leistung bei hoher Strahlqualität kann eine Oszillator-Verstärkeranordnung benutzt werden. Dabei wird der Oszillator bei einer geringen Leistung und einer hohen Strahlqualität und bei einer gewünschten Pulslänge betrieben. Die Leistung des Strahls wird durch nachgeschaltete Verstärker erhöht. Ein Beispiel zeigt Bild 1. Bei dieser Anordnung wird der vom Oszillator (10) emittierte gepulste Strahl (90) mit gleichmäßiger Amplitude durch den Verstärker (20) skaliert. Wie Bilder 2a und 2b zeigt, hat der Ausgangsstrahl (91) nach dem Verstärker höhere Amplituden als die des Strahls (90) aus dem Oszillator (10). Wie die Pulse (90) aus dem Oszillator (10) sind die Amplituden der verstärkten Pulse (91) im Wesentlichen konstant.
  • Bei einem leistungsschwachen Oszillator ist der erzielbare Verstärkungsfaktor mit einem einstufigen Verstärker oft nicht ausreichend. Zur weiteren Steigerung der Laserleistung können mehrere Verstärkerstufen nacheinander angeordnet werden.
  • Bei vielen Anwendungen wie z. B. dem Strukturieren ist es erforderlich die Laserleistung bzw. Pulsenergie ein- bzw. auszuschalten bzw. zu modulieren. Zur Modulation der Laserleistung bzw. Pulsenergie von verstärkten Strahlen werden Modulatoren verwendet. Bei einem Modulator wird die Polarisation, die Ausbreitungsrichtung und/oder Wellenlänge durch eine Komponente, die auf das elektrooptische oder das akustooptische Effekt basiert, verändert. Eine weitere Komponente des Modulators bildet ein polarisierendes Element wie Polarisator, Beam-Displacer, ein Raumfilter, ein dichroiticher Strahlteiler und/oder ein Prisma.
  • Gut gesättigte Verstärker zeigen ein ausgeprägtes nichtlineares Verhalten. So zum Beispiel ist die mittlere Laserleistung eines ps-Laseroszillator/Verstärkers näherungsweise konstant, wenn die mittlere Leistung des Oszillators von 1 Watt auf 10 Watt erhöht wird. Das ist auch der Grund warum üblicherweise ein Modulator hinter dem Verstärker zur Veränderung der Laserleistung bzw. der Pulsenergie angeordnet wird.
  • Aufgrund der Hochleistung bzw. Pulsenergie nach dem Verstärker müssen die elektrooptischen Modulatoren eine große Aperture aufweisen. Große Aperture führt zu einer sehr hohen Spannung des Treibers. Im Fall von akustooptischen Modulatoren ist bei großer Aperture nur eine langsame Modulation aufgrund der Schalllauftzeit möglich. Eine höhere Modulationsgeschwindigkeit erfordert kleinere Aperture. Kleine Aperture limitiert die Leistung bzw. Pulsenergie aufgrund der Beschädigungsgefahr des Modulators unter hoher Belastung.
  • Ziel dieser vorliegenden Anmeldung ist, Oszillator/Verstärker-Anordnungen anzugeben, mit denen die Ausgangsleistung bzw. Pulsenergie von hochrepetierenden Strahlen gemäß gegebener Vorgaben veränderbar sind. Beispiele von hochrepetierenden Lasern sind Diodenlaser, ps-Laser oder fs-Laser mit einer Pulswiederholrate von einigen MHz bzw. einigen 10 MHz
  • Für hochrepetierende Laser sind Hochgeschwindigkeitsmodulationstechniken abdingbar, um die verfügbare Leistung in Hochproduktivität umzusetzen.
  • Beschreibung
  • Diese vorliegende Patentanmeldung bezieht sich auf Oszillator-Verstärker-Anordnungen aus mindestens einem Oszillator und mindestens einer Verstärkerstufe. Zur Veränderung des verstärkenden Strahls wird eine optische Komponente zwischen dem Oszillator und dem Verstärker angeordnet, die die Strahleigenschaften wie Polarisation, Ausbreitungsrichtung und/oder Wellenlänge von mindestens einem Teil des Strahls aus Oszillator ändert, und nach dem Verstärker mindestens eine Komponente in dem Strahlgang angeordnet wird, die den verstärkten Strahl nach Eigenschaften wie Polarisation, Ausbreitungsrichtung und/oder Wellenlänge gruppiert bzw. aufteilt. Zur Veränderung der Polarisation kann eine elektrooptische Komponente wie Pockel-Zelle aus elektrooptischen Kristallen BBO, KTP, RTP, LiNbO3, etc. verwendet werden. Zur Änderung der Ausbreitungsrichtung kann ein akustooptischer oder ein elektrooptischer Deflektor verwendet werden. Zur Veränderung der Wellenlänge kann ein akustooptischer oder elektrooptischer Phasenmodulator verwendet werden.
  • Zur Gruppierung bzw. Aufteilung des Strahls hinter dem Verstärker können ein Polarisationsstrahlteiler, ein Beam-Displacer, ein Raumfilter, ein dichroiticher Strahlteiler oder ein Dispersionsprisma verwendet werden.
  • Bild 1 zeigt eine Oszillator-Verstärker-Anordnung. Der vom Oszillator (10) emittiert Pulszüge (90) läuft durch den Verstärker (20) und wird dabei zu Pulszug (91) verstärkt (vgl. Bild 2a und Bild 2b). Bei dem Pulszüge (90) und (91) handelt es sich um Pulse gleicher Energie.
  • Zur Modulation der Pulsenergie wird ein Modulator verwendet. Ein Beispiel zeigt Bild 3. In diesem Beispiel wird der Verstärkerstrahl mit dem Modulator (30) in Amplitude verändert. Der Pulszug (92) nach dem Modulator zeigt Bild 4.
  • Eine akustooptische Modulator (31) zeigt Bild 5. Mit einem Piezo-Element wird in einem akustooptischen Medium eine Schallwelle generiert. Die Schallwelle erzeugt weiter ein Brechungsindex-Gitter. Läuft ein Laserstrahl durch das Medium, wird ein Teil des Strahls abhängig von der Wellenlänge der Schallwelle abgelenkt. Der Anteil des abgelenkten Strahls wird durch die Stärke der Schallwelle bestimmt. Durch Veränderung der Schallwellenlänge kann der Ablenkungswinkel des Strahles variiert werden. Das versteht man unter einem akustooptischen Deflektor (vgl. Bild 6). Ein Deflektor kann auch elektrooptisch mit einem elektrooptischen Kristall realisiert werden.
  • Zur Modulation von Laserleistung bzw. Pulsenergie können auch elektooptische Modulatoren verwendet werden, wie in Bild 7 dargestellt ist. Ein elektrooptischer Modulator besteht aus einer Pockel-Zelle (33), einem polarisierenden Element wie Polarisationsstrahlteiler (36) und einem Beamdump (39). Eine Pockel-Zelle (33) besteht im Wesentlichen aus einem elektrooptischen Kristall zwischen zwei Elektroden. Beim Anlegen von Spannung an die Elektroden wird die Polarisation des austretenden Strahls verändert. Der Polarisationsstrahlteiler teilt den Strahl in zwei unterschiedliche Polarisationen auf.
  • Bild 8 zeigt eine Modulatoranordnung, die auf Phasenmodulation basiert. Der Eingangsstrahl hat die Wellenlänge λ, hinter dem Phasenmodulator (34) hat ein Teil des Strahls die Wellenlänge λ1 und der andere Teil des Strahls die Wellenlänge λ2. Ein nachfolgender dichroitische Strahlteiler (38) splittern der Strahl in zwei Teilstrahlen jeweils mit der Wellenlänge λ1 und λ2. Zur Aufspaltung der Strahl nach Wellenlänge können auch ein Dispersionsprisma, oder die Kombination von Verzögerungsplatten und polarisierenden Elementen verwendet werden.
  • Bild 9 zeigt ein weiteres Beispiel von Phasenmodulationstechnik, dabei hat der Eingangsstrahl eine Wellenlänge von Lambda, hinter dem Phasenmodulator hat der Strahl die Wellenlänge λ1, λ2 ... λv. Mit einem Dispersionsprisma kann der Strahl mit verschiedenen Wellenlängen im Winkel separiert werden.
  • Die zentrale Idee dieser vorliegenden Anmeldung besteht darin, dass die Komponenten (31, 32, 33, 34, 35) zur Änderung der Strahleigenschaften wie Polarisation, Ausbreitungsrichtung und/oder Wellenlänge zwischen dem Oszillator (10) und dem Verstärker (20) und die Komponenten (39, 36, 38, 37) zur Gruppierung bzw. zur Aufteilung des Strahls hinter dem Verstärker angeordnet werden. Damit läuft der gesamte Strahl vom Oszillator mit im Wesentlichen gleichmäßigen Amplituden durch den Verstärker und hinter dem Verstärker der gesamte Strahl im Wesentlichen gleichmäßig verstärkt wird. Damit wird das Verhalten wie gigantische „First Pulse” vermieden und die Beschädigung von Verstärkern, von folgenden Optiken und von Wertstücken umgegangen.
  • Bild 10 zeigt eine Oszillator/Verstärker-Anordnung gemäß dieser vorliegenden Erfindungsanmeldung. Bei diesem Ausführungsbeispiel wird der akustooptische Modulator (31) zwischen dem Oszillator (10) und dem Verstärker (20) angeordnet. Der Eingangsstrahl (90) vom Oszillator wird hinter dem akustooptischen Modulator in zwei Pulszüge (93) und (94) unterschiedlicher Ausbreitungsrichtung aufgeteilt. Die beiden Pulszüge (93) und (94) laufen durch den Verstärker (20). Hinter dem Verstärker wird der nicht benötigte Laserpulszug in dem Beamdump (39) vernichtet. Man erhält Ausgangspulszug (99) mit gewünschten Pulsenergie-Modulation (vgl. 11a, 11b und 11c). Zur Vereinfachung der Kontrollparameter wird der Verstärker so aufgebaut, dass die Verstärkung des Verstärkers im Wesentlichen unabhängig vom Einstrahlwinkel ist.
  • Bild 12 zeigt eine Ausführungsform der Oszillator-Verstärker-Anordnung gemäß vorliegender Erfindung. Der Pulzug (90) des Oszillators mit einer linearen Polarisation läuft durch eine Pockel-Zelle (33). Anhängig von der Spannung ergeben sich nach Durchgang durch die Pockel-Zelle die Teilstrahlen (68, 69) unterschiedlicher Polarisationen. Die beiden Pulszüge (68, 69) sind komplementär und laufen zusammen durch den Verstärker (20) und werden dabei verstärkt. Die Summe der Energie von jeweiligen zugeordneten Pulsen der beiden Pulszüge ist im Wesentlichen konstant. Nach dem Verstärke ist die Summe der Energie von jeweiligen zugeordneten Pulsen der beiden Pulszüge ebenfalls im Wesentlichen konstant. Der Polarisationsstrahlteiler (36) teilt den verstärkten Strahl in zwei unterschiedliche Polarisationen auf. Wird bei Aufbau des Verstärkers geachtet, dass die Verstärkung des Verstärkers im Wesentlichen unabhängig von Polarisation wird, so wird das Verhältnis der Pulsenergie der beiden Pulszüge (68, 69) unterschiedlicher Polarisation nach dem Verstärker vergleichbar wie das vor dem Verstärker. Damit erhält man den gewünschten Pulszug (97), indem man die Spannung an der Pockel-Zelle so anlegt, dass sich der Pulszug (68) dem gewünschten Pulszug (97) ähnelt bzw. proportional ist (vgl. Bilder 13a, 13b, 13c).
  • Bild 14 zeigt eine Oszillator-Verstärker-Anordnung mit einem elektrooptischen Deflektor (32). Auch hier soll der Verstärker so ausgelegt werden, dass die erreichbare Verstärkung des Verstärkers im Wesentlichen unabhängig vom Einstrahlwinkel in den Verstärker ist. In Bilder 15a und 15b sind die entsprechenden Pulszüge dargestellt.
  • Bild 16 zeigt eine Oszillator-Verstärker-Anordnung mit einem akustooptischen Deflektor (32). Nach dem Deflektor wird der Strahl unter verschiedenen Winkeln austreten. Der Deflektor (32) wird mit Schallwellen verschiedener Wellenlänge und/oder Amplituden betrieben, dadurch spaltet sich der Strahl aus dem Deflektor unter Winkel α1, α2, ... αv mit unterschiedlichen Amplituden auf. Die Strahlen laufen mit unterschiedlichen Richtungen durch den Verstärker (20). Wird der Verstärker so ausgelegt, dass die erreichbare Verstärkung des Verstärkers im Wesentlichen unabhängig vom Einstrahlwinkel in den Verstärker ist, so können Pulszüge (67(α1, α2, ... αv)) unterschiedlicher Winkel mit gewünschten Amplituden generiert werden.
  • Bild 18 zeigt eine Ausführungsform unter Verwendung eines Phasenmodulators (34). Der Strahl mit der Wellenlänge λ aus dem Oszillator (10) wird nach dem Phasenmodulator mit einem definierten Verhältnis in Teilstrahlen (65, 66) der Wellenlänge λ1 und λ2 aufgeteilt. Der Gesamtstrahl der beiden Wellenlängen λ1 und λ2 läuft durch den Verstärker (20) und wird dabei verstärkt. Wird der Verstärker so ausgelegt, dass die Verstärkung im Wesentlichen unabhängig von der Wellenlänge ist, Die dichroitische Komponente (38) teilt den Strahl in unterschiedliche Wellenlängen auf. In diesem Beispiel wird der Pulszug der Wellenlänge λ1 der gewünschte Strahl und wird der Strahl mit der Wellenlänge λ2 vom Beamdump (39) absorbiert. Wird der Verstärker so ausgelegt, dass die Verstärkung im Wesentlichen unabhängig von der Wellenlänge ist, so ist die Amplitude des Pulszuges (97) und des Pulszuges (65) proportional und man bekommt den gewünschten Pulszug (97), indem man den Phasenmodulator (34) so ansteuert, dass der Pulszug dem gewünscht entspricht (vgl. Bilder 19a, 19b, 19c).
  • Ein weiteres Beispiel zeigt Bild 20. Bei diesem Beispiel wird der Strahl aus dem Oszillator (10) mit der Wellenlänge λ zu λ1, λ2 ... λv transfromiert. Der Gesamtstrahl der unterschiedlichen Wellenlänge läuft durch den Verstärker. Der verstärkte Strahl wird z. B. durch ein Dispersionsprisma in Strahlen mit der Wellenlänge λ1, λ2 ... λv unter unterschiedlichen Winkeln aufgeteilt (vgl. Bilder 21a, 21b und 21c).
  • Bei allen oben erklärten Beispielen ist es wichtig, dass alle Teilstrahlen mit unterschiedlichen Eigenschaften durch den Verstärker geschickt werden. Damit hat der Verstärker einen stationären und konstanten Parameter.
  • Weiteren Ausführungen bestehen darin, dass man einen Oszillator (11) nimmt, der Strahlen unterschiedlicher Ausbreitung emittiert, so dass auf den Deflektor verzichtet werden kann (vgl. Bild 22).
  • Weitere Oszillator-Verstärker-Anordnung bestehen darin, dass der Oszillator (12) Strahlen unterschiedlicher Polarisation emittiert. Die Summe der beiden Polarisationen ist näherungsweise gleichmäßig, stationär bzw. konstant (vgl. Bild 23).
  • Noch ein Beispiel der Ausführung zeigt Bild 24. Bei diesem Ausführungsbeispiel emittiert der Oszillator Strahlen unterschiedlicher Wellenlänge λ1, λ2 ... λv.
  • Der Ausgangsstrahl (17, 18, 19) läuft durch den Verstärker (20). Hinter dem Verstärker wird der Strahl gemäß Strahleigenschaften wie Polarisation, Ausbreitungsrichtung und Wellenlänge gruppiert und aufgeteilt.
  • Als Oszillator kann ein modegelockter Laser verwendet werden. Diodenlaser können aufgrund Flexibilität in Wellenlängen und in Pulslänge insbesondere als Strahlquellen unterschiedlicher Wellenlängen und Pulslänge verwendet werden.
  • Als Verstärker kann man Faserverstärker, Scheibenverstärker, oder Slab-Verstärker verwendet werden.
  • Im Fall Deflektor wird der Verstärker so gebildet, dass die Verstärkunseigenschaften des Verstärkers im Wesentlichen unabhängig vom Einfallswinkel sind. In diesem Fall Pockel-Zelle ist es wichtig, dass die Verstärkung des Verstärkers im Wesentlichen unabhängig von der Polarisation ist. Im Fall von Phasenmodulation ist es von wesentlicher Bedeutung, dass Lasermedien zur Verstärkung ausgewählt werden, welche ein möglichst breites Verstärkungsspektrum aufweisen, damit bleibt die erzielbare Verstärkung im Wesentlichen unabhängig von der Wellenlänge.
  • Der Oszillator (10) kann auch ein Vorstärker enthalten. Der Verstärker (20) kann auch mehrere Verstärkerstufen beinhalten.

Claims (26)

  1. Oszillator-Verstärker-Anordnung bestehend aus mindestens einem Oszillator und mindestens einer Verstärkerstufe, dadurch gekennzeichnet, dass zur Veränderung der Leistung bzw. Pulsenergie des Strahls aus dem Oszillator-Verstärker eine optische Komponente zwischen dem Oszillator und dem Verstärker angeordnet wird, die die Strahleigenschaften von mindestens einem Teil des Strahls aus dem Oszillator gezielt ändert, und nach dem Verstärker mindestens eine Komponente in den Strahlgang angeordnet wird, die den verstärkten Strahl nach den Strahleigenschaften gruppiert bzw. aufgeteilt werden.
  2. Oszillator-Verstärker-Anordnung nach dem Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die optische Komponente zwischen dem Oszillator und Verstärker die Polarisation des zu verstärkenden Strahls ändert und die Komponente hinter dem Verstärker ein polarisierendes Element ist.
  3. Oszillator-Verstärker-Anordnung nach dem Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die optische Komponente eine Pockel-Zelle ist und das polarisierende Element ein Polarisationsstrahlteiler ist.
  4. Oszillator-Verstärker-Anordnung nach dem Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die optische Komponente zwischen dem Oszillator und dem Verstärker die Ausbreitungsrichtung ändert.
  5. Oszillator-Verstärker-Anordnung nach dem Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass als die optische Komponente ein akustooptischer Deflektor verwendet wird.
  6. Oszillator-Verstärker-Anordnung nach dem Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass als die optische Komponente ein elektrooptischer Deflektor verwendet wird.
  7. Oszillator-Verstärker-Anordnung nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Komponente hinter dem Verstärker ein Raumfilter ist.
  8. Oszillator-Verstärker-Anordnung nach dem Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die optische Komponente zwischen dem Oszillator und dem Verstärker die Wellenlänge des zu verstärkenden Strahls verändert.
  9. Oszillator-Verstärker-Anordnung nach dem Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass zur Änderung der Wellenlänge ein Phasenmodulator verwendet wird.
  10. Oszillator-Verstärker-Anordnung nach dem Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass zur Änderung der Wellenlänge ein Frequenzshifter verwendet wird.
  11. Oszillator-Verstärker-Anordnung nach dem Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Änderung der Wellenlänge durch akustooptische Effekt in einem transparenten Medium verursacht wird.
  12. Oszillator-Verstärker-Anordnung nach dem Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Änderung der Wellenlänge durch elektrooptische Effekt in einem transparenten Medium verursacht wird.
  13. Oszillator-Verstärker-Anordnung nach einem der Ansprüche 8 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Komponente hinter dem Verstärker zur Gruppierung bzw. Aufteilung des verstärkten Strahls ein dichroitischen Strahlteiler ist.
  14. Oszillator-Verstärker-Anordnung nach dem Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, dass zur Gruppierung bzw. Aufteilung des verstärkten Strahls mehrere dichroitische Strahlteiler verwendet werden.
  15. Oszillator-Verstärker-Anordnung nach dem Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass zur Gruppierung bzw. Aufteilung des verstärkten Strahls mindestens ein Dispersionsprisma verwendet wird.
  16. Oszillator-Verstärker-Anordnung nach dem Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Verstärkers so aufgebaut, dass die Verstärkung des Verstärkers im Wesentlichen unabhängig von Polarisation wird.
  17. Oszillator-Verstärker-Anordnung nach einem der Ansprüche 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Verstärkers so ausgebaut, dass die erreichbare Verstärkung des Verstärkers im Wesentlichen unabhängig vom Einstrahlwinkel des zu verstärkenden Strahls ist.
  18. Oszillator-Verstärker-Anordnung nach einem der Ansprüche 8 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass der Verstärkers so ausgebaut, dass die erreichbare Verstärkung des Verstärkers im Wesentlichen unabhängig der Wellenlänge des zu verstärkenden Strahls ist.
  19. Oszillator-Verstärker-Anordnung dadurch gekennzeichnet, dass ein Oszillator (12) verwendet wird, der Strahlen unterschiedlicher Polarisation emittiert.
  20. Oszillator-Verstärker-Anordnung dadurch gekennzeichnet, dass ein Oszillator (11) verwendet wird, der Strahlen unterschiedlicher Ausbreitungsrichtung emittiert.
  21. Oszillator-Verstärker-Anordnung dadurch gekennzeichnet, dass ein Oszillator (16) verwendet wird, der Strahlen unterschiedlicher Wellenlängen emittiert.
  22. Oszillator-Verstärker-Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 21, dadurch gekennzeichnet, dass als Oszillator gepulste Diodenlaser verwendet wird.
  23. Oszillator-Verstärker-Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 22, dadurch gekennzeichnet, dass ein Faserlaser als Vorverstärker verwendet wird.
  24. Oszillator-Verstärker-Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 23, dadurch gekennzeichnet, dass ein Faserlaser als der Verstärker verwendet wird.
  25. Oszillator-Verstärker-Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 23, dadurch gekennzeichnet, dass ein Scheibenlaser als der Verstärker verwendet wird.
  26. Oszillator-Verstärker-Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 23, dadurch gekennzeichnet, dass ein Slablaser als Verstärker verwendet wird.
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