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Die
Erfindung betrifft einen Ultraschall-Linearmotor und insbesondere
einen Ultraschall-Linearmotor, der eine einfache Struktur und nur
wenige Elemente hat.
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Im
Vergleich zu herkömmlichen elektromagnetischen Motoren
haben Ultraschallmotoren mehrere Vorteile, wie z. B. schnelles Ansprechen,
hohe Präzision, Unabhängigkeit von elektromagnetischer Störbeeinflussung,
keine komplizierte Wicklungsstruktur. Aufgrund der linearen Antriebscharakteristik der
Ultraschall-Linearmotoren können ein massiger und komplizierter
Schraubenumwandlungsmechanismus und Energieverbrauch während
der Bewegungsumwandlung vermieden werden. Außerdem sind
Ultraschallmotoren selbstsperrend, wenn keine Energie zugeführt
wird, wodurch anders als bei herkömmlichen elektromagnetischen
Motoren, im stationären Zustand Energie gespart wird. Infolgedessen sind
Ultraschallmotoren nach und nach an die Stelle von elektromagnetischen
Motoren getreten, und sie werden verbreitet bei der Herstellung
von Mikroantriebselementen, wie dem Antriebselement einer Kameralinse,
verwendet.
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Der
Antriebsmechanismus eines typischen Ultraschall-Linearmotors nutzt
die auf einer Oberfläche eines Vibrators in dem Motor erzeugten
Schwingungen aus, um einen Gleiter derart in Gang zu setzen, dass
er sich dreht oder linear bewegt. Im Handel erhältliche
Ultraschall-Linearmotoren können im Allgemeinen in zwei
Typen eingeteilt werden: der Schrittmotortyp und der Resonanztyp.
Der Erstere führt eine Schrittbewegung in Einheiten von
wenigen Nanometern aus, während der Letztere in einem Resonanzzustand
des Vibrators arbeitet und den Gleiter unter Verwendung von Resonanzwellen
antreibt. Beide haben ihre Vorteile: der Erstere hat eine hohe Positionierauflösung,
während der Letztere eine hohe Effizienz und eine hohe
Bewegungsgeschwindigkeit aufgrund des Resonanzzustandes hat. Ultraschall-Linearmotoren
des Schrittmotortyps werden größtenteils für
Positionierbewegungen im Nanobereich in Labors oder Halbleiterherstellungsverfahren
verwendet. Dagegen sind Ultraschall-Linearmotoren des Resonanztyps
sehr effizient und einfach zu betreiben, so dass sie besonders für
Produkte der Unterhaltungselektronik, wie miniaturisierte (Photo-
oder Video-)Kameras, die Verwackeln mit der Hand vermeiden und/oder
optisch Zoomen können, oder für bruchsichere automatische
elektronische Schlösser, die gegen eine elektromagnetische
Störbeeinflussung immun sind, geeignet sind.
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Jedoch
besteht ein bei der Konstruktion von Ultraschall-Linearmotoren zur
Zeit auftretendes Problem darin, dass die Formen der keramischen
Vibratoren nicht leicht herstellbar sind, weil Keramik ein zerbrechliches
Material ist. Wenn die Form des Vibrators kompliziert ist, kann
sie nicht auf einmal gegossen werden, und nachfolgende Schneidverfahren können
schwierig sein (vgl.
US-Patent
Nr. 7,105,987 ,
7,053,525 und
7,205,703 ). Außerdem
kann die Menge der begleitenden Elemente groß sein (vgl.
US-Patent Nr. 5,453,653 und
6,765,335 und
US-Veröffentlichungs-Nr. 2008/073,999 ,
die alle zusätzliche Lagerteile erfordern, oder vgl.
US-Patent Nr. 6,747,394 ,
bei dem zwei Vibratoren verwendet werden und die Leistung eines
solchen Motors beeinträchtigt werden kann, da die dynamischen
Eigenschaften dieser beiden Vibratoren leicht verschieden sein können),
und die Strukturen sind komplizierter. Dem entsprechend ist die
Montagepräzision bei diesen Motorentypen derart kritisch,
dass sie nicht kostengünstig hergestellt werden können.
Ferner, wenn die Befestigungsstruktur des Vibrators nicht gut gestaltet
ist, kann sie Vibratorschwingungen während des Betriebs
unterdrücken.
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Somit
besteht ein Bedarf an einem Ultraschall-Linearmotor, der wenige
Elemente und eine einfache Struktur hat und leicht herzustellen
und mit anderen Elementen integrierbar ist, wodurch Herstellungskosten
und die Forderungen nach einer hohen Montagepräzision verringert
werden können.
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Angesichts
der vorgenannten Nachteile besteht eine Aufgabe der Erfindung darin,
einen Ultraschall-Linearmotor bereitzustellen, der wenige Elemente
und eine einfache Struktur hat und leicht hergestellt und mit anderen
Elementen integriert werden kann, wodurch Herstellungskosten und
die Forderungen nach einer hohen Montagepräzision reduziert werden
können.
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Ein
weiteres Ziel der Erfindung besteht darin, einen Ultraschall-Linearmotor
zu schaffen, der es gestattet, die Vibratorschwingung vollständig
auszunutzen.
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Zum
Erreichen der vorgenannten und anderer Ziele wird erfindungsgemäß ein
Ultraschall-Linearmotor bereitgestellt, der aufweist ein Substrat;
einen Vibrator, der auf dem Substrat angeordnet ist und eine schräge
oder gebogene Fläche an beiden Seiten hat, um zusammen
mit den Oberflächen des Substrats konkave Aufnahmeteile
zu bilden; und einen Gleiter, der Klemmteile an beiden Seiten zum Anklemmen
an den Aufnahmeteilen hat, wobei der Vibrator eine Antriebskraft
an dem Gleiter erzeugt, wenn er an eine Energiequelle angeschlossen
ist, derart, dass die Klemmteile des Gleiters sich in den Aufnahmeteilen
bewegen, wodurch eine lineare Translation erzeugt wird.
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Bei
einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung sind
das Substrat und der Vibrator teilweise aneinander über
mindestens einen Block oder mindestens einen mit dem Vibrator verbundenen
Vorsprung des Substrats oder mindestens einen mit dem Substrat verbundenen
Vorsprung des Vibrators befestigt. Die Aufnahmeteile sind L-förmige
konkave Strukturen, und ihre Oberfläche kann ebene oder
beliebig gebogene Formen haben. Die mit den Aufnahmeteilen sich
in Kontakt befindlichen Oberflächen der Klemmteile des
Gleiters haben ebene oder beliebig gebogene Formen. Das Substrat
und der Vibrator weisen eine ebene oder gebogene Platte oder Tafel auf.
Der Vibrator ist aus einem piezoelektrischen Werkstoff hergestellt.
Die Energiezufuhr liefert eine Wechselspannung mit der Resonanzfrequenz
des Vibrators. Eine erste Elektrode und eine zweite Elektrode sind
angrenzend aneinander an der Oberfläche des Vibrators angeordnet,
die auf das Substrat weist, während eine Masseelektrode
auf der Oberfläche des Vibrators angeordnet ist, die auf
den Gleiter weist, wobei entweder die erste Elektrode oder die zweite
Elektrode und die Masseelektrode für den Anschluss an die
Energiequelle verwendet werden. Als Alternative dazu ist die Masseelektrode
an der Oberfläche des Vibrators angeordnet, die auf das
Substrat weist, während eine erste Elektrode und eine zweite Elektrode
angrenzend aneinander auf der Oberfläche des Vibrators
angeordnet sind, die auf den Gleiter weist, wobei entweder die erste
Elektrode oder die zweite Elektrode und die Masseelektrode für
den Anschluss an die Energiequelle verwendet werden.
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Zum
Erreichen der oben genannten und anderer Ziele schafft die Erfindung
einen Ultraschall-Linearmotor, der aufweist ein Substrat; einen
Vibrator, der auf dem Substrat angeordnet ist und eine schräge
oder gebogene Fläche an zwei Seiten hat; und einen Gleiter,
der Klemmteile auf zwei Seiten zum Anklemmen an den beiden Seitenflächen
des Vibrators und der Substratoberfläche hat, wobei der
Vibrator eine Antriebskraft an dem Gleiter erzeugt, wenn er an eine
Energiequelle angeschlossen ist, derart, dass die Klemmteile des
Gleiters bezüglich der beiden Seitenflächen des
Vibrators oder bezüglich der Substratoberfläche
gleiten, um dadurch eine lineare Translation zu erzeugen.
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Bei
einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung sind
das Substrat und der Vibrator teilweise aneinander über
mindestens einen Block oder mindestens einen mit dem Vibrator verbundenen
Vorsprung des Substrats oder mindestens einen mit dem Substrat verbundenen
Vorsprung des Vibrators aneinander befestigt. Die Oberflächen
des Substrats können ebene oder beliebig gebogene Formen
haben. Die Oberflächen der Klemmteile des Gleiters haben ebene
oder beliebig gebogene Formen. Das Substrat und der Vibrator enthalten
eine ebene oder gebogene Platte oder Tafel. Der Vibrator ist aus
einem piezoelektrischen Werkstoff hergestellt. Die Energiequelle liefert
eine Wechselspannung mit der Resonanzfrequenz des Vibrators. Eine
erste Elektrode und eine zweite Elektrode sind angrenzend aneinander
auf der Oberfläche des Vibrators angeordnet, die auf das Substrat
weist, während eine Masseelektrode auf der Oberfläche
des Vibrators angeordnet ist, die auf den Gleiter weist, wobei entweder
die erste Elektrode oder die zweite Elektrode und die Masseelektrode
für den Anschluss an die Energiequelle verwendet werden.
Als Alternative dazu ist eine Masseelektrode auf der Oberfläche
des Vibrators angeordnet, die auf das Substrat weist, während
eine erste Elektrode und eine zweite Elektrode angrenzend aneinander
auf der Oberfläche des Vibrators angeordnet sind, die auf
den Gleiter weist, wobei entweder die erste Elektrode oder die zweite
Elektrode und die Masseelektrode für den Anschluss an die
Energiequelle verwendet werden.
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Zusammenfassend
ist festzustellen, dass der Ultraschall-Linearmotor nach der Erfindung
eine einfache Struktur bestehend aus einem Substrat, einem Vibrator
und einem Gleiter hat, um einfach herstellbar und mit anderen Elementen
integrierbar zu sein. Insbesondere sind die Oberflächen
der beiden Seiten des Vibrators schräg, so dass er leicht
herstellbar ist und in eine trapezförmige Querschnittsstruktur
in einem einzelnen Verfahrensschritt gegossen werden kann, ohne
dass ein nachfolgendes Schneidverfahren nötig wäre,
wodurch die Herstellungskosten und die Forderungen nach einer hohen Montagepräzision
verringert werden. Außerdem sind das Substrat und der Vibrator
nur teilweise aneinander über den zuvor erwähnten
Vorsprung oder Block aneinander befestigt, so dass die Vibratorschwingung
vollständig ausgenutzt werden kann.
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Die
Erfindung wird nun anhand verschiedener Ausführungsbeispiele,
die nachstehend unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen
beschrieben sind, weiter erläutert. Hierbei zeigen:
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1 eine
dreidimensionale Ansicht eines Ultraschall-Linearmotors gemäß einem
ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung;
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2 eine
dreidimensionale auseinandergezogene Ansicht eines Ultraschall-Linearmotors
gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel
der Erfindung;
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3 eine
schematische Querschnittsansicht eines Ultraschall-Linearmotors
gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel
der Erfindung;
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4 eine
schematische Ansicht eines Substrats eines Ultraschall-Linearmotors
gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel
der Erfindung;
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5 einen
Schaltplan eines Vibrators eines Ultraschall-Linearmotors mit Anschluss
an eine Energiequelle gemäß dem ersten oder weiteren
Ausführungsbeispielen der Erfindung;
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6(A) bis 6(D) schematische
Darstellungen von Wellen, die einer elliptischen Trajektorie folgen,
wenn ein Vibrator eines Ultraschall-Linearmotors an eine Energiequelle
angeschlossen ist, gemäß dem ersten oder weiteren
Ausführungsbeispielen der Erfindung;
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7(A) und 7(B) schematische
Darstellungen von Varianten von Vorsprüngen an einem Substrat
eines Ultraschall-Linearmotors gemäß weiteren
Ausführungsbeispielen der Erfindung;
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8(A) und 8(B) schematische
Darstellungen von verschiedenen Arten der Befestigung eines Substrats
und eines Vibrators in einem Ultraschall-Linearmotor gemäß anderen
Ausführungsbeispielen der Erfindung;
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9(A) bis 9(C) schematische
Darstellungen von verschiedenen Formen eines Vorsprungs oder von
Vorsprüngen oder eines Blockes oder von Blöcken
eines Ultraschall-Linearmotors gemäß weiteren
Ausführungsbeispielen der Erfindung;
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10(A) und 10(B) schematische Darstellungen
von Substratoberflächen in einem Ultraschall-Linearmotor
gemäß noch weiteren Ausführungsbeispielen
der Erfindung;
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11(A) bis 11(C) schematische
Darstellungen von zwei Seitenflächen eines Vibrators in einem
Ultraschall- Linearmotor gemäß weiteren Ausführungsbeispielen
der Erfindung;
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12(A) und 12(B) schematische Darstellungen
von Oberflächen von Klemmteilen eines Gleiters in einem
Ultraschall-Linearmotor gemäß weiteren Ausführungsbeispielen
der Erfindung; und
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13(A) und 13(B) schematische Darstellungen
von Ingangsetzungen eines Ultraschall-Linearmotors gemäß der
Erfindung.
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In
den 1, 2 und 3 ist jeweils eine
dreidimensionale Ansicht, eine auseinandergezogene Ansicht und eine
Querschnittsansicht eines Ultraschall-Linearmotors gemäß einem
Ausführungsbeispiel der Erfindung gezeigt. Der Ultraschall-Linearmotor 1 enthält
ein Substrat 10, einen Vibrator 11 und einen Gleiter 12,
die im Folgenden näher beschrieben werden.
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Bei
diesem Ausführungsbeispiel ist das Substrat 10 eine
H-förmige Tafel oder Schale, die einen in ihrem Zentrum
angeordneten Vorsprung hat. Hervorzuheben ist, dass die Form des
Substrats 10 und die Form, die Größe,
der Ort und die Anzahl der Vorsprünge 100 bei
tatsächlichen Anwendungen nicht auf diejenigen beschränkt
sind, die im Zusammenhang mit diesem Ausführungsbeispiel
dargestellt sind. Die Form des Substrats 10 kann rechteckig
sein (wie in 4 gezeigt ist), oder es kann
irgend eine andere Form haben. Der Zweck dieser H-Form des bei diesem
Ausführungsbeispiel verwendeten Substrats wird unten erläutert.
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Der
Vibrator 11 ist auf dem Substrat 10 angeordnet.
Schräge Flächen 114 auf beiden Seiten
des Vibrators 11 bilden zusammen mit den Oberflächen des
Substrats 10 konkave Aufnahmeteile 13 zum Erzeugen
einer Antriebskraft während er mit einer Energiequelle
verbunden ist. Bei diesem Ausführungsbeispiel kann der
Vibrator eine ebene (oder gebogene) Platte (oder Tafel) sein, die
aus einem piezoelektrischen Werkstoff hergestellt ist. Außerdem
liefert die Energiequelle eine Wechselspannung mit der Resonanzfrequenz
des Vibrators. Eine erste Elektrode 110 und eine zweite
Elektrode 111, die aneinandergrenzen, sind auf der Oberfläche
des Vibrators bereitgestellt, die dem Substrat 10 zugekehrt
ist. Eine Masseelektrode 112 ist auf der Oberfläche
des Vibrators bereitgestellt, die dem Gleiter 12 zugekehrt
ist. Entweder die erste Elektrode 110 oder die zweite Elektrode 111 und
die Masseelektrode 112 sind mit der Energiequelle verbunden,
um Wellen zu erzeugen, die einer elliptischen Trajektorie (d. h.
der Antriebskraft) folgen. Wenn, wie in 5 gezeigt,
die erste Elektrode 110 und die Masseelektrode 112 des Vibrators
mit der Energiequelle 2 verbunden sind, erzeugt der Vibrator 11 Wellen,
die einer elliptischen Trajektorie folgen, wie in den 6(A) bis 6(D) gezeigt
ist. Kleine Rechtecke C1, C2, C3 und C4 stellen die gleiche Stelle
auf dem Vibrator 1 zu verschiedenen Zeitpunkten jeweils
dar (nur vier spezifische Zeitpunkte werden abgetastet). Mit dieser
Positionsänderung kann gezeigt werden, dass, wenn der Vibrator 11 mit
der Energiequelle 2 verbunden ist, Wellen, die einer elliptischen
Trajektorie folgen, die durch den Pfeil in 6(D) gezeigt
ist, erzeugt werden können. Natürlich ist die
Wandertrajektorie der Antriebskraft nicht auf diejenige beschränkt,
die bei diesem Ausführungsbeispiel dargestellt ist, sondern
sie kann eine Vor- und Zurück-Lineartrajektorie oder eine
andere Art von Trajektorie sein. Außerdem kann bei anderen
Ausführungsbeispielen (nicht gezeigt) die Masseelektrode 12 auch
auf der Oberfläche des Vibrators 11 angeordnet
sein, die dem Substrat 10 zugekehrt ist, und dem entsprechend
können die erste Elektrode 110 und die benachbarte
zweite Elektrode 111 auf der Oberfläche des Vibrators 11 angeordnet sein,
die dem Gleiter 12 zugekehrt ist.
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Es
ist hervorzuheben, dass zum Unterbringen der ersten und zweiten
Elektrode 110 bzw. 111 auf der Oberfläche
des Vibrators 11, die dem Substrat 10 zugekehrt
ist, das Substrat 10 so gestaltet ist, dass es eine „H”-Form
hat, um die erste und zweite Elektrode 110 bzw. 111 freizulegen,
so dass sie mit den Energieleitungen verbunden werden können. Wenn
die Form des verwendeten Substrats 10 rechteckig ist (wie
in den 4, 7(A) und 7(B) gezeigt), dann sollten kleine Löcher
in dem Substrat 10 an geeigneten Stellen gemacht werden,
damit die Energieleitungen zu der ersten Elektrode 110 oder der
zweiten Elektrode 111 hindurchgehen können.
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Außerdem
sind der Vibrator 11 und das Substrat 10 nur teilweise
aneinander befestigt, d. h. über den Vorsprung 100 des
Substrats 10 und dem entsprechenden unterseitigen Teil
des Vibrators 11. Durch Kleinermachen des Kontaktbereichs
zwischen dem Substrat 10 und dem Vibrator 11 wird,
wenn der Vibrator 11 mit Energie versorgt wird, die Auswirkung des
Substrats 10 auf den Vibrator 11 verringert, mit der
Folge, dass eine hoch wirksame Antriebskraft erzeugt werden kann.
Der einen Teil des Vibrators 11 berührende Vorsprung 100 des
Substrats 10 kann irgend eine beliebige Form haben. Es
ist hervorzuheben, dass, wie in den 7(A) und 7(B) gezeigt, eine Mehrzahl von Vorsprüngen 100 auf
dem Substrat 10 sein kann. Es ist natürlich klar,
dass die Form des Substrats 10 und die Orte der ersten
und zweiten Elektrode 110 bzw. 111 (nicht gezeigt
in den 7(A) und 7(B))
entsprechend der Form, der Größe, der Anzahl und
des Ortes des Vorsprungs 100 des Substrats 10 geändert
werden müssen.
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Wie
in 8(A) kann bei anderen Ausführungsbeispielen
ein Block 14 zwischen dem Substrat 10 und dem
Vibrator 11 vorgesehen werden. Als Alternative dazu kann,
wie in 8(B) gezeigt, ein Vorsprung 113 unter
dem Vibrator 11 vorgesehen werden, um das Substrat 10 zu
berühren. Bei allen vorgenannten Ausführungsbeispielen
kann, wie in den 9(A) bis 9(C) gezeigt,
der Block 14, der Vorsprung 100 oder der Vorsprung 113,
die teilweise an dem Vibrator 11 oder dem Substrat 10 angebracht sind,
irgend eine beliebige Form haben.
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Außerdem
können bei diesem Ausführungsbeispiel die Aufnahmeteile 13 L-förmige
konkave Strukturen sein, bei denen die L-förmige konkave Struktur
der spitze Winkel (kleiner als 90 Grad) zwischen den beiden Seiten
des Vibrators 11 und des Substrats 10 ist. Natürlich
kann bei anderen Ausführungsbeispielen der Winkel größer
als 90 Grad sein, wie in den 10(A) und 10(B) gezeigt ist. Die die Aufnahmeteile 13 bildenden
Oberflächen des Substrats 10 können ebene
oder beliebig gebogene Oberflächen sein, wie in den 11(A) bis 11(C) gezeigt
ist. Die die Aufnahmeteile 13 bildenden Oberflächen
der beiden Seiten des Vibrators 11 können schräge
oder beliebig gebogene Oberflächen sein. Es ist klar, dass,
wenn die die Aufnahmeteile 13 bildenden Oberflächen
des Substrats 10 beliebig gebogene Oberflächen
sind oder die die Aufnahmeteile 13 bildenden Oberflächen
der beiden Seiten des Vibrators 11 beliebig gebogene Oberflächen
sind, der Winkel zwischen den Seiten des Vibrators 11 und
des Substrats 10 durch den Winkel bestimmt wird, den die
Tangenten bilden, wo der Gleiter 12 das Substrat 10 und
den Vibrator 11 jeweils berührt.
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Der
Gleiter 12 weist auf seinen beiden Seiten Klemmteile 120 zum
Anklemmen an den Aufnahmeteilen 13 und Empfangen der von
dem Vibrator 11 erzeugten Antriebskraft und Erzeugen einer
linearen Translation auf. Wie in 12(A) oder 12(B) gezeigt, sind bei diesem Ausführungsbeispiel
die in Kontakt mit den Aufnahmeteilen 13 befindlichen Oberflächen
der Klemmteile 120 des Gleiters 12 ebene oder
beliebig gebogene Oberflächen.
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Mit
Bezug auf die 13(A) und 13(B) wird
der Ingangsetzungsmechanismus des Ultraschall-Linearmotors 1 gemäß den
Ausführungsbeispielen der Erfindung näher erläutert.
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Wenn,
wie in 13(A) gezeigt, eine Wechselspannung
mit der Resonanzfrequenz des Vibrators 11 an der ersten
Elektrode 110 und der Masseelektrode 112 des Vibrators 11 angelegt
wird, schwingt die Oberfläche des Vibrators 11 und
erzeugt Wellen, die einer elliptischen Trajektorie folgen, wodurch
der Gleiter 12 erregt wird, so dass er sich linear in einer Richtung
bewegt, die durch den Pfeil A angezeigt ist. Wenn dagegen, wie in 13(B) gezeigt, eine Wechselspannung mit der Resonanzfrequenz
des Vibrators 11 an der zweiten Elektrode 111 und
der Masseelektrode 112 des Vibrators 11 angelegt
wird, schwingt die Oberfläche des Vibrators 11 und
erzeugt Wellen, die einer elliptischen Trajektorie folgen, wodurch
der Gleiter 12 erregt wird, so dass er sich linear in einer
Richtung bewegt, die durch den Pfeil B angezeigt ist. Bei tatsächlichen
Anwendungen kann somit die Spannung an der ersten Elektrode 110 und
der Masseelektrode 112 oder der zweiten Elektrode 111 und
der Masseelektrode 112 zu verschiedenen Zeiten angelegt
werden, um eine Vor- und Zurück-Linear-Translation des
Gleiters 12 zu erhalten, wodurch die Linearbewegung des
Ultraschall-Linearmotors erzielt wird.
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Zusammenfassend
ist festzustellen, dass der erfindungsgemäße Ultraschall-Linearmotor
eine einfache Struktur hat, die ein Substrat, einen Vibrator und
einen Gleiter umfasst, so dass er leicht herstellbar und mit anderen
Elementen zusammenfügbar ist. Genauer ausgedrückt
sind die Oberflächen der beiden Seiten des Vibrators schräg,
so dass er leicht herstellbar ist und zu einer trapezförmigen
Querschnittstruktur in einem einzigen Verfahren geformt werden kann,
ohne dass ein nachfolgendes Schneidverfahren nötig wäre,
wodurch die Herstellungskosten und die Forderungen hinsichtlich
einer hohen Montagepräzision reduziert werden. Außerdem
sind das Substrat und der Vibrator nur teilweise aneinander über
den oben erwähnten Vorsprung oder Block befestigt, so dass
die Schwingung voll ausgenutzt werden kann.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- - US 7105987 [0004]
- - US 7053525 [0004]
- - US 7205703 [0004]
- - US 5453653 [0004]
- - US 6765335 [0004]
- - US 2008/073999 [0004]
- - US 6747394 [0004]