DE102008058538A1 - GMR-Sensor, Verfahren zum Einrichten eines solchen GMR-Sensors und Einrichtungsvorrichtung - Google Patents

GMR-Sensor, Verfahren zum Einrichten eines solchen GMR-Sensors und Einrichtungsvorrichtung Download PDF

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Abstract

Ein GMR-Sensor (1) zur Erfassung magnetischen Materials weist Folgendes auf: zumindest ein Sensorelement (10) zur Erfassung magnetischen Materials und zumindest ein Temperatursensorelement (11) zur Erfassung einer Temperatur, wobei das zumindest eine Sensorelement (10) und das zumindest eine Temperatursensorelement (11) in einem Sensorgehäuse (2) mit einem mehrschichtigen Aufbau, der zumindest eine Abschlussschicht (4) und eine Einbettungsschicht (5) aufweist, angeordnet und von der Einbettungsschicht (5) umgeben sind. Dadurch können Temperatureinflüsse besser kompensiert werden.

Description

  • Die Erfindung betrifft einen GMR-Sensor zur Erfassung magnetischen Materials, ein Verfahren zum Einrichten eines solchen GMR-Sensors und eine Einrichtungsvorrichtung.
  • Sensoren zur Erfassung eines magnetischen Materials werden in unterschiedlichen Techniken gefertigt. Bei einem einfachen Aufbau kommen Reed-Schalter zur Anwendung, andere Sensoren sind auf Basis von Hall-Elementen aufgebaut. GMR-Sensoren nutzen einen so genannten GMR-Effekt (Giant Magnetoresistance) eines GMR-Elementes. Der Vorteil bei der Verwendung von GMR-Elementen liegt in deren hoher Empfindlichkeit gegenüber den vorher angegebenen Techniken von Reed-Schaltern und Hall-Elementen. Beispielsweise beschreibt die DE 19739550 C1 eine so genannte Biasmagnetisierung in einem Mehrschichtensystem eines magnetoresistiven Sensorelementes mit mindestens einer härteren Biasschicht und einer dazwischen angeordneten, unmagnetischen Zwischenschicht.
  • Ein weiteres wichtiges Merkmal ist die Erkennung von ferritischen Materialien durch Verwendung eines Magneten zur Erzeugung einer magnetischen Vorspannung und Nutzung von Sensorelementen zur Auswertung. Beispiele zur Illustration bilden die Schriften US 20050280411 A1 , US 5818685 A und US 5883763 A , welche die Verwendung von Vorspannmagneten und die Erkennung von ferriti schem Material bei der Verwendung von GMR-Elementen beschreiben. Derartige Sensoren finden häufig Anwendung bei einer Abtastung von Zahnflanken oder strukturierten Stahlscheiben zur Erkennung von Drehzahlen.
  • Als nachteilig wird dabei gesehen, dass die in zahlreichen Ausführungen bestehenden Sensoren in der Regel für den Betrieb bis zu einer Temperatur von +80°C geeignet sind.
  • Weiterhin werden an eine Abtaststelle hohe Anforderungen hinsichtlich Dichtigkeit des Sensors, Beständigkeit gegen äußere Medien und hohe Temperaturanforderungen gestellt. Außerdem sind Einflüsse der Temperatur auf die Abtastelemente und die Realisierung eines hohen Schaltabstandes zu berücksichtigen. Zudem soll eine hohe Genauigkeit gewährleistet sein.
  • Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen verbesserte GMR-Sensor und ein Einrichtungsverfahren bzw. -vorrichtung für diesen GMR-Sensor bereitzustellen, wobei die obigen Nachteile des Standes der Technik deutlich verringert sind.
  • Die Aufgabe wird durch einen GMR-Sensor mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Die Aufgabe wird ferner durch ein Verfahren zum Einrichten eines derartigen Sensors nach Anspruch 16 und eine Einrichtungsvorrichtung nach Anspruch 21 gelöst.
  • Demgemäß weist ein GMR-Sensor zur Erfassung magnetischen Materials, Folgendes auf: zumindest ein Sensorelement zur Erfassung magnetischen Materials und zumindest ein Temperatursensorelement zur Erfassung einer Temperatur, wobei das zumindest eine Sensorelement und das zumindest eine Temperatursensorelement in einem Sensorgehäuse mit einem mehrschichtigen Aufbau, der zumindest eine Abschlussschicht und eine Einbettungsschicht aufweist, angeordnet und von der Einbettungsschicht umgeben sind.
  • Hiermit ist es vorteilhaft möglich, den Sensor in einem Bereich zur Erfassung von magnetischem Material in einer Umgebung mit hoher Temperatur einzusetzen, wobei der Einsatzbereich sich von –25°C bis +120°C erstreckt.
  • Durch den Einsatz des Temperatursensorelementes können Nachteile durch Temperaturdrift des Sensorelementes vermieden werden.
  • Mit einem Vorspannmagnet ist eine zusätzliche Erfassung von ferritischem Material vorteilhaft möglich. Dabei kann das Ausgangssignal des Sensorelementes mit Schwellwerten für das Ein- und Ausschalten des Sensors verglichen werden, wobei so die Betätigung des Sensors definiert ist.
  • Insbesondere bei flüssigen oder gasförmigen Medien ist eine gute Wärmeübertragung auf das Sensorelement zur Erfassung von ferritischem Material gegeben.
  • Zur Erfassung ferritischer Materialien mit hoher Auflösung kann das Sensorelement in dem durch Temperatur stärker beanspruchten Bereich des Sensors positioniert werden. Bei Temperaturwechseln kommt es aufgrund der unterschiedlichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten zu mechanischen Spannungen, welche die Lebensdauer des Sensors beeinträchtigen können. Durch den erfindungsgemäßen GMR-Sensor ist das Sensorelement vor Schock und Vibration im praktischen Einsatz geschützt, was auch das Temperatursensorelement betrifft, welches zum Beispiel ein Thermoelement sein kann. Andere Ausführungen sind selbstverständlich möglich. Mit dieser Temperaturerfassung ist eine Temperaturkompensation eines Signals des Sensorelementes zur Abtastung bzw. Erfassung von ferritischem Material in der Nähe der Messstelle möglich, wo auch die Temperaturerfassung stattfindet.
  • Im Bereich der Messstelle ist das Sensorelement so gekapselt, dass mechanische Spannungen aufgrund thermischer Ausdehnung in homogener Weise auf ein Gehäuse des Sensorelementes wirken. Mechanische Scherspannungen an der Oberfläche des Sensorelementes werden so vermieden. Dies wird zum Beispiel durch den Einbettungsbereich vorgenommen, welcher das Sensorelement umgibt und zum Beispiel eine gelartige Substanz ist. Diese Einbettungsschicht ist nach außen hin von einer weiteren Schicht, einer Abschlussschicht abgeschlossen, welche eine hohe mechanische Widerstandsfähigkeit und eine hohe chemische Beständigkeit gegenüber Medien aufweist, welche an der Messstelle vorkommen können. Andererseits weist sie eine geringere Steifigkeit als die Einbettungsschicht auf. Bei thermischer Ausdehnung der Einbettungsschicht, nämlich der gelartigen Schicht, gibt die Abschlussschicht derart nach, dass der Druck in der Einbettungsschicht unterhalb einer spezifizierten Grenze bleibt, die durch das Sensorelement zur Erfassung magnetischer und/oder ferritischer Materialien vorgegeben ist. Diese Abschlussschicht kann zum Beispiel aus Metall mit federnden Eigenschaften, aus Kunststoff oder aus Vergussmaterial in definierter Dicke und Form bzw. aus einem mehrschichtigen Materialverbund hergestellt sein. Die Abschlussschicht kann auch ein Druckausgleichelement, zum Beispiel eine Membrane, aufweisen.
  • In einer weiteren Ausführung ist vorgesehen, dass die Abschlussschicht eine Zugentlastung für eine Zuleitung des GMR-Sensors bildet und/oder aufweist. Sie kann auch ein Bestandteil des Sensorgehäuses sein.
  • Eine weitere vorteilhafte Eigenschaft der gelartigen Einbettungsschicht besteht darin, die Auswirkung von Schock und Vibration auf den Sensor zu dämpfen.
  • Der GMR-Sensor kann eine Steuereinheit zur Auswertung der Signale des zumindest einen Sensorelementes und des zumindest einen Temperatursensorelementes aufweisen. Dabei kann die Steuereinheit in der Abschlussschicht integriert bzw. aufgenommen sein. Das Signal des Temperatursensorelementes kann von dieser Steuereinheit separat neben dem Signal des Sensorelementes bereitgestellt werden. Die Auswertung wird bevorzugt in der Steuereinheit, die zum Beispiel mit einem Kontroller ausgerüstet ist, vorgenommen. Es ist aber auch möglich, dass die Auswertung der vom Sensorelement erfassten magnetischen Änderungen im Sensorelement selbst erfolgt.
  • Ein Ausgang des GMR-Sensors kann konfigurierbar sein, zum Beispiel in Bezug auf Strom oder Spannung bzw. NPN- oder PNP-Funktion oder wiederum als Öffner- oder Schließerfunktion.
  • Die Schaltausgänge und/oder analoge Ausgänge des GMR-Sensors können bei einem Einrichtvorgang des GMR-Sensors mit Signalen beaufschlagt sein, welche den Einrichtvorgang kennzeichnen, wobei diese Signale zur Kennzeichnung eines Einrichtbereiches mit ungültigen oder unsicheren Werten vorher festlegbare Signalformen aufweisen.
  • In einer alternativen Ausführung ist vorgesehen, dass das zumindest eine Sensorelement und das zumindest eine Temperatursensorelement auf einer Sensorleiterplatte angeordnet sind. Diese ist in bevorzugter Ausführung mit einer Steuereinheit auf einer Steuerleiterplatte über eine flexible Verbindungsleiterplatte verbunden. Somit kann die Orientierung des Sensorelementes zu einer Abtastfläche des Sensors sichergestellt werden.
  • Die Steuereinheit kann zumindest eine Speichereinrichtung zur Speicherung eines Auswerteprogramms aufweist, wobei das Auswerteprogramm von einer Montage der Steuereinheit in das Sensorgehäuse oder nach einer Demontage in die Speichereinrichtung nachladbar ist.
  • Ein hoher Temperaturbereich für die Gesamtkonfiguration wird bei GMR-Sensoren mit Temperatursensoren und Sensorelementen zur Erfassung magnetischer oder ferritischer Materialien durch einen mindestens zweischichtigen bzw. mehrschichtigen Aufbau innerhalb des Sensors erzielt. Hier werden Komponenten zur Absicherung der Dichtigkeit und mechanischen Stabilität in den äußeren Schichten mit Materialien kombiniert, die zur thermischen Stabilisierung und thermischen Ankopplung an die sensorisch relevante Abtastfläche dienen. Dies kann beispielsweise im Vergussverfahren durch mindestens zweischichtigen Verguss in ein Gehäuse aus Metall oder ein anderes strapazierfähiges Material erfolgen. Das Anspritzen einer Zuleitung (Kabel) an die thermisch kompensierte Einheit ist vorteilhaft.
  • Die Realisierung einer hohen Genauigkeit über der Temperatur kann durch Hinterlegung des Temperaturganges des Sensorelementes in Verbindung mit dem Temperatursensorelement erfolgen, der in den Sensor integriert ist. Dazu kann die Steuereinheit mit einem Kontroller als Auswerteeinheit dienen, wobei der Temperaturgang zum Beispiel als Tabelle in einem Speicher abgelegt ist.
  • Die magnetische Kompensation des Sensorgehäuses ist innerhalb des Sensorelementes oder einer Auswerteeinheit möglich. Dabei kann auch der magnetische Einfluss von Edelstählen oder anderen schwach ferritischen Gehäusematerialien kompensiert werden. Dieser Kompensationsvorgang kann durch einen Einrichtvorgang erfolgen, der in der Produktion oder beim Einbau in eine Umgebung, in welcher ferritisches Material vorhanden ist, ausgeführt wird. Die Kompensation kann regelmäßig durch die Auswerteeinheit durchgeführt werden, um einer Anlagerung ferritischen Materials in der Umgebung des Sensors entgegenzuwirken. Dazu kann die Steuereinheit beispielsweise entsprechend ausgebildet sein.
  • Die Auswerteschaltung, zum Beispiel die Steuereinheit, kann ein Meldungssignal ausgeben, falls die Kompensationsfunktion sich dem Ende eines Aussteuerungsbereiches des Sensorelementes bis auf einen einstellbaren Schwellwert nähert. Die mechanischen Einstellpunkte des Sensors können einstellbar ausgeführt sein, wobei die Einstellung mit Hilfe der Auswerteeinheit erfolgt. Zur Aktivierung des Einstellvorgangs kann ein speziell auf den Sensor abgestimmter Magnet verwendet werden. Eine weitere Einstellmöglichkeit ist durch die Verwendung einer Signalisierung über die Ausgänge bzw. die Zuleitung gegeben. Dabei kann das Festlegen und Abspeichern einer Schaltschwelle mittels einer definierten Codierung vorgenommen werden, welche über eine Betätigung an den Anschlusskabeln (Zuleitung) erfolgt. Als Betätigungsmöglichkeiten kann ein Anlegen definierter Spannungen außerhalb des typischen Betriebsspannungsbereiches oberhalb oder deutlich unterhalb der Betriebsspannung durchgeführt werden. Eine weitere Möglichkeit der Signalisierung entsteht durch das definierte Einprägen von Strömen. Die Signalisierung wird bevorzugt in codierter Form vorgenommen, so dass eine Absicherung gegen ungewollte Parametrierung erzielt wird.
  • Eine Einrichtvorrichtung zur Durchführung des Verfahrens zum Einrichten kann mit einer Justiereinrichtung, welche codierbare Elektro- und/oder Permanentmagnete aufweist, erfolgen. Dabei kann die Justiereinrichtung eine Markierung zur Anzeige einer Richtung eines einzustellenden Schaltpunktes aufweisen.
  • Die Erfindung wird nun anhand von Ausführungsbeispielen mit Bezug auf die beigefügten Zeichnungen näher erläutert. Hierbei zeigt:
  • 1 eine schematische Seitenansicht mit Funktionsblöcken eines ersten Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen GMR-Sensors;
  • 2 eine schematische Schnittansicht längs Linie A-A gemäß 1;
  • 3 eine schematische Schnittansicht einer Variation des ersten Ausführungsbeispiels längs Linie A-A nach 1;
  • 4 eine schematische Schnittansicht einer weiteren Variation des ersten Ausführungsbeispiels längs Linie A-A nach 1;
  • 5 eine schematische Schnittansicht eines noch weiteren Variation des ersten Ausführungsbeispiels längs Linie A-A nach 1;
  • 6 eine schematische Seitenansicht des ersten Ausführungsbeispiels bei einem Einrichtvorgang; und
  • 7 eine schematische Seitenansicht mit Funktionsblöcken eines zweiten Ausführungsbeispiels des erfindungsgemäßen GMR-Sensors.
  • Gleiche Bauelemente bzw. Funktionseinheiten mit gleicher Funktion sind mit gleichen Bezugszeichen in den Figuren gekennzeichnet.
  • In 1 ist eine schematische Seitenansicht mit Funktionsblöcken eines ersten Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen GMR-Sensors 1. Der GMR-Sensor 1 weist ein Sensorgehäuse 2 mit einer Zuleitungsseite und einer ihr gegenüberliegenden Stirnseite auf, wobei eine Oberseite einer Unterseite gegenübersteht und die Unterseite als Abtastseite 3 des Sensors 1 ausgebildet ist. Das Sensorgehäuse 2 ist hier rechteckig im Längsschnitt und zum Beispiel quaderförmig. Andere Ausführungen, zum Beispiel würfelförmig, sind möglich.
  • Innerhalb des Sensorgehäuses 2 befindet sich ein mehrschichtiger Aufbau, welcher in diesem Beispiel zweischichtig ist. Unter der Oberseite ist eine Abschlussschicht 4 angeordnet, welcher sich nach unten zur Abtastseite 3 eine Einbettungsschicht 5 anschließt, in welcher dicht an der Abtastseite 3 ein Sensorelement 10 und ein Temperatursensorelement 11 eingebettet sind. Diese Sensorelemente 10 und 11 sind von der Einbettungsschicht 5, welche hier gelartig ist, umhüllt. Diese Sensorelemente 10 und 11 können auch als Primärelemente bezeichnet werden.
  • In der Abschlussschicht 4 ist eine Steuereinheit 7 angeordnet, welche über eine Zuleitungsverbindung 12 mit einer Zuleitung 6 verbunden ist, die an dem Sensorgehäuse 2 angebracht ist. Die Zuleitung 6 kann in der Abschlussschicht 4 eingespritzt sein oder in einer Zugentlastung (nicht gezeigt) am Sensorgehäuse 2 oder in der Abschlussschicht 4 befestigt sein.
  • Die Steuereinheit 7 ist mit dem Sensorelement 10 über einen Sensorelementanschluss 13 und mit dem Temperatursensorelement über einen Temperatursensorelementanschluss verbunden. Die Steuereinheit 7 versorgt die Sensorelemente 10 und 11 mit elektrischer Energie aus der Zuleitung 6, die von außen eingespeist wird. Weiterhin empfängt die Steuereinheit 7 Signale des Sensorelementes 10, welches ein GMR-Sensorelement ist, in Abhängigkeit von abgetasteten magnetischen und/oder ferritischen Materialien, wertet diese Signale zum Beispiel anhand von gespeicherten Tabellenwerten aus und gibt entsprechende Ausgangssignale, zum Beispiel „EIN”, „AUS” über die Zuleitung 6 an eine übergeordnete Steuerung als Signale 20 aus. Signale des Temperatursensorelementes 11 wertet die Steuereinheit 7 zur Temperaturkompensation des Sensorelementes 10 mit aus und passt, beispielsweise mittels gespeicherter Tabellenwerte oder geeigneter Kompensationsalgorithmen, die Signale des Sensorelementes 10 entsprechend an.
  • 2 illustriert eine schematische Schnittansicht längs Linie A-A gemäß 1. Hier umschließt das Sensorgehäuse 2, zum Beispiel aus Metall, Abschlussschicht 4 und die Einbettungsschicht 5 seitlich. Die Abtastseite 3 kann eine zusätzliche Schutzschicht aufweisen oder aus dem Sensorgehäuse 2 gebildet sein. In dieser Ausführung ist der GMR-Sensor 1 zur Abtastung bzw. Erfassung magnetischer Materialien vorgesehen.
  • Bei ferritischen Materialien ist eine Abtastung möglich, wenn die Variation gemäß 3 mit einem Vorspannmagneten 8, der sich hier in der Abschlussschicht 4 befindet, eingesetzt wird. Das Sensorgehäuse 2 ist nicht mit gezeigt. Der Vorspannmagnet 8 ist vorzugsweise ein Permanentmagne, welcher eine magnetisches Feld erzeugt, das das Sensorelement 10 durchdringt und von ferritischem (auch magnetischem) Material so verändert wird, dass diese Veränderung von dem Sensorelement 10 abtastbar ist. Hier wird dessen Ausgangssignal mit Schwellwerten für das Ein- und Ausschalten des Sensors 1 verglichen und so die Betätigung des Sensors 1 definiert.
  • Die Einbettungsschicht 5 ist gelartig und kann sich bei Erwärmung durch die Umgebungstemperatur ausdehnen. Dabei ist es vorteilhaft, dass die Abschlussschicht 4 eine Federsteifigkeit aufweist, die geringer als die des Sensorgehäuses 2 und der Gehäuse ist, in welchen die Sensorelemente 10 und 11 angeordnet sind. Es ist bevorzugt, dass die Federsteifigkeit um einen Faktor von mindesten 0,1 geringer ist als die Federsteifigkeit eines der Gehäuse der Sensorelemente 10 und 11. 4 zeigt eine Variation, bei welcher ein Druckausgleichelement 9, zum Beispiel eine Membran, in die Abschlussschicht 4 eingesetzt ist, hier an der Grenze zwischen Abschlussschicht 4 und Einbettungsschicht 5.
  • In einer weiteren Variation, die 5 in Schnittdarstellung längs Linie A-A nach 1 zeigt, sind die Sensorelemente 10 und 11 auf einer Sensorleiterplatte 15 aufgebracht, welche hier parallel zur Abtastseite 3 im Sensorgehäuse 2 angeordnet ist. Senkrecht dazu ist eine Steuerleiterplatte 17 mit der Steuereinheit 7 (zum Beispiel ein Kontroller mit Speicherbausteinen) positioniert. Eine elastische Verbindung zwischen der Sensorleiterplatte 15 und der Steuerleiterplatte 17 wird durch eine Verbindungsleiterplatte 16 gebildet, welche zum Beispiel eine flexible Leiterplatte ist.
  • 6 zeigt eine schematische Seitenansicht des ersten Ausführungsbeispiels bei einem Einrichtvorgang. Unterhalb des GMR-Sensors 1 ist an der Abtastseite 3 eine Einrichtvorrichtung mit einer Justiereinrichtung 18 mit zwei Permanentmagneten 19, 19' angeordnet. Diese Magnete können auch steuerbare Elektromagnete sein.
  • Weiterhin kann die Polung bzw. Codierung der Permanentmagnete 19, 19' eingestellt werden, zum Beispiel durch Verdrehen. Die Magnete 19, 19' aktivieren einen Einrichtvorgang des Sensors 1. Über ihre Codierung kann entschieden werden, welcher Schaltpunkt, zum Beispiel in die Steuereinheit 7, eingelernt wird. Die Justiereinrichtung 18 kann eine Markierung aufweisen, welche die Richtung des einzurichtenden Schaltpunktes anzeigt. Damit ist der neu einzurichtende Schaltpunkt anwählbar. Der Sensor 1 kann so ausgebildet sein, dass bei einem Einrichtvorgang einer oder mehrere oder alle Schaltpunkte einrichtbar sind. Durch Betätigung mit der Justiereinrichtung 18 kann die Auswerteeinheit bzw. Steuereinheit 7 das Einlernen der Schaltpunkte in einer festgelegten Abfolge oder entsprechend der Codierung der in der Justiereinrichtung 18 vorhandenen Magnete 19, 19' durchführen.
  • 7 illustriert schließlich eine schematische Seitenansicht mit Funktionsblöcken eines zweiten Ausführungsbeispiels des erfindungsgemäßen GMR-Sensors 1. In dieser Ausführung ist die Abtastfläche 3 nicht unterhalb des Sensorgehäuses 2, sondern an der Vorderseite. Weitere Variationen sind selbstverständlich denkbar.
  • Die Erfindung ist nicht auf die oben beschriebenen Ausführungsbeispiele beschränkt. Sie ist im Rahmen der beigefügten Ansprüche modifizierbar.
  • Es ist zum Beispiel denkbar, dass die Abschlussschicht 4 mit dem Sensorgehäuse 2 kombiniert oder ein Bestandteil davon ist.
  • Die Leiterplatten 15, 16 und 17 können auch aus einer vollständigen flexiblen Leiterplatte bestehen.
  • Ein Programm für die Auswerteeinheit bzw. Steuereinheit 7 kann vor deren Montage in den Sensor 1 oder nach Entnahme eingespeist werden. Es kann auch möglich sein, diese Programmierung von außen über die Zuleitung mittels bestimmter Signale/Signalformen oder drahtlos, z. B. über Funk, Induktionsspule oder Infrarot vorzunehmen.
  • 1
    GMR-Sensor
    2
    Sensorgehäuse
    3
    Abtastseite
    4
    Abschlussschicht
    5
    Einbettungsschicht
    6
    Zuleitung
    7
    Steuereinheit
    8
    Magnet
    9
    Druckausgleichelement
    10
    Sensorelement
    11
    Temperatursensorelement
    12
    Zuleitungsverbindung
    13
    Sensorelementanschluss
    14
    Temperatursensorelementanschluss
    15
    Sensorleiterplatte
    16
    Verbindungsleiterplatte
    17
    Steuerleiterplatte
    18
    Justiereinrichtung
    19, 19'
    Permanentmagnet
    20
    Signal
    N, S
    Nord-/Südpol
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • - DE 19739550 C1 [0002]
    • - US 20050280411 A1 [0003]
    • - US 5818685 A [0003]
    • - US 5883763 A [0003]

Claims (22)

  1. GMR-Sensor (1) zur Erfassung magnetischen Materials, mit zumindest einem Sensorelement (10) zur Erfassung magnetischen Materials und mit zumindest einem Temperatursensorelement (11) zur Erfassung einer Temperatur, wobei das zumindest eine Sensorelement (10) und das zumindest eine Temperatursensorelement (11) in einem Sensorgehäuse (2) mit einem mehrschichtigen Aufbau, der zumindest eine Abschlussschicht (4) und eine Einbettungsschicht (5) aufweist, angeordnet und von der Einbettungsschicht (5) umgeben sind.
  2. GMR-Sensor (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der GMR-Sensor (1) einen Vorspannmagnet (8) zur zusätzlichen Erfassung von ferritischem Material aufweist.
  3. GMR-Sensor (1) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die zumindest eine Abschlussschicht (4) eine Federsteifigkeit aufweist, welche geringer als eine Federsteifigkeit von Gehäusen des zumindest einen Sensorelementes (10) und des zumindest einen Temperatursensorelementes (11) ist.
  4. GMR-Sensor (1) nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die zumindest eine Abschlussschicht (4) eine Federsteifigkeit aufweist, welche um einen Faktor von zumindest 0,1 geringer als die Federsteifigkeit von Gehäusen des zumindest einen Sensorelementes (10) und des zumindest einen Temperatursensorelementes (11) ist.
  5. GMR-Sensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Abschlussschicht (4) eine hohe mechanische Widerstandsfähigkeit und eine hohe chemische Beständigkeit aufweist.
  6. GMR-Sensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Abschlussschicht (4) ein Druckausgleichelement (9) aufweist.
  7. GMR-Sensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Abschlussschicht (4) eine Zugentlastung für eine Zuleitung (6) des GMR-Sensors (1) bildet und/oder aufweist.
  8. GMR-Sensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Abschlussschicht (4) ein Bestandteil des Sensorgehäuses (2) ist.
  9. GMR-Sensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das zumindest eine Sensorelement (10) und das zumindest eine Temperatursensorelement (11) auf einer Sensorleiterplatte (15) angeordnet sind.
  10. GMR-Sensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der GMR-Sensor (1) eine Steuereinheit (7) zur Auswertung der Signale des zumindest einen Sensorelementes (10) und des zumindest einen Temperatursensorelementes (11) aufweist.
  11. GMR-Sensor (1) nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinheit (7) auf einer Steuerleiterplatte (17) angeordnet ist, das zumindest eine Sensorelement (10) und das zumindest eine Temperatursensorelement (11) auf einer Sensorleiterplatte (15) angeordnet sind, wobei die Steuerleiterplatte (17) und die Sensorleiterplatte (15) mittels einer flexiblen Verbindungsleiterplatte verbunden sind.
  12. GMR-Sensor (1) nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinheit (7) zumindest eine Speichereinrichtung zur Speicherung eines Auswerteprogramms aufweist, wobei das Auswerteprogramm von einer Montage der Steuereinheit (7) in das Sensorgehäuse (2) oder nach einer Demontage in die Speichereinrichtung nachladbar ist.
  13. GMR-Sensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass Schaltausgänge und/oder analoge Ausgänge des GMR-Sensors (1) bei einem Einrichtvorgang des GMR-Sensors (1) mit Signalen be aufschlagt sind, welche den Einrichtvorgang kennzeichnen, wobei diese Signale zur Kennzeichnung eines Einrichtbereiches mit ungültigen oder unsicheren Werten vorher festlegbare Signalformen aufweisen.
  14. GMR-Sensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der GMR-Sensor (1) für einen Temperaturbereich von –25°C bis +120°C einsetzbar ist.
  15. GMR-Sensor (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Einbettungsschicht (5) gelartig ausgebildet ist.
  16. Verfahren zum Einrichten eines GMR-Sensors (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei ein Kompensieren von Schaltpunkten des GMR-Sensors (1) mittels magnetischer Felder durch zumindest einen externen Magneten durchgeführt wird.
  17. Verfahren nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass bei einem Einrichtvorgang einer oder mehrere Schaltpunkte des GMR-Sensors (1) entsprechend einer Codierung der magnetischen Felder eingerichtet werden.
  18. Verfahren zum Einrichten eines GMR-Sensors (1), wobei ein Kompensieren von Schaltpunkten des GMR-Sensors (1) mittels elektrischer Signale durch zumindest eine externe elektrische oder elektronische Steuerung durchgeführt wird.
  19. Verfahren nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass bei einem Einrichtvorgang einer oder mehrere Schaltpunkte des GMR-Sensors (1) in einer vorher festlegbaren Abfolge eingerichtet werden.
  20. Verfahren nach einem der Ansprüche 16 bis 19, dadurch gekennzeichnet, dass der GMR-Sensor (1) ein GMR-Sensor (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 15 ist.
  21. Einrichtungsvorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 14 bis 16, mit einer Justiereinrichtung (18), welche codierbare Elektro- und/oder Permanentmagnete (19, 19') aufweist.
  22. Einrichtungsvorrichtung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, dass die Justiereinrichtung (18) eine Markierung zur Anzeige einer Richtung eines einzustellenden Schaltpunktes aufweist.
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