DE102008054801A1 - Bestrahlungsvorrichtung und Verfahren zur Bestrahlung eines Objekts - Google Patents

Bestrahlungsvorrichtung und Verfahren zur Bestrahlung eines Objekts Download PDF

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Abstract

Es wird eine Bestrahlungsvorrichtung 1 mit einer Arbeitsstrahlungsquelle 3, welche zur Bestrahlung eines Objekts 2 mit einer Arbeitsstrahlung 5 ausgebildet ist, mit einer Ablenkeinrichtung 6, welche als eine aktive Strahlführungs- und/oder -formungseinrichtung für die Arbeitsstrahlung 5 ausgebildet und/oder angeordnet ist, mit einer Messstrahlungsquelle 4, welche zur Ausgabe einer Messstrahlung 12 ausgebildet ist, die zumindest zeitweise auf das Objekt gerichtet und/oder richtbar ist, und mit einer Empfangseinrichtung 13, welche zum Empfang der von dem Objekt zurückgeworfenen Messstrahlung (12) ausgebildet ist, vorgeschlagen, wobei die Messstrahlung 12 über die Ablenkeinrichtung (6) geführt wird und/oder ist.

Description

  • Stand der Technik
  • Die Erfindung betrifft eine Bestrahlungsvorrichtung mit einer Arbeitsstrahlungsquelle, welche zur Bestrahlung eines Objekts mit einer Arbeitsstrahlung ausgebildet ist, mit einer Ablenkeinrichtung, welche als eine aktive Strahlführungs- und/oder -formungseinrichtung für die Arbeitsstrahlung ausgebildet und/oder angeordnet ist, mit einer Messstrahlungsquelle, welche zur Ausgabe einer Messstrahlung ausgebildet ist, die zumindest zeitweise auf das Objekt gerichtet und/oder richtbar ist, und mit einer Empfangseinrichtung, welche zum Empfang der von dem Objekt zurückgeworfenen Messstrahlung ausgebildet ist. Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zur Bestrahlung eines Objekts.
  • Bestrahlungsvorrichtungen, welche eine Strahlung auf ein Objekt führen, sind in vielfältigen Ausführungsformen und Skalierungen bekannt. So werden Bestrahlungsvorrichtungen benötigt, um bei Barcode-Lasern einen Laserstrahl abtastend über ein Etikett zu führen. Bestrahlungsvorrichtungen werden aber auch eingesetzt, um beispielsweise einen Schauspieler auf einer Bühne selektiv zu beleuchten. Weitere Anwendungsgebiete von Bestrahlungsvorrichtungen liegen in der Materialbearbeitung, wobei ein Laserstrahl zur Materialmodifikation auf ein Werkstück gerichtet und auf diesem bewegt wird. Die Steuerung der Bestrahlungsvorrichtung erfolgt bei manchen Anwendungen nach einem festen Schema, wie z. B. beim Abscannen eines Barcode-Etiketts, bei anderen Anwendungen werden Messverfahren zur Detektion des zu bestrahlenden Objekts, wobei die Strahlung der Bestrahlungsvorrichtung in Abhängigkeit des detektierten Objekts positioniert oder gesteuert wird.
  • Offenbarung der Erfindung
  • Im Rahmen der Erfindung wird eine Bestrahlungsvorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 und ein Verfahren zur Bestrahlung eines Objekts mit den Merkmalen des Anspruchs 11 vorgeschlagen. Bevorzugte oder vorteilhafte Ausführungsformen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen, der nachfolgenden Beschreibung sowie den beigefügten Figuren.
  • Es wird eine Bestrahlungsvorrichtung als Erfindung vorgestellt, welche eine Arbeitsstrahlungsquelle umfasst, die zur Bestrahlung eines Objekts mit einer Arbeitsstrahlung ausgebildet ist. In der allgemeinsten Ausprägung der Erfindung kann die Arbeitsstrahlung eine beliebige Wellenlänge, einen beliebigen Wellenlängenbereich, eine beliebige Intensität oder Energie aufweisen und somit eine beliebige Art von insbesondere optischer Strahlung sein. Vorzugsweise ist die Arbeitsstrahlung als eine gerichtete Strahlung ausgebildet.
  • Die Bestrahlungsvorrichtung umfasst eine Ablenkeinrichtung, wobei die Ablenkeinrichtung als eine aktive Strahlführungs- und/oder -formungseinrichtung für die Arbeitsstrahlung ausgebildet und/oder in der Bestrahlungsvorrichtung entsprechend angeordnet ist. Durch die Ausprägung als aktive Einheit ist die Ablenkeinrichtung, insbesondere über Steuer- und/oder Regelsignale steuerbar und/oder regelbar ausgebildet, um den Strahlverlauf der Arbeitsstrahlung zu ändern. Die Ablenkeinrichtung kann zum einen die Strahlführung, also insbesondere die Strahlrichtung, ändern, alternativ oder ergänzend kann die Ablenkeinrichtung die Arbeitsstrahlung formen, wobei die Formung insbesondere auf die Intensität und/oder auf die Phase der Arbeitsstrahlung wirken kann.
  • Als weitere Komponente umfasst die Bestrahlungsvorrichtung eine Messstrahlungsquelle, welche die Ausgabe einer insbesondere optischen Messstrahlung ermöglicht, die zumindest zeitweise auf das Objekt gerichtet und/oder richtbar ist. Durch die Messstrahlung kann, insbesondere unter bestimmten Betriebsbedingungen, das Objekt messtechnisch erfasst werden.
  • Für den Empfang der von dem Objekt zurückgeworfenen, insbesondere reflektierten Messstrahlung, zeigt die Bestrahlungsvorrichtung eine Empfangseinrichtung, welcher optional eine Auswertevorrichtung nachgeschaltet ist, welche die zurückgeworfene und empfangene Messstrahlung auswertet.
  • Im Rahmen der Erfindung wird vorgeschlagen, dass die Messstrahlung über die Ablenkeinrichtung geführt wird und/oder ist. Somit ist die Bestrahlungsvorrichtung ausgebildet, die Arbeitsstrahlung und die Messstrahlung gleichzeitig und/oder nacheinander über die gemeinsame Ablenkeinrichtung und insbesondere über gemeinsame Ablenkelemente der Ablenkeinrichtung zu führen. Vorzugsweise wird die zurückgeworfene und empfangene Messstrahlung ebenfalls über die Ablenkeinrichtung geführt.
  • Die erfindungsgemäße Bestrahlungsvorrichtung weist den Vorteil auf, dass die Ablenkeinrichtung sowohl für die Arbeitsstrahlung als auch für die Messstrahlung genutzt werden kann. Hieraus resultiert zunächst eine Verringerung der Anzahl der optischen Elemente zur Ablenkung der Strahlungen, da die vorhanden Elemente zweifach genutzt werden. Ein weiterer Vorteil ist dadurch gegeben, dass die Arbeitsstrahlung und die Messstrahlung – soweit beide aktiviert sind – optisch/mechanisch zueinander synchronisiert und somit stets gemeinsam abgelenkt werden.
  • Bei einer bevorzugten Weiterbildung der Erfindung werden Arbeitsstrahlung und Messstrahlung insbesondere nach der Ablenkeinrichtung koaxial geführt. Beispielsweise kann die Zusammenführung der Strahlungsgänge von Arbeitsstrahlung und Messstrahlung vor der Ablenkeinrichtung über einen Strahlteiler erfolgen. Auf diese Weise kann die Strahljustage von Messstrahlung und Arbeitsstrahlung im Strahlverlauf vor der Ablenkeinrichtung durchgeführt werden.
  • Bei einer bevorzugten Ausbildung der Erfindung ist die Empfangseinrichtung zur Detektion der Existenz und/oder der Distanz des Objekts und/oder der Reflektivität des Objekts ausgebildet. Bei einer Existenzdetektion wird festgestellt, ob im Strahlverlauf der Messstrahlung das Objekt angeordnet ist, auf eine Entfernungsmessung wird jedoch verzichtet. Dagegen wird bei der Detektion der Distanz auch die Entfernung von einem Referenzpunkt, wie z. B. der Ablenkeinrichtung, zu dem Objekt ermittelt. Besonders bevorzugt setzt die Empfangseinrichtung eine Laufzeitmessung und/oder eine Phasenmessung zur Messung der Distanz um. Messstrahlungsquelle, Ablenkeinrichtung und Empfangseinrichtung bilden insbesondere ein Sensorsystem zur Umfelderfassung, insbesondere zur 3D-Umfelderfassung, welches ein 2D-, oder 3D-Bild des Objekts, insbesondere einen 2D-Scan mit Tiefeninformation, aufnehmen kann. Die Detektion der Reflektivität kann z. B. genutzt werden, um eine Linienmarkierung auf dem Objekt zu erfassen, um nachfolgend die Arbeitsstrahlung entlang der Linienmarkierung zu führen.
  • Bei einer konstruktiv bevorzugten Weiterbildung der Erfindung ist die Ablenkeinrichtung als eine reflektive Einheit ausgebildet, welche die Strahlführung bzw. -formung vorzugsweise ausschließlich durch Reflektionselemente erreicht. Dieser Aufbau hat den Vorteil, dass unterschiedliche Wellenlängen zumindest mit dem gleichen Winkel abgelenkt werden und chromatische Verzerrungen minimiert sind. Bei anderen Ausführungsformen können jedoch auch transmissive Elemente genutzt werden. Besonders bevorzugt ist die Ablenkeinrichtung als eine Scannereinheit, z. B. mit Scannerspiegeln, als eine adaptiven Optik, also einer Optik, die eine gesteuerte Änderung der Phasenlage der Strahlungen erlaubt, oder eine MEMS-Einheit, also eine Kombination aus mechanischen Elementen und Aktoren auf einem Substrat, welche ebenfalls die Änderung der Strahlungsrichtung und/oder der Phasenlage der Strahlung ermöglicht, ausgeführt.
  • Besonders bevorzugt ist die Arbeitsstrahlung und/oder die Messstrahlung als ein Punktstrahler ausgebildet. Als Punktstrahler wird die Strahlung vorzugsweise dann bezeichnet, wenn diese einen maximalen Gesamtöffnungswinkel von kleiner als 20°, vorzugsweise kleiner als 10° und insbesondere kleiner als 5° zeigt. Der Gesamtöffnungswinkel wird beispielsweise an der Halbwertsbreite (FWHM-Schwelle) gemessen. Vorzugsweise zeigen die Strahlungen jeweils einen parallelen Strahlverlauf.
  • Mit dem Ziel, die Vermessung des Objekts unbemerkt oder ungestört von anderer Strahlung durchführen zu können, ist es bevorzugt, wenn die Messstrahlung in einem nicht sichtbaren Bereich angeordnet ist. Hierfür ist es möglich, dass die Messstrahlung in einem UV-Bereich, einen NIR-, IR-, oder FIR-Bereich angesiedelt ist. Ausgespart ist beispielsweise der sichtbare Wellenbereich von 400–750 nm.
  • Bei einer ersten möglichen Ausführungsform der Erfindung ist die Arbeitsstrahlung zur Ausleuchtung des Objekts ausgebildet. Die Ausleuchtung ist dabei derart bemessen, dass bei einer ersten Alternative das ausgeleuchtete Objekt durch das menschliche Auge erkennbar ist. Bei einer zweiten Alternative ist die Ausleuchtung so beschaffen, dass das Objekt durch eine künstliche Sensorik, z. B. eine Kamera aufgenommen werden kann.
  • Bei einer anderen Ausführungsform der Erfindung ist die Arbeitsstrahlung zur Bearbeitung, insbesondere Modifikation des Objekts, vorzugsweise als Laser ausgebildet. Beispielsweise kann die Arbeitsstrahlung als ein Laserstrahl beschaffen sein, welcher es erlaubt, das Objekt lokal um mehr als 10°C zu erwärmen, insbesondere zu schneiden, zu beschichten oder aufzuschmelzen. Die Bearbeitung des Objekt kann auch durch eine Belichtung erfolgen, wobei das Objekt beispielsweise mit einer UV-Strahlung als Arbeitsstrahlung belichtet wird, um eine fotochemische Reaktion zu erreichen. Insbesondere weist die Arbeitsstrahlung eine Leistung von mehr als 100 Watt und/oder eine Pulsenergie von mehr als 1 J auf.
  • Bevorzugt weist die Bestrahlungsvorrichtung eine Steuerungseinrichtung auf, welche vorzugsweise die Ablenkeinrichtung, die Arbeitsstrahlungsquelle und die Messstrahlungsquelle ansteuert und/oder die Empfangseinrichtung ausliest und welche zur Durchführung des nachfolgenden Verfahrens bzw. des Verfahrens gemäß dem Anspruch 11 ausgebildet ist. Vorzugsweise ist die Steuerungseinrichtung ausgebildet, die Arbeitsstrahlung und/oder die Messstrahlung scannend und/oder schreibend zu führen.
  • Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zur Bestrahlung eines Objekts mit der Bestrahlungsvorrichtung, wie sie zuvor beschrieben wurde, wobei das Objekt mit der Arbeitsstrahlung selektiv bestrahlt wird. Unter einer selektiven Bestrahlung wird im Sinne der Erfindung verstanden, dass die Bestrahlung auf Objektbereiche, also Teilbereiche des Objekts, oder das Objekt selbst beschränkt ist. Insbesondere werden die Objektbereiche zur selektiven Bestrahlung auf Basis der Messwerte der Empfangseinrichtung durch die Steuerungseinrichtung ausgewählt.
  • Bei einer möglichen Ausführungsform ist die Steuerungseinrichtung zur Erkennung des Objekts auf Basis der Messwerte der Empfangseinrichtung ausgebildet. Beispielsweise kann aus der von dem Objekt zurückgeworfenen Messstrahlung ein 3D-Bild des Objekts aufgebaut werden und dieses über Methoden der digitalen Bildverarbeitung automatisiert erkannt und/oder klassifiziert werden. In Abhängigkeit des Erkennungsergebnisses kann eine selektive Ausleuchtung des erkannten Objektes und/oder der Teilbereiche des Objekts erfolgen.
  • Bei einer bevorzugten Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Messstrahlung und die Arbeitsstrahlung wahlweise gemeinsam oder abwechselnd aktiviert sind. Hieraus ergeben sich verschiedene Betriebsmöglichkeiten der Beleuchtungsvorrichtung, die auch gemischt eingesetzt werden können:
    Bei einer ersten Betriebsart sind Arbeitsstrahlung und Messstrahlung stets gemeinsam aktiviert, wobei die Vermessung des Objekts und die Bestrahlung des Objekts zeitgleich erfolgen.
  • Bei einer zweiten Betriebsart sind Arbeitsstrahlung und Messstrahlung zeitlich überlappend aktiviert, wobei die Arbeitsstrahlung in jenen Raumrichtungen aktiviert ist, in denen sich Teile des Objektes befinden, welche beleuchtet werden sollen. Die Messstrahlung ist dagegen auch in Raumrichtungen aktiviert, in denen sich kein Objekt befindet und/oder die Arbeitsstrahlung deaktiviert ist, sodass eine Dunkeltastung erfolgt.
  • Bei einer dritten Betriebsart werden Arbeitsstrahlung und Messstrahlung abwechselnd, zeitlich nicht überlappend, aktiviert, um Wechselwirkungen und Störungen zu vermeiden.
  • Besonders bevorzugt ist die Bestrahlungsvorrichtung zur schreibenden und/oder abtastenden Bestrahlung ausgebildet. So kann z. B. die Beleuchtungsvorrichtung die Strahlungen zeilenweise und/oder matrixartig schreibend mittels der Ablenkeinrichtung führen.
  • Weitere Merkmale, Vorteile und Wirkungen der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels der Erfindung. Dabei zeigen:
  • 1 eine schematische Blockdarstellung einer Bestrahlungsvorrichtung als ein Ausführungsbeispiel der Erfindung;
  • 2 eine schematische Darstellung einer Ergebnismatrix der Bestrahlungsvorrichtung der 1.
  • Die 1 zeigt in einer schematischen Darstellung eine Bestrahlungsvorrichtung 1, welche zur selektiven Bestrahlung eines Objekts 2 ausgebildet ist. Die Bestrahlungsvorrichtung 1 umfasst eine Arbeitsstrahlungsquelle 3, welche zur Emission von Arbeitsstrahlung einer ersten Wellenlänge bzw. und eine Messstrahlungsquelle 4, welche zur Emission einer Messstrahlung mit einer zweiten Wellenlänge ausgebildet ist, wobei erste und zweite Wellenlänge unterschiedlich sind. Statt einer Wellenlänge kann es sich auch um Wellenlängenbereiche handeln, welche dann nicht überlappend ausgebildet sind.
  • Die Arbeitsstrahlungsquelle 3 sendet eine Arbeitsstrahlung 5 aus, welche über eine Ablenkeinrichtung 6 räumlich abgelenkt werden kann. Die Ablenkeinrichtung 6 ist zur scannenden, insbesondere schreibenden und/oder tastenden Ablenkung der Arbeitsstrahlung 5 ausgebildet. Auf diese Weise kann das Objekt 2 beispielsweise zeilen- und spaltenweise beleuchtet werden. Denkbar ist eine Raumwinkelablenkung, wie es in der 1 gezeigt ist, bei alternativen Ausführungsformen kann auch eine Parallelverschiebung der Arbeitsstrahlung 5 erfolgen.
  • Die 2 zeigt beispielsweise eine Matrix 7 mit Matrixpunkten 8, wobei die Ablenkeinrichtung 6 ausgebildet ist, eine Strahlung entlang von Zeilen 9 und Spalten 10 zu scannen.
  • Zurückkehrend zu der 1 ist in dem Strahlengang der Arbeitsstrahlung 5 vor der Ablenkeinrichtung 6 ein Einkoppelelement 11 insbesondere in Form eines Strahlteilers zwischengeschaltet. Über das Einkoppelelement 11 wird eine Messstrahlung 12 der Messstrahlungsquelle 4 koaxial in den Strahlengang der Arbeitsstrahlung 5 eingekoppelt, sodass Messstrahlung 12 und Arbeitsstrahlung 5 – soweit beide gleichzeitig aktiviert sind – in gleicher Weise von der Ablenkeinrichtung 6 abgelenkt werden.
  • Die Beleuchtungsvorrichtung 1 umfasst zudem eine Empfangseinrichtung 13, welche für den Empfang von dem Objekt 2 rückreflektierte oder rückgestrahlte Messstrahlung 12 ausgebildet und/oder angeordnet ist.
  • In dem dargestellten Ausführungsbeispiel ist die Empfangseinrichtung 13 über ein zweites Einkoppelelement 14, welches ebenfalls als Strahlteiler ausgebildet ist, realisiert. Messstrahlungsquelle 4, Ablenkeinrichtung 6 und Empfangseinrichtung 13 bilden zusammen eine Sensorik 15 zur Detektion des Objekts 2. Die Sensorik 15 kann dabei als eine 2D-Sensorik ausgebildet sein, welche das durch die Matrix 7 gebildete Messfeld nur auf die Existenz des Objekts 2 untersucht oder als eine 3D-Sensorik, welche nach dem Abtasten des Messfelds bzw. der Matrix 7 eine dreidimensionale Objektinformation bildet.
  • Zur Kontrolle der Bestrahlungsvorrichtung 1 ist eine Steuereinrichtung 16 eingesetzt, welche als Eingangsgrößen die Messsignale oder die weiterverarbeiteten Messsignale der Sensorik 15 erhält und als Ausgangsgrößen Steuersignale für die Ablenkeinrichtung 6, für die Messstrahlungsquelle 4 und für die Arbeitsstrahlungsquelle 3 als Komponenten der Bestrahlungsvorrichtung 1 bereitstellt.
  • Funktionell betrachtet wird die Messstrahlung 12 koaxial zu der Arbeitsstrahlung 5 eingekoppelt, wobei beide Strahlungen über die Ablenkeinrichtung 6 die Matrix 7 und somit ein Bearbeitungsfeld bzw. ein Messfeld schreibend im Umfeld abtasten. Aus den rückreflektieren Anteilen der Messstrahlung 12, die wieder über die Ablenkeinrichtung 6 geführt sind, kann die Empfangseinrichtung 13 an jedem Matrixpunkt 8 der Matrix 7 eine Objektinformation: Existenz ja/nein oder einen Entfernungswert oder einen Reflektivitätswert ermitteln. Die Steuereinrichtung 16 ist dazu ausgebildet, auf Basis dieser Messwerte bzw. abgeleiteten Messwerte ein Objekt zu erkennen, beispielsweise indem eine abgetastete Struktur 17 (2) mit zuvor abgespeicherten Referenzobjekten verglichen wird.
  • Bei einer ersten Betriebsart kann die Steuereinrichtung 16 die Komponenten so ansteuern, dass eine Beleuchtung des Objekts 2 mit der Arbeitsstrahlung und Messstrahlung nur im Rahmen der detektierten und/oder erkannten Struktur 17 erfolgt. Arbeitsstrahlung 5 und Messstrahlung 12 sind in dieser Betriebsart zeitgleich aktiviert, wobei die Steuereinrichtung 16 gegebenenfalls eine Objektverfolgung durchführt, sodass das Objekt 2 bzw. die Struktur 17 stets lagerichtig beleuchtet bzw. vermessen wird.
  • Bei einer zweiten Betriebsart wird die Matrix 7 als Messfeld von der Messstrahlung 12 stets vollständig abgescannt, die Arbeitsstrahlung 5 wird jeweils nur im Bereich der erkannten Struktur 17 selektiv aktiviert. Bei dieser Betriebsart kann nach jedem Durchlauf der Matrix 7 eine neue Position der Struktur 17 und damit des Objekts 2 festgestellt werden und im nächsten Durchlauf das Objekt 2 wieder lagerichtig beleuchtet werden.
  • Bei einer dritten Betriebsart werden Messstrahlung 12 und Arbeitsstrahlung 5 abwechselnd aktiviert, um eine gegenseitige Beeinflussung zu vermeiden.
  • Mögliche Anwendungsgebiete der Bestrahlungsvorrichtung 1 sind:
    • – Eine selektive Ausleuchtung von Szenarien, vorzugsweise mit bewegten Objekten, z. B. auf einer Bühne, wobei durch die Beleuchtungsvorrichtung 1 ein automatisch nachgeführtes Spotlight zur Beleuchtung eines der bewegten Objekte, insbesondere eines Schauspielers umgesetzt werden kann.
    • – In Überwachungsvorrichtungen, z. B. bei Sicherheitsanwendungen, kann durch die Beleuchtungsvorrichtung 1 ein relevantes Objekt durch die Sensorik 15 detektiert und selektiv beleuchtet werden. Wie bei allen Ausführungsformen ist eine Objektverfolgung prinzipiell möglich.
    • – Bei anderen Anwendungsgebieten kann die Arbeitsstrahlung 5 z. B. mit UV-Licht ausgeführt sein.
    • – Neben der selektiven Beleuchtung des Objekts 2 ist auch eine selektive Ausblendung von Teilbereichen des Objekts 2 möglich, z. B. zur Vermeidung des Rotaugen-Effekts bei der Blitzlichtfotografie durch selektive Nichtbeleuchtung der Pupillen oder für Spezialeffekte bei der Bühnenbeleuchtung.
    • – Ein möglicher Vorteil der Erfindung liegt in dem Energieeinsparungspotenzial, da z. B. bei Sicherheitsanwendungen nicht eine gesamte Szenerie beleuchtet werden muss, sondern nur die als relevant eingestuften Objekte.
    • – Ein weiteres Anwendungsgebiet liegt im Einsatz der Beleuchtungsvorrichtung 1 zur Ausleuchtung von Gefahrensituationen bei Fahrassistenzsystemen, wobei bewegte Objekte z. B. Fußgänger auf einer Straße selektiv beleuchtet werden können.
    • – Weitere Anwendungsgebiete ergeben sich bei der Materialbearbeitung mittels Strahlung, wobei über die Beleuchtungsvorrichtung 1 eine Echtzeitkontrolle des Materialbearbeitungsvorgangs ermöglicht wird. Dieses Anwendungsgebiet ist bei inhomogenen Materialien, wo es auf eine angepasste Intensitätsregelung in Bereichen unterschiedlicher Wirksamkeit der Strahlung ankommt, vorteilhaft einsetzbar.
    • – Die Bestrahlungsvorrichtung 1 kann auch zur Materialbearbeitung, z. B. Lasergravur, an bewegten Objekten eingesetzt werden, wobei beispielsweise die Materialbearbeitung in laufender Produktion bei laufendem Fließband ermöglicht wird.
    • – Die Beleuchtungsvorrichtung 1 erlaubt auch einen Soll-/Ist-Vergleich einer herzustellenden Form in Echtzeit bei der Materialbearbeitung.
    • – Bei einer Materialauftragung, wie z. B. bei einem Drucker oder bei einem Auftragsschweißen, kann die Beleuchtungsvorrichtung 1 eingesetzt werden, um online und/oder in Echtzeit einen Materialauftrag zu überprüfen und gegebenenfalls nachzuregeln bzw. zu steuern.

Claims (13)

  1. Bestrahlungsvorrichtung (1) mit einer Arbeitsstrahlungsquelle (3), welche zur Bestrahlung eines Objekts (2) mit einer Arbeitsstrahlung (5) ausgebildet ist, mit einer Ablenkeinrichtung (6), welche als eine aktive Strahlführungs- und/oder -formungseinrichtung für die Arbeitsstrahlung (5) ausgebildet und/oder angeordnet ist, mit einer Messstrahlungsquelle (4), welche zur Ausgabe einer Messstrahlung (12) ausgebildet ist, die zumindest zeitweise auf das Objekt gerichtet und/oder richtbar ist, und mit einer Empfangseinrichtung (13), welche zum Empfang der von dem Objekt zurückgeworfenen Messstrahlung (12) ausgebildet ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Messstrahlung (12) über die Ablenkeinrichtung (6) geführt wird und/oder ist.
  2. Bestrahlungsvorrichtung (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass Arbeitsstrahlung (5) und Messstrahlung (12) insbesondere nach der Ablenkeinrichtung (6) koaxial geführt sind.
  3. Bestrahlungsvorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Empfangseinrichtung (13) zur Detektion der Existenz und/oder der Distanz des Objekts (2) ausgebildet ist.
  4. Bestrahlungsvorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Empfangseinrichtung (13) eine Laufzeitmessung und/oder Phasenmessung zur Messung der Distanz umsetzt.
  5. Bestrahlungsvorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Ablenkeinrichtung (6) als eine Scannereinheit, eine adaptive Optik oder eine MEMS-Einheit ausgebildet ist.
  6. Bestrahlungsvorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Arbeitsstrahlung (12) und/oder die Messstrahlung (5) als ein Punktstrahler ausgebildet ist bzw. sind.
  7. Bestrahlungsvorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Messstrahlung (12) in einem nichtsichtbaren Längenwellenbereich liegt.
  8. Bestrahlungsvorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Arbeitsstrahlung (5) zur Ausleuchtung des Objekts (2) ausgebildet ist.
  9. Bestrahlungsvorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Arbeitsstrahlung (12) zur Bearbeitung des Objekts (2) ausgebildet ist.
  10. Bestrahlungsvorrichtung (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Steuerungsvorrichtung (16), welche zur Durchführung des nachfolgenden Verfahrens ausgebildet ist.
  11. Verfahren zur Bestrahlung eines Objekts mit einer Bestrahlungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Bestrahlungsvorrichtung (1) zur selektiven Bestrahlung eines erkannten Objekts (2) oder Teilbereichen davon ausgebildet ist.
  12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinrichtung (16) zur Objekterkennung und/oder -verfolgung auf Basis der Messwerte der Empfangseinrichtung (13) ausgebildet ist.
  13. Verfahren nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Messstrahlung (12) und die Arbeitsstrahlung (5) gemeinsam oder abwechselnd aktiviert sind.
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