DE102008053855B3 - Inclination angle direction determining method for micro-electro-mechanical system component, involves determining inclination angle by comparison of reference line and middle line by computer device - Google Patents
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Abstract
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Bestimmung von Neigungswinkeln zwischen einer Referenzlinie und der Richtung der Erdbeschleunigung gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 bzw. 4.The The invention relates to a method and a device for determination of inclination angles between a reference line and the direction the gravitational acceleration according to the preamble of claim 1 or 4.
Derartige Verfahren bzw. Vorrichtungen werden insbesondere für die Kalibrierung von Inklinationswinkelsensoren verwendet. Inklinationswinkelsensoren dienen zur Messung des Neigungswinkels bezogen auf die Richtung der Erdbeschleunigung (Erdsenkrechte). Derartige Sensoren werden im großen Umfang als MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)-Halbleiterbauelemente hergestellt und beispielsweise in Video-Spielkonsolen eingesetzt, wo es darauf ankommt, den Neigungswinkel von Teilen der Spielkonsole zu erfassen und die Spielsituation entsprechend anzupassen. Weitere Anwendungen von Inklinationswinkelsensoren gibt es zum Beispiel bei der Diebstahlsicherung von Automobilen, in der Luftfahrt, bei Kränen etc.such Methods or devices are used in particular for the calibration used by inclination angle sensors. Inklinationswinkelsensoren are used to measure the angle of inclination with respect to the direction the gravitational acceleration (earth perpendicular). Such sensors will be in the large Scope as MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) semiconductor devices manufactured and used for example in video game consoles, where it matters, the angle of inclination of parts of the game console to capture and adjust the game situation accordingly. Further Applications of inclination angle sensors are for example in the theft protection of automobiles, in aviation, at cranes Etc.
Nach der Produktion von MEMS-Inklinationswinkelsensoren müssen diese, um ihre Zuverlässigkeit zu gewährleisten, einer Kalibrierung unterzogen werden, da ansonsten unvermeidbare Ungenauigkeiten bei der Herstellung der Senso ren zu entsprechenden Ungenauigkeiten und Abweichungen beim Einsatz der Sensoren führen würden. Damit eine derartige Kalibrierung der MEMS-Inklinationswinkelsensoren mit hoher Geschwindigkeit und kostengünstig durchgeführt werden kann, kommen sogenannte Handler, d. h. Handhabungsautomaten, zum Einsatz, die sehr viele Sensoren in kurzer Zeit in die Testposition bringen und in Abhängigkeit des Testergebnisses sortieren.To the production of MEMS inclination angle sensors, these for their reliability to ensure, be subjected to a calibration, otherwise unavoidable Inaccuracies in the manufacture of the sensors to corresponding Inaccuracies and deviations in the use of the sensors would lead. In order to such calibration of the MEMS inclination angle sensors be carried out at high speed and inexpensively can, come so-called handlers, d. H. Handling machines, to Use a lot of sensors in a short time in the test position bring and depend on sort the test result.
Beim Kalibrieren von Inklinationswinkelsensoren ist es erforderlich, zunächst die genaue Richtung der Erdbeschleunigung zu bestimmen, um anschließend die Lage des sich in einer bestimmten Testposition befindenden Inklinationswinkelsensors mit der Richtung der Erdbeschleunigung vergleichen zu können. Bei bekannten Verfahren kann die Richtung der Erdbeschleunigung jedoch nicht mit der gewünschten Genauigkeit bestimmt werden. Derartige Ungenauigkeiten führen letztendlich dann zu einer unpräzisen Kalibrierung der Inklinationswinkelsensoren.At the Calibration of inclination angle sensors it is necessary first to determine the exact direction of gravitational acceleration, then to the Position of the Inklinationswinkelsensors located in a particular test position with to be able to compare the direction of gravitational acceleration. at however, the direction of gravitational acceleration can be known not with the desired Accuracy can be determined. Such inaccuracies ultimately lead to then to an imprecise Calibration of the inclination angle sensors.
In
der
In
der
Aus
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Die
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, mit dem bzw. der der Neigungswinkel von elektronischen Bauelementen relativ zur Richtung der Erdbeschleunigung auf möglichst genaue Weise bestimmt werden kann.Of the Invention is based on the object, a method and an apparatus of the type mentioned above, with the or the inclination angle of electronic components relative to the direction of gravitational acceleration on as accurate as possible Way can be determined.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein Verfahren gemäß Anspruch 1 und eine Vorrichtung gemäß Anspruch 4 gelöst. Vorteilhafte Ausführungsformen der Erfindung sind in den weiteren Unteransprüchen beschrieben.These The object is achieved by a Method according to claim 1 and a device according to claim 4 solved. Advantageous embodiments The invention are described in the further subclaims.
Das erfindungsgemäße Verfahren ist durch folgende Schritte gekennzeichnet:
- – Erfassen von Lotschnurpendelschwingungen einer eine Lotschnur aufweisenden Pendeleinrichtung und der Position der Referenzlinie des Bauelements oder des Nests mittels Kameras, die in einem bestimmten Winkel zueinander angeordnet sind,
- – Bestimmen der Richtung der Erdbeschleunigung durch Berechnen einer Mittellinie aus einer Vielzahl von von den Kameras erfassten Lotschnurpendelpositionen mittels einer an die Kameras angeschlossenen Recheneinrichtung,
- – Bestimmen der Neigungswinkel durch Vergleich der Referenzlinie mit der Mittellinie mittels der Recheneinrichtung.
- Detecting Lotschnurpendelschwingungen a Lotschnur having pendulum device and the position of the reference line of the device or the nest by means of cameras which are arranged at a certain angle to each other,
- Determining the direction of gravitational acceleration by calculating a centerline from a plurality of lotus pendulum positions detected by the cameras by means of a computing device connected to the cameras,
- - Determining the inclination angle by comparing the reference line with the center line by means of the computing device.
Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird somit davon Gebrauch gemacht, dass ein beliebiges Lot Schwingungen um die Erdsenkrechte ausführt. Die Lotschnur stellt dabei eine Gerade dar, die sich zwischen den maximalen Pendelausschlägen (Pendelumkehrpunkten) hin- und herbewegt. Diese Schwingungen werden von insbesondere zwei Kameras aufgenommen und von der angeschlossenen Recheneinrichtung ausgewertet, wobei eine vorbestimmte Anzahl von Schwingungsbildern, beispielsweise 100 Bilder pro Kamera, zugrunde gelegt werden. Durch die Kameras wird somit eine Vielzahl von Lotschnurpositionen während des Hin- und Herschwingens der Lotschnur aufgenommen, wobei die seitliche Auslenkung (Amplitude) einer jeden aufgenommenen Lotschnurposition ermittelt werden kann. Gemäß dem Abtasttheorem von Nyquist-Shannon kann nunmehr durch Mittelung der aufgenommenen Lotschnurpositionen (Amplituden) der Nullpunkt errechnet werden, durch den die Erdsenkrechte geht. Dieses Abtasttheorem besagt, dass durch Mittelung von zufälligen Messungen der Amplitude eines periodischen Vorgangs der echte Nullpunkt erhalten wird, falls die Bildwiederholrate mindestens doppelt so groß wie die Periodenlänge des Pendels ist. Die mit Hilfe des Abtasttheorems errechnete Mittellinie entspricht damit exakt der Richtung der Erdbeschleunigung. Weiterhin wird mittels der Kameras eine Referenzlinie aufgenommen, wobei sich diese Referenzlinie (insbesondere eine Längskante) beispielsweise entweder direkt am elektronischen Bauelement, insbesondere Inklinationswinkelsensor, oder an einem Nest (”chuck”), an dem das Bauelement gehaltert ist, befinden kann. Die Recheneinrichtung vergleicht die Lage dieser Referenzlinie mit der aus den Pendelschwingungen errechneten Mittellinie, wodurch die Neigungswinkel zwischen der Referenzlinie des Bauelements und der Mittellinie auf sehr genaue Weise bestimmt werden kann. Diese Neigungswinkel können nun zur genauen Kalibrierung des Bauelements verwendet werden.The method according to the invention thus makes use of the fact that any desired solder executes oscillations around the vertical plane of the earth. The plumb line represents a straight line, which moves back and forth between the maximum pendulum swings (pendulum reversal points). These Vibrations are recorded by in particular two cameras and evaluated by the connected computing device, whereby a predetermined number of vibration images, for example 100 images per camera, are used. The cameras thus accommodate a plurality of plumb line positions during the back and forth swing of the plumb line, whereby the lateral deflection (amplitude) of each plotted plumb line position can be determined. According to the sampling theorem of Nyquist-Shannon can now be calculated by averaging the recorded Lotschnurpositionen (amplitudes) of the zero point through which the ground is perpendicular. This sampling theorem states that by averaging random measurements of the amplitude of a periodic operation, the true zero is obtained if the refresh rate is at least twice the period length of the pendulum. The center line calculated with the help of the sampling theorem thus corresponds exactly to the direction of the gravitational acceleration. Furthermore, a reference line is recorded by means of the cameras, wherein this reference line (in particular a longitudinal edge) can be located, for example, either directly on the electronic component, in particular the inclination angle sensor, or on a nest ("chuck") on which the component is held. The calculating means compares the position of this reference line with the center line calculated from the pendulum oscillations, whereby the angles of inclination between the reference line of the component and the center line can be determined in a very accurate manner. These tilt angles can now be used to accurately calibrate the device.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform werden die Lotschnurpendelschwingungen in zwei zueinander senkrechten Ebenen mittels zwei zueinander in einem Winkel von 90° angeordneter Kameras aufgenommen. Hierdurch wird gewährleistet, dass die Kameras zwischen sich den größtmöglichen Winkelbereich aufspannen, wodurch die Aufnahmen die größtmögliche Genauigkeit besitzen.According to one preferred embodiment the Lotschnurpendelschwingungen in two mutually perpendicular planes recorded by means of two mutually arranged at an angle of 90 ° cameras. This ensures that the cameras between them the largest possible angular range span, whereby the recordings have the greatest possible accuracy.
Gemäß einer besonders vorteilhaften Ausführungsform ist ein mit der Recheneinrichtung verbundenes Inklinometer zur Erfassung von Neigungsveränderungen eines das Bauelement aufnehmenden Aufnahmemoduls vorgesehen, wobei vom Inklinometer abgegebene Daten bei der Bestimmung der Neigungswinkel zusätzlich berücksichtigt werden.According to one particularly advantageous embodiment is a connected to the computing inclinometer for detection of inclination changes a receiving module receiving module provided, wherein data supplied by the inclinometer when determining the angle of inclination additionally considered become.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung weist folgendes auf:
- – eine Pendeleinrichtung mit einem eine Lotschnur umfassenden Lot,
- – auf die Lotschnur und die Referenzlinie ausgerichtete Kameras zur Erfassung von Lotschnurpendelschwingungen und der Position der Referenzlinie, wobei die Kameras in einem bestimmten Winkel zueinander angeordnet sind, und
- – eine mit der Kamera verbundene Recheneinrichtung, die derart ausgebildet ist, dass sie aus einer Vielzahl von von den Kameras erfassten Lotschnurpendelpositionen eine Mittellinie berechnet und die Neigungswinkel durch Vergleich der Lage der Mittellinie mit der Position der Referenzlinie bestimmt.
- A pendulum device with a solder comprising a plumb line,
- - aligned on the plumb line and the reference line cameras for detecting Lotschnurpendelschwingungen and the position of the reference line, wherein the cameras are arranged at a certain angle to each other, and
- A computing device connected to the camera and configured to calculate a centerline from a plurality of lot cord pendulum positions detected by the cameras and to determine the tilt angles by comparing the position of the center line with the position of the reference line.
Die mit dieser Vorrichtung verbundenen Vorteile entsprechen denjenigen, die im Zusammenhang mit dem erfindungsgemäßen Verfahren beschrieben wurden.The advantages associated with this device correspond to those which have been described in connection with the method according to the invention.
Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform sind zwei Kameras vorgesehen, die zueinander in einem Winkel von 90° angeordnet sind, derart, dass Lotschnurpendelschwingungen in zwei aufeinander senkrecht stehenden Ebenen erfassbar sind.According to one advantageous embodiment two cameras provided, which are arranged at an angle of 90 ° to each other are such that Lotschnurpendelschwingungen in two perpendicular to each other standing levels are detectable.
Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform ist ein die Bauelemente aufnehmendes Aufnahmemodul mit einem Gehäuse und einem relativ zum Gehäuse stationär angeordneten Inklinometer zur Erfassung von Neigungsveränderungen des Gehäuses vorgesehen, wobei das Inklinometer an die Recheneinrichtung angeschlossen ist und Neigungsveränderungen des Gehäuses in Form von Daten der Recheneinrichtung zur Korrektur der errechneten Neigungswinkel zuführt. Ein derartiges, zusätzlich zur Pendeleinrichtung vorgesehenes Inklinometer, das fest am Aufnahmemodul angeordnet ist, hat den Vorteil, dass dann, wenn das Aufnahmemodul, nachdem die Erdsenkrechte bestimmt worden ist, verschoben und beispielsweise an einen Handler angedockt wird, hierdurch verursachte Neigungsveränderungen auf einfache Weise erfasst werden können, so dass die Lage der Referenzlinie rechnerisch ermittelt und anschließend entsprechend korrigiert werden kann.According to one advantageous embodiment a receiving module receiving modules with a housing and one relative to the housing stationary arranged inclinometer for detecting inclination changes the housing provided, wherein the inclinometer is connected to the computing device and inclination changes of the housing in the form of data of the computing device for correcting the calculated Tilt angle feeds. Such, in addition Inclinometer provided for the pendulum device, fixed on the receiving module is arranged, has the advantage that when the receiving module, after the ground level has been determined, moved and, for example is docked to a handler, thereby causing inclination changes can be easily recorded, so that the location of the Reference line calculated and then corrected accordingly can be.
Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform weist das Aufnahmemodul eine das Nest haltende Dreheinrichtung zum Drehen des Nests um mindestens eine Drehachse auf.According to one advantageous embodiment has the receiving module a turning holding the nest to rotate of the nest around at least one axis of rotation.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand der Zeichnungen beispielhaft näher erläutert. Es zeigen:The Invention will be explained in more detail by way of example with reference to the drawings. It demonstrate:
Aus
Bei
Gebrauch wird das Pendelmodul
Die
spiegelsymmetrische Anordnung der beiden Pendeleinrichtungen
Im
folgenden wird anhand der
Die
Pendeleinrichtung
Um
die seitliche Auslenkung der Lotschnur
Die
beiden Kameras
Wie
in Zeichnung 2 erkennbar, sind die Kameras
Zum
Testen bzw. Kalibrieren der Inklinationswinkelsensoren ist es erforderlich,
zunächst
die genaue Richtung der Erdbeschleunigung zu erfassen und anschließend die
Lage der Referenzlinie
Um
die Genauigkeit dieses Verfahrens zu verbessern, wird von der Recheneinrichtung
Die
Kameras
Anhand
von
Der
vordere Endbereich
Um
das Nest
Wie
aus
Das
Aufnahmemodul
Wie
aus
Um
die Richtung der Erdbeschleunigung, d. h. die Erdsenkrechte, auf
genaue Weise zu bestimmen, wird zunächst, wie in
Nachdem
die Richtung der Erdsenkrechten ermittelt und die Neigungswinkel φ, ϑ bestimmt
worden sind, wird das Pendelmodul
Wird
das Aufnahmemodul
Claims (7)
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE200810053855 DE102008053855B3 (en) | 2008-10-30 | 2008-10-30 | Inclination angle direction determining method for micro-electro-mechanical system component, involves determining inclination angle by comparison of reference line and middle line by computer device |
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