DE102008053855B3

DE102008053855B3 - Inclination angle direction determining method for micro-electro-mechanical system component, involves determining inclination angle by comparison of reference line and middle line by computer device

Info

Publication number: DE102008053855B3
Application number: DE200810053855
Authority: DE
Inventors: Matthias Zippel
Original assignee: Multitest Elektronische Systeme GmbH
Current assignee: Multitest Elektronische Systeme GmbH
Priority date: 2008-10-30
Filing date: 2008-10-30
Publication date: 2010-05-06
Anticipated expiration: 2028-10-31

Abstract

The method involves detecting plumb line pendulum oscillations of a pendulum device (2) comprising a plumb line (12). A position of a reference line of a component or a recess is detected by cameras (3a, 3b) arranged in a predetermined angle to each other. Direction of ground acceleration is determined by calculating a middle line from plumb line pendulum positions by a computer device (18) attached to the cameras, where the positions are detected by the cameras. An inclination angle is determined by comparison of the reference line with the middle line by the computer device. An independent claim is also included for a device for determining an inclination angle between a reference line of an electronic component or a recess accommodating a component, and a direction of ground acceleration.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Bestimmung von Neigungswinkeln zwischen einer Referenzlinie und der Richtung der Erdbeschleunigung gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 bzw. 4.The The invention relates to a method and a device for determination of inclination angles between a reference line and the direction the gravitational acceleration according to the preamble of claim 1 or 4.

Derartige Verfahren bzw. Vorrichtungen werden insbesondere für die Kalibrierung von Inklinationswinkelsensoren verwendet. Inklinationswinkelsensoren dienen zur Messung des Neigungswinkels bezogen auf die Richtung der Erdbeschleunigung (Erdsenkrechte). Derartige Sensoren werden im großen Umfang als MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)-Halbleiterbauelemente hergestellt und beispielsweise in Video-Spielkonsolen eingesetzt, wo es darauf ankommt, den Neigungswinkel von Teilen der Spielkonsole zu erfassen und die Spielsituation entsprechend anzupassen. Weitere Anwendungen von Inklinationswinkelsensoren gibt es zum Beispiel bei der Diebstahlsicherung von Automobilen, in der Luftfahrt, bei Kränen etc.such Methods or devices are used in particular for the calibration used by inclination angle sensors. Inklinationswinkelsensoren are used to measure the angle of inclination with respect to the direction the gravitational acceleration (earth perpendicular). Such sensors will be in the large Scope as MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) semiconductor devices manufactured and used for example in video game consoles, where it matters, the angle of inclination of parts of the game console to capture and adjust the game situation accordingly. Further Applications of inclination angle sensors are for example in the theft protection of automobiles, in aviation, at cranes Etc.

Nach der Produktion von MEMS-Inklinationswinkelsensoren müssen diese, um ihre Zuverlässigkeit zu gewährleisten, einer Kalibrierung unterzogen werden, da ansonsten unvermeidbare Ungenauigkeiten bei der Herstellung der Senso ren zu entsprechenden Ungenauigkeiten und Abweichungen beim Einsatz der Sensoren führen würden. Damit eine derartige Kalibrierung der MEMS-Inklinationswinkelsensoren mit hoher Geschwindigkeit und kostengünstig durchgeführt werden kann, kommen sogenannte Handler, d. h. Handhabungsautomaten, zum Einsatz, die sehr viele Sensoren in kurzer Zeit in die Testposition bringen und in Abhängigkeit des Testergebnisses sortieren.To the production of MEMS inclination angle sensors, these for their reliability to ensure, be subjected to a calibration, otherwise unavoidable Inaccuracies in the manufacture of the sensors to corresponding Inaccuracies and deviations in the use of the sensors would lead. In order to such calibration of the MEMS inclination angle sensors be carried out at high speed and inexpensively can, come so-called handlers, d. H. Handling machines, to Use a lot of sensors in a short time in the test position bring and depend on sort the test result.

Beim Kalibrieren von Inklinationswinkelsensoren ist es erforderlich, zunächst die genaue Richtung der Erdbeschleunigung zu bestimmen, um anschließend die Lage des sich in einer bestimmten Testposition befindenden Inklinationswinkelsensors mit der Richtung der Erdbeschleunigung vergleichen zu können. Bei bekannten Verfahren kann die Richtung der Erdbeschleunigung jedoch nicht mit der gewünschten Genauigkeit bestimmt werden. Derartige Ungenauigkeiten führen letztendlich dann zu einer unpräzisen Kalibrierung der Inklinationswinkelsensoren.At the Calibration of inclination angle sensors it is necessary first to determine the exact direction of gravitational acceleration, then to the Position of the Inklinationswinkelsensors located in a particular test position with to be able to compare the direction of gravitational acceleration. at however, the direction of gravitational acceleration can be known not with the desired Accuracy can be determined. Such inaccuracies ultimately lead to then to an imprecise Calibration of the inclination angle sensors.

In der DE 10 2006 015 363 A1 wird ein Verfahren bzw. eine Vorrichtung gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1 bzw. 4 erwähnt, ohne dass näher ausgeführt wird, wie die Neigungswinkel zwischen einer Referenzlinie eines elektronischen Bauelements oder eines das Bauelement aufnehmenden Nests und der Richtung der Erdbeschleunigung bestimmt werden.In the DE 10 2006 015 363 A1 is a method or apparatus according to the preamble of claim 1 or 4 mentioned, without further details, how the inclination angle between a reference line of an electronic component or a component receiving nest and the direction of gravity acceleration are determined.

In der DE 10 2004 057 776 A1 ist beschrieben, dass die Lage eines elektronischen Bauelements in einem Bauelementhalter mittels einer optischen Lageerfassungseinrichtung in der Form einer Kamera über einen schräg angeordneten Spiegel ermittelt werden kann.In the DE 10 2004 057 776 A1 It is described that the position of an electronic component in a component holder can be determined by means of an optical position detection device in the form of a camera via an obliquely arranged mirror.

Aus der DE 19 962 166 A1 ist ein Verfahren zum Ausrichten von Körpern, insbesondere zum Parallelausrichten von rotationssymmetrischen Körpern, bekannt. Dort wird mittels einer Lotschnur, die einen horizontalen Abschnitt und – nach Umlenkung – einen vertikalen Abschnitt aufweist, eine Bezugsebene aufgespannt, die sich senkrecht durch eine Körper-Sollachse eines auszurichtenden Körpers erstreckt.From the DE 19 962 166 A1 is a method for aligning bodies, in particular for the parallel alignment of rotationally symmetrical bodies, known. There is by means of a plumb line, which has a horizontal portion and - after deflection - a vertical portion, a reference plane spanned, which extends perpendicularly through a body-desired axis of a body to be aligned.

Die DE 10 2005 021 100 A1 beschreibt ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Bestückung eines Schaltungsträgers mit einem neigungssensitiven Element, wobei eine Lage des neigungssensitiven Elementes während eines Positioniervorgangs überprüft und in eine Solllage geregelt wird.The DE 10 2005 021 100 A1 describes a method and a device for equipping a circuit carrier with a tilt-sensitive element, wherein a position of the tilt-sensitive element is checked during a positioning operation and controlled in a desired position.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, mit dem bzw. der der Neigungswinkel von elektronischen Bauelementen relativ zur Richtung der Erdbeschleunigung auf möglichst genaue Weise bestimmt werden kann.Of the Invention is based on the object, a method and an apparatus of the type mentioned above, with the or the inclination angle of electronic components relative to the direction of gravitational acceleration on as accurate as possible Way can be determined.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein Verfahren gemäß Anspruch 1 und eine Vorrichtung gemäß Anspruch 4 gelöst. Vorteilhafte Ausführungsformen der Erfindung sind in den weiteren Unteransprüchen beschrieben.These The object is achieved by a Method according to claim 1 and a device according to claim 4 solved. Advantageous embodiments The invention are described in the further subclaims.

Das erfindungsgemäße Verfahren ist durch folgende Schritte gekennzeichnet:

– Erfassen von Lotschnurpendelschwingungen einer eine Lotschnur aufweisenden Pendeleinrichtung und der Position der Referenzlinie des Bauelements oder des Nests mittels Kameras, die in einem bestimmten Winkel zueinander angeordnet sind,
– Bestimmen der Richtung der Erdbeschleunigung durch Berechnen einer Mittellinie aus einer Vielzahl von von den Kameras erfassten Lotschnurpendelpositionen mittels einer an die Kameras angeschlossenen Recheneinrichtung,
– Bestimmen der Neigungswinkel durch Vergleich der Referenzlinie mit der Mittellinie mittels der Recheneinrichtung.

The method according to the invention is characterized by the following steps:

Detecting Lotschnurpendelschwingungen a Lotschnur having pendulum device and the position of the reference line of the device or the nest by means of cameras which are arranged at a certain angle to each other,
Determining the direction of gravitational acceleration by calculating a centerline from a plurality of lotus pendulum positions detected by the cameras by means of a computing device connected to the cameras,
- Determining the inclination angle by comparing the reference line with the center line by means of the computing device.

Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird somit davon Gebrauch gemacht, dass ein beliebiges Lot Schwingungen um die Erdsenkrechte ausführt. Die Lotschnur stellt dabei eine Gerade dar, die sich zwischen den maximalen Pendelausschlägen (Pendelumkehrpunkten) hin- und herbewegt. Diese Schwingungen werden von insbesondere zwei Kameras aufgenommen und von der angeschlossenen Recheneinrichtung ausgewertet, wobei eine vorbestimmte Anzahl von Schwingungsbildern, beispielsweise 100 Bilder pro Kamera, zugrunde gelegt werden. Durch die Kameras wird somit eine Vielzahl von Lotschnurpositionen während des Hin- und Herschwingens der Lotschnur aufgenommen, wobei die seitliche Auslenkung (Amplitude) einer jeden aufgenommenen Lotschnurposition ermittelt werden kann. Gemäß dem Abtasttheorem von Nyquist-Shannon kann nunmehr durch Mittelung der aufgenommenen Lotschnurpositionen (Amplituden) der Nullpunkt errechnet werden, durch den die Erdsenkrechte geht. Dieses Abtasttheorem besagt, dass durch Mittelung von zufälligen Messungen der Amplitude eines periodischen Vorgangs der echte Nullpunkt erhalten wird, falls die Bildwiederholrate mindestens doppelt so groß wie die Periodenlänge des Pendels ist. Die mit Hilfe des Abtasttheorems errechnete Mittellinie entspricht damit exakt der Richtung der Erdbeschleunigung. Weiterhin wird mittels der Kameras eine Referenzlinie aufgenommen, wobei sich diese Referenzlinie (insbesondere eine Längskante) beispielsweise entweder direkt am elektronischen Bauelement, insbesondere Inklinationswinkelsensor, oder an einem Nest (”chuck”), an dem das Bauelement gehaltert ist, befinden kann. Die Recheneinrichtung vergleicht die Lage dieser Referenzlinie mit der aus den Pendelschwingungen errechneten Mittellinie, wodurch die Neigungswinkel zwischen der Referenzlinie des Bauelements und der Mittellinie auf sehr genaue Weise bestimmt werden kann. Diese Neigungswinkel können nun zur genauen Kalibrierung des Bauelements verwendet werden.The method according to the invention thus makes use of the fact that any desired solder executes oscillations around the vertical plane of the earth. The plumb line represents a straight line, which moves back and forth between the maximum pendulum swings (pendulum reversal points). These Vibrations are recorded by in particular two cameras and evaluated by the connected computing device, whereby a predetermined number of vibration images, for example 100 images per camera, are used. The cameras thus accommodate a plurality of plumb line positions during the back and forth swing of the plumb line, whereby the lateral deflection (amplitude) of each plotted plumb line position can be determined. According to the sampling theorem of Nyquist-Shannon can now be calculated by averaging the recorded Lotschnurpositionen (amplitudes) of the zero point through which the ground is perpendicular. This sampling theorem states that by averaging random measurements of the amplitude of a periodic operation, the true zero is obtained if the refresh rate is at least twice the period length of the pendulum. The center line calculated with the help of the sampling theorem thus corresponds exactly to the direction of the gravitational acceleration. Furthermore, a reference line is recorded by means of the cameras, wherein this reference line (in particular a longitudinal edge) can be located, for example, either directly on the electronic component, in particular the inclination angle sensor, or on a nest ("chuck") on which the component is held. The calculating means compares the position of this reference line with the center line calculated from the pendulum oscillations, whereby the angles of inclination between the reference line of the component and the center line can be determined in a very accurate manner. These tilt angles can now be used to accurately calibrate the device.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform werden die Lotschnurpendelschwingungen in zwei zueinander senkrechten Ebenen mittels zwei zueinander in einem Winkel von 90° angeordneter Kameras aufgenommen. Hierdurch wird gewährleistet, dass die Kameras zwischen sich den größtmöglichen Winkelbereich aufspannen, wodurch die Aufnahmen die größtmögliche Genauigkeit besitzen.According to one preferred embodiment the Lotschnurpendelschwingungen in two mutually perpendicular planes recorded by means of two mutually arranged at an angle of 90 ° cameras. This ensures that the cameras between them the largest possible angular range span, whereby the recordings have the greatest possible accuracy.

Gemäß einer besonders vorteilhaften Ausführungsform ist ein mit der Recheneinrichtung verbundenes Inklinometer zur Erfassung von Neigungsveränderungen eines das Bauelement aufnehmenden Aufnahmemoduls vorgesehen, wobei vom Inklinometer abgegebene Daten bei der Bestimmung der Neigungswinkel zusätzlich berücksichtigt werden.According to one particularly advantageous embodiment is a connected to the computing inclinometer for detection of inclination changes a receiving module receiving module provided, wherein data supplied by the inclinometer when determining the angle of inclination additionally considered become.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung weist folgendes auf:

– eine Pendeleinrichtung mit einem eine Lotschnur umfassenden Lot,
– auf die Lotschnur und die Referenzlinie ausgerichtete Kameras zur Erfassung von Lotschnurpendelschwingungen und der Position der Referenzlinie, wobei die Kameras in einem bestimmten Winkel zueinander angeordnet sind, und
– eine mit der Kamera verbundene Recheneinrichtung, die derart ausgebildet ist, dass sie aus einer Vielzahl von von den Kameras erfassten Lotschnurpendelpositionen eine Mittellinie berechnet und die Neigungswinkel durch Vergleich der Lage der Mittellinie mit der Position der Referenzlinie bestimmt.

The device according to the invention has the following:

A pendulum device with a solder comprising a plumb line,
- aligned on the plumb line and the reference line cameras for detecting Lotschnurpendelschwingungen and the position of the reference line, wherein the cameras are arranged at a certain angle to each other, and
A computing device connected to the camera and configured to calculate a centerline from a plurality of lot cord pendulum positions detected by the cameras and to determine the tilt angles by comparing the position of the center line with the position of the reference line.

Die mit dieser Vorrichtung verbundenen Vorteile entsprechen denjenigen, die im Zusammenhang mit dem erfindungsgemäßen Verfahren beschrieben wurden.The advantages associated with this device correspond to those which have been described in connection with the method according to the invention.

Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform sind zwei Kameras vorgesehen, die zueinander in einem Winkel von 90° angeordnet sind, derart, dass Lotschnurpendelschwingungen in zwei aufeinander senkrecht stehenden Ebenen erfassbar sind.According to one advantageous embodiment two cameras provided, which are arranged at an angle of 90 ° to each other are such that Lotschnurpendelschwingungen in two perpendicular to each other standing levels are detectable.

Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform ist ein die Bauelemente aufnehmendes Aufnahmemodul mit einem Gehäuse und einem relativ zum Gehäuse stationär angeordneten Inklinometer zur Erfassung von Neigungsveränderungen des Gehäuses vorgesehen, wobei das Inklinometer an die Recheneinrichtung angeschlossen ist und Neigungsveränderungen des Gehäuses in Form von Daten der Recheneinrichtung zur Korrektur der errechneten Neigungswinkel zuführt. Ein derartiges, zusätzlich zur Pendeleinrichtung vorgesehenes Inklinometer, das fest am Aufnahmemodul angeordnet ist, hat den Vorteil, dass dann, wenn das Aufnahmemodul, nachdem die Erdsenkrechte bestimmt worden ist, verschoben und beispielsweise an einen Handler angedockt wird, hierdurch verursachte Neigungsveränderungen auf einfache Weise erfasst werden können, so dass die Lage der Referenzlinie rechnerisch ermittelt und anschließend entsprechend korrigiert werden kann.According to one advantageous embodiment a receiving module receiving modules with a housing and one relative to the housing stationary arranged inclinometer for detecting inclination changes the housing provided, wherein the inclinometer is connected to the computing device and inclination changes of the housing in the form of data of the computing device for correcting the calculated Tilt angle feeds. Such, in addition Inclinometer provided for the pendulum device, fixed on the receiving module is arranged, has the advantage that when the receiving module, after the ground level has been determined, moved and, for example is docked to a handler, thereby causing inclination changes can be easily recorded, so that the location of the Reference line calculated and then corrected accordingly can be.

Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform weist das Aufnahmemodul eine das Nest haltende Dreheinrichtung zum Drehen des Nests um mindestens eine Drehachse auf.According to one advantageous embodiment has the receiving module a turning holding the nest to rotate of the nest around at least one axis of rotation.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand der Zeichnungen beispielhaft näher erläutert. Es zeigen:The Invention will be explained in more detail by way of example with reference to the drawings. It demonstrate:

1: ein Pendelmodul mit zwei erfindungsgemäßen Pendeleinrichtungen und vier Kameras; 1 a pendulum module with two pendulum devices according to the invention and four cameras;

2: eine Pendeleinrichtung mit zwei zugeordneten Kameras und einem Nest in vergrößerter Darstellung; 2 : a pendulum device with two associated cameras and a nest in an enlarged view;

3: eine schematische Darstellung einer Referenzlinie und einer Lotschnur zur Verdeutlichung des Neigungswinkels in einer Ebene; 3 a schematic representation of a reference line and a plumb line to illustrate the angle of inclination in a plane;

4: eine Darstellung entsprechend 3 zur Verdeutlichung der Neigungswinkel in zwei Ebenen; 4 : a representation accordingly 3 to clarify the angles of inclination in two planes;

5: ein Aufnahmemodul zur drehbaren Aufnahme eines Nests bzw. Bauelements; 5 a receiving module for rotatably receiving a nest or component;

6: eine schematische Darstellung eines Aufnahmemoduls, das einerseits an einem Handler angedockt und andererseits mit einer Testeinrichtung verbunden ist; 6 a schematic representation of a recording module, on the one hand docked to a handler and on the other hand connected to a test device;

7: das Aufnahmemodul von 6 in Alleinstellung, wobei am Aufnahmemodul ein Pendelmodul befestigt ist, und 7 : the recording module of 6 in isolation, wherein the receiving module a pendulum module is attached, and

8: das Aufnahmemodul von 7 ohne Pendelmodul, wobei sich die Dreheinrichtung in einer zurückgezogenen Stellung befindet. 8th : the recording module of 7 without pendulum module, with the rotator in a retracted position.

Aus 1 ist ein Pendelmodul 1 einer Vorrichtung zur Bestimmung des Neigungswinkels von elektronischen Bauelementen in der Form von Inklinationswinkelsensoren, insbesondere von MEMS-Bauelementen, relativ zur Richtung der Erdbeschleunigung dargestellt. Dieses Pendelmodul 1 ist spiegelsymmetrisch zu ihrer vertikalen Mittelebene aufgebaut und weist zwei Pendeleinrichtungen 2 auf, denen jeweils zwei Kameras 3a, 3b zugeordnet sind. Die Pendeleinrichtungen 2 und Kameras 3a, 3b sind an einer Halteplatte 4 befestigt, die mittels in den Eckbereichen angeordneter Schrauben 5 beispielsweise an einem Aufnahmemodul 19 in der Form eines Drehmoduls (Aktuatoreinrichtung) befestigt werden kann, wie schematisch in 6 dargestellt. Die Schrauben 5 sind mittels Drehgriffe 6 betätigbar. Ein an der Halteplatte 4 befestigter Tragegriff 7 erleichtert das Tragen und die Handhabung des Pendelmo duls 1.Out 1 is a pendulum module 1 a device for determining the angle of inclination of electronic components in the form of inclination angle sensors, in particular of MEMS components, shown relative to the direction of gravitational acceleration. This pendulum module 1 is mirror-symmetrical to its vertical center plane and has two pendulum devices 2 on each of which two cameras 3a . 3b assigned. The pendulum devices 2 and cameras 3a . 3b are on a holding plate 4 fastened by means of arranged in the corners of screws 5 for example, on a recording module 19 in the form of a rotary module (actuator device), as schematically shown in FIG 6 shown. The screws 5 are by means of rotary handles 6 actuated. One on the retaining plate 4 attached carrying handle 7 facilitates the carrying and handling of the pendulum module 1 ,

Bei Gebrauch wird das Pendelmodul 1 derart am Aufnahmemodul 19 festgeschraubt, dass sich die Halteplatte 4 in einer vertikalen Ebene befindet. Eine hinter den beiden Pendeleinrichtungen 2 vorgesehene Öffnung 8 in der Halteplatte 4 ist dabei derart angeordnet, dass zwei Nester 9, von denen in 2 lediglich ein einzelnes Nest dargestellt ist, durch die Öffnung 8 hindurch geschoben werden können, um in den Blickbereich der beiden Kameras 3a, 3b zu gelangen. Das Nest 9 ist in 2 lediglich schematisch dargestellt und dient zur lagegenauen Aufnahme und zum elektrischen Kontaktieren eines nicht näher dargestellten mikroelektronischen Bauelements, insbesondere in Form eines Inklinationswinkelsensors. Das Nest kann daher aus einem Kontaktsockel bestehen oder diesen umfassen.In use, the pendulum module 1 so on the recording module 19 screwed down that the holding plate 4 located in a vertical plane. One behind the two pendulum devices 2 provided opening 8th in the holding plate 4 is arranged such that two nests 9 of which in 2 only a single nest is shown through the opening 8th can be pushed through to get into the field of view of both cameras 3a . 3b to get. The nest 9 is in 2 only schematically shown and used for positionally accurate recording and electrical contacting of a microelectronic device, not shown in detail, in particular in the form of an inclination angle sensor. The nest may therefore consist of or comprise a contact socket.

Die spiegelsymmetrische Anordnung der beiden Pendeleinrichtungen 2 und Kameras 3a, 3b dient zur Erhöhung des Durchsatzes der zu testenden oder zu kalibrierenden Bauelemente. Es ist ohne weiteres möglich, ein Pendelmodul 1 mit nur einer einzigen Pendeleinrichtung 2 oder mit mehr als zwei Pendeleinrichtungen 2 auszustatten, denen jeweils zwei Kameras 3a, 3b zugeordnet sind.The mirror-symmetrical arrangement of the two pendulum devices 2 and cameras 3a . 3b serves to increase the throughput of the components to be tested or calibrated. It is easily possible, a pendulum module 1 with only a single pendulum device 2 or with more than two pendulum devices 2 each equipped with two cameras 3a . 3b assigned.

Im folgenden wird anhand der 1 und 2 lediglich eine Pendeleinrichtung 2 mit zwei zugeordneten Kameras 3a, 3b beschrieben. Für die spiegelsymmetrisch angeordnete Pendeleinrichtung 2 und Kameras 3a, 3b gelten die Ausführungen entsprechend.The following is based on the 1 and 2 only a pendulum device 2 with two dedicated cameras 3a . 3b described. For the mirror-symmetrical pendulum device 2 and cameras 3a . 3b the explanations apply accordingly.

Die Pendeleinrichtung 2 weist eine Pendelaufhängung 10 auf, die auf der Halteplatte 4 seitlich neben der Öffnung 8 festgeschraubt ist. Die Pendelaufhängung 10 weist einen sich horizontal seitlich über die Öffnung 8 erstreckenden Haltearm 11 auf, der zur Befestigung einer Lotschnur 12 dient. Die Lotschnur 12 ist Teil eines Lots 13, an dessen unterem Ende ein Lotgewicht 14 befestigt ist. Die Richtung der Lotschnur 12 entspricht aufgrund der Erdanziehungskraft genau der Erdsenkrechten, d. h. der Richtung der Erdbeschleunigung, solange das Lot 13 nicht seitlich ausgelenkt wird. Aufgrund von seitlichen Auslenkungen, die allein schon durch Umgebungseinflüsse verursacht werden, führt das Lot 13 jedoch entsprechende Pendelschwingungen um seinen oberen Befestigungspunkt aus.The pendulum device 2 has a pendulum suspension 10 on that on the retaining plate 4 laterally next to the opening 8th is screwed. The pendulum suspension 10 has a horizontal side over the opening 8th extending holding arm 11 on, for fixing a plumb line 12 serves. The plumb line 12 is part of a lot 13 , at the lower end of a Lotgewicht 14 is attached. The direction of the plumb line 12 due to the gravitational force corresponds exactly to the earth's vertical, ie the direction of gravitational acceleration, as long as the solder 13 not deflected laterally. Due to lateral deflections, which are caused solely by environmental influences, leads the Lot 13 however, corresponding pendulum oscillations around its upper attachment point.

Um die seitliche Auslenkung der Lotschnur 12 zu begrenzen, ist ein Begrenzungselement 34 mit einer kreisförmigen Öffnung 35 vorgesehen, durch welche die Lotschnur 12 hindurchgeführt ist. Der Durchmesser der Öffnung 35 bestimmt die maximale seitliche Auslenkung (Amplitude) der Lotschnur 12.To the lateral deflection of the plumb line 12 to limit is a limiting element 34 with a circular opening 35 provided by which the plumb line 12 passed through. The diameter of the opening 35 determines the maximum lateral deflection (amplitude) of the plumb line 12 ,

Die beiden Kameras 3a, 3b sind mittels entsprechender Halterungen derart an der Halteplatte 4 befestigt, dass sie in einem Winkel von 90° zueinander angeordnet sind. Die mittlere Blickrichtung der Kamera 3a, die in 2 mit der gestrichelten Linie 15a angedeutet ist, verläuft hierbei parallel zur Hauptebene der Halteplatte 4, während die mittlere Blickrichtung der Kamera 3b, die mit der gestrichelten Linie 15b dargestellt ist, senkrecht zur Hauptebene der Halteplatte 4 verläuft. Beide Kameras 3a, 3b sind in etwa auf gleicher Höhe an der Halteplatte 4 befestigt.The two cameras 3a . 3b are by means of appropriate brackets on the mounting plate 4 attached, that they are arranged at an angle of 90 ° to each other. The middle line of sight of the camera 3a , in the 2 with the dashed line 15a is indicated here runs parallel to the main plane of the holding plate 4 while the middle line of sight of the camera 3b that with the dashed line 15b is shown, perpendicular to the main plane of the holding plate 4 runs. Both cameras 3a . 3b are at about the same height on the retaining plate 4 attached.

Wie in Zeichnung 2 erkennbar, sind die Kameras 3a, 3b weiterhin derart angeordnet, dass sowohl die Lotschnur 12 als auch eine Referenzlinie 16 des Nests 9 gleichzeitig im Aufnahmebereich der beiden Kameras 3a, 3b liegen, wenn sich das Nest 9 in der vorderen Test- bzw. Kalibrierposition befindet. Im gezeigten Ausführungsbeispiel handelt es sich bei der Referenzlinie 16 um eine vordere, geradlinige vertikale Kante des Nests 9. Da das zu testende Bauelement innerhalb der Nests 9 in einer genau definierten Lage positioniert ist, ist durch die Lage der Referenzlinie 16 relativ zur Richtung der Erdbeschleunigung auch genau die Lage des Bauelements relativ zur Richtung der Erdbeschleunigung festgelegt.As can be seen in drawing 2, the cameras are 3a . 3b further arranged such that both the plumb line 12 as well as a reference line 16 of the nest 9 at the same time in the recording area of the two cameras 3a . 3b lie when the nest 9 located in the front test or calibration position. In the embodiment shown, it is the reference line 16 around a front, straight vertical edge of the nest 9 , Since the device under test within the Nests 9 is positioned in a well-defined position, is determined by the location of reference line 16 relative to the direction of gravitational acceleration also determines exactly the position of the device relative to the direction of gravitational acceleration.

Zum Testen bzw. Kalibrieren der Inklinationswinkelsensoren ist es erforderlich, zunächst die genaue Richtung der Erdbeschleunigung zu erfassen und anschließend die Lage der Referenzlinie 16 mit der Richtung der Erdbeschleunigung zu vergleichen, um den Neigungswinkel der Referenzlinie 16 relativ zur Richtung der Erdbeschleunigung zu bestimmen. Zur Ermittlung der Richtung der Erdbeschleunigung werden die Pendelschwingungen des Lots 13 durch die beiden Kameras 3a, 3b aufgenommen. Die Kameras 3a, 3b sind über Leitungen 17a, 17b mit einer elektronischen Recheneinrichtung 18 verbunden (siehe 1 und 5). Von dieser Recheneinrichtung 18 werden die von den Kameras 3a, 3b aufgenommenen Bilder der Pendelschwingungen statistisch ausgewertet. Als Grundlage der Auswertung dienen eine bestimmte Anzahl von Bildern, beispielsweise 100 Bilder pro Kamera. Die Richtung der Erdbeschleunigung wird durch eine rechnergestützte Mittelung der Ausschläge bestimmt. Weiterhin wird von der Recheneinrichtung 18 die Lage der Referenzlinie 16 aus den Aufnahmen der Kameras 3a, 3b berechnet und mit der Lage der Richtung der Erdbeschleuni gung verglichen, woraus die Neigungswinkel ϑ und φ (3 und 4), d. h. die Winkelabweichung der Referenzlinie 16 zur Richtung der Erdbeschleunigung in zwei unterschiedlichen Ebenen, bestimmt werden kann.In order to test or calibrate the inclination angle sensors, it is first necessary to detect the exact direction of the gravitational acceleration and then the position of the reference line 16 compare with the direction of gravitational acceleration to the inclination angle of the reference line 16 relative to the direction of gravitational acceleration. To determine the direction of gravitational acceleration, the pendulum vibrations of the solder 13 through the two cameras 3a . 3b added. The cameras 3a . 3b are over lines 17a . 17b with an electronic computing device 18 connected (see 1 and 5 ). From this computing device 18 be the ones from the cameras 3a . 3b Recorded images of pendulum oscillations statistically evaluated. The basis of the evaluation are a certain number of images, for example 100 images per camera. The direction of gravitational acceleration is determined by a computerized averaging of the rashes. Furthermore, by the computing device 18 the location of the reference line 16 from the recordings of the cameras 3a . 3b calculated and compared with the position of the direction of Erdbeschleuni movement, from which the inclination angle θ and φ ( 3 and 4 ), ie the angular deviation of the reference line 16 to the direction of gravitational acceleration in two different planes, can be determined.

Um die Genauigkeit dieses Verfahrens zu verbessern, wird von der Recheneinrichtung 18 nur eine der beiden Begrenzungslinien 12a, 12b der Lotschnur 12 (3) ausgewertet, beispielsweise die Begrenzungslinie 12a, die der Referenzlinie 16 näher liegt.In order to improve the accuracy of this method, is used by the computing device 18 only one of the two boundary lines 12a . 12b the plumb line 12 ( 3 ), for example the boundary line 12a , the reference line 16 closer.

Die Kameras 3a, 3b können derart eingestellt sein, dass sie pro Sekunde drei bis fünf Aufnahmen, insbesondere vier Aufnahmen, machen. Zweckmäßigerweise ist dabei gemäß dem Abtasttheorem von Nyquist-Shannon die Bildwiederholrate mindestens doppelt so groß wie die Schwingungsdauer des Pendels. Die Länge des Lots 13 sowie die Optik und die Aufzeichnungsgeschwindigkeit durch die Kameras sind daher entsprechend angepasst. Weiterhin kann eine Beleuchtungseinrichtung derart vorgesehen sein, dass sowohl die Lotschnur 12 als auch die Referenzlinie 16 des Nests 9 gut ausgeleuchtet sind.The cameras 3a . 3b can be set so that they make three to five shots, in particular four shots, per second. Appropriately, according to the sampling theorem of Nyquist-Shannon, the refresh rate is at least twice as large as the oscillation period of the pendulum. The length of the lot 13 as well as the optics and the recording speed through the cameras are therefore adjusted accordingly. Furthermore, a lighting device may be provided such that both the plumb line 12 as well as the reference line 16 of the nest 9 are well lit.

Anhand von 5 wird im Folgenden eine wesentliche Baugruppe eines Aufnahmemoduls 19 in der Form eines Drehmoduls beschrieben, das zur Halterung und zum Ausrichten des Nests 9 dient. Von einer Grundplatte 20 stehen nach oben drei zueinander parallele, plattenförmige Träger vor, nämlich ein hinterer Drehgeberträger 21, ein hinterer Aktuatorträger 22 und ein vorderer Aktuatorträger 23. Aus 5 ist weiterhin ein stabförmiger Aktuator 24 ersichtlich, der sich durch fluchtende Lageröffnungen 25, 26 hindurch erstreckt und in diesen drehbar gelagert ist. Die Drehung des Aktuators 24 um seine Längsachse erfolgt dabei mittels eines ersten Drehgebers 27, der hinter dem Drehgeberträger 21 angeordnet ist. Im gezeigten Ausführungsbeispiel lässt sich der Aktuator 24 um +/–220° um seine Längsachse drehen. Abweichende Drehwinkelwerte sind ohne weiteres möglich.Based on 5 is an essential component of a recording module below 19 in the form of a rotary module used to hold and align the nest 9 serves. From a base plate 20 stand up to three mutually parallel, plate-shaped carrier, namely a rear rotary encoder carrier 21 , a rear actuator carrier 22 and a front actuator carrier 23 , Out 5 is still a rod-shaped actuator 24 can be seen, which is due to aligned bearing openings 25 . 26 extends through and is rotatably mounted in these. The rotation of the actuator 24 about its longitudinal axis takes place by means of a first encoder 27 , behind the turntable 21 is arranged. In the embodiment shown, the actuator can be 24 rotate by +/- 220 ° around its longitudinal axis. Deviating rotational angle values are readily possible.

Der vordere Endbereich 28 des Aktuators 24, der vor dem vorderen Aktuatorträger 23 angeordnet ist, dient zur Halterung des nicht näher dargestellten Nests 9, an dem der zu testende und zu kalibrierende Inklinationswinkelsensor gehaltert ist. Eine Drehung des Aktuators 24 um seine Längsachse bewirkt eine entsprechende Drehung des Nests 9 in ϑ-Richtung.The front end area 28 of the actuator 24 , in front of the front actuator carrier 23 is arranged, serves to hold the nest not shown 9 at which the inclination angle sensor to be tested and calibrated is held. A rotation of the actuator 24 around its longitudinal axis causes a corresponding rotation of the nest 9 in the θ direction.

Um das Nest 9 nicht nur um die Längsachse des Aktuators 24, sondern auch um eine hierzu senkrechte Achse, d. h. in φ-Richtung, drehen zu können, weist der Aktuator 24 einen zweiten Drehgeber 30 auf, der zwischen dem hinteren und vorderen Aktuatorträger 22, 23 angeordnet ist. Der zweite Drehgeber 30 ist über eine erste Übersetzungseinrichtung 31 und eine zweite Übersetzungseinrichtung 32 mit dem vorderen Endbereich 28 derartig gekoppelt, dass eine Drehung des Drehgebers 30 eine entsprechende Drehung des vorderen Endbereichs 28 und damit des Nests 9 um die Drehachse 29 zur Folge hat.Around the nest 9 not just about the longitudinal axis of the actuator 24 but also to be able to rotate about an axis perpendicular thereto, ie in the φ-direction, the actuator 24 a second encoder 30 on, between the rear and front actuator carrier 22 . 23 is arranged. The second encoder 30 is about a first translation device 31 and a second translation device 32 with the front end area 28 coupled such that a rotation of the encoder 30 a corresponding rotation of the front end portion 28 and the nest 9 around the axis of rotation 29 entails.

Wie aus 5 ersichtlich, ist das dortige Aufnahmemodul 19 zur drehbaren Halterung von zwei nebeneinanderliegenden Aktuatoren 24 ausgebildet, um gleichzeitig zwei Nester 9 mit Hilfe des in 1 dargestellten Pendelmoduls 1 mit zwei nebeneinander liegenden Pendeleinrichtungen 2 kalibrieren zu können. Der Übersichtlichkeit halber ist in 4 jedoch nur ein einzelner Aktuator 24 dargestellt.How out 5 can be seen, is the local recording module 19 for rotatable mounting of two adjacent actuators 24 trained to simultaneously have two nests 9 with the help of in 1 illustrated pendulum module 1 with two pendulum devices next to each other 2 to be able to calibrate. For the sake of clarity, is in 4 but only a single actuator 24 shown.

Das Aufnahmemodul 19 weist ferner, wie in 5 angedeutet, ein am vorderen Aktuatorträger 23 oder der Grundplatte 20 befestigtes, handelsübliches Inklinometer 33 auf, mit dem ebenfalls die Richtung der Erdsenkrechten bestimmt werden kann. Dieses Inklinometer 33 dient dazu, auf einfache Weise Relativveränderungen der (Schräg-)Lage des Aufnahmemoduls 19 in der Recheneinrichtung 18 berücksichtigen zu können, wenn das Aufnahmemodul 19, nachdem die Erdsenkrechte mit Hilfe des erfindungsgemäßen Verfahrens auf der Grundlage der Pendelschwingungen ermittelt worden ist, nachträglich verschoben wird.The recording module 19 also indicates, as in 5 indicated, one on the front actuator carrier 23 or the base plate 20 attached, commercially available inclinometer 33 with which also the direction of the earth's vertical can be determined. This inclinometer 33 serves to easily relative changes of the (oblique) position of the recording module 19 in the computing device 18 to take into account when the recording module 19 After the ground plane has been determined with the aid of the method according to the invention on the basis of the pendulum oscillations, is postponed.

Wie aus 6 ersichtlich, kann das Aufnahmemodul 19 einerseits mit einem Handler 36, d. h. mit einer Handhabungs- und Umsetzvorrichtung für elektronische Bauelemente 38, und andererseits mit einer Testeinrichtung 37 gekoppelt werden. Wie schematisch dargestellt, werden vom Handler 36 die zu testenden Bauelemente 38 dem vorderen Endbereich 28 des Aktuator 24 zugeführt, in dem sich das Nest mit einer Kontaktierungseinrichtung (Kontaktsockel) befindet. Dies ist durch den Pfeil 39 veranschaulicht. Hierbei können die Bauelemente 38, falls erforderlich, temperiert werden. Die nicht näher dargestellte Kontakteinrichtung ist rückseitig über Leitungen 40 mit der elektronischen Recheneinrichtung 18 verbunden, die sich im gezeigten Ausführungsbeispiel innerhalb der Testeinrichtung 37 befindet. Die Recheneinrichtung 18 wertet die Messwerte nach vorgegebenen Kriterien aus und veranlasst den Handler 36, die getesteten Bauelemente 38 aus dem Nest zu entfernen und in verschiedene Qualitätsstufen zu sortieren, wie durch die Pfeile 41 und 42 veranschaulicht.How out 6 can be seen, the recording module 19 on the one hand with a handler 36 , ie with a handling and transfer device for Electronic Components 38 , and on the other hand with a test device 37 be coupled. As shown schematically, are by the handler 36 the components to be tested 38 the front end area 28 of the actuator 24 fed, in which the nest is located with a contacting device (contact socket). This is by the arrow 39 illustrated. Here, the components 38 if necessary, tempered. The contact device, not shown, is on the back via lines 40 with the electronic computing device 18 connected in the embodiment shown within the test device 37 located. The computing device 18 evaluates the measured values according to given criteria and initiates the handler 36 , the tested components 38 to remove from the nest and to sort in different quality levels, as indicated by the arrows 41 and 42 illustrated.

Um die Richtung der Erdbeschleunigung, d. h. die Erdsenkrechte, auf genaue Weise zu bestimmen, wird zunächst, wie in 7 schematisch dargestellt, das Pendelmodul 1 am Aufnahmemodul 19 derart befestigt, dass die Referenzlinie 16 des Nests oder des zu testenden Bauelements 38 durch die Halteplatte 4 hindurch ragt und in den Blickbereich der Kameras 3a, 3b gelangt. Dies erfolgt, bevor der Handler 36 an das Aufnahmemodul 19 angedockt wird. Das vorstehend beschriebene erfindungsgemäße Verfahren kann nun durchgeführt werden. Dabei werden die Drehgeber-Werte zum Einstellen der Neigung des Nestes 9 und der Wert des Inklinometers 33 bei grob visuell vorjustiertem Nest 9 ermittelt. Hierdurch erhält man absolute Referenzwerte für die Drehgeber 27, 30 und das Inklinometer 33. Mit Hilfe der Pendelschwingungen wird der Neigungswinkel zwischen der Erdsenkrechten und der Referenzlinie 16 des Nests oder des Bauelements 38 ermittelt. Auf diese Weise lässt sich das Nest 9 und damit das Bauelement 38 mittels der elektronischen Recheneinrichtung 18 kalibrieren. Die Recheneinrichtung 18 ist in 6 lediglich der Übersichtlichkeit halber weggelassen.In order to determine the direction of gravitational acceleration, ie the earth's vertical, in an accurate way, first, as in 7 shown schematically, the pendulum module 1 on the recording module 19 fixed so that the reference line 16 of the nest or of the device under test 38 through the retaining plate 4 protrudes through and into the field of view of the cameras 3a . 3b arrives. This is done before the handler 36 to the recording module 19 is docked. The inventive method described above can now be carried out. The encoder values are used to set the inclination of the nest 9 and the value of the inclinometer 33 in a roughly visually pre-adjusted nest 9 determined. This gives absolute reference values for the encoders 27 . 30 and the inclinometer 33 , With the help of pendulum oscillations, the angle of inclination between the earth's vertical and the reference line 16 of the nest or the component 38 determined. That's how the nest can be laid 9 and thus the component 38 by means of the electronic computing device 18 calibrate. The computing device 18 is in 6 omitted for the sake of clarity.

Nachdem die Richtung der Erdsenkrechten ermittelt und die Neigungswinkel φ, ϑ bestimmt worden sind, wird das Pendelmodul 1 vom Aufnahmemodul 19 entfernt und das Aufnahmemodul 19 am Handler 36 angedockt. Um dieses Andocken auf einfache Weise und ohne Beschädigung des vorderen Endbereichs 28 des Aktuators 24 durchführen zu können, ist der Aktuator 24 an einem Schlitten 43 befestigt, der relativ zu einem Gehäuse 44 des Aufnahmemoduls 19 derart verschiebbar ist, dass der Aktuator 24 zwischen einer vorderen, über das Gehäuse 44 hinausragenden Position und einer hinteren Position verschiebbar ist, in der der Aktuator 24 nicht mehr über das Gehäuse 44 vorragt. Diese letztgenannte Position ist in 8 dargestellt. Das Aufnahmemodul 19 kann in der zurückgezogenen Position des Aktuators 24 auf einfache und beschädigungsfreie Weise an den Handler 36 angedockt werden. Anschließend wird der Schlitten 43 wieder nach vorne gefahren, so dass der Aktuator 24 in eine entsprechende Öffnung des Handlers 36 hinein ragt, wie in 5 veranschaulicht.After the direction of the earth's vertical has been determined and the angles of inclination φ, θ have been determined, the pendulum module becomes 1 from the recording module 19 removed and the recording module 19 at the handler 36 docked. To this docking in a simple way and without damaging the front end 28 of the actuator 24 to perform is the actuator 24 on a sledge 43 attached, relative to a housing 44 of the recording module 19 is so displaceable that the actuator 24 between a front, over the housing 44 protruding position and a rear position is displaceable, in which the actuator 24 no longer about the case 44 projects. This latter position is in 8th shown. The recording module 19 can in the retracted position of the actuator 24 in a simple and damage-free way to the handler 36 be docked. Then the sled 43 driven back to the front, leaving the actuator 24 in a corresponding opening of the handler 36 protrudes into, as in 5 illustrated.

Wird das Aufnahmemodul 19, nachdem die Richtung der Erdbeschleunigung mittels des Pendelmoduls 1 bestimmt worden ist, auf unebenem Boden zum Andocken an den Handler 36 verschoben, so dass sich die Neigung des Aufnahmemoduls 19 und damit der Referenzlinie 16 verändert, würde dies die Testergebnisse verfälschen. Aus diesem Grund ist innerhalb oder am Aufnahmemodul 19 das Inklinometer 33 (Referenz-Inklinometer) vorgesehen, das eine nachträgliche Neigungsveränderung des Aufnahmemoduls 19 erfasst und der Recheneinrichtung 18 mitteilt, dass die errechnete Lage der Referenzlinie 16 entsprechend zu korrigieren ist.Will the recording module 19 after the direction of gravitational acceleration by means of the pendulum module 1 has been determined on uneven ground for docking to the handler 36 shifted, so that the inclination of the recording module 19 and thus the reference line 16 changed, this would falsify the test results. That's why inside or on the recording module 19 the inclinometer 33 (Reference inclinometer) provided that a subsequent change in inclination of the receiving module 19 recorded and the computing device 18 indicates that the calculated position of the reference line 16 is to be corrected accordingly.

Claims

Verfahren zur Bestimmung von Neigungswinkeln (ϑ, φ) zwischen einer Referenzlinie (16) eines elektronischen Bauelements (38) oder eines das Bauelement (38) aufnehmenden Nests (9) und der Richtung der Erdbeschleunigung, gekennzeichnet durch die folgenden Schritte: – Erfassen von Lotschnurpendelschwingungen einer eine Lotschnur (12) aufweisenden Pendeleinrichtung (2) und der Position der Referenzlinie (16) des Bauelements (38) oder des Nests (9) mittels Kameras (3a, 3b), die in einem bestimmten Winkel zueinander angeordnet sind, – Bestimmen der Richtung der Erdbeschleunigung durch Berechnen einer Mittellinie aus einer Vielzahl von von den Kameras (3a, 3b) erfassten Lotschnurpendelpositionen mittels einer an die Kameras (3a, 3b) angeschlossenen Recheneinrichtung (18), – Bestimmen der Neigungswinkel (ϑ, φ) durch Vergleich der Referenzlinie (16) mit der Mittellinie mittels der Recheneinrichtung (18).Method for determining inclination angles (θ, φ) between a reference line ( 16 ) of an electronic component ( 38 ) or one the component ( 38 ) receiving nest ( 9 ) and the direction of gravitational acceleration, characterized by the following steps: - Detecting Lotschnurpendelschwingungen a Lotschnur ( 12 ) having pendulum device ( 2 ) and the position of the reference line ( 16 ) of the component ( 38 ) or the nest ( 9 ) by means of cameras ( 3a . 3b ), which are arranged at a certain angle to each other, - determining the direction of gravitational acceleration by calculating a center line from a plurality of cameras ( 3a . 3b ) recorded Lotschnurpendelpositionen by means of a to the cameras ( 3a . 3b ) connected computing device ( 18 ), - determining the inclination angles (θ, φ) by comparing the reference line ( 16 ) with the center line by means of the computing device ( 18 ).

Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Lotschnurpendelschwingungen in zwei zueinander senkrechten Ebenen mittels zwei zueinander in einem Winkel von 90° angeordneter Kameras (3a, 3b) aufgenommen werden.A method according to claim 1, characterized in that the Lotschnurpendelschwingungen in two mutually perpendicular planes by means of two mutually arranged at an angle of 90 ° Cameras ( 3a . 3b ).

Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein mit der Recheneinrichtung (18) verbundenes Inklinometer (33) zur Erfassung von Neigungsveränderungen eines das Bauelement (38) aufnehmenden Aufnahmemoduls (19) vorgesehen ist, wobei vom Inklinometer (33) abgegebene Daten bei der Bestimmung der Neigungswinkel (ϑ, φ) zusätzlich berücksichtigt werden.Method according to one of the preceding claims, characterized in that a with the computing device ( 18 ) connected inclinometer ( 33 ) for detecting inclination changes of a component ( 38 ) receiving module ( 19 ), whereby the inclinometer ( 33 ) in the determination of the inclination angle (θ, φ) are additionally taken into account.

Vorrichtung zur Bestimmung von Neigungswinkeln (ϑ, φ) zwischen einer Referenzlinie (16) eines elektronischen Bauelements (38) oder eines das Bauelement (38) aufnehmenden Nests (9) und der Richtung der Erdbeschleunigung, gekennzeichnet durch – eine Pendeleinrichtung (2) mit einem eine Lotschnur (12) umfassenden Lot (13), – auf die Lotschnur (12) und die Referenzlinie (16) ausgerichtete Kameras (3a, 3b) zur Erfassung von Lotschnurpendelschwingungen und der Position der Referenzlinie (16), wobei die Kameras (3a, 3b) in einem bestimmten Winkel zueinander angeordnet sind, und – eine mit den Kameras (3a, 3b) verbundene Recheneinrichtung (18), die derart ausgebildet ist, dass sie aus einer Vielzahl von von den Kameras (3a, 3b) erfassten Lotschnurpendelpositionen eine Mittellinie berechnet und die Neigungswinkel (ϑ, φ) durch Vergleich der Lage der Mittellinie mit der Position der Referenzlinie (16) bestimmt.Device for determining inclination angles (θ, φ) between a reference line ( 16 ) of an electronic component ( 38 ) or one the component ( 38 ) receiving nest ( 9 ) and the direction of gravitational acceleration, characterized by - a pendulum device ( 2 ) with a plumb line ( 12 ) comprehensive lot ( 13 ), - on the plumb line ( 12 ) and the reference line ( 16 ) aligned cameras ( 3a . 3b ) for detecting Lotschnurpendelschwingungen and the position of the reference line ( 16 ), whereby the cameras ( 3a . 3b ) are arranged at a certain angle to each other, and - one with the cameras ( 3a . 3b ) connected computing device ( 18 ), which is adapted to be selected from a plurality of cameras ( 3a . 3b Lot plumb bob positions calculated a center line and the tilt angles (θ, φ) by comparing the position of the center line with the position of the reference line 16 ) certainly.

Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass zwei Kameras (3a, 3b) vorgesehen sind, die zueinander in einem Winkel von 90° angeordnet sind, derart, dass Lotschnurpendelschwingungen in zwei aufeinander senkrecht stehenden Ebenen erfassbar sind.Apparatus according to claim 4, characterized in that two cameras ( 3a . 3b ) are provided, which are arranged at an angle of 90 ° to each other, such that Lotschnurpendelschwingungen in two mutually perpendicular planes can be detected.

Vorrichtung nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass ein das Bauelement (38) aufnehmendes Aufnahmemodul (19) mit einem Gehäuse (44) und einem Inklinometer (33) zur Erfassung von Neigungsveränderungen des Gehäuses (44) vorgesehen ist, wobei das Inklinometer (33) an die Recheneinrichtung (18) angeschlossen ist und Neigungsveränderungen des Gehäuses (44) in Form von Daten der Recheneinrichtung (18) zur Korrektur der errechneten Neigungswinkel (ϑ, φ) zuführt.Device according to claim 4 or 5, characterized in that a component ( 38 ) receiving module ( 19 ) with a housing ( 44 ) and an inclinometer ( 33 ) for detecting inclination changes of the housing ( 44 ), the inclinometer ( 33 ) to the computing device ( 18 ) and inclination changes of the housing ( 44 ) in the form of data of the computing device ( 18 ) for correcting the calculated inclination angles (θ, φ).

Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Aufnahmemodul (19) eine das Nest (9) haltende Dreheinrichtung zum Drehen des Nests (9) um mindestens eine Drehachse aufweist.Apparatus according to claim 6, characterized in that the receiving module ( 19 ) one the nest ( 9 ) holding rotating device for turning the nest ( 9 ) has at least one axis of rotation.