Die Erfindung betrifft eine Transfereinrichtung für Substrate, insbesondere eine in unter Reinraum-, Schutzgas- oder Vakuumbedingungen arbeitenden, modular aufgebauten Bearbeitungsanlagen für scheibenförmige Substrate einsetzbare Transfereinrichtung gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1 sowie eine Transfereinrichtung für modular aufgebaute, unter atmosphärischen Reinraum-, Schutzgas- oder Vakuumsonderbedingungen arbeitende Bearbeitungsanlagen für Substrate gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 12.The invention relates to a transfer device for substrates, in particular a working under clean room, inert gas or vacuum conditions, modular processing systems for disc-shaped substrates usable transfer device according to the preamble of claim 1 and a transfer device for modular, under atmospheric clean room, inert gas or Vacuum special working processing systems for substrates according to the preamble of claim 12.
In modular aufgebauten Bearbeitungsanlagen dieser Art erfolgt, entsprechend ihrem jeweiligen Aufbau und der Anordnung ihrer jeweiligen Bearbeitungs-, Speicher- und/oder Übergabestationen, die Zuführung und/oder die Übergabe von Substraten über Transferkammern, die an eine jeweilige Station als Andockstation anzudocken sind, wobei entsprechend der jeweiligen Ausbildung dieser Andockstationen unterschiedliche Andockhöhen für die Transferkammern gegeben sind. Entsprechend muss die Transferkammer nicht nur zwischen den jeweiligen Andockstationen verfahrbar sein, sondern zur jeweiligen Andockstation auch auf eine entsprechende Andockhöhe verstellbar sein, und dies ungeachtet ihrer teilweise erheblichen Größe und ihres gegebenenfalls hohen Gewichtes, das durch die konstruktive Gestaltung der Transferkammer für die Aufrechterhaltung von Sonderbedingungen in der Transferkammer, so auch von Vakuumbedingungen bedingt ist.In modular processing equipment of this type, according to their respective structure and the arrangement of their respective processing, storage and / or transfer stations, the supply and / or the transfer of substrates via transfer chambers, which are docked to a respective station as a docking station, where according to the respective design of these docking stations different docking heights are given for the transfer chambers. Accordingly, the transfer chamber must not only be movable between the respective docking stations, but also be adjustable to the respective docking station to a corresponding docking height, despite their sometimes considerable size and possibly high weight, due to the structural design of the transfer chamber for the maintenance of special conditions in the transfer chamber, so also due to vacuum conditions.
Bekannt sind derartige Bearbeitungsanlagen für die Bearbeitung flächiger Substrate, auch großflächiger mikroelektronischer Werkstücke, beispielsweise aus der DE 10 2005 039 453 B4 oder der DE 10 2005 040 741 B4 . Bei diesen Anlagen werden die Andockstationen über seitlich längs einer Schienenführung verfahrbare Transfereinheiten versorgt, die zur Schienenführung über Scherenhubwerke höhenverstellbar sind, ferner auch quer zur Schienenführung verlagerbar, wobei das Scherenhubwerk die allein tragende Abstützung für die Transferkammer auch in der Andocklage bildet. Die Transfereinheiten weisen Transferkammern auf, welche über Andockvorrichtungen mit den Andockstationen zu verbinden sind. Die Andockvorrichtungen umfassen Ventile, über die die Transferkammern mit den Andockstationen gasdicht zu verbinden sind und über die die Transferkammern im angedockten Zustand auf jeweils geforderte Sonderbedingungen, also beispielsweise auf Vakuumbedingungen eingestellt werden können, die in den Transferkammern dann auch während des Transfers, zum Beispiel in Abstimmung auf die nächste Andockstation, aufrechterhalten werden können. Die Andockstationen weisen Übergabeöffnungen auf, die anordnungs- und/oder funktionsbedingt auf unterschiedlicher Höhe liegen, so dass sich für die Beschickung in unterschiedliche Höhe liegende Übergabeebenen ergeben, auf die die verfahrbare, Substratauflagen aufnehmende Transferkammer jeweils einzustellen ist. Dies geschieht durch die Hubverstellung der Transferkammer gegenüber der Führungsbahn.Are known such processing equipment for the processing of flat substrates, even large-scale microelectronic workpieces, for example from the DE 10 2005 039 453 B4 or the DE 10 2005 040 741 B4 , In these systems, the docking stations are supplied via laterally displaceable along a rail guide transfer units, which are height adjustable for rail management Scherenhubwerke, also transversely to the rail guide displaced, the Scherenhubwerk forms the sole supporting support for the transfer chamber in the docking. The transfer units have transfer chambers, which are to be connected via docking devices with the docking stations. The docking devices comprise valves, via which the transfer chambers are to be connected in a gas-tight manner to the docking stations and via which the transfer chambers can be adjusted to the respectively required special conditions, for example to vacuum conditions, which then also in the transfer chambers during the transfer, for example in FIG Vote to the nearest docking station, can be maintained. The docking stations have transfer openings, which are at different heights due to the arrangement and / or function, so that transfer planes lying at different heights for the charge result, to which the movable transfer chamber receiving the substrate supports is to be respectively adjusted. This is done by the stroke adjustment of the transfer chamber with respect to the guideway.
Insbesondere für in ihren Flächenmaßen besonders große Substrate, wie beispielsweise Flachbildschirme, erweist sich ein solcher Aufbau als vorteilhaft und wegen der zu beherrschenden Kräfte teilweise auch notwendig. Sind geringere Flächenmaße der Substrate gegeben und diese auch leichter, so ist der mit einem solchen Aufbau verbundene Flächenbedarf und Aufwand nicht immer nötig.In particular, for particularly large in their surface dimensions substrates, such as flat screens, such a structure proves to be advantageous and partly because of the forces to be controlled also necessary. If smaller surface dimensions of the substrates are given and they are also lighter, then the space requirement and complexity associated with such a structure is not always necessary.
Bekannt ist weiter aus der DE 199 16 932 C1 eine verfahrbare Übergabestation für Substrate, die in sogenannten SMIF-Boxen auf die Übergabestation aufgesetzt werden. Diese ist ihrerseits an eine jeweilige Andockstation unter Vermittlung eines den Übergabebereich umschließenden Dichtrahmens angesetzt. Unter Verbleib des haubenförmigen Deckelteiles der SMIF-Box auf einem Aufsetzrahmen der Übergabestation wird das Bodenteil der SMIF-Box mit dem darauf aufsitzenden, die Substrate tragenden Kassettenrahmen in einen Reinraumteil der Übergabestation abgesenkt. In dieser abgesenkten Lage ist nach öffnen eines Türschildes der die Kassette aufnehmende Reinraum gegen die Andockstation offen und es kann die Kassette über diese Be- und Entladeöffnung zwischen Übergabestation und Andockstation mittels einer in der Übergabestation vorgesehenen Übergabevorrichtung verlagert werden. Die Übergabestation ist über Laufrollen verschiebbar und in ihrer Anschlusslage zu einer Andockstation fixierbar, dient aber nicht als selbständig verfahrbares Transportfahrzeug dem Transport von SMIF-Boxen, Kassetten oder Substraten zwischen Andockstationen.It is known from the DE 199 16 932 C1 a movable transfer station for substrates, which are placed in so-called SMIF boxes on the transfer station. This is in turn attached to a respective docking station through the intermediary of the transfer area enclosing sealing frame. Leaving the hood-shaped cover part of the SMIF box on a Aufsetzrahmen the transfer station, the bottom part of the SMIF box is lowered with the seated thereon, carrying the substrates cassette frame in a clean room part of the transfer station. In this lowered position after opening a door plate of the cassette receiving clean room is open to the docking station and it can be the cassette on this loading and unloading between transfer station and docking station by means provided in the transfer station transfer device. The transfer station is slidable over rollers and fixable in their connection position to a docking station, but does not serve as a self-transporting transport vehicle for the transport of SMIF boxes, cassettes or substrates between docking stations.
Transportwagen oder Fahrwerke über Schwenkrollen und gefedert zur jeweiligen Fahrbahn abzustützen, ist aus der DE 203 18 932 U1 sowie aus der DE 202 19 351 U1 bekannt.Transport trolleys or trolleys via casters and sprung to support the roadway, is from the DE 203 18 932 U1 as well as from the DE 202 19 351 U1 known.
Ferner ist aus der DE 102 14 262 B4 eine in Reinraumanlagen einsetzbare Transfereinrichtung für Substrate bekannt, bei der eine Transferkammer auf einem Fahrwerk höhenverstellbar abgestützt ist. Als höhenverstellbares Stützelement zwischen der Transferkammer und dem Fahrwerk ist ein Hubelement vorgesehen, das nach Art einer Rollbalgfeder gestaltet ist. Das Hubwwerk hat lediglich eine Hubfunktion, durch die die Transferkammer gegenüber dem Fahrwerk in Hochrichtung auf eine Position verstellbar ist, in der die Transferkammer auf seitens einer Andockstation vorgesehene Tragkonsolen aufzusetzen ist. Somit nimmt die Transferkammer zur Andockstation eine fixierte Lage ein, die es ermöglicht, das Fahrwerk, als Bestandteil eines Wechselsystems, gegebenenfalls auch anderweitig einzusetzen.Furthermore, from the DE 102 14 262 B4 a transfer device for substrates which can be used in clean-room systems, in which a transfer chamber is supported so as to be height-adjustable on a chassis. As a height-adjustable support member between the transfer chamber and the chassis, a lifting element is provided, which is designed in the manner of a Rollbalgfeder. The Hubwwerk has only a lifting function by which the transfer chamber with respect to the chassis in the vertical direction is adjustable to a position in which the transfer chamber is placed on provided by a docking support brackets. Thus, the transfer chamber to the docking station assumes a fixed position that it allows the suspension, as part of a change system, if necessary, also to use elsewhere.
Zu einer Transfereinrichtung gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1 liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, Maßnahmen aufzuzeigen, wie bei möglichst leichtem Aufbau der Transfereinrichtung und der Andockstation die Höhenverstellung der Transferkammer in Anpassung an die Andockhöhe einer jeweiligen Andockstation bei hoher Stabilität und mit einfachen Mitteln zu realisieren ist.For a transfer device according to the preamble of claim 1, the invention has the object to show measures, as in the lightest possible construction of the transfer device and the docking station to realize the height adjustment of the transfer chamber in adaptation to the docking height of each docking station with high stability and simple means is.
Erfindungsgemäß wird dies mit einer gemäß dem Anspruch 1 gestalteten Transfereinrichtung erreicht, die mit einem Transportwagen arbeitet, über dessen Fahrwerk die Transferkammer getragen ist, die über eine Federabstützung auf das Fahrwerk abgestützt ist und die parallel zur Federabstützung in ihrer Hublage auf eine jeweilige Andockhöhe einer Andockstation über eine Hubabstützung höhenverstellbar ist. Die Höhenverstellung erfolgt somit jeweils unterstützt durch die Federabstützung und damit entlastet, so dass über die Hubabstützung nur eine Teillast der Transferkammer und des Transportwagens zu tragen ist. Dadurch wird es möglich, die Hubabstützung der jeweiligen Andockstation zuzuordnen, ohne dass die jeweilige Andockstation über ihre durch die Arbeitsbedingungen vorgegebene Stabilität hinausgehend verstärkt ausgebildet und/oder verankert sein müsste, und es wird weiter dadurch möglich, die Transferkammer in der jeweiligen Andockhöhe über Stellmittel auf eine dichte Andocklage zur jeweiligen Andockstation zu beaufschlagen.According to the invention this is achieved with a designed according to claim 1 transfer device, which operates with a trolley, via the chassis, the transfer chamber is supported, which is supported via a spring support on the chassis and parallel to the spring support in its stroke position to a respective docking height of a docking station is height adjustable via a Hubabstützung. The height adjustment is thus carried out in each case supported by the spring support and thus relieved, so that on the Hubabstützung only a part load of the transfer chamber and the trolley is to be borne. This makes it possible to associate the lifting support of the respective docking station, without the respective docking station having to be reinforced and / or anchored beyond its stability prescribed by the working conditions, and it is further possible thereby to transfer the transfer chamber in the respective docking height via adjusting means to apply a tight docking position to the respective docking station.
Insgesamt wird so ein vergleichsweise leichter Aufbau des Transportwagens mit Transferkammer erreicht, gleichzeitig auch ein vergleichsweise leichter Aufbau der Andockstation ermöglicht, wobei zusätzlich ein vereinfachter Aufbau der Bearbeitungsanlage insgesamt dadurch erreichbar ist, dass die Übergabe der Substrate zwischen Transferkammer und Andockstation über eine Ventileinheit erfolgt, die als Zubehörteil und ergänzend zur jeweiligen Andockstation mit der jeweiligen Andockstation lagefest verbunden wird, somit in der Bearbeitungsanlage sich letztlich als Teil der Andockstation darstellt.Overall, a comparatively easy construction of the transport carriage with transfer chamber is achieved, at the same time allowing a comparatively easy construction of the docking station, wherein additionally a simplified construction of the processing plant is achievable overall in that the transfer of the substrates between transfer chamber and docking station takes place via a valve unit which as an accessory and complementary to the respective docking station with the respective docking station is firmly connected, thus in the processing system ultimately represents as part of the docking station.
Die die Transferkammer abstützenden, dem Transportwagen zugehörigen Federabstützungen sind vorteilhaft durch Federbeine gebildet, die Fahrwerksräder tragen, wobei der Federweg der Federbeine anschlagbegrenzt ist, so dass der Transportwagen gegebenenfalls lediglich über die Fahrwerksräder getragen verfahrbar ist oder bei zusätzlicher Abstützung auf einer Antriebsanordnung, etwa einem Schleppwagen, über die Fahrwerksräder mittragend verfahren werden kann.The transfer chamber supporting, the dolly associated spring supports are advantageously formed by struts that carry suspension wheels, the spring travel of the struts is limited stop, so that the trolley is possibly carried only worn on the wheels wheels or additional support on a drive assembly, such as a tow truck , can be moved on the suspension wheels mittragend.
Die zur Verlagerung der – auf ihre jeweilige Andockhöhe angehobenen – Transferkammern quer zur Hubrichtung vorgesehenen Stellmittel sind vorteilhaft durch einer Ventileinheit zugehörige Stellzylinder gebildet, über die die Transferkammer an die jeweilige, der Ventileinheit zugeordnete Andockfläche der jeweiligen Andockstation senkrecht zur Andockfläche herangezogen wird, so dass die dichtende Andocklage weitgehend ohne durch Reibung bedingte Verunreinigungen erreicht wird.The transfer means provided for displacing the transfer chambers, which are raised transversely to the stroke direction, are advantageously formed by a valve unit associated actuating cylinder, via which the transfer chamber is used perpendicular to the docking surface to the respective docking surface of the respective docking station associated with the valve unit, so that the sealing docking is largely achieved without impurities caused by friction.
Mit einer Transfereinrichtung gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruches 12 sollen die Voraussetzungen für die Realisierung eines automatisierten Transportablaufes mit einer an Andockstationen anzuschließenden Transferkammer auch bei unterschiedlicher, regelmäßiger oder unregelmäßiger Anordnung der Andockstationen und bei hoher Flächennutzung geschaffen werden.With a transfer device according to the preamble of claim 12 The requirements for the realization of an automated transport process with a to be connected to docking transfer chamber even with different, regular or irregular arrangement of docking stations and high land use to be created.
Dies durch die Ausbildung des die Transferkammer tragenden Transportwagens mit einer Antriebsanordnung, die eine allseitige und auch punktbezogen rechtwinklige Verfahrbarkeit des Transportwagens ermöglicht, und einer Ausrüstung der Transferkammer mit einem Handhabungsgerät, über das von Seiten der Transferkammer auf die jeweils angedockte Prozessstation Zugriff genommen werden kann. Hierdurch wird in der Anordnung. der Andockstationen eine größere Flexibilität, gegebenenfalls auch eine bessere Flächennutzung möglich, so beispielsweise auch eine Anordnung der Andockstationen in parallel verlaufenden Reihen mit einem dazwischen liegenden und an die Größe des Transfermoduls angepassten Gang.This is due to the design of the transport carriage carrying the transfer chamber with a drive arrangement which allows an all-round and also punctiform right-angled movability of the trolley, and an equipment of the transfer chamber with a handling device, on the side of the transfer chamber to the respective docked process station access can be taken. This will be in the arrangement. the docking stations greater flexibility, possibly also a better land use possible, such as an arrangement of docking stations in parallel rows with an intermediate and adapted to the size of the transfer module gear.
Weitere Vorteile und zweckmäßige Ausführungen sind den weiteren Ansprüchen, der Figurenbeschreibung und den Zeichnungen zu entnehmen. Es zeigen:Further advantages and expedient embodiments can be taken from the further claims, the description of the figures and the drawings. Show it:
1 in schematisierter Darstellung eine Draufsicht auf eine insbesondere unter Sonderbedingungen wie Reinraum-, Schutzgas- oder Vakuumbedingungen arbeitende Bearbeitungsanlage für flächige Substrate, bei der durch Bearbeitungsstationen, Übergabestationen oder dergleichen gebildete Andockstationen in parallel und beabstandet zueinander angeordneten Reihen angeordnet sind und dazwischen liegend eine Gasse zur Beschickung der Stationen über einen eine Transferkammer tragenden Transportwagen vorgesehen ist, dessen Transferkammer gegen die Stationen zur Übergabe der jeweiligen Substrate dichtend anzudocken ist, 1 in a schematic representation of a plan view of a working under particular conditions such as clean room, inert gas or vacuum conditions processing plant for flat substrates, formed in the processing stations, transfer stations or the like docking stations arranged in parallel and spaced from each other rows and lying between an alley to feed the stations is provided via a transport carriage carrying a transfer chamber, the transfer chamber of which is to be sealingly docked against the stations for the transfer of the respective substrates,
2 eine perspektivische Darstellung eines Transportwagens und einer Ventilanordnung, die seitens einer jeweiligen, hier nicht dargestellten Andockstation angeordnet ist und über die, bei hier nicht dargestellter Andocklage der Transferkammer, die gegen die Umgebung abgedichtete Übergabe von Substraten zwischen der Transferkammer und einer Andockstation erfolgt, 2 a perspective view of a trolley and a valve assembly, which is arranged by a respective docking station, not shown here and the, in not shown here Andocklage the transfer chamber, the sealed transfer of substrates between the transfer chamber and a docking station,
3 eine Draufsicht auf die Darstellung gemäß 2, wobei die lagefeste Verbindung der Ventilanordnung zur Andockstation ergänzend gezeigt ist, 3 a plan view of the illustration according to 2 , wherein the position-fixed connection of the valve arrangement is shown in addition to the docking station,
4 bis 6 Schnittdarstellungen, in denen die Verbindung zwischen der Ventilanordnung und der jeweiligen Andockstation teilweise gezeigt ist und aus denen in 4 und 5 auch die in 2 nur angedeutete Verbindung des Transportwagens zu einem Schleppwagen ersichtlich ist, der zum Transportwagen unterfahrend mit diesem zu verbinden ist, wobei der Transportwagen mittels des Schleppwagens translatorisch längs einer Fahrebene zu verfahren ist und wobei über den Schleppwagen gegebenenfalls auch eine untergreifende Abstützung des Transportwagens erfolgt, 4 to 6 Sectional views in which the connection between the valve assembly and the respective docking station is partially shown and from which 4 and 5 also the in 2 only hinted connection of the trolley to a tow truck can be seen, which is to be connected to the trolley under driving with this, the trolley is to be moved by means of the tow truck translationally along a driving plane and wherein optionally via the tow truck also a cross-supporting the trolley,
7 und 8 weitere, teils vereinfacht, im Wesentlichen der 5 entsprechende Darstellungen mit einer federnden Abstützung der dem Fahrwerk des Transportwagens zugehörigen Fahrwerksräder über teleskopische Federbeine, und zwar in der Darstellung gemäß 7 in zur durch den Schleppwagen gebildeten Antriebsanordnung verkuppelter Stellung des Transportwagens, und in 8 bei gegenüber dem Schleppwagen über eine Hubeinrichtung ausgehobener Stellung des Transportwagens, 7 and 8th further, partly simplified, essentially the 5 corresponding representations with a resilient support of the chassis of the trolley associated suspension wheels via telescopic struts, in the representation according to 7 in to the drive assembly formed by the tow truck verkuppelter position of the trolley, and in 8th with respect to the tow truck via a lifting device excavated position of the trolley,
9 eine der 8 entsprechende Darstellung in Ansicht auf die Hubeinrichtung, 9 one of the 8th corresponding representation in view of the lifting device,
10 die Ventilanordnung mit zugeordneter Hubeinrichtung in einer perspektivischen Darstellung, 10 the valve assembly with associated lifting device in a perspective view,
11 bis 14 zur Ventilanordnung und Hubeinrichtung gemäß 10 verschiedene Ansichten, in den 13 und 14 in verschiedenen Hubstellungen der Hubeinrichtung, 11 to 14 to the valve assembly and lifting device according to 10 different views in the 13 and 14 in different lifting positions of the lifting device,
15 bis 18 verschiedene Darstellungen eines in erfindungsgemäßer Weise einsetzbaren und insbesondere für den Einsatz in Bearbeitungsanlagen für Substrate ausgebildeten Schleppwagens, sowie 15 to 18 Various representations of a deployable in accordance with the invention and in particular designed for use in processing systems for substrates tow truck, and
19 bis 21 verschiedene Ansichten eines erfindungsgemäßen Transportwagens mit dem Transportwagen unmittelbar zugeordneter Antriebsanordnung in Form einer mit Omnirädern arbeitenden Antriebsanordnung. 19 to 21 various views of a trolley according to the invention with the trolley directly associated drive assembly in the form of a working with Omnirädern drive assembly.
Ein Grundaufbau einer Bearbeitungsanlage 1 ist schematisch in 1 dargestellt und zeigt – bei modularem Aufbau beispielsweise Prozess-, Speicher- und/oder Übergabestationen als Andockstationen 2 für zumindest eine Transferkammer 3 – die Anordnung der Andockstationen 2 in zwei parallel verlaufenden und mit Abstand einander gegenüberliegenden Reihen 4, 5. Zwischen den Reihen 4, 5 liegt ein Gang 6, in den die Transferkammer 3 einzufahren ist und von dem aus die Andockstationen 2 zu beschicken sind.A basic structure of a processing plant 1 is schematic in 1 represented and shows - with modular structure, for example, process, storage and / or transfer stations as docking stations 2 for at least one transfer chamber 3 - The arrangement of the docking stations 2 in two parallel and spaced rows 4 . 5 , Between the rows 4 . 5 there is a corridor 6 into the transfer chamber 3 is to be retracted and from the docking stations 2 to be loaded.
Bezogen auf einen möglichst geringen Raumbedarf ist der Gang 6 in seiner Breite an die Breite der Transferkammer 3 möglichst angepasst, woraus schon einige der bei Bearbeitungsanlagen 1 dieser Art auftretenden Probleme erkennbar werden.The gear is related to the smallest possible space requirement 6 in its width to the width of the transfer chamber 3 adapted as possible, which already some of the processing plants 1 This type occurring problems can be seen.
So ist es beispielsweise zweckmäßig, wenn eine Transferkammer 3 auch an in ihrer Lage zueinander unregelmäßig, also quasi chaotisch zueinander angeordnete Andockstationen 2 herangeführt und an diese angedockt werden kann. Ferner, wenn eine Transferkammer 3 auch unter beengten Platzverhältnissen, wie bei der Reihenanordnung gemäß 1, zwischen Andockstation 2 eingefahren werden kann. Unter gewichts- und verfahrtechnischen Gesichtspunkten sind auch möglichst geringe Abmaße der Transferkammer 3 anzustreben, die aus funktionalen Gründen zudem so gestaltet sein sollte, dass sie auch für einen Transport von Substraten unter Einstellung auf oder Aufrechterhaltung von atmosphärischen Sonderbedingungen einzusetzen ist. Die Aufstellbedingungen für die Andockstationen 2 sowie deren Ausgestaltung unter funktionalen Gesichtspunkten bedingen häufig auch eine Anpassung der Transferkammer 3 in der Höhenlage ihrer Übergabeöffnung auf die Übergabeöffnung einer jeweiligen Andockstation 2, und dies ungeachtet der beim Andockvorgang herzustellenden Ventilverbindung zwischen der Transferkammer 3 und der jeweiligen Andockstation 2.For example, it is expedient if a transfer chamber 3 also in their position to each other irregular, so quasi chaotic arranged docking stations 2 can be introduced and docked to this. Furthermore, if a transfer chamber 3 even in confined spaces, as in the series arrangement according to 1 , between docking station 2 can be retracted. Under weight and Verfahrtechnischen aspects are also smallest possible dimensions of the transfer chamber 3 for functional reasons, should also be designed so that it can also be used for transporting substrates while maintaining or maintaining atmospheric special conditions. The installation conditions for the docking stations 2 as well as their design under functional aspects often require an adjustment of the transfer chamber 3 in the altitude of their transfer opening on the transfer opening of a respective docking station 2 , and this regardless of the valve connection to be made during the docking process between the transfer chamber 3 and the respective docking station 2 ,
Resultierend aus diesen teils gegenläufigen Bedingungen werden nachfolgend im Rahmen der Erfindung liegende Einzellösungen erläutert, sowie auch aus diesen Lösungen resultierende Kombinationen.As a result of these partly contradictory conditions, individual solutions lying below within the scope of the invention are explained, as are combinations resulting from these solutions.
Ausgehend von der Forderung, die Transferkammer 3 auch an in nahezu beliebiger Anordnung zueinander stehende Andockstationen 2 andocken zu können, ist für die Transferkammer 3 eine Ausbildung als Teil eines Transportwagens 7 – wie in den nachfolgenden Figuren näher erläutert – vorgesehen und dadurch eine freie Verfahrbarkeit längs einer Fahrebene 8 gegeben, bevorzugt mit einer Antriebsanordnung für den Transportwagen 7, die eine solche freie Verfahrbarkeit auch in rechtwinklig oder nahezu rechtwinklig zueinander stehenden Bewegungsrichtungen übergangslos oder nahezu übergangslos ermöglicht.Starting from the requirement, the transfer chamber 3 also to each other in almost any arrangement docking stations 2 to be able to dock is for the transfer chamber 3 an education as part of a transport vehicle 7 - As explained in more detail in the following figures - provided and thereby a free movement along a driving plane 8th given, preferably with a drive arrangement for the trolley 7 , which allows such a free mobility even in right angles or nearly perpendicular directions of movement without transition or almost seamless.
Der weiteren Forderung einer Anpassung der Höhenlage der Transferkammer 3 an die jeweils durch die Übergabeöffnung der Andockstation 2 bedingte Höhenlage der Übergabeebene wird mit einer Hubverstellung der Transferkammer 3 Rechnung getragen. Diese ist bezüglich der aufzubringenden Hubkraft über eine parallele Abstützung der Transferkammer 3 gegen die jeweilige Bodenfläche als Aufstellfläche und/oder Fahrebene 8 entlastet. Dies insbesondere bei mit der jeweiligen Andockstation 2 verbundener, im Übergang zwischen Andockstation 2 und Transferkammer 3 liegender Ventilanordnung 65, die sich als Anbaueinheit zur jeweiligen Andockstation 2 und damit als Zubehör, insbesondere auch marktseitig im Lieferumfang als Zubehör zu Andockstationen 2, darstellt. Der Andockstation 2 ist des Weiteren auch die Hubeinrichtung 66 zugeordnet, und zwar wiederum zweckmäßigerweise in Zusammenfassung mit der Ventilanordnung 65. Schließlich wird die allseitige und auch punktbezogen rechtwinklige Verfahrbarkeit über ein spezielles Antriebssystem erreicht, wodurch in der Kombination ein außerordentlich effektives und raumsparend zu nutzendes Transportsystem für Bearbeitungsanlagen von Substraten entsteht, das zudem zumindest teilweise automatisierte Transportabläufe ermöglicht. The further requirement of an adjustment of the altitude of the transfer chamber 3 to each through the transfer opening of the docking station 2 Conditional altitude of the transfer level is with a stroke adjustment of the transfer chamber 3 Taken into account. This is with respect to the applied lifting force via a parallel support of the transfer chamber 3 against the respective floor surface as a footprint and / or driving level 8th relieved. This in particular with the respective docking station 2 connected, in the transition between docking station 2 and transfer chamber 3 lying valve assembly 65 , as an add-on unit to the respective docking station 2 and thus as an accessory, especially on the market in the scope of delivery as an accessory to docking stations 2 , represents. The docking station 2 is also the lifting device 66 assigned, and in turn suitably in summary with the valve assembly 65 , Finally, the all-round and point-perpendicular traversability is achieved by a special drive system, which in combination creates an extremely effective and space-saving to use transport system for processing systems of substrates, which also allows at least partially automated transport processes.
Weitere Details des Transportwagens 7 und der Transferkammer 3 werden zunächst anhand der 2 bis 6 näher erläutert. Die Transferkammer 3 weist bei in Draufsicht quadratförmigen Umriss einen Tranferraum 12 auf, in dem ein Handhabungsgerät 13 angeordnet ist, das, wie insbesondere aus 6 ersichtlich, von einem über einem Motor 23 anzutreibenden Speicherkarussell 14 mit in Umfangsrichtung nebeneinander liegenden Speicherplätzen 15 für scheibenförmige Substrate 16 überdeckt ist. Der nach vier Seiten Übergabeöffnungen 18 aufweisende Transferraum 12 ist nach oben über einen Deckel 19 mit Sichtfenstern 20 geschlossen, und nach unten durch eine Abschlussplatte 21, die vom hubverstellbaren Drehantrieb 22 für das als Scara-Roboter ausgebildete Handhabungsgerät 13 durchsetzt ist. Über das Handhabungsgerät 13 können jeweilige Substrate 16 auf dem Speicherkarussell 14 platziert, von diesem entnommen, durch die Übergabeöffnungen 18 in den Transferraum 12 eingeführt oder aus diesem entnommen werden. Derartige Handlingssysteme sind in der Praxis vielfältig eingesetzt und damit auch allgemein bekannt.Further details of the trolley 7 and the transfer chamber 3 be first on the basis of 2 to 6 explained in more detail. The transfer chamber 3 has in plan view square-shaped outline a Tranferraum 12 in which a handling device 13 is arranged, in particular, from 6 seen from one above a motor 23 to be driven storage carousel 14 with circumferentially adjacent memory locations 15 for disc-shaped substrates 16 is covered. The four-sided transfer openings 18 having transfer room 12 is up over a lid 19 with viewing windows 20 closed, and down through a cover plate 21 , by the stroke-adjustable rotary drive 22 for the trained as a Scara robot handling device 13 is interspersed. About the handling device 13 can each substrates 16 on the storage carousel 14 placed, taken from this, through the transfer openings 18 in the transfer room 12 introduced or removed from this. Such handling systems are widely used in practice and therefore also generally known.
Den Übergabeöffnungen 18 zum Transferraum 12 sind Verschlussplatten 24 zugeordnet, die beispielsweise über Magnete haftend wandseitig zum Gehäuse 17 der Transferkammer 3 festgelegt sind, zudem aber auch durch im Transferraum 12 herrschenden Unterdruck in ihrer Schließlage gehalten sind oder gehalten sein können.The transfer openings 18 to the transfer room 12 are closure plates 24 associated, for example, the magnets adhering to the wall side of the housing 17 the transfer chamber 3 are determined, but also by in the transfer room 12 prevailing negative pressure are held in their closed position or can be held.
Zum durch den Transferraum 12 gebildeten Teil der Transferkammer 3 weist diese einen den Drehantrieb 22 umgreifenden Unterbau mit eckseitig vorgesehenen Tragsäulen 10 auf, die über eine Bodenplatte 11 verbunden sind und die Führungen für das Fahrwerk 9 des Transportwagens 7 bilden, wobei das Fahrwerk 9 Fahrwerksräder 25 aufweist, die nach Art von Teewagen-Rollen schwenkbeweglich zu Auslegern 26 festgelegt sind. Die Ausleger 26 sind ihrerseits über Federbeine 27 getragen, wie sie aus den 7 und 8 – eingefedert in 7 und ausgefedert in 8 – ersichtlich sind und deren äußeres Zylinderrohr 98 durch die hohlzylindrischen Tragsäulen 10 gebildet ist. In diesen ist das innere Zylinderrohr 28 hubverstellbar, aber nicht verdrehbar geführt, von dem die Ausleger 26 auskragen und das seinerseits über die Feder 29 in Richtung auf den Transferraum 12 gegen die Abschlussplatte 21 abgestützt ist. Die Feder 29 umschließt einen ebenfalls in Richtung auf die Abschlussplatte 21 abgestützten Dämpferzylinder 30, dessen Kolbenstange 31 gegen das innere Zylinderrohr 28 im Bereich dessen mit den jeweiligen Ausleger 26 verbundenen Endes abgestützt ist.To through the transfer room 12 formed part of the transfer chamber 3 this one has the rotary drive 22 encompassing substructure with provided on the corner side support pillars 10 on that over a bottom plate 11 connected and the guides for the chassis 9 of the trolley 7 form, with the landing gear 9 landing gear wheels 25 having, in the manner of Teewagen roles pivotally to arms 26 are fixed. The outriggers 26 are in turn about struts 27 worn, as they are from the 7 and 8th - squeezed in 7 and rebounded in 8th - Are visible and their outer cylinder tube 98 through the hollow cylindrical support columns 10 is formed. In these is the inner cylinder tube 28 adjustable in height but not rotatable, from which the arms 26 cantilevered and that in turn on the spring 29 in the direction of the transfer room 12 against the end plate 21 is supported. The feather 29 encloses one also in the direction of the end plate 21 supported damper cylinder 30 , its piston rod 31 against the inner cylinder tube 28 in the area of this with the respective boom 26 connected end supported.
Im Bereich der Tragsäulen 10 sind über die Bodenplatte 11 nach unten auskragende Abstützungen 32 in Form von Stützfingern 33 vorgesehen, auf denen der Transportwagen 7 gegen die jeweilige Fahrebene 8 tragend abzustützen ist, wenn er nicht anderweitig getragen ist.In the field of support columns 10 are over the bottom plate 11 downwardly projecting outriggers 32 in the form of supporting fingers 33 provided on which the dolly 7 against the respective driving level 8th supportive if it is not otherwise worn.
Im Rahmen der Erfindung ist die durch die Federbeine 27 gebildete Abstützung so ausgelegt, dass sie das volle Gewicht des Transportwagens 7 nicht abfangen kann, so dass der Transportwagen 7, wenn er nicht anderweitig getragen oder mittragend gehalten ist, über die Abstützungen 32 lagefest auf der Fahrbahnebene 8 aufsitzt. Wird der Transportwagen 7 wie in den 4 und 5 ersichtlich über eine dort gezeigte Abstützanordnung 34 – oder anderweitig – ergänzend und parallel zu den Federbeinen 27 abgestützt, so ergibt sich die aus den 4 und 5 ersichtliche Freiganglage der durch die Stützfinger 33 gebildeten Abstützungen 32 gegenüber der Fahrbahnebene 8 bei einem um die Traglast der Abstützanordnung 34 verringerten, über die Federbeine 27 getragenem Lastanteil. Der maximale Einfederweg der Federbeine 27 ist anschlagbegrenzt, veranschaulicht durch den Anschlagbund 101.In the context of the invention is the by the struts 27 formed support designed to hold the full weight of the trolley 7 can not catch, so the dolly 7 if not otherwise borne or co-sponsored, over the supports 32 stable on the road level 8th seated. Will the dolly 7 like in the 4 and 5 visible via a support arrangement shown there 34 - or otherwise - in addition to and parallel to the spring struts 27 supported, it follows from the 4 and 5 apparent clearance position of the support fingers 33 formed supports 32 opposite the road level 8th at one to the carrying capacity of the support arrangement 34 decreased, over the struts 27 carried load proportion. The maximum compression travel of the struts 27 is stop limited, illustrated by the stop collar 101 ,
Der auf die Abstützanordnung 34 entfallende Lastanteil kann erfindungsgemäß sehr gering gehalten werden, und beispielweise nur einen sehr kleinen Bruchteil des über die Federbeine 27 getragenen Lastanteils ausmachen, da die Abstützungen 32 nur so weit von der Fahrbahnebene 8 ausgehoben werden müssen, dass im Fahrbetrieb ein Kontakt zur Fahrbahnebene 8 ausgeschlossen ist. Dementsprechend bleibt bei über dem Federweg flach verlaufender Feder-Kennlinie der Federbeine 27 bezogen auf den vorgesehenen geringen Hubweg der Abstützanordnung 34 und die mit dem Anheben des Transportwagens 7 über die Abstützanordnung 34 verbundene geringe Ausfederbewegung der Federbeine 27 der von den Federbeinen 27 getragene Lastanteil im Wesentlichen gleich.The on the support arrangement 34 attributable load proportion can be kept very low according to the invention, and for example only a very small fraction of the spring legs 27 accounted for load share, since the supports 32 only so far from the road level 8th have to be dug that in driving a contact to the road level 8th is excluded. Accordingly, remains at over the spring travel flat extending spring characteristic of the struts 27 based on the intended short stroke of the support arrangement 34 and those with lifting the trolley 7 over the support arrangement 34 associated low rebound movement of the struts 27 the one of the struts 27 carried load proportion substantially the same.
Erfindungsgemäß ist die Abstützanordnung 34 als Antriebsanordnung 35 ausgebildet und in dieser Ausbildung zweckmäßigerweise nur so weit gewichtstragend genutzt, dass der notwendige Reibschluss der Antriebsglieder 36 der Antriebsanordnung 35 bezogen auf die jeweilige Antriebsleistung gewährleistet ist. Dies insbesondere, wenn die Abstützanordnung 34 in ihrer Funktion als Antriebsanordnung 35 durch einen omnidirektionalen Antrieb mit Omnirädern 37 als Antriebsglieder 36 gebildet ist, da bei Antriebsanordnungen 35 mit Omnirädern 37 hohe Radlasten besonders verschleißkritisch sind. Zudem ist für eine Antriebsanordnung 35 bei der vorgesehenen Nutzung als Antriebshilfe für Transportwagen 7 in Bearbeitungsanlagen von Substraten ein kleiner Bauraumbedarf und ein möglichst kleiner Anteil an der Masse des jeweils zu bewegenden Gesamtsystems anzustreben.According to the invention, the support arrangement 34 as a drive arrangement 35 trained and used in this training expediently only so far weight-bearing that the necessary frictional engagement of the drive members 36 the drive assembly 35 is ensured based on the respective drive power. This particular, when the support arrangement 34 in their function as a drive arrangement 35 by an omnidirectional drive with omni wheels 37 as drive links 36 is formed, as in drive arrangements 35 with omnidir wheels 37 high wheel loads are particularly wear-sensitive. In addition, for a drive assembly 35 in the intended use as a drive aid for transport vehicles 7 In processing systems of substrates a small space requirement and the smallest possible proportion of the mass of each to be moved overall system.
Eine zweckmäßige Ausbildung der Antriebsanordnung 35 als omnidirektionaler Schleppwagen 99 in seiner Verbindung zum Transportwagen 7 ist in den 15 bis 18 dargestellt, wobei für den die Antriebsanordnung 35 bildenden Schleppwagen 99 in den 16 und 18 eine Abdeckung 38 gezeigt ist, die in der Darstellung gemäß 15 fehlt. Die Antriebsanordnung 35 weist einen oberen Tragrahmen 40 und einen unteren Tragrahmen 41 auf, die gegeneinander über einen Hubantrieb 42 höhenverstellbar und über teleskopische Schiebeführungen 43 verbunden sind. Diese Schiebeführungen 43 weisen am unteren Tragrahmen 41, der als Platte gestaltet ist, aufgesetzte Führungshülsen 44 auf, in denen im Ausführungsbeispiel rollengeführt Führungsstifte 45 laufen, welche mit ihren Einsteckenden 46 den als Tragkreuz gestalteten oberen Tragrahmen 40 im Bereich der Enden zweier einander gegenüberliegender Arme 47 durchsetzen. Zu den Armen 47 sind die Führungsstifte 45 axial festgelegt, was hier durch formschlüssig verrastende Sicherungsringe 48 veranschaulicht ist. Der Hubantrieb 42 umfasst, schematisch angedeutet, eine Antriebseinheit 49 mit einer Antriebsspindel 50, die sich über ein Lager 51 im Zentrum 57 des den oberen Tragrahmen 40 bildenden Tragkreuzes abstützt. Die Abdeckung 38 ist im zum Tragrahmen 40 überdeckenden Bereich ausgespart, so dass der Tragrahmen 40 in seiner Hubverstellbarkeit nicht eingeschränkt ist, die nach unten durch den unteren Tragrahmen 41 als Anschlag für die Führungshülsen 44 begrenzt ist.An expedient embodiment of the drive arrangement 35 as omnidirectional tow truck 99 in his connection to the trolley 7 is in the 15 to 18 illustrated, for which the drive assembly 35 forming tow truck 99 in the 16 and 18 a cover 38 shown in the illustration according to 15 is missing. The drive arrangement 35 has an upper support frame 40 and a lower support frame 41 on, against each other via a linear actuator 42 height adjustable and via telescopic sliding guides 43 are connected. These sliding guides 43 show at the lower support frame 41 , which is designed as a plate, patch guide sleeves 44 on, in which rolled in the embodiment guide pins 45 run, which with their spiking ends 46 designed as a support cross upper support frame 40 in the area of the ends of two opposing arms 47 push through. To the poor 47 are the guide pins 45 fixed axially, what here by positive locking circlips 48 is illustrated. The lifting drive 42 comprises, schematically indicated, a drive unit 49 with a drive spindle 50 that are about a camp 51 downtown 57 of the upper support frame 40 supporting supporting cross. The cover 38 is in the support frame 40 Covering area recessed, leaving the support frame 40 in its Hubverstellbarkeit is not limited, the down through the lower support frame 41 as a stop for the guide sleeves 44 is limited.
15 veranschaulicht des Weiteren in Verbindung mit 18, dass in den Endbereichen der zu den Armen 47 senkrechten Arme 52 des als Tragkreuz ausgebildeten oberen Tragrahmens 40, der zum unteren Tragrahmen 41 über die Antriebseinheit 49 hubverstellbar ist, lagefeste, aber gegebenenfalls höhenverstellbare Stützelemente 53 angeordnet sind, die verhältnismäßig weich gehalten sind und so den Transportwagen 7 gegen die durch den Schleppwagen 99 gebildete Antriebsanordnung 35 in einer Ebene abstützen, die sich senkrecht zu der durch die Schiebeführungen 43 bestimmten Querebene 54 erstreckt. Die Querebene 54 liegt senkrecht zu einer für den die Antriebsanordnung 35 bildenden Schleppwagen 99 bevorzugten Fahrtrichtung 55, die insbesondere einer Geradeausfahrtrichtung des Schleppwagens 99 entspricht, der entsprechend der Ausgestaltung der Antriebsanordnung 34 als omnidirektionaler Antrieb, bezogen auf die gleiche Fahrebene 8, auch in allen hierzu abweichenden Fahrtrichtungen lediglich durch entsprechende Antriebssteuerung der Omniräder 37 verfahrbar ist. 15 further illustrates in conjunction with 18 that in the end areas of the to the arms 47 vertical arms 52 designed as a carrier cross upper support frame 40 which is the lower support frame 41 via the drive unit 49 Hubverstellbar is, stable, but possibly height-adjustable support elements 53 are arranged, which are kept relatively soft and so the trolley 7 against by the tow truck 99 formed drive assembly 35 rest in a plane perpendicular to the one through the sliding guides 43 certain transverse plane 54 extends. The transverse plane 54 is perpendicular to one for the drive assembly 35 forming tow truck 99 preferred direction of travel 55 , in particular a straight ahead direction of the tow truck 99 corresponds, according to the configuration of the drive assembly 34 as omnidirectional drive, based on the same driving level 8th , even in all deviating directions only by appropriate drive control of the omnidirectional 37 is movable.
Bezogen auf die Geradeausfahrtrichtung 55 als bevorzugte Fahrtrichtung liegen die vier für den Schleppwagen 99 als Antriebsanordnung 35 vorgesehenen, nicht lenkbaren Omniräder 37 mit ihren achsgleich liegenden Antriebsmotoren 56 jeweils in einem der Quadranten des den oberen Tragrahmen 40 bildenden Tragkreuzes, und zwar bezogen auf das Zentrum 57 des Tragkreuzes, und damit auch die Achse des Hubantriebes 49, einander diagonal gegenüberliegend.Related to the straight-ahead direction 55 as the preferred direction of travel are the four for the tow truck 99 as a drive arrangement 35 provided, non-steerable omnidirectional 37 with their coaxial drive motors 56 each in one of the quadrants of the upper support frame 40 forming supporting cross, and with respect to the center 57 of the supporting cross, and thus also the axis of the lifting drive 49 , diagonally opposite each other.
Im Hinblick auf die Fahrtrichtung 55 als bevorzugte Geradeausfahrtrichtung ist die Winkellage der Achsen der vor und hinter der Querebene 54 liegenden, jeweils durch einen Motor 56 mit Omnirad 37 gebildeten Antriebseinheiten zueinander gleich, wobei der Winkel zur Querebene 54 kleiner als 45° ist und bevorzugt bei etwa 30° liegt. Die Ausbildung der Omniräder 37 ist in 17 schematisiert veranschaulicht, ansonsten sind die Omniräder 37 nur angedeutet und auch viele Ausführungsformen von Omnirädern 37 bekannt. In der in 17 als Beispiel veranschaulichten Ausführungsform weisen die Omniräder 37 über dem Radumfang einen Kranz von quer zur in der 17 mit der Zeichenebene zusammenfallenden Radebene liegenden Radkörpern 58 auf, deren Drehachsen in der Radebene und tangential zur Umfangsrichtung liegen. Dies mit dem Ergebnis, dass sich über entsprechende Ansteuerung der Omniräder 37 die jeweilige Vortriebsrichtung für den Schleppwagen 99 als Antriebsanordnung 35 in bekannter Weise bestimmen lässt.With regard to the direction of travel 55 as a preferred straight-ahead direction is the angular position of the axes in front of and behind the transverse plane 54 lying, each by a motor 56 with omnirad 37 formed drive units equal to each other, wherein the angle to the transverse plane 54 is less than 45 ° and is preferably about 30 °. The education of the omnirrades 37 is in 17 schematized illustrated, otherwise are the omnidirectional 37 only hinted at and also many embodiments of omnidirectional 37 known. In the in 17 Exemplary embodiments illustrate the omnidirectional wheels 37 above the wheel circumference a wreath from across to in the 17 Radial bodies coinciding with the plane of the drawing 58 on, whose axes of rotation are in the gear plane and tangential to the circumferential direction. This with the result that is about appropriate control of the omnibuses 37 the respective direction of advance for the tow truck 99 as a drive arrangement 35 can be determined in a known manner.
15 und 16 veranschaulichen des Weiteren, dass die Kopplung zwischen dem Schleppwagen 99 als Antriebsanordnung 35 und dem Transportwagen 7 über die Einsteckenden 46 der Führungsstifte 45 erreicht wird, wenn diese in Aufnahmehülsen 59 eingreifen, welche in der Bodenplatte 11 des Transportwagens 7 vorgesehen sind. Erreicht wird dieser Eingriff durch die Hubverstellung des oberen Tragrahmens 40 gegenüber dem unteren Tragrahmen 41, zu dem die omnidirektionalen Antriebe mit den Omnirädern 37 festgelegt sind und gegenüber dem der als Tragkreuz ausgestaltete obere Tragrahmen 40, zu dem die Führungsstifte 45 festgelegt sind, in der Höhe verstellbar ist. 15 and 16 further illustrate that the coupling between the tow truck 99 as a drive arrangement 35 and the dolly 7 about the insertion ends 46 the guide pins 45 is achieved when these in receiving sleeves 59 intervene, which in the baseplate 11 of the trolley 7 are provided. This intervention is achieved by the stroke adjustment of the upper support frame 40 opposite the lower support frame 41 to which the omnidirectional drives with the omni wheels 37 are fixed and opposite to the designed as a support cross upper support frame 40 to which the guide pins 45 are fixed in height is adjustable.
Zum Ankoppeln des die Antriebsanordnung 35 bildenden Schleppwagens 99 an den über die Stützfinger 33 in einer vorgegebenen Mindesthöhe zur Fahrebene 8 abgestützten Transportwagen 7 muss somit der Schleppwagen 99 lediglich unter den Transportwagen 7 eingefahren werden und es muss bei entsprechender Positionierung in vorstehender Weise die Ankopplung erreicht werden. In der angekoppelten Lage erfolgt die lastübertragende Abstützung – falls eine solche überhaupt angestrebt wird – in Berücksichtigung eines verhältnismäßig geringen, auf die Antriebsanordnung 35 abzustützenden Lastanteil über die Stützelemente 53, die bevorzugt im Wesentlichen auch stoßdämpfend wirken. Bevorzugt sind die Querarme 47 durchsetzend ferner gegen den unteren Tragrahmen 41 abgestützte Anschlagelemente 60 vorgesehen, die bezogen auf die jeweilige Abstützlage zur Bodenplatte 11 einen gegebenenfalls dämpfenden Endanschlag bilden.For coupling the drive assembly 35 forming tow truck 99 to the over the support fingers 33 in a predetermined minimum height to the driving level 8th supported trolley 7 thus has the tow truck 99 just under the trolley 7 be retracted and it must be achieved with appropriate positioning in the above manner, the coupling. In the coupled position, the load-transferring support takes place - if such is ever desired - in consideration of a relatively small, on the drive assembly 35 To be supported load share on the support elements 53 , which preferably also act shock-absorbing substantially. The transverse arms are preferred 47 further enforcing against the lower support frame 41 supported stop elements 60 provided, based on the respective support position to the bottom plate 11 form an optionally damping end stop.
Der vom Transportwagen 7 auf der gegebenenfalls als Antriebsanordnung 35, insbesondere in Form eines Schleppwagens 99 ausgebildeten Abstützanordnung 34 abgestützte Lastanteil kann im Rahmen der Erfindung auch variabel festgelegt und insbesondere in Abhängigkeit vom Schlupf der Omniräder 37 rechnergestützt eingesteuert werden, um unabhängig von Reibwertschwankungen zwischen Fahrebene 8 und Omnirädern 37 eine Einhaltung der jeweils eingesteuerten Fahrtrichtung zu ermöglichen.The one from the trolley 7 on the optionally as a drive arrangement 35 , in particular in the form of a tow truck 99 trained support arrangement 34 Supported load proportion can also be variably determined in the context of the invention and in particular in dependence on the slip of the omnidirectional 37 be controlled computer-aided to independent of Reibwertschwankungen between driving level 8th and omnidirectional bikes 37 to ensure compliance with the respective direction of travel.
15 veranschaulicht des Weiteren eine beispielsweise Anordnung von Energiespeicherelementen 61 im Freiraum zwischen oberem Tragrahmen 40 und unterem Tragrahmen 41 bei Abstützung auf dem unteren Tragrahmen 41. Zweckmäßigerweise ist ferner – siehe 18 – die Zuordnung eines Anschlusssteckers 62 zum oberen Tragrahmen 40, um gegebenenfalls eine gemeinsame Energieversorgung vom Transportwagen 7 und Antriebsanordnung 35 herzustellen, was in 18 durch eine der Bodenplatte 11 des Transportwagens 7 zugeordnete Steckkupplung 63 erreicht wird. 15 further illustrates an example arrangement of energy storage elements 61 in the free space between upper support frame 40 and lower support frame 41 with support on the lower support frame 41 , Appropriately, is further - see 18 - the assignment of a connector plug 62 to the upper support frame 40 to optionally share a common power supply from the trolley 7 and drive assembly 35 produce what is in 18 through one of the bottom plate 11 of the trolley 7 assigned plug-in coupling 63 is reached.
Zweckmäßig ist auch die Ausrüstung der Antriebsanordnung 35 mit einer Sensoreinheit 64, sei es eine Kamera oder dergleichen, die in Zuordnung zu einer nicht dargestellten Rechen- und/oder Steuereinheit auch die automatisierte Ausrichtung der als Schleppwagen 99 ausgebildeten Antriebsanordnung 35 an vorgegebenen Wegmarkierungen ermöglicht. Entsprechend ist eine automatisierte Führung gegebenenfalls auch über Sensoriken, insbesondere in Form zumindest einer Kamera, zu erreichen, die zum Beispiel als Deckenkamera die Andockstationen 2 und den oder die Transportwagen 7 entsprechend ihnen zugeordneter Kennzeichnungen in ihrer Lage erfasst, so dass über die Recheneinheit eine automatisierte Führung anhand ablaufbedingter Vorgaben möglich ist.The equipment of the drive arrangement is also expedient 35 with a sensor unit 64 Whether it is a camera or the like, in association with a computing and / or control unit, not shown, and the automated orientation of the as a tow truck 99 trained drive assembly 35 allows for given way markings. Accordingly, automated guidance may also be achieved via sensor systems, in particular in the form of at least one camera, which, for example, serves as docking camera for the docking stations 2 and the trolley (s) 7 detected according to their associated markings in their position, so that via the arithmetic unit an automated guidance based on expiration requirements is possible.
In den Figuren ist teilweise in Zuordnung zum Transportwagen 7 eine Ventilanordnung 65 gezeigt, die bei zur jeweiligen Andockstation 2 angedocktem Transportwagen 7 im Übergang zwischen diesem und der Andockstation 2 liegt. Aus den 3 und 5 ist ersichtlich, dass diese Ventilanordnung 65, die in erfindungsgemäßer Weise mit der Hubeinrichtung 66 zu einer Baueinheit 67 zusammengefasst ist, an einer jeweiligen Andockstation 2 lagefest fixiert ist. Insoweit bildet diese Baueinheit 67 ein Zubehör in der Ausrüstung zu Andockstationen 2 und es wird davon Gebrauch gemacht, dass bezüglich der Anordnung der Ventilanordnung 65 zu Andockstationen 2 standardisierte Vorgaben bestehen. Die lagefeste Verbindung der Ventilanordnung 65 zu einer jeweiligen Andockstation 2 ist über schematisiert dargestellte Befestigungsanschlüsse 68 veranschaulicht.In the figures is partially in association with the trolley 7 a valve assembly 65 shown at the respective docking station 2 docked dolly 7 in the transition between this and the docking station 2 lies. From the 3 and 5 it can be seen that this valve arrangement 65 in accordance with the invention with the lifting device 66 to a unit 67 is summarized, at a respective docking station 2 fixed in position. In that regard, this unit forms 67 an accessory in the equipment to docking stations 2 and it is made use of that with respect to the arrangement of the valve assembly 65 to docking stations 2 standardized specifications exist. The position-fixed connection of the valve assembly 65 to a respective docking station 2 is via schematically illustrated mounting connections 68 illustrated.
Der innere Aufbau der Ventilanordnung 65 ist nicht veranschaulicht und ebenso wenig deren Ausbildung im Hinblick auf die Abnahme der Verschlussplatte 24 von der jeweiligen Übergabeöffnung 18 der Transferkammer 3, die im Ausführungsbeispiel allseitig mit Übergabeöffnungen 18 versehen ist und auch allseitig mit einer jeweiligen Andockstation 2 zu verbinden ist, so dass auch aus dieser Sicht eine hohe Flexibilität im Einsatz des Transportwagens 7 gegeben ist, zumal bei übergangslos allseitiger Verfahrbarkeit auch in zueinander rechtwinklig verlaufenden Fahrtrichtungen, was auch das Einfahren in schmalste, gerade noch das Einfahren des Transportwagens 7 ermöglichende Gassen gestattet. Zur Ausbildung der Ventilanordnung 65, die hier nur schematisch angedeutet ist, wird auch Bezug genommen auf die DE 10 2005 040 741 B4 , die insbesondere in 2 eine diesbezügliche Möglichkeit veranschaulicht. Die Verschlussplatte 24 wird hier bei Freigabe des Übergabeweges durch die Ventilanordnung 65 mit einem die entsprechende Übergabeöffnung 18 der Ventilanordnung 65 verschließenden Deckelelement verbunden und zusammen mit diesem Deckelelement aus dem jeweiligen Übergabeweg entfernt.The internal structure of the valve assembly 65 is not illustrated and neither is their training with regard to the decrease of the closure plate 24 from the respective transfer opening 18 the transfer chamber 3 , in the exemplary embodiment on all sides with transfer openings 18 is provided and also on all sides with a respective docking station 2 To connect, so that from this point of view, a high flexibility in the use of the trolley 7 is given, especially with seamless all-round mobility even in mutually perpendicular directions, which is also the retraction in narrowest, just the retraction of the trolley 7 permitting lanes allowed. For the formation of the valve assembly 65 , which is only schematically indicated here, reference is also made to the DE 10 2005 040 741 B4 especially in 2 a possible way illustrated. The closure plate 24 is here upon release of the transfer path through the valve assembly 65 with a the corresponding transfer opening 18 the valve assembly 65 closing lid member connected and removed together with this cover element from the respective transfer path.
Um den Transportwagen 7 mit der jeweiligen Übergabeöffnung 18 seiner Transferkammer 3 auf eine zur Ventilanordnung 65 der jeweiligen Andockstation 2 entsprechende Höhenlage zu bringen, also eine durchlaufende Übergabeebene von der Transferkammer 3 zur Andockstation 2 zu schaffen, wird der Transportwagen 7 über die Hubeinrichtung 66 aus seiner zur durch den Schleppwagen 99 gebildeten Antriebsanordnung 35 gegebenen Kupplungslage herausgehoben, was beispielsweise in den 8 und 9 veranschaulicht ist. Die Hubeinrichtung 66 weist stirnseitig zum Gehäuse 69 der Ventilanordnung 65 in Hubrichtung verschiebbar geführt einen Hubrahmen 70 mit seitlich liegenden Hubarmen 71 auf, an denen parallel verlaufende Führungsstangen 72 angebracht sind. Diese Führungsstangen 72 laufen in Führungsbuchsen 73, welche stirnseitig seitlich am Gehäuse 69 angebracht sind. Am vom Gehäuse 69 abgelegenen, unteren Ende ist der Hubrahmen 70 über eine die Hubarme 71 verbindende Tragstange 74 geschlossen, an der längsmittig ein nach unten ausgekröpfter Tragwinkel 75 vorgesehen ist, an welchem ein Hubzylinder 76 über seine Kolbenstange 77 angelenkt ist. Abgestützt ist der Hubzylinder 76 an seinem oberen Ende gegen das Ventilgehäuse 69.To the dolly 7 with the respective transfer opening 18 his transfer chamber 3 on one to the valve assembly 65 the respective docking station 2 bring appropriate altitude, so a continuous transfer level of the transfer chamber 3 to the docking station 2 to create, the dolly 7 over the lifting device 66 from his to by the tow truck 99 formed drive assembly 35 lifted out given coupling position, which for example in the 8th and 9 is illustrated. The lifting device 66 has frontal to the housing 69 the valve assembly 65 slidably guided in the stroke direction a lifting frame 70 with lateral lifting arms 71 on which parallel guide rods 72 are attached. These guide rods 72 run in guide bushes 73 , which front side of the housing 69 are attached. Am from the housing 69 remote, lower end is the lifting frame 70 via one of the lifting arms 71 connecting support rod 74 closed, at the center of a downwardly cranked support angle 75 is provided, on which a lifting cylinder 76 over his piston rod 77 is articulated. Supported is the lifting cylinder 76 at its upper end against the valve body 69 ,
Die Hubarme 71 weisen bevorzugt Flachquerschnitt auf und sind an ihrer der Andockebene 78 für die Transferkammer 3 zugewandten Schmalseite mit über die Andockebene 78 auskragenden Traghaken 79, 80 versehen, denen – siehe 2 – seitens des den Transferraum 12 umschließenden Gehäuses 17 seitlich im Übergang zwischen den Übergabeöffnungen 18 und den in den Eckbereichen vorgesehenen Tragsäulen 10 zu untergreifende Tragbolzen 81, 82 zugeordnet sind. Die Tragbolzen 81, 82 liegen jeweils in gegen die Andockebene 78 offenen Tragschlitzen 83, wobei die Breite der in Einführrichtung auf die Tragschlitze 83 sich endseitig verjüngenden Traghaken 79, 80 nahezu der Breite der Tragschlitze 83 entspricht. Die Traghaken 79, 80 nehmen die Tragbolzen 81, 82 mit einem gewissen Spiel auf und sind bezüglich ihrer Tragöffnungen 84 bevorzugt in Richtung auf die Hubarme 71 hinterschnitten ausgebildet, so dass bei in den Traghaken 79, 80 liegenden Tragbolzen 81, 82 diese in dem hinterschnittenen Bereich liegen, wenn das Gehäuse 17 der Transferkammer 3 an das Gehäuse 69 der Ventilanordnung 65 dichtend angedockt ist.The lifting arms 71 preferably have flat cross-section and are at their docking level 78 for the transfer chamber 3 facing narrow side with over the docking level 78 cantilevered carrying hook 79 . 80 provided - see 2 - on the part of the transfer room 12 enclosing housing 17 laterally in the transition between the transfer openings 18 and the support columns provided in the corner areas 10 under-bearing support bolts 81 . 82 assigned. The carrying bolts 81 . 82 lie respectively in against the docking level 78 open carrying slots 83 , wherein the width of the insertion in the slots 83 end tapered carrying hook 79 . 80 almost the width of the carrying slots 83 equivalent. The carrying hooks 79 . 80 take the carrying bolts 81 . 82 with a certain play on and are relative to their carrying openings 84 preferably in the direction of the lifting arms 71 formed undercut, so that in the suspension hook 79 . 80 lying support pin 81 . 82 these lie in the undercut area when the housing 17 the transfer chamber 3 to the housing 69 the valve assembly 65 is tightly docked.
Diese dichtende Anlage ergibt sich, wenn die Transferkammer 3 über die Hubeinrichtung 66 zunächst berührungsfrei zur Ventilanordnung 65 auf die Übergabeposition angehoben ist und in dieser Übergabeposition an die Ventilanordnung 65 herangezogen wird, so dass sich reibungsfrei ein abgedichteter Übergang in der Andockebene 78 ergibt. Erreicht wird diese Querbewegung über am Gehäuse 69 der Ventilanordnung 65 unterseitig und bevorzugt beiderseits des Hubzylinders 76 liegende Stellzylinder 85, 86, die (12) eine Anschlussleiste 87 tragen, welche über die Stellzylinder 85, 86 quer zur Andockebene 78 verstellbar ist und nach unten offene Fangöffnungen 88, 89 aufweist, denen seitlich des Gehäuses 17 der Transferkammer 3 über die Andockebene 78 auskragende pilzförmige Haltestifte 90, 91 zugeordnet sind. Bei entsprechenden Versorgungsanschlüssen zur Ventilanordnung 65 können über diese auch die jeweils angeschlossenen Elemente, so insbesondere auch die Transferkammern 3, den geforderten Sonderbedingungen entsprechend klimatisiert werden.This sealing abutment arises when the transfer chamber 3 over the lifting device 66 initially contactless to the valve assembly 65 is raised to the transfer position and in this transfer position to the valve assembly 65 is used, so that a smooth transition in the docking level 78 results. This transverse movement is achieved via the housing 69 the valve assembly 65 on the underside and preferably on both sides of the lifting cylinder 76 lying actuating cylinder 85 . 86 , the ( 12 ) a terminal block 87 wear, which via the actuating cylinder 85 . 86 across the docking level 78 is adjustable and downwardly open Fangöffnungen 88 . 89 having, which laterally of the housing 17 the transfer chamber 3 over the docking level 78 cantilever mushroom-shaped retaining pins 90 . 91 assigned. For appropriate supply connections to the valve assembly 65 can this also the respective connected elements, so in particular, the transfer chambers 3 , be conditioned according to the required special conditions.
Wird der Hubrahmen 70 angehoben und untergreift dabei mit seinen Traghaken 79, 80 die Tragbolzen 81, 82, so wird die Transferkammer 3 mit dem Transportwagen 7 zunächst auf die gemeinsame Übergabeebene angehoben, wobei die am Gehäuse 17 vorgesehenen Haltestifte 90, 91 zum Eingriff in die Fangöffnungen 88, 89 der Anschlussleiste 87 kommen. Dann wird über die Stellzylinder 85, 86 die Transferkammer 3 gegen die Ventilanordnung 65 herangezogen. Durch den Übergriff der hinterschnitten ausgebildeten Tragöffnungen 84 der Traghaken 79, 80 zu den Tragbolzen 81, 82 werden dabei auch die Tragbolzen 81, 82 in ihrer Höhenlage zu den Traghaken 79, 80 festgelegt.Will the lifting frame 70 lifted and engages with his carrying hooks 79 . 80 the carrying bolts 81 . 82 , so will the transfer chamber 3 with the trolley 7 initially raised to the common transfer level, taking the case 17 provided retaining pins 90 . 91 for engagement in the catch openings 88 . 89 the terminal block 87 come. Then it is about the actuating cylinder 85 . 86 the transfer chamber 3 against the valve assembly 65 used. By the encroachment of the undercut formed openings 84 the carrying hook 79 . 80 to the carrying bolts 81 . 82 are also the bearing bolts 81 . 82 in their altitude to the carrying hook 79 . 80 established.
Bevorzugt trägt die Anschlussleiste 87 auch eines der symbolisch dargestellten Kontaktelemente 92 einer elektrischen Anschlussverbindung, so dass verbunden mit dem Andockvorgang eine Leitungsverbindung für die elektrische Energieversorgung und gegebenenfalls auch zur Signalübertragung zwischen dem Transportwagen 7 und der jeweiligen Andockstation 2 hergestellt ist.Preferably carries the terminal block 87 also one of the symbolically represented contact elements 92 an electrical connection connection, so that connected to the docking a line connection for the electrical power supply and possibly also for signal transmission between the trolley 7 and the respective docking station 2 is made.
Vor allem die 4, 5, 7 bis 9 und 16 veranschaulichen, dass die Verbindung zwischen dem omnidirektionalen Schleppwagen 99 als Antriebsanordnung 35 durch Unterfahren zum Schleppwagen 99 und nachträgliches Ankuppeln sowohl bei lagefest abgestelltem Schleppwagen 99 wie auch bei über die Hubeinrichtung 66 zunächst ausgehobenem Schleppwagen 99 möglich ist.Especially the 4 . 5 . 7 to 9 and 16 illustrate that the connection between the omnidirectional tow truck 99 as a drive arrangement 35 by going under to the tow truck 99 and subsequent coupling both in positionally parked tow truck 99 as well as on the lifting device 66 initially excavated tow truck 99 is possible.
Bei über den Schleppwagen 99 als Antriebsanordnung 35 untergriffener Transferkammer 7 ist diese zunächst im Wesentlichen über die Fahrwerksräder 25 getragen, und es übernimmt der Schleppwagen 99 allenfalls eine Teillast, insbesondere einen sehr geringen Lastanteil, so dass ein wesentlicher Lastanteil über die Federbeine 27 auch dann noch zu tragen ist, wenn die Transferkammer 3 über die Hubeinrichtung 66 mit der Ventilanordnung 65 und über diese mit der jeweiligen Andockstation 2 verbunden ist. Die Hubeinrichtung 66 wird in ihrer Hubarbeit somit über die über die Federbeine 27 erfolgende Federabstützung zur Fahrbahnebene 8 unterstützt, wobei die Federbeine 27 bevorzugt sehr flach verlaufende Feder-Kennlinien aufweisen. So ergibt sich über den ganzen Hubweg eine wirksame Unterstützung, die zur Stabilität der jeweiligen Gesamtanordnung, bestehend aus Andockstation 2, Ventilanordnung 65, Transferkammer 3 und Transportwagen 7 bei insgesamt leichter Bauweise wesentlich beiträgt.At about the tow truck 99 as a drive arrangement 35 Underrun transfer chamber 7 This is initially essentially about the suspension wheels 25 worn, and it takes over the tow truck 99 at most a part load, in particular a very small proportion of load, so that a substantial proportion of load on the struts 27 even then is still to wear when the transfer chamber 3 over the lifting device 66 with the valve assembly 65 and about this with the respective docking station 2 connected is. The lifting device 66 is in their lifting thus on the over the struts 27 taking spring support to the road level 8th supported, with the struts 27 preferably have very flat extending spring characteristics. This results in an effective support over the entire stroke, which contributes to the stability of the respective overall arrangement, consisting of docking station 2 , Valve assembly 65 , Transfer chamber 3 and dolly 7 significantly contributes to overall lightweight construction.
Anhand der 19 bis 21 wird eine weitere Variante einer Antriebsanordnung 93 mit omnidirektionalen Radantrieben 94 erläutert, die sich insoweit von den anhand der vorhergehenden Figuren erläuterten Lösungen unterscheidet, dass die Antriebsanordnung 93 nicht, wie die Antriebsanordnung 35, mit einem eigenständigen omnidirektionalen Schleppwagen 99 arbeitet, sondern mit einzelnen omnidirektionalen Radantrieben 94, umfassend jeweils ein Omnirad 95 mit zugehörigem Antriebsmotor 96. Der jeweilige Radantrieb 94 ist über einen Tragarm 97 zur Transferkammer 3 lagefest festgelegt, wobei Radantriebe 94 jeder der Ecken der im Querschnitt rechteckförmigen Transferkammer 3 zugeordnet sind und zu dieser durch lagefeste Verbindung der Tragarme 97 zu den Tragsäulen 10 festgelegt sind. Die Positionierung der Radantriebe 94 zueinander, auch in ihrer Winkellage, entspricht der anhand der 15 erläuterten, wobei die separate Anordnung der Radantriebe 94 in zweckmäßiger Weise zu einer benachbarten Lage der Omniräder 95 zu den Fahrwerksrädern 25 führt. Bezüglich der sonstigen Funktionen, auch bezüglich der möglichen Lastaufteilung in der Abstützung gegen die Fahrebene 8 sind die Verhältnisse bei dieser Lösung im Wesentlichen jenen entsprechend, die anhand der vorhergehenden Figuren erläutert wurden, weswegen auf die diesbezüglichen Ausführungen verwiesen wird. Dies gilt auch bezüglich der Verteilung der Traglasten auf die Federbeine 27 und die Antriebsanordnung 93, wobei bei dieser Lösung allerdings der Mindestabstand zur Fahrebene 8 durch die Anschlagbunde 101 an den Federbeinen 27 bestimmt ist und damit auch der im Extremfall auf die Omniräder 95 wirkende Lastanteil. Die Fixierung der Abstelllage an einem jeweiligen Standplatz kann bei dieser Lösung beispielsweise über die Antriebsblockierung der Omniräder 95 erfolgen.Based on 19 to 21 is another variant of a drive assembly 93 with omnidirectional wheel drives 94 explained, which differs in this respect from the solutions explained with reference to the preceding figures that the drive assembly 93 not like the drive arrangement 35 , with its own omnidirectional tow truck 99 works, but with individual omnidirectional wheel drives 94 , each comprising an omnirad 95 with associated drive motor 96 , The respective wheel drive 94 is about a support arm 97 to the transfer chamber 3 fixed position, wherein wheel drives 94 each of the corners of the rectangular cross-section transfer chamber 3 are assigned and to this by positionally stable connection of the support arms 97 to the support columns 10 are fixed. The positioning of the wheel drives 94 to each other, even in their angular position, corresponds to the basis of 15 explained, with the separate arrangement of the wheel drives 94 in an expedient manner to an adjacent position of the omnidirectional 95 to the landing gear wheels 25 leads. Regarding the other functions, also regarding the possible load distribution in the support against the driving level 8th the conditions in this solution are substantially the same as those explained with reference to the preceding figures, for which reason reference is made to the relevant explanations. This also applies to the distribution of the load on the struts 27 and the drive assembly 93 However, in this solution, however, the minimum distance to the driving level 8th through the stop collars 101 on the struts 27 is determined and thus also in the extreme case on the omnidirectional 95 acting load proportion. The fixation of the Abstelllage to a respective stand can in this solution, for example on the drive blocking the omnidirectional 95 respectively.
In allen Ausführungsformen ist jeweils ein Rechteckquerschnitt für die Transferkammer 3 wie auch eine Abstützung der Transferkammer 3 über deren Ecken zugeordnete Fahrwerksräder 25 vorgesehen. Im Rahmen der Erfindung liegen auch anderweitige Querschnittsformen für die Transferkammer 3, so insbesondere eine fünf- oder sechseckige Querschnittsform mit den jeweiligen Flachseiten zugeordneten Übergabeöffnungen 18. Auch bezüglich der Zahl der Fahrwerksräder 25 und deren Anordnung sind im Rahmen der Erfindung liegende Abweichungen möglich, so können beispielsweise auch lediglich drei Fahrwerksräder 25 in entsprechend dreieckförmiger Anordnung zur Transferkammer 3 vorgesehen werden. Vergleichbares gilt bezüglich der Ausbildung des Omniantriebs, der nicht an vier Omniräder gebunden ist, sondern beispielsweise auch in allen Ausgestaltungen mit nur drei Antriebsrädern erfindungsgemäß eingesetzt werden kann.In all embodiments, in each case a rectangular cross-section for the transfer chamber 3 as well as a support of the transfer chamber 3 Chassis wheels assigned via their corners 25 intended. In the context of the invention are also other cross-sectional shapes for the transfer chamber 3 , so in particular a five- or hexagonal cross-sectional shape with the respective flat sides associated transfer openings 18 , Also regarding the number of suspension wheels 25 and their arrangement are possible within the scope of the invention deviations, so for example, only three suspension wheels 25 in a corresponding triangular arrangement to the transfer chamber 3 be provided. The same applies with regard to the design of the Omniantriebs, which is not tied to four omnidirectional, but for example in all embodiments with only three drive wheels can be used according to the invention.
