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Die
Erfindung betrifft einen Messwandler vom Vibrationstyp zum Messen
eines Massendurchflusses eines strömenden Mediums.
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Zur
Ermittlung des Massendurchflusses eines in einer Rohrleitung strömenden
Mediums, beispielsweise einer Flüssigkeit und/oder eines
Gases, werden oftmals insbesondere als Coriolis-Massendurchflussmesser
ausgebildete Messgeräte verwendet, die mittels eines Messwandlers
vom Vibrationstyp und einer daran angeschlossenen Betriebs- und Auswerteelektronik
im strömenden Medium Corioliskräfte induzieren
und von diesen abgeleitet ein Messsignal erzeugen. Derartige Messgeräte
mit einem Messwandler vom Vibrationstyp sind seit langem bekannt
und haben sich gleichermaßen im industriellen Einsatz etabliert.
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Aus
dem Stand der Technik sind verschiedene Realisierungen von Coriolis-Massendurchflussmessern
mit jeweils einem Messwandler vom Vibrationstyp bekannt, wobei der
Messwandler im Wesentlichen ein gerades, im Betrieb vibrierendes
Messrohr zum Führen des Mediums umfasst, und wobei das Messrohr über
ein einlassseitig einmündendes Einlassrohrstück
und über ein auslassseitig einmündendes Auslassrohrstück
mit der Rohrleitung kommuniziert. Ferner weisen derartige Realisierungen
vielfach eine Erregeranordnung auf, die das Messrohr im Betrieb
mittels wenigstens eines darauf einwirkenden elektromechanischen,
insbesondere elektro-dynamischen, Schwingungserregers zu Biegeschwingungen anregt,
und eine Sensoranordnung auf, welche mit insbesondere elektro-dynamischen
Schwingungssensoren zum zumindest punktuellen Erfassen einlassseitiger
und auslassseitiger Schwingungen des Messrohrs und zum Erzeugen
von vom Massendurchfluss beeinflussten elektrischen Sensorsignalen
vorgesehen ist.
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Gerade
Messrohre bewirken im hindurchströmenden Medium Corioliskräfte,
wenn sie zu Biegeschwingungen gemäß einer ersten
Eigenschwingungsform, dem sogenannten Antriebs- oder auch Nutz-Mode,
angeregt werden. Die Corioliskräfte führen wiederum
dazu, dass den angeregten Biegeschwingungen koplanare Biegeschwingungen
gemäß einer zweiten Eigenschwingungsform von höherer
und/oder niederer Ordnung, dem sogenannten Coriolis-Mode, überlagert
werden und dementsprechend die mittels der Sensoranordnung einlassseitig und
auslassseitig erfassten Schwingungen eine auch vom Massendurchfluss
abhängige, messbare Phasendifferenz aufweisen.
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Üblicherweise
werden die Messrohre derartiger, besonders im Coriolis-Massendurch-flussmessern
eingesetzten, Messwandler im Nutzmode auf einer momentanen Resonanzfrequenz
der ersten Eigenschwingungsformen, insbesondere bei konstant geregelter
Schwingungsamplitude, angeregt. Da diese Resonanzfrequenz insbesondere
auch von der momentanen Dichte des Mediums abhängig ist,
kann mittels marktüblicher Coriolis-Massendurch-flussmesser
neben dem Massendurchfluss zumindest auch die Dichte von strömenden
Medien direkt gemessen werden.
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Um
ein mechanisch ausbalanciertes System zu erhalten, werden vielfach
zwei parallele Messrohre vorgesehen, die zu gegenphasigen Schwingungen angeregt
werden. Derartige Messwandler vom Vibrationstyp mit zwei parallel
angeordneten Messrohren sind beispielsweise aus der
US 4 768 385 oder der
DE 34 43 234 A1 bekannt.
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Die
aus dem Stand der Technik bekannten Messwandler vom Vibrationstyp
weisen oftmals einen minimalen Durchmesser der Rohrleitung von 1 mm
auf, wenn sehr geringe Durchflüsse gemessen werden sollen.
In vielen Anwendungsbereichen, wie beispielsweise der Biotechnologie,
der Chemie oder der Medizintechnik, ist es jedoch vielfach notwendig, einen
noch geringerer Massendurchfluss zu messen, der demzufolge auch
einen noch geringeren Durchmesser einer Rohrleitung von deutlich
weniger als 1 mm benötigt, um ein Signal mit einem akzeptablem Signal-Rausch-Verhältnis
zu erzielen.
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Insofern
ist es die Aufgabe der Erfindung, einen Messwandler vom Vibrationstyp
anzugeben, mit dem ein sehr geringer Massendurchfluss zuverlässig messbar
ist.
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Die
Aufgabe der Erfindung wird durch einen Messwandler vom Vibrationstyp
zum Messen eines Massendurchflusses eines strömenden Mediums
dadurch gelöst, dass zwei gerade Messrohren zum Führen
des Mediums vorgesehen sind, wobei die Messrohre parallel zueinander
angeordnet sind und der Messwandler in mikromechanischer Bauweise ausgeführt
ist.
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Erfindungsgemäß ist
damit ein Messwandler vom Vibrationstyp zum Messen eines Massedurchflusses
eines strömenden Mediums, wie beispielsweise einer Flüssigkeit
oder eines Gases, vorgesehen, der eine zuverlässige Messung
eines sehr geringen Massendurchflusses erlaubt. So kann der erfindungsgemäße
Messwandler vom Vibrationstyp aufgrund der mikromechanischen Bauweise
ein freies Lumen der beiden Messrohre im Bereich einiger μm2 aufweisen. Vorzugsweise ist der erfindungsgemäße Messwandler
vom Vibrationstyp in einem Mikro-Elektro-Mechanical-System(MEMS)-Herstellungsverfahren,
wie beispielsweise PolyMUMPS oder Microbuilder, auf einem Siliziumsubstrat
oder einem Glassubstrat herstellbar.
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Gemäß einer
bevorzugten Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass die
Messrohre an ihren jeweiligen einen Enden und an ihren jeweiligen anderen
Enden in einem Kupplungsstück zusammengeführt
und mit einer Rohrleitung verbunden sind. Während des zuvor
erwähnten bevorzugten MEMS-Herstellungsverfahrens, bei
dem der Messwandler vom Vibrationstyp mittels eines Wafer-Bonding-Verfahrens
herstellbar ist, können die Kupplungsstücke in
den Wafer geätzt werden oder mittels anodischem Bonding
hergestellt werden.
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Gemäß einer
weiteren bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen,
dass die Messrohre an den beiden Kupplungsstücken schwingbar
gelagert sind. Dabei kann die Federkonstante des schwingbaren Messrohrs
durch den Querschnitt des Messrohrs beeinflusst werden. Das bedeutet
insbesondere, dass durch eine Vergrößerung des
Querschnitts des Messrohrs die Federkonstante des schwingbaren Messrohrs
erhöht wird.
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Gemäß einer
alternativen bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen,
dass das Kupplungsstück als Reservoir ausgeführt
ist. Ganz besonders bevorzugt ist das Kupplungsstück sowohl an
dem einen Ende der Messrohre als auch an dem anderen Ende der Messrohre
jeweils als Reservoir ausgeführt. Eine Ausführung
des Kupplungsstücks als Reservoir ist insbesondere vorteilhaft,
da eine thermische Ausdehnung, insbesondere aufgrund eines Temperaturgradienten
in dem Messwandler, reduziert werden kann, um eine durch die thermische Ausdehnung
hervorgerufene Spannung in den Messrohren zu verringern.
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Gemäß einer
weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist
ein Schwingungserreger vorgesehen, wobei der Schwingungserreger
mittig an dem Messrohr angeordnet und derart ausgeführt ist,
dass das Messrohr in laterale Schwingungen versetzbar ist. Ganz
besonders bevorzugt sind zwei Schwingungserreger vorgesehen, wobei
der erste Schwingungserreger derart mittig an dem ersten Messrohr
angeordnet ist und der zweite Schwingungserreger derart mittig an
dem zweiten Messrohr angeordnet ist, dass der erste Schwingungserreger an
der einen Seite der Messrohre angeordnet ist und der zweite Schwingungserreger
an der anderen Seite der Messrohre angeordnet ist, wobei die beiden Schwingungserreger
und die beiden Messrohre in einer Ebene angeordnet sind. Weiterhin
ist es bevorzugt, dass die lateralen Schwingungen des ersten Messrohres,
welches durch den ersten Schwingungserreger in Schwingungen versetzbar
ist, gegenphasig zu den lateralen Schwingungen des zweiten Messrohres
sind, welches durch den zweiten Schwingungserreger in Schwingungen
versetzbar ist.
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Weiterhin
ist es gemäß einer alternativen Ausgestaltung
der Erfindung vorgesehen, den Schwingungserreger als einen elektrostatischen Kammantrieb
auszuführen. Die Amplitude der lateralen Schwingungen lässt
sich einerseits durch Erhöhung der Anzahl der Zinken des
Kammantriebs oder durch Erhöhung der an dem elektrostatischen Kammantrieb
angelegten Spannung erhöhen. Um eine optimale Leistungseffizienz
des Messwandler und eine maximale laterale Schwingungsauslenkung der
Messrohre zu erreichen, wird vorzugsweise eine sinusförmige
Spannung an die Schwingungserreger angelegt, so dass die Messrohre
zum einen in ihrer Resonanzfrequenz schwingen und zum anderen gegenphasig
schwingen, um ein ausbalanciertes System zu erhalten. Darüber
hinaus kann der Schwingungserreger auch als piezoelektrischer Antrieb
ausgestaltet sein.
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Gemäß einer
anderen Ausgestaltung der Erfindung ist es bevorzugt, eine an beiden
Messrohren befestigte und diese verbindende Verbindungseinrichtung
zur Festlegung der schwingungsfähigen Länge der
Messrohre vorzusehen und die Verbindungseinrichtung in einem Endbereich
der Messrohre anzuordnen. Ganz besonders ist es bevorzugt, eine
erste Verbindungseinrichtung in einem Endbereich der Messrohre anzuordnen
und eine zweite Verbindungseinrichtung in einem anderen Endbereich
der Messrohre anzuordnen.
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Weiterhin
kann vorgesehen sein, dass eine Dämpfungseinrichtung zur
Beeinflussung der Steifigkeit des Messrohrs vorgesehen ist. Eine
derartige Dämpfungseinrichtung ist ferner vorteilhaft während eines
Transportes des Messwandlers, als dadurch ein möglicher
Schaden an den Messrohren vermieden werden kann. Bevorzugt ist eine
erste Dämpfungseinrichtung derart mit einem ersten Messrohr verbunden
und eine zweite Dämpfungseinrichtung derart mit einem zweiten
Messrohr verbunden, dass die beiden Messrohre, die erste Dämpfungseinrichtung
und die zweite Dämpfungseinrichtung in einer Ebene angeordnet
sind, wobei die Messrohre zwischen der ersten Dämpfungseinrichtung
und der zweiten Dämpfungseinrichtung angeordnet sind.
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Gemäß einer
weiteren Ausgestaltung der Erfindung kann auch vorgesehen sein,
dass die Dämpfungseinrichtung derart im mittleren Bereich
des Messrohrs vorgesehen ist, dass ein erster Teil der Dämpfungseinrichtung
an der einen Seite des Schwingungserregers an dem Messrohr angeordnet ist
und ein zweiter Teil der Dämpfungseinrichtung an der anderen
Seite des Schwingungserregers an dem Messrohr angeordnet ist. Mit
anderen Worten ist eine Dämpfungseinrichtung vorgesehen,
die vorzugsweise mittig an dem Messrohr angeordnet ist, wobei ein erster
Teil der Dämpfungseinrichtung und ein zweiter Teil der
Dämpfungseinrichtung symmetrisch um den ebenso vorzugsweise
mittig an dem Messrohr angeordneten Schwingungserreger angeordnet
sind. Weiterhin ist bevorzugt, dass der erste Teil der Dämpfungseinrichtung,
der zweite Teil der Dämpfungseinrichtung, das Messrohr
und der Schwingungserreger in einer Ebene angeordnet sind.
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Grundsätzlich
kann die Dämpfungseinrichtung, welche vorzugsweise als
ein erster Teil der Dämpfungseinrichtung und als ein zweiter
Teil der Dämpfungseinrichtung ausgeführt ist,
beliebig ausgeführt sein. Gemäß einer
bevorzugten Weiterbildung der Erfindung ist jedoch vorgesehen, dass
der erste Teil der Dämpfungseinrichtung und der zweite Teil
der Dämpfungseinrichtung jeweils zwei voneinander beabstandete
parallele Platten umfassen, wobei die Platten an einem einen Ende
derart mit dem Messrohr verbunden sind, dass die Platten parallel zu
dem Messrohr angeordnet sind, und wobei die Platten an einem anderen
Ende mit einem zu dem Messrohr schwingfest angeordneten Bereich
verbunden sind. Anders ausgedrückt sind der erste Teil
der Dämpfungseinrichtung und der zweite Teil der Dämpfungseinrichtung
vorzugsweise als zwei voneinander beabstandete parallele Blattfedern
ausgebildet, wobei die Blattfedern an dem einen Ende mit dem Messrohr
derart verbunden sind, dass die Blattfedern parallel zu dem Messrohr
angeordnet sind, und die Blattfedern an dem anderen Ende mit einem
zu dem Messrohr schwingfest angeordneten Bereich, beispielsweise
dem Siliziumsubstrat, verbunden sind. Somit können durch
die Federkonstante der Blattfedern die Steifigkeit der Messrohre,
welche schwingfähig angeordnet sind und durch den Schwingungserreger
in laterale Schwingungen versetzbar sind, variiert werden.
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Grundsätzlich
kann ein beliebig ausgeführter Schwingungsaufnehmer vorgesehen
sein. Gemäß einer besonders bevorzugten Ausbildung
der Erfindung ist jedoch vorgesehen, dass wenigstens ein Schwingungsaufnehmer
vorgesehen ist, der als eine Kammstruktur mit einem kapazitiven
Sensor ausgeführt ist.
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Weiterhin
sind gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform
der Erfindung ein erster Schwingungsaufnehmer und ein zweiter Schwingungsaufnehmer
vorgesehen, wobei der erste Schwingungsaufnehmer vorzugsweise in
einem mittleren Bereich zwischen dem einen Ende des Messrohrs und
dem Schwingungserreger angeordnet ist, und der zweite Schwingungsaufnehmer
zwischen dem Schwingungserreger und dem anderen Ende des Messrohrs
an dem Messrohr angeordnet ist. Weiterhin kann zur Verbesserung
des Signal-Rausch-Verhältnisses der kapazitiven Sensoren die
Anzahl der Zinken der Kammstruktur des Schwingungsaufnehmers erhöht
werden. Eine Verbesserung des Signal-Rausch-Verhältnisses
kann ferner durch eine Vergrößerung der Länge
des Messrohrs erreicht werden, um damit auch die Entfernung zwischen
dem ersten Schwingungsaufnehmer und dem zweiten Schwingungsaufnehmer
zu vergrößern.
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Gemäß einer
weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist bevorzugt, dass eine Vertiefung
unterhalb des Messrohrs zu einer lateralen Führung des
Messrohrs vorgesehen ist. Ganz besonders bevorzugt ist die Vertiefung
unterhalb des Messrohrs im mittleren Bereich des Messrohrs vorgesehen.
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Gemäß einer
weiteren bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen,
dass der Messwandler in PolyMUMPS-Technik hergestellt ist. Ganz
besonders bevorzugt ist eine Strukturschicht des Messrohrs aus Poly1
ausgeführt, wobei auf der Poly1-Schicht zwei Poly1-Poly2
Via-Schichten vorgesehen sind, welche die Seitenwände des
Messrohrs ausbilden. Eine Poly2-Schicht bildet vorzugsweise die
Decke des Messrohrs, wobei eine Oxid-2 Schicht vorgesehen ist, welche
durch einen Ätzschritt entfernt wird, um den Kanal des
Messrohrs zu bilden.
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Nachfolgend
wird die Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen im Einzelnen
erläutert.
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In
der Zeichnung zeigen
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1 einen
Messwandler vom Vibrationstyp gemäß einem bevorzugten
Ausführungsbeispiel der Erfindung in einer perspektivischen
Draufsicht, und
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2 zwei
Messrohre gemäß dem bevorzugten Ausführungsbeispiel
der Erfindung in einer Schnittansicht.
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Wie
aus 1 ersichtlich, weist der Messwandler vom Vibrationstyp 1 gemäß dem
bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung zwei gerade Messrohre 2,
zwei Schwingungserreger 3 sowie vier Schwingungsaufnehmer 4 auf.
Der Messwandler vom Vibrationstyp 1 ist in PolyMUMPS-Technik
hergestellt, wobei die Länge des Messrohrs 2 660 μm beträgt.
Die beiden Messrohre 2 sind an ihren jeweiligen einen Enden
und an ihren jeweiligen anderen Enden jeweils in einem Kupplungsstück 5 zusammengeführt
und mit einer Rohrleitung, nicht gezeigt, verbunden. Wie aus 1 ferner
ersichtlich, sind die Messrohre 2 an den beiden Kupplungsstücke 5 schwingbar
gelagert.
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Gemäß der
PolyMUMPS-Technik sind die Messrohre 2 in einem Wafer-Bonding-Verfahren
herstellbar, wobei ein anodisches Bonding-Verfahren genutzt wird,
um die Kupplungsstücke 5, also eine Verbindung
der Messrohre 2 mit der Rohrleitung, herzustellen. Die
Eingänge und Ausgänge der Messrohre 2 können
mittels eines Ätzverfahrens realisiert werden. Der Übergang
zu der Rohrleitung kann mittels Pyrex 7740 Glasanschlüssen
realisiert sein, welche mit einem Siliziumsubstrat der Messrohre 2 bei einer
Spannung von 500 V bis 1000 V und einer Temperatur von 260°C
bis 400°C verklebt werden. Ferner sind die Kupplungsstücke 5 als
Reservoir ausgeführt, so dass eine thermische Ausdehnung
der Messrohre 2, insbesondere durch einen Temperaturgradienten in
dem Messwandler vom Vibrationstyp 1, kompensiert werden
kann.
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Im
mittleren Bereich der Messrohre 2 sind zwei Schwingungserreger 3 vorgesehen,
welche als elektrostatische Kammantriebe ausgeführt sind.
Um eine optimale Leistungseffizienz und eine maximale laterale Schwingungsauslenkung
der Messrohre 2 zu erreichen, wird eine sinusförmige
Spannung an die elektrostatischen Kammantriebe angelegt, so dass die
Messrohre 2 zum einen in ihrer Resonanzfrequenz schwingen
und zum anderen gegenphasig schwingen, um ein ausbalanciertes System
zu erhalten. Wie weiterhin aus 1 ersichtlich,
ist ein erster Schwingungserreger 3 auf der einen Seite
der Messrohre 2 und ein zweiter Schwingungserreger 3 auf der
anderen Seite der Messrohre 2 derart angeordnet, dass die
Messrohre 2, der erste Schwingungserreger 3 und
der zweite Schwingungserreger 3 in einer Ebene liegen.
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Weiterhin
ist eine Dämpfungseinrichtung 6 zur Beeinflussung
der Steifigkeit des Messrohrs 2 vorgesehen. Die Dämpfungseinrichtung 6 ist
im mittleren Bereich des Messrohrs 2 angeordnet, wobei
ein erster Teil der Dämpfungseinrichtung 7 an
der einen Seite des Schwingungserregers 3 angeordnet ist
und ein zweiter Teil der Dämpfungseinrichtung 8 an
der anderen Seite des Schwingungserregers 3 angeordnet
ist. Der erste Teil der Dämpfungseinrichtung 7 und
der zweite Teil der Dämpfungseinrichtung 8 umfassen
im Wesentlichen zwei voneinander beabstandete parallele Blattfedern 9,
welche parallel zu dem Messrohr 2 angeordnet sind, so dass
die voneinander beabstandeten parallelen Blattfedern 9 an
einem einen Ende mit dem Messrohr 2 verbunden sind und an
einem anderen Ende mit einem zu dem Messrohr 2 schwingfest
angeordneten Bereich verbunden sind.
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Der
Messwandler vom Vibrationstyp 1 gemäß dem
bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung umfasst ferner
vier Schwingungsaufnehmer 4, welche jeweils als eine Kammstruktur
mit einem kapazitiven Sensor ausgeführt sind. Wie aus 1 ersichtlich,
sind die Schwingungsaufnehmer 4 jeweils in einem mittleren
Bereich zwischen dem Schwingungserreger 3 und dem Ende
der Messrohre 2 angeordnet.
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Schließlich
sind zwei jeweils an beiden Messrohren 2 befestigte und
diese verbindende Verbindungseinrichtungen 10 zur Festlegung
der schwingungsfähigen Länge der Messrohre 2 vorgesehen,
wobei die Verbindungseinrichtungen 10 in einem Endbereich
der Messrohre 2 angeordnet sind.
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In
der zuvor beschriebenen Ausgestaltung der Erfindung wird auf die
jeweils doppelte Ausführung der Schwingungserreger 3 bzw.
der Schwingungsaufnehmer 4 im Bereich des Einlaufs und
des Auslaufs Bezug genommen. Durch die jeweils doppelte Ausführung
weist der Messwandler vom Vibrationstyp zwei Symmetrieebenen auf.
Es versteht sich von selbst, dass auch jeweils ein Schwingungserreger
und jeweils ein Schwingungsaufnehmer im Einlauf und im Auslaufbereich
ausreichen, um den Messwandlers ausreichend sind. Durch die doppelte Ausführung
wird eine Redundanz sowohl im Hinblick auf die Messgenauigkeit als
auch im Hinblick auf eine Sicherstellung des korrekten Funktionierens
des Messwandlers beim Ausfall eines der beiden Schwingungserregers
oder eines der beiden Schwingungsaufnehmer sichergestellt.
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Wie
aus 2 ersichtlich, weist das Messrohr 2 eine
Bodenschicht auf, welche aus einer Poly1 Schicht 11 ausgeführt
ist. Auf der Poly1 Schicht 11 sind zwei Poly1-Poly2 Via-Schichten 12 angeordnet, welche
die Seitenwände des Messrohrs 2 bilden. Der Deckel
des Messrohrs 2 ist durch eine Poly2 Schicht 13 ausgebildet.
Eine Oxid-2 Schicht 14 ist zur Ausformung eines Kanals
des Messrohrs 2 vorgesehen, wobei die Oxid-2 Schicht 14 durch
einen späteren Herstellungsschritt des PolyMUMPS-Herstellungsverfahrens
weggeätzt wird. Die Poly1 Schicht 11, welche die
Bodenschicht des Messrohrs 2 ausbildet, ist 27 μm
breit, 660 μm lang und weist eine Dicke von 2 μm
auf. Die Höhe der Poly1-Poly2 Via-Schicht 12 beträgt
0,75 μm, wie ebenso die Höhe der Oxid-2 Schicht 14.
Die Höhe der Poly2 Schicht 13 beträgt 1,5 μm.
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Um
einen Massendurchfluss eines strömenden Mediums dem Messwandler
vom Vibrationstyp 1 gemäß dem bevorzugten
Ausführungsbeispiel der Erfindung zu messen, werden die
Messrohre 2 mittels der Schwingungserreger 3 durch
Beaufschlagung einer sinusförmigen Spannung in Schwingungen
ihrer Resonanzfrequenz versetzt. Die laterale Verschiebung der Messrohre 2 wird
durch die Messaufnehmer 4 gemessen, wobei der Massendurchfluss
durch Messung einer Phasendifferenz zwischen den sinusförmigen
Spannungen, welche an einem ersten Schwingungsaufnehmer 4 und
einem zweiten Schwingungsaufnehmer 4 gemessen werden, wobei der
erste Schwingungsaufnehmer 4 in einem oberen Bereich des
Messrohrs 2 vorgesehen ist und der zweite Schwingungsaufnehmer 4 in
einem unteren Bereich des Messrohrs 2 vorgesehen ist. Um
die Sensitivität des von den Schwingungsaufnehmern 4 gemessenen
Signals zu erhöhen, kann die Länge des Messrohrs 2 vergrößert
werden, um damit auch den Abstand zwischen dem ersten Schwingungsaufnehmer 4 und
dem zweiten Schwingungsaufnehmer 4 zu vergrößern.
Ferner ist durch eine Vergrößerung der Breite
des Kanals des Messrohrs 2 die Schwingungskonstante der
lateralen Schwingung des Messrohrs 2 erhöhbar.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- - US 4768385 [0006]
- - DE 3443234 A1 [0006]