DE102007046214A1 - Plasma treatment device for microcomponent, has nozzle contact unit in effective connection with plasma jet such that upper part of unit is arranged directly at counter electrode and lower part is formed by container that is opened upwards - Google Patents
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Abstract
Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Plasmabehandlung von insbesondere Kleinstbauteilen mittels Normaldruckplasma.The The invention relates to a device for the plasma treatment of in particular Microcomponents by means of normal pressure plasma.
Eine
derartige Vorrichtung ist aus der noch nicht vorveröffentlichten
deutschen Prioritätsanmeldung
Versucht man jedoch mit der bekannten Vorrichtung zur Erzeugung eines Plasma-Jets komplexe Bauteile mit z. B. Hinterschneidungen oder Aussparungen zu behandeln, so hat sich gezeigt, dass die Oberflächenkonditionierung an den nur schwer zugänglichen Stellen ungenügend ist. Ein ähnliches Problem tritt auf, wenn geometrisch sehr klein strukturierte Bauteile z. B. für die Mikromechanik oder Mikrofluidik behandelt werden sollen. Hier bedarf es zum einen einer sehr präzisen Zuführung der Bauteile unter den Plasmastrahl, was, bedingt durch die Bauteilgröße, nur mit pinzettenartigen Werkzeugen möglich ist und zum anderen stellt sich auch hier das Problem, dass an den Stellen, an denen das Kleinstbauteil gehalten wird, sowie in Hohlräumen oder Hinterschneidungen eine nicht ausreichende Plasmabehandlung stattfindet.Tries However, with the known device for generating a plasma jet complex components with z. B. undercuts or recesses to treat, it has been shown that the surface conditioning inadequate in the hard-to-reach places is. A similar problem occurs when geometric very small structured components z. B. for micromechanics or microfluidics should be treated. Here it is necessary on the one hand a very precise supply of components under the plasma jet, which, due to the size of the component, only with tweezer-like tools is possible and for another is also the problem here that in the places where the microcomponent is held, as well as in cavities or undercuts an insufficient plasma treatment takes place.
Aufgabe der Erfindung ist es demnach, eine Vorrichtung zur Behandlung von Bauteilen mittels eines Plasma-Jets der eingangs genannten Art bereit zu stellen, mit der es problemlos möglich ist, Bauteile mit komplexen Strukturen wie Aussparungen oder Hinterschneidungen einer Plasmabehandlung unterziehen zu können. Weiterhin ist es eine Aufgabe der Erfindung, insbesondere die Behandlung einer beliebig großen Anzahl von Kleinstbauteilen in einem einfach zu gestaltenden, automatisierten Betrieb zu integrieren.task According to the invention, a device for the treatment of Components by means of a plasma jet of the type mentioned above ready to with which it is easily possible to use components complex structures such as recesses or undercuts one Be able to undergo plasma treatment. It continues an object of the invention, in particular the treatment of any large number of microcomponents in one easy to designing, automated operation.
Diese Aufgabe wird durch eine Vorrichtung zur Plasmabehandlung mit den Merkmalen des ersten Patenanspruchs gelöst. Die Unteransprüche betreffen besonders vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung.These Task is by a device for plasma treatment with the Features of the first patent claim solved. The dependent claims relate to particularly advantageous developments of the invention.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung zur Behandlung von Bauteilen mittels eines Plasma-Jets weist dabei eine Düsenkontakteinheit auf, die zweigeteilt ist, derart, dass der eine, obere Teil direkt an der Gegenelektrode eines Plasma-Jets angebracht ist und der andere, untere Teil von einem nach oben hin offenen Behälter für die zu konditionierenden Behandlungsobjekte gebildet wird.The Device according to the invention for the treatment of Components by means of a plasma jet in this case has a nozzle contact unit on, which is split in two, so that the one, upper part directly attached to the counterelectrode of a plasma jet and the other, lower part of an upwardly open container for the treatment objects to be conditioned are formed.
Nach einem weiteren notwendigen Merkmal der Erfindung bilden die beiden Teile der Düsenkontakteinheit, eine gegenüber äußeren atmosphärischen Einflüssen geschützte Behandlungskammer, die eine Behandlung von Bauteilen unter mindestens Atmosphärendruck ermöglicht.To another necessary feature of the invention are the two Parts of the nozzle contact unit, one opposite outer protected from atmospheric influences Treatment chamber, which is a treatment of components under at least atmospheric pressure allows.
Nach einer bevorzugten Ausführung der Erfindung ist im Bereich der Gasaustrittskanäle, die sich im oberen Teil der Düsenkontakteinheit befinden, ein Ventil vorgesehen, das Teil eines Regelkreises ist und sicherstellt, dass im Inneren der Düsenkontakteinheit ein ausreichender Überdruck aufgebaut, aber gleichzeitig ein vorher definierter Differenzdruck relativ zum Umgebungsdruck nicht überschritten wird.To A preferred embodiment of the invention is in the field the gas outlet channels located in the upper part of the nozzle contact unit provided a valve which is part of a control loop and make sure that inside the nozzle contact unit a sufficient pressure built up, but at the same time a pre-defined differential pressure relative to the ambient pressure is not exceeded.
Nach einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung befindet sich nochmals im oberen Teil der Düsenkontakteinheit ein Drucksensor, der ebenso Teil eines Regelkreises ist und mit dem Ventil in Wirkverbindung steht.To a further preferred embodiment of the invention is located again in the upper part of the nozzle contact unit a pressure sensor, which is also part of a control circuit and with the Valve is in operative connection.
Nach einer anderen bevorzugten Ausführungsform ist im oberen Teil der Düsenkontakteinheit im Bereich des Strömungselements ein Kanal vorgesehen, der in die Behandlungskammer reicht und über den ein Trägergas in die Behandlungskammer einleitbar ist.To Another preferred embodiment is in the upper Part of the nozzle contact unit in the region of the flow element a channel is provided which extends into the treatment chamber and over a carrier gas can be introduced into the treatment chamber.
Die Erfindung soll nachstehend an Hand von Zeichnungen noch beispielhaft näher erläutert werden.The Invention will be further exemplified with reference to drawings be explained in more detail.
Die Figuren zeigen:The Figures show:
Zunächst
soll die in
In
Analog
zu dem vorangehend beschriebenen Ausführungsbeispiel ist
auch bei der in
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102011015263B4 (en) * | 2010-03-26 | 2014-07-24 | Hq-Dielectrics Gmbh | Apparatus and method for treating substrates |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4039930A1 (en) * | 1990-12-14 | 1992-06-17 | Leybold Ag | Plasma treating appts. - has adjustable distance between edge of hollow electrode and substrate holding electrode to maintain constant radio frequency power |
US5198724A (en) * | 1990-10-23 | 1993-03-30 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Plasma processing method and plasma generating device |
DE19807086A1 (en) * | 1998-02-20 | 1999-08-26 | Fraunhofer Ges Forschung | Atmospheric pressure plasma deposition for adhesion promoting, corrosion protective, surface energy modification or mechanical, electrical or optical layers |
DE10116502A1 (en) * | 2001-04-03 | 2002-10-24 | Wolfgang Vioel | Plasma stream production, comprises forming a gas supply channel using a moulding made of electrically insulating material, applying electrodes and applying a high voltage across them |
US6600127B1 (en) * | 1999-09-15 | 2003-07-29 | Nanotechnologies, Inc. | Method and apparatus for direct electrothermal-physical conversion of ceramic into nanopowder |
DE102006012100B3 (en) | 2006-03-16 | 2007-09-20 | Maschinenfabrik Reinhausen Gmbh | Apparatus for generating a plasma jet |
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5198724A (en) * | 1990-10-23 | 1993-03-30 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Plasma processing method and plasma generating device |
DE4039930A1 (en) * | 1990-12-14 | 1992-06-17 | Leybold Ag | Plasma treating appts. - has adjustable distance between edge of hollow electrode and substrate holding electrode to maintain constant radio frequency power |
DE19807086A1 (en) * | 1998-02-20 | 1999-08-26 | Fraunhofer Ges Forschung | Atmospheric pressure plasma deposition for adhesion promoting, corrosion protective, surface energy modification or mechanical, electrical or optical layers |
US6600127B1 (en) * | 1999-09-15 | 2003-07-29 | Nanotechnologies, Inc. | Method and apparatus for direct electrothermal-physical conversion of ceramic into nanopowder |
DE10116502A1 (en) * | 2001-04-03 | 2002-10-24 | Wolfgang Vioel | Plasma stream production, comprises forming a gas supply channel using a moulding made of electrically insulating material, applying electrodes and applying a high voltage across them |
DE102006012100B3 (en) | 2006-03-16 | 2007-09-20 | Maschinenfabrik Reinhausen Gmbh | Apparatus for generating a plasma jet |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102011015263B4 (en) * | 2010-03-26 | 2014-07-24 | Hq-Dielectrics Gmbh | Apparatus and method for treating substrates |
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