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Die
Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe mit Gaseinlass und schnelldrehendem
Rotor, welche mit einem mit mehreren durch eine Trennwand getrennten
Ansaugöffnungen versehenen Flansch einer Mehrkammervakuumanlage
verbindbar ist.
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In
einer Vielzahl von Anwendungen sind mehrere Vakuumkammern in Reihe
angeordnet und durch Bohrungen mit geringem Leitwert miteinander verbunden.
Vom einen zum anderen Ende der Reihe nimmt der innerhalb der Vakuumkammern
herrschende Gasdruck ab. Die Bohrungen sind so gestaltet, dass ein
Teilchenstrahl durch sie und damit durch die Reihe der Vakuumkammern
hindurchtreten kann. Die Vakuumkammer mit dem niedrigsten Druck
enthält oft ein Analysegerät, beispielsweise ein
Massenspektrometer.
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Der
Stand der Technik kennt verschiedene Wege, die unterschiedlichen
Drücke in den Vakuumkammern zu erzeugen und aufrecht zu
erhalten.
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Ein
erster üblicher Weg besteht darin, jede Vakuumkammer mit
einem eigenen Flansch zu versehen. An diesen wird dann eine für
den Druckbereich geeignete Vakuumpumpe angeschlossen. Dieser Weg
ist aufgrund der hohen Kosten für die Vielzahl der Vakuumpumpen
unbeliebt. Zudem besteht der Bedarf nach kompakten Geräten.
Diese lassen sich mit einer Vielzahl von Vakuumpumpen jedoch nicht
realisieren.
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Ein
zweiter üblicher Weg wird in der
DE-OS 43 31 589 vorgeschlagen. Eine
Turbomolekularpumpe weist mehrere Sauganschlüsse auf, die
jeweils mit einer der Vakuumkammern verbunden wird. Die Sauganschlüsse
führen Gas an verschiedene axial beabstandete Stellen des
Rotors. Entlang der Rotorachse sind mehrere sogenannte Rotor-Stator-Pakete
angeordnet, die jeweils Gas komprimieren. Ein hochvakuumseitiges
Rotor-Stator-Paket erzeugt ein Druckverhältnis zwischen
seinem Einlass und seinem Auslass. Der Einlass ist mit einer ersten
Vakuumkammer verbunden. Der Auslass ist mit dem Einlass des nächsten
Rotor-Stator-Paketes verbunden. Zusätzlich ist dieser Bereich
zwischen zwei Rotor-Stator-Paketen mit einer zweiten Vakuumkammer verbunden.
Aufgrund des von dem ersten Rotor-Stator-Paket erzeugten Druckverhältnisses
und des schlechten Leitwertes zwischen den Vakuumkammern, ist der
Druck in den beiden Vakuumkammern unterschiedlich. Durch eine entsprechende
Anzahl von Rotor-Stator-Paketen können mehrere Vakuumkammern
auf verschiedene Drücke evakuiert werden, wobei jedem Sauganschluss
ein Rotor-Stator-Paket zugeordnet wird. Es zeigt sich, dass im Vergleich
zum Durchmesser sehr lange Rotore schwer zu handhaben sind, da die
Rotoren mit Drehzahlen im Bereich von einigen zehntausend Umdrehungen pro
Minute betrieben werden.
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Daher
war es Aufgabe des Erfinders, eine Vakuumpumpe zum Verbinden mit
einer Mehrkammervakuumanlage zu schaffen, die bei einem einfachen
Aufbau in der Lage ist, einen Druckunterschied zwischen wenigstens
zwei Kammern aufrecht zu erhalten.
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Gelöst
wird dieser Aufgabe durch eine Vakuumpumpe mit den Merkmalen des
ersten Patentanspruchs. Die weiteren Ansprüche stellen
vorteilhafte Weiterbildungen dar.
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Eine
Gaswegtrennstruktur, die im Gaseinlass angeordnet ist, diesen in
Ansaugbereiche unterteilt, und derart gestaltet ist, dass sie zusammen
mit der Trennwand eine Abdichtung der Kammern bewirkt, ermöglicht
es, das am Gaseinlass anstehende Saugvermögen der Vakuumpumpe
auf zwei oder mehr Kammern aufzuteilen. Dabei sorgt die Gaswegtrennstruktur
aufgrund ihrer Anordnung im Gaseinlass für die weitgehende
Unterdrückung der Wechselwirkung der Kammern. Dies wird
erreicht, indem Strömungen zwischen den Ansaugbereichen
durch die Gaswegtrennstruktur unterdrückt werden. Zusammen
mit der abdichtenden Wirkung wird ermöglicht, unterschiedliche
Drucke in den Kammern zu erreichen. Der Begriff Abdichtung bedeutet
in diesem Zusammenhang, dass die zwischen Trennwand und Gaswegtrennstruktur
hindurchtretende Gasmenge so gering ist, dass der Druckunterschied
zwischen den Kammern aufrecht erhalten werden kann.
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In
einer Weiterbildung ist die Gaswegtrennstruktur so gestaltet, dass
sie wenigstens ein Teil eines der den schnelldrehenden Rotor der
Vakuumpumpe drehbar unterstützenden Lager haltert. Dieser Teil
umfasst beispielsweise einen Permanentmagnetring oder den Außenring
eines Kugellagers. Dadurch ist das Lager am hochvakuumseitigen Wellenende
angeordnet, was rotordynamische Vorteile hat. Diese können
ausgenutzt werden, ohne durch zusätzliche Bauteile, Kosten
und Platzbedarf in die Höhe zu treiben.
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In
einer Weiterbildung sind in einem Ansaugbereich Schaufeln angeordnet.
Diese reduzieren die Rückströmung aus der Vakuumpumpe
in die Kammer. Dadurch kann zwischen den Kammern ein größerer
Druckunterschied aufgebaut werden.
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Die
Anordnung von stehenden Schaufeln im Gaseinlass in Gasstromrichtung
vor der ersten Rotorscheibe lässt sich weiter verbessern,
indem eine ganze Statorscheibe vorgesehen wird. Dieser Weg ist sehr
ungewöhnlich und wurde bisher nicht beschritten, da das
Saugvermögen der Vakuumpumpe durch den Leitwert der Scheibe
verschlechtert wurde. Jedoch wurde festgestellt, dass dieser Leitwert
zu einer Verbesserung des Druckverhältnisses zwischen den
Kammern führt.
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In
einer anderen Weiterbildung wird das Druckverhältnis verbessert,
indem die Gaswegtrennstruktur ein flanschseitiges Dichtmittel umfasst. Durch
die flanschseitige Anordnung befindet sich das Dichtmittel zwischen
Gaswegtrennstruktur und kammerseitiger Trennwand und dichtet so
die Kammern gegeneinander ab.
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Das
Dichtmittel lässt sich weiterbilden, indem es einen ganzen
Ansaugbereich umschließt. Hierdurch werden die Ansaugbereiche
dicht voneinander getrennt.
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Eine
einfache Ausführung des Dichtmittels umfasst eine Nut,
in der ein Dichtring angeordnet ist. Dieser Dichtring führt
zu einer verringerten Übertragung von Schwingungen zwischen
Trennwand und Gaswegtrennstruktur.
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Die
Abdichtung der Ansaugbereiche gegeneinander lässt sich
verbessern, in dem die Gaswegtrennstruktur einstückig mit
dem Gehäuse der Vakuumpumpe ausgeführt ist. Zugleich
erhöht dies die mechanische Stabilität.
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Anhand
von Ausführungsbeispielen soll die Erfindung näher
erläutert werden. Weitere Vorteile werden ebenfalls aufgezeigt.
Es zeigen:
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1:
Schnitt durch eine Anordnung mit einer erfindungsgemäßen
Vakuumpumpe im ersten Ausführungsbeispiel.
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2:
Draufsicht auf den Gaseinlass der Vakuumpumpe nach dem ersten Ausführungsbeispiel.
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3:
Schnitt durch eine Anordnung mit einer erfindungsgemäßen
Vakuumpumpe im ersten Ausführungsbeispiel.
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4:
Draufsicht auf den Gaseinlass der Vakuumpumpe nach dem zweiten Ausführungsbeispiel.
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5:
Schnitt durch eine Vakuumpumpe und eine Mehrkammervakuumanlage nach
einem dritten Ausführungsbeispiel.
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6:
Schnitt durch den Übergangsbereich von Trennwand auf Gaswegtrennstruktur
gemäß eines ersten Beispiels
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7:
Schnitt durch den Übergangsbereich von Trennwand auf Gaswegtrennstruktur
gemäß eines zweiten Beispiels.
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8:
Schnitt durch den Übergangsbereich von Trennwand auf Gaswegtrennstruktur
gemäß eines dritten Beispiels.
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9:
Schnitt durch den Übergangsbereich von Trennwand auf Gaswegtrennstruktur
gemäß eines vierten Beispiels.
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10:
Schnitt durch den Übergangsbereich von Trennwand auf Gaswegtrennstruktur
gemäß eines fünften Beispiels.
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Im
Folgenden bezeichnet Gaseinlass den Raumbereich zwischen der Flanschöffnung
und den ersten in Gasflussrichtung folgenden drehenden pumpaktiven
Bauteilen.
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Die
folgenden Ausführungsbeispiele zeigen Turbomolekularvakuumpumpen,
kurz: Turbopumpen. Die Erfindung ist auch auf andere molekulare Pumpprinzipien
anwendbar.
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Die 1 und 2 dienen
der Erläuterung eines ersten Ausführungsbeispiels.
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In 1 ist
eine Mehrkammervakuumanlage 101 mit einer ersten Kammer 102 und
einer zweiten Kammer 103 ausgestattet, welche durch eine
Trennwand 106 voneinander getrennt sind. Durch eine Bohrung 110 kann
beispielsweise ein Teilchenstrahl von der ersten in die zweiten
Kammer gelangen. Die Kammern werden auf unterschiedliche Drucke
evakuiert. Die Mehrkammervakuumanlage weist einen Flansch 118 auf,
an dem eine Vakuumpumpe 100 lösbar befestigt ist.
Die Trennwand ist bis in den Flansch hineingezogen und unterteilt
so die Flanschfläche.
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Die
Vakuumpumpe weist ihrerseits einen Flansch 120 auf, der
den Flansch der Kammer berührt. Befestigungsmittel, beispielsweise
Schrauben 119, verbinden die Flansche lösbar miteinander.
Die Vakuumpumpe dieses Ausführungsbeispiels ist als Turbomolekularpumpe
ausgeführt. Ein Rotor 124 weist Schaufeln 122 auf,
die in mehreren Ebenen sich jeweils radial erstreckend entlang des
Umfangs angeordnet sind. Zwischen diesen Ebenen sind statorseitig
Statorschaufeln 123 vorgesehen. Diese statorseitigen Ebenen
sind durch Distanzringe 121 voneinander beabstandet. Das
flanschseitige Ende des Rotors ist durch ein passives Magnetlager
gelagert. Dieses weist Permanentmagnete auf, die an Lagerstator 125 und
Lagerrotor 126 befestigt sind. Der Lagerstator wird von
einer Mittelscheibe 129 getragen, die ihrerseits durch
Stege 127 und 129 im Gaseinlass fixiert ist. Stege
und Mittelscheibe bilden zusammen die Gaswegtrennstruktur aus, die
den Gaseinlass in diesem Fall in zwei Ansaugbereiche unterteilt.
Diese Ansaugbereiche stehen jeweils mit einer der Kammern in Verbindung.
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Einen
Draufblick in Förderrichtung auf den Flansch 120 der
Vakuumpumpe zeigt 2. Zur Klarheit der Darstellung
sind innerhalb der Flanschöffnung nur die Bauteile im Gaseinlass
der Vakuumpumpe gezeigt. Die eigentlich sichtbaren Rotor- und Statorkomponenten
wurden weggelassen.
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Entlang
des Umfangs sind Bohrungen 130 verteilt, durch die die
in 1 gezeigten Schrauben zur Befestigung der Vakuumpumpe
hindurchgesteckt werden können. Konzentrisch zu diesem
Ring aus Bohrungen verläuft eine äußere
Dichtung 132. Diese ist als in eine Nut eingelegter Dichtring
gestaltet. Die Mittelscheibe 129 wird von drei Stegen 127, 128 und 133 im
Gaseinlass fixiert. Die Mittelscheibe 129 bildet zusammen
mit den Stegen 133 und 127 die Gaswegtrennstruktur,
wobei die Stege 127 und 133 über ihre gesamte
Länge mit der Trennwand der Mehrkammervakuumanlage in berührendem
Kontakt stehen. Sie unterteilen den Gaseinlass und schaffen in dem gezeigten
Fall zwei Ansaugbereiche 140 und 141. Zur besseren
Abdichtung dieser Ansaugbereiche gegeneinander läuft ein
innere Dichtung 131 um den Ansaugbereich 140.
Diese Dichtung ist als Dichtring ausgeführt, der in eine
Nut eingelegt ist. Innerhalb des Ansaugbereichs 140 sind
Schaufeln 134 angeordnet, die die Rückströmung
von Gas aus der Vakuumpumpe in die Kammer hinein unterdrücken.
Die innere Dichtung 131 verringert die Übertragung
von Schwingungen von Trennwand auf Gaswegtrennstruktur oder umgekehrt.
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Mit
dem Winkel 160 zwischen den Stegen 127 und 133 wird
das Flächenverhältnis der Ansaugbereiche festgelegt.
Dieses Verhältnis beeinflusst das Verhältnis der
Saugvermögen, die beide Ansaugbereiche jeweils erreichen.
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Die 3 und 4 dienen
der Erläuterung eines zweiten Ausführungsbeispiels.
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3 zeigt
den Teilschnitt durch eine Mehrkammervakuumanlage 201,
mit der eine Vakuumpumpe 200 lösbar verbunden
ist. Die Verbindung wird über einen kammerseitigen Flansch 218 und
einen pumpenseitigen Flansch 220 erreicht, wobei die Flansche
durch Schrauben 219 in Position zueinander gehalten werden.
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Innerhalb
der Mehrkammervakuumanlage sind eine erste Kammer 202 und
eine zweite Kammer 203 angeordnet, welche durch eine Trennwand 206 voneinander
getrennt sind. Eine Bohrung 210 ermöglicht die
Führung eines Teilchenstrahls von der ersten zur zweiten
Kammer oder umgekehrt. Die Trennwand ist bis in den Flansch 218 hineingezogen.
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Zur
Erzeugung eines Hochvakuums besitzt die Vakuumpumpe 200 einen
schnelldrehenden Rotor 224. Dieser weist Schaufeln 222 auf,
die in mehreren Ebenen sich jeweils radial erstreckend entlang des
Umfangs angeordnet sind.
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Zwischen
diesen Ebenen sind statorseitig Statorschaufeln 223 vorgesehen.
Diese statorseitigen Ebenen sind durch Distanzringe 221 voneinander
beabstandet. Der Rotor kann in bekannter Weise fliegend gelagert
oder glockenförmig ausgeführt sein. Hierdurch
ist am vakuumseitigen Ende keine Lagerung notwendig.
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Die
Gaswegtrennstruktur umfasst in diesem Beispiel eine Schaufeln aufweisende
Statorscheibe 234, die im Gaseinlass angeordnet ist. Zwischen
den Kammern 202 und 203 und der ersten Schaufelebene
des Rotors 224 befindet sich somit entgegen der allgemeinen
Lehre des Standes der Technik ein ruhendes pumpaktives Element.
Weiterhin umfasst die Gaswegtrennstruktur eine Mittelscheibe 229 und zwei
in dieser Figur nicht gezeigten Stege. Mittelscheibe und Stege stehen
in berührendem Kontakt mit der Trennwand 206.
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Einen
Draufblick in Förderrichtung auf den Flansch der Vakuumpumpe
zeigt 4. Die Mittelscheibe 229 wird durch einen
ersten Steg 227 und einen zweiten Steg 228 in
Position gehalten. Diese drei vorgenannten Elemente stehen über
ihre gesamte Länge in berührendem Kontakt mit
der Trennwand 206, wodurch eine Abtrennung der Kammern
gegeneinander bewirkt wird. Die drei Elemente teilen den Gaseinlass
in zwei Ansaugbereiche 240 und 241, die jeweils
mit einer Kammer in Gasflussverbindung stehen. In Gasflussrichtung
hinter den drei Elementen ist eine Statorscheibe angeordnet, welche
Schaufeln 235 aufweist. Beide Ansaugbereiche werden von
einer Dichtung 232 umschlossen. Diese Dichtung ist als
ein in einer Nut liegender Dichtring gestaltet. Der Flansch 220 weist über
den Umfang verteilt Bohrungen auf, durch den Schrauben, Bolzen,
oder dergleichen als Verbindungsmittel hindurchgeführt
werden können.
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In
den ersten beiden Ausführungsbeispielen ist die Trennwand 106 bzw. 206 der
Mehrkammervakuumanlage bis in den Flansch 118 bzw. 218 hineingezogen.
Sollte dies nicht gegeben sein, kann die Gaswegtrennstruktur so
ausgeführt werden, dass sie soweit in den Flansch 118 bzw. 218 hineinragt,
dass sie mit der Trennwand 106 bzw. 206 in berührenden Kontakt
kommt.
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Mit
dem Winkel 260 zwischen den Stegen 227 und 228,
der in diesem Beispiel 180 Grad beträgt, wird
das Flächenverhältnis der Ansaugbereiche festgelegt.
Dieses Verhältnis beeinflusst das Verhältnis der
Saugvermögen, die beide Ansaugbereiche jeweils erreichen.
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Die 5 dient
der Erläuterung eines dritten Ausführungsbeispiels.
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Im
dritten Ausführungsbeispiel weist die Mehrkammervakuumanlage 301 erste
bis vierte Kammern 302, 303, 304 und 305 auf,
wobei der Gasdruck in dieser Reihenfolge steigend ist. Die Kammern
sind durch Trennwände voneinander getrennt, wobei Bohrungen
eine Verbindung herstellen. Diese Bohrungen sind beispielsweise
so angeordnet und dimensioniert, dass ein Teilchenstrahl durch sämtliche
Kammern hindurchtreten kann. Insbesondere trennt die erste Trennwand 306 die
erste 302 und zweite 303 Kammer voneinander, während
die zweite Trennwand 307 dritte 304 und vierte 305 Kammer voneinander
trennt. Das Beispiel zeigt, wie sich die Erfindung bei solch einer
Mehrkammervakuumanlage anwenden lässt, wodurch erheblich
Kosten und Bauvolumen eingespart wird. Gestrichelte Pfeile veranschaulichen
den Gasfluss.
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Die
Vakuumpumpe des dritten Ausführungsbeispiels weist zwei
Rotor-Stator-Pakete auf. Dabei bilden die Distanzringe 321,
Rotorschaufeln 322 und Statorschaufeln 323 ein
hochvakuumseitiges Rotor-Stator-Paket 328. Ein zwischenvakuumseitiges Rotor-Stator-Paket 329 wird
aus Distanzringen 325, Rotorschaufeln 326 und
Statorschaufeln 327 gebildet. Die Schaufeln in beiden Paketen
sind dabei, wie im Stand der Technik bekannt, sowohl stator- als auch rotorseitig
an Tragringen befestigt oder mit diesem einstückig ausgebildet.
Vor dem hochvakuumseitigen Rotor-Stator-Paket befindet sich ein
erster Gaseinlass 350, vor dem vorvakuumseitigen Rotor-Stator-Paket
ein zweiter Gaseinlass 351.
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Im
ersten Gaseinlass 350 ist eine erste Gaswegtrennstruktur 330 angeordnet
und teilt ihn in zwei Ansaugbereiche. Die Gaswegtrennstruktur berührt die
erste Trennwand 306. Jeder Ansaugbereich steht mit nur
einer der Kammern 302 und 303 in Verbindung, so
dass die Pumpwirkung des ersten Rotor-Stator-Paketes die Evakuierung
beider Kammern bewirkt. Der Gasdurchlass 335 in der Gaswegtrennstruktur 330 bringt
einen Teil der ersten Rotorscheibe des ersten Rotor-Stator-Paketes
in Verbindung mit der ersten Kammer 302. Die Größe
des Durchlasses bestimmt den Leitwert und beeinflusst damit das
an der Kammer anstehende effektive Saugvermögen.
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Im
zweiten Gaseinlass 351 ist eine zweite Gaswegtrennstruktur 331 angeordnet.
Diese weist einen Wellendurchgang auf, dessen freie Öffnung
so groß ist, dass bei maximaler radialer Auslenkung des Rotors
keine Berührung stattfindet. Die zweite Gaswegtrennstruktur
steht in berührendem Kontakt mit der zweiten Trennwand 307.
Ein Gasdurchlass 336 bringt einen Teil der ersten Rotorscheibe
des zweiten Rotor-Stator-Paketes in Verbindung mit der dritten Kammer 303.
Die Größe des Durchlasses bestimmt den Leitwert
und beeinflusst damit das an der Kammer anstehende effektive Saugvermögen.
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Auf
der beschriebenen Weise ermöglicht die Erfindung, eine
Vakuumpumpe mit zwei Rotor-Stator-Paketen zur Evakuierung einer
Mehrkammervakuumanlage mit vier Kammern zu benutzen. Dadurch sind
weniger Bauteile notwendig, insbesondere weniger Rotor-Stator-Pakete,
als im Stand der Technik. Dies bedeutet eine Verkürzung
der Welle gegenüber dem Stand der Technik, was die mechanische
Auslegung vereinfacht.
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Die 6 bis 9 dienen
der Erläuterung der Gestaltung von Trennwand und Gaswegtrennstruktur,
die eine Abdichtung der Kammern bewirkt.
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In 6 stehen
Gaswegtrennstruktur 60 und Trennwand 61 in berührendem
Kontakt. Da als Material in der Regel Metalle und Metalllegierungen
zum Einsatz kommen, handelt es sich um einen metallischen berührenden
Kontakt. Die Menge an Gas, die durch diese Kontaktstelle von einer
Seite der Anordnung zur anderen gelangen kann, ist gering. Weiter verringert
werden kann sie durch eine oder mehrere Stufen 65, die
einen labyrinthartigen Verlauf der Kontaktstelle erzeugen.
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In 7 ist
zwischen der Gaswegtrennstruktur 70 und der Trennwand 71 ein
Dichtring 72 vorgesehen, welcher in einer Nut 73 angeordnet
ist. Die Nut kann sich in Gaswegtrennstruktur, in der Trennwand
oder in beiden befinden. In diesem Beispiel kommt es nicht zu einem
Kontakt zwischen Trennwand und Gaswegtrennstruktur. Stattdessen
ist ein Spalt 74 zwischen Trennwand und Gaswegtrennstruktur
ausgebildet. Die Abdichtung wird durch den Dichtring bewirkt, der
beispielsweise als Elastomerring ausgeführt ist. Der Elastomerring
wirkt vorteilhaft schwingungsdämpfend. Die Übertragung
von Schwingungen zwischen Gaswegtrennstruktur und Trennwand wird
reduziert. Solche Schwingungen entstehen beispielsweise in der Vakuumpumpe
durch die schnelle Drehung des Rotors.
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In 8 ist
eine Gestaltung von Gaswegtrennstruktur 80 und Trennwand 81 gezeigt,
bei der es zu keinem berührenden Kontakt zwischen beiden kommt.
Gastrennstruktur und Trennwand sind in geringem Abstand zueinander
angeordnet, beispielweise ein Zehntel Millimeter. Auf diese Weise
ensteht ein Dichtspalt 84 mit der Spaltweite S. Die Spaltweite
ist so bemessen, dass im zu betrachtenden Druckbereich die Gasströmung
durch den Spalt so klein ist, dass die Druckdifferenz zwischen den
Kammern aufrecht erhalten werden kann. Die Gasströmung
kann durch eine Stufe 85 verringert werden, wobei auch mehrere
Stufen vorgesehen sein können. Die Abdichtung bedeutet
in diesem Beispiel, dass die Gasströmung durch die Anordnung
aus Gaswegtrennstruktur und Trennwand zwar von Null verschiedenen aber
duldbar klein ist. Eine Gestaltung wie in diesem Beispiel beschrieben
ist vorteilhaft, wenn eine sehr geringe Schwingungsübertragung
gefordert ist.
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In 9 gilt
für die Abdichtung dasselbe wie im Beispiel der 8.
Zwischen Gaswegtrennstruktur 90 und Trennwand 91 ist
ein Spalt 94 mit dem Spaltmaß S' vorgesehen. Dieser
Spalt ist so bemessen, dass die Gasströmung durch ihn so
gering ist, dass die Druckdifferenz zwischen den Kammern aufrecht
erhalten werden kann. Vorteilhaft ist in diesem Beispiel nur die
Gestaltung der Gaswegtrennstruktur angepasst, indem eine Kante 96 auf
einer Seite der Trennwand diese ein Stück weit umschließt.
Eine solche Gestaltung kann benutzt werden, wenn eine Vakuumpumpe
an eine bereits bestehende Mehrkammervakuumanlage angeschlossen
werden soll und eine Änderung der Trennwand nicht möglich
ist. Eine solche Kante ist auch in den Gestaltungsbeispielen nach
den 6 bis 8 anwendbar.
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10 zeigt
schließlich ein Beispiel zur Gestaltung des Übergangs
von einer Gaswegtrennstruktur 10 auf eine Trennwand 11,
welches bei hohen Dichtigkeitsanforderungen Verwendung findet. Ein
Ring 16 aus weichem Metall, beispielsweise Kupfer, ist
zwischen Gaswegtrennstruktur und Trennwand vorgesehen. Auf Gaswegtrennstruktur,
ist eine Schneide 15 so vorgesehen, dass sie nach Verbinden
der Vakuumpumpe mit der Mehrkammervakuumanlage in den Ring hineingepresst
wird. Auch die Trennwand weist eine Schneide 16 auf, die
ebenfalls in den Ring hineingepresst wird. Auf diese Weise können
Gasströmungen zwischen den Ansaugbereichen sehr stark reduziert
werden. Sie sind so gering, dass die Anordnung im Ultrahochvakuumbereich
eingesetzt werden kann.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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