DE102007042108B4 - Elektronenquelle mit zugehöriger Messwerterfassung - Google Patents
Elektronenquelle mit zugehöriger Messwerterfassung Download PDFInfo
- Publication number
- DE102007042108B4 DE102007042108B4 DE102007042108A DE102007042108A DE102007042108B4 DE 102007042108 B4 DE102007042108 B4 DE 102007042108B4 DE 102007042108 A DE102007042108 A DE 102007042108A DE 102007042108 A DE102007042108 A DE 102007042108A DE 102007042108 B4 DE102007042108 B4 DE 102007042108B4
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- electron
- voltage unit
- high voltage
- emission cathode
- electron source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 16
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 13
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 13
- 230000002457 bidirectional effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 11
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 10
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 4
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 4
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 4
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 4
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 3
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 description 3
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 2
- 230000005405 multipole Effects 0.000 description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 1
- 238000002591 computed tomography Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 231100000989 no adverse effect Toxicity 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000011158 quantitative evaluation Methods 0.000 description 1
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05G—X-RAY TECHNIQUE
- H05G1/00—X-ray apparatus involving X-ray tubes; Circuits therefor
- H05G1/08—Electrical details
- H05G1/26—Measuring, controlling or protecting
- H05G1/30—Controlling
- H05G1/46—Combined control of different quantities, e.g. exposure time as well as voltage or current
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- X-Ray Techniques (AREA)
Abstract
Elektronenquelle, mit einem eine Elektronenemissionskathode (9, 10) aufweisenden Elektronenemitter (7, 8), einer zur Energieversorgung der Elektronenemissionskathode (9, 10) vorgesehenen Hochspannungseinheit (2), sowie einer zur Ansteuerung der Hochspannungseinheit (2) vorgesehenen Niederspannungseinheit (3), wobei zwischen der Hochspannungseinheit (2) und der Niederspannungseinheit (3) eine elektrisch isolierende Datenübertragungsstrecke (16, 17, 18) ausgebildet ist, dadurch gekennzeichnet, dass in die Hochspannungseinheit (2) eine Signalverarbeitungseinheit (19) integriert ist, welche zur Verarbeitung mindestens eines den Elektronenemitter (7, 8) betreffenden Messwerts, welcher einen Rückschluss auf die Temperatur des Elektronenemitters (7, 8) zulässt, ausgebildet ist.
Description
- Die Erfindung betrifft eine Elektronenquelle sowie ein Verfahren zum Betreiben einer Elektronenquelle.
- Aus der
DE 195 22 221 A1 ist ein Verfahren zur Regelung des Emissionsstromes einer Elektronenquelle sowie eine entsprechend geregelte Elektronenquelle bekannt. In einem Hochspannungskreis zwischen einer Kathode und einer Steuerelektrode ist eine Parallelschaltung aus Widerständen und Feldeffekt-Transistoren vorgesehen, wobei die Versorgungsspannung für die Feldeffekt-Transistoren durch Spannungsteilung der über den Widerständen abfallenden Spannung erzeugt wird. Der Emissionsstrom wird auf Niederspannungspotential gemessen, wobei ein aus dem Messsignal gewonnenes Steuersignal optisch über eine Lichtleitfaser an einen Regelkreis im Hochspannungsteil übertragen wird. - Aus der
DE 31 30 383 A1 ist eine Steuereinrichtung für eine Elektronenstrahlquelle bekannt, welche als Baueinheit zum Einbau in bestehende Einrichtungen vorgesehen ist. Ein Teil einer Steuerschaltung ist in einem Ölbad angeordnet, wobei eine Verbindung zwischen diesem Teil und einem äußeren Teil der Schaltung über einen Lichtleiter hergestellt ist. - Die
DE 32 39 337 A1 offenbart eine Hilfsspannungsquelle zur Versorgung von auf Hochspannungspotential liegenden elektrischen Schaltungen, welche zur Verwendung bei Elektronenstrahlkanonen vorgesehen ist. Ein Trenntransformator soll dadurch eingespart werden, dass im Wechselstrombereich eines Heizstromkreises einer Kathode eine Primärwicklung eines Stromwandlers liegt, während die zugehörige Sekundärwicklung über einen Gleichrichter mit einem eine Hilfsspannung zur Verfügung stellenden Parallel-Regler verbunden ist. - Aus der
JP 59040450 A - Einen kompakten Aufbau soll auch eine aus der
JP 57050757 A - Aus der
DE 40 31 286 A1 ist eine für die Stromversorgung einer Glühkathode einer Elektronenquelle in einer Elektronenbeschichtungsanlage vorgesehene Einrichtung bekannt, welche sich dadurch auszeichnen soll, dass die Kathoden-Heizung, das hießt die Stromversorgung der Kathode, wahlweise über einen Heizstrom oder über einen Emissionsstrom regelbar ist. Zur Regelung des Heizstroms kann der aus der Glühkathode emittierte Strom erfasst und galvanisch getrennt auf einen Regler gegeben werden. - Eine aus der
JP 59040449 A - Die
DE 24 60 424 A1 betrifft eine Strahlstromsteuerung einer Elektronenstrahl-Schweißmaschine. Diese Schweißmaschine ist triodenartig aufgebaut und weist eine mit einer Hochspannungsquelle verbundene Spannungsteilerschaltung auf. Ein auf Niederspannungspotential befindlicher Sollwertgeber kann über einen Optokoppler mit der Hochspannungsseite der Elektronenstrahl-Schweißmaschine verbunden sein. - Aus der
GB 1 331 113 - Eine Elektronenquelle sowie ein Verfahren zu deren Herstellung ist auch aus der
DE 30 39 283 C2 bekannt. Es handelt sich dabei um eine insbesondere zum Einsatz in wissenschaftlichen Geräten vorgesehene Elektronenquelle. - Elektronenquellen finden auch Einsatz in mit Röntgenstrahlung arbeitenden medizintechnischen Geräten, beispielsweise Computertomographiegeräten. Eine elektrisch beheizte Kathode der Elektronenquelle wird hierbei auf Hochspannungspotential betrieben, während eine Ansteuerschaltung, deren elektrisches Potential sich im Vergleich zur Kathode kaum von Masse unterscheidet, Größen wie den zum Betrieb der Kathode vorgesehenen Heizstrom bereitstellt. Aufgrund des großen Potentialunterschiedes zwischen der die Kathode umfassenden Hochspannungsseite der Elektronenquelle und der die Ansteuerschaltung aufweisenden Niederspannungsseite sind entsprechende Maßnahmen zur elektrischen Isolation zu treffen. Über den damit verbundenen apparativen Aufwand hinaus kann es nachteilig sein, dass eine übertragene Größe aufgrund der zu überwindenden Spannungsdifferenz einer nicht vernachlässigbaren Verfälschung unterliegt.
- Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Elektronenquelle hinsichtlich deren Ansteuerbarkeit gegenüber dem Stand der Technik weiterzuentwickeln.
- Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch eine Elektronenquelle mit den Merkmalen des Anspruchs 1 sowie durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 8. Nachfolgend im Zusammenhang mit der Vorrichtung genannte Ausgestaltungen und Vorteile der Erfindung gelten sinngemäß auch für das Verfahren und umgekehrt.
- Die Elektronenquelle umfasst einen eine Elektronenemissionskathode aufweisenden Elektronenemitter, eine zur Energieversorgung der Elektronenemissionskathode vorgesehene Hochspannungseinheit, sowie eine zur Ansteuerung der Hochspannungseinheit vorgesehene Niederspannungseinheit, wobei zwischen der Hochspannungseinheit und der Niederspannungseinheit eine elektrisch isolierende, insbesondere optische, Datenübertragungsstrecke ausgebildet ist.
- Die elektrisch isolierende Datenübertragungsstrecke ermöglicht einen von störenden elektrischen Einflüssen freien, vorzugsweise bidirektionalen, Datentransfer zwischen der Nieder- und der Hochspannungsseite der Elektronenquelle. Die Elektronenquelle kann somit mit einem einzigen die Hochspannungsseite mit der Niederspannungsseite koppelnden Transformator betrieben werden, während die zur Ansteuerung der Elektronenemissionskathode erforderlichen Größen, insbesondere der Heizstrom, auf nicht elektrischem Weg übermittelt werden. In entsprechender Weise ist auch die Übertragung von Messwerten, welche die Elektronenemissionskathode betreffen, von der Hochspannungsseite zur Niederspannungsseite der Elektronenquelle auf nicht elektrischem Weg realisierbar. Durch die Einsparung induktiver Koppler ist die Elektronenquelle insgesamt kompakt und gewichtssparend aufgebaut sowie rationell herstellbar.
- Der Elektronenemitter weist in bevorzugter Ausgestaltung zusätzlich zur Elektronenemissionskathode eine Steuerelektrode auf. Die Steuerelektrode kann insbesondere auch ausgebildet sein. Der Wert der zur Ansteuerung der Steuerelektrode verwendeten Steuerspannung oder ein Parameter, aus welchem dieser Wert ermittelbar ist, ist mit hoher Genauigkeit über die elektrisch isolierende Datenübertragungsstrecke übertragbar.
- In die Hochspannungseinheit ist eine Signalverarbeitungseinheit integriert, welche zur Verarbeitung sowohl von der Niederspannungseinheit aus übertragenen Signalen als auch von den Elektronenemitter, gegebenenfalls auch die Steuerelektrode, betreffenden Messwerten ausgebildet ist. Derartige Messwerte lassen über die Erfassung des elektrischen Widerstands der Elektronenemissionskathode Rückschlüsse auf deren Verschleiß und/oder Temperatur zu. Ebenso ist es möglich, auf andere Weise gewonnene und/oder andere Bauteile betreffende Ergebnisse von insbesondere auf der Hochspannungsseite der Elektronenquelle vorgenommenen Temperaturmessungen zu verarbeiten.
- Unabhängig vom angewandten Messprinzip ist die Temperatur der Elektronenemissionskathode als Regelgröße zum Betrieb des Elektronenemitters verwendbar. Ebenso ist auf einfache und zuverlässige Weise eine Begrenzung der Temperatur der Elektronenemissionskathode möglich, was insbesondere deren Lebensdauer zugute kommt. Generell lassen sich aus den gemessenen Eigenschaften der Elektronenemissionskathode automatisiert, unter Nutzung der einen Teil der Elektronenquelle bildenden Signalverarbeitungseinheit, Schlüsse auf den Verschleißzustand der Elektronenemissionskathode ziehen.
- Die datentechnisch mit der nicht elektrischen Datenübertragungsstrecke verbundene Signalverarbeitungseinheit ist vorzugsweise auch zur Bestimmung des tatsächlichen Emissionsstromes nahe der Elektronenemissionskathode vorgesehen. Der Messvorgang wird durch Kapazitäten in Leitungen praktisch nicht beeinflusst. Damit ist zum Einen eine im Vergleich zum Stand der Technik relativ genaue Röhrenstromregelung selbst beim Einschalten der Hochspannung und zum anderen eine Messung der Nachemission während des Ausschaltens möglich.
- Die am Elektronenemitter anstehende Gitterspannung ist messtechnisch genau erfassbar und regelbar, wobei sich die Messeinrichtungen im Hochspannungsteil der Elektronenquelle befinden. Entsprechendes gilt für die Messung des Gitterstro mes. Damit wird ein Betrieb der Elektronenquelle mit exakt reproduzierbar eingestellten Parametern erleichtert. Die Messung des Gitterstromes erlaubt darüber hinaus eine quantitative Bewertung der Qualität des Vakuums, welches in der Kathodeneinheit existiert. Schon vor Anlegen der Hochspannung kann die für den gewünschten Emissionsstrom erforderliche Temperatur an der Elektronenemissionskathode mit dem Heizstrom als Stellgröße eingeregelt werden.
- Zur Spannungsversorgung des Elektronenemitters ist in besonders vorteilhafter Ausführungsform lediglich eine einpolige Hochspannungsleitung vorgesehen. Über diese Hochspannungsleitung brauchen weder Heizleistung noch Steuerspannung geführt zu werden. Damit entfallen ansonsten bei einer mehrpoligen Hochspannungsleitung zwangsläufig auftretende parasitäre Elemente wie Kapazitätsbelag und Widerstandsbelag, welche einen negativen Einfluss auf die genannten Größen (Heizleistung, Steuerspannung hätten. Vorzugsweise weist die einpolige Hochspannungsleitung eine Widerstandsdämpfung auf. Diese kann in Form eines gesonderten elektrischen Widerstandes oder als Widerstands-Leitung realisiert sein. Aufgrund des kompakten Aufbaus der Elektronenquelle kann die Widerstandsdämpfung nahe an der mindestens eine Elektronenemissionskathode sowie gegebenenfalls eine Anzahl Steuerelektroden umfassenden Kathodeneinheit angeordnet werden, so dass besonders günstige Eigenschaften hinsichtlich elektromagnetischer Verträglichkeit (EMV) sowie Eigenschutz bei Überschlägen im Vakuum erzielt werden.
- Der Vorteil der Erfindung liegt insbesondere darin, dass durch die Bereitstellung nicht elektrischer, insbesondere optischer, Mittel zur Datenübertragung zwischen der Niederspannungs- und der Hochspannungsseite einer Elektronenquelle eine sehr schnelle, hochpräzise, bidirektionale, für Ansteuerungs-, Mess-, Überwachungs-, Regelungs- und Auswertungszwecke nutzbare Signalübertragung ermöglicht wird.
- Nachfolgend wird ein Ausführungsbeispiel der Erfindung anhand einer Zeichnung näher erläutert, in welcher die einzige Figur einen vereinfachten Schaltplan einer Elektronenquelle zeigt.
- Eine für ein nicht weiter dargestelltes medizintechnisches, Röntgenstrahlung emittierendes Gerät geeignete Elektronenquelle
1 umfasst eine Hochspannungseinheit2 , eine Niederspannungseinheit3 , sowie einen induktiven Koppler4 als Verbindungsglied zwischen der Hochspannungseinheit2 und der Niederspannungseinheit3 . Die Hochspannungseinheit2 sowie der gesamte induktive Koppler4 , nämlich ein Transformator, befinden sich in einem Röntgenstrahlergehäuse5 . Die Grenze des Hochspannungsbereichs ist durch eine gestrichelte Linie angedeutet. Diese ist nicht geschlossen, womit angedeutet werden soll, dass sich innerhalb des Röntgenstrahlergehäuses5 weitere, nicht dargestellte Komponenten innerhalb des Hochspannungsbereichs befinden. - Im in der Figur rechten Bereich des Röntgenstrahlergehäuses
5 befindet sich, vollständig innerhalb des Hochspannungsbereichs, eine Kathodeneinheit6 , welche in der schematischen Darstellung durch eine strichpunktierte Umrahmung kenntlich gemacht ist. Die Kathodeneinheit6 umfasst im dargestellten Ausführungsbeispiel zwei Elektronenemitter7 ,8 , die jeweils eine Elektronenemissionskathode9 ,10 sowie eine Steuerelektrode11 ,12 aufweisen. Die Energieversorgung der Elektronenemissionskathoden9 ,10 erfolgt über die insgesamt mit dem Bezugszeichen2 gekennzeichnete, Zwischenkreise13 ,14 umfassende Hochspannungseinheit, auf deren Aufbau im Folgenden noch näher eingegangen wird. - Auf der Niederspannungsseite umfasst die mit dem Bezugszeichen
3 gekennzeichnete, zur Ansteuerung der Hochspannungseinheit2 vorgesehene Niederspannungseinheit einen an den induktiven Koppler4 angeschlossenen Signalumformer15 sowie ein zur nicht elektrischen, nämlich optischen, Datenübertragung geeignetes Koppelelement16 . Dieses optische Koppelelement16 wirkt über eine optische Signalleitung17 zusammen mit einem zweiten, in der Hochspannungseinheit2 angeordneten Koppelelement18 zusammen, so dass eine elektrisch isolierende, bidirektional nutzbare Datenübertragungsstrecke gebildet ist. - Das auf der Hochspannungsseite der Elektronenquelle
1 angeordnete Koppelelement18 ist datentechnisch verbunden mit einer Signalverarbeitungseinheit19 , welche ebenfalls in der Hochspannungseinheit2 angeordnet ist. Die Signalverarbeitungseinheit19 wirkt zusammen mit Signalumformern20 , welche über Gleichrichterschaltungen21 an die Hochspannungsseite des Transformators4 angeschlossen sind. - Von der Niederspannungseinheit
3 aus können Größen, die den Heizstrom der Elektronenemissionskathoden9 ,10 und/oder die Steuerspannung der Steuerelektroden11 ,12 betreffen, über die Datenübertragungsstrecke16 ,17 ,18 an die Signalverarbeitungseinheit19 geleitet werden, welche entsprechende elektrische Signale an die Signalumformer20 leitet. Wie aus der Figur weiter hervorgeht, ist jeder der Signalumformer20 zur Ansteuerung einer Elektronenemissionskathode9 ,10 oder einer Steuerelektrode11 ,12 mittels Leitungen22 ,23 vorgesehen. - Die auf Hochspannungspotential von typischerweise einigen kV betriebene Signalverarbeitungseinheit
19 ist jedoch nicht nur dazu ausgebildet, zur Ansteuerung der Elektronenemitter7 ,8 benötigte Größen wie Steuerspannungen und Heizströme an die Kathodeneinheit6 zu übertragen, sondern ermöglicht auch die Aufnahme und Verarbeitung von die Elektronenemitter7 ,8 betreffenden Messwerten. Insbesondere ist die Möglichkeit gegeben, innerhalb der Hochspannungseinheit2 den tatsächlichen Emissionsstrom eines jeden Elektronenemitters7 ,8 sowie den Spannungsabfall über den Emitterwiderstand präzise zu bestimmen und die entsprechenden Daten über die Signalverarbeitungseinheit19 und die Datenübertragungsstrecke16 ,17 ,18 zur Niederspannungsseite zu übertragen. Auf diese Weise ist der Emitterwiderstand eines jeden Elektronenemitters7 ,8 exakt berechenbar. Die Genauigkeit der Bestimmung des Emitterwiderstandes ist maßgeblich darauf zurückzuführen, dass auf grund der optischen Datenübertragung kein Genauigkeitsverlust zwischen der Hochspannungsseite und der Niederspannungsseite der Elektronenquelle1 auftritt. In vorteilhafter Weise werden die gewonnenen Messwerte in einem Regelkreis verwendet, der einen stabilen reproduzierbaren Betrieb der Elektronenquelle1 ermöglicht. - Zur Hochspannungsversorgung der Elektronenemitter
7 ,8 ist eine einpolige Hochspannungsleitung24 vorgesehen, die nahe des Eintritts in das Röntgenstrahlergehäuse5 einen Dämpfungswiderstand25 aufweist. Statt der Zwischenschaltung eines Dämpfungswiderstandes ist auch die Ausbildung der kompletten Hochspannungsleitung24 als Widerstandsleitung möglich. In beiden Fällen hat, da für Steuerspannungen und Heizströme separate Leitungen22 ,23 vorgesehen sind, ein etwaiger Kapazitätsbelag oder Widerstandsbelag, wie er bei einer mehrpoligen Hochspannungsleitung zu verzeichnen wäre, keinen nachteiligen Einfluss auf die genannten Größen, das heißt Steuerspannung und Heizstrom, welche unabhängig von der Hochspannungsleitung24 , basierend auf mittels der optischen Signalleitung17 übertragenen Daten, in der Hochspannungseinheit2 umgeformt werden.
Claims (12)
- Elektronenquelle, mit einem eine Elektronenemissionskathode (
9 ,10 ) aufweisenden Elektronenemitter (7 ,8 ), einer zur Energieversorgung der Elektronenemissionskathode (9 ,10 ) vorgesehenen Hochspannungseinheit (2 ), sowie einer zur Ansteuerung der Hochspannungseinheit (2 ) vorgesehenen Niederspannungseinheit (3 ), wobei zwischen der Hochspannungseinheit (2 ) und der Niederspannungseinheit (3 ) eine elektrisch isolierende Datenübertragungsstrecke (16 ,17 ,18 ) ausgebildet ist, dadurch gekennzeichnet, dass in die Hochspannungseinheit (2 ) eine Signalverarbeitungseinheit (19 ) integriert ist, welche zur Verarbeitung mindestens eines den Elektronenemitter (7 ,8 ) betreffenden Messwerts, welcher einen Rückschluss auf die Temperatur des Elektronenemitters (7 ,8 ) zulässt, ausgebildet ist. - Elektronenquelle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Datenübertragungsstrecke (
16 ,17 ,18 ) als optische Datenübertragungsstrecke ausgebildet ist. - Elektronenquelle nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Datenübertragungsstrecke (
16 ,17 ,18 ) zur bidirektionalen Datenübertragung ausgebildet ist. - Elektronenquelle nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Elektronenemitter (
5 ) eine Steuerelektrode (11 ,12 ) aufweist. - Elektronenquelle nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuerelektrode (
11 ,12 ) als Gitter ausgebildet ist. - Elektronenquelle nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass zur Energieversorgung des Elektronenemitters (
7 ,8 ) eine einpolige Hochspannungsleitung (24 ) vorgesehen ist. - Elektronenquelle nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Hochspannungsleitung (
24 ) widerstandsdämpft ist. - Verfahren zum Betreiben einer Elektronenquelle (
1 ), mit folgenden Merkmalen: – Es wird ein eine Elektronenemissionskathode (9 ,10 ) aufweisender Elektronenemitter (7 ,8 ), eine zur Energieversorgung der Elektronenemissionskathode (9 ,10 ) vorgesehene Hochspannungseinheit (2 ), sowie eine zur Ansteuerung der Hochspannungseinheit (2 ) vorgesehene Niederspannungseinheit (3 ) bereitgestellt, – zwischen der Hochspannungseinheit (2 ) und der Niederspannungseinheit (3 ) werden auf nicht-elektrischem Weg den Elektronenemitter (7 ,8 ) betreffende Daten transferiert, – ein einen Rückschluss auf die Temperatur der Elektronenemissionskathode (9 ,10 ) zulassender Messwert wird erfasst. - Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass der durch die Elektronenemissionskathode (
9 ,10 ) fließende Strom gemessen wird und der entsprechende Messwert nicht-elektrisch von der Hochspannungseinheit (2 ) zur Niederspannungseinheit (3 ) übertragen wird. - Verfahren nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Widerstand der Elektronenemissionskathode (
9 ,10 ) messtechnisch bestimmt wird und die entsprechenden Daten nicht-elektrisch von der Hochspannungseinheit (2 ) zur Niederspannungseinheit (3 ) übertragen werden. - Verfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass der einen Rückschluss auf die Temperatur der Elektronenemissionskathode (
9 ,10 ) zulassende Messwert als Regelgröße zum Betrieb des Elektronenemitters (7 ,8 ) verwendet wird. - Verfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass auf nicht-elektrischem Weg Daten von der Niederspannungseinheit (
3 ) zur Hochspannungseinheit (2 ) übertragen werden, welche eine mit der Elektronenemissionskathode (9 ,10 ) zusammenwirkende Steuerelektrode (11 ,12 ) betreffen.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102007042108A DE102007042108B4 (de) | 2007-09-05 | 2007-09-05 | Elektronenquelle mit zugehöriger Messwerterfassung |
US12/205,002 US8026674B2 (en) | 2007-09-05 | 2008-09-05 | Electron source and method for the operation thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102007042108A DE102007042108B4 (de) | 2007-09-05 | 2007-09-05 | Elektronenquelle mit zugehöriger Messwerterfassung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102007042108A1 DE102007042108A1 (de) | 2009-03-12 |
DE102007042108B4 true DE102007042108B4 (de) | 2010-02-11 |
Family
ID=40339857
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102007042108A Active DE102007042108B4 (de) | 2007-09-05 | 2007-09-05 | Elektronenquelle mit zugehöriger Messwerterfassung |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8026674B2 (de) |
DE (1) | DE102007042108B4 (de) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102010043540A1 (de) | 2010-11-08 | 2012-03-15 | Siemens Aktiengesellschaft | Röntgenröhre |
DE102010043561A1 (de) | 2010-11-08 | 2012-05-10 | Siemens Aktiengesellschaft | Elektronenquelle |
DE102011081138A1 (de) * | 2011-08-17 | 2012-09-20 | Siemens Aktiengesellschaft | Röntgenvorrichtung mit einer Multistrahl-Röntgenröhre |
DE102011076912A1 (de) * | 2011-06-03 | 2012-12-06 | Siemens Aktiengesellschaft | Röntgengerät umfassend eine Multi-Fokus-Röntgenröhre |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102008050350A1 (de) * | 2008-10-02 | 2010-04-08 | Yxlon International X-Ray Gmbh | Hochspannungssystem zum Einstellen eines Hochspannungspotenzials |
EP2419909B1 (de) | 2009-04-14 | 2013-01-23 | Siemens AG | Strahlkopf |
DE102009034646A1 (de) * | 2009-07-24 | 2010-09-16 | Siemens Aktiengesellschaft | Strahlkopf |
US10192708B2 (en) * | 2015-11-20 | 2019-01-29 | Oregon Physics, Llc | Electron emitter source |
US10991539B2 (en) * | 2016-03-31 | 2021-04-27 | Nano-X Imaging Ltd. | X-ray tube and a conditioning method thereof |
US10141855B2 (en) | 2017-04-12 | 2018-11-27 | Accion Systems, Inc. | System and method for power conversion |
EP3973182A4 (de) | 2019-05-21 | 2023-06-28 | Accion Systems, Inc. | Vorrichtung zur elektrospray-emission |
EP3933881A1 (de) | 2020-06-30 | 2022-01-05 | VEC Imaging GmbH & Co. KG | Röntgenquelle mit mehreren gittern |
DE102020210118B4 (de) | 2020-08-11 | 2022-03-24 | Siemens Healthcare Gmbh | Steuern einer Röntgenröhre |
DE102022206833A1 (de) | 2021-09-01 | 2023-03-02 | Siemens Healthcare Gmbh | Betreiben einer Röntgenröhre |
EP4312244A1 (de) | 2022-07-28 | 2024-01-31 | Siemens Healthcare GmbH | Röntgenstrahlenquelle mit einer gitterspannungseinheit |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1331113A (en) * | 1970-11-05 | 1973-09-19 | Secr Defence | Control apparatus for an electron beam welding machine |
DE2460424A1 (de) * | 1974-12-20 | 1976-07-01 | Inst Fuer Kerntechnik & Energ | Strahlstromsteuerung einer elektronenstrahl-schweissmaschine |
JPS5750757A (en) * | 1980-09-10 | 1982-03-25 | Mitsubishi Electric Corp | Power source for electron beam generator |
DE3130383A1 (de) * | 1980-08-09 | 1982-04-08 | Rolls-Royce Ltd., London | Steuereinrichtung fuer eine elektronenstrahlquelle |
JPS5940449A (ja) * | 1982-08-30 | 1984-03-06 | Mitsubishi Electric Corp | 電子ビ−ム加工装置のバイアス電圧制御装置 |
JPS5940450A (ja) * | 1982-08-30 | 1984-03-06 | Mitsubishi Electric Corp | 電子ビ−ム加工装置 |
DE3239337A1 (de) * | 1982-10-23 | 1984-04-26 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Hilfsspannungsquelle zur versorgung von auf hochspannungspotential liegenden elektrischen schaltungen |
DE4031286A1 (de) * | 1990-10-04 | 1992-04-09 | Leybold Ag | Einrichtung fuer die stromversorgung einer gluehkathode |
DE19522221A1 (de) * | 1995-06-20 | 1997-01-02 | Zeiss Carl Fa | Verfahren zur Regelung des Emissionsstromes einer Elektronenquelle und Elektronenquelle mit einer Regelung des Emissionsstromes |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3039283A1 (de) | 1979-10-19 | 1981-05-14 | Hitachi, Ltd., Tokyo | Feldemissionskathode und verfahren zu ihrer herstellung |
JP3235172B2 (ja) * | 1991-05-13 | 2001-12-04 | セイコーエプソン株式会社 | 電界電子放出装置 |
JPH06249889A (ja) * | 1993-02-27 | 1994-09-09 | Yokogawa Hewlett Packard Ltd | 電圧電流測定ユニットおよび電圧電流測定方法 |
US6232040B1 (en) * | 1999-05-06 | 2001-05-15 | Agere Systems, Inc. | Method of electron beam exposure utilizing emitter with conductive mesh grid |
US6333968B1 (en) * | 2000-05-05 | 2001-12-25 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Transmission cathode for X-ray production |
US6942186B1 (en) * | 2001-03-07 | 2005-09-13 | Star Technology And Research, Inc. | Method and apparatus for propulsion and power generation using spinning electrodynamic tethers |
-
2007
- 2007-09-05 DE DE102007042108A patent/DE102007042108B4/de active Active
-
2008
- 2008-09-05 US US12/205,002 patent/US8026674B2/en active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1331113A (en) * | 1970-11-05 | 1973-09-19 | Secr Defence | Control apparatus for an electron beam welding machine |
DE2460424A1 (de) * | 1974-12-20 | 1976-07-01 | Inst Fuer Kerntechnik & Energ | Strahlstromsteuerung einer elektronenstrahl-schweissmaschine |
DE3130383A1 (de) * | 1980-08-09 | 1982-04-08 | Rolls-Royce Ltd., London | Steuereinrichtung fuer eine elektronenstrahlquelle |
JPS5750757A (en) * | 1980-09-10 | 1982-03-25 | Mitsubishi Electric Corp | Power source for electron beam generator |
JPS5940449A (ja) * | 1982-08-30 | 1984-03-06 | Mitsubishi Electric Corp | 電子ビ−ム加工装置のバイアス電圧制御装置 |
JPS5940450A (ja) * | 1982-08-30 | 1984-03-06 | Mitsubishi Electric Corp | 電子ビ−ム加工装置 |
DE3239337A1 (de) * | 1982-10-23 | 1984-04-26 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Hilfsspannungsquelle zur versorgung von auf hochspannungspotential liegenden elektrischen schaltungen |
DE4031286A1 (de) * | 1990-10-04 | 1992-04-09 | Leybold Ag | Einrichtung fuer die stromversorgung einer gluehkathode |
DE19522221A1 (de) * | 1995-06-20 | 1997-01-02 | Zeiss Carl Fa | Verfahren zur Regelung des Emissionsstromes einer Elektronenquelle und Elektronenquelle mit einer Regelung des Emissionsstromes |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102010043540A1 (de) | 2010-11-08 | 2012-03-15 | Siemens Aktiengesellschaft | Röntgenröhre |
DE102010043561A1 (de) | 2010-11-08 | 2012-05-10 | Siemens Aktiengesellschaft | Elektronenquelle |
US9552955B2 (en) | 2010-11-08 | 2017-01-24 | Siemens Healthcare Gmbh | Electron source |
DE102011076912A1 (de) * | 2011-06-03 | 2012-12-06 | Siemens Aktiengesellschaft | Röntgengerät umfassend eine Multi-Fokus-Röntgenröhre |
DE102011076912B4 (de) * | 2011-06-03 | 2015-08-20 | Siemens Aktiengesellschaft | Röntgengerät umfassend eine Multi-Fokus-Röntgenröhre |
DE102011081138A1 (de) * | 2011-08-17 | 2012-09-20 | Siemens Aktiengesellschaft | Röntgenvorrichtung mit einer Multistrahl-Röntgenröhre |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20090058319A1 (en) | 2009-03-05 |
DE102007042108A1 (de) | 2009-03-12 |
US8026674B2 (en) | 2011-09-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE102007042108B4 (de) | Elektronenquelle mit zugehöriger Messwerterfassung | |
DE102010043561B4 (de) | Elektronenquelle | |
DE102007055795A1 (de) | Vorrichtung zur Überwachung von Bürsten, insbesondere von Schleifring- oder Kommutatorbürsten, an Elektromaschinen | |
DE4116871C2 (de) | Mikrowellenofen mit Wechsel/Gleichspannungsversorgung | |
DE4124268C2 (de) | Teilentladungsdetektionsvorrichtung | |
DE1908153A1 (de) | Faser-optisches Lichtleitersystem | |
DE102015202597A1 (de) | Schaltungsanordnung zur Kabelprüfung, Kabeltestung, Kabeldiagnose und/oder Kabelfehlerortung und Gerät mit einer derartigen Schaltungsanordnung | |
EP3308179B1 (de) | Schaltvorrichtung, testvorrichtung und verfahren zum betreiben einer schaltvorrichtung für ein messgerät für einen transformator | |
DE10301068B4 (de) | Röntgeneinrichtung mit einer Röntgenröhre | |
DE102011107375B4 (de) | Einrichtung zur Nachbildung und Anzeige der Wicklungstemperatur eines elektrischen Leistungstransformators und dazu geeignete Begrenzungsschaltung | |
EP3874283B1 (de) | Verfahren und messvorrichtung zur ermittlung der induktivität eines elektrischen bauelements | |
DE102012102398B4 (de) | Leistungstransformator mit elektronischen Bauelementen | |
DE102010043540A1 (de) | Röntgenröhre | |
DE3516251A1 (de) | Vorrichtung zum ueberwachen eines schalters oder eines widerstandskreises | |
DE102015226430A1 (de) | Getaktete Stromversorgung mit Kleinspannungsausgang | |
DE102011052449A1 (de) | Stromwandler sowie Lasttrenner mit einem solchen | |
WO2019219196A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur erkennung eines windungsschlusses bei parallel angeordneten wicklungen | |
EP0780104A2 (de) | Bestrahlungsgerät zur Aushärtung von Kunststoffen | |
DE3739009C2 (de) | Zahnärztliche Einrichtung mit Mitteln zur Zufuhr von HF- und NF-Energie an ein zahnärztliches Handstück | |
DE102019126136A1 (de) | Verfahren und Einrichtung zum Ermitteln einer eine Temperatur eines Widerstandstemperaturfühlers beschreibenden Temperaturinformation, Wechselrichter, Fahrzeug und Computerprogramm | |
CH682866A5 (de) | Hochspannungsschalter. | |
EP2818877A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung einer Gleichspannung in einem galvanisch isolierten System | |
DE3130383A1 (de) | Steuereinrichtung fuer eine elektronenstrahlquelle | |
DE102020212085A1 (de) | System zur Regelung einer Hochspannung für Röntgenanwendungen, ein Röntgenerzeugungssystem und ein Verfahren zur Regelung einer Hochspannung | |
WO1998026299A1 (de) | Vorrichtung zur zustandserfassung von n leistungskondensatoren einer hochspannungskondensatorbatterie |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8120 | Willingness to grant licences paragraph 23 | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
R081 | Change of applicant/patentee |
Owner name: SIEMENS HEALTHCARE GMBH, DE Free format text: FORMER OWNER: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT, 80333 MUENCHEN, DE |
|
R081 | Change of applicant/patentee |
Owner name: SIEMENS HEALTHINEERS AG, DE Free format text: FORMER OWNER: SIEMENS HEALTHCARE GMBH, MUENCHEN, DE |