DE102007012111B4 - Arrangement for generating an electric field, and including the same realized sensor device - Google Patents

Arrangement for generating an electric field, and including the same realized sensor device Download PDF

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Abstract

Schaltungsanordnung mit: – einer Feldbereitungselektrodeneinrichtung die als solche in ein LC-Netzwerk eingebunden ist, und die derart zu einem Feldraumbereich hin freiliegt, dass sich die Kapazität eines unter Einschluss der Feldbereitungselektrodeneinrichtung gebildeten Kondensatorsystems in Abhängigkeit von den dielektrischen Eigenschaften der in dem Feldraumbereich vorhandenen Materie ändert, – einer Isolatorlage, die sich auf einer dem Feldraumbereich abgewandten Rückseite der Feldbereitungselektrodeneinrichtung erstreckt, – einer Abschirmelektrodeneinrichtung, die sich auf einer der Feldbereitungselektrodeneinrichtung abgewandten Rückseite der Isolatorlage erstreckt, und – einer Feldextinktionselektrodeneinrichtung, die als solche eine einem Extinktionsbereich zugewandte Elektrodenfläche aufweist, – wobei die Feldbereitungselektrodeneinrichtung und die Feldextinktionselektrodeneinrichtung derart angeordnet und spannungsbeaufschlagt sind, dass der Feldraumbereich und der Extinktionsbereich einander abschnittsweise überlagern, wobei die Feldextinktionselektrodeneinrichtung derart angeordnet und angeschaltet ist, dass durch diese der Raum vor dem Sensor aufgeteilt und eine Randzone des in den Feldraumbereich eindringenden Feldes der Feldbereitungselektrodeneinrichtung ausgeblendet wird.Circuit arrangement comprising: a field-preparation electrode device, which as such is integrated into an LC network and exposed to a field space region in such a way that the capacitance of a capacitor system formed with the field-preparation electrode device changes depending on the dielectric properties of the material present in the field space region An insulator layer which extends on a rear side of the field preparation electrode device facing away from the field space region, a shielding electrode device which extends on a rear side of the insulator layer facing away from the field preparation electrode device, and a field extinction electrode device, which as such has an electrode surface facing an extinction region, the field preparation electrode device and the field extinction electrode device are arranged and subjected to a voltage such that the field space region u The extinction region is overlapped in sections, the field extinction electrode device being arranged and connected in such a way that it divides the space in front of the sensor and hides an edge zone of the field of the field preparation electrode device penetrating into the field space region.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Anordnung zur Generierung eines hinsichtlich seiner räumlichen Ausbreitung markant beeinflussten elektrischen Feldes, sowie auch auf eine unter Einschluss derselben gebildete Sensoreinrichtung.The invention relates to an arrangement for generating a markedly influenced in terms of its spatial propagation electric field, as well as on a sensor device including the inclusion thereof.

Aus der US 5,442,347 A ist eine Schaltungsanordnung für einen kapazitiven Näherungssensor bekannt, die eine erste Elektrodeneinrichtung umfasst, die zu einem Feldraumbereich hin freiliegt, sodass sich die Kapazität des unter Einschluss der Elektrodeneinrichtung gebildeten Kondensatorsystems in Abhängigkeit von den dielektrischen Eigenschaften der in dem Feldraumbereich vorhandenen Materie ändert. Des Weiteren ist eine Schirmelektrode vorgesehen, die sich auf einer Rückseite der Elektrodeneinrichtung erstreckt. Ferner ist eine zweite Elektrodeneinrichtung vorgesehen, wobei die erste und die zweite Elektrodeneinrichtung derart angeordnet und spannungsbeaufschlagt sind, dass der Feldraumbereich und ein Extinktionsbereich einander abschnittsweise überlagern.From the US 5,442,347 A a circuit arrangement for a capacitive proximity sensor is known which comprises a first electrode device which is exposed to a field space area, so that the capacitance of the capacitor system formed with the inclusion of the electrode device changes depending on the dielectric properties of the material present in the field space area. Furthermore, a shield electrode is provided, which extends on a rear side of the electrode device. Furthermore, a second electrode device is provided, wherein the first and the second electrode device are arranged and subjected to stress such that the field space region and an extinction region overlap one another in sections.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, Lösungen zu schaffen durch welche es möglich wird, ein an sich quasistatisches elektrisches Wechselfeld zu generieren, das sich mit einer gewissen Fokussierung in einen als Überwachungs- oder Signalübertragungsbereich relevanten Präferenzbereich hinein ausbreitet.The invention has for its object to provide solutions by which it is possible to generate a quasi-static alternating electric field, which propagates with a certain focus in a relevant as a monitoring or signal transmission range preference area.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch eine Schaltungsanordnung mit:

  • – einer Feldbereitungselektrodeneinrichtung die als solche in ein LC-Netzwerk eingebunden ist, und die derart zu einem Feldraumbereich hin freiliegt, dass sich die Kapazität eines unter Einschluss der Feldbereitungselektrodeneinrichtung gebildeten Kondensatorsystems in Abhängigkeit von den dielektrischen Eigenschaften der in dem Feldraumbereich vorhandenen Materie ändert,
  • – einer Isolatorlage, die sich auf einer dem Feldraumbereich abgewandten Rückseite der Feldbereitungselektrodeneinrichtung erstreckt,
  • – einer Abschirmelektrodeneinrichtung, die sich auf einer der Feldbereitungselektrodeneinrichtung abgewandten Rückseite der Isolatorlage erstreckt, und
  • – einer Feldextinktionselektrodeneinrichtung, die als solche eine einem Extinktionsbereich zugewandte Elektrodenfläche aufweist, wobei die Feldbereitungselektrodeneinrichtung und die Feldextinktionselektrodeneinrichtung derart angeordnet und spannungsbeaufschlagt sind, dass der Feldraumbereich und der Extinktionsbereich einander abschnittsweise überlagern, und wobei die Feldextinktionselektrodeneinrichtung derart angeordnet und angeschaltet ist, dass durch diese der Raum vor dem Sensor aufgeteilt und eine Randzone des in den Feldraumbereich eindringenden Feldes der Feldbereitungselektrodeneinrichtung ausgeblendet wird.
This object is achieved by a circuit arrangement with:
  • A field preparation electrode device which as such is integrated in an LC network and which is exposed in such a way to a field space region that the capacitance of a capacitor system formed with the inclusion of the field preparation electrode device changes depending on the dielectric properties of the material present in the field space region,
  • An insulator layer which extends on a rear side of the field preparation electrode device facing away from the field space region,
  • A shielding electrode device which extends on a rear side of the insulator layer facing away from the field preparation electrode device, and
  • A field extinction electrode device having, as such, an electrode surface facing an extinction region, wherein the field formation electrode device and the field extinction electrode device are arranged and energized such that the field space region and the extinction region overlap each other in sections, and wherein the field extinction electrode device is arranged and turned on so as to cause the field extinction electrode device Space is divided in front of the sensor and an edge zone of the penetrating into the field space field of the field preparation electrode device is hidden.

Dadurch wird es auf vorteilhafte Weise möglich, den seitlich ausfließenden Randbereich des durch die Feldbereitungselektrode generierten Feldes zu kappen und den über die Feldbereitungselektrode observierten Raumbereich relativ scharf zu begrenzen.This makes it possible in an advantageous manner to cut off the laterally outflowing edge region of the field generated by the field preparation electrode and to limit the spatial region observed via the field preparation electrode relatively sharply.

Zwischen der Feldbereitungselektrodeneinrichtung und der Feldextinktionselektrodeneinrichtung ist vorzugsweise eine Trennelektrodeneinrichtung vorgesehen ist. Diese Trennelektrodeneinrichtung ist vorzugsweise zwischen zwei Isolatormateriallagen aufgenommen und mit der Abschirmelektrodeneinrichtung gekoppelt. Die Trennelektrodeneinrichtung kann mit der Abschirmelektrodeneinrichtung direkt leitend gekoppelt sein, insbesondere integral mit diese ausgebildet sein.Between the field preparation electrode device and the field extinction electrode device, a separation electrode device is preferably provided. This separation electrode device is preferably accommodated between two insulator material layers and coupled to the shielding electrode device. The separating electrode device may be coupled directly to the shielding electrode device, in particular integrally formed therewith.

An die Feldextinktionselektrodeneinrichtung wird erfindungsgemäß eine Spannung mit einem in Bezug zur Spannung an der Feldbereitungselektrodeneinrichtung phasenversetzten Verlauf angelegt. Der Phasenversatz beträgt vorzugsweise im Wesentlichen π und die Spannung liegt vorzugsweise in der Größenordnung der Spannung an der Feldbereitungselektrodeneinrichtung. Es ist möglich, die Schaltung so aufzubauen, dass der Phasenversatz und der Spannungsabstand einstellbar veränderbar sind.According to the invention, a voltage having a phase-offset characteristic with respect to the voltage at the field-preparing electrode device is applied to the field extinction electrode device. The phase offset is preferably substantially π and the voltage is preferably of the order of magnitude of the voltage at the field preparation electrode device. It is possible to construct the circuit in such a way that the phase offset and the voltage interval can be variably changed.

Die Trennelektrodeneinrichtung kann so ausgebildet sein, dass diese stegartig zwischen der Feldbereitungselektrode und der Feldextinktionselektrode verläuft. Die Trennelektrodeneinrichtung kann insbesondere integral mit der Abschirmelektrodeneinrichtung ausgebildet sein.The separating electrode device can be designed such that it runs like a web between the field-preparing electrode and the field extinction electrode. The separation electrode device may in particular be formed integrally with the shielding electrode device.

Durch das erfindungsgemäße Konzept wird es möglich, relativ niederfrequent betriebene kapazitive Sensoren mit ausgeprägter Richtwirkung zu realisieren. Die Erfindung ermöglicht es, kapazitive Sensoren durch eine geeignete Sensor-Struktur und eine geeignete Elektronik mit einer Richtcharakteristik zu versehen.The inventive concept makes it possible to realize relatively low-frequency operated capacitive sensors with pronounced directivity. The invention makes it possible to provide capacitive sensors with a directional characteristic by means of a suitable sensor structure and suitable electronics.

Die Feld bereitungselektrodeneinrichtung bildet Bestandteil eines Oszillators, dessen frequenzbestimmende Kapazität von den dielektrischen Eigenschaften der Umgebung der Feldbereitungselektrodeneinrichtung abhängig ist. Nähert sich ein Körper der Feldbereitungselektrodeneinrichtung, so erhöht sich die Kapazität und damit verändert sich die Frequenz. Damit Masseflächen nicht die Empfindlichkeit des Systems reduzieren, wird die Massefläche durch ein mit dem Sensor gleichphasiges Signal gleicher Spannung ausgeblendet. (Transimpedanzwandler als Shield-Treiber)The field preparation electrode device forms part of an oscillator whose frequency-determining capacitance is dependent on the dielectric properties of the environment of the field preparation electrode device. When a body approaches the field-preparation electrode device, the capacitance increases and thus the frequency changes. So that ground planes do not reduce the sensitivity of the system, the ground plane becomes in-phase with the sensor same voltage hidden. (Transimpedance converter as shield driver)

Weitere Einzelheiten und Merkmale der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung in Verbindung mit der Zeichnung. Es zeigtFurther details and features of the invention will become apparent from the following description taken in conjunction with the drawings. It shows

1 ein Prinzipschaltbild eines auf der Nutzung feldelektrischer Wechselwirkungseffekte basierenden Sensorsystems; 1 a schematic diagram of a based on the use of field-electric interaction effects sensor system;

2 eine Prinzipskizze zur Veranschaulichung der Empfindlichkeitsverteilung bei einem flächig aufgebauten Sensor ohne Shield; 2 a schematic diagram illustrating the sensitivity distribution in a surface mounted sensor without shield;

3 eine Prinzipskizze zur Veranschaulichung der Empfindlichkeitsverteilung bei einem flächig aufgebauten Sensor mit Shield; 3 a schematic diagram illustrating the sensitivity distribution in a surface mounted sensor with shield;

4 eine Prinzipskizze zur Veranschaulichung eines mit einer Feldextinktionselektrodeneinrichtung und einer Abschirmstegelektrode versehenen Cutted-Field Sensors; 4 a schematic diagram illustrating a provided with a field extinction electrode means and a Abschirmstegelektrode cutted-field sensor;

5 eine Prinzipskizze zur Veranschaulichung der Anschaltung der Elektroden des Sensors nach 4 für gegenphasige Spannungsbeaufschlagung der Feldextinktionselektrode; (Cutted-Field Betriebsmodus) 5 a schematic diagram for illustrating the connection of the electrodes of the sensor according to 4 for anti-phase voltage application of the field extinction electrode; (Cutted-Field operating mode)

6 eine Prinzipskizze zur Veranschaulichung der Anschaltung der Elektroden des Sensors nach 4 für gleichphasige Spannungsbeaufschlagung der Feldextinktionselektrode (Wide-Field Betriebsmodus). 6 a schematic diagram for illustrating the connection of the electrodes of the sensor according to 4 for in-phase voltage application of the field extinction electrode (wide-field operating mode).

1 zeigt ein Prinzipschaltbild eines auf der Nutzung feldelektrischer Wechselwirkungseffekte basierenden Sensorsystems. Über dieses Sensorsystems kann ein der Feldbereitungselektrode vorgelagerter Raumbereich RB observiert werden. Dies erfolgt indem die Feldbereitungselektrode Bestandteil eines LC-Netzwerkes bildet. Die Feldbereitungselektrode bildet hierbei insbesondere Teil einer für das LC-Netzwerk frequenzbestimmenden Kapazität. Diese Kapazität wird durch Änderungen der dielektrischen Eigenschaften der Materie im Raumbereich RB beeinflusst. 1 shows a schematic diagram of a based on the use of field-electric interaction effects sensor system. By means of this sensor system, a space region RB upstream of the field preparation electrode can be observed. This is done by the field preparation electrode forms part of an LC network. The field preparation electrode in this case forms part of a frequency determining the frequency of the LC network. This capacity is influenced by changes in the dielectric properties of matter in the RB space.

In 2 ist dargestellt, welche Zonen des die Feldbereitungselektrodeneinrichtung umgebenden Raumbereiches für die Kapazität des unter Einschluss der Feldbereitungselektrodeneinrichtung gebildeten Kondensatorsystems haben. Wie erkennbar sind die den an die Hauptflächen der Feldbereitungselektrodeneinrichtung angrenzenden Raumsegmente für die Kapazität in einem höheren Ausmaß prägend, als die randseitig zwischen den genannten Raumsegmenten umlaufenden Randraumzwickel.In 2 It is shown which zones of the space area surrounding the field preparation electrode device have the capacitance of the capacitor system formed with the inclusion of the field preparation electrode device. As can be seen, the space segments adjacent to the main surfaces of the field preparation electrode device are more capacious for the capacitance than the peripheral edge gussets encircling the edge regions between said space segments.

In 3 ist eine einseitig abgeschirmte Anordnung einer Feldbereitungselektrodeneinrichtung dargestellt. Bei dem Ausführungsbeispiel nach 3 ist es so, dass die Frequenzänderung eines Körpers an die Feldbereitungselektrode die Frequenzänderung umso größer ist, je mehr Elektrodenfläche jenem sich annähernden Körper gegenübersteht.In 3 is a one-sided shielded arrangement of a field preparation electrode device is shown. According to the embodiment 3 it is such that the frequency change of a body to the field preparation electrode, the larger the electrode surface faces that approaching body.

Das nachfolgend insbesondere in Verbindung mit 4 beschriebene Konzept macht es möglich, bereits mit relativ niederfrequenten (quasi statisch betriebenen) Sensoren im Nahfeld eine gute Richtwirkung zu erzielen. Durch das erfindungsgemäße Konzept wird es möglich, den Raum vor dem Sensor aufzuteilen und ein Raumsegment auszublenden. Es entsteht dabei eine Richtcharakteristik, die für niederfrequent betriebene kapazitive Sensoren untypisch ausgeprägt ist. Durch das erfindungemäße Konzept wird es auf vorteilhafte Weise möglich, in relativ markant begrenzten einem Raumsegment auf Bewegungen zu reagieren (Detektieren, Schalten, Regeln, etc.) und die Bewegungen in einem anderen Raumsegment zu ignorieren.The following in particular in connection with 4 described concept makes it possible to achieve a good directivity even with relatively low frequency (quasi static operated) sensors in the near field. The inventive concept makes it possible to divide the space in front of the sensor and hide a space segment. This results in a directional characteristic, which is atypical for low-frequency operated capacitive sensors. Due to the concept according to the invention, it is advantageously possible to react to movements (detecting, switching, regulating, etc.) in a relatively markedly limited one space segment and to ignore the movements in another space segment.

Es sind erfindungsgemäß Elektroden vorgesehen, deren Wirkung es ist, das elektrische Sensor-Feld in einem gewünschten Raum effektiv zu neutralisieren bzw. ,abzusaugen'. Im weiteren wird deshalb von ,Saugelektroden' gesprochen. 4 zeigt den prinzipiellen Sensor-Aufbau. Die Elektrodenanordnung kann dabei auch variiert werden. Es kann beispielsweise der Sensor auch oder zusätzlich in die Vertikale gezogen werden um eine erhöhte Empfindlichkeit in x-Richtung zu erlangen.According to the invention, electrodes are provided whose effect is to effectively neutralize or 'suck off' the electric sensor field in a desired space. In the following, therefore, is spoken of 'suction electrodes'. 4 shows the basic sensor structure. The electrode arrangement can also be varied. For example, the sensor can also be pulled in the vertical or additionally in order to obtain an increased sensitivity in the x-direction.

5 veranschaulicht den prinzipiellen Aufbau der erfindungsgemäßen Schaltung. Um eine gute Feldneutralisation im unerwünschten Raumsegment zu erreichen, wird die Saugelektrode gegenüber der Sensor-Elektrode gegenphasig angesteuert. 5 illustrates the basic structure of the circuit according to the invention. In order to achieve a good field neutralization in the unwanted space segment, the suction electrode is driven in anti-phase with respect to the sensor electrode.

Die Erfindung kann mit besonderem Vorteil dort eingesetzt werden, wo eine ausgeprägte Richtwirkung notwendig ist. Dies ist z. B. bei Ersatz von Lichtschranken oder Lichtgittern der Fall oder bei einem Einklemmschutz, bei dem ganz gezielt nur der gefährdete Bereich detektiert wird. Sie eignet sich auch für eine Aneinander-Reihung von Kapazitiven Schalter auf engstem Raum.The invention can be used with particular advantage where a pronounced directivity is necessary. This is z. As in the case of replacement of light barriers or light curtains of the case or in a pinch protection, in which only specifically the vulnerable area is detected. It is also suitable for a juxtaposition of capacitive switches in a confined space.

Es ist möglich, die jeweilige Sensorschaltung, adressierbar ansteuerbar zu gestalten. Es ist auch möglich, deren Funktionsweise phasenweise zu variieren. So kann beispielsweise für eine bestimmte Anzahl oder Zeitdauer von Wechselzyklen des Detektionsfeldes auch die Art der Begrenzung des Detektionsfeldes – vorzugsweise adressiert angesteuert – verändert werden. Hierdurch wird eine Kombinierte Überwachung des umfassenden Observationsbereiches und eine Unterscheidung zwischen der Präsenz eines Objektes im gekappten, oder im großen Bereich möglich. Es ist grundsätzlich auch möglich, schaltungstechnische Maßnahmen zu treffen die es ermöglichen ausgewählte Elektroden wechselweise als Feldbereitungs- und als Feldextinktionselektroden zu verwenden.It is possible to design the respective sensor circuit in an addressable manner. It is also possible to vary their operation in phases. Thus, for example, for a certain number or duration of change cycles of the detection field and the type of limitation of the detection field - preferably addressed addressed - be changed. As a result, a combined monitoring of the comprehensive observation area and a distinction between the presence of an object in the capped, or in the large area possible. In principle, it is also possible to take circuit-technical measures which make it possible to use selected electrodes alternately as field preparation and as field extinction electrodes.

Wie aus 6 ersichtlich, kann zur Erhöhung der Empfindlichkeit die Ground-Kapazität reduziert/kompensiert werden. Dies ist durch Verwendung der Sensor-Geometrie (Sensor + Shield) möglich, wenn Ground-Flächen über den Sensor hinaus mit einer Shield-Elektrode kompensiert werden. Auf kleinerem Raum ist die Erhöhung der Empfindlichkeit möglich, wenn eine weitere Elektrode zugefügt wird, die mit einer gleichphasig, höheren Spannung als der Sensor betrieben wird. Die Spannungsverstärkung Vu des Treibers muss also größer als eins sein. Dies ist auch in Kombination mit einer Saugelektrode möglich. Die Auswertung der kapazitiven Änderung kann mit allen üblichen Auswerteverfahren erfolgen, wie z. B. Frequenzverfahren, Phasenverfahren, Amplitudenverfahren.How out 6 can be seen, the ground capacitance can be reduced / compensated to increase the sensitivity. This is possible by using the sensor geometry (Sensor + Shield) when compensating ground areas beyond the sensor with a shield electrode. In a smaller space, the increase in sensitivity is possible if another electrode is added, which is operated with an in-phase, higher voltage than the sensor. The voltage gain Vu of the driver must therefore be greater than one. This is also possible in combination with a suction electrode. The evaluation of the capacitive change can be done with all conventional evaluation, such. B. frequency method, phase method, amplitude method.

Claims (10)

Schaltungsanordnung mit: – einer Feldbereitungselektrodeneinrichtung die als solche in ein LC-Netzwerk eingebunden ist, und die derart zu einem Feldraumbereich hin freiliegt, dass sich die Kapazität eines unter Einschluss der Feldbereitungselektrodeneinrichtung gebildeten Kondensatorsystems in Abhängigkeit von den dielektrischen Eigenschaften der in dem Feldraumbereich vorhandenen Materie ändert, – einer Isolatorlage, die sich auf einer dem Feldraumbereich abgewandten Rückseite der Feldbereitungselektrodeneinrichtung erstreckt, – einer Abschirmelektrodeneinrichtung, die sich auf einer der Feldbereitungselektrodeneinrichtung abgewandten Rückseite der Isolatorlage erstreckt, und – einer Feldextinktionselektrodeneinrichtung, die als solche eine einem Extinktionsbereich zugewandte Elektrodenfläche aufweist, – wobei die Feldbereitungselektrodeneinrichtung und die Feldextinktionselektrodeneinrichtung derart angeordnet und spannungsbeaufschlagt sind, dass der Feldraumbereich und der Extinktionsbereich einander abschnittsweise überlagern, wobei die Feldextinktionselektrodeneinrichtung derart angeordnet und angeschaltet ist, dass durch diese der Raum vor dem Sensor aufgeteilt und eine Randzone des in den Feldraumbereich eindringenden Feldes der Feldbereitungselektrodeneinrichtung ausgeblendet wird.Circuit arrangement with: A field preparation electrode device which as such is integrated in an LC network and which is exposed in such a way to a field space region that the capacitance of a capacitor system formed with the inclusion of the field preparation electrode device changes depending on the dielectric properties of the material present in the field space region, An insulator layer which extends on a rear side of the field preparation electrode device facing away from the field space region, A shielding electrode device which extends on a rear side of the insulator layer facing away from the field preparation electrode device, and A field extinction electrode device, which as such has an electrode surface facing an extinction region, Wherein the field preparation electrode device and the field extinction electrode device are arranged and subjected to voltage such that the field space region and the extinction region overlap one another in sections, wherein the field extinction electrode means is arranged and turned on in such a way that it divides the space in front of the sensor and hides an edge zone of the field of the field preparation electrode device which penetrates into the field space area. Schaltungsanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der Feldbereitungselektrodeneinrichtung und der Feldextinktionselektrodeneinrichtung eine Trennelektrodeneinrichtung vorgesehen ist.Circuit arrangement according to Claim 1, characterized in that a separating electrode device is provided between the field-preparing electrode device and the field extinction electrode device. Schaltungsanordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Trennelektrodeneinrichtung zwischen zwei Isolatormateriallagen aufgenommen ist.Circuit arrangement according to Claim 2, characterized in that the separating electrode device is accommodated between two insulator material layers. Schaltungsanordnung nach wenigstens einem der Ansprüche 2 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Trennelektrodeneinrichtung mit der Abschirmelektrodeneinrichtung gekoppelt ist.Circuit arrangement according to at least one of claims 2 to 3, characterized in that the separating electrode device is coupled to the Abschirmelektrodeneinrichtung. Schaltungsanordnung nach wenigstens einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Trennelektrodeneinrichtung mit der Abschirmelektrodeneinrichtung direkt leitend gekoppelt ist.Circuit arrangement according to at least one of claims 2 to 4, characterized in that the separating electrode device is coupled directly conducting with the Abschirmelektrodeneinrichtung. Schaltungsanordnung nach wenigstens einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass an die Feldextinktionselektrodeneinrichtung eine Spannung mit einem in Bezug zur Spannung an der Feldbereitungselektrodeneinrichtung phasenversetzten Verlauf angelegt wird.Circuit arrangement according to at least one of Claims 1 to 5, characterized in that a voltage with a phase-offset characteristic with respect to the voltage at the field-preparing electrode device is applied to the field extinction electrode device. Schaltungsanordnung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Phasenversatz im Wesentlichen π beträgt und die Spannung in der Größenordnung der Spannung an der Feldbereitungselektrodeneinrichtung liegt.Circuit arrangement according to claim 6, characterized in that the phase offset is substantially π and the voltage is in the order of magnitude of the voltage at the field preparation electrode device. Schaltungsanordnung nach wenigstens einem der Ansprüche 6 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Phasenversatz einstellbar veränderbar ist.Circuit arrangement according to at least one of claims 6 to 7, characterized in that the phase offset is adjustable variable. Schaltungsanordnung nach wenigstens einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Spannungsabstand zwischen der Feldbereitungselektrode und der Feldextinktionselektrode einstellbar veränderbar ist.Circuit arrangement according to at least one of claims 1 to 8, characterized in that the voltage difference between the field preparation electrode and the field extinction electrode is changeable adjustable. Schaltungsanordnung nach wenigstens einem der Ansprüche 2 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Trennelektrodeneinrichtung stegartig zwischen der Feldbereitungselektrode und der Feldextinktionselektrode verläuft.Circuit arrangement according to at least one of claims 2 to 9, characterized in that the separating electrode means extends web-like between the field preparation electrode and the field extinction electrode.
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