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Die
Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Durchführen
einer kombinatorischen Materialprüfung und einen Materialprobenträger.
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In
der pharmazeutischen Wirkstoffforschung sind kombinatorische Methoden
seit langem etabliert. Die Methode der kombinatorischen Chemie und der
kombinatorischen Analytik findet in den letzten Jahren auch vermehrt
Anwendung in der Materialforschung und -entwicklung, wie z. B. bei
der Entwicklung von Leuchtstoffen (Phosphore für LEDs,
Leuchtstoffröhren), organischen LED Emittern, optischen Filtermaterialien,
Laserfarbstoffen, Szintillatorleuchtstoffen für die Detektion
von Röntgenstrahlung oder von radioaktiver Strahlung, sowie
für die Entwicklung von Katalysatormaterialien, z. B. für
Brennstoffzellen oder auch bei der Entwicklung neuartiger Halbleitermaterialien.
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Die
Bewertung der kombinatorischen Experimente erfolgt insbesondere
mittels optischer Methoden, z. B. durch Absorptions-, Brechungsindex-,
Fluoreszenz- oder sonstiger Emissionsmessungen.
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Für
das kombinatorische Experiment wird üblicherweise ein geeigneter
Träger insbesondere matrixförmig mit den einzelnen
Materialproben des kombinatorischen Experiments versehen und die
einzelnen Materialproben mittels optischer Messmethoden einzeln
sequenziell untersucht. Vor allem bei einer relativ großen
Zahl an Variationen der Materialproben bedeutet dies einen relativ
großen Zeitaufwand für die sequenzielle optische
Messung.
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Die
WO 2006/026796 A1 offenbart
eine Vorrichtung zum Auswerten biochemischer Proben. Die Vorrichtung
weist einen Proben träger, eine eine an einer Auswertevorrichtung
angeschlossene lichtempfindliche Lage umfassende Bilderfassungseinrichtung
und eine Beleuchtungseinrichtung für die Proben auf. Die
auf dem Probenträger vorgesehene lichtempfindliche Lage
der Bilderfassungseinrichtung umfasst eine fotoaktive Schicht auf
Basis organischer Halbleiter zwischen zwei Elektrodenschichten, von
denen die Elektrodenschicht zwischen der fotoaktiven Schicht und
den Proben zumindest bereichsweise lichtdurchlässig ausgebildet
ist.
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Die
Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren und eine Vorrichtung
zum Durchführen einer kombinatorischen Materialprüfung
derart auszuführen, dass eine kombinatorische Materialprüfung schneller
durchführbar ist.
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Eine
weitere Aufgabe der Erfindung ist es, einen Materialprobenträger
für eine Vorrichtung zum Durchführen einer kombinatorischen
Materialprüfung anzugeben.
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Die
Aufgabe der Erfindung wird gelöst durch ein Verfahren zum
Durchführen einer kombinatorischen Materialprüfung,
aufweisend folgende Verfahrenschritte:
- – Bereitstellen
eines eine Mehrzahl von Materialprobenplätzen aufweisenden
flächenhaften Materialprobenträgers, dessen individuelle
Materialprobenplätze mit individuellen Materialproben einer
Mehrzahl von Materialproben einer kombinatorischen Prüfung
versehen sind und die einen eine Mehrzahl von Detektorelementen
aufweisenden flächenhaften organischen Fotodetektor aufweist,
wobei die Materialproben einem Material eines Materialtyps zugeordnet
sind und sich durch wenigstens einen Materialparameter unterscheiden,
jedem individuellen Materalprobenplatz eines der Detektorelemente
zugeordnet ist und die Detektorelemente derart angeordnet sind,
dass durch einen Materialprobenplatz durchtretendes oder durch ihn
emittiertes, reflektiertes oder gestreutes Licht auf sein Detektorelement
fällt,
- – Beleuchten des Materialprobenträgers mit
einer Lichtquelle derart, dass Licht der Lichtquelle oder emittiertes
Licht des Materials der Materialproben gleichzeitig durch alle mit
ihren jeweiligen Materalproben versehenen Materialprobeplätze
tritt und auf die entsprechenden Detektorelemente fällt,
- – Auslesen von von den einzelnen Detektorelementen
erzeugten Signalen aufgrund des auf sie auftreffenden Lichts und
- – Auswerten der erzeugten Signale.
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Die
Aufgabe der Erfindung wird auch gelöst durch eine Vorrichtung
zum Durchführen einer kombinatorischen Materialprüfung,
aufweisend:
- – einen eine Mehrzahl
von Materialprobenplätzen aufweisenden flächenhaften
Materialprobenträger, dessen individuelle Materialprobenplätze
vorgesehen sind, mit individuellen Materialproben einer Mehrzahl
von Materialproben einer kombinatorischen Prüfung versehen
zu werden, wobei die Materialproben einem Material eines Materialtyps zugeordnet
sind und sich durch wenigstens einen Materialparameter unterscheiden,
- – einen eine Mehrzahl von Detektorelementen aufweisenden
flächenhaften organischen Fotodetektor, wobei jedem individuellen
Materalprobenplatz eines der Detektorelemente zugeordnet ist und
die Detektorelemente derart angeordnet sind, dass durch einen Materialprobenplatz
durchtretendes oder durch ihn emittiertes, reflektiertes oder gestreutes
Licht auf sein Detektorelement fällt,
- – eine Lichtquelle zum Beleuchten des Materialprobenträgers
derart, dass Licht der Lichtquelle oder emittiertes Licht des Materials
der Materialproben gleichzeitig durch alle Materialprobeplätze durchtritt
und auf die entsprechenden Detektorelemente fällt,
- – eine Auslesevorrichtung zum Auslesen von von den
einzelnen Detektorelementen erzeugten Signalen aufgrund des auf
sie auftreffenden Lichts und
- – eine Auswertevorrichtung zum Auswerten der erzeugten
Signale.
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Die
weitere Aufgabe der Erfindung wird gelöst durch einen Materialprobenträger
insbesondere für die erfindungsgemäße
Vorrichtung zum Durchführen einer kombinatorischen Materialprüfung,
aufweisend:
- – einen eine Mehrzahl
von Materialprobenplätzen aufweisenden flächenhaften
Materialprobenträger, dessen individuelle Materialprobenplätze
vorgesehen sind, mit individuellen Materialproben einer Mehrzahl
von Materialproben einer kombinatorischen Prüfung versehen
zu werden, wobei die Materialproben einem Material eines Materialtyps zugeordnet
sind und sich durch wenigstens einen Materialparameter unterscheiden,
und
- – einen eine Mehrzahl von Detektorelementen aufweisenden
flächenhaften organischen Fotodetektor, wobei jedem individuellen
Materalprobenplatz eines der Detektorelemente zugeordnet ist und
die Detektorelemente derart angeordnet sind, dass durch einen Materialprobenplatz
durchtretendes oder durch ihn emittiertes, reflektiertes oder gestreutes
Licht auf sein Detektorelement fällt.
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Für
das erfindungsgemäße Verfahren bzw. für
die erfindungsgemäße Vorrichtung zum Durchführen
einer kombinatorischen Materialprüfung wird insbesondere
der erfindungsgemäße Materialprobenträger
verwendet.
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Eine
kombinatorische Materialprüfung wird z. B. bei der Entwicklung
neuer Materialien verwendet, wie beispielsweise bei der Entwicklung
von Leuchtstoffen (Phosphore für LEDs, Leuchtstoffröhren),
organischen LED Emittern, optischen Filtermaterialien, Laserfarbstoffen,
Szintillatorleuchtstoffen für die Detektion von Röntgenstrahlung
oder von radioaktiver Strahlung, sowie für die Entwicklung
von Katalysatormaterialien, z. B. für Brennstoffzellen
oder auch bei der Entwicklung neuartiger Halbleitermaterialien.
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Im
Rahmen der kombinatorischen Materialprüfung wird die Mehrzahl
von Materialproben eines Materials eines Materialtyps untersucht.
Die einzelnen Materialproben unterscheiden sich in wenigstens einem
Materialparameter, sodass insbesondere die Auswirkung dieses Materialparameters
auf die Wirkungsweise des zu entwickelnden bzw. zu prüfenden Materials überprüft
werden kann. Ein Materialparameter ist beispielsweise eine Konzentration
eines Stoffes oder einer Chemikalie, der Bestandteil des zu entwickelnden
bzw. zu prüfenden Materials ist, sodass aufgrund der kombinatorischen
Materialprüfung z. B. die Auswirkung dieser Chemikalie
bzw. Stoffes auf das zu entwickelnde Material getestet werden kann.
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Der
Materialprobenträger umfasst die Mehrzahl von Materialprobenplätzen,
die dafür vorgesehen sind, die Materialproben aufzunehmen.
Je nach Art der Materialproben können die Materialprobenplätze
als Einbuchtungen in dem Materialprobenträger ausgebildet
sind. Diese Ausführungsform ist z. B. bei Flüssigkeiten
vorteilhaft. Die Materialprobenplätze können aber
auch flächig ausgeführt sein. Diese Ausführungsform
ist dann z. B. vorteilhaft, wenn die Materialproben auf die Materialprobenplätze
aufgedampft werden.
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Die
Auswertung der kombinatorischen Materialprüfung erfolgt
mittels Licht, dem die einzelnen Materialproben ausgesetzt werden.
Dieses Licht fällt auf die Materialproben und wird z. B.
für eine Absorptions-, Brechungsindex-, Reflexions-, Fluoreszenz- oder
sonstige Emissionsmessung verwendet. Das auf die Materialproben
auftreffende Licht wird durch die Materialproben verändert,
sodass das veränderte Licht einen Rückschluss
auf die Materialproben erlaubt.
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Die
Auswertung der kombinatorischen Materialprüfung ist dabei
nicht auf die Vermessung mit sichtbarem Licht beschränkt,
sondern kann auch mit längerwelliger Strahlung (z. B. Infrarotstrahlung)
oder kürzerwelliger Strahlung (UV-Strahlung, Röntgenstrahlung
oder radioaktive Strahlung) durchgeführt werden.
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Für
die Messung des durch die Materialproben veränderten Lichts
umfasst der Materialprobenträger erfindungsgemäß den
flächenhaften organischen Fotodetektor, dessen Detektorelemente
derart angeordnet sind, dass einerseits jedem der Materialprobenplätze
ein Detektorelement zugeordnet ist und andererseits jedes Detektorelement
derart am Materialprobenträger angeordnet ist, dass durch
die relevante Materialprobe bzw. den relevanten Materialprobenplatz
durchtretendes oder durch ihn emittiertes, reflektierte oder gestreutes
Licht auf sein Detektorelement fällt.
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Somit
ist es möglich, dass alle Materialproben im Wesentlichen
gleichzeitig beleuchtet und das durch alle Materialproben durchtretende
Licht gleichzeitig aufgenommen werden kann. Dies erlaubt z. B. ein
schnelleres Durchführen der kombinatorischen Materialprüfung.
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Die
Verwendung des flächenhaften organischen Fotodetektors
bietet außerdem den Vorteil, dass diese relativ kostengünstig
auch relativ groß produziert werden können, sodass
der erfindungsgemäße Materialprobenträger
beispielsweise auch als Einweg-Artikel ausgeführt werden
kann.
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Die
Materialprobenplätze und die Detektorelemente können
im Allgemeinen ein beliebiges Muster aufweisen. Nach einer Ausführungsform
sind sie matrixförmig angeordnet.
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Gemäß einer
Variante des erfindungsgemäßen Verfahrens, der
erfindungsgemäßen Vorrichtung bzw. des erfindungsgemäßen
Materialprobenträgers weist der Fotodetektor eine strukturierte
erste Elektrode, eine unstrukturierte zweite Elektrode und eine zwischen
den beiden Elektroden unstrukturierte organische fotoaktive Halbleiterschicht
auf. Außerdem ist nach dieser Variante eine der beiden
Elektroden den Materalprobeplätzen zugewandt und zumindest aus
einem semitransparenten Mate rial gebildet. Somit werden die Detektorelemente
aufgrund der strukturierten ersten Elektrode gebildet. Ein Vorteil
dieser Ausgestaltung ist es, dass der Fotodetektor relativ preisgünstig
hergestellt werden kann.
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Für
den Fall, dass aufgrund der unstrukturierten zweiten Elektrode und
der unstrukturierten Halbleiterschicht ein eventuell entstehendes Übersprechen
zwischen den einzelnen Detektorelementen für eine gegebene
Anwendung zu groß ist, dann kann alternativ die Halbleiterschicht
und/oder die zweite Elektrode auch entsprechend der ersten Elektrode
strukturiert ausgeführt werden.
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Nach
einer Ausführungsform des erfindungsgemäßen
Verfahrens, der erfindungsgemäßen Vorrichtung
bzw. des erfindungsgemäßen Materialprobenträgers
ist der flächenhafte Fotodetektor in den Materalprobenträger
integriert. Dies erlaubt z. B. eine relativ schnelle Durchführung
der kombinatorischen Materialprüfung, da beispielsweise
kein Justieren des flächenhaften Fotodetektors relativ
zu den Materialprobenplätze notwendig ist. Diese Variante
kann insbesondere bei einer Verwendung des erfindungsgemäßen
Materialprobenträgers als Einweg-Artikel vorteilhaft sein.
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Der
Materialprobenträger kann aber auch einen die Materialprobenplätze
aufweisenden ersten Bestandteil und einen vom ersten Bestandteil
lösbaren und den flächenhaften Fotodetektor umfassenden
zweiten Bestandteil aufweisen. Der zweite Bestandteil stellt dann
insbesondere den flächenhaften Fotodetektor dar, der z.
B. auf einem eigenen Substrat aufgetragen ist und für die
Durchführung der Materialprüfung mit dem ersten
Bestandteil in optischen Kontakt gebracht wird. Dann kann beispielsweise
der Fotodetektor wieder verwendbar sein.
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Insbesondere
kann der zweite Bestandteil des Materialprobenträgers als
ein Deckel zum Abdecken des ersten Bestandteils ausgebildet sein.
Dies ist z. B. bei Gasen oder Flüssigkeiten als Materialproben
vorteilhaft.
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Der
Fotodetektor wandelt auftreffendes Licht in elektrische Signale
um, die z. B. mit einer Auslesvorrichtung ausgelesen werden können.
Dieses Auslesen erfolgt z. B. mittels einer Aktiv-Matrix-Ansteuerung
oder einer Passiv-Matrix-Ansteuerung.
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Ein
Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens, der
erfindungsgemäßen Vorrichtung bzw. des erfindungsgemäßen
Materialprobenträgers liegt in der relativ kostengünstigen
Realisierung von relativ großflächigen, insbesondere
matrixförmig ausgebildeten flächenhaften Fotodetektoren,
deren Struktur und Größe relativ einfach der jeweiligen
kombinatorischen Material-Screening-Substrate (Materialprobenträger)
angepasst werden kann.
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Durch
die Verwendung organischer Fotodetektoren ist es möglich,
auch relativ große Flächen für die Materialprüfung
gleichzeitig zu untersuchen. Dies vermeidet z. B. relativ komplexe
und platzintensive Aufbauten von anorganischen Dioden-Array und
ermöglicht auf relativ einfache Weise eine gleichzeitige optische
Evaluierung einer Vielzahl kombinatorischer Parametervariationen.
Dies kann dazu führen, dass der Vorteil eines kombinatorischen
Ansatzes bei der Materialüberprüfung erst richtig
genutzt werden kann, denn aufgrund des erfindungsgemäßen
Verfahrens, der erfindungsgemäßen Vorrichtung
bzw. des erfindungsgemäßen Materialprobenträgers
ist nicht nur die Herstellung, sondern auch die Charakterisierung
der verschiedenen Variationen parallelisiert.
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Derselbe
Ansatz kann auch verwendet werden, um ähnlich wie beim
High-Throughput-Screening von biochemischen Reaktionen auch andere chemische
Reaktionen nachzuweisen, wie z. B. beim Screening potenzieller Reagenz/Katalysator-Kombinationen
für katalytische Reaktionen, Reaktionen von Gasen, Flüssigkeiten,
etc.
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Ausführungsbeispiele
der Erfindung sind in den beiliegenden schematischen Zeichnungen
exemplarisch dargestellt. Es zeigen:
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1 einen
Materialprobenträger mit integriertem Fotodetektor,
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2 eine
Vorrichtung zum Durchführen einer kombinatorischen Materialprüfung,
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3 ein
Flussdiagramm,
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4 den
flächenhaften Fotodetektor der 1,
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5 eine
Draufsicht des Fotodetektors und
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6 einen
weiteren Materialprobenträger.
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Die 1 zeigt
einen Materialprobenträger 1 zum Durchführen
einer kombinatorischen Materialprüfung. Der Materialprobenträger 1 weist
ein Substrat 2 aus einem zumindest semitransparentem Material
auf, das auf seiner einen Oberfläche mit einer Mehrzahl
von Materialprobenplätzen 3 versehen ist. Die
Materialprobenplätze 3 sind dafür vorgesehen, mit
Materialproben 4 eines Materialtyps versehen zu werden,
damit die Materialproben 4 mittels einer in der 2 dargestellten
Prüfvorrichtung 20 einer kombinatorischen Prüfung
unterzogen werden können. Der Ablauf der kombinatorischen
Materialprüfung ist mit einem in der 3 gezeigten
Flussdiagramm veranschaulicht.
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Im
Falle des vorliegenden Ausführungsbeispiels sind die Materialprobenplätzen 3 flächenhaft ausgeführt
und matrixförmig auf besagter Oberfläche des Substrat 2 angeordnet.
Des Weiteren sind die Materialprobenplätze 3 derart
ausgeführt, dass die Materialproben 4 auf diese
aufgedampft werden können.
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Für
eine kombinatorische Materialprüfung, für die
der Materialprobenträger 1 geeignet ist, können
demnach zunächst die einzelnen Materialproben 4 auf
ihre Materialprobenplätze 3 aufgedampft werden,
sodass ein mit den Materialproben 4 versehener Materialprobenträger 1 bereitgestellt
ist, Schritt A des Flussdiagramms.
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Die
Materialproben 4 sind vom selben Materialtyp und unterscheiden
sich in wenigstens einem Materialparameter, wie z. B. der Konzentration
eines Bestandteils des Materials.
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Der
Materialprobenträger 1 weist ferner einen in den 4 und 5 näher
dargestellten flächenhaften organischen Fotodetektor 40 auf,
der auf der den Materialprobenplätzen 3 abgewandten
Oberfläche des Substrats 2 angeordnet ist. Dabei
zeigt die 4 den Fotodetektor 40 in
teilweise geschnittener Darstellung.
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Im
Falle des vorliegenden Ausführungsbeispiels weist der Fotodetektor 40 eine
strukturierte Anode 41 und eine entsprechend der Anode 41 strukturierte
Kathode 42 auf. Die Anode 41 ist auf dem Substrat 2 des
Materialprobenträger 1 aufgetragen und ist beispielsweise
aus Au oder ITO und die Kathode 42 ist beispielsweise aus
Ca/Ag, Al oder ITO gefertigt. Des Weiteren ist die Anode 41 für
Licht zumindest semitransparent.
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Auf
der Anode 41 ist im Falle des vorliegenden Ausführungsbeispiels
eine entsprechend der Anode 41 und der Kathode 42 strukturierte
organische Lochtransportschicht 43 aufgetragen, auf der
sich wiederum eine entsprechend der Anode 41 und der Kathode 42 strukturierte
organische photoaktive Halbleiterschicht 44 befindet.
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Um
den Fotodetektor 40 zu schützen, ist die Kathode 42 mit
einer Schutzschicht 45 versehen.
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Die
Kathode 42, die Anode 41, die Halbleiterschicht 44 und
die Lochtransportschicht 43 sind im Falle des vorliegenden Ausführungsbeispiels
matrixförmig strukturiert und ergeben daher eine matrixförmig
angeordnete Mehrzahl von Detektorelementen. Eine Draufsicht des
Fotodetektors 40 ist in der 5 gezeigt,
die die Strukturierung der Anode 41 zeigt.
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Der
Fotodetektor 40 des Materialprobenträgers 1 ist
derart strukturiert, dass jedem der Materialprobenplätze 3 eines
der durch die Strukturierung des Fotodetektors 40 gebildetes
Detektorelement zugeordnet ist, sodass auf die Materialprobenplätze 3 fallendes
Licht 24, das z. B. von einer Lichtquelle 21 der
Prüfvorrichtung 20 stammt, durch die einzelnen Materialproben 3 durchtritt
oder von diesem verändert wird und auf das relevante Detektorelement
fällt.
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Für
die kombinatorische Prüfung wird nun der mit den Materialproben 4 versehene
Materialprobenträger 1 mit Licht 24 der
Lichtquelle 21 der Prüfvorrichtung 20 derart
beleuchtet, das alle Materialprobenplätze 3 und
somit alle Materialproben 4 gleichzeitig mit Licht 24 der
Lichtquelle 21 beleuchtet werden, Schritt B des Flussdiagramms.
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Das
Licht der Lichtquelle 21 fällt auf die mit den
Materialproben 4 versehenen Materialprobenplätze 3,
tritt durch diese hindurch und wird je nach Eigenschaften der einzelnen
Materialproben 4 z. B. unterschiedlich gebrochen, absorbiert,
gestreut, reflektiert oder durch Emission umgewandelt und trifft anschließend
auf die Anoden 41 des Fotodetektors 40.
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Trifft
nun Licht auf die Anode 41 auf, so bildet sich in bekannter
Weise eine Ladungsverteilung innerhalb des Fotodetektors 40 bzw.
innerhalb der einzelnen Detektorelemente. Die Ladungsverteilungen der
einzelnen Detektorelemente können im Falle des vorliegenden
Ausführungsbeispiels mit auf dem Substrat 2 und/oder
in der Schutzschicht 45 matrixförmig angeordneten,
mit den Anoden 41 und Kathoden 42 verbundenen
und nicht weiter dargestellten Leitungen und Schaltelementen ausgelesen
werden, Schritt C des Flussdiagramms.
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Für
das Auslesen ist der Fotodetektor 40 mit einer in der 2 gezeigten
Auslesevorrichtung 22 der Prüfvorrichtung 20 verbunden.
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Die
mittels der Auslesevorrichtung 22 ausgelesenen Signale
des Fotodetektors 40 werden anschließend einer
Auswertevorrichtung 23 der Prüfvorrichtung 20 zugeführt,
die die einzelnen Signale auswertet, Schritt D des Flussdiagramms.
Die Auswertung der Signale der einzelnen Detektorelemente des Fotodetektors 40 wird
im Wesentlichen derart durchgeführt, wie es dem Fachmann
bei konventionellen Prüfvorrichtungen bekannt ist, bei
denen die einzelnen Materialproben sequenziell mit einer einzigen
anorganischen Fotozelle aufgenommen werden.
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Der
beschriebene Materialprobenträger 1 ist derart
ausgeführt, dass die Materialprobenplätze 3 im
Wesentlichen flächig ausgeführt sind. Dies ist nicht
unbedingt nötig; die Materialprobenplätze können
auch als Einbuchtungen ausgeführt sein, um z. B. Flüssigkeiten
oder Pulver aufzunehmen.
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Der
beschriebene Materialprobenträger 1 ist außerdem
derart ausgeführt, dass dessen Fotodetektor 40 in
diesen integriert ist. Es sind auch Ausführungsformen denkbar,
bei denen der Fotodetektor vom restlichen Materialprobenträger
lösbar ist. Ein solches Ausführungsbeispiel zeigt
die 6.
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Der
in der 6 dargestellte Materialprobenträger 61 weist
ein für Licht zumindest semitransparentes Substrat 62 auf,
das mit im Falle des vorliegenden Ausführungsbeispiels
matrixförmig angeordneten Einbuchtungen 63 versehen
ist, die zur Aufnahme vom Materialproben einer kombinatorischen Materialprüfung
vorgesehen sind. Des Weiteren umfasst der Materialprobenträger 61 einen
Deckel 64, mit dem die Materialprobenplätze 63 abgedeckt
werden können. In den Deckel 64 ist ein flächenhafter Fotodetektor 65 integriert,
der ähnlich wie der in der 4 dargestellte
Fotodetektor 40 aufgebaut ist, sodass jeder Einbuchtung 63 ein
Detektorelement des Fotodetektors 65 zugeordnet ist.
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Für
die Durchführung einer kombinatorischen Materialprüfung
wird der Materialprobenträger 61 derart mit Licht
der Lichtquelle 21 bestrahlt, dass dieses Licht durch das
Substrat 62 tritt und gleichzeitig durch alle mit Materialproben
versehenen Einbuchtungen 63 tritt. Das durch die Materialproben durchtretende
oder durch sie emittierte, reflektierte oder gestreute Licht trifft
dann auf den Fotodetektor 65, der anschließend
mit der Auslesevorrichtung 22 ausgelesen wird.
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Bei
den beschriebenen Fotodetektoren 40, 65 sind die
Kathode 42, die Anode 41, die fotoaktive Halbleiterschicht 44 und
die Lochtransportschicht 43 strukturiert. Andere Ausführungsformen
eines Fotodetektors sind ebenfalls möglich. So kann der
Fotodetektor beispielsweise auch derart ausgeführt sein, dass
die fotoaktive Halbleiterschicht 44, die Lochtransportschicht 43,
die Kathode 42 und/oder die Anode 41 unstrukturiert
sind. Es sind auch Ausführungsformen ohne Lochtransportschicht 43 denkbar.
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Ferner
kann die Auslesevorrichtung 22 und die Fotodetektoren 40, 65 derart
ausgeführt sein, dass diese insbesondere mittels einer
Aktiv-Matrix-Ansteuerung oder einer Passiv-Matrix-Ansteuerung ausgelesen
werden.
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- 1
- Materialprobenträger
- 2
- Substrat
- 3
- Materialprobenplätze
- 4
- Materialproben
- 20
- Prüfvorrichtung
- 21
- Lichtquelle
- 22
- Auslesevorrichtung
- 23
- Auswertevorrichtung
- 24
- Licht
- 40
- Fotodetektor
- 41
- Anode
- 42
- Kathode
- 43
- Lochtransportschicht
- 44
- fotoaktive
Halbleiterschicht
- 45
- Schutzschicht
- 61
- Materialprobenträger
- 62
- Substrat
- 63
- Einbuchtungen
- 64
- Deckel
- 65
- Fotodetektor
-
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- - WO 2006/026796
A1 [0005]