DE102006041406B4 - Device for beam guidance of an electromagnetic beam, in particular a laser beam - Google Patents

Abstract

Vorrichtung zur Strahlführung eines elektromagnetischen Strahles (12), insbesondere eines Laserstrahles, mit zumindest einem optischen Element (14), das einem Grundkörper (16) zugeordnet ist, der eine Strahlführungsöffnung (21) zum optischen Element (14) aufweist, mit einem an dem Grundkörper (16) angeordneten Gehäuseabschnitt (31), der das optische Element (14) aufnimmt und mit einer Taumelscheibe (24), welche das optische Element (14) in eine Gebrauchslage positioniert, dadurch gekennzeichnet, dass die Taumelscheibe (24) aus einem für die Wellenlänge des zu führenden elektromagnetischen Strahles (12) transparenten Material ausgebildet ist.Device for beam guidance of an electromagnetic beam (12), in particular a laser beam, with at least one optical element (14) associated with a base body (16) having a beam guiding opening (21) to the optical element (14), with one on the Base body (16) arranged housing portion (31) which receives the optical element (14) and with a swash plate (24), which positions the optical element (14) in a position of use, characterized in that the swash plate (24) consists of a for the wavelength of the electromagnetic beam to be guided (12) transparent material is formed.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Strahlführung eines elektromagnetischen Strahles, insbesondere eines Laserstrahls, gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.The invention relates to a device for beam guidance of an electromagnetic beam, in particular a laser beam, according to the preamble of claim 1.

Aus der DE 35 32 464 A1 ist ein Verfahren einer Vorrichtung zur Erzeugung eines Lichtstrahlflecks einstellbarer Größe bekannt. Diese Vorrichtung umfasst eine Glasplatte, welche vollständig von einem Pendellager getragen ist. Dieses Pendellager ist wiederum in einem weiteren rotierenden zylindrischen Lager aufgenommen, welches von einem Motor angetrieben wird. Darüber hinaus ist ein zweiter Motor vorgesehen, der die Halterung bzw. das Pendellager verkippt. Durch diese Anordnung soll ein Rotieren der Laserstrahlen auf dem Augenhintergrund während einer Augenoperation bei einem zu behandelnden Auge erzeugt werden, so dass auch bei unterschiedlich großen Strahlfleckgrößen Verletzungen an der Hornhaut und Iris während der Augenoperation aufgrund zu großer Strahlungsintensität vermieden werden. Somit wird durch diese Anordnung versucht, einen stets gleich großen Strahlungskegel des Laserstrahls zu erzeugen, der die zu bestrahlende Fläche nach einem vorgegebenen Muster überstreicht.From the DE 35 32 464 A1 a method of a device for generating a light beam spot of adjustable size is known. This device comprises a glass plate which is completely supported by a self-aligning bearing. This self-aligning bearing is in turn received in another rotating cylindrical bearing which is driven by a motor. In addition, a second motor is provided which tilts the bracket or the spherical bearing. This arrangement is intended to generate a rotation of the laser beams on the ocular fundus during an eye operation on an eye to be treated, so that corneal and iris injuries during eye surgery due to excessive radiation intensity are avoided even with beam spot sizes of different sizes. Thus, it is attempted by this arrangement to produce a radiation cone of the laser beam which is always of the same size and sweeps over the surface to be irradiated in accordance with a predetermined pattern.

Aus der DE 692 06 315 T2 ist eine Laserresonatoranordnung bekannt, welche ein Paar Resonatorspiegelanordnungen umfasst, die jeweils einen Spiegel und eine Spiegelhalterung aufweist, wobei entweder die plane Trägerplatte oder die Resonatorspiegelhalterungen aus einem bezüglich einer UV-Strahlung transparenten Material gebildet sind. Der Einsatz eines UV-haftbaren Klebemittels dient dazu, dass die Position der Spiegelhalterung während der Herstellung der Resonatoranordnung so lange eingestellt werden kann, bis diese ausgerichtet sind und erst anschließend durch die UV-Strahlung aushärten.From the DE 692 06 315 T2 For example, there is known a laser resonator assembly comprising a pair of resonator mirror assemblies each having a mirror and a mirror mount, wherein either the planar support plate or the resonator mirror supports are formed of a UV transparent material. The use of a UV-adhesive adhesive serves to ensure that the position of the mirror mount can be adjusted during manufacture of the resonator arrangement until it is aligned and only then cured by the UV radiation.

Es sind des Weiteren bereits Vorrichtungen zur Strahlführung eines elektromagnetischen Strahles, insbesondere Laserstrahles für Hochleistungslasersysteme, bekannt geworden, welche einen Grundkörper umfassen, der einen Strahlführungsabschnitt zu einem optischen Element, insbesondere einem Spiegel, aufweist. An dem Grundkörper ist ein Gehäuseabschnitt angeordnet, der zumindest eine Halterung für das darin anordenbare optische Element aufweist. Über eine dem Grundkörper zugeordnete Taumelscheibe wird das in der Halterung angeordnete optische Element in eine positionsgenaue, insbesondere winkelstabile, Gebrauchslage eingestellt und fixiert. Solche Vorrichtungen werden insbesondere bei dioden- oder lampengepumpten Lasersystemen eingesetzt und dienen als Resonatorspiegelhalterungen.Furthermore, devices for beam guidance of an electromagnetic beam, in particular a laser beam for high-power laser systems, have already become known which comprise a base body which has a beam guidance section to form an optical element, in particular a mirror. On the base body, a housing section is arranged, which has at least one holder for the optical element which can be arranged therein. Via a swash plate associated with the main body, the optical element arranged in the holder is set and fixed in a positionally accurate, in particular angularly stable, position of use. Such devices are used in particular in diode-pumped or lamp-pumped laser systems and serve as resonator mirror holders.

Steigende resonatorinterne Leistungen, wie sie beispielsweise beim Scheibenlaser üblich sind, sowie hohe Strahlqualitäten erhöhen die Anforderungen an die optischen Systeme beziehungsweise Vorrichtungen zur Strahlführung des elektromagnetischen Strahles. Durch Streuung sowie Absorption der elektromagnetischen Strahlung an optischen Flächen und an Bauteilen kann es zur Erwärmung des oder der optischen Elemente sowie der daran angrenzenden Bauteile kommen. Ein exaktes Arbeiten eines Hochleistungslasersystems erfordert jedoch, dass die reflektierenden oder zumindest teiltransmittierenden Flächen der optischen Elemente präzise und konstant gegenüber den anderen Elementen des Hochleistungslasersystems ausgerichtet sein müssen. Die durch die absorbierte Laser- beziehungsweise Streustrahlung erzeugte Wärme und die daraus resultierende thermische Ausdehnung, insbesondere in Kombination mit unterschiedlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten benachbarter Komponenten, kann zu einer Verspannung und einem Verzug und somit zu einer Veränderung der Lage und Position des optischen Elementes führen. Dadurch können Ablenkungen des elektromagnetischen Strahles verursacht werden, die eine Nachanpassung aller Komponenten des optischen Systems oder entsprechende Kompensationstechniken erfordern. Darüber hinaus steigt bei höheren Anforderungen an die Strahlqualitäten die Anforderung an die Positioniergenauigkeit des optischen Elements.Increasing resonator-internal powers, as are common, for example, in the disk laser, as well as high beam qualities increase the demands on the optical systems or devices for beam guidance of the electromagnetic beam. Scattering and absorption of the electromagnetic radiation on optical surfaces and on components may cause heating of the optical element (s) and of the components adjacent thereto. Precise operation of a high power laser system, however, requires that the reflective or at least partially transmissive surfaces of the optical elements must be precisely and constantly aligned with the other elements of the high power laser system. The heat generated by the absorbed laser or scattered radiation and the resulting thermal expansion, in particular in combination with different thermal expansion coefficients of adjacent components, can lead to a distortion and a distortion and thus to a change in the position and position of the optical element. This may cause deflections of the electromagnetic beam which require readjustment of all components of the optical system or corresponding compensation techniques. In addition, with higher demands on the beam qualities, the requirement for the positioning accuracy of the optical element increases.

Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zur Strahlführung eines elektromagnetischen Strahles, insbesondere eines Laserstrahles, zu schaffen, der bei hohen Leistungen des elektromagnetischen Strahles eine hohe Strahlführungsqualität ermöglicht.The invention is therefore based on the object to provide a device for beam guidance of an electromagnetic beam, in particular a laser beam, which enables high beam performance at high powers of the electromagnetic beam.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Merkmale des Hauptanspruchs gelöst. Aufgrund der Ausgestaltung einer Taumelscheibe aus einem Material, welches für die Wellenlänge des zu führenden elektromagnetischen Strahles transparent ist, wird ermöglicht, dass bei einer auftretenden Streuung eine Erwärmung weitestgehend verhindert ist. Dadurch wird das optische Element in einer voreingestellten Position gehalten, ohne dass eine Dejustierung erfolgt oder Verspannungen zu einer Änderung der Lage und/oder einer Beeinflussung an einer Hauptfunktionsfläche des optischen Elementes führen. Dadurch kann die Strahlführungsqualität, insbesondere bei hohen Leistungen, wesentlich erhöht werden. Darüber hinaus wird selbst bei einer Streuung eine durch Absorption entstehende Erwärmung des optischen Elementes und der Taumelscheibe verhindert. Auf eine Wasserkühlung der Taumelscheibe kann verzichtet werden. Dadurch ist konstruktiv eine bauteilereduzierte Anordnung ermöglicht. Durch das verringerte Gewicht ist die Anordnung unempfindlich gegen äußere Schwingungen. Aufgrund des geringen Gewichtes der Anordnung sind auch geringere Anpresskräfte erforderlich, um die Komponenten zu fixieren. Dadurch kann eine sichere Aufnahme des optischen Elementes trotz dessen geringen Elastizitätsmoduls ermöglicht und Deformationen verringert werden.This object is achieved by the features of the main claim. Due to the configuration of a swash plate made of a material which is transparent to the wavelength of the electromagnetic beam to be guided, it is made possible that, when scattering occurs, heating is largely prevented. As a result, the optical element is held in a preset position, without any maladjustment or leads to a change in the position and / or an influence on a main functional surface of the optical element. As a result, the beam guidance quality, in particular at high powers, can be substantially increased. Moreover, even in the case of scattering, heating of the optical element and the swash plate due to absorption is prevented. On a water cooling of the swash plate can be dispensed with. As a result, a component-reduced arrangement is structurally possible. Due to the reduced weight, the arrangement is insensitive to external vibrations. Due to the low weight of the arrangement and lower contact forces are required to fix the components. This allows a secure recording of the optical element despite its low modulus of elasticity and deformation can be reduced.

Nach einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Taumelscheibe aus einem Quarzglas, Glaskeramiken, Saphiren oder Kristallen, wie beispielsweise YAG, hergestellt ist. Diese Materialien weisen einen geringen Wärmeausdehnungskoeffizienten auf, wodurch eine einmal eingestellte Gebrauchslage der Taumelscheibe über einen relativ großen Temperaturbereich aufrechterhalten bleibt.According to a preferred embodiment of the invention it is provided that the swash plate is made of a quartz glass, glass ceramics, sapphires or crystals, such as YAG. These materials have a low coefficient of thermal expansion, whereby a once adjusted position of use of the swash plate is maintained over a relatively wide temperature range.

Die Taumelscheibe weist bevorzugt an einer zum optischen Element weisenden Seite Anlageelemente auf, an denen das optische Element mit seiner Hauptfunktionsfläche zumindest partiell anliegt. Dadurch kann eine sichere und verkippungsfreie Anlage sowie eine exakte Einstellung der Lage des optischen Elementes an und durch die Taumelscheibe unabhängig von Toleranzen der beiden Bauteile vorgesehen sein.The swash plate preferably has on a side facing the optical element side contact elements on which the optical element with its main functional surface at least partially applied. As a result, a secure and tilt-free system and an exact adjustment of the position of the optical element can be provided to and through the swash plate regardless of tolerances of the two components.

Die Taumelscheibe weist bevorzugt eine Strahldurchtrittsöffnung auf, die kleiner als das optische Element ausgebildet ist. An die Strahldurchtrittsöffnung der Taumelscheibe angrenzend sind die Auflageelemente vorgesehen, an denen das optische Element mit seiner Hauptfunktionsfläche partiell an der Taumelscheibe anliegt. Diese Ausgestaltung weist den Vorteil auf, dass sowohl plan, konkav als auch konvex ausgebildete Hauptfunktionsflächen des optischen Elementes zur sicheren Anlage an die Taumelscheibe gebracht werden und eine exakte Einstellung der Gebrauchslage des optischen Elements ermöglicht ist.The swash plate preferably has a beam passage opening which is smaller than the optical element. Adjacent to the beam passage opening of the swash plate, the support elements are provided, on which the optical element partially rests with its main functional surface on the swash plate. This embodiment has the advantage that both plan, concave and convex main functional surfaces of the optical element are brought to secure contact with the swash plate and an exact adjustment of the position of use of the optical element is possible.

Die Anlageelemente der Taumelscheibe sind bevorzugt als Segmente eines Torusringes oder als Kugelflächen ausgebildet, wobei bevorzugt drei Auflageelemente über den Umfang verteilt vorgesehen sind. Durch diese Anordnung kann eine geometrisch bestimmte Auflage zum optischen Element gegeben sein, um das optische Element exakt zu positionieren.The contact elements of the swash plate are preferably formed as segments of a torus ring or as spherical surfaces, wherein preferably three support elements are provided distributed over the circumference. By this arrangement, a geometrically determined support can be given to the optical element in order to position the optical element exactly.

Nach einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Taumelscheibe ist vorgesehen, dass an einer den Anlageelementen gegenüberliegenden Seite der Taumelscheibe zumindest eine Justierfläche, vorzugsweise drei um jeweils 90° versetzt zueinander angeordnete Justierflächen, ausgebildet ist, welche vorzugsweise als rinnen- oder V-förmige Vertiefung hergestellt und radial zur Längsachse der Strahldurchtrittsöffnung ausgerichtet ist. Dadurch kann die Taumelscheibe in wenigstens zwei Raumwinkeln und in wenigstens einer Raumachse veränderbar eingestellt werden, wobei deren Einstellung wiederum auf das optische Element übertragen wird.According to a further advantageous embodiment of the swash plate is provided that on a side opposite the contact elements of the swash plate at least one adjustment surface, preferably three offset by 90 ° to each other Justierflächen, is formed, which is preferably produced as a groove or V-shaped recess and radially is aligned with the longitudinal axis of the beam passage opening. As a result, the swash plate can be variably adjusted in at least two solid angles and in at least one spatial axis, wherein their adjustment is in turn transmitted to the optical element.

Nach einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass der Grundkörper eine Aufnahme aufweist, in welche die Taumelscheibe einsetzbar ist, wobei Justierflächen an der Taumelscheibe zu einer Grundfläche der Aufnahme positioniert sind und an Justierelementen im Grundkörper anliegen, welche der Grundfläche zugeordnet sind. Durch diese Anordnung ist eine kompakte Bauweise zur Aufnahme der Taumelscheibe gegeben. Gleichzeitig ist durch die Zuordnung der Justierelemente zur Grundfläche eine einfache Einstellung ermöglicht.According to an advantageous embodiment of the invention, it is provided that the base body has a receptacle into which the swash plate can be inserted, adjusting surfaces are positioned on the swash plate to a base surface of the receptacle and rest on adjusting elements in the base body, which are associated with the base. By this arrangement, a compact design for receiving the swash plate is given. At the same time a simple adjustment is made possible by the assignment of the adjusting elements to the base.

Die der Grundfläche in der Aufnahme am Grundkörper zugeordneten Justierelemente sind bevorzugt axial zur Grundfläche verstellbar, wodurch die Taumelscheibe in ihrer Lage reaktiv zum Grundkörper einstellbar ist. Bevorzugt ist eine Justierschraube oder eine Spindel vorgesehen, wobei deren Steigung an die Einstellgenauigkeit anpassbar ist. Die Justierelemente weisen bevorzugt zur Justierfläche der Taumelscheibe weisend komplementäre Einstellelemente auf, die an den Justierflächen der Taumelscheibe angreifen. Dadurch ist eine exakte und definierte Anlage jedes Justierelementes an der Justierfläche der Taumelscheibe gegeben, wodurch eine präzise Einstellung und Aufrechterhaltung der Einstellung ermöglicht ist. Bevorzugt sind die Einstellelemente als kugelförmige Druckelemente ausgebildet.The adjusting elements associated with the base in the receptacle on the base body are preferably adjustable axially relative to the base surface, as a result of which the swashplate can be adjusted in its position to be reactive with the base body. Preferably, an adjusting screw or a spindle is provided, wherein the slope of which is adaptable to the setting accuracy. The adjusting elements preferably have complementary adjusting elements facing the adjusting surface of the swash plate, which adjoin the adjusting surfaces of the swash plate. As a result, an exact and defined contact of each adjusting element is given to the adjustment of the swash plate, whereby a precise adjustment and maintenance of the adjustment is possible. Preferably, the adjustment elements are designed as spherical pressure elements.

Die Halterung zur Anordnung des optischen Elementes ist von einem Gehäuseabschnitt aufgenommen, der bevorzugt lösbar an dem Grundkörper befestigt ist. Dadurch wird eine Trennebene zwischen dem von dem Gehäuseabschnitt aufgenommenen optischen Element und dem die Taumelscheibe aufnehmenden Grundkörper gebildet. Eine solche Trennebene ermöglicht, dass die Einstellung der Taumelscheibe beim Wechsel des optischen Elementes aufrechterhalten bleibt und somit ein schneller Wechsel des optischen Elementes ermöglicht ist.The holder for the arrangement of the optical element is received by a housing portion, which is preferably releasably attached to the base body. As a result, a parting plane is formed between the optical element accommodated by the housing section and the main body accommodating the swashplate. Such a separation level allows the adjustment of the swash plate is maintained when changing the optical element and thus a quick change of the optical element is possible.

Nach einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass das optische Element an dem Gehäuseabschnitt schwimmend gelagert ist und mit einer konstanten Kraft an der Taumelscheibe anliegt. Diese schwimmende Lagerung ermöglicht, dass die auf das optische Element wirkende Kraft bei veränderten Einstellungen beibehalten wird.According to a further advantageous embodiment of the invention it is provided that the optical element is mounted floating on the housing portion and rests with a constant force on the swash plate. This floating bearing allows the force acting on the optical element to be maintained with changed settings.

Die Halterung des optischen Elementes ist bevorzugt axial verschiebbar zum Gehäuseabschnitt vorgesehen, der an dem Grundkörper befestigt ist. Dadurch wird die Stellbewegung der Taumelscheibe in einfacher Weise bei konstanter Anlagekraft auf das optische Element übertragen.The holder of the optical element is preferably provided axially displaceably to the housing portion, which is fixed to the base body. As a result, the adjusting movement of the swash plate is transmitted in a simple manner with constant contact force on the optical element.

Zur Aufrechterhaltung der Anlagekraft zwischen dem optischen Element und der Taumelscheibe ist parallel zur verschiebbaren Halterung des optischen Elementes vorzugsweise eine Druckübertragungsvorrichtung vorgesehen, welche in oder an dem Gehäuseabschnitt gelagert ist. Dadurch erfolgt eine Koppelung einer zum Gehäuseabschnitt axialen Verschiebebewegung zwischen der Druckübertragungsvorrichtung und dem optischen Element. In order to maintain the contact force between the optical element and the swash plate, a pressure transmission device is preferably provided parallel to the displaceable mounting of the optical element, which is mounted in or on the housing portion. This results in a coupling of a housing portion to the axial displacement movement between the pressure transmission device and the optical element.

Die Halterung zur Aufnahme des optischen Elementes umfasst bevorzugt ein membran- oder blattfederartiges Federelement, an dem die Druckübertragungsvorrichtung angreift. Dadurch kann zumindest ein zusätzlicher Freiheitsgrad für eine Ausgleichsbewegung zwischen der Druckübertragungsvorrichtung und der Taumelscheibe gegeben sein, ohne dass eine Anlagekraft zwischen dem optischen Element und der Taumelscheibe erhöht wird. Gleichzeitig werden Verspannungen zwischen der Taumelscheibe des optischen Elementes und deren Halterung verhindert.The holder for receiving the optical element preferably comprises a membrane or leaf spring-like spring element on which engages the pressure transmission device. As a result, at least one additional degree of freedom for a compensating movement between the pressure-transmitting device and the swash plate can be provided, without a contact force between the optical element and the swash plate being increased. At the same time tension between the swash plate of the optical element and the holder are prevented.

Die zur schwimmenden Lagerung des optischen Elementes vorgesehene Druckübertragungsvorrichtung weist bevorzugt ein mit einer Druckfeder beaufschlagbares Druckstück auf, welches an einem zu den Auflageelementen der Taumelscheibe benachbarten Bereich anliegt. Das mit einer Druckfeder beaufschlagbare Druckstück ist in einer Stufenbohrung des Gehäuseabschnittes gelagert, so dass eine Druckbeaufschlagung des Druckstückes durch die Taumelscheibe unmittelbar über das Federelement auf die Halterung des optischen Elementes übertragen wird, so dass wiederum die Anpresskraft zwischen der Hauptfunktionsfläche des optischen Elementes und den Anlageelementen der Taumelscheibe konstant bleibt.The pressure-transmitting device provided for the floating mounting of the optical element preferably has a pressure piece which can be acted upon by a compression spring and bears against a region adjacent to the support elements of the swash plate. The pressurizable with a compression spring pressure piece is mounted in a stepped bore of the housing portion, so that a pressurization of the pressure piece is transmitted through the swash plate directly on the spring element on the holder of the optical element, so that in turn the contact force between the main functional surface of the optical element and the contact elements the swash plate remains constant.

Eine weitere vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, dass eine an den Gehäuseabschnitt angeordnete Druckübertragungsvorrichtung und ein an dem Grundkörper angeordnetes Justierelement einander gegenüberliegend angeordnet sind. Dadurch kann eine biegefreie Kraftübertragung sowohl von der Druckübertragungsvorrichtung als auch dem Justierelement auf die Taumelscheibe erfolgen. Bevorzugt ist die Kraftresultierende der Druckübertragungsvorrichtung und des Justierelementes in einer gemeinsamen Achse vorgesehen.A further advantageous embodiment of the invention provides that a arranged on the housing portion pressure transmitting device and arranged on the main body adjusting element are arranged opposite to each other. As a result, a bending-free power transmission can take place both from the pressure transmission device and the adjusting element on the swash plate. Preferably, the force resultant of the pressure transmission device and the adjusting element is provided in a common axis.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung wird insbesondere zur Aufnahme eines optischen Elementes in einem Hochleistungslaser, insbesondere eines dioden- oder lampengepumpten Hochleistungslasers, eingesetzt, bei dem Strahlleistungen von beispielsweise mehr als 1 kW erzeugt werden, wobei die Strahlleistungen im Resonator in einem Bereich von 50 kW liegen.The device according to the invention is used in particular for receiving an optical element in a high-power laser, in particular a diode-pumped or lamp-pumped high-power laser, in which beam powers of, for example, more than 1 kW are generated, the beam powers in the resonator being in a range of 50 kW.

Die Erfindung sowie weitere vorteilhafte Ausführungsformen und Weiterbildungen derselben werden im Folgenden anhand der in den Zeichnungen dargestellten Beispiele näher beschrieben und erläutert. Die der Beschreibung und den Zeichnungen zu entnehmenden Merkmale können einzeln für sich oder zu mehreren in beliebiger Kombination erfindungsgemäß angewandt werden. Es zeigen:The invention and further advantageous embodiments and developments thereof are described in more detail below with reference to the examples shown in the drawings and explained. The features to be taken from the description and the drawings can be applied individually according to the invention individually or in combination in any combination. Show it:

1 Eine schematische Schnittdarstellung einer erfindungsgemäßen Vorrichtung, 1 A schematic sectional view of a device according to the invention,

2 eine schematische Ansicht von oben auf eine erfindungsgemäße Vorrichtung, 2 a schematic view from above of a device according to the invention,

3a–c schematische Seitenansichten auf eine Taumelscheibe und 3a -C schematic side views on a swash plate and

4 eine schematische Detailansicht eines durch eine Taumelscheibe justierten optischen Elementes. 4 a schematic detail view of an adjusted by a swash plate optical element.

In 1 ist eine erfindungsgemäße Vorrichtung 11 zur Strahlführung eines schematisch dargestellten elektromagnetischen Strahles 12 mit einem optischen Element 14 dargestellt. Die Vorrichtung 11 umfasst einen Grundkörper 16, der beispielsweise auf einer Grundplatte 17 oder auf einem Trägersystem montierbar ist. Der Grundkörper 16 weist an einer Außenseite einen Anschluss 18 für beispielsweise eine weitere Strahlabdeckung auf. Diese ist bevorzugt lösbar zum Grundkörper 16 angeordnet und kann verschiedene Ausführungsformen umfassen. In dem Grundkörper 16 ist bevorzugt eine Blende 19 vorgesehen, welche eine Strahlführungsöffnung 21 in dem Grundkörper 16 begrenzt. Diese Strahlführungsöffnung 21 mündet in eine Aufnahme 22 beziehungsweise eine Vertiefung, in der eine Taumelscheibe 24 zur Justierung des optischen Elementes 14 aufgenommen ist. Die Blende 19 ist über Dichtungen zum Grundkörper 16 gehalten, da der Grundkörper 16 als auch die Blende 19 wassergekühlt sein können.In 1 is a device according to the invention 11 for beam guidance of a schematically illustrated electromagnetic beam 12 with an optical element 14 shown. The device 11 includes a main body 16 for example, on a base plate 17 or mountable on a carrier system. The main body 16 has a connection on an outside 18 for example, another beam cover on. This is preferably detachable to the main body 16 arranged and may include various embodiments. In the main body 16 is preferably a diaphragm 19 provided, which a beam guiding opening 21 in the main body 16 limited. This beam guide opening 21 flows into a recording 22 or a depression in which a swash plate 24 for adjusting the optical element 14 is included. The aperture 19 is about seals to the body 16 kept as the main body 16 as well as the aperture 19 can be water cooled.

Das optische Element 14 ist in einer Halterung 28 angeordnet, welche entlang einer Längsachse 29 des Grundkörpers 16 beziehungsweise der Strahlführungsöffnung 21 verschiebbar von einem Gehäuseabschnitt 31 aufgenommen ist. Dieser Gehäuseabschnitt 31 ist lösbar über eine Schraubverbindung 32 an dem Grundkörper 16 befestigt. An dem Gehäuseabschnitt 31 kann dem Grundkörper 16 gegenüberliegend eine Abdeckung 33 vorgesehen sein. Dadurch ist das optische Element 14 vollständig durch ein Gehäuse, welches zumindest aus dem Grundkörper 16, dem Gehäuseabschnitt 31 und der Abdeckung 33 besteht, geschlossen und lediglich durch die Strahlführungsöffnung 21 zugänglich. Diese kann durch eine Strahlabdeckung geschützt sein, welche zum zumindest einen weiteren optischen Element sich erstreckt. Die geschlossene Anordnung wird beispielsweise durch eine Ansicht von oben auf die Vorrichtung 11 gemäß 2 offensichtlich. Bei einer solchen Anordnung ist das optische Element 14 als Spiegel, wie beispielsweise als Umlenkspiegel oder Rückspiegel, ausgebildet. An dieser Vorrichtung 11 kann des Weiteren auch eine Auskopplung eines elektromagnetischen Strahles aus einem Resonator vorgesehen sein. In einem solchen Fall wird die Abdeckung 33 von dem Gehäuseabschnitt 31 abgenommen, und als optisches Element 14 ist ein Teiltransmissionsspiegel oder Auskoppelspiegel eingesetzt. Die vorgenannten optischen Elemente können beispielsweise als Quarzglas ausgebildet sein.The optical element 14 is in a holder 28 arranged, which along a longitudinal axis 29 of the basic body 16 or the beam-guiding opening 21 displaceable by a housing section 31 is included. This housing section 31 is detachable via a screw connection 32 on the body 16 attached. On the housing section 31 can the basic body 16 opposite a cover 33 be provided. This is the optical element 14 completely by a housing, which at least from the main body 16 , the housing section 31 and the cover 33 exists, closed and only through the beam-guiding opening 21 accessible. This can be protected by a jet cover, which extends to at least one further optical element. The closed arrangement is for example by a view from above of the device 11 according to 2 obviously. In such an arrangement, the optical element 14 as a mirror, such as a deflection mirror or rearview mirror formed. At this device 11 Furthermore, a decoupling of an electromagnetic beam from a resonator can be provided. In such a case, the cover will 33 from the housing section 31 removed, and as an optical element 14 a partial transmission mirror or Auskoppelspiegel is used. The aforementioned optical elements may be formed, for example, as quartz glass.

Die Taumelscheibe 24 ist erfindungsgemäß für eine Wellenlänge des zu führenden elektromagnetischen Strahles aus transparentem Material ausgebildet. Dadurch wird erzielt, dass eine Streuung des elektromagnetischen Strahles am optischen Element 14 die Taumelscheibe 24 nicht erwärmt. Ein thermischer Verzug beziehungsweise eine thermische Verformung oder Ausdehnung ist somit prinzipbedingt ausgeschlossen. Dadurch ist eine Kühlung der Taumelscheibe 24 nicht erforderlich.The swash plate 24 is formed according to the invention for a wavelength of the leading to electromagnetic beam of transparent material. This achieves that a scattering of the electromagnetic beam at the optical element 14 the swash plate 24 not heated. A thermal distortion or a thermal deformation or expansion is thus excluded by principle. This is a cooling of the swash plate 24 not mandatory.

Die Taumelscheibe 24 wird über Justierelemente 36, welche in 4 näher dargestellt sind, in der Aufnahme 22 positioniert. Die Lage und Ausrichtung der Taumelscheibe 24 wird über daran angeordnete Anlageelemente 38 auf eine Hauptfunktionsfläche 39 des optischen Elementes 14 übertragen.The swash plate 24 is about adjusting elements 36 , what a 4 are shown in more detail in the recording 22 positioned. The location and orientation of the swash plate 24 is about arranged thereon investment elements 38 on a main functional area 39 of the optical element 14 transfer.

In 3a ist eine Seite der Taumelscheibe 24 näher dargestellt. An dieser Seite, welche in einer Gebrauchslage den Justierelementen 36 in der Aufnahme 22 zugeordnet ist, sind Justierflächen 41 vorgesehen, welche beispielsweise als rinnen- oder V-förmige Vertiefungen ausgebildet sind. Die Justierflächen 41 sind jeweils um 90° versetzt zueinander angeordnet. In diese Justierflächen 41 greift jeweils ein Justierelement 36 ein. Dadurch kann die Lage der Taumelscheibe 24 relativ zur Vorrichtung 11 eingestellt werden. Diese Justierflächen 41 grenzen an eine Strahldurchtrittsöffnung 25 der Taumelscheibe 24 beziehungsweise der Strahldurchtrittsöffnung 21 des Grundkörpers 16 an.In 3a is one side of the swash plate 24 shown in more detail. On this side, which in a position of use the Justierelementen 36 in the recording 22 is assigned, are Justierflächen 41 provided, which are formed for example as a channel or V-shaped depressions. The adjustment surfaces 41 are each offset by 90 ° to each other. In these adjustment surfaces 41 each engages an adjustment 36 one. This can change the location of the swash plate 24 relative to the device 11 be set. These adjustment surfaces 41 borders on a beam passage opening 25 the swash plate 24 or the beam passage opening 21 of the basic body 16 at.

In 3b ist eine Seitenansicht der Taumelscheibe 24 gemäß 3a dargestellt. Eine Einbuchtung 42 dient zur Lagefixierung der Taumelscheibe 24 in der Aufnahme 22 bei einem Wechsel des optischen Elementes 14. Dadurch wird ein Herausfallen der Taumelscheibe 24 bei einem Wechsel des optischen Elementes 14 verhindert.In 3b is a side view of the swash plate 24 according to 3a shown. A dent 42 serves to fix the position of the swash plate 24 in the recording 22 when changing the optical element 14 , This will cause the swash plate to fall out 24 when changing the optical element 14 prevented.

In 3c ist eine Ansicht auf die Taumelscheibe 24 dargestellt. An die Strahlführungsöffnung 25 angrenzend sind die Anlageelemente 38 ausgebildet. Diese können als Kugelflächen oder Segmente eines Torusringes ausgebildet sein. Diese Anlageelemente 38 liegen an der Hauptfunktionsfläche 39 des optischen Elementes 14 an. Es genügt dabei, dass diese Anlageelemente 38 nur geringfügig gegenüber einer daran angrenzenden Fläche 43 der Taumelscheibe 24 erhöht sind (3b). Dadurch können sowohl ebene, konkave als auch konvexe Hauptfunktionsflächen 39 des optischen Elementes 14 zur Anlage kommen und einjustiert werden.In 3c is a view of the swash plate 24 shown. To the beam-guiding opening 25 adjacent are the investment elements 38 educated. These can be designed as spherical surfaces or segments of a torus ring. These investment elements 38 lie on the main functional area 39 of the optical element 14 at. It is sufficient that these investment elements 38 only slightly opposite to an adjacent surface 43 the swash plate 24 are increased ( 3b ). This allows both flat, concave and convex main functional surfaces 39 of the optical element 14 come to the plant and be adjusted.

In 4 ist eine vergrößerte Darstellung einer in dem Grundkörper 16 angeordneten Taumelscheibe 24 mit einem optischen Element 14 dargestellt, welches schwimmend zum Gehäuseabschnitt 31 gelagert ist. Durch eine solche schwimmende Lagerung des optischen Elementes 14 kann dieses mit einer definierten und nahezu konstanten Kraft gegen die Taumelscheibe 24 gedrückt und fixiert werden. Bei unterschiedlichen Justierungen bleibt diese konstante Kraft aufrechterhalten, so dass Spannungsspitzen oder Drucküberhöhungen nicht auf oder in das optische Element 14 eingebracht werden.In 4 is an enlarged view of one in the body 16 arranged swash plate 24 with an optical element 14 shown, which floating to the housing section 31 is stored. By such a floating mounting of the optical element 14 This can be done with a defined and almost constant force against the swash plate 24 be pressed and fixed. With different adjustments, this constant force is maintained, so that voltage peaks or pressure peaks not on or in the optical element 14 be introduced.

Die Taumelscheibe 24 wird über die Justierelemente 36 in der Aufnahme 22 lagefixiert. Das Justierelement 36 ist als Justierschraube oder Spindel vorgesehen, welche an einem zur Taumelscheibe 24 weisenden Ende ein kugelförmiges Druckelement oder Einstellelement 45 aufweist. Dieses Einstellelement 45 ist vorzugsweise an die Justierfläche 41 angepasst. Dadurch kann eine Ausrichtung in radialer Richtung als auch in axialer Richtung erfolgen. Die Taumelscheibe 24 wird somit ausschließlich durch die drei Justierelemente 36 aufgenommen und in der Aufnahme 22 gehalten, ohne dass es dabei zu einer weiteren Anlage in der Aufnahme 22 kommt. Dadurch ist die Taumelscheibe 24 über einen Luftspalt zur Aufnahme 22 positioniert, welcher eine thermische Isolation bildet.The swash plate 24 is about the adjustment elements 36 in the recording 22 fixed in position. The adjustment element 36 is provided as an adjusting screw or spindle, which at one to the swash plate 24 pointing end a spherical pressure element or adjustment 45 having. This adjusting element 45 is preferably to the adjustment surface 41 customized. This can be done in the radial direction as well as in the axial direction. The swash plate 24 is thus exclusively by the three adjusting elements 36 taken and in the recording 22 held, without causing a further attachment in the recording 22 comes. This is the swash plate 24 via an air gap for recording 22 positioned, which forms a thermal insulation.

Zwischen der Taumelscheibe 24 und dem Grundkörper 16 einerseits und dem Gehäuseabschnitt 31 und optischen Element 14 andererseits ist eine Trennebene gebildet, die einen einfachen Austausch des optischen Elementes 14 ermöglicht und eine konstante Anlagekraft an der Taumelscheibe 24 sicherstellt. Die Halterung 28 des optischen Elementes 14 ist durch eine Gleitführung 47 in dem Gehäuseabschnitt 31 angeordnet. Durch ein Federelement 49, welches membran- oder blattfederartig ausgebildet sein kann, ist die Halterung 28 mit einer Druckübertragungsvorrichtung 51 bewegungsgekoppelt, welche in oder an dem Gehäuseabschnitt 31 gelagert ist. Die Druckübertragungsvorrichtung 51 umfasst ein an der Taumelscheibe 24 anliegendes Druckstück 53, welches in einer Bohrung 54, insbesondere Stufenbohrung des Gehäuseabschnitts 31, über eine Druckfeder 56 verschiebbar gelagert ist. Eine Axialbewegung des Druckstückes 53 wird unmittelbar durch einen Stößel 57 auf das Federelement 49 übertragen. Durch dies Anordnung wird somit bewirkt, dass eine Lageänderung der Taumelscheibe 24 sowie des Bereiches 43 der Taumelscheibe 24 eine Auslenkung des Druckstückes 53 und somit eine gleichwirkende Axialbewegung der Halterung 28 bewirkt, wodurch ermöglicht ist, dass die an der Hauptfunktionsfläche 39 des optischen Elementes 14 anliegenden Anlageelemente 38 der Taumelscheibe 24 mit konstanter Kraft anliegen.Between the swash plate 24 and the body 16 on the one hand and the housing section 31 and optical element 14 On the other hand, a parting plane is formed, which allows easy replacement of the optical element 14 allows and a constant contact force on the swash plate 24 ensures. The holder 28 of the optical element 14 is through a sliding guide 47 in the housing section 31 arranged. By a spring element 49 , which may be formed like a membrane or leaf spring, is the holder 28 with a pressure transmission device 51 motion coupled, which in or on the housing portion 31 is stored. The pressure transmission device 51 includes one on the swash plate 24 fitting pressure piece 53 which is in a hole 54 , in particular stepped bore of the housing section 31 , via a compression spring 56 is slidably mounted. An axial movement of the pressure piece 53 is directly by a pestle 57 on the spring element 49 transfer. This arrangement thus causes a change in position of the swash plate 24 as well as the area 43 the swash plate 24 a deflection of the pressure piece 53 and thus an equivalent axial movement of the holder 28 causes, which makes possible that at the main functional area 39 of the optical element 14 adjacent plant elements 38 the swash plate 24 abut with constant force.

Zur Vermeidung von Biegespannungen ist bevorzugt vorgesehen, dass ein Justierelement 36 unmittelbar einer Druckübertragungsvorrichtung 51 gegenüberliegend angeordnet ist. Dadurch kann während der Justierung des optischen Elementes 14 eine verkippungs- oder momentenfreie, konstante Kraft durch die Taumelscheibe 24 auf die Hauptfunktionsfläche 39 des optischen Elementes 14 übertragen werden.To avoid bending stresses is preferably provided that an adjusting element 36 directly a pressure transmission device 51 is arranged opposite. As a result, during the adjustment of the optical element 14 a tilting or torque-free, constant force through the swash plate 24 on the main functional area 39 of the optical element 14 be transmitted.

Eine solche Vorrichtung wird insbesondere in einem Resonator eines Festkörperlasers als sogenannte Resonatorspiegelhalterung für Hochleistungslasersysteme, wie beispielsweise dioden- oder lampengepumpte Lasersysteme, eingesetzt.Such a device is used in particular in a resonator of a solid-state laser as so-called resonator mirror holder for high-power laser systems, such as diode or lamp-pumped laser systems.

Alle vorgenannten Merkmale sind jeweils für sich erfindungswesentlich und können beliebig miteinander kombinierbar sein.All of the aforementioned features are essential to the invention and can be combined with one another as desired.

Claims (15)

Vorrichtung zur Strahlführung eines elektromagnetischen Strahles (12), insbesondere eines Laserstrahles, mit zumindest einem optischen Element (14), das einem Grundkörper (16) zugeordnet ist, der eine Strahlführungsöffnung (21) zum optischen Element (14) aufweist, mit einem an dem Grundkörper (16) angeordneten Gehäuseabschnitt (31), der das optische Element (14) aufnimmt und mit einer Taumelscheibe (24), welche das optische Element (14) in eine Gebrauchslage positioniert, dadurch gekennzeichnet, dass die Taumelscheibe (24) aus einem für die Wellenlänge des zu führenden elektromagnetischen Strahles (12) transparenten Material ausgebildet ist.Device for beam guidance of an electromagnetic beam ( 12 ), in particular a laser beam, with at least one optical element ( 14 ), which is a basic body ( 16 ) having a beam guiding opening ( 21 ) to the optical element ( 14 ), with one on the base body ( 16 ) arranged housing section ( 31 ), the optical element ( 14 ) and with a swash plate ( 24 ), which the optical element ( 14 ) positioned in a position of use, characterized in that the swash plate ( 24 ) of one for the wavelength of the leading to electromagnetic radiation ( 12 ) is formed transparent material. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Taumelscheibe (24) aus einem Quarzglas, Glaskeramiken, Saphiren oder Kristallen hergestellt ist.Apparatus according to claim 1, characterized in that the swash plate ( 24 ) is made of a quartz glass, glass ceramics, sapphires or crystals. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Taumelscheibe (24) Anlageelemente (38) umfasst, welche auf einer zum optischen Element (14) weisenden Seite der Taumelscheibe (24) angeordnet sind.Apparatus according to claim 1 or 2, characterized in that the swash plate ( 24 ) Investment elements ( 38 ), which on one to the optical element ( 14 ) facing side of the swash plate ( 24 ) are arranged. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Taumelscheibe (24) eine Strahldurchtrittsöffnung (25) aufweist, die kleiner als das optische Element (14) ausgebildet ist und an die Strahldurchtrittsöffnung (25) angrenzend Anlageelemente (38) umfasst, an denen das optische Element (14) mit seiner Hauptfunktionsfläche (39) zumindest partiell anliegt.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the swash plate ( 24 ) a beam passage opening ( 25 ) which is smaller than the optical element ( 14 ) is formed and to the beam passage opening ( 25 ) adjacent investment elements ( 38 ), on which the optical element ( 14 ) with its main functional area ( 39 ) at least partially. Vorrichtung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Anlageelemente (38) Segmente eines Torusringes umfassen oder als Kugelflächen ausgebildet sind, wobei bevorzugt drei Anlageelemente (38) über den Umfang verteilt ausgebildet sind.Device according to claim 3 or 4, characterized in that the abutment elements ( 38 ) Comprise segments of a torus ring or are designed as spherical surfaces, wherein preferably three abutment elements ( 38 ) are formed distributed over the circumference. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Taumelscheibe (24) auf einer Seite zumindest eine Justierfläche (61), vorzugsweise drei um 90° zueinander versetzt angeordnete Justierflächen (41), aufweist, welche insbesondere als rinnen- oder V-förmige Vertiefung ausgebildet und radial zur Längsachse (29) der Strahldurchtrittsöffnung (21, 25) ausgerichtet ist.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the swash plate ( 24 ) on one side at least one adjustment surface ( 61 ), preferably three offset by 90 ° to each other arranged adjusting surfaces ( 41 ), which in particular formed as a channel-shaped or V-shaped recess and radially to the longitudinal axis ( 29 ) of the beam passage opening ( 21 . 25 ) is aligned. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Grundkörper (16) eine Aufnahme (22) aufweist, in welcher die Taumelscheibe (24) einsetzbar ist, wobei die Justierflächen (41) der Taumelscheibe (24) zur Grundfläche (23) der Aufnahme (22) positioniert sind und an Justierelementen (36) anliegen, welche der Grundfläche (23) zugeordnet sind.Apparatus according to claim 6, characterized in that the basic body ( 16 ) a recording ( 22 ), in which the swash plate ( 24 ) can be used, wherein the Justierflächen ( 41 ) of the swash plate ( 24 ) to the base area ( 23 ) of the recording ( 22 ) and on adjusting elements ( 36 ), which of the base area ( 23 ) assigned. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Justierelemente (36) senkrecht zur Grundfläche (23) der Aufnahme (22) ausgerichtet und verstellbar sind und mit einem relativ zur Grundfläche (23) zur Justierfläche (41) komplementär ausgebildeten Einstellelement (45), insbesondere einem kugelförmigen Druckstück, ausgebildet sind.Apparatus according to claim 7, characterized in that the adjusting elements ( 36 ) perpendicular to the base ( 23 ) of the recording ( 22 ) are aligned and adjustable and with a relative to the base ( 23 ) to the adjustment surface ( 41 ) complementarily formed adjusting element ( 45 ), in particular a spherical pressure piece, are formed. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der das optische Element (14) aufnehmende Gehäuseabschnitt (31) lösbar zum Grundkörper (16) befestigt ist und zwischen dem optischen Element (14) und der Taumelscheibe (24) eine Trennebene gebildet ist.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the optical element ( 14 ) receiving housing section ( 31 ) detachable to the main body ( 16 ) and between the optical element ( 14 ) and the swash plate ( 24 ) a dividing plane is formed. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das optische Element (14) an dem Gehäuseabschnitt (31) schwimmend gelagert ist.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the optical element ( 14 ) on the housing section ( 31 ) is floating. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Halterung (28) des optischen Elementes (14) zum Gehäuseabschnitt (31) axial verschiebbar angeordnet ist.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the holder ( 28 ) of the optical element ( 14 ) to the housing section ( 31 ) Is arranged axially displaceable. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Halterung (28) mit einer an dem Gehäuseabschnitt (31) vorgesehenen Druckübertragungsvorrichtung (51) gekoppelt ist, wobei die Druckübertragungsvorrichtung (51) an einem den Anlageelementen (38) benachbarten Bereich (43) der Taumelscheibe (24) angreift.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the holder ( 28 ) with a on the housing section ( 31 ) provided pressure transmission device ( 51 ), wherein the Pressure transmission device ( 51 ) at one of the investment elements ( 38 ) adjacent area ( 43 ) of the swash plate ( 24 ) attacks. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Halterung (28) des optischen Elementes (14) ein Federelement (49) aufweist, an dem die Druckübertragungsvorrichtung (51) angreift.Apparatus according to claim 12, characterized in that the holder ( 28 ) of the optical element ( 14 ) a spring element ( 49 ), on which the pressure transmission device ( 51 ) attacks. Vorrichtung nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Druckübertragungsvorrichtung (51) in einer Bohrung (54) des Gehäuseabschnitts (31), die koaxial zur Längsachse (29) des Grundkörpers (16) ausgerichtet ist, axial bewegbar gelagert ist und vorzugsweise ein mit einer Druckfeder (56) beaufschlagbares Druckstück (53) umfasst, so dass eine Axialbewegung der Taumelscheibe (24) auf die Halterung (28) des optischen Elementes (14) oder auf ein an der Halterung (28) angeordnetes Federelement (49) übertragbar ist.Apparatus according to claim 12 or 13, characterized in that the pressure transmission device ( 51 ) in a bore ( 54 ) of the housing section ( 31 ) coaxial with the longitudinal axis ( 29 ) of the basic body ( 16 ) is aligned axially movable and preferably one with a compression spring ( 56 ) acted upon pressure piece ( 53 ), so that an axial movement of the swash plate ( 24 ) on the holder ( 28 ) of the optical element ( 14 ) or on to the bracket ( 28 ) arranged spring element ( 49 ) is transferable. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass die von dem Gehäuseabschnitt (31) aufgenommene Druckübertragungsvorrichtung (51) und ein von dem Grundkörper (16) aufgenommenes Justierelement (36) einander gegenüberliegend, vorzugsweise in einer gemeinsamen Achse liegend, angeordnet sind.Device according to one of claims 11 to 14, characterized in that the of the housing portion ( 31 ) recorded pressure transmission device ( 51 ) and one of the main body ( 16 ) received adjusting element ( 36 ) are arranged opposite one another, preferably lying in a common axis.

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