DE102006031164A1 - Thermoelectric thin-layer element has support structure on which multiple thermo bars made from conducting material and multiple thermo bars made from another conducting material are applied - Google Patents
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Abstract
Description
Die Erfindung betrifft ein thermoelektrisches Dünnschichtelement mit einer Trägerstruktur auf der mehrere Thermoschenkel aus einem ersten leitfähigen Material und mehrere Thermoschenkel aus einem zweiten leitfähigen Material aufgebracht sind, wobei das erste und zweite leitfähige Material eine unterschiedliche Leitfähigkeit aufweisen und die Thermoschenkel derart miteinander elektrisch gekoppelt sind, dass jeweils zwei Thermoschenkel ein Thermopaar bilden. Außerdem betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung von thermoelektrischen Dünnschichtelementen.The The invention relates to a thermoelectric thin-film element having a support structure on the several thermo legs of a first conductive material and a plurality of thermo legs of a second conductive material are applied, wherein the first and second conductive material a different conductivity and electrically coupled to each other the thermo legs are that two thermo legs form a thermocouple. It also concerns the invention a method for the production of thermoelectric Thin-film elements.
Nach dem Seebeck-Effekt fließt infolge der unterschiedlichen Thermospannung ein Thermostrom, wenn man die beiden Verbindungsstellen zweier zu einem Kreis geschlossenen Stücke aus verschiedenen Metallen oder Halbleitern (Thermopaar) auf unterschiedlicher Temperatur hält.To the Seebeck effect flows due to the different thermoelectric voltage a thermo-current, if the two connecting points of two are closed in a circle pieces made of different metals or semiconductors (thermocouple) on different Temperature holds.
Ein als Thermogenerator betriebenes Thermoelement liefert nach dem Seebeck-Effekt elektrische Spannung. Meist wird eine größere Anzahl von Thermopaaren zu einem thermoelektrischem Element zusammengeschaltet. Die in den thermoelektrischen Elementen genutzte Thermospannung ist temperaturabhängig und bewegt sich in einem Bereich von wenigen Mikrovolt.One thermocouple operated as thermogenerator delivers according to the Seebeck effect electrical voltage. Mostly a larger number of thermocouples interconnected to a thermoelectric element. The in the Thermoelectric elements used thermoelectric voltage is temperature dependent and moves in a range of a few microvolts.
Es
haben sich einige Legierungen durch ihre Eigenschaften bei bestimmten
Temperaturen als Thermopaare durchgesetzt und sich somit eine Palette
von Thermomaterialkombinationen (Thermopaare) über einen Temperaturbereich
von –270°C bis 2600°C gebildet.
Diese Palette wurde in Normen erfasst und definiert. Die derzeit
gültige
internationale Norm für
Thermoelemente ist die IEC 584-1, das Pendant im deutschsprachigen
Raum die DIN EN 60584 Teil 1. Diese Norm definiert 10 verschiedene
Thermomaterialkombination in ihren Eigenschaften.
Eine
weitere in Deutschland noch angewendete Norm ist die DIN 43710,
welche die Thermotypen U und L definiert. Diese Norm ist aber nicht
mehr gültig.
Neben den genormten Thermopaaren gibt es noch andere Kombination mit speziellen Eigenschaften. Ein Beispiel sind hier die Wolfram/Wolfram-Rhenium Kombination mit möglichen Temperaturbereichen bis 2600°C.Next The standardized thermocouples have other combinations with special ones Properties. An example here are the tungsten / tungsten rhenium Combination with possible Temperature ranges up to 2600 ° C.
Als
leitfähige
Materialien für
Thermopaare von Thermoelementen kommen insbesondere auch p- und n-
dotierte Halbleitermaterialen, meist Wismut-Tellurit, Bi2Te3 in Betracht.
Außerdem
kommen die in den nachfolgenden Tabellen 1.1. und 1.2 genannten
p- und n-dotierten Verbindungen in Betracht:
Ein als Thermogenerator betriebenes Thermoelement besteht üblicherweise aus zwei dünnen wärmeleitenden, insbesondere keramischen Platten zwischen denen abwechselnd kleine Quader aus unterschiedlich leitendem Material, insbesondere Halbleitermaterial, eingelötet sind. Jeweils zwei unterschiedliche Quader sind so miteinander verbunden, dass sie eine Reihenschaltung ergeben. Eine der beiden Platten nimmt den einfließenden Wärmestrom auf (nachfolgend auch als heiße Seite des Thermoelementes bezeichnet), während die andere Platte den ausfließenden Wärmestrom abgibt(nachfolgend auch als kalte Seite des Thermoelementes bezeichnet).One thermocouple operated as a thermogenerator usually exists from two thin ones thermally conductive, in particular ceramic plates between which alternately small Cuboid made of differently conducting material, in particular semiconductor material, soldered are. Two different cuboids are connected to each other, that they result in a series connection. One of the two plates takes the inflowing heat flow on (hereinafter also as hot Side of the thermocouple), while the other plate the outflowing heat flow (hereinafter also referred to as the cold side of the thermocouple).
Aus
der
Ausgehend von diesem Stand der Technik liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein thermoelektrisches Element, anzugeben, das einfach und prozesssicher herstellbar ist und die aus gedruckten Leiterstrukturen resultierenden Nachteile vermeidet. Insbesondere sollen mehrere hintereinander geschaltete Thermopaare auf engstem Raum angeordnet werden können. Des Weiteren liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren vorzuschlagen, mit dem sich derartige thermoelektrische Elemente massenhaft und preiswert herstellen lassen.outgoing From this prior art, the invention is based on the object a thermoelectric element, specify that simple and reliable can be produced and resulting from printed conductor structures Disadvantages avoids. In particular, several consecutive switched thermocouples can be arranged in a confined space. Of Furthermore, the invention is based on the object, a method to propose, with which such thermoelectric elements mass produced and inexpensive.
Diese Aufgabe wird bei einem thermoelektrischen Element der eingangs erwähnten Art dadurch gelöst, dass
- – sämtliche Thermoschenkel aus dem ersten leitfähigen Material nebeneinander auf der Trägerstruktur angeordnet sind,
- – sämtliche Thermoschenkel aus dem zweiten leitfähigen Material nebeneinander auf der Trägerstruktur angeordnet sind,
- – die Thermoschenkel in Längsrichtung jeweils zu dem benachbarten Thermoschenkel elektrisch isoliert sind und
- – dass zumindest ein Teil der Thermoschenkel der Thermopaare über elektrische Verbindungselemente miteinander gekoppelt sind.
- All thermo legs of the first conductive material are arranged side by side on the support structure,
- All thermo legs of the second conductive material are arranged side by side on the carrier structure,
- - The thermo leg in the longitudinal direction in each case electrically insulated to the adjacent thermal leg are and
- - That at least part of the thermo legs of the thermocouples are coupled to each other via electrical connection elements.
Die bereichsweise Trennung der beiden leitfähigen Materialien zur Ausbildung der Thermoschenkel der Thermopaare ermöglicht eine massenhafte und preiswerte Herstellung der thermoelektrischen Elemente. Zunächst wird auf der Oberfläche der Trägerstruktur das erste und zweite leitfähige Material großflächig in unterschiedlichen Bereichen aufgebracht. Erst nach dem Aufbringen der leitfähigen Materialien werden die Thermoschenkel durch einen Trennprozess hergestellt, in dem die leitfähigen Materialien bis zu dem Substrat unterbrochen werden. Die Unterbrechungen sind so anzuordnen, dass die Thermoschenkel in Längsrichtung jeweils zu dem benachbarten Thermoschenkel elektrisch isoliert sind.The Area-wise separation of the two conductive materials for training the thermo leg of the thermocouples allows a mass and inexpensive production of the thermoelectric elements. First, will on the surface the support structure the first and second conductive Material large area in applied to different areas. Only after the application the conductive one Materials, the thermo legs are made by a separation process, in which the conductive Materials are interrupted up to the substrate. The interruptions are to be arranged so that the thermal leg in the longitudinal direction respectively to the adjacent thermo legs are electrically isolated.
Nach dem Stand der Technik müssen die unterschiedlichen leitfähigen Materialien zur Ausbildung der Thermoschenkel indes jeweils alternierend aufgebracht werden, was mittels üblicher Abscheideverfahren, wie beispielsweise Bedampfen oder Aufdrucken, erfolgt. Der alternierende Auftrag der unterschiedlichen Materialien setzt der Herstellungsgeschwindigkeit und der Verkleinerung derart hergestellter thermoelektrischer Elemente Grenzen. Des weiteren sind Passerprobleme bei der Herstellung der elektrischen Kopplungen der Thermoschenkel nicht auszuschließen.To the state of the art the different conductive ones Materials for forming the thermo legs, however, each alternating be applied, what by means of usual Deposition methods, such as vapor deposition or printing, he follows. The alternating order of different materials sets the production speed and reduction in such a way manufactured thermoelectric elements limits. Furthermore are passer problems in the production of electrical couplings the thermo leg can not be excluded.
Die elektrische Kopplung der Thermoschenkel zu Thermopaaren, lässt sich bei einem erfindungsgemäßen thermoelektrischen Dünnschichtelement ebenfalls preiswert und massenhaft realisieren, in dem zunächst die leitfähige Schicht zur Ausbildung der elektrischen Verbindungselemente großflächig aufgebracht wird und diese anschließend derart unterteilt wird, dass leitfähige, bahnförmige Schichten (Leiterbahnen) als Verbindungselemente zwischen den Thermoschenkeln ausgebildet werden. Diese Verbindungselemente können die Stoßstellen an den Längsenden der Thermoschenkel elektrisch miteinander kontaktieren. In diesem Fall sind die Verbindungselemente unmittelbar auf der Trägerstruktur aufgebracht.The electrical coupling of the thermo legs to thermocouples, can be in a thermoelectric according to the invention thin-film element also inexpensive and mass realization, in which first the conductive Layer for forming the electrical connection elements is applied over a large area and this afterwards is subdivided such that conductive, web-like layers (interconnects) designed as connecting elements between the thermo legs become. These fasteners can be the joints at the longitudinal ends the thermo leg electrically contact each other. In this case the connecting elements are directly on the support structure applied.
Vorzugsweise überlappen die elektrischen Verbindungselemente die die Thermoschenkel bildenden Streifen aus dem ersten und zweiten leitfähigen Material an den Längsenden, um jeweils ein Thermopaar auszubilden. Die flächige Überdeckung der die Thermoschenkel bildenden Streifen reduziert den elektrischen Widerstand des gesamten thermoelektrischen Dünnschichtelementes und erhöht damit dessen Ausgangsleistung.Preferably overlap the electrical connection elements forming the thermo leg strips from the first and second conductive Material at the longitudinal ends, to form a thermocouple each. The flat coverage of the thermo legs forming strip reduces the electrical resistance of the whole thermoelectric thin-film element and increased thus its output power.
Als leitfähige erste und zweite thermoelektrisch aktive Materialien zur Ausbildung der Thermoschenkel kommen Metalle oder Halbleiter in Betracht, insbesondere die eingangs erwähnten Thermomaterialkombinationen.When conductive first and second thermoelectrically active materials for formation the thermo leg metals or semiconductors into consideration, in particular the aforementioned Thermal material combinations.
Zur elektrischen Koppelung der Thermopaare kommen gut leitfähige Materialien, wie beispielsweise Gold, Aluminium, Palladium sowie Kupfer in Betracht.to electrical coupling of the thermocouples come well conductive materials, such as gold, aluminum, palladium and copper into consideration.
Die Trägerstruktur des thermoelektrischen Elementes kann beispielsweise aus Kunststoff (PP, PET, PI, PA, PTFE), Keramik, Glas oder isolierend beschichteten Metallen bestehen.The support structure of the thermoelectric element can be made of plastic, for example (PP, PET, PI, PA, PTFE), ceramic, glass or insulating coated Consist of metals.
Die Isolation zwischen den Thermoschenkeln in Längsrichtung wird durch eine Unterbrechung des Schichtsystems bis zur Trägerstruktur realisiert.The Isolation between the thermo-thighs in the longitudinal direction is by a Interruption of the layer system realized to the support structure.
Die einzelnen Thermopaare des thermoelektrischen Elementes können in Reihe oder auch parallel geschaltet werden. Durch eine Reihenschaltung addiert sich die Spannung der einzelnen Thermopaare, durch eine Parallelschaltung addiert sich der von den Thermopaaren unter Einwirkung von Wärme erzeugte Strom. Mit ansteigender Gesamtlänge der hintereinander geschalteten Thermopaare steigt der elektrische Widerstand des thermoelektrischen Elementes. Insbesondere durch die bereits erläuterte überlappende Anordnung der Verbindungselemente auf den die Thermoschenkel bildenden Streifen aus dem ersten und zweiten leitfähigen Material besteht die Möglichkeit, den Widerstand so gering wie möglich zu halten.The individual thermocouples of the thermoelectric element can in Row or even in parallel. Through a series connection adds the voltage of the individual thermocouples, by a Parallel connection is added by the thermocouples under the influence of heat generated electricity. With increasing total length of the series connected Thermocouples increases the electrical resistance of the thermoelectric Element. In particular, by the already explained overlapping arrangement of the connecting elements on the thermo leg forming strips from the first and second conductive Material is possible the resistance as low as possible to keep.
Eine ideale Bauform des thermoelektrischen Elementes und die Möglichkeit einer sehr einfachen, gleichwohl hochauflösenden Strukturierung der Thermopaare sowie der elektrischen Verbindungselemente lässt sich verwirklichen, wenn sämtliche Thermoschenkel aus dem ersten leitfähigen Material auf einer Seite der Trägerstruktur und sämtliche Thermoschenkel aus dem zweiten leitfähigen Material auf der gegenüberliegenden Seite der Trägerstruktur angeordnet sind. Das Verhalten der thermoelektrischen Elemente lässt sich vorteilhaft durch unterschiedliche Schenkellängen der Thermopaare beeinflussen. Bei sehr kurzen Thermoschenkeln (kleiner 10 μm) sinkt der elektrische Widerstand. Infolgedessen steigt der maximal mögliche Thermostrom des thermoelektrischen Elementes an. Selbstverständlich liegt es im Rahmen der Erfindung nicht nur die Schenkellänge, sondern auch die Breite der die Thermoschenkel bildenden Streifen zu variieren.An ideal design of the thermoelectric element and the possibility of a very simple, yet high-resolution structuring of the thermocouples and the electrical connection elements can be realized if all thermo legs of the first conductive material on one side of the support structure and all thermo legs of the second conductive material on the opposite Side of the support structure are arranged. The behavior of the thermoelectric elements can be advantageously influenced by different leg lengths of the thermocouples. For very short thermo thighs (less than 10 microns), the electrical resistance decreases. As a result, the maximum possible thermoelectric current of the thermoelectric element increases. Of course, it is within the scope of the invention, not only the leg length, but also to vary the width of the thermo leg forming strips.
Eine Anordnung mit mehreren thermoelektrischen Elementen gemäß der vorliegenden Erfindung, bei der die thermoelektrischen Elemente elektrisch und mechanisch miteinander verbunden sind, erlaubt eine insgesamt höhere Ausgangsleistung als ein einzelnes thermoelektrisches Element. Die einzelnen Elemente können parallel oder in Reihe geschaltet sein. Insgesamt bleiben die kompakten Abmessungen auf Grund der Verwendung von Dünnschichtelementen erhalten.A Arrangement with a plurality of thermoelectric elements according to the present invention Invention in which the thermoelectric elements electrically and mechanically interconnected, allows an overall higher output power as a single thermoelectric element. The individual elements can be connected in parallel or in series. Overall, the compact ones remain Dimensions obtained due to the use of thin-film elements.
Die
Herstellung der erfindungsgemäßen thermoelektrischen
Elemente erfolgt gemäß einem
Verfahren mit den Merkmalen des Anspruches 11:
Zunächst wird
auf die Oberfläche
der Trägerstruktur
das erste und zweite leitfähige
Material in unterschiedlichen Bereichen zur Ausbildung der Thermoschenkel
aufgebracht. Sodann wird eine leitfähige Schicht zur Ausbildung
der elektrischen Verbindungselemente aufgebracht. Dabei ist es erforderlich,
dass die aufgebrachte leitfähige
Schicht eine elektrische Verbindung zu den die Thermoschenkel bildenden
Materialien aufweist. Als Auftragsverfahren für die leitfähigen Materialien zur Ausbildung
der Thermoschenkel sowie die leitfähige Schicht zur Ausbildung
der elektrischen Verbindungselemente kommen beispielsweise Drucken,
Sputtern, Aufdampfen, Pulverbeschichten und Galvanisieren in Betracht.
Typische Schichtdicken für
das erste und zweite leitfähige
Material sowie die leitfähige
Schicht zur Ausbildung der elektrischen Verbindungselemente liegen zwischen
0,1 μm und
500 μm.The production of the thermoelectric elements according to the invention is carried out according to a method having the features of claim 11:
First, the first and second conductive material in different areas for forming the thermal legs is applied to the surface of the support structure. Then, a conductive layer is applied to form the electrical connection elements. It is necessary that the applied conductive layer has an electrical connection to the thermo leg forming materials. For example, printing, sputtering, vapor deposition, powder coating and electroplating can be considered as application methods for the conductive materials for forming the thermo legs and the conductive layer for forming the electrical connection elements. Typical layer thicknesses for the first and second conductive material and the conductive layer for forming the electrical connection elements are between 0.1 μm and 500 μm.
Anschließend werden die auf die Trägerstruktur aufgebrachten leitfähigen Schichten zur Ausbildung der Thermoschenkel sowie der elektrischen Verbindungselemente linienförmig unterbrochen, um die Thermopaare auszubilden. Die Thermopaare entstehen insbesondere durch Anordnung einer spiralförmigen Unterbrechung, die in die leitfähigen Schichten eingebracht wird. Die spiralförmige Struktur bringt ein Reihenschaltung von Thermoschenkeln aus unterschiedlichen Materialien, die jeweils über ein bahnförmiges elektrisches Verbindungselement miteinander gekoppelt sind, hervor. An den beiden Enden der spiralförmigen Struktur befinden sich die Anschlüsse des thermoelektrischen Elementes.Then be the on the support structure applied conductive Layers for forming the thermo leg and the electrical Connecting elements linear interrupted to form the thermocouples. The thermocouples arise in particular by arranging a spiral interruption, which in the conductive ones Layers is introduced. The spiral structure brings a series connection of thermo thighs made of different materials, each one over web form electrical connection element are coupled together. At the two ends of the spiral Structure are the connections of the thermoelectric Element.
Zur Herstellung eines thermo-elektrischen Dünnschichtelementes nach Anspruch 4 wird das erste und zweite leitfähige Material zur Ausbildung der Thermoschenkel lediglich auf einer oder mehreren Teilflächen einer Oberfläche der Trägerstruktur aufgebracht und die leitfähige Schicht zur Ausbildung der elektrischen Verbindungselemente auf der verbleibenden Oberfläche der Trägerstruktur angrenzend zu den Teilflächen aufgebracht.to Production of a thermo-electric thin-film element according to claim 4 becomes the first and second conductive materials for formation the thermo leg only on one or more faces of a surface the support structure applied and the conductive Layer for forming the electrical connection elements the remaining surface the support structure adjacent to the faces applied.
Zur Herstellung eines thermoelektrischen Dünnschichtelementes mit überlappenden elektrischen Verbindungselementen sowie zur Herstellung eines thermoelektrischen Dünnschichtelementes mit leitfähigem Material auf beiden Seiten der Trägerstruktur wird das erste und zweite leitfähige Material zur Ausbildung der Thermoschenkel auf einer bzw. auf beiden Oberflächen der Trägerstruktur vollflächig aufgebracht und die leitfähige Schicht zur Ausbildung der elektrischen Verbindungselemente auf die Oberfläche des ersten und zweiten leitfähigen Materials teilweise überdeckend aufgebracht. Der überdeckende Auftrag der leitfähigen Schicht zur Ausbildung der elektrischen Verbindungselemente erfolgt vorzugsweise dergestalt, dass die streifenförmigen Thermoschenkel parallel zueinander auf der Trägerstruktur liegen. Die Schenkellänge der Thermoschenkel, die aus demselben Material bestehen, stimmt überein.to Production of a thermoelectric thin-film element with overlapping electrical connection elements and for the production of a thermoelectric thin film element with conductive material on both sides of the support structure becomes the first and second conductive Material for forming the thermo leg on one or both surfaces the support structure entire area applied and the conductive Layer for forming the electrical connection elements the surface of the first and second conductive Partially covering the material applied. The overlapping Order of the conductive Layer for forming the electrical connection elements takes place preferably such that the strip-shaped thermo legs are parallel to each other on the support structure lie. The thigh length the thermo leg, which consist of the same material, coincides.
Die linienförmigen Unterbrechungen der leitfähigen Materialien sowie der leitfähigen Schicht auf der Trägerstruktur können mittels Lasern, mikromechanischer Bearbeitung, Fotostrukturierung, insbesondere Ätzprozesse sowie Präge- und Stanzprozessen erzeugt werden. Bei sämtlichen der vorgenannten Unterbrechungsvorgänge werden stets sämtliche Schichten bis zu dem die Trägerstruktur bildenden Substrat unterbrochen, um eine zuverlässige elektrische Trennung der aufgebrachten Schichten entlang der linienförmigen Unterbrechung zu erreichen. Hierdurch wird gewährleistet, dass die Thermopaare bis auf die für die Reihenschaltung erforderlichen Kontaktierung elektrisch voneinander getrennt sind.The linear Interruptions of the conductive Materials as well as the conductive Layer on the support structure can by means of lasers, micromechanical processing, photopatterning, in particular etching processes as well as embossing and punching processes are generated. For all of the aforementioned interrupt operations always all Layers up to the carrier structure forming substrate interrupted to a reliable electrical isolation to reach the applied layers along the linear interruption. This will ensure that the thermocouples except for those required for series connection Contacting are electrically isolated from each other.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand der Figuren näher erläutert:following the invention is explained in more detail with reference to the figures:
- a) zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel eines thermoelektrischen Elementes in einer Aufsicht sowie in einer geschnittenen Seitenansicht,a) shows a first embodiment of a thermoelectric Element in a top view as well as in a sectioned side view,
- b) zeigt ein zweites Ausführungsbeispiel eines thermoelektrischen Elementes in einer geschnittenen Seitenansicht,b) shows a second embodiment of a thermoelectric element in a cut sheet tenansicht,
-
a)–e)
zeigen die Herstellung des thermoelektrischen Elementes nach
1a )a) -e) show the preparation of the thermoelectric element1a )
- a)–b) zeigen Ausführungsbeispiele thermoelektrischer Elemente mit unterschiedlich ausgebildeten Thermoschenkeln,from) show exemplary embodiments thermoelectric elements with differently shaped thermo legs,
- a)–d) zeigt ein Ausführungsbeispiel eines thermoelektrischen Elementes mit beidseitiger Beschichtung der Trägerstruktur in Aufsicht, Unteransicht, als Abwicklung sowie in Seitenansichta) -d) shows an embodiment a thermoelectric element with double-sided coating the support structure in supervision, bottom view, as settlement as well as in side view
Eine
spiralförmige
linienförmige
Unterbrechung
Die
spiralförmige
linienförmige
Unterbrechung
Die
Stossstellen
An
Hand von
Auf
die in
On the in
Auf
die vollflächig
auf einer Oberfläche
beschichtete Trägerstruktur
Anschließend werden
die leitfähigen
Materialien
In
einer Ausgestaltung der Erfindung nach
Die
Strukturierung der in Figur c) in Abwicklung dargestellten Beschichtung
Infolge
der beidseitigen Beschichtung der Trägerstruktur
Die
Eigenschaften des in
- • Länge du Breite
der Thermoschenkel
33 ,34 - • Länge der
vollflächig
und beidseitig beschichteten Trägerstruktur
37 - • Überlappungsfläche der
die Verbindungselemente bildenden leitfähigen Schicht
38 im Bereich des ersten leitfähigen Materials35 sowie des zweiten leitfähigen Materials36 - • Überlappungsfläche der
die Verbindungselemente bildenden leitfähigen Schicht
39 im Bereich des ersten leitfähigen Materials35 sowie des zweiten leitfähigen Materials36 - • Größe der Kühl- bzw. Heizfläche
- • Anzahl der Thermopaare sowie
- • Length of width of the thermo leg
33 .34 - • Length of the full-surface and double-sided coated support structure
37 - • Overlap surface of the conductive layer forming the connecting elements
38 in the region of the first conductive material35 and the second conductive material36 - • Overlap surface of the conductive layer forming the connecting elements
39 in the region of the first conductive material35 and the second conductive material36 - • Size of the cooling or heating surface
- • Number of thermocouples as well
Während das
Ausführungsbeispiel
nach
Claims (13)
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