DE102006017629A1

DE102006017629A1 - Verfahren und Vorrichtung zur Laserbearbeitung

Info

Publication number: DE102006017629A1
Application number: DE102006017629A
Authority: DE
Inventors: Stephan Wenke
Original assignee: LPKF Laser and Electronics AG
Current assignee: LPKF Laser and Electronics AG
Priority date: 2006-02-22
Filing date: 2006-04-12
Publication date: 2007-08-30

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung (1) zur Laserbearbeitung eines Werkstücks (2) entlang einer vorbestimmten Bearbeitungsbahn (3) zwischen dem Anfangspunkt (A) und dem Endpunkt (B). Hierzu hat die Vorrichtung (1) einen Laserbearbeitungskopf (4), der relativ zu dem Werkstück (2) in X-Richtung und Y-Richtung verfahrbar ist und durch den zugleich ein Laserstrahl (5) in unterschiedlich einstellbaren Winkeln aus dem Laserbearbeitungskopf (4) ablenkbar ist. Eine bei der Relativbewegung des Werkstücks (2) zu dem Laserbearbeitungskopf (4) auftretende Abweichung der Istposition von der Sollposition wird mittels eines Sensors erfasst und daraus ein Korrekturwert für die Ablenkung des Laserstrahls (5) relativ zu dem auf Laserbearbeitungskopf (4) die Sollposition bestimmt. Hierdurch wird es erstmals möglich, die Bearbeitung des Werstückes (2) selbst dann zuverlässig und mit reproduzierbarer Genauigkeit durchzuführen, wenn aufgrund der dynamischen Kräfte des Systems eine Abweichung der Istposition von der Sollposition, insbesondere bei sehr hohen Relativgeschwindigkeiten des Werkstücks (2) zu dem Laserbearbeitungskopf (4) unvermeidbar ist.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Laserbearbeitung entlang einer vorbestimmten Bearbeitungsbahn auf einem Werkstück, bei dem das Werkstück relativ zu einem Laserbearbeitungskopf bewegt wird und zugleich der aus dem Laserbearbeitungskopf austretende Laserstrahl relativ zu dem Laserbearbeitungskopf abgelenkt wird. Weiterhin betrifft die Erfindung eine zur Durchführung des Verfahrens bestimmte, mit einer Steuereinheit ausgestattete Vorrichtung zur linienförmigen Bearbeitung eines Werkstücks mittels eines aus einem Laserbearbeitungskopf austretenden Laserstrahls, wobei einerseits der Laserbearbeitungskopf relativ zu dem Werkstück mittels eines Antriebes beweglich ist und andererseits zugleich der Laserstrahl relativ zu dem Laserbearbeitungskopf ablenkbar ist.

Eine gattungsgemäßes Verfahren sowie derartige Vorrichtungen sind beispielsweise durch die DE 103 21 123 A1 bekannt, die eine Vorrichtung zur Laserbearbeitung mit einem Schneidkopf offenbart, der gegenüber einer Auflage für ein zu bearbeitendes Werkstück relativ beweglich ausgeführt ist. Die Vorrichtung weist zusätzlich zur Positionierung des Laserstrahls auf der Oberfläche des Werkstücks eine verstellbare Umlenkeinheit auf. Der Verstellbereich der Umlenkeinheit ist dabei durch die Düsenöffnung einer Düse bestimmt, durch die der Laserstrahl zugleich mit einem Druckgas auf die zu bearbeitende Oberfläche gelenkt wird. Zur Laserbearbeitung kann sowohl der Schneidkopf als auch der Laserstrahl relativ zu dem Werkstück überlagert bewegt werden, um so die Bearbeitungsgeschwindigkeit zu erhöhen.

Die EP 07 81 622 A2 bezieht sich auf eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Laserschweißen bei dem mehrere Laserstrahlen auf eine Kontaktstelle zwischen zwei Werkstücken gerichtet werden. Der Vorschubbewegung des Werkstückes wird eine oszillierende Bewegung der Laserstrahlen quer zu der Vorschubbewegung überlagert, so dass die Laserstrahlen über die Kontaktstelle hinaus pendeln.

Ein ähnliches Verfahren zum Verschweißen von aneinander stoßenden Werkstücken mittels zwei oder mehr Laserstrahlen beschreibt auch bereits die US 53 03 081 A . Die Laserstrahlen oszillieren dabei senkrecht zur Ausdehnungsrichtung einer Werkstücknahtstelle.

Die US 65 34 740 B1 betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Abtasten einer Objektfläche mit einem Laserstrahl, insbesondere zum selektiven Laser-Schmelzen von Metallpulver zur Herstellung eines Formkörpers. Die Vorrichtung hat eine Plottermechanik mit zwei Linearachsen, über die ein Trägerelement über der Objektfläche positioniert und bewegt werden kann. Außerdem weist die Vorrichtung eine optische Einrichtung, die den Laserstrahl zum Trägerelement führt sowie eine Abtasteinrichtung am Trägerelement, die den Laserstrahl auf die Objektfläche lenkt und in einem vorgebbaren Winkelbereich hin- und herbewegt, auf. Dabei sollen Vorteile der schnellen Bewegung eines fokussierten Laserstrahls mittels eines Scanners mit den Vorteilen der von der Brennweite der Fokussieroptik unabhängigen Größe des Bearbeitungsfeldes durch die Bewegung des Strahls mittels eines Plotters erreicht werden.

Die EP 12 50 975 A2 offenbart eine Vorrichtung zum Härten eines Werkstücks mittels eines Laserstrahls. Hierzu wird eine Düse, durch die der Laserstrahl austritt, zu einer vorbestimmten Position verfahren und dann der Laserstrahl auf das Werkstück gerichtet, wobei der Laserstrahl mittels eines beweglichen Spiegels ablenkbar ist.

Weitere Vorrichtungen zur Laserbearbeitung sind auch durch die US 44 19 675 , die US 2003 0038120 A1 sowie die EP 12 28 835 A1 bekannt.

Bei dem gesamten zuvor beschriebenen Stand der Technik wird die Bearbeitungsbahn dadurch erzeugt, dass einer durch ein Steuerprogramm vorgegebenen Relativbewegung des Werkstücks zu dem Laserbearbeitungskopf als Grundbewegung eine Ablenkung des Laserstrahls überlagert wird, so dass eine Abweichung der Grundbewegung ebenso wie eine fehlerhafte Ablenkung des Laserstrahls zu einer entsprechenden Abweichung der Istposition von der Sollposition führt.

Als nachteilig erweisen sich in der Praxis die mit der Relativbewegung des Laserbearbeitungskopfs gegenüber dem Werkstück verbundenen dynamischen Kräfte, die dazu führen, dass die Beschleunigung selbst dann nicht beliebig gesteigert werden kann, wenn die hierzu erforderliche Antriebsleistung grundsätzlich verfügbar ist. Vielmehr bedingen höhere dynamische Kräfte eine entsprechende konstruktive Auslegung der Vorrichtung, mit der in der Praxis eine Erhöhung der bewegten Masse verbunden ist, so dass sich auf diese Weise keine weitere Verbesserung erreichen lässt.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Möglichkeit zu schaffen, die Bearbeitungsgeschwindigkeit weiter zu steigern. Dabei sollen insbesondere Einschränkungen hinsichtlich der Bearbeitungsgenauigkeit vermieden werden. Weiterhin liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine zur Durchführung bestimmte Vorrichtung zu schaffen.

Die erstgenannte Aufgabe wird erfindungsgemäß mit einem Verfahren gemäß den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Die Unteransprüche betreffen besonders zweckmäßige Weiterbildungen der Erfindung.

Erfindungsgemäß ist also ein Verfahren vorgesehen, bei dem eine bei der Relativbewegung des Werkstücks zu dem Laserbearbeitungskopf auftretende Abweichung der Istposition von der Sollposition erfasst und daraus ein Korrekturwert für die Ablenkung des Laserstrahls relativ zu dem Laserbearbeitungskopf auf die Sollposition bestimmt und der Laserstrahl entsprechend abgelenkt wird. Hierdurch wird es erstmals möglich, die Bearbeitung des Werkstückes selbst dann zuverlässig und mit reproduzierbarer Genauigkeit durchzuführen, wenn aufgrund der dynamischen Kräfte des Systems eine Abweichung der Istposition von der Sollposition erfasst wird. Insbesondere wird also der Laserbearbeitungskopf mit einer maximalen Relativgeschwindigkeit bewegt, wobei lediglich die Abweichung der Istposition von der Sollposition den Bereich der maximalen Ablenkung des Laserstrahls relativ zu dem Laserbearbeitungskopf nicht überschreiten darf. Aufgrund der damit einhergehenden geringeren Anforderungen an die Positionierungsgenauigkeit sowie die konstruktiven Anforderungen an das System können somit auch die mit der Herstellung der zur Durchführung bestimmten Vorrichtung verbundenen Kosten reduziert werden. Erfindungsgemäß kommt es also nicht darauf an, dass durch die Relativbewegung des Werkstücks zu dem Laserbearbeitungskopf die Istposition erreicht wird oder erreichbar ist, sondern es wird durch diese Relativbewegung lediglich sichergestellt, dass die erzielte Annäherung die Ablenkung des Laserstrahls auf die Istposition gestattet.

Als besonders vorteilhaft erweist sich dabei eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, bei der ein Überschwingen bei der Relativbewegung von Werkstück und Laserbearbeitungskopf erfasst und daraus eine der Relativbewegung entgegengesetzte Ablenkung des Laserstrahls eingestellt wird. Hierdurch werden also die beiden Relativbewegungen von Werkstück und Laserbearbeitungskopf einerseits und der Ablenkung des Laserstrahls relativ zu dem Laserbearbeitungskopf andererseits einander derart überlagert, dass sich daraus eine Bewegung entlang der jeweiligen Sollposition ergibt. Das insbesondere systembedingte Überschwingen bei der Bewegung des angetriebenen Laserbearbeitungskopfes oder der angetriebenen Werkstückaufnahme, wird demnach also in einfacher Weise ebenso ausgeglichen, wie unerwünschte Umgebungseinflüsse.

Dabei erweist es sich auch als besonders zweckmäßig, wenn die Annäherung des Laserbearbeitungskopfes an die Sollposition erfasst und vorauseilend eine Ablenkung des Laserstrahls auf die Sollposition eingestellt wird. Auf diese Weise wird nicht lediglich die Dauer während der unbeabsichtigt zunehmenden Entfernung des Laserbearbeitungskopfes von dem Werkstück für den Ausgleich der Bewegung durch die entsprechende Strahlablenkung genutzt, sondern vielmehr die gesamte Dauer des Aufenthaltes des Laserbearbeitungskopfes in dem maximalen Ablenkungsbereich des Laserstrahls in Bezug auf die Sollposition. Die Annäherung des Laserbearbeitungskopfes wird dabei beispielsweise als eine Annäherung einer fiktiven Geraden entsprechend der Neutrallage oder Mittellage des Laserstrahls innerhalb des maximalen Ablenkungsbereichs als Schnittpunkt auf dem Werkstück gegenüber der Sollposition des Laserstrahls auf dem Werkstück bestimmt. Dabei ist es auch denkbar, aufgrund zuvor erfasster Messwerte oder in einer Datenbank abgelegter Parameter eine Voreinstellung der Laserstrahlablenkung im Hinblick auf eine voraussichtliche Abweichung oder Annäherung vorzunehmen.

Eine andere, ebenfalls besonders Erfolg versprechende Abwandlung wird dadurch erreicht, dass mittels des Verfahrens eine Durchbrechung in das Werkstück eingebracht wird, um so beispielsweise nahezu beliebige Konturen in elektronische Bauelemente oder für deren Fertigung bestimmte Werkzeuge oder Hilfsmittel einzubringen.

Beispielsweise kann auch gemäß einer weiteren vorteilhaften Abwandlung des Verfahrens durch die der Relativbewegung von Werkstück und Laserbearbeitungskopf überlagerte Ablenkung des Laserstrahls relativ zu dem Laserbearbeitungskopf eine im Wesentlichen gerade Schnittkante erzeugt werden, die anderenfalls nach dem Stand der Technik an dem Werkstück abgebildete Fehlereinflüsse dynamischer Kräfte aufweisen würde. In einfacher Weise kann so beispielsweise eine Schablone oder Maske für einen flächigen Laserabtrag hergestellt werden.

Die Ablenkung des Laserstrahls kann grundsätzlich mit einem beliebigen, ein Stellmittel aufweisenden Reflektor durchgeführt werden. Besonders Erfolg versprechend ist hingegen eine Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens, bei dem der Laserstrahl mittels eines ein piezoelektrisch betätigbaren Stellmittel aufweisenden Reflektors abgelenkt wird. Hierdurch werden sehr geringe Reaktionszeiten bei der Strahlablenkung erreicht, so dass ein Ausgleich nahezu beliebiger äußerer oder dynamischer Einflüsse ausgeglichen werden kann.

Dabei erweist es sich in als besonders zweckmäßig, wenn während der Relativbewegung des Laserbearbeitungskopfs gegenüber dem Werkstück die Ist-Position mit der Soll-Position verglichen und anschließend eine Ablenkung des Laserstrahls nur dann eingestellt wird, wenn der Betrag der Soll-Ist-Differenz innerhalb eines maximalen Ablenkungsbereichs des Laserstrahls des Laserbearbeitungskopfes liegt. Hierdurch wird eine optimale überlagerte Bewegung sichergestellt und die Bearbeitungsdauer weiter optimiert.

Die zweitgenannte Aufgabe, eine mit einer Steuereinheit ausgestattete Vorrichtung zur linienförmigen Bearbeitung eines Werkstück mittels eines aus einem Laserbearbeitungskopf austretenden Laserstrahls, wobei einerseits der Laserbearbeitungskopf relativ zu dem Werkstück mittels eines Antriebes beweglich ist und andererseits zusätzlich der Laserstrahl relativ zu dem Laserbearbeitungskopf ablenkbar ist, zur Durchführung des Verfahrens zu schaffen, wird erfindungsgemäß erreicht durch einen Sensor zur Erfassung der Abweichung der Istposition des Laserbearbeitungskopfs relativ zu dem Werkstück von der Sollposition und die Ablenkung des Laserstrahls mittels eines Stellmittels aufgrund eines mittels der Steuereinheit bestimmten, der Abweichung entgegenwirkenden Steuersignals zur Ablenkung des Laserstahls auf die Sollposition. Hierdurch wird erfindungsgemäß ein Regelkreis geschaffen, bei dem aufgrund der bei der Relativbewegung des Werkstücks zu dem Laserbearbeitungskopf auftretenden, durch den Sensor erfassten Abweichung der Istposition von der Sollposition ein Steuersignal für die Ablenkung des aus dem Laserbearbeitungskopf austretende Laserstrahl zum Ausgleich der Abweichung bestimmt wird. Gegenüber dem Stand der Technik wird insbesondere also keine Unterteilung in eine Vorschubbewegung und in eine Positionierungsbewegung entsprechend dem Steuerprogramm vorgenommen, sondern ein Regelkreis zum Ausgleich der unbeabsichtigten oder durch äußere Einflüsse einwirkenden Kräfte realisiert. Die Vorrichtung dient dabei beispielsweise dem Einbringen von linienförmigen Ausnehmungen, insbesondere Durchbrechungen, in ein insbesondere zur Herstellung einer Schablone bestimmtes Werkstück mittels des Laserstrahls.

Die Erfindung lässt verschiedene Ausführungsformen zu. Zur weiteren Verdeutlichung ihres Grundprinzips ist eine davon in der Zeichnung dargestellt und wird nachfolgend beschrieben. Diese zeigt jeweils in einer Prinzipskizze in
1 eine Draufsicht auf eine erfindungsgemäße Vorrichtung mit einem Werkstück;
2 eine Darstellung des zeitlichen Verlaufs der Bewegungsgeschwindigkeit in X- und Y-Richtung nach dem Stand der Technik;
3 eine Darstellung des zeitlichen Verlaufs der Bewegungsgeschwindigkeit in X- und Y-Richtung nach erfindungsgemäßen Verfahren.
1 zeigt in einer Draufsicht eine erfindungsgemäße Vorrichtung 1 zur Laserbearbeitung eines Werkstücks 2 entlang einer vorbestimmten Bearbeitungsbahn 3 zwischen dem Anfangspunkt A und dem Endpunkt B. Hierzu hat die Vorrichtung 1 einen Laserbearbeitungskopf 4, der relativ zu dem Werkstück 2 in X-Richtung und Y-Richtung verfahrbar ist und durch den zugleich ein Laserstrahl 5 in unterschiedlich einstellbaren Winkeln aus dem Laserbearbeitungskopf 4 ablenkbar ist. Eine bei der Relativbewegung des Werkstücks 2 zu dem Laserbearbeitungskopf 4 auftretende Abweichung der Istposition von der Sollposition wird mittels eines nicht gezeigten Sensors erfasst und daraus ein Korrekturwert für die Ablenkung des Laserstrahls 5 relativ zu dem auf Laserbearbeitungskopf 4 die Sollposition bestimmt. Hierdurch wird es erstmals möglich, die Bearbeitung des Werkstückes 2 selbst dann zuverlässig und mit reproduzierbarer Genauigkeit durchzuführen, wenn aufgrund der dynamischen Kräfte des Systems eine Abweichung der Istposition von der Sollposition, insbesondere bei sehr hohen Relativgeschwindigkeiten des Werkstücks 2 zu dem Laserbearbeitungskopf 4 unvermeidbar ist. Im Bereich der maximalen Ablenkung 6 des Laserstrahls 5 im Bereich der Sollposition erfolgt also die Positionierung aufgrund der Überlagerung der beiden Relativbewegungen. Zu diesem Zweck wird die Istposition ständig erfasst und die jeweilige Ablenkung ohne praktische Verzögerung eingestellt. Darüber hinaus wird mittels des Sensors die Annäherung des Laserbearbeitungskopfs 4 an seiner vorbestimmten Sollposition erfasst und eine der Relativbewegung zwischen dem Werkstück 2 und dem Laserbearbeitungskopf 4 eine (dynamische) Ablenkung des Laserstrahls 5 derart überlagert, dass die Bearbeitung insbesondere bereits vor dem Stillstand der Relativbewegung erfolgen kann. Weiterhin wird dadurch auch das Überschwingen des Laserbearbeitungskopfs 4 entlang der gestrichelt dargestellten Bewegungsbahn 7 ausgeglichen. Die Verzögerungswerte der Relativbewegung können dadurch wesentlich erhöht werden, weil die um den Sollwert schwingende Annäherungsbewegung nicht zu einem nachteiligen Einfluss auf die Laserbearbeitung des Werkstücks 2 führt. Die einzelnen Verfahrensschritte umfassen zunächst den Vergleich der Ist-Position mit der Soll-Position während der Relativbewegung des Laserbearbeitungskopfs 4 gegenüber dem Werkstück 2, den Vergleich der Soll-Ist-Differenz mit dem Bereich der maximalen Ablenkung 6 des Laserstrahls 5 gegenüber dem Laserbearbeitungskopfes 4 und gegebenenfalls der Ablenkung des Laserstahls 5 entgegen der erfassten Abweichung.
In den 2 und 3 ist der zeitliche Verlauf der Bewegungsgeschwindigkeit in X- und Y-Richtung nach dem Stand der Technik einerseits und bei dem erfindungsgemäßen Verfahren andererseits dargestellt. Zu erkennen ist die in 2 in zeitlicher Abfolge nacheinander verlaufende Relativbewegung des Werkstücks 2 zu dem Laserbearbeitungskopf 4 in X-Richtung und Y-Richtung nach dem Stand der Technik. Die maximale Geschwindigkeit sowie die Verzögerung in X-Richtung ist dabei derart gewählt, dass der Laserbearbeitungskopf 4 im Punkt A in 1 zum Stillstand kommt. Danach erfolgt die Strahlablenkung auf die Sollposition des in 1 gezeigten Laserstrahls 5 auf den Punkt A und die erneute Beschleunigung in Y-Richtung entlang der in 1 dargestellten Bearbeitungsbahn 3.
Demgegenüber wird bei dem in 3 gezeigten erfindungsgemäßen Verfahren eine höhere maximale Geschwindigkeit V_max erreicht und zudem eine wesentlich stärkere Verzögerung eingestellt, so dass der Punkt A in 3 zu einem früheren Zeitpunkt erreicht wird. Systembedingt führt die starke Verzögerung zu einem Überschwingen des Laserbearbeitungskopfs 4, welches als Abweichung der Istposition von der Sollposition erfasst wird. Dieser Abweichung entgegenwirkend wird bereits vor dem Stillstand der Bewegung des Laserbearbeitungskopfes 4 in X-Richtung die Ablenkung des Laserstrahls 5 auf die Sollposition auf der Bearbeitungsbahn 3 eingestellt, während die Bewegungsbahn 7 bei der Bewegung des Laserbearbeitungskopfes in Y-Richtung einer Pendelbewegung mit gedämpfter Amplitude um die Bearbeitungsbahn 3 folgt. Die daraus resultierende Zeitersparnis Δt resultiert dabei im Wesentlichen aus dem zeitlich überlagerten Bewegungsablauf in Verbindung mit einer höheren maximalen Geschwindigkeit V_max und einer größeren Verzögerung.

Claims

Verfahren zur Laserbearbeitung entlang einer vorbestimmten Bearbeitungsbahn auf einem Werkstück, bei dem das Werkstück relativ zu einem Laserbearbeitungskopf bewegt wird und zugleich der aus dem Laserbearbeitungskopf austretende Laserstrahl relativ zu dem Laserbearbeitungskopf abgelenkt wird, dadurch gekennzeichnet, dass eine bei der Relativbewegung des Werkstücks zu dem Laserbearbeitungskopf auftretende Abweichung der Istposition von der Sollposition erfasst und daraus ein Korrekturwert für die Ablenkung des Laserstrahls relativ zu dem Laserbearbeitungskopf auf die Sollposition bestimmt und der Laserstrahl entsprechend abgelenkt wird.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein Überschwingen bei der Relativbewegung von Werkstück und Laserbearbeitungskopf erfasst und daraus eine der Relativbewegung entgegengesetzte Ablenkung des Laserstrahls eingestellt wird.
Verfahren nach den Ansprüchen 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Annäherung des Laserbearbeitungskopfes an die Sollposition erfasst und vorauseilend eine Ablenkung des Laserstrahls auf die Sollposition eingestellt wird.
Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mittels des Verfahrens eine Durchbrechung in das Werkstück eingebracht wird.
Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass durch die der Relativbewegung von Werkstück und Laserbearbeitungskopf überlagerte Ablenkung des Laserstrahls relativ zu dem Laserbearbeitungskopf eine im Wesentlichen gerade Schnittkante erzeugt wird.
Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Schablone oder Maske für einen flächigen Laserabtrag hergestellt wird.
Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Laserstrahl mittels eines piezoelektrisch betätigbaren Stellmittel aufweisenden Reflektors abgelenkt wird.
Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass während der Relativbewegung des Laserbearbeitungskopfs gegenüber dem Werkstück die Ist-Position mit der Soll-Position verglichen und anschließend eine Ablenkung des Laserstrahls nur dann eingestellt wird, wenn der Betrag der Soll-Ist-Differenz innerhalb eines maximalen Ablenkungsbereichs des Laserstrahls des Laserbearbeitungskopfes liegt.
Eine mit einer Steuereinheit ausgestattete Vorrichtung (1) zur linienförmigen Bearbeitung eines Werkstück (2) mittels eines aus einem Laserbearbeitungskopf (4) austretenden Laserstrahls (5), wobei einerseits der Laserbearbeitungskopf (4) relativ zu dem Werkstück (2) mittels eines Antriebes beweglich ist und andererseits zusätzlich der Laserstrahl (5) relativ zu dem Laserbearbeitungskopf (4) ablenkbar ist, gekennzeichnet durch einen Sensor zur Erfassung der Abweichung der Istposition des Laserbearbeitungskopfs (4) relativ zu dem Werkstück (2) von der Sollposition und die Ablenkung des Laserstrahls (5) mittels eines Stellmittels aufgrund eines mittels der Steuereinheit bestimmten, der Abweichung entgegenwirkenden Steuersignals zur Ablenkung des Laserstahls (5) auf die Sollposition.