DE102006001733A1

DE102006001733A1 - vacuum pump

Info

Publication number: DE102006001733A1
Application number: DE102006001733A
Authority: DE
Inventors: Thomas Dipl.-Ing. Dreifert; Hans-Rochus Dipl.-Ing. Groß
Original assignee: Oerlikon Leybold Vacuum GmbH
Current assignee: Leybold GmbH
Priority date: 2006-01-13
Filing date: 2006-01-13
Publication date: 2007-07-19
Also published as: EP1971781A1; JP2009523210A; KR20080083666A; WO2007082831A1; CN101371044A; US20090148284A1

Abstract

Eine Vakuumpumpe zur Erzeugung eines Vakuums in einem zu evakuierenden Raum weist ein Gehäuse (10) mit einem zylindrischen Innenraum (22) auf. In dem Innenraum (22) ist exzentrisch ein Verdränger (26) angeordnet. Zwischen dem Verdränger (26) und einer Innenwand (38) des Gehäuse (10) ist ein wendelförmiges Dichtelement (34) zur Ausbildung mindestens eines sichelförmigen Förderraums vorgesehen. Das Gehäuse (10) oder der Verdränger (26) ist mit einer Antriebseinrichtung (44) zum Erzeugen einer relativen Drehbewegung zwischen dem Gehäuse (10) und dem Verdränger (26) verbunden. Erfindungsgemäß ist die Vakuumpumpe als trockenlaufende Vakuumpumpe ausgebildet.A vacuum pump for generating a vacuum in a space to be evacuated has a housing (10) with a cylindrical interior (22). A displacer (26) is arranged eccentrically in the interior (22). A helical sealing element (34) is provided between the displacer (26) and an inner wall (38) of the housing (10) to form at least one crescent-shaped delivery chamber. The housing (10) or the displacer (26) is connected to a drive device (44) for generating a relative rotary movement between the housing (10) and the displacer (26). According to the invention, the vacuum pump is designed as a dry-running vacuum pump.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe zur Erzeugung eines Vakuums in einem Raum.The The invention relates to a vacuum pump for generating a vacuum in a room.

Vakuumpumpen werden zur Evakuierung von Räumen genutzt, in denen insbesondere hinsichtlich Partikeln kritische Prozesse ablaufen. Derartige Prozesse erfolgen beispielsweise in der Halbleiterproduktion, in Bedampfungsprozessen, chemischen Prozessen etc.. Um zu vermeiden, dass aus der Vakuumpumpe Schmiermittelbestandteile in den zu evakuierenden Raum gelangen, besteht die Forderung, trockenlaufende Vakuumpumpen einzusetzen.vacuum pumps be used to evacuate rooms used, in which in particular with regard to particles critical Processes expire. Such processes take place, for example, in of semiconductor production, in vaporization processes, chemical processes etc. In order to avoid getting out of the vacuum pump lubricant components enter the room to be evacuated, there is a requirement, dry-running Use vacuum pumps.

Beispielsweise sind trockenlaufende Drehschieber-Vakuumpumpen bekannt, die jedoch den Nachteil aufweisen, dass an den reibenden Bauteilen, d. h., zwischen dem Schieber und der Schöpfrauminnenwand, hohe Relativgeschwindigkeiten auftreten. Da bei akzeptablen Volumenströmen hohe Relativgeschwindigkeiten auftreten, ist die Lebensdauer von Drehschieber-Vakuumpumpen relativ gering.For example Dry-running rotary vane vacuum pumps are known, however have the disadvantage that on the rubbing components, d. H., between the slider and the suction chamber inner wall, high relative speeds occur. As with acceptable volume flows high relative speeds occur, the life of rotary vane vacuum pumps is relatively low.

Als weitere trockenlaufende Vakuumpumpen sind Scrollpumpen bekannt. Scrollpumpen umfassen ein ortsfestes und ein orbitierendes Bauteil, die spiralförmige, ineinander greifende Fördermittel tragen. Scrollpumpen sind jedoch in der Herstellung teuer und müssen häufig gewartet werden, um einen zuverlässigen Dauerbetrieb zu gewährleisten.When Further dry running vacuum pumps are known scroll pumps. Scroll pumps comprise a stationary and an orbiting component, the spiral, Interlocking funding wear. However, scroll pumps are expensive to manufacture and require frequent maintenance be a reliable one To ensure continuous operation.

Trockenlaufende Kolbenvakuumpumpen weisen den Nachteil auf, dass die Herstellungskosten hoch sind und ferner das Bauvolumen groß ist. Ferner sind bei derartigen Pumpen die Geräuschentwicklung und die auftretenden Vibrationen nachteilig.Dry running Piston vacuum pumps have the disadvantage that the manufacturing costs are high and also the construction volume is large. Furthermore, in such Pumps the noise and the vibrations occurring disadvantageous.

Aus WO 03/081048 ist eine trockenlaufende Vakuumpumpe bekannt, die einen exzentrisch gelagerten Verdränger aufweist. In einer schraubenlinienförmigen Nut des zylindrischen Verdrängers ist ein wendelförmiges Dichtelement angeordnet. Innerhalb des hohl ausgebildeten Zylinders ist exzentrisch zur Drehachse des Zylinders eine Kurbel angeordnet. Das System aus rotierender Kurbel und orbitierendem Verdränger ist in einem zylindrischen Gehäuse angeordnet. Die in WO 03/081048 beschriebene Vakuumpumpe ist für hohe Förderleistungen gut geeignet, weist jedoch einen komplizierten Aufbau auf.Out WO 03/081048 a dry running vacuum pump is known which a eccentrically mounted displacer having. In a helical groove of the cylindrical displacer is a helical one Arranged sealing element. Inside the hollow cylinder is eccentrically to the axis of rotation of the cylinder arranged a crank. The System of rotating crank and orbiting displacer is arranged in a cylindrical housing. The vacuum pump described in WO 03/081048 is suitable for high flow rates well suited, but has a complicated structure.

Aufgabe der Erfindung ist es, eine Vakuumpumpe zu schaffen, deren wirtschaftlicher Einsatz auch bei Trockenlauf, insbesondere bei kleinem Saugvermögen, gewährleistet ist.task The invention is to provide a vacuum pump whose economical Use even with dry running, especially at low pumping speed guaranteed is.

Die Lösung der Aufgabe erfolgt erfindungsgemäß durch die Merkmale des Anspruchs 1.The solution The object is achieved according to the invention by the features of the claim 1.

Die erfindungsgemäße Vakuumpumpe weist ein Gehäuse mit einem zylindrischen Innenraum auf. In dem Innenraum ist exzentrisch ein Verdränger angeordnet. Zwischen dem Verdränger und der Innenwand des Gehäuses ist ein wendelförmiges Dichtelement zur Ausbildung mindestens eines sichelförmigen Förderraums angeordnet. Der Verdränger oder das Gehäuse sind unmittelbar mit einer Antriebseinrichtung verbunden, wobei je nach Ausführungsform entweder das Gehäuse oder der Verdränger feststehend ist. Durch eine einfache Drehbewegung des Gehäuses oder des Verdrängers erfolgt auf Grund der Exzentrizität ein Fördern, beispielsweise eines Gases, aus einem zu evakuierenden Raum durch einen Einlass der Vakuumpumpe zu einem Auslass der Vakuumpumpe.The Vacuum pump according to the invention has a housing with a cylindrical interior on. In the interior is eccentric a displacer arranged. Between the displacer and the inner wall of the housing is a helical one Sealing element for forming at least one crescent-shaped delivery chamber arranged. The displacer or the housing are directly connected to a drive device, wherein depending on the embodiment either the housing or the displacer is stationary. By a simple rotation of the housing or the repressor due to the eccentricity conveying, such as a gas, from a space to be evacuated through an inlet of the vacuum pump to an outlet of the vacuum pump.

Erfindungsgemäß ist die Vakuumpumpe als trockenlaufende Vakuumpumpe ausgebildet. Ein besonderer Vorteil der erfindungsgemäßen Vakuumpumpe besteht darin, dass es sich um eine konstruktiv einfach aufgebaute Vakuumpumpe handelt, bei der lediglich das Gehäuse oder der Verdränger angetrieben werden muss. Dies kann durch eine einfache Verbindung des Verdrängers oder des Gehäuses mit einem Elektromotor, beispielsweise über einen Riementrieb oder über ein zwischengeschaltetes Getriebe, oder auch direkt, erfolgen. Die erfindungsgemäße Vakuumpumpe ist insbesondere als langsam laufende Vakuumpumpe geeignet, die vorzugsweise Maximalumdrehungen von weniger als 300 1/min und besonders bevorzugt weniger als 200 1/min aufweist. Auf Grund des Aufbaus und der Geometrie der erfindungsgemäßen Vakuumpumpe kann trotz der geringen Drehzahlen ein guter Förderstrom erzielt werden.According to the invention Vacuum pump designed as a dry-running vacuum pump. A special Advantage of the vacuum pump according to the invention is that it is a constructively simple structure Vacuum pump is driven at the only the housing or the displacer must become. This can be done by a simple connection of the displacer or of the housing with an electric motor, for example via a belt drive or a intermediate gear, or directly done. The vacuum pump according to the invention is particularly suitable as a slow-running vacuum pump, the preferably maximum revolutions of less than 300 1 / min and especially preferably less than 200 1 / min. Due to the structure and the geometry of the vacuum pump according to the invention can despite the low speeds, a good flow rate can be achieved.

Um die erfindungsgemäße trockenlaufende Vakuumpumpe zuverlässig und wartungsfreundlich betreiben zu können, ist es besonders vorteilhaft, eine geeignete Werkstoffpaarung zwischen dem wendelförmigen Dichtelement und der Gleitfläche, an der das Dichtelement gleitet, zu verwirklichen. Je nach Ausgestaltung der Vakuumpumpe gleitet das Dichtelement bei einer Vakuumpumpe mit außenreibendem Dichtelement an der Innenwand des zylindrischen Innenraums des Gehäuses, wenn das Dichtelement drehfest mit dem Verdränger verbunden ist. Bei einer Vakuumpumpe mit innenreibendem Dichtelement ist das Dichtelement drehfest mit dem Gehäuse verbunden und gleitet an einer Mantelfläche des zylindrischen Verdrängers. Besonders bevorzugte Werkstoffpaarungen zwischen dem Dichtelement und einer Gleitfläche, d. h., der Innenwand des Gehäuses oder der Mantelfläche des Verdrängers, bestehen aus einem Dichtelement aus einem PTFE-Compound oder aus Peek in Kombination mit einer Gleitfläche aus geglättetem, insbesondere anolisiertem Aluminium. Ferner kann das Dichtelement auch aus Federstahl, insbesondere beschichtetem Federstahl, hergestellt sein. Bei der Beschichtung handelt es sich insbesondere um PTFE Compounds (PTFE mit Füllstoffen), PEEK und PEEK Compounds, PI (Polyimide) und PI Compounds, PPS (Polyphenylen Sulfid) und PPS Compounds oder Epoxidharzen mit Füllstoffen. Generell sind mechanisch und thermisch hoch belastbare Kunststoffe geeignet. Für ein derartiges tribologisches System können Relativgeschwindigkeiten von bis zu 5 m/s realisiert werden. Als Werkstoffe für die Gleitfläche sind neben dem insbesondere hart anodisiertem Aluminium Grauguß, Sphäroguß und Temperguß sowie Stähle, insbesondere rostfreie Stähle, geeignet. Vorzugsweise sind diese Werkstoffe mit einer Verschleißschutzschicht, insbesondere CrN oder TiN beschichtet. Zur Verminderung der Reibung zwischen dem Dichtelement und der Gleitfläche ist es ferner vorteilhaft, Beschichtungen oder Gleitlacke vorzusehen. Hierbei kann es sich um keramische Beschichtungen sowie um TiN, CrN, AICrN und CrC handeln.In order to operate the dry running vacuum pump according to the invention reliably and easy to maintain, it is particularly advantageous to realize a suitable material combination between the helical sealing element and the sliding surface on which slides the sealing element. Depending on the configuration of the vacuum pump, the sealing element slides in a vacuum pump with außenreibendem sealing element on the inner wall of the cylindrical interior of the housing when the sealing element is rotatably connected to the displacer. In a vacuum pump with internreibreibendem sealing element, the sealing element is rotatably connected to the housing and slides on a lateral surface of the cylindrical displacer. Particularly preferred material pairings between the sealing element and a sliding surface, ie, the inner wall of the housing or the lateral surface of the displacer, consist of a sealing element of a PTFE compound or peek in combination with a sliding surface of smoothed, in particular anolized aluminum. Furthermore, the sealing element and spring steel, in particular coated Spring steel, to be made. The coating is especially made of PTFE compounds (PTFE with fillers), PEEK and PEEK compounds, PI (polyimides) and PI compounds, PPS (polyphenylene sulfide) and PPS compounds or epoxy resins with fillers. In general, mechanically and thermally highly resilient plastics are suitable. Relative speeds of up to 5 m / s can be realized for such a tribological system. As materials for the sliding surface in addition to the particular hard anodized aluminum gray cast iron, ductile iron and malleable cast iron and steels, especially stainless steels are suitable. Preferably, these materials are coated with a wear protection layer, in particular CrN or TiN. To reduce the friction between the sealing element and the sliding surface, it is also advantageous to provide coatings or bonded coatings. These may be ceramic coatings as well as TiN, CrN, AICrN and CrC.

Hierbei ist die Rauhigkeit R_z der Gleitfläche vorzugsweise geringer als 5, insbesondere geringer als 2 und besonders bevorzugt geringer als 0,5.Here, the roughness R _{z of} the sliding surface is preferably less than 5, in particular less than 2 and particularly preferably less than 0.5.

Auf Grund der Exzentrizität zwischen dem Verdränger und dem zylindrischen Innenraum des Gehäuses ist des Dichtelement in einer Nut angeordnet und in dieser radial verschiebbar. Die Nut ist entweder in dem Verdränger oder dem Gehäuse angeordnet. Wenngleich die Relativgeschwindigkeiten innerhalb des Dichtelementes und einer Nutwandung deutlich geringer sind, ist es dennoch vorteilhaft, auch die Innenwandung der Nut zu Verringerung der Reibung beispielsweise zu beschichten.On Reason of eccentricity between the displacer and the cylindrical interior of the housing is the sealing element in a groove arranged and radially displaceable in this. The groove is either in the displacer or the housing arranged. Although the relative speeds within the Sealing element and a groove wall are significantly lower, is Nevertheless, it is also advantageous to reduce the inner wall of the groove To coat the friction, for example.

Die Breite und die Tiefe der Nut sind derart gewählt, dass im Betriebszustand der Vakuumpumpe einerseits ein gutes radiales Verschieben des Dichtelementes gewährleistet ist und andererseits der Spalt zwischen Dichtelement und Nut möglichst gering ist, um Leckageströme, die die Pumpleistung der Vakuumpumpe reduzieren würden, zu vermeiden. Hierbei ist insbesondere je nach Werkstoffwahl zu berücksichtigen, dass sich die Ausdehnungskoeffizienten, und damit auch die Wärmedehnung der Bauteile unterscheiden können. Dies gilt insbesondere für ein Dichtelement aus Kunststoff.The Width and depth of the groove are chosen such that in the operating state the vacuum pump on the one hand a good radial displacement of the sealing element guaranteed is and on the other hand, the gap between the sealing element and groove as possible is low to leakage currents, which would reduce the pumping power of the vacuum pump, too avoid. In particular, depending on the choice of material to take into account, that the coefficients of expansion, and thus also the thermal expansion of the components can differ. This is especially true for a sealing element made of plastic.

Bei einer besonders bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist ein Kühlelement vorgesehen, um die an der Gleichfläche des Dichtelementes auftretende Wärme gut abführen zu können. Hierdurch kann der Verschleiß, insbesondere des Dichtelementes, erheblich reduziert werden. Bei einer außengleitenden Vakuumpumpe, bei der das Dichtelement an der Innenwand des zylindrischen Innenraums des Gehäuses gleitet, ist das Kühlelement insbesondere in Form von Kühlrippen vorzugsweise mit dem Gehäuse verbunden. Hierbei ist es ferner möglich, um ein gutes Kühlen sicherzustellen, die Kühlrippen mit einem Luftstrom anzuströmen. Hierbei kann die Anströmung in Abhängigkeit der Temperatur gesteuert werden, so dass die Vakuumpumpe zu Beginn des Betriebs schnell auf Betriebstemperatur kommt und sodann in einem engen Temperaturbereich betrieben wird. Dies hat insbesondere den Vorteil, dass das Dichtelement aus einem Material hergestellt werden kann, das einen großen Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist und somit nur in relativ engen Temperaturbereichen ein zuverlässiges Abdichten bei gleichzeitig guten Gleiteigenschaften gewährleistet.at a particularly preferred embodiment The invention is a cooling element provided to the occurring at the same surface of the sealing element Heat well lead away to be able to. As a result, the wear, in particular of the sealing element, be significantly reduced. at an outside sliding Vacuum pump, wherein the sealing element on the inner wall of the cylindrical Interior of the housing slides, is the cooling element especially in the form of cooling fins preferably with the housing connected. It is also possible to ensure good cooling the cooling fins to inflate with a stream of air. Here, the flow dependent on the temperature can be controlled so that the vacuum pump at the beginning of the operation quickly comes to operating temperature and then in a narrow temperature range is operated. This has particular the advantage that the sealing element made of a material that can be a big one CTE and thus only in relatively narrow temperature ranges reliable Caulking guaranteed at the same time good sliding properties.

Bei einer Vakuumpumpe mit innenreibendem Dichtelement ist es insbesondere vorteilhaft, den Verdränger zu kühlen. Hierzu kann beispielsweise ein hohl ausgebildeter Verdränger vorgesehen sein, wobei in dem Hohlraum wiederum Kühlrippen angeordnet sein können, die von einem Luftstrom zur Kühlung umströmt werden.at A vacuum pump with internreibreibendem sealing element is in particular advantageous, the displacer to cool. For this purpose, for example, a hollow trained displacer may be provided, wherein in the cavity in turn arranged cooling fins could be, that of an airflow for cooling flows around become.

Besonders bevorzugt ist es, die Lagerung des Gehäuses oder des Verdrängers auslassseitig vorzunehmen. Hierbei werden die Lager derart angeordnet, dass keine Verbindung mit der Unterdruckseite der Vakuumpumpe besteht.Especially It is preferred to carry out the storage of the housing or the displacer outlet side. Here, the bearings are arranged such that no connection with the negative pressure side of the vacuum pump.

Hierdurch ist sichergestellt, dass Schmiermittel der insbesondere als Wälzlager ausgebildeten Lager, nicht in den zu evakuierenden Raum gelangen. Bevorzugt ist hierbei eine fliegende Lagerung des Verdrängers. Eine weitere Verbesserung der fliegenden Lagerung des Verdrängers, bei der die auf die Lager wirkenden Kippmomente verringert werden können, liegt in der bevorzugten Ausgestaltung innenliegender Lager. Hierzu ist es beispielsweise möglich, den Verdränger als Hohlzylinder auszugestalten und innerhalb des Hohlzylinders die Antriebswelle für den Verdränger anzuordnen und mit diesem zu verbinden. Um die in dem Hohlraum angeordnete Antriebswelle innenliegend zu lagern und dennoch zu gewährleisten, dass es sich um auslassseitige Lager handelt, kann die Antriebswelle von einer Hohlachse, die ggf. innerhalb des Hohlraums des Verdrängers angeordnet ist, umgeben werden. Die Hohlachse ist stationär und trägt die Lager zur Lagerung der Antriebswelle.hereby it is ensured that lubricant in particular as rolling bearings trained warehouse, do not enter the room to be evacuated. In this case, preference is given to a flying mounting of the displacer. A further improvement of the flying bearing of the displacer, at the tilting moments acting on the bearings can be reduced in the preferred embodiment of internal bearings. This is for example, it is possible the displacer to design as a hollow cylinder and within the hollow cylinder the drive shaft for the displacer to arrange and connect with this. Around the arranged in the cavity drive shaft store inside and still ensure that it is outlet side bearing, the drive shaft from a hollow shaft, which is optionally disposed within the cavity of the displacer surrounded become. The hollow axle is stationary and carries the bearings for the storage of Drive shaft.

Das wendelförmige Dichtelement weist vorzugsweise mehrere Windungen bzw. Umdrehungen auf. Dementsprechend weist auch die schraubenförmige Nut mehrere Gewindegänge auf. Um die Leistungsaufnahme der Vakuumpumpe möglichst gering zu halten und bei gleichzeitig kleinem Bauraum die Verdichtungstemperaturen niedrig zu halten, ist eine innere Verdichtung bevorzugt. Eine derartige innere Verdichtung des zu fördernden Mediums kann dadurch erreicht werden, dass in Förderrichtung die Gewindesteigung der Nut, bzw. des Dichtelementes verringert wird. Bevorzugt sind hierbei Verdichtungsverhältnisse von interner Verdichtung zu externer Verdichtung von 1/3 bis 1/10. Vorzugsweise ist ein Bypassventil vorgesehen, um eine Überkompression im Verdichtungsbereich zu vermeiden.The helical sealing element preferably has a plurality of turns or revolutions. Accordingly, the helical groove has a plurality of threads. In order to keep the power consumption of the vacuum pump as low as possible and to keep the compression temperatures low at the same time as little space, internal compression is preferred. Such internal compression of the medium to be conveyed can be achieved by verifying the thread pitch of the groove, or of the sealing element in the conveying direction is reduced. In this case, compression ratios of internal compression to external compression of 1/3 to 1/10 are preferred. Preferably, a bypass valve is provided to prevent over compression in the compression area.

Eine mathematische Analyse der Kinematik der erfindungsgemäßen Vakuumpumpe ergibt, dass die Relativgeschwindigkeit mit der dritten Potenz Einfluss auf das erzielbare maximale Saugvermögen hat. Bei der Relativgeschwindigkeit handelt es sich um die Relativgeschwindigkeit zwischen dem Dichtelement und der Gleitfläche. Die erzielbare maximale Relativgeschwindigkeit hängt im Wesentlichen von der Werkstoffpaarung, der Oberflächengüte und den auftretenden Temperaturen an den Kontaktstellen ab.A mathematical analysis of the kinematics of the vacuum pump according to the invention shows that the relative speed with the third power influence on the achievable maximum pumping speed. At the relative speed it is the relative velocity between the sealing element and the sliding surface. The achievable maximum relative speed depends essentially on the Material pairing, the surface quality and the occurring Temperatures at the contact points from.

Die Drehzahl hingegen wirkt reziprok quadratisch auf das mögliche Saugvermögen, wenn die maximale Relativgeschwindigkeit konstant gehalten wird. Es ist somit möglich, Pumpen mit gegenüber bekannten Vakuumpumpen ungewöhnlich niedrigen Drehzahlen von weniger als 500 1/min 200 1/min zu realisieren, wobei dennoch hohe Saugvermögen realisiert werden können. Auf Grund der erfindungsgemäßen konstruktiven Ausgestaltung der Vakuumpumpe ist es somit möglich, bei niedrigen Drehzahlen hohe Saugvermögen zu erzielen. Auf Grund der erforderlichen geringen Drehzahlen kann die Vakuumpumpe als trockenlaufende Vakuumpumpe ausgestaltet werden. Bei höheren Drehzahlen würden maximale Relativgeschwindigkeiten an den Kontaktstellen auftreten, die zu einem schnellen Verschleiß führen. So sind mit der erfindungsgemäßen trockenlaufenden Vakuumpumpe insbesondere Saugvermögen von etwa 0,1 m³/h-30 m³/h erzielbar. Ferner ist wegen des einfachen Aufbaus der Vakuumpumpe eine kostengünstige Konstruktion möglich. Auf Grund der geringen Bauteilanzahl ist eine hohe Wartungsfreundlichkeit gegeben. Ferner ist insbesondere auf Grund der geringen Drehzahlen eine lange Lebensdauer gewährleistet. Ferner sind die Anforderungen an die Wuchtgüte gering. Ein weiterer Vorteil besteht darin, dass nur geringe Vibrationen auftreten und die Geräuschentwicklung gering ist.On the other hand, the rotational speed acts reciprocally quadratically on the possible pumping speed if the maximum relative speed is kept constant. It is thus possible to realize pumps with unusually low rotational speeds of less than 500 l / min 200 l / min compared with known vacuum pumps, although high pumping speeds can nevertheless be realized. Due to the structural design of the vacuum pump according to the invention, it is thus possible to achieve high pumping speeds at low speeds. Due to the required low speeds, the vacuum pump can be configured as a dry-running vacuum pump. At higher speeds maximum relative velocities would occur at the contact points, which lead to rapid wear. In particular, with the dry-running vacuum pump according to the invention, pumping speeds of approximately 0.1 m ³ / h-30 m ³ / h can be achieved. Furthermore, a cost-effective construction is possible because of the simple construction of the vacuum pump. Due to the small number of components, a high degree of serviceability is given. Furthermore, a long service life is ensured, in particular due to the low rotational speeds. Furthermore, the demands on the balancing quality are low. Another advantage is that only small vibrations occur and the noise is low.

In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist das Dichtelement mit radialer Vorspannung eingebaut. Hierdurch kann eine gute Dichtigkeit erzielt werden. Ferner erfolgt hierdurch ein Ausgleich der Wärmedehnung und eine einfache Austauschbarkeit. Beispielsweise kann eine radiale Vorspannung durch ein Elastomer im Nutgrund hervorgerufen werden. Des weiteren ist ein tangentiales Spannen des Dichtelementes durch Vorsehen einer Feder möglich.In a preferred embodiment the invention, the sealing element is installed with radial bias. As a result, a good tightness can be achieved. Furthermore, it takes place This compensates the thermal expansion and a simple interchangeability. For example, a radial Preload caused by an elastomer in the groove bottom. Furthermore, a tangential clamping of the sealing element by Provision of a spring possible.

Nachfolgend wird die Erfindung an Hand bevorzugter Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die anliegenden Zeichnungen näher erläutert.following the invention with reference to preferred embodiments with reference to the attached drawings closer explained.

Es zeigen:It demonstrate:

1 eine schematische Schnittansicht einer ersten bevorzugten Ausführungsform einer Vakuumpumpe, 1 a schematic sectional view of a first preferred embodiment of a vacuum pump,

2 eine schematische Schnittansicht einer zweiten bevorzugten Ausführungsform einer Vakuumpumpe und 2 a schematic sectional view of a second preferred embodiment of a vacuum pump and

3 eine schematische perspektivische Ansicht einer Vakuumpumpe mit elektromotorischem Antrieb. 3 a schematic perspective view of a vacuum pump with electric motor drive.

Gemäß einer ersten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung (1) weist die Vakuumpumpe ein feststehendes Gehäuse 10 auf. Das Gehäuse 10 ist mit einem Einlassdeckel 12 und einem Auslassdeckel 14 verschlossen. Der Einlassdeckel 12 weist einen Einlass 16 auf, der mit dem zu evakuierenden Raum verbunden ist. Der Auslassdeckel 14 weist einen Anschluss 18 auf, durch den die aus dem zu evakuierenden Raum abgesaugten Gase abgegeben werden. Das Gas gelangt somit aus dem zu evakuierenden Raum in Richtung des Pfeils 20 durch den Einlass 16 in einem zylindrischen Innenraum 22 des Gehäuses 10 und verlässt diesen durch den in dem Auslassdeckel 14 angeordneten Auslassanschluss 18 in Richtung eines Pfeils 24.According to a first preferred embodiment of the invention ( 1 ), the vacuum pump has a fixed housing 10 on. The housing 10 is with an inlet cover 12 and an outlet cover 14 locked. The inlet cover 12 has an inlet 16 on, which is connected to the room to be evacuated. The outlet cover 14 has a connection 18 through which the gases extracted from the room to be evacuated are discharged. The gas thus passes out of the space to be evacuated in the direction of the arrow 20 through the inlet 16 in a cylindrical interior 22 of the housing 10 and leaves it through the in the outlet cover 14 arranged outlet port 18 in the direction of an arrow 24 ,

Innerhalb des zylindrischen Raums 22 ist ein Verdränger 26 angeordnet. Der Verdränger 26 ist exzentrisch zu einer Welle 28 angeordnet. Die Mittelachse 30 des Verdrängers weist somit eine Exzentrizität e zur Mittelachse 32 der Welle 28 auf. Die Welle 28 ist konzentrisch in dem zylindrischen Innenraum 22 angeordnet. Im dargestellten Ausführungsbeispiel ist die Welle 28 durch den mit dem Einlassdeckel 12 verbundenen Deckel 50 hindurchgeführt.Inside the cylindrical space 22 is a displacer 26 arranged. The displacer 26 is eccentric to a wave 28 arranged. The central axis 30 the displacer thus has an eccentricity e to the central axis 32 the wave 28 on. The wave 28 is concentric in the cylindrical interior 22 arranged. In the illustrated embodiment, the shaft 28 through the with the inlet cover 12 connected lid 50 passed.

Der Verdränger 26 trägt ein wendel- bzw. schraubenlinienförmiges Dichtelement 34. Das Dichtelement 34 ist in einer entsprechenden wendel- bzw. schraubenlinienförmigen Nut 36 angeordnet. Das Dichtelement 34 ist drehfest und radial verschiebbar mit dem Verdränger 26 verbunden. Durch Drehen des Verdrängers 26 wird das Dichtelement 34 gegenüber einer Innenwand 38 des Gehäuses 10 gedreht. Gleichzeitig wird der Verdränger 26 radial verschoben, so dass ein Fördern von Gas in Richtung der Pfeile 20, 24 erfolgt. Das Fördern des Gases erfolgt dadurch, dass sichelförmig ausgebildete Förderräume zwischen benachbarten Wendelgängen des Dichtelements 34 das Medium in 1 nach rechts fördern. Der Abstand benachbarter Wendelgänge des Dichtelementes 34 kann in Förderrichtung abnehmen, so dass ein Komprimieren bzw. Verdichten des Mediums erfolgt.The displacer 26 carries a helical or helical sealing element 34 , The sealing element 34 is in a corresponding helical or helical groove 36 arranged. The sealing element 34 is non-rotatable and radially displaceable with the displacer 26 connected. By turning the displacer 26 becomes the sealing element 34 opposite an inner wall 38 of the housing 10 turned. At the same time, the displacer 26 radially displaced, allowing a conveyance of gas in the direction of the arrows 20 . 24 he follows. The conveying of the gas takes place in that sickle-shaped conveying spaces between adjacent helical turns of the sealing element 34 the medium in 1 to promote to the right. The distance between adjacent helical turns of the sealing element 34 can decrease in the conveying direction, so that a compression or compression of the medium takes place.

Bei dem in 1 dargestellten Ausführungsbeispiel erfolgt die Relativbewegung zwischen der Innenwand 38 des Innenraums 22 und einer Außenfläche 40 des Dichtelementes 34. Hierdurch erwärmt sich sowohl das Gehäuse 10 als auch das Dichtelement 34. Wesentlich ist daher bei dieser Ausführungsform, dass das Gehäuse 10 eine gute Wärmeleitfähigkeit aufweist und an seiner Außenseite Kühlrippen 42 vorgesehen sind. Zur Unterstützung der Kühlung können die Kühlrippen 42 zusätzlich von Luft angeströmt werden.At the in 1 illustrated embodiment, the relative movement between the inner wall takes place 38 of the interior 22 and an outer surface 40 of the sealing element 34 , As a result, both the housing heats up 10 as well as the sealing element 34 , It is therefore essential in this embodiment that the housing 10 has a good thermal conductivity and on its outside cooling fins 42 are provided. To support the cooling, the cooling fins 42 be additionally flown by air.

Die mit dem Verdränger 26 verbundene Welle 28 ist mit einer Antriebseinrichtung 44 (3), bei der es sich insbesondere um einen Elektromotor handelt, verbunden. Im dargestellten Ausführungsbeispiel erfolgt die Lagerung der Welle über vorzugsweise als Wälzlager ausgebildete Lager 46, 48, die in dem Einlassdeckel 12 bzw. Auslassdeckel 14 angeordnet sind. Die Lager 46, 48 sind durch Deckel 50 gehalten und sind vorzugsweise als Wälzlager ausgebildet, fettgeschmiert und gedichtet bzw. gedeckelt. Insbesondere auf der Anlassseite ist es vorteilhaft, zwischen dem Einlassdeckel 12 und der Welle 28 eine gut abdichtende Dichtung 52 anzuordnen, um zu vermeiden, dass ein Gasaustausch zwischen der Umgebung und dem zu evakuierenden Raum stattfindet. Dies ist insbesondere dann nachteilig, wenn es sich bei dem zu evakuierenden Raum beispielsweise um einen Raum handelt, in dem eine Halbleiterproduktion oder ähnliches durchgeführt wird. Die kontaktierenden Wellendichtungen können trockenlaufend oder fettgeschmiert ausgeführt sein. Bei kleinen Druckdifferenzen können auch Spaltdichtungen vorgesehen werden. Auch das einlassseitige Lager 48 kann durch eine kontaktierende Wellendichtung vom Prozessmedium im Schöpfraum getrennt werden.The one with the displacer 26 connected wave 28 is with a drive device 44 ( 3 ), which is in particular an electric motor connected. In the illustrated embodiment, the bearing of the shaft via preferably designed as a rolling bearing 46 . 48 in the inlet cover 12 or outlet cover 14 are arranged. Camps 46 . 48 are through lids 50 held and are preferably designed as bearings, grease lubricated and sealed or capped. Especially on the starting side, it is advantageous between the inlet cover 12 and the wave 28 a good sealing seal 52 to avoid that a gas exchange between the environment and the space to be evacuated takes place. This is particularly disadvantageous if the space to be evacuated is, for example, a room in which a semiconductor production or the like is carried out. The contacting shaft seals can be designed dry-running or grease-lubricated. For small differences in pressure and gap seals can be provided. Also the inlet side bearing 48 can be separated from the process medium in the pump chamber by a contacting shaft seal.

Es ist ebenso möglich, das Dichtelement 34 in einer in dem Gehäuse 10 angeordneten Nut anzuordnen, wobei die auftretenden Relativgeschwindigkeiten sodann zwischen dem Dichtelement und einer Außenseite des Verdrängers 26 auftreten. Die hier auftretende Wärme ist jedoch schwieriger abzuführen. Zur Wärmeabfuhr könnte beispielsweise ein hohler Vedränger vorgesehen sein.It is also possible, the sealing element 34 in one in the housing 10 to arrange arranged groove, wherein the relative speeds occurring then between the sealing element and an outer side of the displacer 26 occur. However, the heat occurring here is more difficult to dissipate. For example, a hollow Vedränger could be provided for heat dissipation.

Ferner ist es möglich, einen stationären Verdränger und ein rotierendes Gehäuse vorzusehen. Dabei wäre die Bohrung in dem Gehäuse exentrisch zur Drehachse, um die das Gehäuse dreht.Further Is it possible, a stationary one displacement and a rotating housing provided. It would be the hole in the housing eccentric to the axis of rotation about which the housing rotates.

Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform (2) sind ähnliche oder identische Bauteile mit den selben Bezugszeichen wie in 1 bezeichnet.In a further preferred embodiment ( 2 ) are similar or identical components with the same reference numerals as in 1 designated.

Das Gehäuse 10 ist entsprechend der Ausführungsform in 1 ausgebildet und mit Gehäusedeckeln 12, 14 verschlossen. Das Gehäuse 10 weist ebenfalls eine zylindrische Öffnung auf, in der ein Verdränger 54 angeordnet ist. Entsprechend 1 weist der Verdränger 54 eine zylindrische Außenkontur auf, wobei in Nuten 36 ein wendelförmiges Dichtelement 34 angeordnet ist, so dass die Funktionsweise der zweiten Ausführungsform (2) derjenigen in 1 dargestellten Ausführungsform entspricht.The housing 10 is according to the embodiment in 1 formed and with housing covers 12 . 14 locked. The housing 10 also has a cylindrical opening in which a displacer 54 is arranged. Corresponding 1 points the displacer 54 a cylindrical outer contour, wherein in grooves 36 a helical sealing element 34 is arranged so that the operation of the second embodiment ( 2 ) of those in 1 illustrated embodiment corresponds.

Um eine Verbindung zwischen den Lagern des Verdrängers 54 mit dem zu evakuierenden Raum, bzw. der Einlassöffnung 16 zu vermeiden, erfolgt in der dargestellten Ausführungsform die Anordnung der Lager innerhalb des Verdrängers 54. Hierzu weist der Verdränger 54 eine zylindrische Öffnung 60 auf, die in eine zylindrische Öffnung 62 mit kleinerem Durchmesser übergeht. Die Zylindrische Öffnung 60, 62 ist um die Exzentrizität e zu der Mittelachse 30 des Verdrängers 54 verschoben und liegt auf der Mittelachse des Gehäuses 10. Der Öffnung 62 gegenüberliegend ist konzentrisch eine zylindrische Öffnung 64 vorgesehen, wobei die Öffnungen 62, 64 durch eine weiteren konzentrische Öffnung miteinander verbunden sind.To connect between the camps of the displacer 54 with the room to be evacuated, or the inlet opening 16 To avoid, takes place in the illustrated embodiment, the arrangement of the bearings within the displacer 54 , For this purpose, the displacer 54 a cylindrical opening 60 on, in a cylindrical opening 62 with a smaller diameter merges. The cylindrical opening 60 . 62 is about the eccentricity e to the central axis 30 the repressor 54 shifted and lies on the central axis of the housing 10 , The opening 62 Opposite is concentric a cylindrical opening 64 provided, with the openings 62 . 64 are interconnected by a further concentric opening.

Eine Antriebswelle 66, die mehrfache Abstufungen aufweist, ist in den zylindrischen Öffnungen 60, 62 angeordnet und weist einen Gewindezapfen 68 auf, der in die Öffnung 64 ragt. Zum drehfesten Verbinden der Welle 66 mit dem Verdränger 54 ist der Gewindezapfen 68 über eine Mutter 70 fixiert und ferner eine Passfeder 72 vorgesehen. Die Lager 56, 58 sind innerhalb des zylindrischen Hohlraums 60 des Verdrängers 54 auf der Außenseite der Welle 66 angeordnet. Ferner ist in der zylindrischen Öffnung 60 eine Hohlachse 74 vorgesehen, die die Lager 56, 58 trägt. Die Hohlachse 64 ist drehfest mit dem Deckel 14 verbunden. Zur Lagedefinition ist das Lager 56 mittels einer Feder 76 vorgespannt. Das Lager 58 ist durch einen Deckel 78 gehalten.A drive shaft 66 which has multiple gradations is in the cylindrical openings 60 . 62 arranged and has a threaded pin 68 on that in the opening 64 protrudes. For non-rotatable connection of the shaft 66 with the displacer 54 is the threaded pin 68 about a mother 70 fixed and also a feather key 72 intended. Camps 56 . 58 are inside the cylindrical cavity 60 the repressor 54 on the outside of the shaft 66 arranged. Further, in the cylindrical opening 60 a hollow axle 74 provided the bearings 56 . 58 wearing. The hollow axle 64 is rotatable with the lid 14 connected. The bearing definition is the bearing 56 by means of a spring 76 biased. The warehouse 58 is through a lid 78 held.

Da die Lager innenliegend, bzw. auslassseitig angeordnet sind, besteht keine Verbindung zu dem zu evakuierenden Raum, so dass durch den herrschenden Unterdruck keine Schmiermittel aus den Lagern herausgesogen und ggf. in den zu evakuierenden Raum gelangen können.There the bearings are located inside, or outlet side, there is no connection to the room to be evacuated, so that by the ruling Vacuum no lubricant sucked out of the bearings and if necessary enter the room to be evacuated.

Neben den in den 1-2 dargestellten Lagerungen der Verdränger 26, 54 können die Verdänger auch fliegend außerhalb des Gehäuses gelagert werden.In addition to those in the 1 - 2 shown bearings of the displacer 26 . 54 The deviators can also be stored on the fly outside the housing.

Die in 1 dargestellte zweiseitige Lagerung ist insbesondere dann vorteilhaft, wenn ein zweiflutiges System vorgesehen ist. Bei einer zweiflutigen Vakuumpumpe erfolgt das Ansaugen über einen in der Mitte angeordneten Ansaugstutzen, wobei das Gas sodann in beide Richtungen durch einen entsprechend ausgebildeten Verdränger zur Seite gefördert und seitlich aus zwei Auslassöffnungen ausgestoßen wird. Ein derartiger Verdränger weist zwei Dichtelemente auf, die ebenfalls wendelförmig ausgebildet sind und das Medium von dem mittig angeordneten Einlassstutzen jeweils nach außen transportieren. Bei einem zweiflutigen System mit zweiseitiger Lagerung sind die Lager jeweils auslassseitig angeordnet, so dass hierbei ebenfalls vermieden ist, dass Schmiermittel der Lager in den zu evakuierenden Raum gelangen.In the 1 shown two-sided storage is particularly advantageous if a two-flow system is provided. In a double-flow vacuum pump, the suction takes place via an intake manifold arranged in the middle, wherein the gas then in both directions by a correspondingly designed displacer for Sei te and laterally discharged from two outlet openings. Such a displacer has two sealing elements, which are also helical and transport the medium from the centrally arranged inlet nozzle in each case to the outside. In a double-flow system with two-sided storage, the bearings are each arranged on the outlet side, so that it is also avoided that lubricant of the bearing get into the room to be evacuated.

Je nach Lageranordnung sind die Lager gegenüber den Förderräumen durch Wellendichtungen oder andere Dichtelemente abgedichtet.ever After bearing arrangement, the bearing with respect to the delivery chambers by shaft seals or sealed other sealing elements.

Die in 3 dargestellte perspektivische Ansicht zeigt eine fertig montierte Vakuumpumpe mit einem als Elektromotor ausgebildeten Antriebselement 44. Gut sichtbar ist hierbei das Gehäuse 10 mit am Umfang verteilten, im Wesentlichen radial angeordneten Kühlrippen 42. Ferner ist der Einlass 16 und der Auslass 18 sichtbar. Die mit dem Verdränger 26 verbundene Welle 28 ist über einen Riementrieb 82 mit dem Elektromotor 44 verbunden.In the 3 illustrated perspective view shows a fully assembled vacuum pump with a designed as an electric motor drive element 44 , Well visible here is the case 10 with circumferentially distributed, substantially radially arranged cooling fins 42 , Further, the inlet 16 and the outlet 18 visible, noticeable. The one with the displacer 26 connected wave 28 is via a belt drive 82 with the electric motor 44 connected.

Die beiden Bauteile sind auf einer Grundplatte 80 angeordnet. Bei der in 3 dargestellten Anordnung handelt es sich um eine äußerst kompakte und somit platzsparende Anordnung.The two components are on a base plate 80 arranged. At the in 3 The arrangement shown is an extremely compact and thus space-saving arrangement.

Hinsichtlich der Kinematik der unterschiedlichen möglichen Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Vakuumpumpe ist festzuhalten, dass die Drehachse vorzugsweise die Achse des Bauteils mit Nut ist. Sowohl die Bohrung als auch der Verdränger sind im Schnitt stets kreisförmig. Vorzugsweise ist bei den unterschiedlichen Ausführungsformen der Nutgrund immer konzentrisch zu dem Bauteil mit Nut.Regarding the kinematics of the different possible embodiments the vacuum pump according to the invention It should be noted that the axis of rotation is preferably the axis of Component with groove is. Both the bore and the displacer are always circular in section. Preferably, in the different embodiments, the groove bottom is always concentric with the component with groove.

Eine Verdichtung kann ferner auch dadurch erfolgen, dass eine Verringerung der Nutsteigung in Förderrichtung vorgesehen ist. Ferner ist auch eine zweistufige Ausgestaltung der Vakuumpumpe möglich.A Compaction can also be done by a reduction Nutsteigung in the conveying direction is provided. Furthermore, a two-stage embodiment of the Vacuum pump possible.

Claims

Vakuumpumpe zur Erzeugung eines Vakuums in einem Raum, mit einem Gehäuse (10) mit einem zylindrischen Innenraum (22), einem in dem Innenraum (22) exzentrisch angeordneten Verdränger (26, 54), einem zwischen dem Verdränger (26, 54) und einer Innenwand (38) des Gehäuses angeordneten wendelförmigen Dichtelement (34) zur Ausbildung mindestens eines sichelförmigen Förderraums und einer mit dem Gehäuse (10) oder dem Verdränger (26, 54) verbundenen Antriebseinrichtung (44) zum Erzeugen einer relativen Drehbewegung zwischen dem Gehäuse (10) und dem Verdränger (26), wobei die Vakuumpumpe trockenlaufend ausgebildet ist.Vacuum pump for creating a vacuum in a room, comprising a housing ( 10 ) with a cylindrical interior ( 22 ), one in the interior ( 22 ) eccentrically arranged displacers ( 26 . 54 ), one between the displacer ( 26 . 54 ) and an inner wall ( 38 ) of the housing arranged helical sealing element ( 34 ) for forming at least one sickle-shaped delivery chamber and one with the housing ( 10 ) or the displacer ( 26 . 54 ) connected drive device ( 44 ) for generating a relative rotational movement between the housing ( 10 ) and the displacer ( 26 ), wherein the vacuum pump is designed to run dry.

Vakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Trockenlauf durch geeignete Werkstoffpaarungen zwischen dem Dichtelement (34) und einer Gleitfläche (38) mit guten Gleiteigenschaften, insbesondere durch Verwendung von Werkstoffpaarungen von PTFE und/oder Peek und/oder gegelättetem, annodisiertem Aluminium, realisiert ist.Vacuum pump according to claim 1, characterized in that the dry running by suitable material pairings between the sealing element ( 34 ) and a sliding surface ( 38 ) is realized with good sliding properties, in particular by using material combinations of PTFE and / or Peek and / or gegelättetem, annodized aluminum.

Vakuumpumpe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass eine Innenwand (38) des Innenraums eine Rauhigkeit R_Z von 0,1 bis 5, vorzugsweise von 0,5 bis 2 aufweist.Vacuum pump according to claim 1 or 2, characterized in that an inner wall ( 38 ) of the interior has a roughness R _Z of 0.1 to 5, preferably 0.5 to 2.

Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1-3, dadurch gekennzeichnet, dass das Dichtelement (34) in einer Nut (36) radial verschiebbar gehalten ist, wobei die Nut (36) im Gehäuse (10) oder im Verdränger (26) angeordnet ist.Vacuum pump according to one of claims 1-3, characterized in that the sealing element ( 34 ) in a groove ( 36 ) is held radially displaceable, wherein the groove ( 36 ) in the housing ( 10 ) or in the displacer ( 26 ) is arranged.

Vakuumpumpe nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Nut (36) beschichtet ist.Vacuum pump according to claim 4, characterized in that the groove ( 36 ) is coated.

Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1-5, gekennzeichnet durch ein mit dem Gehäuse (10) verbundenes Kühlelement (42) zur Kühlung der Gehäuse-Innenwand (38).Vacuum pump according to one of claims 1-5, characterized by a housing ( 10 ) connected cooling element ( 42 ) for cooling the housing inner wall ( 38 ).

Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1-6, dadurch gekennzeichnet, dass das Kühlelement an einer Außenseite des Gehäuses (10) angeordnete Kühlrippen (42) aufweist.Vacuum pump according to one of claims 1-6, characterized in that the cooling element on an outer side of the housing ( 10 ) arranged cooling ribs ( 42 ) having.

Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1-7, dadurch gekennzeichnet, dass Lager (56, 58) zum drehbaren Lagern des Gehäuses (10) oder des Verdrängers (54) angeordnet sind.Vacuum pump according to one of claims 1-7, characterized in that bearings ( 56 . 58 ) for rotatably supporting the housing ( 10 ) or the displacer ( 54 ) are arranged.

Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1-8, dadurch gekennzeichnet, dass der Verdränger (54) fliegend gelagert ist.Vacuum pump according to one of claims 1-8, characterized in that the displacer ( 54 ) is cantilevered.

Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1-9, dadurch gekennzeichnet, dass der Verdränger (54) innenliegende Lager (56, 58) aufweist.Vacuum pump according to one of claims 1-9, characterized in that the displacer ( 54 ) internal bearings ( 56 . 58 ) having.

Vakuumpumpe nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass der Verdränger einen Hohlraum (60) aufweist, in dem eine mit dem Verdränger (54) verbundene Antriebswelle (66) angeordnet ist.Vacuum pump according to claim 10, characterized in that the displacer has a cavity ( 60 ), in which one with the displacer ( 54 ) connected drive shaft ( 66 ) is arranged.

Vakuumpumpe nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass in dem Hohlraum (60) eine die Antriebswelle (66) umgebende Hohlachse (74) zur Lageraufnahme vorgesehen ist.Vacuum pump according to claim 11, characterized in that in the cavity ( 60 ) one the drive shaft ( 66 ) surrounding hollow axle ( 74 ) is provided for storage.

Vakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1-12, dadurch gekennzeichnet, dass die Drehzahl des Gehäuses (10) oder des Verdrängers (26, 54) auf 500 1/min, insbesondere auf 200 1/min begrenzt ist.Vacuum pump according to one of claims 1-12, characterized in that the rotational speed of the housing ( 10 ) or the displacer ( 26 . 54 ) is limited to 500 1 / min, in particular to 200 1 / min.