DE102005045331A1 - Entfernen von dünnen strukturierten Polymerschichten durch atmosphärisches Plasma - Google Patents
Entfernen von dünnen strukturierten Polymerschichten durch atmosphärisches Plasma Download PDFInfo
- Publication number
- DE102005045331A1 DE102005045331A1 DE102005045331A DE102005045331A DE102005045331A1 DE 102005045331 A1 DE102005045331 A1 DE 102005045331A1 DE 102005045331 A DE102005045331 A DE 102005045331A DE 102005045331 A DE102005045331 A DE 102005045331A DE 102005045331 A1 DE102005045331 A1 DE 102005045331A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- resist layer
- substrate
- plasma
- electrode
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y10/00—Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y40/00—Manufacture or treatment of nanostructures
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0002—Lithographic processes using patterning methods other than those involving the exposure to radiation, e.g. by stamping
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
Die Erfindung stellt Verfahren zum Ausbilden einer Struktur in einer auf einem Substrat aufgebrachten Resistschicht durch ein Imprint-Lithographieverfahren zur Verfügung, wobei die nach dem Stempeln und Aushärten der Resistschicht in den Tälern der Struktur verbleibende Restschicht durch die Einwirkung von Plasma bei Atmosphärendruck entfernt wird.
Description
- Die vorliegende Erfindung betrifft das Entfernen dünner, strukturierter Polymerschichten, insbesondere das Entfernen dünner Restschichten, die durch ein Stempel- bzw. Imprintverfahren gebildet wurden.
- Ein Verfahren zur sogenannten Imprint-Lithographie ist beispielsweise in der US-A-5 772 905 beschrieben. Gemäß dem in dieser Druckschrift offenbarten Verfahren wird eine Form in eine dünne Fotolack- bzw. Resistschicht, die auf einem Substrat aufgebracht ist, gepreßt. Durch das Aufpressen werden Strukturen, die auf der Form ausgebildet sind, in die Fotolackschicht eingebracht. Nach Entfernen der Form wird das Substrat geätzt und somit die auf der Form befindliche Struktur in das Substrat eingebracht. Mit dem in der US-A-5 772 905 beschriebenen Verfahren können Strukturen bis in einer Größenordnung von 10 nm erzeugt werden.
- Die US-A-5 772 905 beschreibt die Verwendung eines thermoplastischen Polymers. Alternativ ist auch die Verwendung eines durch Strahlung polymerisierbaren Fluids möglich, wie es beispielsweise in der WO 00/54107 beschrieben ist. Hierbei wird die Aushärtung des polymerisierbaren Fluids nicht wie im Fall von thermoplastischen Polymeren durch Abkühlen sondern durch Einwirkung von Strahlung bewirkt. In der US-A-5 772 905 wird das Entfernen der Restschicht, die in den Bereichen der Struktur zurückbleiben, in denen die Form annähernd in Kontakt mit dem Substrat kommt, durch Ionenätzen oder naßchemisches Ätzen, beschrieben.
- Ein Entfernen dieser Restschicht ist für nachfolgende Prozeßschritte, also beispielsweise das Ätzen des Substrats, notwendig.
- Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein verbessertes und kostengünstigeres Verfahren zum Entfernen von dünnen Restschichten auf einem Substrat nach dem Stempeln einer Struktur in eine Resistschicht durch ein Imprint-Lithographieverfahren bereitzustellen. Das erfindungsgemäße Verfahren soll insbesondere Schädigungen des Substrats vermeiden.
- Diese Aufgaben werden durch die Merkmale der Ansprüche gelöst.
- Bei dem erfindungsgemäßen Imprint-Lithographieverfahren wird in vorteilhafter Weise eine Struktur in einer auf einem Substrat aufgebrachten Resistchicht durch Pressen einer Form in die Resistschicht ausgebildet. Die Form weist hierbei zumindest einen Vorsprung auf, der beim Pressen der Form auf das Substrat im Bereich dieses Vorsprungs annähernd mit dem Substrat in Kontakt kommt und somit in diesem Bereich das die Resistschicht bildende Material annähernd entfernt. Die zu strukturierende Resistschicht weist beispielsweise ein Polymer auf, das thermoplastisch oder strahlungshärtbar ist. In Falle eines thermoplastischen Polymers wird die Schicht durch Erwärmen verformbar gemacht, wodurch das Einstempeln der Struktur ermöglicht wird. Durch Abkühlen wird die Polymerschicht anschließend ausgehärtet. Alternativ wird bei der Verwendung eines strahlungshärtbaren Materials das Material in nahezu flüssiger Form auf das Substrat aufgebracht und zum Aushärten während des Stempelvorgangs bestrahlt. Die im Bereich eines durch einen Vorsprung der Form in der Resistschicht ausgebildeten Tals oder Talbodens zurückgebliebene Resistschicht wird mit Hilfe eines Plasmas bei Atmosphärendruck entfernt. Das atmosphärische Plasma, das durch ein entsprechendes Gas gebildet wird, wird vorzugsweise durch eine Koronaentladung bzw. eine Plasmabarrierenentladung (dielectric barrier discharge – DBD) erzeugt. Geeignete Prozess-Gase sind beispielsweise O2 oder O2/CF4.
- Der Vorteil der vorliegenden Erfindung liegt im Ersetzen des im Stand der Technik üblicherweise verwendeten reaktiven Ionenätzprozess (reactive ion etching – RIE) durch die einfache und kostengünstige Behandlung mit atmosphärischem Plasma. Bei der Behandlung mit atmosphärischem Plasma wird weiterhin eine Erwärmung der Substrate und die Schädigung von temperaturempfindlichen Substraten vermieden. Bei der erfindungsgemäß bevorzugten Plasmaerzeugung durch Koronaentladung (dieelektrische Barrierenentladung) bildet sich zwischen zwei leitenden Elektroden beim Anlegen der Wechselspannung hinreichender Größe eine Vielzahl lokalisierter Mikroentladungen aus, die eine sehr kurze Zeitdauer im Bereich von 10–8 sec haben. Die mittlere Gastemperatur im Entladungsspalt wird dadurch nur um wenige Grad Kelvin erhöht. Die Entladung bleibt also kalt. Ein weiterer Vorteil gegenüber dem Stand der Technik vorgeschlagenen bzw. benutzten Verfahren ist das Vermeiden der Gefahr der Beschädigung bzw. Kontaminierung des Substrats.
- Die Erfindung wird im folgenden mit Bezug auf die beiliegenden Zeichnungen näher erläutert, wobei
- die
1 bis4(a) bzw.4(b) die Verfahrensschritte des erfindungsgemäßen Verfahrens, - die
5(a) und5(b) Elektrodenanordnungen im Querschnitt zeigen, die zur Erzeugung eines atmosphärischen Plasmas gemäß der Erfindung geeignet sind, und - die
6(a) und6(b) Messungen der Schichtdicke einer Restschicht vor bzw. nach der Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens zeigen. -
1 zeigt ein Substrat1 , das mit einer noch verformbaren Resistschicht2 , in die Strukturen eingebracht werden sollen, beschichtet ist. Weiterhin ist eine Form bzw. ein Stempel3 gezeigt, der auf einer Seite Strukturen aufweist. Allgemein sind diese Strukturen aus Vorsprüngen31 und Vertiefungen32 gebildet. Die Strukturbreiten können in der Größenordnung von mehreren Mikrometern, aber auch im Nanometerbereich liegen. - Gemäß
2 ist die Form3 in die verformbare Resistschicht2 gedrückt, nachdem die Form3 gegebenenfalls zum Substrat1 mittels einer (nicht gezeigten) Ausrichtungsvorrichtung ausgerichtet wurde. Gemäß2 kommt im Bereich der Vorsprünge31 die Form3 nahezu in Kontakt mit dem Substrat1 , so daß zwischen der Form3 und dem Substrat1 in diesem Bereich lediglich eine dünne Restschicht verbleibt. - Während der in
2 gezeigten Stellung der Form3 relativ zum Substrat1 wird auf die Resistschicht2 so eingewirkt, daß diese sich verfestigt. Dies kann beispielsweise durch Abkühlen im Fall eines thermoplastischen Polymers geschehen. Im Fall eines strahlungshärtbaren Materials der Resistschicht2 wird die Resistschicht2 durch Bestrahlen beispielsweise mit UV-Strahlen verfestigt ("cold embossing"). In diesem Fall muss jedoch zumindest entweder die Form3 oder das Substrat1 für die verwendete Strahlung durchlässig sein. Beim sogenannten "hot embossing" wird die Resistschicht2 durch Einwirken von Druck und hoher Temperatur verfestigt. - Nach dem Aushärten der Resistschicht
2 wird die Form3 entfernt (vgl.3 ). In der gehärteten Resistschicht2' ist somit ein Negativabdruck der Strukturen der Form3 ausgebildet. In der Resistschicht2' sind also die beabsichtigten Strukturen21 an Stellen ausgebildet, an denen die Form3 Vertiefungen32 aufweist. In den im Bereich der Vorsprünge31 gebildeten Tälern ist lediglich eine dünne Restschicht22 vorhanden. Je nach Anwendung liegt die Dicke der Restschicht im Bereich von wenigen bis zu mehreren Hundert Nanometern. - Diese Restschicht
22 wird wie in den4a bzw.4b gezeigt durch Einwirken eines atmosphärischen Plasmas5 ,5' entfernt. Die Prinzipien der atmosphärischen Plasmabehandlung werden beispielsweise in der DE-A-102 56 693 beschrieben. Das Plasma5 ,5' wird unterhalb einer Hochspannungselektrode4 aus einem Prozeßgas, beispielsweise O2 oder CF4, erzeugt. Die Elektrode4 kann hierbei als Flächenelektrode stationär über der gesamten Fläche des Substrats1 mit der gehärteten Resistschicht2' angeordnet sein. Alternativ kann die Elektrode4 bezüglich des Substrats1 bewegt werden, und somit die Fläche des Substrats1 durchlaufen. Beispielsweise kann eine lineare Elektrode über die Fläche des Substrats1 geführt werden. Radikale, die im Plasma5 ,5' entstehen, reagieren mit organischen Oberflächen, zersetzen diese und führen durch das Spülgas die dadurch entstehenden gasförmigen Produkte ab. - Während in
4a der Fall gezeigt wird, in dem unter der gesamten Fläche der Elektrode das Plasma5 entsteht, ist in4b eine alternative Situation gezeigt, in der nur in den Bereichen, in denen die dünne Restschicht22 entfernt werden soll, ein Plasma5' ausgebildet ist. Unterschiedliche Strukturhöhen führen bei einem Atmosphärenplasma mit direkter Barrierenentladung zu unterschiedlichen Durchgangsspannungen. Durch eine geeignete Wahl der Durchschlagsspannung kann die in4 gezeigte Plasmaverteilung erzielt werden. Ist die Durchschlagsspannung höher als die Durchschlagsspannung der Restschicht22 , aber niedriger als die Durchschlagsspannung der Struktur21 , kann durch die in4b gezeigte Plasmaeinwirkung selektiv die Restschicht22 entfernt werden. - Die
5(a) und (b) zeigen den Querschnitt einer Elektrodenanordnung, die zum Erzeugen eines atmosphärischen Plasmas gemäß der Erfindung geeignet ist. Die gezeigten Elektroden41 und42 stellen lineare Elektroden dar, die sich in die Zeichenebene hinein erstrecken und zum Abfahren der gesamten Fläche des Substrats1 in der Zeichenebene bewegt werden können. In5(a) ist der Fall gezeigt, in dem eine Entladung direkt zwischen dem Substrat1 und den Elektroden41 bzw.42 stattfindet. In diesem Bereich bildet sich also ein Plasma51 bzw.52 aus, das auch als "direct plasma" bezeichnet wird. In diesem Fall kann das Substrat1 als eine Kondensatorplatte angesehen werden, die auf einem floatenden bzw. erdfreien Potential liegt. Dieser Prozeß wird in stark von dem Abstand zwischen Substrat und Elektrode beeinflußt. In dem in5(b) gezeigten Fall zündet das Plasma53 zwischen den Elektroden41 bzw.42 ("remote plasma"). Entstehende Gasradikale werden auf das Substrat im Luftspalt6 transportiert und reagieren mit der Oberfläche des Substrats1 . Durch geeignete Vorrichtungen (nicht gezeigt) am Elektrodensystem wird verhindert, daß eine direkte Entladung auf dem Substrat1 stattfindet. - Beide in
5(a) und (b) gezeigten Systeme weisen außerdem eine Gasversorgung7 und eine Gasabsaugung8 auf, die den kontinuierlichen Gasaustausch im Prozeßbereich sichern. Die Wirkung des direkten Plasmaverfahrens ist effektiver, jedoch müssen hier die Parameter sorgfältig ausgewählt werden, um eine Beschädigung der Oberfläche des Substrats zu vermeiden. - In einem Beispiel wurde durch das oben mit Bezug auf die
1 bis3 beschriebene Verfahren eine kreisförmige Vertiefung in eine UV-härtbare Resistschicht gestempelt. In den Bereichen außerhalb der Vertiefung hatte die Struktur eine Schichtdicke von etwa 2,1 bis 2,2 μm. Die in der Vertiefung nach dem Stempeln zurückbleibende Restschicht hatte eine Dicke von etwa 150 nm. In dem Diagramm der6(a) sind die Schichtdicken im Bereich der sich so ergebenen Struktur10 und in der Vertiefung11 gezeigt. Nach der oben beschriebenen Behandlung mit direktem Plasma und einer linearen Elektrode, die über das Substrat gefahren wird, ergeben sich die in6(b) gezeigten Schichtdicken. Bei Verwendung einer linearen Elektrodenanordnung mit 500 W Leistung bei Verwendung von 50 slm (Liter pro Minute bei Standardbedingungen) O2 und einer Geschwindigkeit von 20 mm/s der linearen Elektrode wurde pro Überfahren des Substrats eine Schichtdicke von etwa 7 bis 10 nm abgetragen. Bei der Verwendung von N2 also Prozeßgas konnte keine Entfernung der Resistschicht beobachtet werden.
Claims (17)
- Verfahren zum Ausbilden einer Struktur in einer auf einem Substrat (
1 ) aufgebrachten Resistschicht (2 ) durch Imprint-Lithographie, insbesondere zur Herstellung von Mikrostrukturen in einem Substrat oder Halbleiterstrukturen, mit den Schritten: Pressen einer Form (3 ), die eine Struktur mit mindestens einem Vorsprung (31 ) aufweist, so in die Resistschicht (2 ), daß in der Resistschicht (2 ) ein Negativabdruck der Struktur der Form (3 ) ausgebildet wird, Härten der Resistschicht (2 ), Entfernen der Form (3 ), und Entfernen einer zurückbleibenden Restschicht (22 ) im Bereich eines durch den Vorsprung (31 ) der Form (3 ) in der gehärteten Resistschicht (2' ) ausgebildeten Talbodens durch Einwirken eines Plasmas (5 ,5' ,51 ,52 ,53 ) bei Atmosphärendruck. - Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Plasma (
5 ,5' ,51 ,52 ,53 ) durch eine Barrierenentladung erzeugt wird. - Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Resistschicht (
2 ) durch thermoplastisches Polymer gebildet wird. - Vorrichtung nach Anspruch 3, wobei die Resistschicht (
2 ) durch Abkühlen gehärtet wird. - Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die Resistschicht (
2 ) ein strahlungshärtendes Polymer aufweist. - Verfahren nach Anspruch 5, wobei die Resistschicht (
2 ) durch Bestrahlen mit einer elektromagnetischer Strahlung mit geeigneter Wellenlänge gehärtet wird. - Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Resistschicht (
2 ) durch ein durch Druck und/oder Wärme härtbares Material aufweist. - Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 7, wobei eine Durchschlagspannung gewählt wird, die höher als die Durchschlagspannung der Restschicht (
22 ) ist. - Verfahren nach Anspruch 8, wobei die Durchschlagspannung niedriger als die Durchschlagspannung einer durch die Resistschicht (
2' ) gebildete Struktur (21 ) ist. - Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei das Plasma (
5 ,5' ,51 ,52 ) zwischen einer Elektrode (4 ,41 ,42 ) und dem Substrat (1 ) ausgebildet wird. - Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, wobei das Plasma (
53 ) zwischen Elektroden (41 ,42 ) ausgebildet ist. - Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei zur Erzeugung des Plasmas (
5 ,5' ,51 ,52 ,53 ) eine lineare Elektrode (4 ,41 ,42 ) verwendet wird. - Verfahren nach Anspruch 12, wobei die Elektrode über dem Substrat verfahren wird.
- Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 12, wobei das Plasma (
5 ,5' ) durch eine Flächenelektrode (4 ) erzeugt wird. - Verfahren nach Anspruch 14, wobei die Fläche der Elektrode (
4 ) zumindest der Fläche des Substrats (1 ) entspricht. - Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, wobei als Prozeßgas O2 bzw. O2/CF4 verwendet wird.
- Vorrichtung zum Durchführen des Verfahrens gemäß einem der vorstehenden Ansprüche.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102005045331A DE102005045331A1 (de) | 2005-06-16 | 2005-09-22 | Entfernen von dünnen strukturierten Polymerschichten durch atmosphärisches Plasma |
PCT/EP2006/005801 WO2006133956A2 (de) | 2005-06-16 | 2006-06-16 | Entfernen von dünnen strukturierten polymerschichten durch atmosphärisches plasma |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102005027948.1 | 2005-06-16 | ||
DE102005027948 | 2005-06-16 | ||
DE102005045331A DE102005045331A1 (de) | 2005-06-16 | 2005-09-22 | Entfernen von dünnen strukturierten Polymerschichten durch atmosphärisches Plasma |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102005045331A1 true DE102005045331A1 (de) | 2006-12-28 |
Family
ID=37309350
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102005045331A Ceased DE102005045331A1 (de) | 2005-06-16 | 2005-09-22 | Entfernen von dünnen strukturierten Polymerschichten durch atmosphärisches Plasma |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE102005045331A1 (de) |
WO (1) | WO2006133956A2 (de) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5560777A (en) * | 1992-11-09 | 1996-10-01 | Goldstar Co., Ltd. | Apparatus for making a semiconductor |
US5772905A (en) * | 1995-11-15 | 1998-06-30 | Regents Of The University Of Minnesota | Nanoimprint lithography |
WO2000054107A1 (en) * | 1999-03-11 | 2000-09-14 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Step and flash imprint lithography |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003030252A2 (en) * | 2001-09-28 | 2003-04-10 | Hrl Laboratories, Llc | Process for producing interconnects |
DE10217151A1 (de) * | 2002-04-17 | 2003-10-30 | Clariant Gmbh | Nanoimprint-Resist |
KR20110038165A (ko) * | 2003-02-05 | 2011-04-13 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 레지스트 패턴의 형성방법 및 반도체장치의 제조방법 |
CN101848594B (zh) * | 2003-02-06 | 2013-03-13 | 株式会社半导体能源研究所 | 等离子体装置 |
US7122482B2 (en) * | 2003-10-27 | 2006-10-17 | Molecular Imprints, Inc. | Methods for fabricating patterned features utilizing imprint lithography |
KR20050075580A (ko) * | 2004-01-16 | 2005-07-21 | 엘지전자 주식회사 | 나노 임프린트 리쏘그라피를 이용한 대면적 스탬프 제작방법 |
-
2005
- 2005-09-22 DE DE102005045331A patent/DE102005045331A1/de not_active Ceased
-
2006
- 2006-06-16 WO PCT/EP2006/005801 patent/WO2006133956A2/de active Application Filing
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5560777A (en) * | 1992-11-09 | 1996-10-01 | Goldstar Co., Ltd. | Apparatus for making a semiconductor |
US5772905A (en) * | 1995-11-15 | 1998-06-30 | Regents Of The University Of Minnesota | Nanoimprint lithography |
WO2000054107A1 (en) * | 1999-03-11 | 2000-09-14 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Step and flash imprint lithography |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2006133956A2 (de) | 2006-12-21 |
WO2006133956A3 (de) | 2007-07-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE60029827T2 (de) | Vorrichtung und verfahren in zusammenhang mit der herstellung von strukturen | |
DE102004051839B4 (de) | Verfahren zum Herstellen eines Dünnschichttransistorarray-Substrats | |
DE20320446U1 (de) | Aufspannvorrichtung zum Modulieren von Formen und Substraten | |
EP1646507B1 (de) | Mehrschichtkörper, vorrichtung und verfahren zur erzeugung eines flächenmusters hoher auflösung | |
EP2329319A1 (de) | Verbessertes nanoimprint-verfahren | |
CH706837A1 (de) | Verfahren zur Herstellung eines dielektrischen Elastomerstapelaktors. | |
WO2003061948A1 (de) | Verfahren zum abformen von mikro- und nanostrukturen | |
US8163657B2 (en) | Process for adjusting the size and shape of nanostructures | |
DE102006051550B4 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Strukturieren von Bauteilen unter Verwendung eines Werkstoffs auf der Basis von Siliziumoxid | |
EP3134771B1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum prägen einer nanostruktur | |
US20100009541A1 (en) | Process for Adjusting the Size and Shape of Nanostructures | |
DE102005045331A1 (de) | Entfernen von dünnen strukturierten Polymerschichten durch atmosphärisches Plasma | |
DE60307516T2 (de) | Lithografieverfahren durch pressen eines substrats in einem nanoimprint-prozess | |
DE19935558A1 (de) | Verfahren zur Erzeugung von Strukturen in einem Substrat im Nanometerbereich | |
WO2019180031A1 (de) | Verfahren zur herstellung und verwendung eines substrats mit einer funktionalisierten oberfläche | |
DE10234547B4 (de) | Verfahren zur Bildung einer Ausnehmung in der Oberfläche eines Werkstücks, insbesondere zur Herstellung von Mikroformen | |
WO2001036341A2 (de) | Verfahren zur mikrostrukturierung der formgebenden oberfläche eines formgebungswerkzeuges für das erzeugen von mikrostrukturen in glas oder kunststoff und zugehöriges formgebungswerkzeug | |
DE102009023355A1 (de) | Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Halbleiterbauteils | |
DE10144579C2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Fein- bis Mikrostrukturen und/oder komplexen Mikrosystemen | |
EP3552058B9 (de) | Verfahren, vorrichtung und prägerolle zum prägen von mikro- und/oder nanostrukturen | |
DE102009018849B4 (de) | Masterstruktur zum Prägen und/oder Bedrucken eines Grundmaterials, Vorrichtung zum kontinuierlichen Prägen und/oder Bedrucken eines Grundmaterials und Verfahren zum Herstellen einer Masterstruktur zum Prägen und/oder Bedrucken eines Grundmaterials | |
DE102015114097A1 (de) | Aufbringen einer Struktur auf ein starres Substrat | |
DE102009046756A1 (de) | Verfahren zur Herstellung von regelmäßigen Nanostrukturen auf Festkörperoberflächen | |
DE102005013125A1 (de) | Verfahren zur Herstellung von elektronischen Einheiten in einer mehrlagigen Ausgangsstruktur | |
DE102012209371A1 (de) | Siebdruckverfahren und Vorrichtung zum Ausführen eines Siebdruckverfahrens |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: SUSS MICROTEC LITHOGRAPHY GMBH, 85748 GARCHING, DE |
|
8131 | Rejection |