DE102005033714A1 - Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines elektrolumineszierenden Leuchtelements - Google Patents

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Herstellung eines elektrolumineszierenden Leuchtelements (10), bei dem eine transparente Elektrodenschicht (12) auf einen Träger (12) aufgebracht wird und auf der transparenten Elektrodenschicht (12) eine Leuchtpigmentschicht (13) und eine Gegenelektrodenschicht (15) aufgebracht wird. Erfindungsgemäß wird die transparente Elektrodenschicht (12) vor dem Aufbringen der Leuchtpigmentschicht (13) elektrochemisch strukturiert.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Herstellung eines elektrolumineszierenden Leuchtelements nach den Oberbegriffen der unabhängigen Ansprüche.
  • Leuchtelemente auf der Basis von Elektrolumineszenz sind bekannt. Neben Leuchtdioden, so genannten LEDs, sind auch großflächige Leuchtelemente auf starren und auch auf flexiblen Trägern bekannt. In der Praxis haben sich auf der Basis der Dickschichttechnologie hergestellte Folienelemente bewährt, die mit Wechselspannungsfeldern angeregt werden. Hier sind Leuchtpigmente in einem transparenten, organischen oder keramischen Bindemittel eingebettet. Die Leuchtpigmente bestehen üblicherweise aus binären Verbindungen. Das elektrische Feld wird über strukturierte Elektroden zugeführt, von denen die Frontelektrode, aus der die Elektrolumineszenzstrahlung austritt, aus einer transparenten, elektrisch leitfähigen Materialschicht besteht, beispielsweise einer sehr dünnen Metallschicht oder einem transparenten Halbleiter wie Indiumoxid oder Indiumzinnoxid (ITO). Die Rückelektrode besteht aus einer leitenden Metallschicht. Die zwischen Front- und Rückelektrode angeordnete Leuchtpigmentschicht, gegebenenfalls mit einer zusätzlichen Isolationsschicht, bildet in Verbindung mit ihrem Einbettungsmittel das Dielektrikum eines Kondensators, weshalb verschiedentlich auch die Bezeichnung "Leuchtkondensator" verwendet wird. Die Leuchtelemente sind nichtlineare Bauelemente, deren Parameter eine Funktion von angelegter Spannung und Frequenz sind und auch von Umgebungsbedingungen wie Feuchtigkeit und Temperatur abhängen.
  • Häufig ist die transparente Elektrode ein mit Indiumoxid oder Indiumzinnoxid beschichteter Kunststoff (z.B. Polyester). Das Leuchtpigment kann beispielsweise aus Zinksulfid bestehen, das durch verschiedene Metalle wie Au, Ag, Cu, Ga oder Mn dotiert ist. Die Farbe des emittierten Lichtes und die Leitfähigkeit der Leuchtpigmentschicht werden durch Stärke und Zusammensetzung der Dotierung bestimmt. Durch Variation der Dotierung können Farbtöne von Blau bis Gelb, entsprechend einer Wellenlänge von etwa 480 nm bis 580 nm, und durch Mischen der Dotierungsstoffe daraus resultierende Mischfarben, beispielsweise die Mischfarbe weiß, erzielt werden. Eine auf diese Leuchtpigmentschicht aufgebrachte Isolationsschicht, beispielsweise aus Bariumtitanat, wirkt gleichzeitig als Reflektor. Darauf wird anschließend die Rückelektrode, etwa Aluminium, Kohlenstoff oder Silberlack, appliziert. Da Zinksulfid stark hygroskopisch ist, wird eine Kapselung vorgesehen, die aus intensiv Wasser abstoßendem Material besteht. Es gibt aber bereits Pigmentgrundstoffe, bei dem die Zinksulfidmoleküle mikrogekapselt sind, so dass die hygroskopischen Eigenschaften weniger hervortreten. Durch den größeren Molekülabstand bedingt ist die Leuchtdichte etwas geringer und nicht ganz so homogen. Derartige folienartige Leuchtelemente sind schneidbar, extrem dünn, hochflexibel und kostengünstig. Ein Einlaminieren ist nicht mehr unbedingt nötig, erhöht jedoch den Feuchtigkeitsschutz zusätzlich.
  • Bedingt durch die gewünschte Großflächigkeit der Leuchtelemente ist die Strukturierung insbesondere der transparenten Frontelektrode schwierig.
  • Gleichzeitig ist die Großflächigkeit jedoch gerade für eine Serienfertigung vorteilhaft.
  • Aufgabe der Erfindung ist es, ein verbessertes Verfahren und eine verbesserte Vorrichtung zur Herstellung derartiger flächenhafter elektrolumineszierender Leuchtelemente anzugeben.
  • Die Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Merkmale der unabhängigen Ansprüche gelöst. Günstige Ausgestaltungen und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus den weiteren Ansprüchen und der Beschreibung.
  • Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren zur Herstellung eines elektrolumineszierenden Leuchtelements, bei dem eine transparente Elektrodenschicht auf einen Träger aufgebracht und auf der transparenten Elektrodenschicht eine Leuchtpigmentschicht und eine Gegenelektrodenschicht aufgebracht werden, wird eine mit einer Säure getränkte Walzenelektrode in Körperkontakt, insbesondere in rotierenden Körperkontakt, mit der transparenten Elektrode gebracht. Dadurch kann eine lokale Ätzung der transparenten Elektrodenschicht erfolgen. Eine vorausgehende Strukturierung beispielsweise durch eine Maskentechnik beim Auftragen der transparenten Elektrodenschicht kann unterbleiben oder ein aufwändiges Maskieren und Ätzen des beschichteten Trägers in einem Ätzbad, in dem großflächige Träger ungünstig zu handhaben sind und das Ätzverfahren schlecht zu kontrollieren ist. Die transparente Elektrodenschicht muss aus Funktionsgründen des Leuchtelements an einigen Bereichen vom Träger entfernt werden, um beispielsweise zu verhindern, dass außerhalb der Leuchtpigmentschicht ein elektrisches Feld zwischen Frontelektrode und Rückelektrode auftritt. Die Walzenelektrode kann gleichgroß oder länger sein als der Träger breit ist und entlang seiner Längserstreckung geführt werden. Alternativ kann jedoch die Walzenelektrode auch kürzer ist als die Breite des Trägers sein. Denkbar ist weiterhin eine Walzenelektrode mit einer strukturierten Oberfläche, mit der in einem Verfahrensschritt ein streifenförmiges Muster in die Elektrodenschicht geätzt werden kann.
  • Die Elektrodenschicht kann ganzflächig auf den Träger aufgebracht werden und anschließend mit einer geeigneten Strukturierung versehen werden. Der Träger kann starr sein oder als Folie, insbesondere eine PET-Folie (PET = Polyethylenterephthalat), ausgebildet sein. Die transparente Elektrode kann aus einer sehr dünnen Metallschicht gebildet sein, die nur wenige zehntel Nanometer dick ist, oder aus einem transparenten Halbleiter. Vorzugsweise wird als transparenter Halbleiter Indiumoxid oder Indiumzinnoxid verwendet, der auch mit Schichtdicken von mehreren hundert Nanometern eine ausreichende Transparenz aufweist. Zur Verbesserung der Leitfähigkeit der Elektrodenschicht kann der Halbeliter auch dotiert sein. Vorzugsweise wird die Elektrodenschicht mit CVD- oder PVD-Verfahren (CVD = chemical vapor deposition, PVD = physical vapor deposition) aufgebracht. Besonders bevorzugt wird die Elektrodenschicht mittels Kathodenzerstäubung hergestellt. Kathodenzerstäubung weist den Vorteil auf, dass die thermische Belastung des Trägers geringer ist als bei Aufdampfverfahren und wegen der höheren kinetischen Energie der zerstäubten Schichtkomponenten eine verbesserte Schichthaftung zu erreichen ist. Ferner kann in reaktiver Atmosphäre zerstäubt werden, um beim Zerstäubungsprozess die Oxidbildung herbeizuführen, so dass sich beispielsweise beim Niederschlagen auf den Träger das Indiumzinnoxid bildet.
  • Wird die Walzenelektrode relativ zur transparenten Elektrodenschicht bewegt, während eine elektrische Spannung zwischen der transparenten Elektrodenschicht und der Walzenelektrode angelegt ist, kann der Träger in einem flächigen Muster von der transparenten Elektrodenschicht befreit werden. Die Walzenelektrode kann über den Träger schleifen oder rollen.
  • In einem vorteilhaften Verfahrensschritt wird die Walzenelektrode beim Ätzen auf dem Träger abgerollt. Dadurch kann eine homogenere Ausnutzung der von der Walzenelektrode mitgeführten Säure oder Säureschicht erfolgen. Das abgeätzte Material verteilt sich über die Oberfläche der Walzenelektrode und kann beispielsweise über ein Säurebad und/oder Reinigungsbad abgegeben werden. Es können größere Flächen behandelt werden, bevor die Säure wegen zu hoher Konzentration des abgeätzten Materials erschöpft ist.
  • Vorzugsweise kann eine elektrische Spannung zwischen 10 und 50 Volt, vorzugsweise zwischen 12 Volt und 40 Volt, angelegt werden. Die Spannung wird vom Fachmann zweckmäßigerweise abhängig von der Art der Säure, der Art des abzuätzenden Materials, der Konzentration, der Temperatur und gegebenenfalls anderen Prozessparametern eingestellt.
  • Zweckmäßigerweise kann die Walzenelektrode zwischen Ätzschritten mit Säure getränkt werden. Dies ist besonders für größere Flächen und/oder im Serienprozess sinnvoll.
  • Ist die Walzenelektrode an ihrer Oberfläche strukturiert, kann der Träger bei Kontakt mit der Walzenelektrode gleichzeitig an gezielt voneinander beabstandeten Bereichen von der transparenten Elektrodenschicht befreit wird und beispielsweise ein streifenförmiges Muster in einem einzigen Verfahrensschritt erzeugt werden. Die Prozesszeit zum Behandeln großer Flächen wird verkürzt. Denkbar ist auch, mehrere Bahnen von Trägermaterial nebeneinander anzuordnen und mit einer einzigen Walzenelektrode zu behandeln.
  • Zweckmäßigerweise kann der Träger mit der strukturierten transparenten Elektrodenschicht nach dem Ätzen mit Wasser gereinigt werden.
  • Mit besonderem Vorteil kann die Walzenelektrode mit Zitronensäure getränkt werden. Diese kann problemlos entsorgt werden.
  • Die erfindungsgemäße Vorrichtung zur Durchführung eines Verfahrens zur Herstellung eines elektrolumineszierenden Leuchtelements sieht eine mit Säure tränkbare Walzenelektrode vor, mit der die transparente Elektrodenschicht bereichsweise auf elektrochemischen Weg entfernbar ist. Es können auch mehrere Walzenelektroden vorgesehen sein, um mehrere parallele streifenförmige Träger, insbesondere eine Folien, im Durchlaufverfahren zu behandeln.
  • Vorteilhafterweise kann die Walzenelektrode rotierbar angeordnet sein.
  • Es können Mittel vorgesehen sein, um eine Relativbewegung zwischen Walzenelektrode und Träger zu bewirken.
  • In einer günstigen Ausgestaltung kann die Walzenelektrode eine homogene Oberfläche aufweisen. Alternativ kann die Walzenelektrode eine strukturierte Oberfläche aufweisen mit durch Lücken beabstandeten flächigen Bereichen. Die flächigen Bereiche ätzen bei Kontakt mit der beschichteten Träger die transparente Elektrodenschicht, während die Elektrodenschicht in den Lückenbereichen erhalten bleibt.
  • Zweckmäßigerweise kann ein Säurereservoir vorgesehen sein, in das die Walzenelektrode zum Tränken eintauchbar ist.
  • Es können vorteilhaft mehrere Walzenelektroden vorgesehen sein, um mehrere Träger parallel zu behandeln. Alternativ oder zusätzlich können mehrere Walzenelektroden vorgesehen sein, um einen Träger parallel zu behandeln. Damit kann eine Prozesszeit bei großen Stückzahlen und/oder großen Flächen verkürzt werden.
  • Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung werden im Folgenden anhand eines in der Zeichnung beschriebenen bevorzugten Ausführungsbeispiels näher erläutert, ohne auf dieses Ausführungsbeispiel beschränkt zu sein.
  • Es zeigen:
  • 1 schematisch ein elektrolumineszierendes Leuchtelement im Schnitt;
  • 2a–f verschiedene Verfahrensschritte bei der Herstellung eines Leuchtelements; und
  • 3a, b schematisch eine Vorrichtung mit einer Walzenelektrode (a) und ein Detail mit angelegter Walzenelektrode beim Ätzen (b).
  • In den Figuren sind grundsätzlich gleich bleibende oder gleich wirkende Elemente mit denselben Bezugszeichen beziffert.
  • Wie der Schnittdarstellung in 1 zu entnehmen ist, weist ein elektrolumineszierendes Leuchtelements 10 einen transparenten, aus PET-Folie bestehenden Träger 11 auf, auf den eine transparente Elektrodenschicht 12, insbesondere aus Indiumzinnoxid, aufgebracht ist. Auf der transparenten Elektrodenschicht 12 ist eine Leuchtpigmentschicht 13 angeordnet. Die Leuchtpigmentschicht 13 besteht vorzugsweise aus so genannten mikrogekapselten Leuchtpigmenten aus Zinksulfid, die in einer Bindermasse eingebettet wie durch nicht näher bezeichnete runde Symbole in der Leuchtpigmentschicht 13 angedeutet ist (nicht maßstabsgetreu). Dadurch sind die hygroskopischen Leuchtpigmente vorteilhaft gegen Feuchtigkeit geschützt. Es sind die üblicherweise bekannten Farben darstellbar, wie rot, grün, blau etc. Besonders vorteilhaft kann auch die Farbe weiß dargestellt werden, indem ein blaugrün elektrolumineszierendes mikrogekapseltes Leuchtpigment in eine rot gefärbte Bindermasse eingebettet ist. Alternativ kann auch eine Mischung aus grün, blau und orange elektrolumineszierenden Leuchtpigmenten in einer transparenten Bindermasse eingebettet sein. Insgesamt ergibt sich eine weiße Farbe, die durch die transparente Elektrodenschicht 12 und den transparenten Träger 11 abgestrahlt wird.
  • Die Leuchtpigmentschicht 13 ist in einer Isolationsschicht 14 eingebettet, auf der eine die Rückelektrode bildende metallische Elektrodenschicht 15 aufgebracht ist. In einem Bereich 20, in dem die metallische Elektrodenschicht 15 nicht überdeckt, ist die transparente Elektrodenschicht 12 entfernt, so dass keine störende kapazitive Anordnung außerhalb des elektrolumineszierenden Bereichs gebildet werden kann.
  • Neben der Isolationsschicht 14 ist eine Leiterstruktur 16 angeordnet, welche die transparente Elektrodenschicht 12 elektrisch kontaktiert und als Busbar-Struktur dient.
  • Die Elektrodenschicht 15 ist mit einer Schutzschicht 17 abgedeckt und nur an einer Kontaktfläche 18 in einer Ausnehmung der Schutzschicht 17 von außen zugänglich. Die Leiterstruktur 16 weist eine ebensolche Kontaktfläche 19 (2f) auf. Wird zwischen die Leiterstruktur 16 und die Rückelektrode 15 eine elektrische Spannung angelegt, wird durch die bekannten Elektrolumineszenzmechanismen eine relativ scharfbandige Elektrolumineszenzstrahlung aus der Frontelektrode emittiert, was durch einen breiten Pfeil angedeutet ist.
  • Die 2a bis 2f stellen einzelne Beschichtungsschritte bei der Herstellung eines solchen Leuchtelements 10 dar. Der Übersichtlichkeit wegen sind in den Teilbildern jeweils nur die neu hinzugekommenen Schichten mit Bezugszeichen versehen. Ein transparenter, bevorzugt aus PET-Folie gebildeter Träger 11 ist ganzflächig mit einer aus Indiumzinnoxid gebildeten transparenten Elektrodenschicht 12 beschichtet (2a). Bevorzugt erfolgt dies mit einem Kathodenzerstäubungsverfahren. Anschließend wird die Elektrodenschicht 12 elektrochemisch abgeätzt, indem eine elektrische Spannung zwischen die Elektrodenschicht 12 und eine säuregetränkte Walzenelektrode 21 (3) gelegt wird und die Walzenelektrode 21 über die Elektrodenschicht 12 bzw. den Träger geführt wird. Auf die strukturierte Elektrodenschicht 12 wird eine Leuchtpigmentschicht 13 aufgetragen (2b). Bevorzugt enthält die Leuchtpigmentschicht 13 mikrogekapselte Leuchtpigmente, die in eine Bindermasse eingebettet sind. Auf diese Leuchtpigmentschicht 13 wird eine Isolationsschicht 14 abgeschieden (2c). Vorzugsweise besteht die Isolationsschicht 14 aus Bariumtitanat. Auf der Isolationsschicht 14 wird dann eine metallische Elektrodenschicht 15 deponiert (2d) und neben dieser eine elektrisch leitfähige, insbesondere metallische, Leitungsstruktur 16 abgeschieden (2e). Anschließend wird die gesamte Struktur mit einer Schutzschicht 17 abgedeckt, wobei nur eine Kontaktfläche 18 zur Kontaktierung der metallischen Elektrodenschicht 15 und eine Kontaktfläche 19 zur Kontaktierung der transparenten Elektrodenschicht 12 ausgespart bleiben (2e). Die Schutzschicht 17 kann aus einem geeigneten Schutzlack und/oder einer einseitig oder zweiseitig selbstklebenden Schutzfolie aus PP (Polypropylen) oder PET bestehen. Die transparente Elektrodenschicht 12 bildet mit ihrem transparenten Träger 11 eine Frontelektrode des Leuchtelements 10, während die metallische Elektrodenschicht 15 dessen Rückelektrode bildet. Die Schichten 12 bis 17 werden vorzugsweise mittels Siebdruck aufgetragen, während die transparente Elektrodenschicht 12 bevorzugt mit Kathodenzerstäubung aufgetragen wird.
  • Eine Vorrichtung zur elektrochemischen Strukturierung einer transparenten Elektrodenschicht 12 auf einem Träger 11 vor dem Aufbringen einer Leuchtpigmentschicht 13 in der Art eines Tamponverfahrens ist in den 3a und 3b dargestellt.
  • Der Träger 11 ist auf einer Ablage 25 befestigt und wird in gewünschten Bereichen mit einer mit einer Säure getränkten Walzenelektrode 21 in Körperkontakt gebracht. Eine typische Größe des Trägers 11 ist dabei etwa 610 mm × 1000 mm. Denkbar ist jedoch auch ein Rollenmaterial. Die Walzenelektrode 21 ist relativ zur transparenten Elektrodenschicht 12 beweglich angeordnet, so dass vorzugsweise die Wanzenelektrode 21 über den Träger 11 bewegt wird. Dies ist durch einen Doppelpfeil angedeutet.
  • Ein Netzteil 29 liefert eine elektrische Spannung, die zwischen der transparenten Elektrodenschicht 12 und der Walzenelektrode 21 angelegt wird. Das Verfahren kann potentiostatisch, mit konstanter Spannung, oder galvanostatisch, mit konstantem Strom, durchgeführt werden. Dabei bildet die Walzenelektrode 21 die Kathode 27, während die transparente Elektrodenschicht 12 die Anode bildet. In den Bereichen, in denen die Walzenelektrode 21 mit der transparenten Elektrodenschicht 12 in Kontakt gerät, wird diese elektrochemisch abgeätzt. Dabei ist günstig, die Walzenelektrode 21 beim Ätzen auf dem Träger 11 abzurollen, wie durch einen Pfeil in der Stirnfläche der Walzenelektrode 21 angedeutet ist.
  • Die Walzenelektrode 21 kann zwischen Ätzschritten mit Säure getränkt werden, indem diese in ein Säurereservoir 26 getaucht wird.
  • Vorzugsweise wird Zitronensäure zum Tränken der Walzenelektrode 21 eingesetzt. Das Verfahren findet vorzugsweise bei Raumtemperatur statt. Eine Konzentration der Zitronensäure, wie sie handelsüblich für den Haushalt angeboten wird, erweist sich als günstig. Als günstiger Spannungsbereich zum Ätzen hat sich ein Bereich von 10 bis 50 Volt Gleichspannung, insbesondere 12 bis 40 Volt, erwiesen. Die Ätzrate hängt von verschiedenen Parametern ab, etwa dem Anpressdruck der Walzenelektrode 21, der Leitfähigkeit der transparenten Elektrodenschicht 12, der Konzentration der Säure, der Temperatur und dergleichen. Je geringer der Widerstand der Elektrodenschicht 12, desto höher ist die beobachtete Ätzrate. Die Walzenelektrode 21 kann mit einer Geschwindigkeit über den Träger 11 bewegt werden, die an die sonstigen Verfahrensparameter angepasst ist.
  • 3b illustriert den Ätzprozess im Detail. Die Walzenelektrode 21 weist einen tränkbaren Walzenkörper 23 auf mit einer Welle 22. Der Walzenkörper 23 besteht beispielsweise aus einem säureresistenten Gewebe oder Vlies, wie es etwa bei üblichen, so genannten Tamponbeschichtungsverfahren bekannt ist, mit denen Beläge elektrochemisch auf Substraten abgeschieden werden können.
  • Wird die Walzenelektrode 21 mit ihrer Oberfläche 24 in Körperkontakt mit angelegter elektrische Spannung über den Träger 11 bewegt, ätzt die Säure im Walzenkörper 23 die transparente Elektrodenschicht 12 ab und hinterlässt einen freigelegten Bereich 20 des Trägers 11.
  • 10
    Leuchtelement
    11
    Träger
    12
    transparente Elektrodenschicht
    13
    Leuchtpigmentschicht
    14
    Isolationsschicht
    15
    Elektrodenschicht
    16
    elektrische Leitungsstruktur
    17
    Schutzschicht
    18
    Kontaktfläche
    19
    Kontaktfläche
    20
    Bereich
    21
    Walzenelektrode
    22
    Welle
    23
    Walzenkörper
    24
    Oberfläche
    25
    Ablage
    26
    Reservoir
    27
    Kathode
    28
    Anode
    29
    Netzteil

Claims (17)

  1. Verfahren zur Herstellung eines elektrolumineszierenden Leuchtelements (10), bei dem eine transparente Elektrodenschicht (12) auf einen Träger (11) aufgebracht wird und auf der transparenten Elektrodenschicht (12) eine Leuchtpigmentschicht (13) und eine Gegenelektrodenschicht (15) aufgebracht wird, dadurch gekennzeichnet, dass die transparente Elektrodenschicht (12) vor dem Aufbringen der Leuchtpigmentschicht (13) elektrochemisch strukturiert wird.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass eine mit einer Säure getränkte Walzenelektrode (21) in Körperkontakt mit der transparenten Elektrode (12) gebracht wird.
  3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Walzenelektrode (21) relativ zur transparenten Elektrodenschicht (12) bewegt wird, während eine elektrische Spannung zwischen der transparenten Elektrodenschicht (12) und der Walzenelektrode (21) angelegt ist.
  4. Verfahren nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Walzenelektrode (21) beim Ätzen auf dem Träger (11) abgerollt wird.
  5. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass eine elektrische Gleichspannung im Bereich von 10 bis 50 Volt zwischen die Walzenelektrode (21) und die transparente Elektrodenschicht (12) angelegt wird.
  6. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Walzenelektrode (21) zwischen Ätzschritten mit Säure getränkt wird.
  7. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Träger (11) bei Kontakt mit der Walzenelektrode (21) gleichzeitig an gezielt voneinander beabstandeten Bereichen von der transparenten Elektrodenschicht (12) befreit wird.
  8. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Walzenelektrode (21) mit Zitronensäure getränkt wird.
  9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Träger (11) mit der strukturierten transparenten Elektrodenschicht (12) nach dem Ätzen mit Wasser gereinigt wird.
  10. Vorrichtung zur Durchführung eines Verfahrens zur Herstellung eines elektrolumineszierenden Leuchtelements (10), bei dem eine transparente Elektrodenschicht (12) auf einen Träger (11) angeordnet ist und auf der transparenten Elektrodenschicht (12) wenigstens eine Leuchtpigmentschicht (13) und eine Gegenelektrodenschicht (15) angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass eine mit Säure tränkbare Walzenelektrode (21) vorgesehen ist, mit der die transparente Elektrodenschicht (12) wenigstes bereichsweise auf elektrochemischen Weg entfernbar ist.
  11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Walzenelektrode (21) rotierbar angeordnet ist.
  12. Vorrichtung nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass Mittel vorgesehen sind, um eine Relativbewegung zwischen Walzenelektrode (21) und Träger (11) zu bewirken.
  13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Walzenelektrode (21) eine homogene Oberfläche (24) aufweist.
  14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Walzenelektrode (21) eine strukturierte Oberfläche (24) aufweist mit durch Lücken beabstandeten flächigen Bereichen.
  15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass ein Säurereservoir (26) vorgesehen ist, in das die Walzenelektrode (21) zum Tränken eintauchbar ist.
  16. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 15, dadurch gekennzeichnet, mehrere Walzenelektrode (21) vorgesehen sind, um mehrere Träger (11) parallel zu behandeln.
  17. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 16, dadurch gekennzeichnet, mehrere Walzenelektrode (21) vorgesehen sind, um einen Träger (11) parallel zu behandeln.
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