DE102005025675A1 - Strahleranordnung für einen nichtdispersiven Infrarot-Gasanalysator - Google Patents
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- 230000005855 radiation Effects 0.000 title claims abstract description 46
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000004913 activation Effects 0.000 claims description 2
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 11
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 230000006399 behavior Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 2
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 1
- 230000029058 respiratory gaseous exchange Effects 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/3504—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing gases, e.g. multi-gas analysis
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- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/59—Transmissivity
- G01N21/61—Non-dispersive gas analysers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/06—Illumination; Optics
- G01N2201/063—Illuminating optical parts
- G01N2201/0636—Reflectors
-
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/06—Illumination; Optics
- G01N2201/069—Supply of sources
- G01N2201/0696—Pulsed
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
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- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Optical Measuring Cells (AREA)
Abstract
Eine Strahleranordnung für einen nichtdispersiven Infrarot-Gasanalysator besteht aus einer Strahlerkammer mit einer darin angeordneten Lichtquelle, deren Strahlung durch mindestens ein Austrittsfenster in mindestens einen Strahlengang des Gasanalysators geleitet wird, und aus Mitteln zum periodischen Ein- und Ausschalten der Strahlung in dem mindestens einen Strahlengang. DOLLAR A Erfindungsgemäß weisen die Mittel zum periodischen Ein- und Ausschalten der Strahlung (10) eine in der Strahlerkammer (1) angeordnete digitale Mikrospiegelanordnung (4) nach dem DMD-Typ (Digital Micromirror Device) auf, die durch elektrische Ansteuerung die Strahlung (10) der Strahlungsquelle (3) abwechselnd in den mindestens einen Strahlengang und eine davon abweichende Richtung leitet.
Description
- Die Erfindung betrifft eine Strahleranordnung für einen nichtdispersiven Infrarot-Gasanalysator mit einer Strahlerkammer und einer darin angeordneten Strahlungsquelle, deren Strahlung durch mindestens ein Austrittsfenster in mindestens einen Strahlengang des Gasanalysators geleitet wird, und mit Mitteln zum periodischen Ein- und Ausschalten der Strahlung in dem mindestens einen Strahlengang.
- Nichtdispersive Infrarot-(NDIR)-Gasanalysatoren als Ein- oder Zweistrahlgeräte mit einem Strahlengang bzw. zwei Strahlengängen sind beispielsweise aus der
DE 198 41 491 A1 bekannt. Dabei wird die Strahlung einer Infrarot-Strahlungsquelle mittels einer Strahlungszerhackereinrichtung in Form eines Blendenrades moduliert und durch eine mit einem zu analysierenden Messgas gefüllte Messgasküvette zu einem Detektor geleitet. Bei dem Zweistrahlgerät wird die Strahlung mit Hilfe eines Strahlungsteilers in zwei parallele Strahlengänge durch die Messküvette und eine mit Inertgas gefüllte Vergleichsküvette aufgeteilt. - Das zur Modulation der Infrarot-Strahlung dienende Blendenrad benötigt zwischen der Strahlungsquelle und der Messküvette bzw. der Vergleichsküvette einen Luftspalt, innerhalb dessen es rotieren kann. Bei der Messung von Kohlendioxidkonzentrationen, insbesondere von sehr geringen Kohlendioxidkonzentrationen, beispielsweise in der Größenordnung von 50 ppm, kann sich der Luftspalt als sehr störend erweisen, da die Luft selbst ca. 400 ppm Kohlendioxid enthält und dieser Kohlendioxidanteil außerdem aufgrund von Umgebungseinflüssen, beispielsweise Atemluft oder in der Umgebung von Verbrennungsprozessen, stark schwanken kann.
- Um eine vom Kohlendioxidgehalt der Außenluft unabhängige genaue Messung der Kohlendioxidkonzentration in dem Messgas zu ermöglichen, ist es aus der
DE 101 04 556 A1 bekannt, den zwischen der Strahlungsquelle und der Messküvette liegenden Bereich des Strahlenganges mitsamt dem Blendenrad mittels eines Gehäuses zu umschließen, welches von einem kohlendioxidfreien Spülgas durchströmt wird. - Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine alternative Lösung anzugeben, die mit geringerem konstruktiven Aufwand verbunden ist.
- Gemäß der Erfindung wird die Aufgabe dadurch gelöst, dass bei der Strahleranordnung der eingangs angegebenen Art die Mittel zum periodischen Ein- und Ausschalten der Strahlung eine in der Strahlerkammer angeordnete digitale Mikrospiegelanordnung nach dem DMD-Typ aufweisen, die durch elektrische Ansteuerung die Strahlung der Strahlungsquelle abwechselnd in den mindestens einen Strahlengang und eine davon abweichende Richtung leitet.
- Digitale Mikrospiegelanordnungen sind in Form von Chips mit Mikrospiegeln, so genannte DMD-Chips (Digital Micromirror Device), bekannt. Ein solcher Chip weist auf seiner Oberseite ein Mikrospiegelfeld mit hunderttausenden und mehr Mikrospiegeln auf, die jeweils als Wippe auf einer CMOS-Speicherzelle gelagert sind. In Abhängigkeit von der Ladung der Speicherzelle kippt der Mikrospiegel aus einer Neutrallage nach rechts oder links, so dass sich das Reflexionsverhalten des Mikrospiegels entsprechend verändert. Der Trend geht zur Entwicklung immer kleinerer Spiegel, da sich diese schneller bewegen lassen. Durch äußerst schnelle Ansteuerung sämtlicher Mikrospiegel des Mikrospiegelfeldes kann das optische Verhalten und die Umlenkung von auf das Mikrospiegelfeld treffender Strahlung in weiten Grenzen gesteuert werden.
- Der wesentliche Vorteil der erfindungsgemäßen Strahleranordnung besteht darin, dass die Mittel zum periodischen Ein- und Ausschalten der Strahlung aus einer solchen, an sich bekannten digitalen Mikrospiegelanordnung bestehen und dass diese Mikrospiegelanordnung innerhalb der Strahlerkammer angeordnet ist. Dadurch bedarf es keines Blendenrades oder sonstiger außerhalb der Strahlerkammer und der Mess- und/oder Vergleichsküvette des Gasanalysators angeordneter Mittel zur Modulation der Strahlung, so dass die erfindungsgemäße Strahleranordnung und die Mess- bzw. Vergleichsküvette unmittelbar, d. h. ohne Zwischenraum, aneinander montiert werden können.
- Die Strahlerkammer ist vorzugsweise mit einem Schutzgas gefüllt, wobei die elektrischen Leitungen zur Ansteuerung der digitalen Mikrospiegelanordnung genauso wie die Versorgungsleitungen für die Strahlungsquelle mittels gasdichter Durchführungen, z. B. Glasdurchführungen, in die Strahlerkammer geführt werden.
- Im Weiteren wird die Erfindung beispielhaft anhand der Zeichnung beschrieben, wobei
-
1 eine Strahleranordnung für ein Einstrahlgerät und -
2 eine Strahleranordnung für ein Zweistrahlgerät zeigen. - Die in
1 gezeigte Strahleranordnung besteht aus einer Strahlerkammer1 mit einem strahlungsdurchlässigen Fenster2 , in deren Inneren eine Strahlungsquelle3 und eine digitale Mikrospiegelanordnung4 in Form eines DMD-Chips angeordnet sind. Die Strahlerkammer1 ist mit einem nichtinfrarotabsorbierenden Schutzgas gefüllt. Die elektrischen Leitungen5 zur Ansteuerung der digitalen Mikrospiegelanordnung4 und die Versorgungsleitungen6 für die Strahlungsquelle3 sind jeweils durch gasdichte Glasdurchführungen7 bzw.8 in die Strahlerkammer1 geführt. Die digitale Mikrospiegelanordnung4 weist eine Vielzahl von hier nicht gezeigten Mikrospiegeln auf, die durch Ansteuerung elektromechanisch, z. B. durch elektrische oder magnetische Felder oder piezoelektrisch, aus einer Neutrallage um einen vorgegebenen Winkelbetrag von beispielsweise 12° in die eine oder andere Richtung, d. h. nach rechts oder links, auslenkbar sind. Dementsprechend sind die Strahlungsquelle3 , das Fenster2 und die Mikrospiegelanordnung4 derart zueinander angeordnet, dass die von der Strahlungsquelle3 ausgesandte und mittels einer Reflektoreinrichtung9 zu einem parallelen Strahlenbündel ausgerichtete Strahlung10 je nach Ansteuerung der Mikrospiegelanordnung4 entweder zu der Strahlungsquelle3 zurück oder durch das Fenster2 aus der Strahlerkammer1 hinaus reflektiert wird. Im Bereich des Fensters2 schließt sich an die Strahlerkammer1 unmittelbar, d. h. ohne Zwischenraum, eine Messküvette11 und ein Detektor12 eines nichtdispersiven Gasanalysators an. - Die in
2 gezeigte Strahleranordnung für ein Zweistrahlgerät unterscheidet sich von der Strahleranordnung nach1 dadurch, dass die Strahlerkammer1 ein zweites Fenster13 aufweist und dass die Strahlungsquelle3 , die Mikrospiegelanordnung4 , das Fenster2 und das zweite Fenster13 derart zueinander angeordnet sind, dass die von der Strahlungsquelle3 ausgesandte und von der Reflektoreinrichtung9 gebündelte Strahlung10 je nach Ansteuerung der Mikrospiegelanordnung4 entweder durch das Fenster2 in den Strahlengang der Messküvette11 mit dem nachgeordneten Detektor12 oder durch das zweite Fenster13 in den Strahlengang einer Vergleichsküvette14 mit nachgeordnetem Detektor15 eingestrahlt wird. Auch hier ist die Strahlerkammer1 mit Schutzgas gefüllt und weist für die elektrischen Leitungen5 der Mikrospiegelanordnung4 und die Versorgungsleitungen6 der Strahlungsquelle3 gasdichte Durchführungen7 bzw.8 auf.
Claims (3)
- Strahleranordnung für einen nichtdispersiven Infrarot-Gasanalysator mit einer Strahlerkammer (
1 ) und einer darin angeordneten Lichtquelle (3 ), deren Strahlung (10 ) durch mindestens ein Austrittsfenster (2 ,13 ) in mindestens einen Strahlengang des Gasanalysators geleitet wird, und mit Mitteln zum periodischen Ein- und Ausschalten der Strahlung (10 ) in dem mindestens einen Strahlengang, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel zum periodischen Ein- und Ausschalten der Strahlung (10 ) eine in der Strahlerkammer (1 ) angeordnete digitale Mikrospiegelanordnung (4 ) nach dem DMD-Typ aufweisen, die durch elektrische Ansteuerung die Strahlung (10 ) der Strahlungsquelle (3 ) abwechselnd in den mindestens einen Strahlengang und eine davon abweichende Richtung leitet. - Strahleranordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die digitale Mikrospiegelanordnung (
4 ) durch elektrische Ansteuerung die Strahlung (10 ) der Strahlungsquelle (3 ) entweder in den einen oder anderen von zwei Strahlungsgängen leitet. - Strahleranordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlerkammer (
1 ) mit einem Schutzgas gefüllt ist.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE200510025675 DE102005025675A1 (de) | 2005-06-03 | 2005-06-03 | Strahleranordnung für einen nichtdispersiven Infrarot-Gasanalysator |
PCT/EP2006/062886 WO2006128914A1 (de) | 2005-06-03 | 2006-06-02 | Strahleranordnung für einen nichtdispersiven infrarot-gasanalysator |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE200510025675 DE102005025675A1 (de) | 2005-06-03 | 2005-06-03 | Strahleranordnung für einen nichtdispersiven Infrarot-Gasanalysator |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102005025675A1 true DE102005025675A1 (de) | 2006-11-16 |
Family
ID=36809098
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE200510025675 Ceased DE102005025675A1 (de) | 2005-06-03 | 2005-06-03 | Strahleranordnung für einen nichtdispersiven Infrarot-Gasanalysator |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE102005025675A1 (de) |
WO (1) | WO2006128914A1 (de) |
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- 2005-06-03 DE DE200510025675 patent/DE102005025675A1/de not_active Ceased
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- 2006-06-02 WO PCT/EP2006/062886 patent/WO2006128914A1/de active Application Filing
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---|---|
WO2006128914A1 (de) | 2006-12-07 |
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