DE102005016519B3

DE102005016519B3 - Vorrichtung zum Ablösen, Vereinzeln und Transportieren von in einer Halteeinrichtung sequenziell angeordneten Substraten

Info

Publication number: DE102005016519B3
Application number: DE200510016519
Authority: DE
Inventors: Norbert BÜRGER; Mirko Löhmann; Richard Herter
Original assignee: Rena Sondermaschinen GmbH
Current assignee: Rena Sondermaschinen GmbH
Priority date: 2005-04-08
Filing date: 2005-04-08
Publication date: 2007-03-01
Anticipated expiration: 2025-04-09

Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Ablösen, Vereinzeln und Transportieren von in einer Halteeinrichtung sequenziell angeordneten Subtraten, die scheibenförmig ausgebildet und bruchempfindlich sind, die eine Entnahmeeinheit aufweist, mittels welcher Substrate einzeln und zumindest ungefähr parallel zur Längserstreckung der Substrate von der Halteeinrichtung wegführbar sind, wobei die Entnahmeeinheit ein Abstreifelement und einen Mitnehmer umfasst und das mit dem Mitnehmer gekoppelte Abstreifelement ungefähr parallel zur Längserstreckung des Substrats von der Halteeinrichtung wegführbar ist, das Substrat vom Mitnehmer aufgrund von Haftreibung bis über einen Drehpunkt, der ungefähr dem oberen Ende des folgenden Substrats entspricht, bewegbar ist, und das entnommene Substrat am Drehpunkt aus seiner nahezu parallelen Ausrichtung heraus bewegbar und auf eine Fördereinheit führbar ist.

Description

Technisches Gebiet
Die Erfindung bezieht sich hier auf eine Vorrichtung zum Ablösen, Vereinzeln und Transportieren von in einer Halteeinrichtung sequenziell angeordneten Substraten, die scheibenförmig ausgebildet und bruchempfindlich sind, wobei die Vorrichtung eine Entnahmeeinheit aufweist, mittels welcher die Substrate von der Halteeinrichtung wegführbar sind.

Bei einem der bekannten Herstellungsverfahren von Substraten, wie beispielsweise Solarwafern, werden Siliziumblöcke oder Siliziumsäulen (im nachfolgenden Substratblöcke genannt) verwendet, die in dünne, bruchempfindliche Scheiben, im nachfolgenden Substrate genannt, zersägt werden. Die auf diese Weise hergestellten Substrate weisen typische Dicken bis zu 300 μm auf und sind in der Regel quadratisch ausgebildet. Sie haben bevorzugt eine Kantenlänge bis zu 210 mm.

Die Substratblöcke werden zum Sägen auf ein Trägersystem aufgeklebt. Typischerweise besteht das Trägersystem aus einem Metallträger, auf dem wiederum eine Glasplatte als Zwischenträger aufgebracht ist, wobei der zu bearbeitende Substratblock auf der Glasplatte aufgeklebt ist. Es sind jedoch auch andere Materialen für die Ausbildung des Trägersystems aus dem Stand der Technik bekannt.

Zur Herstellung solcher Substrate ist es notwendig, dass der Substratblock vollständig durchsägt wird, so dass der Sägeschnitt selbst bis in die Glasplatte hineinreicht. Nach dem Sägen haftet somit das hergestellte Substrat in der Ausbildung einer dünnen, bruchempfindlichen Scheibe an einer Seite nur noch über eine Klebestelle an der Glasplatte. Nachdem der Substratblock vollständig in einzelne Substrate zerteilt worden ist, entsteht ein kammartiges Gebilde.

Bevor die einzelnen Substrate, die eine scheibenförmige Ausbildung aufweisen, von dem Trägersystem entfernt werden, findet in der Regel eine Vorreinigung statt.

Die sogenannte Vereinzelung, d.h. die Entfernung der bereits hergestellten Substrate von dem Trägersystem, findet auf verschiedene Arten statt. Je besser die Spalte, die zwischen den einzelnen Substraten nach dem Sägeprozess entstehen, gereinigt werden, desto weniger Substrate kleben nach der Vereinzelung in einem Paket zusammen.

Aus dem Stand der Technik ist ein Verfahren bekannt, nach dem die einzelnen scheibenförmigen Substrate von Hand abgenommen bzw. abgebrochen werden, wobei an den Substraten selbst noch die Klebstoffreste verbleiben.

Wiederum ist aus dem Stand der Technik bekannt, dass durch Hinzugabe von chemischen Zusätzen bei dem Reinigungsprozess der Klebstoff chemisch vom gesägten Substratblock gelöst wird, bevor die Substrate von Hand vereinzelt werden. Auch hierbei besteht, wie bei dem vorhergehenden Verfahren, eine erhöhte Bruchgefahr durch die manuelle Handlungsweise.

Nachdem die abgetrennten, scheibenartig ausgebildeten Substrate von dem Trägersystem entfernt worden sind, werden diese gestapelt, indem sie entweder in eine vorbestimmte Einrichtung eingefügt oder unmittelbar flächenmäßig aufeinander gelegt werden.

Deswegen sind beispielsweise aus der WO 01/28745 A1 Verfahren und Einrichtungen zum Vereinzeln von scheibenförmigen Substraten beschrieben. Eine roboterartige Einrichtung ergreift über Saugeinrichtungen (Vakuumerzeugung) das zu vereinzelnde Substrat und löst dieses durch eine oszillierende Bewegung der Einrichtung von der Halteeinrichtung. Dabei sind oszillierende Bewegungen in unterschiedliche Richtungen vorgesehen. Das Ergreifen des zu vereinzelnden Substrats erfolgt über eine über der Fläche des Substrats angeordnete und an der Einrichtung befestigte Saugeinrichtung. Zur Freigabe des Substrats entsteht ein gewisser Überdruck, so dass das abgelöste Substrat wieder von der Einrichtung entfernbar ist.

Aus der DE 199 00 671 A1 sind Verfahren und Vorrichtungen zum Vereinzeln von scheibenförmigen Substraten, insbesondere von Wafern bekannt. Es wird vorgeschlagen, die unmittelbar nach dem Sägevorgang aneinander haftenden Substrate, die mit ihrer einen Seite noch in der Halteeinrichtung befestigt sind, durch einen gezielten Fluidstrahl voneinander im Abstand zu halten. Eine Keileinrichtung sorgt dafür, dass eine Trennung des zu vereinzelnden Substrats von der Halteeinrichtung erfolgt, wobei gleichzeitig eine greifarmähnliche Einrichtung, die mittels Saugeinrichtungen das zu vereinzelnde Substrat ergreift, dieses aus der Einrichtung entnimmt.

Aus der DE 697 22 071 T2 ist eine Vorrichtung für das Einlegen von durch Zersägen eines Rohlings erhaltener Wafer in ein Aufbewahrungselement bekannt. Es werden Handhabungsvorrichtungen vorgeschlagen, die es erlauben, im Querschnitt runde oder ovale Substrate zu ergreifen und in ein kammartiges Gebilde zu überführen. Dabei werden mehrere Substrate gleichzeitig aufgenommen und in eine entsprechende Stellfläche, die die vereinzelten Substrate aufnimmt, überführt.

Aus der DE 199 04 834 A1 ist eine Vorrichtung zum Ablösen von einzelnen Einlagern, von dünnen, bruchempfindlichen und scheibenartigen Substraten bekannt. Der Substratblock mit den bereits gesägten Substraten befindet sich in einem Behälter, der mit einem entsprechenden Fluid gefüllt ist. Im Gegensatz zum bisher bekannten Stand der Technik ist die Halteeinrichtung zusammen mit den noch an der Halteeinrichtung fixierten Substraten senkrecht ausgerichtet, so dass das zu vereinzelnde Substrat in Richtung der Fluidoberfläche parallel zur Wasseroberfläche angeordnet ist. Eine Keileinrichtung sorgt dafür, dass eine Trennung zwischen der Glasplatte und dem zu vereinzelnden Substrat stattfindet. Ein unmittelbar im Bereich des Substrats angeordnetes Transportband sorgt dafür, dass vereinzelte aufschwimmende Substrate abtransportiert werden. Eine Schiebeeinrichtung sieht vor, dass die Halteeinrichtung immer wieder in die gleiche Position gebracht und gegen die Keileinrichtung zur Vereinzelung des jeweiligen Substrats gefahren wird.

Nachteile des Standes Technik

Sobald die einzelnen scheibenartigen Substrate aufeinander gestapelt werden, besteht in einem weiteren Bearbeitungsprozess das Bedürfnis, die Substrate in den Bearbeitungsprozess zu geben. Hierzu ist es notwendig, den Stapel zu vereinzeln.

Dies gestaltet sich jedoch schwierig, da aufgrund bestehender Adhäsionskräfte die einzelnen Substrate aneinander haften. Die Haftung wird noch durch die während des Sägeprozesses entstehende Slurry verstärkt, da diese in einem Vorreinigungsprozess nicht vollständig entfernt werden kann.

Daher besteht die Gefahr, dass durch eine von Hand durchgeführte Vereinzelung die sehr dünnen und bruchempfindlichen sowie scheibenförmig ausgebildeten Substrate aufgrund der erhöhten Adhäsionskräfte zerbrechen.

Aufgabe der Erfindung

Daher besteht die Aufgabe der Erfindung darin, ein nahezu beschädigungsfreies Entnehmen von dünnen, bruchempfindlichen Substraten aus einem bereitgestellten Stapel zu ermöglichen.

Lösung der Aufgabe

Der Kerngedanke der Erfindung besteht darin, dass mittels eines durch eine maschinelle Vorrichtung geführten Abstreifers das zu entnehmende Substrat entlang seiner Lagerfläche gezogen wird, bis dieses seine parallele Ausrichtung verliert und wegkippt.

Die Erfindung schlägt somit vor, dass die Entnahmeeinheit ein Abstreifelement und einen Mitnehmer umfasst und das mit dem Mitnehmer gekoppelte Abstreifelement ungefähr parallel zur Längserstreckung des Substrats von der Halteeinrichtung wegführbar ist, dass das Substrat vom Mitnehmer aufgrund von Haftreibung bis über einen Drehpunkt, der ungefähr dem oberen Ende des folgenden Substrats entspricht, bewegbar ist, und dass das entnommene Substrat am Drehpunkt aus seiner nahezu parallelen Ausrichtung heraus bewegbar und auf eine Fördereinheit führbar ist.

Vorteile der Erfindung

Einer der wesentlichen Vorteile der Erfindung besteht darin, dass eine Vorrichtung vorgeschlagen wird, mittels der maschinell und damit selbsttätig die vorhandenen Adhäsionskräfte sowie weitere Klebekräfte überwunden werden, so dass bruchfrei jedes einzelne Substrat, unabhängig von seiner jeweiligen Größe und Dicke, auf einfache Art und Weise entnommen werden kann.

Vorzugsweise werden zur Entnahme die einzelnen Substrate gestapelt bereitgestellt. In einer bevorzugten Ausführung ist eine Magazineinrichtung vorgesehen, die zum einen für die Bevorratung der aufeinandergestapelten Substrate dient und zum anderen die Eigenschaft aufweist, die Substrate zur erfindungsgemäßen Entnahmeeinheit zu transportieren. Die Beförderung geschieht auf solche Weisen, wie sie aus dem Stand der Technik bekannt sind. Weiterhin wird bevorzugt vorgeschlagen, dass die Substrate in einem Winkel zur Senkrechten angeordnet sind. Der Winkel ist in der Regel größer 0.

Die Entnahmeeinheit als Teil der erfindungsgemäßen Vorrichtung zum Ablösen, Vereinzeln und Transportieren von sequenziell angeordneten Substraten ist im Wesentlichen zweiteilig aufgebaut. Sie besteht zum einen aus einem Abstreifelement, das über eine Handhabungseinrichtung in eine Richtung bewegt wird. Die Richtung der Bewegung wird durch die Längserstreckung der jeweiligen Substrate vorgegeben. Bei den bevorzugten Ausführungen der Ablösung, Vereinzelung und Transportieren von den Substraten sind diese flächenmäßig bzw. scheibenförmig ausgebildet, so dass parallel zur flächenmäßigen Ausbildung das Abstreifelement bewegt wird. Die Bewegung erfolgt jedoch in einem Winkel zur Senkrechten, da die einzelnen aneinandergereihten Substrate ebenfalls in einem Winkel gestapelt sind.

Mit dem Abstreifelement ist ein Mitnehmer gekoppelt. Der Mitnehmer weist die Eigenschaft auf, mit dem zu transportierenden Substrat in Kontakt zu treten. Vorzugsweise ist dieser Mitnehmer derart ausgestaltet, dass zwischen Mitnehmer und Substrat eine Haftreibung entsteht, die betragsmäßig größer ist, als diejenige Haftreibung, die zwischen den einzelnen zueinander benachbarten Substraten vorliegt.

Aufgrund einer vorgesehenen Handhabungseinrichtung wird das Abstreifelement parallel zur Längserstreckung des zu entfernenden Substrats bewegt. Dabei greift der Mitnehmer vorzugsweise flächig an dem einen Ende des Substrats an und führt dieses so weit, bis mindestens die halbe Länge des Substrats überschritten ist. Der Mitnehmer setzt hierzu im unteren Bereich des Substrats flächig an. Nach Überschreitung dieser Länge kippt automatisch das losgelöste Substrat zwischen Mitnehmer und oberster Kante des nächsten Substrats, und zwar so weit, bis es vorzugsweise eine eingerichtete Stütze erreicht. Nachdem die Kippung des Substrats erfolgt ist, gleitet dieses zwischen Mitnehmer und oberster Kante des nächsten Substrats entgegen der Beförderungsrichtung, vorzugsweise auf eine bereits vorhandene Fördereinheit.

Dies geschieht in der Regel aufgrund der vorliegenden Schwerkraft und bedarf somit keiner weiteren Transport- oder Beförderungseinrichtung. Für die weitere Vereinzelung fährt der Mitnehmer wieder in seine Ausgangsstellung zurück, und das Verfahren wird so oft wiederholt, bis die Magazineinrichtung entleert ist.

Für den Kippvorgang kann alternativ auch vorgesehen sein, dass das entnommene Substrat anstelle an der Kante des nachfolgenden Substrats an einem Kippelement, beispielsweise einer Rolle aufliegt und von dort aus entgegen der Beförderungsrichtung, vorzugsweise auf eine bereits vorhandene Fördereinheit gleitet. Dies bringt vorzugsweise den Vorteil mit sich, dass keine Beschädigungen an den Substraten selbst erfolgen können.

Um die Vereinzelung zu optimieren und die Haftreibung zwischen den einzelnen, aufeinandergestapelten Substraten zu verringern, sind vorteilhafterweise eine oder mehrere Düsen vorgesehen, die derart im Bereich der Entnahmeeinheit angeordnet sind, dass diese vorzugsweise Flüssigkeit zwischen dem zu entnehmenden Substrat und dem darauf folgenden Substrat einsprühen. Dadurch entsteht ein Wasserfilm zwischen den beiden Substraten, und die Haftreibung wird entsprechend verringert. Zusätzlich wird die aus dem Schneidprozess vorhandene Slurry weiter ausgespült und die Substrate hierdurch weiter vorgereinigt.

Vorzugsweise findet der beschreibende Vereinzelungsprozess unter Wasser statt, so dass insbesondere beim Bewegen des bereits vereinzelten Substrats in Richtung seiner Schwerkraft eine entsprechende Auftriebskraft entgegenwirkt Dies führt wiederum dazu, dass das losgelöste Substrat langsam und sicher sich selbständig auf die Fördereinrichtung bewegt.

Zudem gestaltet sich das Einsprühen von Flüssigkeit zwischen die einzelnen Substrate dadurch wesentlich einfacher, da die Düsen die Flüssigkeit entnehmen können, in dem sich auch die erfindungsgemäße Vorrichtung befindet.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung ist vorzugsweise einteilig ausgebildet, so dass sie als gesamte Einheit mit einem Flansch versehbar ist, der beispielsweise an einer Handhabungseinrichtung wie ein Roboter o.ä. anbringbar ist. Dabei ist denkbar, dass auch die erfindungsgemäße Vorrichtung innerhalb eines automatischen Prozesses in einem kontinuierlichen Betrieb einsetzbar ist.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen gehen aus der nachfolgenden Beschreibung, den Zeichnungen sowie den Ansprüchen hervor.

Zeichnungen
Es zeigen:
1 Eine perspektivische Ansicht auf die schematische Darstellung der erfindungsgemäßen Vorrichtung;
2a–2e eine schematische Darstellung der Seitenansicht der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Erläuterung des Vereinzelungsprozesses.
Beschreibung eines Ausführungsbeispiels
In 1 ist schematisch die erfindungsgemäße Vorrichtung 1 dargestellt. Sie umfasst eine Halteeinrichtung 2 zur Aufnahme von bereits gesägten und abgelösten Substraten 3. In dem hier dargestellten Ausführungsbeispiel sind die einzelnen abgelösten Substrate 3 schräg angeordnet, so dass sich ein Winkel α zwischen der Senkrechten und der Längserstreckung der jeweiligen Substrate 3 bildet. Ferner ist eine Entnahmeeinheit 4 vorgesehen, die wiederum ein Abstreifelement 5 und einen mit dem Abstreifelement 5 gekoppelten Mitnehmer 6 umfasst. Das Abstreifelement 5 ist ebenfalls in dem Winkel α angeordnet, so dass die Bewegung des Abstreifelements 5 ausschließlich in Pfeilrichtung 7 (2a), d.h. parallel zur Längserstreckung der jeweiligen Substrate 3 erfolgt. Der Winkel α ist bei dem hier dargestellten Ausführungsbeispiel größer 0 und wird durch den Vektor der Schwerkraft des jeweiligen Substrats 3 und der flächigen Ausbildung des Substrats 3 selbst in dessen Lage gebildet. Der Mitnehmer 6 selbst ist im Ruhezustand der Vorrichtung 1 (2a) am unteren Ende der Halteeinrichtung 2 auf der Fläche des zu entnehmenden Substrats 3 angeordnet.
Ferner sind Düsen 8 vorgesehen, die Flüssigkeit zwischen dem zu entnehmenden, bzw. vereinzelnden Substrat 3 und dem folgenden Substrat 3 injizieren.
In 2a ist der erste Prozessschritt dargestellt. Dabei ist das Abstreifelement 5 in drei unterschiedlichen Positionen dargestellt, das gleichbedeutend ist mit Momentaufnahmen des Abstreiferelements 5 in der Bewegung in Pfeilrichtung 7. Zu Beginn des Prozesses setzt der Mitnehmer 6 des Abstreifelements 5 am unteren Ende der Halteeinrichtung 2 an und kontaktiert die hier nicht näher dargestellte Oberfläche des Substrats 3. Mit einer nicht näher dargestellten Einrichtung bewegt sich das Abstreifelement 5 in Pfeilrichtung 7 und zwar so weit, bis ungefähr mehr als die Hälfte der Länge L des zu vereinzelnden Substrats 3 zurückgelegt worden ist (2b und 2c). Sobald die Hälfte der Länge L überschritten ist, kippt das vereinzelte Substrat 3 in Pfeilrichtung 9 und stößt an eine vorgesehene Stütze 10 an. Für die Kippung entsteht ein Drehpunkt D, der sich durch das obere Ende E des folgenden Substrats 3 und dem Mitnehmer 6 bildet. Aufgrund der vorliegenden Schwerkraft gleitet das nun gekippte Substrat in Pfeilrichtung 11 (2d) auf eine hier vorzugsweise mit der Entnahmeeinheit 4 verbundenen Fördereinheit 12. Die Bewegung wird durch die vorliegende Schwerkraft des Substrats 3 ausgelöst. Die Fördereinheit 12 selbst weist eine Antriebseinrichtung (nicht näher dargestellt) auf, so dass das vereinzelte Substrat 3 in Pfeilrichtung 13 (2e) bewegt wird. Das so vereinzelte Substrat 3 kann in einem Bearbeitungsprozess auf diese Art und Weise dann übergeben werden.
Vorzugsweise bei dem hier dargestellten Ausführungsbeispiel wird der Prozess derart wiederholt, indem die Halteeinrichtung 2 eine Vorschubeinheit 13 aufweist, so dass gemäß 2a das folgende Substrat 3 in Pfeilrichtung 14 vorgeschoben wird und der Prozess wiederholt werden kann.
Der gesamte Vereinzelungsprozess findet vorzugsweise unter Wasser statt, so dass insbesondere der Arbeitsschritt, wie er in 2c bzw. 2d dargestellt ist, indem das Substrat 3 in Pfeilrichtung 11 in Richtung seiner Schwerkraft gleitet gebremst wird, da dem Abgleiten ein entsprechender Auftrieb entgegenwirkt und so ein sanftes Abgleiten in Richtung der Fördereinrichtung 12 ermöglicht wird.
Auf diese Weise ist es machbar, automatisch einen Stapel von Substraten zu vereinzeln und ihn vorzugsweise einem Bearbeitungsprozess selbsttätig zu übergeben.

1: Vorrichtung
2: Halteeinrichtung
3: Substrat
4: Entnahmeeinheit
5: Abstreifelement
6: Mitnehmer
7: Pfeil
8: Düse
9: Pfeilrichtung
10: Stütze
11: Pfeil
12: Pfeilrichtung
13: Vorschubeinheit
14: Pfeil
α: Winkel
L: Länge
D: Drehpunkt
E: Ende

Claims

Vorrichtung zum Ablösen, Vereinzeln und Transportieren von in einer Halteeinrichtung sequenziell angeordneten Substraten, die scheibenförmig ausgebildet und bruchempfindlich sind, die eine Entnahmeeinheit aufweist, mittels welcher Substrate einzeln und zumindest ungefähr parallel zur Längserstreckung der Substrate von der Halteeinrichtung wegführbar sind, wobei die Entnahmeeinheit ein Abstreifelement (5) und einen Mitnehmer (6) umfasst und das mit dem Mitnehmer (6) gekoppelte Abstreifelement (5) ungefähr parallel zur Längserstreckung des Substrats (3) von der Halteeinrichtung (2) wegführbar ist, das Substrat (3) vom Mitnehmer (6) aufgrund von Haftreibung bis über einen Drehpunkt (D), der ungefähr dem oberen Ende des folgenden Substrats (3) entspricht, bewegbar ist, und das entnommene Substrat (3) am Drehpunkt (D) aus seiner nahezu parallelen Ausrichtung heraus bewegbar und auf eine Fördereinheit (12) führbar ist.
Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Halteeinrichtung (2) eine Magazineinrichtung umfasst, mittels welcher die einzelnen Substrate (3) zur Entnahmeeinheit (4) förderbar sind.
Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Mitnehmer (6) entgegen der Schwerkraft führbar ist und dass das entnommene Substrat (3) entgegen der mitgenommenen Bewegung gleitend auf die Fördereinheit (12) führbar ist.
Vorrichtung nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass entgegen der Förderrichtung (Pfeil 14) der Substrate (3) hinter der Entnahmeeinrichtung (4) eine Kippstütze (10) zum Kippen des entnommenen Substrats (3) vorgesehen ist.
Vorrichtung nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet dass sich die Fördereinheit (12) an die Entnahmeeinheit (4) anschließt.
Vorrichtung nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass Düsen (8) vorgesehen sind, die derart angeordnet sind, dass zwischen dem zu entnehmenden Substrat (3) und dem nachfolgenden Substrat (3) ein Fluid einspritzbar ist.
Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet dass durch die Düsen (8) Wasser einspritzbar ist.
Vorrichtung nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein Flanschelement an der Vorrichtung (1) zur Anbringung an einer Befestigungseinrichtung vorgesehen ist.
Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Befestigungseinrichtung eine Handhabungseinrichtung ist.
Vorrichtung nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest das zu entnehmende Substrat (3) in einem Winkel (α) zu dem Vektor seiner Schwerkraft angeordnet ist.
Vorrichtung nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Halteeinrichtung (2), die Entnahmeeinheit (4) und die Fördereinheit (12) eine einteilige Einheit bilden.
Vorrichtung nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung (1) innerhalb eines Fluids verwendbar ist.