DE102004062591A1

DE102004062591A1 - Vorrichtung und Verfahren zum Abstellen einer FOUP auf einem Loadport

Info

Publication number: DE102004062591A1
Application number: DE102004062591A
Authority: DE
Inventors: Gert Weniger
Original assignee: Leica Microsystems Jena GmbH; Leica Microsystems CMS GmbH
Current assignee: KLA Tencor MIE GmbH
Priority date: 2004-12-24
Filing date: 2004-12-24
Publication date: 2006-07-06
Also published as: US20060182537A1; TW200621610A; JP2006186361A

Abstract

Es ist eine Vorrichtung zum Abstellen einer FOUP auf einem Loadport (20) eines Systems zur Prozessierung scheibenförmiger Objekte offenbart. Am Loadport (20) sind mehrere Leuchtanzeigen (23) vorgesehen, die eine korrekte Ausrichtung und Positionierung der FOUP am Loadport (20) sowie die Freigabe zum Beladen oder Entladen des Loadports (20) anzeigen. Ein Taster (30) ist am Loadport (20) angeordnet, der bei Betätigung die Prozessierung der scheibenförmigen Objekte in der FOUP freigibt.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Abstellen einer FOUP auf einem Loadport. Im Besonderen betrifft die Erfindung eine Vorrichtung zum Abstellen einer FOUP auf einem Loadport eines System zur Prozessierung scheibenförmiger Objekte, wobei am Loadport mehrere Leuchtanzeigen vorgesehen sind, die eine korrekte Ausrichtung und Positionierung der FOUP auf den Loadport und die Freigabe zum Beladen oder Entladen des Loadports anzeigen.
Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Abstellen einer FOUP auf einem Loadport.

In der Halbleiterfertigung werden Wafer bzw. scheibenförmige Substrate während des Fertigungsprozesses in einer Vielzahl von Prozessschritten sequentiell bearbeitet. Die scheibenförmigen Substrate werden in Behältern, den FOUPs, zu den Systemen transportiert. In den Systemen werden dann die verschiedenen Prozessschritte ausgeführt.

Gemäß den Stand der Technik werden die FOUPs auf die Loadports der Systeme aufgesetzt. Die korrekte Lage und die Ausrichtung der FOUPs auf dem Loadport wird durch Sensoren erkannt und dem Benutzer durch die Leuchtmittel visualisiert. Wenn die Prozessierung der scheibenförmigen Objekte der FOUP durchgeführt wird, darf die FOUP nicht von Loadport entfernt werden. Würde dies dennoch geschehen, so wird dieses Ereignis durch ein optisches oder akustisches Signal angezeigt. Der Alarm kann lediglich durch den Benutzer abgestellt werden.

Die U.S. Patentanmeldung 2002/0155641 A1 offenbart eine Vorrichtung zum Ausrichten eines Loadports an einer Prozessmaschine. Die Vorrichtung besitzt eine Basisplatte, in der mindestens zwei vertikale Bohrungen ausgebildet sind, die mit entsprechenden Stiften an der Prozessmaschine zusammenarbeiten. Zur Ausrichtung ist einen Ausrichtblock vorgesehen, in dem mindestens eine horizontale Bohrung vorgesehen ist. Über die Bohrung wird mittels einer Lichtquelle und einem Detektor die Ausrichtung des Loadports bestimmt.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde eine Vorrichtung zu schaffen mit der FOUPs auf nicht benutzten Loadports sicher abgestellt und jederzeit von diesen entfernt werden können, ohne dass dabei ein Alarm ausgelost wird.

Diese Aufgabe wird durch eine Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.

Eine weitere Aufgabe der Erfindung ist, ein Verfahre bereit zu stellen, mit den ein sicheres Abstellen der FOUPs ermöglicht wird, und dass die FOUPs beliebig oft ohne einen Alarm auszulösen ausgetauscht werden können.

Diese Aufgabe wird durch eine Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 8 gelöst.

Es ist von besonderen Vorteil, wenn ein Loadport derart ausgestaltet ist, dass ebenfalls FOUPs auf diesem abgestellt werden können, bevor z.B. eine Verarbeitung an einem anderen System erfolgt. Die Vorrichtung zum Abstellen einer FOUP auf einem Loadport eines System zur Prozessierung scheibenförmiger Objekte hat am Loadport mehrere Leuchtanzeigen vorgesehen. Die Leuchtanzeigen zeigen die korrekte Ausrichtung und Positionierung der FOUP am Loadport an. Über Sensoren kann der Typ und die richtige Lage oder Position der FOUP bestimmt werden. Ein Taster ist am Loadport angeordnet, der bei Betätigung die Prozessierung der scheibenförmigen Objekte in der FOUP freigibt.

Der Taster ist mit einer Beleuchtung versehen, die anzeigt, dass die Prozessierung der scheibenförmigen Objekte noch nicht gestartet wurde und somit der FOUP jederzeit entfernt werden kann. Der Loadport ist gemäß Semi E15 ausgeführt und wirkt formschlüssig mit einer Unterseite der FOUP zusammen.

Das Verfahren zum Abstellen einer FOUP auf einem Loadport umfasst die Schritte des: Aufsetzen einer FOUP auf einen unbenutzten Loadport; Überprüfen der korrekten Ausrichtung der FOUP auf dem Loadport; Überprüfen der Aktivität eines am Loadport vorgesehenen Tasters; und Zulassen von mehrmaligen Aufsetzen und/oder Abnehmen der FOUP, wenn der Taster aktiviert ist. Die Aktivität des Tasters wird durch die interne Beleuchtung des Tasters angezeigt. Bei aktivierten, also beleuchteten Taster, ist somit ein mehrmaliges Aufsetzen und/oder Abnehmen der FOUP vom Loadport möglich und zugelassen.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung können den Unteransprüchen entnommen werden.
In der Zeichnung ist der Erfindungsgegenstand schematisch dargestellt und wird anhand der Figuren nachfolgend beschrieben. Dabei zeigen:
1 eine schematische Ansicht einer ersten Ausführung des Systems, das aus einer Mikroinspektion und einer Makroinspektion besteht ;
2 eine perspektivische Ansicht eines Loadports in Verbindung einem System zum Prozessieren von scheibenförmigen Substraten;
3 eine perspektivische Ansicht eines Loadports, mit der erfindungsgemäßen Taste;
4 eine schematische Ansicht des Tasters, der auf der Basisplatte des Loadports vorgesehen ist; und
5 eine schematische Darstellung eines Ablaufdiagramms des erfindungsgemäßen Verfahrens.
1 zeigt eine schematische Ansicht einer ersten Ausführung des Systems 100, das aus einer Mikroinspektion 101 und einer Makroinspektion 102 besteht. Die Makroinspektion 102 ist als Modul aufgebaut, und kann somit schnell und einfach mit dem System 100 verbunden werden. Die Vorder- und der Rückseite 2, 3 eines scheibenförmigen Objekts 4 (siehe 4) werden in der Makroinspektion 102 aufgenommen. Ferner ist das System 100 mit mindestens eine Foup 103 versehen, über die die scheibenförmigen Objekte 4 dem System 100 zugeführt und abtransportiert werden. Das System ist mit einem Handler 104 versehen, der die scheibenförmigen Objekte 4 aus den FOUPs 103 entnimmt und in den FOUPs 103 ablegt, oder an die Makroinspektion 102 übergibt oder an einen Drei-Paddel-Handler 105 weitergibt. Das in 1 dargestellte System 100 besitzt eines erste Übergabeposition, eine zweite Übergabeposition und einer dritte Übergabeposition. An der ersten Übergabeposition übernimmt der Drei-Paddel-Handler 105 die scheibenförmigen Objekte 4 vom Handler 104. An der zweiten ein Prealigner 106 die scheibenförmigen Objekte 4 vom Drei-Paddel-Handler 105. An der vierten Übergabeposition übernimmt die Mikroinspektion 101 die scheibenförmigen Objekte 4 vom Drei-Paddel-Handler 105. Es ist selbstverständlich, dass das oben beschriebene System 100 nicht auf diese konkrete Ausgestaltung beschränkt ist. Es sind viele andere Anordnungen denkbar, bei denen ein oder mehrere FOUPs 103 mit dem System 100 zur Prozessierung der scheibenförmigen Objekte zusammenarbeiten.
2 ist eine perspektivische Ansicht eines Loadports 20 in Verbindung einem System 100 zum Prozessieren von scheibenförmigen Substraten. Der Loadport 20 ist mit dem System 100 verbunden und bildet somit die Schnittstelle zwischen dem System 100 zum Prozessieren der scheibenförmigen Substrate und der einer Eingabe von scheibenförmigen Substraten in das System 100. Der Loadport 20 hat ausgebildet Basisplatte 21 ausgebildet, auf eine FOUP (nicht dargestellt) abgesetzt werden kann. Die Basisplatte 21 selbst trägt eine Verbindungsplatte 22, die gemäß dem Semi E 15 Standard ausgeführt ist und mit formschlüssig mit einer Unterseite (nicht dargestellt) der FOUP zusammenwirkt. Durch die Formschlüssigkeit wird ein sicherer Sitz der FOUP auf dem Loadport 20 gewährleistet. Neben der bereits beschriebenen Formschlüssigkeit greifen ebenfalls noch Kupplungselemente (nicht dargestellt) zwischen der FOUP und dem Loadport 20 ineinander und den sicheren Sitz zu gewährleisten. Ein mit scheibenförmigen Objekten gefüllte FOUP kann somit nicht aus Versehen von dem Loadport 20 geschmissen werden, so dass hierdurch zusätzlich eine Sicherheit zum Schutz der scheibenförmigen Objekte eingebaut ist. Ferner sind am Loadport 20 mehrere Leuchtanzeigen 23 vorgesehen, die die korrekte Ausrichtung der FOUP auf dem Loadport 20 anzeigen. Ebenso wird über die Leuchtanzeigen 23 angezeigt, ob die FOUP auf den Loardport aufgesetzt oder die vorhandene FOUP entfernt werden darf. Ferner ist im Loadport 20 eine Öffnung 25 ausgebildet, über die die scheibenförmigen Objekte von der FOUP in das System 100 transportiert werden.
3 ist eine perspektivische Ansicht eines Loadports 20, mit dem erfindungsgemäßen Taster 30. Der Taster 30 dient dazu, dass eine FOUP auf den Loadport 20 abgestellt werden kann, ohne dass die Sperre initialisiert wird, mittels der die FOUP vor einem erneuten Abnehmen gesperrt ist, bevor die in der FOUP vorhandenen scheibenförmigen Objekte durch das System 100 abgearbeitet sind. Stellt der Benutzer ein FOUP auf den Loadport und drückt bzw. aktiviert den Taster 30, dann werden die in der FOUP vorhandenen scheibenförmigen Objekte prozessiert. Stellt der Benutzer zum Parken eine FOUP auf den Loadport 20 ab, ohne dass der Taster 30 betätigt oder aktiviert wird, ist der Loadport 20 sicher und fixiert auf dem Loadport 20 abgestellt, und kann beliebig oft entfernt und wieder abgestellt werden.
4 ist eine schematische Ansicht des Tasters 30, der auf der Basisplatte 21 des Loadports 20 vorgesehen ist. Der Taster 30 ist mit einer inneren Beleuchtung 33 versehen, die anzeigt, dass die Prozessierung der scheibenförmigen Objekte nicht gestartet ist, so dass der FOUP jederzeit vom Loadport 20 entfernbar ist. Der Taster 30 umfasst ferner ein Betätigungselement 31, über das die Aktivierung bzw. Deaktivierung des Tasters 30 vorgenommen wird.
5 ist eine schematische Darstellung eines Ablaufdiagramms des erfindungsgemäßen Verfahrens. Es ist ein freier oder unbenutzter Loadport 20 vorhanden. Auf diesen Loadport 20 kann der Benutzer in einem ersten Schritt 40 eine FOUP abstellen bzw. aufsetzen. Dabei wird durch den Loadport 20 überprüft, ob die FOUP korrekt aufgesetzt ist. Falls die FOUP nicht korrekt aufgesetzt ist, kann dies korrigiert werden. In einer ersten Abfrage 42 wird die korrekte Lage des FOUPs abgefragt. Anschließend wirb in einer Abfrage 43a ermittelt, ob die Beleuchtung 33 im Taster 30 aktiviert ist. Ist dies nicht derr fall, kann der Prozess fortgesetzt werden und in einer zweiten Abfrage 44 wird abgefragt, ob die in der FOUP vorhandenen scheibenförmigen Substrate prozessiert werden sollen oder nicht. Die Entscheidung ob die Prozessierung erfolgt oder nicht, wird durch die Betätigung 45 des Tasters 30 initiiert. In einer weiteren Abfrage 43b wird ermittelt, ob die Beleuchtung 33 im Taster 30 deaktiviert ist. Ist die Beleuchtung 33 im Taster 30 deaktiviert, dann werden die in der FOUP vorhandenen scheibenförmigen Objekte abgearbeitet. Das Prozessieren 46 der FOUP erfolgt. Ist der Prozess abgeschlossen, dann kann die FOUP vom Loadport 20 abgenommen werden. Es erfolgt also das Entfernen 47 der FOUP vom Loadport 20. Ist der Taster 30 nicht gedrückt, dann kann die FOUP zu jedem beliebigen vom Loadport 20 abgenommen werden.

Claims

Vorrichtung zum Abstellen einer FOUP auf einem Loadport (20) eines System (100) zur Prozessierung scheibenförmiger Objekte, wobei am Loadport (20) mehrere Leuchtanzeigen (23) vorgesehen sind, die eine korrekte Ausrichtung und Positionierung der FOUP am Loadport (20) und die Freigabe zum Beladen oder Entladen des Loadports (20) anzeigen, dadurch gekennzeichnet, dass ein Taster (30) am Loadport (20) angeordnet ist, der bei Betätigung die Prozessierung der scheibenförmigen Objekte in der FOUP freigibt.
Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Taster (30) mit einer inneren Beleuchtung (33) versehen ist, die anzeigt, dass die Prozessierung der scheibenförmigen Objekte nicht gestartet ist, so dass der FOUP jederzeit vom Loadport (20) entfernbar ist.
Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das scheibenförmige Objekt ein Wafer ist.
Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das scheibenförmige Objekt ein Wafer auf einem Glassubstrat ist.
Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das scheibenförmige Objekt eine Maske für die Lithographie ist.
Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das scheibenförmige Objekt ein Flat – Panel – Display ist.
Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Loadport (20) gemäß Semi E 15 ausgeführt ist und formschlüssig mit einer Unterseite der FOUP zusammenwirkt.
Verfahren zum Abstellen einer FOUP auf einem Loadport (20), gekennzeichnet durch die folgenden Schritte: • Aufsetzen einer FOUP auf einen unbenutzten Loadport (20); • Überprüfen der korrekten Ausrichtung der Foup auf dem Loadport (20); • Überprüfen der Aktivität eines am Loadport (20) vorgesehenen Tasters (30); und • Zulassen von mehrmaligen Aufsetzen und/oder Abnehmen der FOUP, wenn der Taster (30) aktiviert ist.
Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Aktivität des Tasters (30) durch eine innere Beleuchtung (33) des Tasters (30) angezeigt wird.
Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass bei einem aktivierten Taster (30) die in der FOUP vorhandenen scheibenförmigen Objekte prozessiert werden.
Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass nach dem Abschluss der Prozessierung der scheibenförmigen Objekte in der FOUP die FOUP vom Loadport (20) entfernt werden kann.
Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass das bei einem nicht betätigten oder aktivierten Taster (30) und aktivem LOAD-Indikator, der FOUP sicher und fixiert auf dem Loadport (20) abgestellt wird, und dass die FOUP bei einem nicht betätigten oder aktivierten Taster und aktivem UNLOAD-Indikator beliebig oft entfernt werden kann.
Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass das scheibenförmige Objekt ein Wafer ist.
Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass das scheibenförmige Objekt ein Wafer auf einem Glassubstrat ist.
Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass das scheibenförmige Objekt eine Maske für die Lithographie ist.
Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass das scheibenförmige Objekt ein Flat – Panel – Display ist.