DE102004047419A1 - Hydraulic diaphragm seal and pressure sensor with hydraulic diaphragm seal - Google Patents
Hydraulic diaphragm seal and pressure sensor with hydraulic diaphragm seal Download PDFInfo
- Publication number
- DE102004047419A1 DE102004047419A1 DE200410047419 DE102004047419A DE102004047419A1 DE 102004047419 A1 DE102004047419 A1 DE 102004047419A1 DE 200410047419 DE200410047419 DE 200410047419 DE 102004047419 A DE102004047419 A DE 102004047419A DE 102004047419 A1 DE102004047419 A1 DE 102004047419A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- pressure
- chamber
- membrane
- diaphragm seal
- pressure chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0007—Fluidic connecting means
- G01L19/0046—Fluidic connecting means using isolation membranes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Supply Devices, Intensifiers, Converters, And Telemotors (AREA)
Abstract
Der erfindungsgemäße Druckmittler umfasst einen Druckmittlerkörper mit einer Druckkammer; eine Trennmembran, welche die Druckkammer druckdicht verschließt, wobei die Trennmembran von der der Druckkammer abgewandten Seite mit einem Mediendruck beaufschlagbar ist, welcher durch die Trennmembran in die Druckkammer übertragen wird; und einen hydraulischen Pfad, der sich von der Druckkammer erstreckt und mit einer Druckmesszelle verbindbar ist, um die Druckmesszelle mit dem in der Druckkammer vorherrschenden Druck zu beaufschlagen; wobei der Druckmittler ferner einen Druckspeicher aufweist, welcher mit der Druckkammer kommuniziert, und bei einem Kammerdruck in der Druckkammer, der einem unteren Messbereichsgrenzwert entspricht, maximal ausgelenkt ist und eine hydraulische Kapazität von Null aufweist und unterhalb davon eine hydraulische Kapazität aufweist, die ausreicht, eine Auslenkung der Trennmembran zu bewirken zur Verminderung eines Absinkens des Kammerdrucks bei fallendem Mediendruck mittels eines steigenden Trennmembranfehlers.The diaphragm seal according to the invention comprises a diaphragm seal body with a pressure chamber; a separation membrane which closes the pressure chamber in a pressure-tight manner, wherein the separation membrane can be acted upon by the pressure chamber remote from the pressure chamber with a media pressure, which is transmitted through the separation membrane into the pressure chamber; and a hydraulic path extending from the pressure chamber and connectable to a pressure measuring cell to pressurize the pressure measuring cell with the pressure prevailing in the pressure chamber; wherein the diaphragm seal further comprises a pressure accumulator which communicates with the pressure chamber, and at a chamber pressure in the pressure chamber, which corresponds to a lower measuring range limit, is maximally deflected and has a hydraulic capacity of zero and below which has a hydraulic capacity which is sufficient Deflection of the separation membrane to cause a reduction in the chamber pressure in case of falling media pressure by means of a rising separation membrane error.
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft hydraulische Druckmittler sowie Drucksensoren mit hydraulischen Druckmittlern.The The present invention relates to hydraulic diaphragm seals and pressure sensors with hydraulic diaphragm seals.
Hydraulische Druckmittler im hier verwendeten Sinne umfassen einen Druckmittlerkörper in dem eine Druckkammer ausgebildet ist, und eine Trennmembran, welche die Druckkammer druckdicht verschließt. Die Trennmembran ist von der Druckkammer abgewandten Seite mit einem zu messenden Mediendruck beaufschlagbar, welcher durch die Trennmembran in die Druckkammer übertragen wird. Von der Druckkammer erstreckt sich ein hydraulischer Pfad zu einer Druckmesszelle eines Drucksensors, um die Druckmesszelle mit dem in der Druckkammer vorherrschenden Druck zu beaufschlagen. Der hydraulische Pfad umfasst ein definiertes Volumen, welches beispielsweise durch Kanäle, Leitungen oder Kammern gebildet und mit einer Übertragungsflüssigkeit gefüllt ist.hydraulic Diaphragm seals as used herein include a diaphragm seal body in a pressure chamber is formed, and a separation membrane, which the pressure chamber closes pressure-tight. The separation membrane is from the pressure chamber side facing away with a measured media pressure acted upon, which transmit through the separation membrane in the pressure chamber becomes. From the pressure chamber extends a hydraulic path to a pressure measuring cell of a pressure sensor, around the pressure measuring cell to pressurize the pressure prevailing in the pressure chamber. Of the hydraulic path includes a defined volume, which for example through channels, Lines or chambers formed and with a transmission fluid filled is.
Die Trennmembranen sind vorzugsweise möglichst weich, um einen minimalen Trennmembranfehler bei der Übertragung des Drucks in die Druckkammer zu bewirken, wobei der Trennmembranfehler der Beitrag zum Kammerdruck in der Druckkammer aufgrund einer Auslenkung der Trennmembran ist. Der verbleibende Trennmembranfehler kann gewöhnlich mit einer Trennmembrankennlinie gut beschrieben und kompensiert werden, wobei die Kompensation des Trennmembranfehlers in der Praxis oft nicht gesondert erfolgt sondern gemeinsam mit anderen Fehlern, beispielsweise Temperaturabhängigkeiten der Druckmesszelle. Die oben geforderte Weichheit der Trennmembran ist insofern problematisch, als beispielsweise die nachfolgend geschilderte Situation zu einer anhaltenden Verstimmung der Kennlinie der Trennmembran führen kann.The Separating membranes are preferably as soft as possible to a minimum Separation diaphragm failure during transmission causing the pressure in the pressure chamber, wherein the separation membrane error the contribution to the chamber pressure in the pressure chamber due to a deflection the separation membrane is. The remaining separation membrane failure can usually with a separation membrane characteristic are well described and compensated, the compensation of the separation diaphragm failure often in practice not separately but together with other errors, for example temperature dependencies the pressure measuring cell. The above required softness of the separation membrane is problematic insofar as, for example, the following Situation to a persistent detuning of the characteristic of the separation membrane to lead can.
Die Übertragungsflüssigkeit weist, einen temperaturabhängigen Dampfdruck auf, der gewöhnlich geringer ist als der zu messende Mediendruck. Wenn nun beispielsweise aufgrund eines Bedienfehlers die Trennmembran mit einem Druck unterhalb des Dampfdrucks beaufschlagt wird, so kann es zu einem sehr schnellen Ausgasen der Übertragungsflüssigkeit kommen, was eine bleibende Verformung der Trennmembran bewirken kann.The transmission fluid indicates a temperature-dependent Steam pressure on, usually less than the measured media pressure. For example, if due to an operator error, the separation membrane with a pressure below the Steam pressure is applied, so it can be a very fast Outgassing of the transmission fluid come what cause a permanent deformation of the separation membrane can.
Dieser unerwünschte Effekt kann noch verstärkt werden, wenn in der Übertragungsflüssigkeit aufgrund von Alterungsprozessen Reaktionsprodukte in einer schlimmstenfalls übersättigten Lösung gelöst sind, und diese bei einer durch das Ausgasen der regulären Bestandteile der Übertragungsflüssigkeit eingeleiteten Störung irreversibel und ggf. in einer lawinenartigen Kettenreaktion freigesetzt werden.This undesirable Effect can be enhanced be when in the transmission fluid due of aging processes reaction products in a worst case supersaturated solution solved are, and these at one by the outgassing of the regular ingredients introduced the transmission fluid disorder irreversibly and possibly released in an avalanche-like chain reaction become.
Es ist daher die Aufgabe der Erfindung, einen Druckmittler bereitzustellen, welcher die beschriebenen Nachteile überwindet. diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch den Druckmittler gemäß des unabhängigen Patentanspruchs 1.It is therefore the object of the invention to provide a pressure transmitter, which overcomes the disadvantages described. this task becomes solved by the invention the pressure transmitter according to the independent claim 1.
Der
erfindungsgemäße Druckmittler
umfasst
einen Druckmittlerkörper
mit einer Druckkammer;
eine Trennmembran, welche die Druckkammer druckdicht
verschließt,
wobei die Trennmembran von der der Druckkammer abgewandten Seite
mit einem Mediendruck beaufschlagbar ist, welcher durch die Trennmembran
in die Druckkammer übertragen
wird; und
einen hydraulischen Pfad der sich von der Druckkammer
erstreckt und mit einer Druckmesszelle verbindbar ist, um die Druckmesszelle
mit dem in der Druckkammer vorherrschenden Druck zu beaufschlagen; wobei
der
Druckmittler ferner einen Druckspeicher aufweist, welcher mit der
Druckkammer, und bei einem Kammerdruck in der Druckkammer der einem
unteren Messbereichsgrenzwert entspricht maximal ausgelenkt ist
und eine hydraulische Kapazität
von Null aufweist und unterhalb davon eine hydraulische Kapazität aufweist,
die ausreicht, eine Auslenkung der Trennmembran zu bewirken zur
Verminderung eines Absinkens des Kammerdrucks bei fallendem Mediendruck
mittels eines steigenden Trennmembranfehlers.The pressure transmitter according to the invention comprises
a diaphragm seal body having a pressure chamber;
a separation membrane which closes the pressure chamber in a pressure-tight manner, wherein the separation membrane can be acted upon by the pressure chamber remote from the pressure chamber with a media pressure, which is transmitted through the separation membrane into the pressure chamber; and
a hydraulic path extending from the pressure chamber and connectable to a pressure measuring cell to pressurize the pressure measuring cell with the pressure prevailing in the pressure chamber; in which
the pressure transmitter further comprises a pressure accumulator, which with the pressure chamber, and at a chamber pressure in the pressure chamber which corresponds to a lower measuring range limit is maximum deflected and has a hydraulic capacity of zero and below thereof has a hydraulic capacity sufficient, a deflection of the separation membrane to cause a reduction in the chamber pressure with decreasing media pressure by means of a rising separation diaphragm error.
Der Trennmembranfehler ist der Beitrag zum Kammerdruck in der Druckkammer aufgrund einer Auslenkung der Trennmembran.Of the Separation diaphragm failure is the contribution to chamber pressure in the pressure chamber due to a deflection of the separation membrane.
Die beschriebene Anordnung führt im Ergebnis also dazu, dass unterhalb des Messbereichs durch das Auslenken der Trennmembran diese einen größeren Beitrag zum Kammerdruck leistet, so dass der Kammerdruck zu einem gewissen Grade von dem Mediendruck entkoppelt ist.The described arrangement leads As a result, so that below the measuring range by the Deflecting the separation membrane this a greater contribution to the chamber pressure so that the chamber pressure to some extent of the Media printing is decoupled.
Der Druckspeicher kann beispielsweise eine elastische Druckspeichermembran umfassen, die über einem evakuierten konkaven Membranbett gespannt ist, welches durch die Trennmembran von dem hydraulischen Pfad getrennt ist. Dabei ist Steifigkeit der Druckspeichermembran so bemessen, dass Sie bei einem Kammerdruck, der dem unteren Messbereichsgrenzwert entspricht, maximal ausgelenkt ist und gerade an dem Membranbett anliegt. Unterhalb dieses Drucks hebt sich die Druckspeichermembran aus Membranbett und verdrängt die Übertragungsflüssigkeit, bis der resultierende Kammerdruck, der gleich der Summe aus dem Trennmembranfehler der aufgrund der Verdrängung ausgelenkten Trennmembran und dem herrschenden Mediendruck ist, der Position der Druckspeichermembran entspricht.Of the Pressure accumulator, for example, an elastic pressure storage membrane include that over an evacuated concave membrane bed is tensioned by the separation membrane is separated from the hydraulic path. there Stiffness of the accumulator diaphragm is such that you are at a chamber pressure corresponding to the lower measuring range limit, is deflected maximum and just rests against the membrane bed. Below This pressure raises the pressure storage membrane of membrane bed and displaced the transmission fluid, until the resulting chamber pressure equals the sum of the Separation diaphragm error of the deflected due to the displacement separation membrane and the prevailing media pressure is the position of the accumulator diaphragm equivalent.
Die Druckspeichermembran kann sowohl als Kreisscheibenmembran als auch als Ringmembran ausgeführt sein.The Accumulator membrane can be used both as circular disc membrane as well designed as a ring membrane be.
Anstelle einer Druckspeichermembran kann auch ein elastischer Balg vorgesehen sein der bei einem Kammerdruck, der dem unteren Messbereichsgrenzwert entspricht, maximal komprimiert ist und gerade an einem Anschlag anliegt. Unterhalb dieses Drucks dehnt sich der elastische Balg in das mit dem hydraulischen Pfad kommunizierende Volumen hinein aus, bis der resultierende Kammerdruck, der gleich der Summe aus dem Trennmembranfehler der aufgrund der Verdrängung ausgelenkten Trennmembran und dem herrschenden Mediendruck ist, der Position des Balgs entspricht.Instead of an accumulator diaphragm can also be provided with an elastic bellows its at a chamber pressure that is the lower range limit corresponds, is compressed to a maximum and just at a stop is applied. Below this pressure, the elastic bellows expands into the volume communicating with the hydraulic path from, until the resulting chamber pressure equal to the sum of the separation membrane error of the deflected due to the displacement separation membrane and the prevailing media pressure is equal to the position of the bellows.
Der Druckspeicher kann generell an einem beliebigen Ort innerhalb oder außerhalb des Druckmittlerkörpers angeordnet sein. Innerhalb des Druckmittlerkörpers oder eines damit verbundenen Körpers, kann der Druckspeicher beispielsweise in die Druckkammer integriert oder in einer gesondert dafür vorgesehenen Kammer angeordnet sein.Of the Pressure accumulator can generally be anywhere within or at any location outside of the diaphragm seal body be arranged. Within the diaphragm seal body or an associated body, For example, the pressure accumulator can be integrated into the pressure chamber or in a separately designated Chamber be arranged.
Der Druckspeicher kann über den hydraulischen Pfad mit der Druckkammer kommunizieren oder über einen parallelen Pfad.Of the Accumulator can over communicate the hydraulic path with the pressure chamber or via a parallel path.
Der hydraulische Widerstand der Kommunikation zwischen dem Druckspeicher und der Druckkammer wird bevorzugt so niedrig gestaltet, beispielsweise durch ausreichende Strömungsquerschnitte, dass der Druckspeicher auch bei einem schnellen Abfall des Mediendrucks das Absinken des Kammerdrucks vermindern kann.Of the hydraulic resistance of the communication between the pressure accumulator and the pressure chamber is preferably made as low, for example by sufficient flow cross sections, that the accumulator even with a rapid drop in media pressure reduce the decrease in the chamber pressure.
Der erfindungsgemäße Drucksensor umfasst einen Druckmittler der zuvor beschriebenen Art und eine Druckmesszelle, wobei Druckmittler und Druckmesszelle zu einer Einheit kombiniert sind.Of the Pressure sensor according to the invention comprises a pressure transmitter of the type described above and a Pressure measuring cell, whereby pressure transmitter and pressure measuring cell to a unit combined.
Der
erfindungsgemäße Drucksensor
umfasst also
einen Drucksensorkörper mit einer Druckkammer;
eine
Trennmembran, welche die Druckkammer druckdicht verschließt, wobei
die Trennmembran von der der Druckkammer abgewandten Seite mit einem Mediendruck
beaufschlagbar ist, welcher durch die Trennmembran in die Druckkammer übertragen
wird;
eine Druckmesszelle, die über einen hydraulischen Pfad
der sich zwischen der Druckkammer und der Druckmesszelle erstreckt,
mit dem in der Druckkammer vorherrschenden Druck beaufschlagbar
ist; dadurch gekennzeichnet, dass
der Drucksensor ferner einen
Druckspeicher aufweist, welcher mit der Druckkammer kommuniziert, und
bei einem Kammerdruck in der Druckkammer der einem unteren Messbereichsgrenzwert
entspricht maximal ausgelenkt ist und eine hydraulische Kapazität von Null
aufweist und unterhalb davon eine hydraulische Kapazität aufweist,
die ausreicht, eine Auslenkung der Trennmembran zu bewirken zur
Verminderung eines Absinkens des Kammerdrucks bei fallendem Mediendruck
mittels eines steigenden Trennmembranfehlers.The pressure sensor according to the invention thus comprises
a pressure sensor body having a pressure chamber;
a separation membrane which closes the pressure chamber in a pressure-tight manner, wherein the separation membrane can be acted upon by the pressure chamber remote from the pressure chamber with a media pressure, which is transmitted through the separation membrane into the pressure chamber;
a pressure measuring cell, which can be acted upon by a hydraulic path which extends between the pressure chamber and the pressure measuring cell, with the pressure prevailing in the pressure chamber; characterized in that
the pressure sensor further comprises a pressure accumulator which communicates with the pressure chamber, and at a chamber pressure in the pressure chamber which corresponds to a lower measuring range limit is maximally deflected and has a hydraulic capacity of zero and below it has a hydraulic capacity sufficient, a deflection of the separation membrane to cause a decrease in the chamber pressure with decreasing media pressure by means of a rising separation diaphragm error.
In einer Weiterbildung des erfindungsgemäßen Drucksensors wird das Unterschreiten des unteren Messbereichsgrenzwertes oder die resultierende Bewegung des Druckspeichers mittels geeigneter elektronischer Schaltungen erfasst und registriert. Ggf. kann die Anzahl und die Dauer der Messbreichsunterschreitungen oder die Dauer und Amplitude der Druckspeicherbewegungen erfasst und registriert werden. Daraus lassen sich im Sinne einer vorausschauender Überwachung Rückschlüsse auf die Alterung des Drucksensors ableiten. Die Temperatur der Übertragungsflüssigkeit kann ggf. mit einem nicht näher dargestellten Temperatursensor erfasst und zur Überwachung des Drucksensors herangezogen werden.In a development of the pressure sensor according to the invention is the falling below the lower measuring range limit or the resulting movement the pressure accumulator by means of suitable electronic circuits recorded and registered. Possibly. can the number and duration of the Measurement range undershoots or the duration and amplitude of accumulator movements be recorded and registered. This can be in the sense of a predictive monitoring Conclusions on derive the aging of the pressure sensor. The temperature of the transfer fluid May possibly with a no closer recorded temperature sensor detected and to monitor the pressure sensor be used.
Die Erfindung wird nun anhand der in den Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispiele erläutert. Es zeigt:The Invention will now be described with reference to the embodiments illustrated in the drawings explained. It shows:
Der
in
Der
zylindrische Druckmittlerkörper
In
der Messzellenkammer
Von
der Druckkammer
Der
Raum zwischen dem Druckspeichermembranbett
Das
Wirkprinzip des Drucksensors ergibt sich nun aus der Zusammenschau
der
Wenn
nun der Mediendruck unter die Messbereichsuntergrenze Pmin M bzw. der Kammerdruck unterhalb Pmin K sinkt, so reicht
der Druck nicht mehr aus, um die Druckspeichermembran
Die Druckspeichermembran und die Trennmembran sind vorzugsweise so aufeinander abgestimmt, dass der resultierende Kammerdruck stets größer ist als ein kritischer Kammerdruck Pkrit K, bei dem Bestandteile der Übertragungsflüssigkeit ausgasen könnten.The pressure storage membrane and the separation membrane are preferably coordinated so that the resulting chamber pressure is always greater than a critical chamber pressure P crit K , could outgas at the components of the transmission fluid.
Claims (9)
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE200410047419 DE102004047419B4 (en) | 2004-09-28 | 2004-09-28 | Diaphragm seal and pressure sensor with diaphragm seal |
PCT/EP2005/054542 WO2006051012A1 (en) | 2004-09-28 | 2005-09-13 | Hydraulic pressure transmitter and pressure sensor comprising a hydraulic pressure transmitter |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE200410047419 DE102004047419B4 (en) | 2004-09-28 | 2004-09-28 | Diaphragm seal and pressure sensor with diaphragm seal |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102004047419A1 true DE102004047419A1 (en) | 2006-04-06 |
DE102004047419B4 DE102004047419B4 (en) | 2011-09-15 |
Family
ID=35457105
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE200410047419 Expired - Fee Related DE102004047419B4 (en) | 2004-09-28 | 2004-09-28 | Diaphragm seal and pressure sensor with diaphragm seal |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE102004047419B4 (en) |
WO (1) | WO2006051012A1 (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107091668A (en) * | 2016-02-17 | 2017-08-25 | 姆萨西诺机器株式会社 | Hydraulic pressure determination unit and liquid level gauge |
DE102020210051A1 (en) | 2020-08-07 | 2022-02-10 | Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Sensor and method for manufacturing a sensor |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1172640A1 (en) * | 2000-07-13 | 2002-01-16 | Endress + Hauser GmbH + Co. | Differential pressure sensor |
DE10101180A1 (en) * | 2001-01-12 | 2002-09-12 | Endress & Hauser Gmbh & Co Kg | Differential pressure sensor and method for differential pressure measurement |
DE10152681A1 (en) * | 2001-10-19 | 2003-04-30 | Endress & Hauser Gmbh & Co Kg | Diaphragm seal with separating membrane and process for its manufacture |
DE10248281A1 (en) * | 2002-10-16 | 2004-04-29 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Absolute or differential pressure sensor with dynamic overload protection, for preventing damage by pressure spikes, has an additional hydraulic capacitance in the form of a damping membrane |
DE10257124A1 (en) * | 2002-12-05 | 2004-06-24 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Pressure and differential pressure measuring device with overload protection |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5095755A (en) * | 1990-11-01 | 1992-03-17 | Rosemount Inc. | Isolator for pressure transmitter |
DE4413274A1 (en) * | 1994-04-16 | 1995-10-19 | Sel Alcatel Ag | Pressure sensor |
US6581469B2 (en) * | 2001-01-12 | 2003-06-24 | Endress + Hauser Gmbh Co. | Differential pressure sensor and method of differential pressure measurement |
-
2004
- 2004-09-28 DE DE200410047419 patent/DE102004047419B4/en not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-09-13 WO PCT/EP2005/054542 patent/WO2006051012A1/en active Application Filing
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1172640A1 (en) * | 2000-07-13 | 2002-01-16 | Endress + Hauser GmbH + Co. | Differential pressure sensor |
DE10101180A1 (en) * | 2001-01-12 | 2002-09-12 | Endress & Hauser Gmbh & Co Kg | Differential pressure sensor and method for differential pressure measurement |
DE10152681A1 (en) * | 2001-10-19 | 2003-04-30 | Endress & Hauser Gmbh & Co Kg | Diaphragm seal with separating membrane and process for its manufacture |
DE10248281A1 (en) * | 2002-10-16 | 2004-04-29 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Absolute or differential pressure sensor with dynamic overload protection, for preventing damage by pressure spikes, has an additional hydraulic capacitance in the form of a damping membrane |
DE10257124A1 (en) * | 2002-12-05 | 2004-06-24 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Pressure and differential pressure measuring device with overload protection |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107091668A (en) * | 2016-02-17 | 2017-08-25 | 姆萨西诺机器株式会社 | Hydraulic pressure determination unit and liquid level gauge |
DE102020210051A1 (en) | 2020-08-07 | 2022-02-10 | Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Sensor and method for manufacturing a sensor |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2006051012A1 (en) | 2006-05-18 |
DE102004047419B4 (en) | 2011-09-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2612125B1 (en) | Pressure sensor having a piezoresistive sensor chip element | |
DE69123603T2 (en) | ISOLATOR FOR PRESSURE TRANSMITTER | |
DE102008019054A1 (en) | Differential pressure sensor i.e. micromechanical differential pressure sensor, for detecting difference between two medium pressures, has measuring diaphragm lying at base in case of one-sided overload and having even contour | |
EP2659248B1 (en) | Pressure sensor having a compressible element | |
WO2006045771A1 (en) | Pressure gauge with hydraulic pressure transmission | |
WO2005075952A1 (en) | Pressure differential sensor comprising an excess-load membrane | |
EP2464955B1 (en) | Relative pressure sensor | |
DE2911349C2 (en) | Vacuum protection device and method for a differential pressure transducer | |
EP1425563B1 (en) | Pressure measuring apparatus | |
WO2012055605A2 (en) | Pressure transducer | |
DE102004047419B4 (en) | Diaphragm seal and pressure sensor with diaphragm seal | |
EP4078128A1 (en) | Differential pressure sensor for determining the differential pressure between two pressures | |
EP3309528A1 (en) | Tube diaphragm seal | |
CH684808A5 (en) | Pressure sensor and method for its production. | |
WO2002040957A1 (en) | Pressure sensor and method for mounting the same | |
DE10105230A1 (en) | Differential pressure sensor with overload protection | |
WO2012098136A1 (en) | Pressure measurement transducer | |
EP2087334A1 (en) | Pressure sensor with integrated test device and method for testing such a sensor | |
DE102008024852A1 (en) | Force transmission arrangement for vehicle brake system, has operating force detection unit for detecting operating force exerted on brake pedal, where operating force detection unit has force sensor | |
EP3472584B1 (en) | Device for force measurement in an elastic bearing | |
DE102021132433A1 (en) | Pressure measuring cell and method for calibrating a pressure measuring cell | |
DE102014214866A1 (en) | pressure sensor | |
DE102020121585A1 (en) | Differential pressure sensor for determining the differential pressure of two pressures | |
DE2015962A1 (en) | Device for measuring pressure differences in the vacuum range | |
WO2014072198A1 (en) | Filling device and method for filling a pressure transmitter |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OM8 | Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law | ||
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
R018 | Grant decision by examination section/examining division | ||
R020 | Patent grant now final |
Effective date: 20111216 |
|
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |