DE102004019008A1 - Gassensor mit erhöhter Messempfindlichkeit - Google Patents
Gassensor mit erhöhter Messempfindlichkeit Download PDFInfo
- Publication number
- DE102004019008A1 DE102004019008A1 DE102004019008A DE102004019008A DE102004019008A1 DE 102004019008 A1 DE102004019008 A1 DE 102004019008A1 DE 102004019008 A DE102004019008 A DE 102004019008A DE 102004019008 A DE102004019008 A DE 102004019008A DE 102004019008 A1 DE102004019008 A1 DE 102004019008A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- gas
- gas sensor
- detector element
- measuring
- sensor according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 title claims abstract description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 17
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims abstract description 16
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 claims abstract description 7
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims abstract description 7
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims abstract 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 109
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 claims description 10
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 3
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 claims description 3
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 claims description 3
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 2
- 239000002594 sorbent Substances 0.000 claims description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 4
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 claims 2
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 claims 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 239000008187 granular material Substances 0.000 claims 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 2
- 239000002808 molecular sieve Substances 0.000 claims 2
- -1 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 claims 2
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 claims 2
- 239000000741 silica gel Substances 0.000 claims 2
- 229910002027 silica gel Inorganic materials 0.000 claims 2
- URGAHOPLAPQHLN-UHFFFAOYSA-N sodium aluminosilicate Chemical compound [Na+].[Al+3].[O-][Si]([O-])=O.[O-][Si]([O-])=O URGAHOPLAPQHLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 claims 1
- 239000010974 bronze Substances 0.000 claims 1
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 claims 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 238000003958 fumigation Methods 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000197 pyrolysis Methods 0.000 description 2
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- RBFQJDQYXXHULB-UHFFFAOYSA-N arsane Chemical compound [AsH3] RBFQJDQYXXHULB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000003795 desorption Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000003487 electrochemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 239000002360 explosive Substances 0.000 description 1
- 238000004949 mass spectrometry Methods 0.000 description 1
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N phthalocyanine Chemical compound N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(N=C3C4=CC=CC=C4C(=N4)N3)=N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C4=N1 IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004513 sizing Methods 0.000 description 1
- 230000001988 toxicity Effects 0.000 description 1
- 231100000419 toxicity Toxicity 0.000 description 1
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
- G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
- G01N33/0011—Sample conditioning
- G01N33/0016—Sample conditioning by regulating a physical variable, e.g. pressure or temperature
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/14—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of an electrically-heated body in dependence upon change of temperature
- G01N27/16—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of an electrically-heated body in dependence upon change of temperature caused by burning or catalytic oxidation of surrounding material to be tested, e.g. of gas
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/416—Systems
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
- G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
- G01N33/0027—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Pathology (AREA)
- Immunology (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Food Science & Technology (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
Ein Gassensor (1) mit einem messgasspezifischen Detektorelement (2), welches ein von der Messgaskonzentration abhängiges Messsignal abgibt, weist eine erhöhte Messempfindlichkeit für Messungen im Konzentrationsbereich von unter einem bis zu wenigen ppb auf und ist insbesondere dadurch gekennzeichnet, dass das Detektorelement (2) in einem Begasungsadapter (4) über eine vorgeschaltete Blende (3) einem Messgas ausgesetzt ist, wobei der Begasungsadapter (4) mindestens eine erste Öffnung (20) zum Eintritt des Messgases aufweist sowie mindestens eine zweite Öffnung (30), welche mit einem periodisch Gasdruckschwingungen im Begasungsadapter (4) erzeugenden, beispielsweise als Pumpe (5) ausgebildeten, Druckmodulator verbunden ist.
Description
- Die Erfindung betrifft einen Gassensor gemäß Oberbegriff von Anspruch 1.
- Derartige Gassensoren besitzen ein messgasspezifisches Detektorelement, welches ein von der Messgaskonzentration abhängiges elektrisches Messsignal abgibt. Bekannt sind speziell elektrochemische Gassensoren mit einem als Messelektrode ausgebildeten, messgasspezifischen Detektorelement, wie zum Beispiel in
DE 101 44 862 A1 beschrieben, Halbleitersensoren mit einem in der Regel geheizten keramischen Halbleiterelement aus zum Beispiel SnO2 oder einem organischen Polymer-Halbleiterelement aus zum Beispiel Cu-Phthalocyanin sowie katalytische Wärmetönungssensoren mit einem als Pellistor (Detektorperle) ausgebildeten, messgasspezifischen Detektorelement. Katalytische Wärmetönungssensoren werden aufgrund ihres Wirkprinzips speziell für die Messung brennbarer bzw. explosiver Gase, wie zum Beispiel Methan, eingesetzt. - Aufgrund der laufend erhöhten Anforderungen an die maximal am Arbeitsplatzzulässigen Gaskonzentrationen und aufgrund der Toxizität von auch industriell vorkommenden Gasen wie zum Beispiel Arsin bereits im ppb (parts per billion)-Bereich bis weniger als 1 ppb besteht ein erhöhter Bedarf für kompakte, möglichst auch tragbare Gassensoren, um spezifische Gaskonzentrationen von wenigen ppm bis unter 1 ppb zu messen, ohne auf die bisher notwendigen, sehr aufwändigen Messtechniken, wie zum Beispiel Massenspektrometrie, angewiesen zu sein.
- Demgemäß besteht die Aufgabe der Erfindung in der Bereitstellung eines verbesserten, kompakten Gassensors mit einem messgasspezifischen Detektor element mit einer erhöhten Messempfindlichkeit für Messungen im Konzentrationsbereich von unter 1 bis zu wenigen ppb.
- Die Lösung der Aufgabe erhält man für einen gattungsgemäßen Gassensor mit den kennzeichnenden Merkmalen von Anspruch 1.
- Ein wesentlicher Vorteil der Erfindung nach Anspruch 1 ergibt sich durch die wenigen zusätzlichen Bauelemente, die erforderlich sind, um die an sich bekannten gattungsgemäßen Gassensoren bezüglich deren Messempfindlichkeit wesentlich zu verbessern. Es hat sich nämlich überraschend gezeigt, dass durch periodisch erzeugte Gasdruckschwingungen im Gasraum vor dem Detektorelement des Gassensors mit einer Frequenz von einigen Hertz bis zu maximal einigen 1000 Hertz und mit einer Puls- und Periodendauer von einigen Sekunden bis einigen Minuten die Messempfindlichkeit der angegebenen Gassensoren erheblich erhöht werden kann. Der für die Erzeugung der Gasdruckschwingungen (Pulse) verwendete Druckmodulator ist vorzugsweise ein entsprechend angetriebener piezostriktiver Aktuator, eine Pumpe, eine Membran, ein Balg oder eine gepulste Druckgasquelle. Weitere Bauelemente sind im Allgemeinen nicht erforderlich, so dass mit relativ geringen Zusatzkosten die an sich bekannten Gassensoren mit wesentlich verbesserter Messempfindlichkeit bereitgestellt werden können. Die Pulsdauer bestimmt sich durch die Ansprechzeit des verwendeten Detektorelementes im jeweiligen Gassensor. Bei katalytischen Wärmetönungssensoren und Halbleitersensoren beträgt die Ansprechzeit und somit die Pulsdauer einige Sekunden, bei elektrochemischen Gassensoren einige Minuten.
- Die Unteransprüche geben bevorzugte Aus- und Weiterbildungen des Gassensors nach Anspruch 1 an.
- Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend mit Hilfe der Figuren erläutert.
- Es zeigen
-
1 schematisch ein erstes, -
2 ein zweites, -
3 ein drittes, -
4 ein viertes, -
5 ein fünftes und -
6 ein sechstes Ausführungsbeispiel der Erfindung. - In den Ausführungsbeispielen mit gleichen Bezugsziffern für gleiche Bauelemente ist der Gassensor
1 schematisch als elektrochemischer Gassensor1 dargestellt mit einem hier als Messelektrode ausgebildeten Detektorelement2 . - Alternativ ist der Gassensor
1 ein katalytischer Wärmetönungssensor und das Detektorelement2 ein Pellistor. - Das Messsignal von elektrochemischen, amperometrischen Gassensoren
1 ist in der Regel über einen sehr weiten Messgaskonzentrationsbereich von weniger als 1 ppb bis einigen 1000 ppm (parts per million) linear abhängig von der Messgaskonzentration. Die niedrigste messbare Gaskonzentration wird nach unten durch den Grundstrom (Nullstrom) des Gassensors1 bestimmt, der wesentlich abhängig von Temperatur und Feuchtigkeit ist. Besonders eine instationäre Temperatur und Feuchteänderungen führen zu starken Driften des Nullstroms. - Querempfindlichkeiten zu Störkomponenten (Störgase) im Messgas begrenzen ebenfalls die Mess- bzw. Nachweisempfindlichkeit von elektrochemischen Gassensoren
1 . - Der elektrochemische Gassensor
1 ist in den Ausführungsbeispielen mit einer der Messelektrode vorgeschalteten Blende3 ausgestattet. An der Messelektrode wird das Messgas umgesetzt. Mittels der Blende3 wird die einströmende Messgasmenge pro Zeiteinheit gesteuert, welche die Messelektrode erreicht. In der Blendenöffnung stellt sich ein stationäres Messgas-Konzentrationsprofil ein. Bei einer vorgegebenen Messgaskonzentration im Raum bestimmt die Blende3 ganz oder zumindest zum Teil und in Abhängigkeit vom jeweiligen konkreten elektrochemischen System den gemessenen Sensorstrom. - Wesentlich für alle Ausführungsbeispiele ist, dass der Gasraum vor dem Detektorelement
2 und/oder vor der Blende3 periodisch (Pulse) in Druckschwingungen respektive Gasdruckschwankungen von einigen Hertz bis einigen 100 Hertz, im Falle des piezostriktiven Aktuators25 (6 ) sogar bis einigen 1000 Hertz, versetzt wird, um das Konzentrationsprofil in der Blende3 zu modulieren. Es kann dann eine deutliche größere Menge Messgas pro Zeiteinheit die Messelektrode erreichen als bei stationär eingestelltem Konzentrationsprofil. Der Nullstrom des Gassensors1 wird durch die Druckschwingungen nicht beeinflusst. Die Druckschwingungen werden periodisch erzeugt, wobei die Puls- und Periodendauer im Bereich von einigen Sekunden bis zu einigen Minuten liegt. Durch Verrechnung des Sensorstroms, das heißt des Messsignals, bei Anwesenheit von Druckschwingungen mit dem Sensorstrom ohne Druckschwingungen, lässt sich der Nullstrom des Gassensors eliminieren. Dieses Messverfahren funktioniert auch bei driftenden Nullströmen, da die Zeitkonstante der Nullstromdrift um ein Vielfaches größer ist als die Zeitkonstante bzw. die Periodendauer der Messsignalmodulation. - Die Gasdruckschwingungen werden gemäß
1 mit Hilfe einer hubweise fördernden Pumpe5 erzeugt, die an eine zweite Öffnung30 eines Begasungsadapters4 angeschlossen ist und im Beispiel nur im Kreis pumpt, jedoch Druckschwingungen vor der Blende3 im Begasungsadapter4 erzeugt. Die Pumpe5 wird periodisch an- und ausgeschaltet. Bei eingeschalteter Pumpe5 steigt das Messsignal des Gassensors1 jeweils messgasabhängig um einige10 bis einige 100 %, bezogen auf das Messsignal bei ausgeschalteter Pumpe5 an. Über die erste Öffnung20 ist der Begasungsadapter4 zur Umgebung geöffnet. - Gemäß
2 werden die Gasdruckschwingungen mit Hilfe einer elektromagnetisch angetriebenen Membran5 z.B. eines Lautsprechers mit einer zugehörigen Druckkammer6 erzeugt, welche ebenfalls über die zweite Öffnung30 mit dem Begasungsadapter4 verbunden ist. - In den
3 und4 werden die Druckschwingungen mit Hilfe eines Balges8 generiert, der über eine Spule9 und einen Magneten10 be- und entlastet wird. - Durch die Bemessung der Öffnungen
20 ,30 und der entsprechenden Strömungswiderstände des Begasungsadapters4 wird der durch Pfeile dargestellte Messgasstrom beeinflusst bzw. bestimmt. - In
4 sind die Öffnungen20 ,30 des Begasungsadapters4 mit Fenstern11 zum Beispiel aus porösem PTFE für den gesteuerten Zustrom des Messgases ausgefüllt. - Die Erhöhung der Messempfindlichkeit geht vorzugsweise einher mit einer Erhöhung der Nachweisselektivität für das Messgas. Dies wird insbesondere durch ein sorbierendes Material
7 erreicht, welches in den Figuren zwischen Blende3 und Detektorelement2 angeordnet ist und durch Ad- und Desorptionsprozesse die Konzentration von Störkomponenten aus dem Messgas auch im Verlauf der Druckschwingungen glättet, so dass an der Messelektrode, das heißt am Dektektorelement2 ein zeitlich konstanter Störstrom, beispielsweise ein Oxidationsstrom, bei entsprechenden elektrochemischen Reaktionen an der Messelektrode, das heißt am Detektorelement2 , erzeugt wird. Bei Auswertung der Messsignalamplitude kann das zeitlich konstante Störsignal zusammen mit dem Nullstrom des Gassensors1 durch Differenzbildung rechnerisch abgetrennt werden, weil die Messsignalmodulation im Wesentlichen nur durch das Messgas verursacht ist. -
5 zeigt schematisch ein fünftes Ausführungsbeispiel eines Gassensors1 mit einem vorgeschalteten druckschwingungsgesteuerten Modulator für das Messgas, hier CO. Zwei getrennte Kammern21 ,22 werden nur durch eine als Diffusionskapillare ausgebildete Blende3 verbunden, wobei über die erste Kammer21 das Messgas, beispielsweise CO, zum Detektorelement2 strömt und durch die zweite Kammer22 ein messgasfreies Gas, zum Beispiel Druckluft (AIR). Die zweite Kammer22 wird mittels eines Druckmodulators in mechanische Schwingungen von zum Beispiel einigen Hertz bis einigen 100 Hertz versetzt, wie durch die Doppelpfeile angedeutet. Dadurch wird das Messgas über die Blende3 periodisch verdünnt dem Detektorelement2 zugeführt. Dort entsteht ein moduliertes Messsignal, dessen driftabhängiger Nullstrom durch Differenzbildung entfernt werden kann, um eine erhöhte Messempfindlichkeit zu erhalten. Diese Anordnung lässt sich auch durch weitere an sich bekannte Auf-Zu-Ventile realisieren. In der vorliegenden Anordnung kann das Ventil beispielsweise einem Pyrolyseofen nachgeschaltet sein, um die Konzentration der Pyrolyseprodukte zu modulieren und somit den Messgasnachweis im ppb-Bereich zu ermöglichen. -
6 zeigt schematisch ein weiteres Ausführungsbeispiel mit den wesentlichen Bauelementen eines elektrochemischen Gassensors in einem Gehäuse. Der Druckmodulator ist als ein piezostriktiver Aktuator25 ausgebildet, welcher der Blende3 mit einer zentralen Öffnung vorgeschaltet und mit dieser mechanisch verbunden oder vorzugsweise auf der Blende3 montiert ist. Somit ist das innere Volumen23 zwischen der Blende3 und dem Detektorelement2 bezüglich des Gasdrucks durch den piezostriktiven Aktuator25 mit einer Schwingungsfrequenz von einigen Hertz bis zu einigen 1000 Hertz periodisch beaufschlagt. Die Puls- und Periodendauer liegt im Bereich von Sekunden bis Minuten. Durch diese Anordnung kann in vorteilhafter Weise statt des äußeren Volumens vor der Blende3 das in der Regel um Größenordnungen kleinere innere Volumen23 zwischen Detektorelement2 und Blende3 bezüglich des Gasdruckes moduliert werden. - Auf diese Weise ergeben sich folgende Vorteile:
- – Es sind wesentlich kleinere elektrische und/oder mechanische Leistungen für die Modulation erforderlich, verglichen mit dem Einsatz von Pumpen,
- – piezostriktive Aktuatoren fallen in wesentlich geringerem Maße bedingt durch Verschleiß aus als Pumpen oder andere bewegte Komponenten,
- – die Modulationsfrequenz kann bei der Modulation des fest vorgegebenen inneren Volumens schon bei der Fertigung des Gassensors einmalig und endgültig im Rahmen der durch Fertigungsstreuungen bestimmten Toleranz eingestellt werden,
- – die bauliche Integration einer piezomechanisch angeregten Blende im Gassensor kann so ausgelegt werden, dass die Anschlussleitungen zu der von der Blende abgewandten Seite geführt werden, so dass die in vielen praktischen Anwendungen erforderliche Steckbarkeit des Gassensors erhalten ist.
- Gemäß
6 ist der piezostriktive Akutator25 also mechanisch angekoppelt an die Blende3 . In der Zeichnung ist eine optionale Rückkopplung über ein Piezoelement26 dargestellt, das wie ein Mikrofon wirkt. Diese Technik ist von Piezo-Summern bekannt. Die Rückkopplung zur Treiberschaltung27 des piezostriktiven Aktuators25 erlaubt es, die Frequenz der Schwingungsanregung auf die Resonanzfrequenz einzustellen. Der hier beispielhaft dargestellte elektrochemische Gassensor enthält außer dem als Messelektrode ausgebildeten Detektorelement2 auch eine Hilfselektrode28 und eine Gegenelektrode29 , die von einer Mess- und Auswerteeinheit31 mit Potentiostaten angesteuert und ausgemessen werden. Die Treiberschaltung27 kann alternativ auch mit der Mess- und Auswerteeinheit31 mit Potentiostaten kombiniert oder in diese integriert sein.
Claims (14)
- Gassensor mit einem messgasspezifischen Detektorelement, welches ein von der Messgaskonzentration abhängiges elektrisches Messsignal abgibt, dadurch gekennzeichnet, dass das Detektorelement (
2 ) einem Messgas ausgesetzt ist, welches mittels eines Druckmodulators erzeugte Gasdruckschwingungen aufweist. - Gassensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Detektorelement (
2 ) in einem Begasungsadapter (4 ) dem Messgas ausgesetzt ist, wobei der Begasungsadapter (4 ) mindestens eine erste Öffnung (20 ) zum Eintritt des Messgases aufweist sowie mindestens eine zweite Öffnung (30 ), welche mit dem Gasdruckschwingungen im Begasungsadapter (4 ) erzeugenden Druckmodulator verbunden ist. - Gassensor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Gassensor (
1 ) entweder ein elektrochemischer Gassensor (1 ) und das Detektorelement (2 ) eine Messelektrode ist oder dass der Gassensor (1 ) ein katalytischer Wärmetönungssensor und das Detektorelement (2 ) ein Pellistor ist oder dass der Gassensor (1 ) ein Halbleitersensor und das Detektorelement (2 ) ein Halbleiterelement ist. - Gassensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Druckmodulator eine Pumpe (
5 ), eine Membran (5 ), ein Balg (8 ) oder eine gepulste Druckgasquelle ist. - Gassensor nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Druckmodulator periodisch mit einer Frequenz von einigen Hertz bis einigen 1000 Hertz betrieben ist, wobei die Puls- und Periodendauer im Bereich von einigen Sekunden bis einigen Minuten liegt.
- Gassensor nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Begasungsadapter (
4 ) mit einem Störkomponenten im Messgas sorbierenden Material (7 ) ausgestattet ist. - Gassensor nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das sorbierende Material (
7 ) Aktivkohle, Kieselgel, Polyvinylalkohol-Granulat oder ein Molekularsieb ist. - Gassensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass dem Detektorelement (
2 ) eine Blende (3 ) vorgeschaltet ist. - Gassensor nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Druckmodulator als ein piezostriktiver Aktuator (
25 ) ausgebildet ist, welcher der Blende (3 ) vorgeschaltet ist und mit dieser zusammenwirkt, wobei Blende (3 ) und Detektorelement (2 ) beabstandet angeordnet sind, so dass das innere Volumen (23 ) zwischen Blende (3 ) und Detektorelement (2 ) bezüglich des Gasdrucks durch den piezostriktiven Aktuator (25 ) modulierbar ist. - Gassensor nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der Blende (
3 ) und dem Detektorelement (2 ) ein Störkomponenten im Messgas sorbierendes Material (7 ) angeordnet ist, insbesondere Aktivkohle, Kieselgel, Polyvinylalkohol-Granulat oder ein Molekularsieb. - Gassensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Gassensor (
1 ) mindestens zwei Detektorelemente (2 ) für mindestens zwei verschiedene Messgase aufweist, wobei jedes der mindestens zwei Detektorelemente (2 ) ein für ein jeweils bestimmtes Messgas spezifisches Messsignal abgibt. - Gassensor nach einem der Ansprüche 2 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine der Öffnungen (
20 ,30 ) mit einem porösen Material, insbesondere mit PTFE (Polytetrafluorethylen), PE (Polyethylen), einem gesinterten Metall, vorzugsweise Bronze oder Messing, für den Zustrom des Messgases ausgestattet ist. - Gassensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Blende (
3 ) in der Form einer Diffusionskapillare ausgebildet ist, welche zwei Kammern (21 ,22 ) verbindet, wobei über die erste Kammer (21 ) das Messgas zum Detektorelement (2 ) strömt und durch die zweite Kammer (22 ) ein messgasfreies Gas strömt, wobei die zweite Kammer (22 ) periodisch mittels eines Druckmodulators in Schwingungen versetzbar ist, so dass das Messgas periodisch verdünnt dem Detektorelement (2 ) zuführbar ist mit einem modulierten Messsignal und einer erhöhten Messempfindlichkeit. - Gassensor nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass als Ersatz für die Kammern (
21 ,22 ) mit der Diffusionskapillare dem Detektorelement (2 ) ein Auf-Zu-Ventil vorgeschaltet ist für die periodische Zuführung eines Druckschwingungen ausgesetzten messgasfreien Gases zum Messgas.
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE202004021513U DE202004021513U1 (de) | 2004-04-20 | 2004-04-20 | Gassensor mit erhöhter Messempfindlichkeit |
DE102004019008A DE102004019008A1 (de) | 2004-04-20 | 2004-04-20 | Gassensor mit erhöhter Messempfindlichkeit |
US11/058,654 US7257986B2 (en) | 2004-04-20 | 2005-02-15 | Gas sensor with increased measuring sensitivity |
CA002497433A CA2497433C (en) | 2004-04-20 | 2005-02-17 | Gas sensor with increased measuring sesitivity |
GB0505895A GB2413637B (en) | 2004-04-20 | 2005-03-22 | Gas sensor |
FR0503956A FR2869109B1 (fr) | 2004-04-20 | 2005-04-20 | Detecteur de gaz a sensibilite de mesure accrue |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102004019008A DE102004019008A1 (de) | 2004-04-20 | 2004-04-20 | Gassensor mit erhöhter Messempfindlichkeit |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102004019008A1 true DE102004019008A1 (de) | 2005-11-24 |
Family
ID=34530482
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE202004021513U Expired - Lifetime DE202004021513U1 (de) | 2004-04-20 | 2004-04-20 | Gassensor mit erhöhter Messempfindlichkeit |
DE102004019008A Ceased DE102004019008A1 (de) | 2004-04-20 | 2004-04-20 | Gassensor mit erhöhter Messempfindlichkeit |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE202004021513U Expired - Lifetime DE202004021513U1 (de) | 2004-04-20 | 2004-04-20 | Gassensor mit erhöhter Messempfindlichkeit |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7257986B2 (de) |
CA (1) | CA2497433C (de) |
DE (2) | DE202004021513U1 (de) |
FR (1) | FR2869109B1 (de) |
GB (1) | GB2413637B (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102012002456A1 (de) * | 2012-02-08 | 2013-08-08 | Dräger Safety AG & Co. KGaA | Gassensor |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20060263257A1 (en) * | 2004-12-13 | 2006-11-23 | Beauchamp Jesse L | Optical gas sensor based on dyed high surface area substrates |
US7654129B2 (en) * | 2005-05-17 | 2010-02-02 | Honeywell International Inc. | Sensor with an analyte modulator |
KR100727480B1 (ko) * | 2006-02-08 | 2007-06-13 | 한국과학기술연구원 | 컨벡션 오븐 |
US9057712B1 (en) * | 2011-10-27 | 2015-06-16 | Copilot Ventures Fund Iii Llc | Methods of delivery of encapsulated perfluorocarbon taggants |
TWI445958B (zh) | 2012-02-09 | 2014-07-21 | Ind Tech Res Inst | 氣體檢測系統、裝置及方法 |
US20140134053A1 (en) * | 2012-11-14 | 2014-05-15 | Sensirion Ag | Portable electronic device with chemical sensor |
ES2486891B1 (es) * | 2013-01-17 | 2015-10-27 | Sgenia Soluciones Sl | Método de análisis de un gas y nariz artificial |
DE102013008425B3 (de) * | 2013-05-16 | 2014-05-22 | Dräger Safety AG & Co. KGaA | Verfahren zur Erkennung von Sensorvergiftungen und Teststation zur Durchführung des Verfahrens |
CN104280427A (zh) * | 2014-08-18 | 2015-01-14 | 华南农业大学 | 压力富集式低量气体挥发物电子鼻探测*** |
DE102015015151B4 (de) | 2015-11-25 | 2022-02-17 | Dräger Safety AG & Co. KGaA | Gasmesssystem mit einer Gasmessvorichtung und einer Pumpeneinrichtung und Verfahren zum Betrieb einer Gasmessvorrichtung mittels einer Pumpeinrichtung |
DE102016003452B4 (de) * | 2016-03-23 | 2023-05-11 | Dräger Safety AG & Co. KGaA | Elektrochemischer Gassensor |
CN105759022A (zh) * | 2016-04-25 | 2016-07-13 | 盛密科技(上海)有限公司 | 一种用于经皮气体分析用的气体传感器及检测设备 |
JP6992042B2 (ja) | 2016-07-04 | 2022-01-13 | フラウンホッファー-ゲゼルシャフト ツァ フェルダールング デァ アンゲヴァンテン フォアシュンク エー.ファオ | マイクロ流体アクチュエータを有する装置 |
TWI664410B (zh) * | 2018-06-08 | 2019-07-01 | 研能科技股份有限公司 | 可攜式氣體偵測裝置 |
RU187224U1 (ru) * | 2018-12-07 | 2019-02-25 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Тверской государственный технический университет" | Сорбционный кондуктометрический детектор газов |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4163899A (en) * | 1977-11-30 | 1979-08-07 | Andros, Inc. | Method and apparatus for gas analysis |
DE4030651A1 (de) * | 1990-09-28 | 1992-04-09 | Basf Ag | Oberflaechenwellen-gassensor |
GB2262337A (en) * | 1991-12-09 | 1993-06-16 | Sensor Dynamics Ltd | Apparatus for sensing a gas by pressure modulation spectroscopy |
DE4316196A1 (de) * | 1993-05-14 | 1993-10-14 | Guenter Dr Vos | Verfahren und Vorrichtung zur Gasanalyse |
DE69019569T2 (de) * | 1989-03-16 | 1995-09-28 | Perkin Elmer Corp | Apparat und Verfahren zur Analyse von Gasen, deren Druck moduliert wird, mit Hilfe von Infrarotstrahlung. |
DE69031901T2 (de) * | 1989-11-17 | 1998-08-06 | Orbisphere Lab | Verfahren und Vorrichtung zum Überwachen der Konzentration eines Gases in einem Fluid |
DE10245947A1 (de) * | 2002-09-30 | 2004-04-08 | Eads Deutschland Gmbh | Mikrogasanalysesystem mit beheizbarem Filter und Verfahren zur Gasanalyse |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10144862B4 (de) | 2001-09-12 | 2006-06-29 | Drägerwerk AG | Elektrochemischer Gassensor mit Diamantelektrode |
DE10159616B4 (de) * | 2001-12-05 | 2005-04-07 | Dräger Safety AG & Co. KGaA | Anordnung mit eletrochemischem Sensor zum Nachweis von Arsin und/oder Phosphin |
-
2004
- 2004-04-20 DE DE202004021513U patent/DE202004021513U1/de not_active Expired - Lifetime
- 2004-04-20 DE DE102004019008A patent/DE102004019008A1/de not_active Ceased
-
2005
- 2005-02-15 US US11/058,654 patent/US7257986B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2005-02-17 CA CA002497433A patent/CA2497433C/en not_active Expired - Fee Related
- 2005-03-22 GB GB0505895A patent/GB2413637B/en not_active Expired - Fee Related
- 2005-04-20 FR FR0503956A patent/FR2869109B1/fr not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4163899A (en) * | 1977-11-30 | 1979-08-07 | Andros, Inc. | Method and apparatus for gas analysis |
DE69019569T2 (de) * | 1989-03-16 | 1995-09-28 | Perkin Elmer Corp | Apparat und Verfahren zur Analyse von Gasen, deren Druck moduliert wird, mit Hilfe von Infrarotstrahlung. |
DE69031901T2 (de) * | 1989-11-17 | 1998-08-06 | Orbisphere Lab | Verfahren und Vorrichtung zum Überwachen der Konzentration eines Gases in einem Fluid |
DE4030651A1 (de) * | 1990-09-28 | 1992-04-09 | Basf Ag | Oberflaechenwellen-gassensor |
GB2262337A (en) * | 1991-12-09 | 1993-06-16 | Sensor Dynamics Ltd | Apparatus for sensing a gas by pressure modulation spectroscopy |
DE4316196A1 (de) * | 1993-05-14 | 1993-10-14 | Guenter Dr Vos | Verfahren und Vorrichtung zur Gasanalyse |
DE10245947A1 (de) * | 2002-09-30 | 2004-04-08 | Eads Deutschland Gmbh | Mikrogasanalysesystem mit beheizbarem Filter und Verfahren zur Gasanalyse |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102012002456A1 (de) * | 2012-02-08 | 2013-08-08 | Dräger Safety AG & Co. KGaA | Gassensor |
US9201032B2 (en) | 2012-02-08 | 2015-12-01 | Dräger Safety AG & Co. KGaA | Gas sensor |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2869109B1 (fr) | 2013-07-05 |
DE202004021513U1 (de) | 2008-08-07 |
CA2497433C (en) | 2009-06-23 |
GB2413637A (en) | 2005-11-02 |
GB0505895D0 (en) | 2005-04-27 |
US7257986B2 (en) | 2007-08-21 |
CA2497433A1 (en) | 2005-10-20 |
FR2869109A1 (fr) | 2005-10-21 |
GB2413637B (en) | 2008-01-30 |
US20050229675A1 (en) | 2005-10-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE102004019008A1 (de) | Gassensor mit erhöhter Messempfindlichkeit | |
EP0823049B1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum fortlaufenden nachweis wenigstens einer substanz in einem gasförmigen oder flüssigen gemisch mittels einer sensorelektrode | |
CH668648A5 (de) | Verfahren und vorrichtung zum nachweis von reduzierenden gasen in einem gasgemisch. | |
EP3092486A1 (de) | Gasmessgerät | |
EP1738161A1 (de) | Verfahren zur messung von gasen und/ oder minimierung von querempfindlichkeiten bei fet-basierten gassensoren | |
DE102016003452B4 (de) | Elektrochemischer Gassensor | |
EP1707954B1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Funktionskontrolle eines Sensors | |
DE102009052957A1 (de) | Gassensor mit Prüfgasgenerator | |
EP0641435B1 (de) | Verfahren zur bestimmung von gaskomponenten und/oder gaskonzentrationen von gasgemischen | |
DE10048240B4 (de) | Gassensorelement und Verfahren zur Bestimmung der Konzentration einer Gaskomponente in einem Gasgemisch | |
CH667739A5 (de) | Verfahren und vorrichtung zum nachweis von reduzierenden gasen in einem gasgemisch. | |
EP1146336A2 (de) | Gassensoranordnung | |
DE102016013756A1 (de) | Gassensor | |
DE102007035318A1 (de) | Verfahren und Schaltungsanordnung zum Betreiben einer Breitbandlambdasonde | |
DE102007020596A1 (de) | Detektoranordnung für einen nichtdispersiven Infrarot-Gasanalysator | |
EP1191332B1 (de) | Suspended Gate Field Effect Transistor (SGFET) mit Polymerbeschichtung als Feuchtesensor | |
DE10330704B3 (de) | Elektrochemischer Gassensor mit Filter | |
DE102004049874A1 (de) | Gasmessfühler | |
WO2010020405A1 (de) | Sensor mit interner kalibrierstruktur | |
DE19628033C1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Driftkompensation bei chemischen Sensoren | |
WO2008012127A1 (de) | Gassensor zur bestimmung von wasserstoffhaltigen gaskomponenten in verbrennungsgasgemischen | |
DE3046081A1 (de) | Akustischer gasanalysator | |
DE2533212C3 (de) | Geber zur Messung des Druckes von Flüssigkeiten oder Gasen | |
DE3921185C2 (de) | Verfahren zur Messung des Sauerstoffpartialdruckes, mittels einer Sonde | |
EP2975615A1 (de) | Transport- und/oder Lagerbehälter und Verfahren zur Überprüfung der Dichtheit eines Transport- und/oder Lagerbehälters |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8131 | Rejection |