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Die Erfindung betrifft einen piezoelektrischen
Aktuator, der als Antriebsquelle eines Injektors usw. verwendet
wird.
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In der Vergangenheit wurde vorgeschlagen,
ein piezoelektrisches Element als Antriebsquelle für einen Injektor
(Brennkraftmaschinen-Einspritzeinrichtung) einer Brennkraftmaschine
eines Automobils usw. zu verwenden. Insbesondere muß ein Injektor
wiederholt Kraftstoff mit einer extrem hohen Geschwindigkeit zumindest
108 Mal einspritzen, so daß ein extrem
harter Verwendungszustand das piezoelektrische Element als dessen
Antriebsquelle beaufschlagt. Daher muß ein piezoelektrisches Element
für einen
Injektor nicht nur überlegene
piezoelektrische Eigenschaften, sondern auch eine überlegene
Dauerhaftigkeit bzw. Haltbarkeit haben.
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Als solch ein piezoelektrisches Element
wird ein gestapeltes Piezoelektrikum, das aus einer Vielzahl von
piezoelektrischen Keramikschichten, die sich in Übereinstimmung mit der angelegten
Spannung verschieben, und inneren Elektrodenschichten zum Anlegen
der Spannung, die abwechselnd gestapelt sind, besteht, als am Vielversprechendsten
erachtet. Dies ist deshalb so, weil dieses gestapelte Piezoelektrikum
eine große Antriebsquelle
ergeben kann, da sich die zwischen den inneren Elektrodenschichten
liegenden piezoelektrischen Keramikschichten verschieben, wenn sie
mit Spannung versorgt werden.
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Im allgemeinen kann das vorstehende
gestapelte Piezoelektrikum durch Drucken von Elektrodenstrukturen
bzw. -mustern auf ungebrannte Keramikplatten mittels einem leitenden
Pastenmaterial, Überlagern von
mehreren zehn oder hundert derselben, und Pressbonden derselben,
um einen Stapel herzustellen, Erwärmen des Stapels, um den Binder
zu entfernen (Entfetten), und sodann Brennen desselben erhalten
werden.
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Ferner wurden bei dem vorstehenden
gestapelten Piezoelektrikum, um eine größere Verschiebung des gestapelten
Piezoelektrikums zu erhalten, Versuche durchgeführt, um die Anzahl gestapelter
Schichten zu erhöhen.
Als jedoch die Anzahl gestapelter Schichten erhöht wurde, bestand das Problem,
daß nicht
nur eine stabile Produktion schwierig wurde, sondern auch dann,
wenn die gestapelte Anzahl nahezu einhundert erreichte, die innere
Belastung, die erzeugt wird, wenn das piezoelektrische Element betrieben
wird, zunahm, sodaß leicht
Risse auftraten und die Lebensdauer kürzer wurde.
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Um dieses Problem im Stand der Technik
zu lösen,
wurde das Verfahren vorgeschlagen, bei dem zunächst Stapel-Untereinheiten
hergestellt werden, die aus einer Vielzahl von zusammengestapelten
ungebrannten Keramikplatten bestehen, die Stapel-Untereinheiten
dann entfettet werden, um entfettete Einheiten der Untereinheiten
herzustellen, und dann eine Vielzahl dieser entfetteten Einheiten
gestapelt und gebrannt werden, um ein gestapeltes Piezoelektrikum
der gewünschten
Anzahl gestapelter Schichten zu erhalten (vgl. die japanische ungeprüfte Patentveröffentlichung
(Kokai) Nr. 64-33980).
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Bei dem vorstehenden gestapelten
Piezoelektrikum bestand jedoch das Problem, daß sich die äußersten Schichten der Stapel-Untereinheiten während des
Druckens der Elektroden verformten und die Bondoberflächen der
Stapel-Untereinheiten beschädigt
wurden. Ferner trat eine große
Belastung in den Stapel-Untereinheiten auf und bestand die Gefahr,
daß im
Inneren derselben Risse bzw. Brüche
auftreten.
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Daher war ein solches gestapeltes
Piezoelektrikum schwer als eine Antriebsquelle für einen wie vorstehend erklärt überlegene
Dauerhaftigkeit erfordernden Injektor zu nutzen.
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Die Erfindung erfolgte in Anbetracht
dieser Probleme im Stand der Technik und soll einen hinsichtlich der
Dauerhaftigkeit überlegenen
piezoelektrischen Aktuator schaffen.
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Ein erster Aspekt der Erfindung schafft
einen piezoelektrischen Aktuator mit einem piezoelektrischen Einheitselement,
das aus zumindest zwei piezoelektrischen Elementeinheiten besteht,
von denen jede aus piezoelektrischen Keramikschichten und inneren
Elektrodenschichten besteht, die abwechselnd gestapelt und an Bondoberflächen an
den äußersten
Seiten in der Stapelrichtung gebondet sind, um gebondete Teile zu
bilden, dadurch gekennzeichnet, daß
jede piezoelektrische
Elementeinheit aus einem Stapel von nicht mehr als 50 der piezoelektrischen
Keramikschichten besteht, und
gebondete Keramikschichten, die
zwischen zwei aneinandergrenzenden inneren Elektrodenschichten liegen, die
jeden gebondeten Teil zwischen sich einschließen, inaktiv sind.
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Der piezoelektrische Aktuator des
ersten Aspekts der Erfindung weist, wie vorstehend erklärt, ein
piezoelektrischen Einheitselement auf, das aus zumindest zwei piezoelektrischen
Elementeinheiten besteht, von denen jede aus piezoelektrischen Keramikschichten
und inneren Elektrodenschichten besteht, die abwechselnd gestapelt
und zusammengebondet sind.
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Daher wird sich dann, wenn Spannung
an den piezoelektrischen Aktuator angelegt wird, das piezoelektrische
Einheitselement verformen, und kann Antriebsleistung entnommen werden.
Daher kann der vorstehende piezoelektrische Aktuator als eine Antriebsquelle
für zum
Beispiel einen Injektor genutzt werden.
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Ferner besteht bei dem vorstehenden
piezoelektrischen Aktuator jede der piezoelektrischen Elementeinheiten
aus nicht mehr aus 50 zusammengestapelten Keramikschichten.
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Indem die Anzahl gestapelter Schichten
jeder der piezoelektrischen Elementeinheiten nicht größer als 50
gemacht wird, wird die zur Zeit des Anlegens von Spannung erzeugte
Belastung unterdrückt.
Daher ist es möglich,
das Auftreten von Rissen im Inneren der piezoelektrischen Elementeinheiten
zur Zeit des Anlegens von Spannung zu verhindern.
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Ferner kann zur Zeit der Herstellung
jeder Stapel von aus nicht mehr als 50 Schichten separat entfettet werden.
Daher wird die Entfettungszeit verkürzt und wird es nahezu keinen
schließlich
auf den piezoelektrischen Keramikschichten verbleibenden Binder
geben. Daher können
die piezoelektrischen Keramikschichten ausreichend ihre ihnen inhärent innewohnenden überlegenen
piezoelektrischen Eigenschaften zeigen.
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Ferner sind bei dem vorstehenden
piezoelektrischen Aktuator die gebondeten Keramikschichten, die zwischen
zwei aneinandergrenzenden inneren Elektrodenschichten liegen, die
jeden gebondeten Teil zwischen sich einschließen, inaktiv.
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Daher werden sich dann, wenn Spannung
angelegt wird, auch dann, wenn sich die piezoelektrischen Elementeinheiten
in dem piezoelektrischen Einheitselement stark verformen, die gebondeten
Keramikschichten, die selbst an den gebondeten Teilen ausgebildet
sind, nicht positiv verformen, und werden ihre Ausmaße der Verformung
klein sein.
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Aufgrund dessen ist es möglich, zu
verhindern, daß an
den Bondoberflächen,
an denen die piezoelektrischen Elementeinheiten gebondet werden,
wenn der piezoelektrische Aktuator hergestellt wird, eine lokale Beschädigung auftritt.
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Auf diese Art und Weise ist es in Übereinstimmung
mit dem ersten Aspekt der Erfindung möglich, einen hinsichtlich der
Dauerhaftigkeit überlegenen
piezoelektrischen Aktuator bereitzustellen.
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Ein zweiter Aspekt der Erfindung
schafft einen piezoelektrischen Aktuator mit einem piezoelektrischen Einheitselement,
das aus zumindest zwei piezoelektrischen Elementeinheiten besteht,
von denen jede aus piezoelektrischen Keramikschichten und inneren
Elektrodenschichten besteht, die abwechselnd gestapelt und an Bondoberflächen an
den äußersten
Seiten in der Stapelrichtung gebondet sind, um gebondete Teile zu
bilden, dadurch gekennzeichnet, daß
jede piezoelektrische
Elementeinheit aus einem Stapel von nicht mehr als 50 piezoelektrischen
Keramikschichten besteht, und
an jeder piezoelektrischen Elementeinheit
ein Parallelitätswert
von einer Bondoberfläche
zu einer anderen Bondoberfläche
aus den Bondoberflächen
an den beiden Enden der piezoelektrischen Elementeinheit nicht höher als
0,1 mm ist.
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Bei dem piezoelektrischen Aktuator
des zweiten Aspekts der Erfindung ist der Parallelitätswert einer Bondoberfläche zu ei ner
anderen Bondoberfläche
aus den Bondoberflächen
an den beiden Enden jeder piezoelektrischen Elementeinheit nicht
höher als
0,1 mm.
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Daher ist es möglich, das Auftreten einer
lokalen Belastung an den Bondoberflächen der piezoelektrischen
Elementeinheiten zu verhindern. Aufgrund dessen ist es möglich, eine
Beschädigung
an den gebondeten Teilen zu verhindern und die Dauerhaftigkeit des
piezoelektrischen Aktuators zu verbessern.
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Ferner besteht in dem piezoelektrischen
Aktuator jede piezoelektrische Elementeinheit aus nicht mehr aus
50 zusammengestapelten piezoelektrischen Keramikschichten.
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Indem die Anzahl gestapelter Schichten
jeder der piezoelektrischen Elementeinheiten nicht größer als 50
gemacht wird, wird auf dieselbe Art und Weise wie in dem ersten
Aspekt der Erfindung die zur Zeit des Anlegens von Spannung erzeugte
Belastung unterdrückt.
Daher ist es möglich,
das Auftreten von Rissen im Inneren der piezoelektrischen Elementeinheiten
zur Zeit des Anlegens von Spannung zu verhindern. Ferner kann auf
dieselbe Art und Weise wie in dem ersten Aspekt der Erfindung zur
Zeit der Herstellung jeder Stapel aus nicht mehr als 50 Schichten
separat entfettet werden. Daher wird die Entfettungszeit verkürzt, und
wird es nahezu keinen schließlich
an den piezoelektrischen Keramikschichten verbleibenden Binder geben.
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Ein dritter Aspekt der Erfindung
schafft einen piezoelektrischen Aktuator mit einem piezoelektrischen Einheitselement,
das aus zumindest zwei piezoelektrischen Elementeinheiten besteht,
von denen jede aus piezoelektrischen Keramikschichten und inneren
Elektrodenschichten besteht, die abwechselnd gestapelt sind, gebondet
an Bondoberflächen
an den äußersten
Seiten in der Stapelrichtung, um gebondete Teile zu bilden, dadurch
gekennzeichnet, daß
jede
piezoelektrische Elementeinheit aus einem Stapel von nicht mehr
als 50 piezoelektrischen Keramikschichten besteht,
äußerste Enden
in der Stapelrichtung des piezoelektrischen Einheitselements Verbindungselemente
mit einem Elastizitätsmo dul
größer als
der der piezoelektrischen Elementeinheiten aufweisen, und
das
piezoelektrische Einheitselement und die Verbindungselemente zwischen
sich mit Puffereinheiten versehen sind, die aus piezoelektrischen
Keramikschichten und inneren Elektrodenschichten bestehen, die abwechselnd
gestapelt sind, um die innere Belastung des piezoelektrischen Einheitselements
abzupuffern.
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Der piezoelektrische Aktuator des
dritten Aspekts der Erfindung weist Verbindungselemente mit einem Elastizitätsmodul
bzw. Young'schen
Modul größer als
der der piezoelektrischen Elementeinheiten auf.
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Daher ist es möglich, den Verlust zu reduzieren,
wenn eine Verschiebung des piezoelektrischen Aktuators auf externe
Metallelemente usw. übertragen
wird.
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Ferner sind das piezoelektrische
Einheitselement und die Verbindungselemente zwischen sich mit Puffereinheiten
versehen, die aus piezoelektrischen Keramikschichten und inneren
Elektrodenschichten, bestehen, die abwechselnd gestapelt sind, um
die innere Belastung des piezoelektrischen Einheitselements abzupuffern.
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Daher ist es möglich, das Auftreten von Rissen
im Inneren des piezoelektrischen Aktuators zu verhindern.
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Das heißt, wenn Spannung an den piezoelektrischen
Aktuator angelegt wird, expandiert das piezoelektrische Einheitselement
in der Stapelrichtung bzw. dehnt sich aus und kontrahiert in der
Richtung senkrecht zu der Stapelrichtung bzw. zieht sich zusammen.
Andererseits werden sich die Verbindungselemente nicht verformen.
Daher würden
dann, wenn das piezoelektrische Einheitselement und die Verbindungselemente
direkt verbunden würden,
die Expansion und die Kontraktion des piezoelektrischen Einheitselements
gehemmt, so daß im
Ergebnis die innere Belastung zunehmen würde und die Gefahr bestünde, daß Risse
auftreten.
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Durch Zwischenlegen von Puffereinheiten
zwischen die piezoelektrischen Elementeinheiten und die Verbindungselemente
auf diese Art und Weise ist es möglich,
die Zunahme der inneren Belastung zu unterdrücken und das Auftreten von
Rissen zu unterdrücken.
Daher wird der piezoelektrische Aktuator hinsichtlich der Dauerhaftigkeit überlegen.
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Es wird angemerkt, daß das Ausmaß der Verschiebung
unter Verwendung eines Laser-Verschiebungsmessers, eines nach dem
elektrostatischen Kapazitätsprinzip
arbeitenden Verschiebungsmesser usw. gemessen werden kann.
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Ein vierter Aspekt der Erfindung
schafft einen piezoelektrischen Aktuator mit einem piezoelektrischen Einheitselement,
das aus zumindest zwei piezoelektrischen Elementeinheiten besteht,
von denen jede aus piezoelektrischen Keramikschichten und inneren
Elektrodenschichten besteht, die abwechselnd gestapelt und an Bondoberflächen an
den äußersten
Seiten in der Stapelrichtung gebondet sind, um gebondete Teile zu
bilden, dadurch gekennzeichnet, daß
jede piezoelektrische
Elementeinheit aus einem Stapel von nicht mehr als 50 piezoelektrischen
Keramikschichten besteht,
äußerste Enden
in der Stapelrichtung des piezoelektrischen Einheitselements Verbindungselemente
mit einem Elastizitätsmodul
größer als
der der piezoelektrischen Elementeinheiten aufweisen, und
das
piezoelektrische Einheitselement und die Verbindungselemente zwischen
sich mit Blindeinheiten versehen sind, die einen Elastizitätsmodul
kleiner als der der Verbindungselemente haben.
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Der piezoelektrische Aktuator des
vierten Aspekts der Erfindung weist auf dieselbe Art und Weise wie der
dritte Aspekt der Erfindung Verbindungselemente mit einem Elastizitätsmodul
größer als
der der piezoelektrischen Elementeinheiten auf.
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Daher ist es auf dieselbe Art und
Weise wie bei dem dritten Aspekt der Erfindung möglich, den Verlust zu reduzieren,
wenn eine Verschiebung des piezoelektrischen Aktuators auf externe
Metallelemente usw. übertragen
wird.
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Ferner sind das piezoelektrische
Einheitselement und die Verbindungselemente zwischen sich mit Dummy-
bzw. Blindeinheiten mit einem Elastizitätsmodul kleiner als der der
Verbindungselemente versehen.
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Daher ist es möglich, die Zunahme einer inneren
Belastung zur Zeit des Anlegens von Spannung zu unterdrücken, und
das Auftreten von Rissen zu unterdrücken.
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Das heißt, wie vorstehend erklärt wurde,
wenn Spannung an den piezoelektrischen Aktuator angelegt wird, expandiert
das piezoelektrische Einheitselement in der Stapelrichtung bzw.
dehnt sich aus und kontrahiert in der Richtung senkrecht zu der
Stapelrichtung bzw. zieht sich zusammen. Zu dieser Zeit würde dann, wenn
der Elastizitätsmodul
der Verbindungselemente größer wäre als der
Elastizitätsmodul
des piezoelektrischen Einheitselements, die Expansion und die Kontraktion
des piezoelektrischen Einheitselements gehemmt, so daß im Ergebnis
die innere Belastung zunehmen würde
und die Gefahr bestünde,
daß Risse
auftreten.
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Durch Zwischenlegen von Blindeinheiten
mit einem Elastizitätsmodul
kleiner als der der Verbindungselemente zwischen die Verbindungselemente
und das piezoelektrische Einheitselement auf diese Art und Weise
ist es möglich,
die Zunahme einer inneren Belastung zu unterdrücken, und das Auftreten von
Rissen zu unterdrücken.
Daher wird der piezoelektrische Aktuator hinsichtlich der Dauerhaftigkeit überlegen.
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Ein fünfter Aspekt der Erfindung
schafft einen piezoelektrischen Aktuator mit einem piezoelektrischen Einheitselement,
das aus zumindest zwei piezoelektrischen Elementeinheiten besteht,
von denen jede aus piezoelektrischen Keramikschichten und inneren
Elektrodenschichten besteht, die abwechselnd gestapelt sind, gebondet
an Bondoberflächen
an den äußersten
Seiten in der Stapelrichtung, um gebondete Teile zu bilden, dadurch
gekennzeichnet, daß
jede
piezoelektrische Elementeinheit aus einem Stapel von zumindest sechs
piezoelektrischen Keramikschichten besteht, und
gebondete Keramikschichten,
die zwischen zwei aneinandergrenzenden inneren Elektrodenschichten
liegen, die jeden gebondeten Teil zwischen sich einschließen, inaktiv
sind.
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Bei dem piezoelektrischen Aktuator
des fünften
Aspekts der Erfindung sind auf dieselbe Art und Weise wie bei dem
dritten Aspekt der Erfindung die gebondeten Keramikschichten, die
zwischen zwei aneinandergrenzenden Elektrodenschichten liegen, die
jeden gebondeten Teil zwischen sich einschließen, inaktiv.
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Daher werden sich dann, wenn Spannung
angelegt wird, auf dieselbe Art und Weise wie bei dem ersten Aspekt
der Erfindung, auch dann, wenn sich die piezoelektrischen Elementeinheiten
in dem piezoelektrischen Einheitselement stark verformen, die gebondeten
Keramikschichten, die selbst an den gebondeten Teilen ausgebildet
sind, nicht positiv verformen, und werden ihre Ausmaße der Verformung
klein sein. Aufgrund dessen ist es möglich, zu verhindern, daß eine lokale
Beschädigung
an den Bondoberflächen
auftritt, an denen die piezoelektrischen Elementeinheiten gebondet
sind, wenn der piezoelektrische Aktuator hergestellt wird.
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Ferner besteht in dem fünften Aspekt
der Erfindung jede piezoelektrische Elementeinheit aus zumindest
sechs piezoelektrischen Keramikschichten. Falls die Anzahl gestapelter
Schichten jeder piezoelektrischen Elementeinheit sechs oder größer ist,
wird das Ausmaß der
Verschiebung der gebondeten Keramikschichten groß werden, und wird leicht eine
lokale Beschädigung
an den Bondoberflächen
auftreten. In dem fünften
Aspekt der Erfindung sind jedoch, wie vorstehend erklärt wurde,
die gebondeten Keramikschichten inaktiv, so daß es möglich ist, das Auftreten einer
Beschädigung
an den Bondoberflächen
zu unterdrücken.
Das heißt,
daß dann,
wenn sechs oder mehr piezoelektrische Keramikschichten wie in dem
fünften
Aspekt der Erfindung vorhanden sind, der Effekt der Unterdrückung des
Auftretens einer Beschädigung,
der durch inaktiv machen der gebondeten Keramikschichten erhalten
wird, stärker
bemerkenswert erhalten werden kann.
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Die übrigen Effekte sind ähnlich zu
denjenigen des ersten Aspekts der Erfindung.
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Ein sechster Aspekt der Erfindung
schafft einen piezoelektrischen Aktuator mit einem piezoelektrischen
Einheitselement, das aus zumindest zwei piezoelektrischen Elementeinheiten
besteht, von denen jede aus piezoelektrischen Keramikschichten und
inneren Elektrodenschichten besteht, die abwechselnd gestapelt und
an Bondoberflächen
an den äußersten
Seiten in der Stapelrichtung gebondet sind, um gebondete Teile zu bilden,
dadurch gekennzeichnet, daß
jede
piezoelektrische Elementeinheit aus einem Stapel von zumindest sechs
piezoelektrischen Keramikschichten besteht, und
an jeder piezoelektrischen
Elementeinheit ein Parallelitätswert
von einer Bondoberfläche
zu einer anderen Bondoberfläche
aus den Bondoberflächen
an den beiden Enden der piezoelektrischen Elementeinheit nicht höher als
0,1 mm ist.
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Bei dem piezoelektrischen Aktuator
des sechsten Aspekts der Erfindung ist, auf dieselbe Art und Weise
wie bei dem zweiten Aspekt der Erfindung, der Parallelitätswert einer
Bondoberfläche
zu einer anderen Bondoberfläche
aus den Bondoberflächen
an den beiden Enden jeder piezoelektrischen Elementeinheit nicht höher als
0,1 mm.
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Daher ist es, auf dieselbe Art und
Weise wie bei dem zweiten Aspekt der Erfindung, möglich, das
Auftreten einer lokalen Belastung an den Bondoberflächen der
piezoelektrischen Elementeinheiten zu verhindern. Aufgrund dessen
ist es möglich,
eine Beschädigung
an den gebondeten Teilen zu verhindern und die Dauerhaftigkeit des
piezoelektrischen Aktuators zu verbessern.
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In dem sechsten Aspekt der Erfindung
besteht jede piezoelektrische Elementeinheit aus zumindest sechs
piezoelektrischen Keramikschichten. Falls die Anzahl gestapelter
Schichten jeder piezoelektrischen Elementeinheit sechs oder größer ist,
wird das Ausmaß der
Deformation bzw. Verformung der gebondeten Keramikschichten groß und wird
leicht eine lokale Beschädigung
an den gebondeten Oberflächen
auftreten. In dem sechsten Aspekt der Erfindung jedoch ist, wie
vorstehend erklärt
wurde, der Parallelitätswert
einer Bondoberfläche
zu einer anderen Bondoberfläche
aus den Bondoberflächen
an den beiden Enden jeder piezoelektrischen Elementeinheit nicht
höher als
0,1 mm, so daß es
möglich
ist, das Auftreten einer Beschädigung
an den Bondoberflächen
zu unterdrücken.
Das heißt,
daß dann,
wenn sechs oder mehr piezoelektrische Keramikschichten wie in dem
sechsten Aspekt der Erfindung vorhanden sind, der Effekt der Unterdrückung des
Auftretens einer Beschädigung,
der durch nicht höher
machen des Parallelitätswerts
der Bondoberflächen
als 0,1 mm erhalten wird, stärker
bemerkenswert erhalten werden kann.
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Der übrigen Effekte sind ähnlich zu
denjenigen des zweiten Aspekts der Erfindung.
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Ein siebter Aspekt der Erfindung
schafft einen piezoelektrischen Aktuator mit einem piezoelektrischen Einheitselement,
das aus zumindest zwei piezoelektrischen Elementeinheiten besteht,
von denen jede aus piezoelektrischen Keramikschichten und inneren
Elektrodenschichten besteht, die abwechselnd gestapelt und an Bondoberflächen an
den äußersten
Seiten in der Stapelrichtung gebondet sind, um gebondete Teile zu
bilden, dadurch gekennzeichnet, daß
jede piezoelektrische
Elementeinheit aus einem Stapel von zumindest sechs piezoelektrischen
Keramikschichten besteht,
äußerste Enden
in der Stapelrichtung des piezoelektrischen Einheitselements Verbindungselemente
mit einem Elastizitätsmodul
größer als
der der piezoelektrischen Elementeinheiten aufweisen, und
das
piezoelektrische Einheitselement und die Verbindungselemente zwischen
sich mit Puffereinheiten versehen sind, die aus piezoelektrischen
Keramikschichten und inneren Elektrodenschichten bestehen, die abwechselnd
gestapelt sind, um die innere Belastung des piezoelektrischen Einheitselements
abzupuffern.
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Der piezoelektrische Aktuator des
siebten Aspekts der Erfindung weist, auf dieselbe Art und Weise
wie bei dem dritten Aspekt der Erfindung, Anschluß- bzw.
Verbindungselemente mit einem Elastizitätsmodul größer als der der piezoelektrischen
Elementeinheiten auf.
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Daher ist es, auf dieselbe Art und
Weise wie bei dem dritten Aspekt der Erfindung, möglich, den
Verlust zu reduzieren, wenn eine Verschiebung des piezoelektrischen
Aktuators auf externe Metallelemente usw. übertragen wird.
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Ferner sind, auf dieselbe Art und
Weise wie bei dem dritten Aspekt der Erfindung, das piezoelektrische Einheitselement
und die Verbindungselemente zwischen sich mit Puffereinheiten versehen,
die aus piezoelektrischen Keramikschichten und inneren Elektrodenschichten
bestehen, die abwechselnd gestapelt sind, um die innere Belastung
des piezoelektrischen Einheitselements abzupuffern.
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Daher ist es, auf dieselbe Art und
Weise wie bei dem dritten Aspekt der Erfindung, möglich, das
Auftreten von Rissen im Inneren des piezoelektrischen Aktuators
zu verhindern.
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In dem siebten Aspekt der Erfindung
besteht jede piezoelektrische Elementeinheit aus zumindest sechs
piezoelektrischen Keramikschichten. Falls die Anzahl gestapelter
Schichten jeder piezoelektrischen Elementeinheit sechs oder mehr
ist, wird das Ausmaß der
Verschiebung der Keramikschichten an den äußersten Seiten jeder piezoelektrischen
Elementeinheit in der Stapelrichtung, das heißt der äußersten Keramikschichten, groß werden.
Daher würde
dann, wenn das piezoelektrische Einheitselement mit zum Beispiel
einem anderen Element, wie beispielsweise einem Verbindungselement,
gebondet würde,
die Gefahr bestehen, daß eine
lokale Beschädigung
an den Bondoberflächen
auftritt. In dem siebten Aspekt der Erfindung sind jedoch, wie vorstehend
erklärt
wurde, die Puffereinheiten zwischengelegt, so daß es möglich ist, das Auftreten einer Beschädigung an
den Bondoberflächen
zu unterdrücken
und die Dauerhaftigkeit des piezoelektrischen Aktuators zu verbessern.
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Die übrigen Effekte sind ähnlich zu
denjenigen des dritten Aspekts der Erfindung.
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Ein achter Aspekt der Erfindung schafft
einen piezoelektrischen Aktuator mit einem piezoelektrischen Einheitselement,
das aus zumindest zwei piezoelektrischen Elementeinheiten besteht,
von denen jede aus piezoelektrischen Keramikschichten und inneren
Elektrodenschichten besteht, die abwechselnd gestapelt und an Bondoberflächen an
den äußersten
Seiten in der Stapelrichtung gebondet sind, um gebondete Teile zu
bilden, dadurch gekennzeichnet, daß
jede piezoelektrische
Elementeinheit aus einem Stapel von zumindest sechs piezoelektrischen
Keramikschichten besteht,
äußerste Enden
in der Stapelrichtung des piezoelektrischen Einheitselements Verbindungselemente
mit einem Elastizitätsmodul
größer als
der der piezoelektrischen Elementeinheiten aufweisen, und
das
piezoelektrische Einheitselement und die Verbindungselemente zwischen
sich mit Blindeinheiten versehen sind, die einen Elastizitätsmodul
größer als
der der Verbindungselemente haben.
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Der piezoelektrische Aktuator des
achten Aspekts der Erfindung weist, auf dieselbe Art und Weise wie der
des vierten Aspekts der Erfindung, Verbindungselemente mit einem
Elastizitätsmodul
größer als
die piezoelektrischen Elementeinheiten auf.
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Daher ist es, auf dieselbe Art und
Weise wie bei dem vierten Aspekt der Erfindung, möglich, den
Verlust zu reduzieren, wenn eine Verschiebung des piezoelektrischen
Aktuators auf externe Metallelemente usw. übertragen wird.
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Ferner sind, auf dieselbe Art und
Weise wie bei dem vierten Aspekt der Erfindung, das piezoelektrische
Einheitselement und die Verbindungselemente zwischen sich mit Blindeinheiten
mit einem Elastizitätsmodul
kleiner als die Verbindungselemente versehen.
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Daher ist es, auf dieselbe Art und
Weise wie bei dem vierten Aspekt der Erfindung, möglich, die
Zunahme einer inneren Belastung zur Zeit des Anlegens von Spannung
zu unterdrücken,
und möglich,
das Auftreten von Rissen zu unterdrücken.
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In dem achten Aspekt der Erfindung
besteht jede piezoelektrische Elementeinheit aus zumindest sechs
piezoelektrischen Keramikschichten. Falls die Anzahl gestapelter
Schichten jeder piezoelektrischen Elementeinheit sechs oder größer ist,
wird das Ausmaß der
Verschiebung der Keramikschichten an den äußersten Seiten jeder piezoelektrischen
Elementeinheit in der Stapelrichtung, das heißt, der äußersten Keramikschichten, groß werden.
Daher würde
dann, wenn das piezoelektrische Einheitselement mit zum Beispiel
einem anderen Element, wie beispielsweise einem Verbindungselement,
gebondet wird, die Gefahr bestehen, daß eine lokale Beschädigung an
den Bondoberflächen
auftritt. In dem achten Aspekt der Erfindung sind jedoch, wie vorstehend
erklärt
wurde, die Blindeinheiten zwischengelegt, so daß es möglich ist, das Auftreten einer
Beschädigung
an den Bondoberflächen
zu unterdrücken
und die Dauerhaftigkeit des piezoelektrischen Aktuators zu verbessern.
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Die übrigen Effekte sind ähnlich zu
denjenigen des vierten Aspekts der Erfindung.
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Die Erfindung wird nachstehend unter
Bezugnahme auf die Zeichnung näher
beschrieben. Es zeigen:
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1 eine
zerlegte erklärende
Ansicht eines piezoelektrischen Aktuators gemäß einem Beispiel 1;
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2 eine
Schnittansicht, in der der piezoelektrische Aktuator gemäß Beispiel
1 in einer Ebene parallel zu seiner Stapelrichtung in Scheiben geschnitten
ist;
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3 eine
vergrößerte Ansicht,
die den Zustand nahe einem gebondeten Teil des in 2 gezeigten piezoelektrischen Aktuators
zeigt;
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4 eine
erklärende
Ansicht des Zustands des Druckens einer inneren Elektrodenschicht
auf eine ungebrannte Keramikplatte gemäß Beispiel 1;
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5 eine
erklärende
Ansicht des Zustands des Stapelns ungebrannter Platten, die mit
inneren Elektrodenschichten ausgebildet sind, gemäß Beispiel
1;
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6 eine
erklärende
Ansicht eines Stapels gemäß Beispiel
1;
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7 eine
perspektivische erklärende
Ansicht, die eine piezoelektrische Elementeinheit gemäß Beispiel
1 zeigt;
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8 eine
erklärende
Ansicht, die sich auf den Parallelitätswert der Bondoberflächen einer
piezoelektrischen Elementeinheit gemäß Beispiel 1 bezieht;
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9 eine
erste erklärende
Ansicht, die den gestapelten Zustand von piezoelektrischen Keramikschichten
in einer Puffereinheit gemäß Beispiel
1 zeigt;
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10 eine
zweite erklärende
Ansicht, die den gestapelten Zustand von piezoelektrischen Keramikschichten
in einer Puffereinheit gemäß Beispiel
1 zeigt;
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11 eine
dritte erklärende
Ansicht, die den gestapelten Zustand von piezoelektrischen Keramikschichten
in einer Puffereinheit gemäß Beispiel
1 zeigt;
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12 eine
vierte erklärende
Ansicht, die den gestapelten Zustand von piezoelektrischen Keramikschichten
in einer Puffereinheit gemäß Beispiel
1 zeigt;
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13 eine
erklärende
Ansicht, die den Zustand nahe einem gebondeten Teil eines piezoelektrischen Aktuators
gemäß Beispiel
1 mit Harzisolationsschichten an den gebondeten Teilen zeigt;
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14(A) und (B) jeweils eine erklärende Ansicht, die die Formen
von inneren Elektrodenschichten zeigen, die auf piezoelektrischen
Keramikschichten gemäß Beispiel
1 ausgebildet sind;
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15(A) und (B) jeweils eine erklärende Ansicht, die innere Elektrodenschichten
einer Vollelektrodenstruktur zeigen, die auf piezoelektrischen Keramikschichten
gemäß Beispiel
1 ausgebildet sind;
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16 eine
erklärende
Schnittansicht, die den Zustand nahe einem gebondeten Teil eines
piezoelektrischen Aktuators mit inneren Elektrodenschichten von
Vollelektrodenstrukturen gemäß Beispiel
1 zeigt;
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17 eine
erklärende
Ansicht, die den Zustand nahe einem gebondeten Teil eines piezoelektrischen Aktuators
zeigt, an dem zwei aneinandergrenzende innere Elektrodenschichten,
die einen gebondeten Teil zwischen sich einschließen, mit
Elektroden derselben Polarität
verbunden sind, gemäß einem
Beispiel 2;
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18 eine
teilweise vergrößerte Ansicht
eines gebondeten Teils einer piezoelektrischen Elementeinheit gemäß Beispiel
2;
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19 eine
vergrößerte erklärende Ansicht,
die den Zustand nahe einem gebondeten Teil eines piezoelektrischen
Aktuators gemäß einem
Beispiel 3 zeigt, das so konfiguriert ist, daß die Dicken der äußersten Keramikschichten
größer werden;
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20 eine
perspektivische erklärende
Ansicht, die piezoelektrische Elementeinheiten gemäß Beispiel
3 zeigt;
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21 eine
erklärende
Ansicht, die die Beziehung zwischen der Anzahl gestapelter Schichten
von piezoelektrischen Keramikschichten und der innerhalb einer piezoelektrischen
Elementeinheit auftretenden Belastung zeigt;
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22 eine
erklärende
Ansicht, die die Beziehung zwischen der elektrischen Feldstärke gebondeter Keramikschichten
in Bezug auf das koerzitive elektrische Feld des piezoelektrischen
Einheitselements und einer piezoelektrischen Konstanten der gebondeten
Keramikschichten zeigt;
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23 eine
erklärende
Ansicht, die die Beziehung zwischen der elektrischen Feldstärke und
dem Ausmaß der
Verschiebung des piezoelektrischen Einheitselements zeigt; und
-
24 eine
erklärende
Ansicht, die die Beziehung zwischen dem Parallelitätswert der
Bondoberflächen
einer piezoelektrischen Elementeinheit und einer inneren Belastung
zeigt.
-
Die Erfindung wird unter Bezugnahme
auf die bevorzugten Ausführungsbeispiele
derselben näher
beschrieben. Es wird jedoch angemerkt, daß die Erfindung nicht auf diese
Ausführungsbeispiele
beschränkt
ist.
-
In den vorstehenden ersten bis vierten
Aspekten der Erfindung bestand jede piezoelektrische Elementeinheit
aus nicht mehr als 50 zusammengestapelten piezoelektrischen Keramikschichten.
-
Hier sind die Ergebnisse des Auffindens
der Beziehung zwischen der Anzahl gestapelter Schichten der piezoelektrischen
Keramikschichten und der im Inneren einer piezoelektrischen Elementeinheit
durch Simulation in 21 gezeigt.
-
Die Simulation wurde durch eine piezoelektrische
Analyse unter Verwendung des Verfahrens der finiten Elemente durchgeführt.
-
Wie in 21 gezeigt
ist, ist allgemein die in der Einheit erzeugte Belastung um so größer, je
größer die
Anzahl gestapelter Schichten ist. Insbesondere wird bei über 50 Schichten
eine große
innere Belastung zur Zeit des Anlegens von Spannung erzeugt. Infolgedessen
besteht die Gefahr, daß Risse
bzw. Brüche
in der piezoelektrischen Elementeinheit auftreten.
-
Ferner bestand in den fünften bis
achten Aspekten der Erfindung jede piezoelektrische Elementeinheit aus
zumindest sechs zusammengestapelten piezoelektrischen Keramikschichten.
-
Falls die Anzahl gestapelter Schichten
der piezoelektrischen Keramikschichten kleiner als sechs ist, wird
das Ausmaß der
Deformation bzw. Verformung pro piezoelektrischer Elementeinheit
kleiner. Daher wäre es,
um einen eine ausreichende Verschiebung erzeugenden piezoelektrischen
Aktuator zu erhalten, notwendig, eine größere Anzahl von piezoelektrischen
Elementeinheiten zu bonden. Dies würde nicht nur dazu führen, daß die Gesamtlänge nach
dem Bonden zunimmt, sondern würde
auch darin resultieren, daß die
Dicke in der Stapelrichtung pro piezoelektrischer Elementeinheit
kleiner wird, die Handhabung schwieriger würde, der Produktionsprozeß mühsamer würde, und
auch die Produktionskosten ansteigen würden.
-
Als Nächstes können die piezoelektrischen
Elementeinheiten mittels einem Kleber gebondet werden. Als ein solcher
Binder können
zum Beispiel ein Silikon-basierter, ein Epoxy-basierter, ein Urethan-basierter, ein
Polyimid-basierter, oder ein anderer Kleber verwendet werden.
-
Ferner wird es in dem ersten Aspekt
und in dem fünften
Aspekt der Erfindung bevorzugt, daß die beiden aneinandergrenzenden
inneren Elektrodenschichten, die einen gebondeten Teil zwischen
sich einschließen,
mit externen Elektroden unterschiedlicher Potentiale verbunden werden,
und daß die
elektrische Feldstärke
(Feldintensität)
von gebondeten Keramikschichten nicht größer ist als das koerzitive
elektrische Feld der piezoelektrischen Elementeinheiten.
-
In diesem Fall können die gebondeten Keramikschichten
im wesentlichen inaktiv gemacht werden.
-
Hier sind die Ergebnisse des Auffindens
der Beziehung zwischen der elektrischen Feldstärke gebondeter Keramikschichten
in Bezug auf das koerzitive elektrische Feld der piezoelektrischen
Elementeinheiten und der piezoelektrischen Konstanten der gebondeten
Keramikschichten durch Versuche in 22 gezeigt.
-
In der Figur zeigt die Abszisse die
elektrische Feldstärke
der gebondeten Keramikschichten in Bezug auf das koerzitive elektrische
Feld des piezoelektrischen Einheitselements [(elektrische Feldstärke gebondeter Keramikschichten)/(koerzitives
elektrisches Feld des piezoelektrischen Einheitselements)], während die
Ordinate die piezoelektrische Konstante der gebondeten Keramikschichten
zeigt.
-
Wie aus 22 ersichtlich ist, wird dann, wenn die
elektrische Feldstärke
der gebondeten Keramikschichten das koerzitive elektrische Feld
des piezoelektrischen Einheitselements überschreitet, die piezoelektrische
Konstante der gebondeten Keramikschichten größer werden. Das heißt, daß dies zeigt,
daß die
Keramikschichten aktiv werden. Ferner werden in diesem Fall die
Bondoberflächen
der piezoelektrischen Elementeinheiten zur Zeit des Betriebs leicht
beschädigt.
-
Ferner beträgt die elektrische Feldstärke der
gebondeten Keramikschichten stärker
bevorzugt nicht mehr als das 0,8-fache des koerzitiven elektrischen
Felds des piezoelektrischen Einheitselements.
-
In diesem Fall wird, wie aus 22 ersichtlich ist, die
piezoelektrische Konstante der gebondeten Keramikschichten zu nahezu
Null werden, und werden die gebondeten Keramikschichten in ihrem
Zustand inaktiver werden.
-
Als Nächstes wird das koerzitive
elektrische Feld erklärt.
-
23 ist
eine erklärende
Ansicht des koerzitiven elektrische Felds (Ec). Die Figur zeigt
die elektrische Feldstärke,
die das piezoelektrische Einheitselement beaufschlagt, auf der Abszisse,
und das Ausmaß der
Verschiebung auf der Ordinate. Es wird angemerkt, daß die elektrische
Feldstärke
als Plus (+) für
dieselbe Richtung wie die Polarisationsrichtung und als Minus (–) für die der
Polarisationsrichtung entgegengesetzte Richtung angegeben ist.
-
Ferner wird beginnend an dem Punkt
A zunächst
die elektrische Feldstärke
an das piezoelektrische Einheitselement in derselben Richtung wie
der Polarisationsrichtung angelegt und in ihrem Wert langsam angehoben.
Zusammen mit diesem nimmt das Ausmaß der Verschiebung des piezoelektrischen
Einheitselements zu. Es wird angemerkt, daß das Ausmaß der Verschiebung durch Messen
der Verschiebung in der Stapelrichtung bei Anlegen einer konstanten
Spannung und Verwenden der Verschiebung pro Einheitslänge in der Stapelrichtung
zu dieser Zeit als das Ausmaß der
Verschiebung ermittelt werden kann. Dieses Ausmaß der Verschiebung kann unter
Verwendung eines Laser-Verschiebungsmessers, eines nach dem elektrostatischen Kapazitätsprinzip
arbeitenden Verschiebungsmessers usw. gemessen werden.
-
Als Nächstes wird, nachdem die elektrische
Feldstärke
den Punkt B erreicht, die elektrische Feldstärke langsam verringert. Dieses
Mal fällt
das Ausmaß der
Verschiebung zusammen mit dem Abfall in der elektrische Feldstärke ab.
Auch nachdem die elektrische Feldstärke 0 wird, wird die elektrische
Feld stärke
in der zu der Polarisationsrichtung entgegengesetzten Richtung langsam
reduziert. Zusammen hiermit fällt
das Ausmaß der Verschiebung
weiter ab. Ferner beginnt dann, wenn die elektrische Feldstärke den
Punkt C erreicht, das Ausmaß der
Verschiebung plötzlich
zuzunehmen. Der Absolutwert der elektrischen Feldstärke an diesem
Punkt ist das koerzitive elektrische Feld in der vorliegenden Erfindung.
-
Als Nächstes wird danach dann, wenn
die elektrische Feldstärke
den Punkt D erreicht, die elektrische Feldstärke erneut erhöht. Zusammen
mit diesem fällt
dieses Mal das Ausmaß der
Verschiebung ab. Ferner beginnt dann, wenn die elektrische Feldstärke 0 wird
und die elektrische Feldstärke
in der Polarisationsrichtung weiter angehoben wird, das Ausmaß der Verschiebung
plötzlich
zuzunehmen. Da zwischen dem Punkt D und dem Punkt C verschiedene
Fälle vorliegen,
wird erfindungsgemäß das koerzitive
elektrische Feld dann, wenn Spannung in der zu der Polarisationsrichtung
entgegengesetzten Richtung angelegt wird, zu Ec gemacht.
-
Es wird angemerkt, daß wie in 23 gezeigt durch nachfolgendes
weiteres Anheben der elektrischen Feldstärke schließlich ein Zustand erreicht
wird, der im wesentlichen derselbe ist wie der bei Punkt B, und
dann nachfolgend ein ähnliches
Verhalten wiederholt wird.
-
Wenn die elektrische Feldstärke der
gebondeten Keramikschichten größer ist
als das koerzitive elektrische Feld des piezoelektrischen Einheitselements,
besteht die Gefahr; daß die
gebondeten Keramikschichten sich verschieben und die Bondoberflächen zur
Zeit des Anlegens von Spannung beschädigen.
-
Als Nächstes werden bevorzugt zwei
aneinandergrenzende innere Elektrodenschichten, die einen gebondeten
Teil zwischen sich einschließen,
mit externen Elektroden unterschiedlicher Potentiale verbunden,
ist eine elektrische Feldstärke
gebondeter Keramikschichten größer als
ein koerzitives elektrisches Feld der piezoelektrischen Elementeinheiten,
und weist ein gebondeter Teil eine Harzisolationsschicht auf.
-
In diesem Fall ermöglicht es
die Harzisolationsschicht, die tatsächliche elektrische Feldstärke, die
an die gebondeten Keramikschichten angelegt wird, kleiner als das
koerzitive elektrische Feld zu machen. Daher ist es leicht möglich, die
gebondeten Keramikschichten inaktiv zu machen.
-
Die Harzisolationsschicht kann, wie
vorstehend erklärt
wurde, durch Bonden der piezoelektrischen Elementeinheiten mittels
zum Beispiel einem Silikon-basierten, einem Epoxy-basierten, einem
Urethan-basierten, einem Polyimid-basierten, oder einem anderen
Kleber erzeugt werden.
-
Als Nächstes werden bevorzugt zwei
aneinandergrenzende innere Elektrodenschichten, die einen gebondeten
Teil zwischen sich einschließen,
mit externen Elektroden von im wesentlichen gleichem Potential verbunden.
-
In diesem Fall ist es auch dann,
wenn die gebondeten Keramikschichten beschädigt sind, möglich, Kurzschlüsse an den
gebondeten Teilen zu verhindern. Ferner ist es in diesem Fall leicht
möglich,
die gebondeten Keramikschichten in ihrem Zustand inaktiv zu machen.
-
Ferner sind bevorzugt an einem gebondeten
Teil Bondoberflächen
der piezoelektrischen Elementeinheiten teilweise in direktem Kontakt,
und weist der gebondete Teil eine Harzschicht auf.
-
In diesem Fall ist es möglich, den
Verlust an Verschiebung und erzeugter Kraft an dem gebondeten Teil
zu reduzieren. Die Harzisolationsschicht kann durch Bonden der piezoelektrischen
Elementeinheiten mittels zum Beispiel einem Silikon-basierten, einem
Epoxy-basierten, einem Urethan-basierten, einem Polyimid-basierten,
oder einem anderen Kleber erzeugt werden.
-
Als Nächstes ist in dem sechsten
Aspekt der Erfindung und dem sechsten Aspekt der Erfindung ein Parallelitätswert einer
Bondoberfläche
zu einer anderen Bondoberfläche
aus den Bondoberflächen
an den beiden Enden der piezoelektrischen Elementeinheit nicht höher als
0,1 mm.
-
Hier ist die Beziehung zwischen dem
Parallelitätswert
von Bondoberflächen
und der nahe den Oberflächen
(gebondeter Teil) der piezoelektrischen Elementeinheit erzeugten
Belastung in 24 gezeigt.
Die Figur zeigt den Parallelitätswert
der Bondoberflächen
auf der Abszisse und die nahe den Oberflächen (gebondeter Teil) der
piezoelektrischen Elementeinheit erzeugte Belastung auf der Ordinate.
-
Wie in 24 gezeigt
ist, wird allgemein mit größer werdendem
Parallelitätswert
der Bondoberflächen die
nahe den Oberflächen
(gebondeter Teil) der piezoelektrischen Elementeinheit auftretende
Belastung größer.
-
Wie aus der Figur ersichtlich ist,
wird dann, wenn der Parallelitätswert
der Bondoberflächen
nicht höher als
0,1 mm ist, die in den Einheiten auftretende Belastung extrem klein.
Daher ist es möglich,
eine Beschädigung
an den Bondoberflächen
weiter zu verhindern.
-
Es wird angemerkt, daß der Parallelitätswert in Übereinstimmung
mit dem in JIS-B0621-1984 definierten Verfahren gemessen werden
kann.
-
Ferner weisen die piezoelektrischen
Aktuatoren des dritten Aspekts der Erfindung, des vierten Aspekts der
Erfindung, des siebten Aspekts der Erfindung, und des achten Aspekts
der Erfindung Anschluß-
bzw. Verbindungselemente mit einem Young'schen Modul bzw. Elastizitätsmodul
größer als
der der piezoelektrischen Elementeinheiten auf, wie vorstehend beschrieben
wurde.
-
Als solche Verbindungselemente gibt
es zum Beispiel solche, die aus Aluminiumoxid, Siliziumkarbid, Aluminiumnitrid,
Bornitrid usw. hergestellt sind.
-
Der Elastizitätsmodul kann mittels dem in
JIS-R1602-1995 definierten Verfahren gemessen werden. Wenn jedoch
die angegebene Prüfprobenform
nicht erhalten bzw. hergestellt werden kann, ist es möglich, unter
Verwendung einer Probe, die durch Schneiden eines Verbindungselements
und einer piezoelektri schen Elementeinheit auf dieselbe Form erhalten
wurde, und Vergleichen derselben einen zu dem JIS-Standard ähnlichen
Test durchzuführen.
-
Ferner sind bei den piezoelektrischen
Aktuatoren des dritten Aspekts der Erfindung und des siebten Aspekts
der Erfindung das piezoelektrische Einheitselement und Verbindungselemente
zwischen sich mit Puffereinheiten versehen, die aus piezoelektrischen
Keramikschichten und inneren Elektrodenschichten bestehen, die abwechselnd
gestapelt sind, um die innere Belastung des piezoelektrischen Einheitselements
abzupuffern.
-
Die piezoelektrischen Keramikschichten
der Puffereinheiten können
unter Verwendung von Materialien ähnlich denen der piezoelektrischen
Keramikschichten in den piezoelektrischen Elementeinheiten hergestellt
werden.
-
Jede Puffereinheit besteht aus piezoelektrischen
Keramikschichten und inneren Elektrodenschichten, auf dieselbe Art
und Weise wie die piezoelektrischen Elementeinheiten. Als ein bestimmtes
Verfahren zum Abpuffern der inneren Belastung in dem piezoelektrischen
Einheitselement ist es möglich,
die Dikken der piezoelektrischen Keramikschichten in den Puffereinheiten
größer als
die der piezoelektrischen Keramikschichten in den piezoelektrischen
Elementeinheiten zu machen. Ferner ist es möglich, piezoelektrische Materialien
mit kleineren piezoelektrischen Konstanten als die der piezoelektrischen
Elementeinheiten zu verwenden, um die Puffereinheiten herzustellen,
oder die an die Puffereinheiten angelegte Spannung gegenüber der
an die piezoelektrischen Elementeinheiten angelegten Spannung zu
reduzieren.
-
Ferner ist es möglich, die Puffereinheiten
und das piezoelektrische Einheitselement mittels einem Harzbinder
zu bonden. Die Zwing- bzw. Haltekraft eines Harzbinders ist kleiner,
so daß auch
in diesem Fall die Wirkung der Zwischenlegung der Puffereinheiten
ausreichend erhalten werden kann.
-
Als Nächstes beträgt der Elastizitätsmodul
der Verbindungselemente zumindest das Zweifache des Elastizitätsmoduls
der piezoelektrischen Elementeinheiten.
-
Falls der Elastizitätsmodul
der Verbindungselemente kleiner ist als das Zweifache des Elastizitätsmoduls
der piezoelektrischen Elementeinheiten, könnte es dann, wenn die Verschiebung
des piezoelektrischen Aktuators nach außen übertragen wird, unmöglich werden,
den Verlust an Verschiebung und erzeugter Kraft zwischen dem piezoelektrischen
Aktuator und dem außenliegenden
Metallelement usw. ausreichend zu reduzieren.
-
Als Nächstes ist bevorzugt das Ausmaß der Verschiebung
pro Einheitslänge
einer Puffereinheit kleiner als das Ausmaß der Verschiebung pro Einheitslänge der
piezoelektrischen Elementeinheit auf der Seite des Verbindungselements
und im wesentlichen dasselbe wie das Ausmaß der Verschiebung pro Einheitslänge des piezoelektrischen
Einheitselements auf der Seite des piezoelektrischen Einheitselements.
-
In diesem Fall ist es möglich, das
Auftreten von Rissen bzw. Brüchen
im Inneren des piezoelektrischen Aktuators wirkungsvoller zu verhindern.
-
Als ein bestimmtes Mittel zum Machen
des Ausmaßes
der Verschiebung pro Einheitslänge
einer Puffereinheit kleiner als das der piezoelektrischen Elementeinheit
auf der Seite des Verbindungselements und im wesentlichen zu demselben
wie dem des piezoelektrischen Einheitselements auf der Seite des
piezoelektrischen Einheitselements gibt es zum Beispiel das folgende
Verfahren.
-
Das heißt, dieses kann dadurch verwirklicht
werden, daß die
Dicken der piezoelektrischen Keramikschichten im Inneren der Puffereinheit
zu im wesentlichen derselben Dicke wie die der piezoelektrischen
Keramikschicht des piezoelektrischen Einheitselements auf der Seite
des piezoelektrischen Einheitselements gemacht werden, und größer als
die der piezoelektrischen Keramikschichten der piezoelektrischen
Elementeinheiten auf der Seite des Verbindungselements gemacht werden.
-
Ferner kann dies, als ein anderes
Verfahren, während
der Herstellung der Puffereinheit durch Verwenden eines piezoelektrischen
Materials mit einer kleineren piezoelektrischen Konstanten als der
der piezoelektrischen Keramikschichten der piezoelektrischen Elementeinheiten
für die
piezoelektrischen Keramikschichten der Verbindungselementseite und
Verwenden eines piezoelektrischen Materials mit einer piezoelektrischen Konstanten
im wesentlichen gleich der der piezoelektrischen Keramikschichten
der piezoelektrischen Elementeinheiten für die piezoelektrischen Keramikschichten
der Seite des piezoelektrischen Einheitselements, um die Puffereinheiten
herzustellen, verwirklicht werden. Ferner kann dies durch Reduzieren
der an die Seite des Verbindungselements der Puffereinheit angelegten
Spannung gegenüber
der an die Seite des piezoelektrischen Einheitselements angelegten
Spannung verwirklicht werden.
-
Ferner sind in dem vierten Aspekt
der Erfindung und in dem achten Aspekt der Erfindung das piezoelektrische
Einheitselement und Verbindungselemente zwischen sich mit Blindeinheiten
mit einem Elastizitätsmodul
kleiner als der der Verbindungselemente versehen.
-
Der Elastizitätsmodul kann mittels dem in
JIS-R1602-1995 definierten Verfahren gemessen werden. Wenn jedoch
die angegebene Prüfprobenform
nicht erhalten bzw. hergestellt werden kann, ist es möglich, unter
Verwendung einer Probe, die durch Schneiden eines Verbindungselements
und einer Blindeinheit auf dieselbe Form erhalten wurde, und Vergleichen
derselben einen zu dem JIS-Standard ähnlichen Test durchzuführen.
-
Ferner ist es möglich, die Blindeinheiten und
das piezoelektrische Einheitselement mittels einem Harzbinder zu
bonden. Die Zwing- bzw. Haltekraft eines Harzbinders ist kleiner,
so daß auch
in diesem Fall die Wirkung der Zwischenlegung der Blindeinheiten
ausreichend erhalten werden kann.
-
Ferner können das piezoelektrische Einheitselement
und die Verbindungselemente sowohl Puffereinheiten als auch Blindeinheiten
aufweisen, die zwischen sie gelegt sind. In diesem Fall werden das
piezoelektrische Einheitselement, die Puffereinhei ten, die Blindeinheiten
und die Verbindungselemente durch den vorstehenden Harzbinder gebondet.
-
Bevorzugt beträgt der Elastizitätsmodul
der Verbindungselemente zumindest das Zweifache des Elastizitätsmoduls
der piezoelektrischen Elementeinheiten und Blindeinheiten.
-
Falls der Elastizitätsmodul
der Verbindungselemente kleiner ist als das Zweifache des Elastizitätsmoduls
der piezoelektrischen Elementeinheiten und Blindeinheiten, könnte es
dann, wenn die Verschiebung des piezoelektrischen Aktuators nach
außen übertragen
wird, unmöglich
werden, den Verlust an Verschiebung und erzeugter Kraft zwischen
dem piezoelektrischen Aktuator und dem außenliegenden Metallelement
usw. ausreichend zu reduzieren.
-
Bevorzugt besteht jede Blindeinheit
aus einem Keramikmaterial, das dasselbe ist wie das einer piezoelektrische
Keramikschicht der piezoelektrischen Elementeinheiten.
-
In diesem Fall wird es nicht nur
leicht, die Blindeinheiten herzustellen, sondern kann auch der Elastizitätsmodul
der Blindeinheiten im wesentlichen gleich dem der piezoelektrischen
Elementeinheiten gemacht werden, so daß es auch dann, wenn Risse
in den Blindeinheiten von der Seite des Verbindungselements ausgehend
auftreten, möglich
ist, wirkungsvoll das Fortschreiten der Risse zu den piezoelektrischen
Elementeinheiten zu verhindern.
-
Bevorzugt sind die Blindeinheiten
und das piezoelektrische Einheitselement zwischen sich mit Puffereinheiten
versehen, die aus piezoelektrischen Keramikschichten und inneren
Elektrodenschichten bestehen, die abwechselnd gestapelt sind, um
die innere Belastung des piezoelektrischen Einheitselements abzupuffern, und
ist das Ausmaß der
Verschiebung pro Einheitslänge
einer Puffereinheit kleiner als das Ausmaß der Verschiebung pro Einheitslänge der
piezoelektrischen Elementeinheit auf der Seite der Blindeinheit
und im wesentlichen gleich wie das Ausmaß der Verschiebung pro Einheitslänge des
piezoelek trischen Einheitselements auf der Seite des piezoelektrischen
Einheitselements.
-
In diesem Fall ist es möglich, das
Auftreten von Rissen im Inneren des piezoelektrischen Aktuators wirkungsvoller
zu verhindern.
-
Als ein bestimmtes Mittel zum Machen
des Ausmaßes
der Verschiebung pro Einheitslänge
einer Puffereinheit kleiner als das der piezoelektrischen Elementeinheit
auf der Seite des Blindelements und im wesentlichen zu demselben
wie dem des piezoelektrischen Einheitselements auf der Seite des
piezoelektrischen Einheitselements gibt es zum Beispiel das folgende
Verfahren.
-
Das heißt, dieses kann dadurch verwirklicht
werden, daß die
Dicken der piezoelektrischen Keramikschichten im Inneren der Puffereinheit
zu im wesentlichen derselben Dicke wie die der piezoelektrischen
Keramikschicht des piezoelektrischen Einheitselements auf der Seite
des piezoelektrischen Einheitselements gemacht werden, und größer als
die einer piezoelektrischen Keramikschicht einer piezoelektrischen
Elementeinheit auf der Seite der Blindeinheit gemacht werden.
-
Ferner kann dies, als ein anderes
Verfahren, während
der Herstellung der Puffereinheit durch Verwenden eines piezoelektrischen
Materials mit einer kleineren piezoelektrischen Konstanten als der
der piezoelektrischen Keramikschichten der piezoelektrischen Elementeinheiten
für die
piezoelektrischen Keramikschichten der Seite der Blindeinheit und
Verwenden eines piezoelektrischen Materials mit einer piezoelektrischen
Konstanten im wesentlichen gleich der der piezoelektrischen Keramikschichten
der piezoelektrischen Elementeinheiten für die piezoelektrischen Keramikschichten
der Seite des piezoelektrischen Einheitselements, um die Puffereinheiten
herzustellen, verwirklicht werden. Ferner kann dies durch Reduzieren
der an die Seite der Blindeinheit der Puffereinheit angelegten Spannung
gegenüber
der an die Seite des piezoelektrischen Einheitselements angelegten
Spannung verwirklicht werden.
-
Ferner besteht in dem dritten und
dem vierten Aspekt der Erfindung bevorzugt jede Puffereinheit aus nicht
mehr als 50 zusammengestapelten piezoelektrischen Keramikschichten,
und sind die Keramikschichten an den äußersten Seiten der Puffereinheit
in der Stapelrichtung, das heißt
die äußersten
Keramikschichten, inaktiv.
-
Die in einer Puffereinheit auftretende
Belastung wird, wie bei einer piezoelektrischen Elementeinheit, um
so größer, je
größer die
Anzahl gestapelter Schichten der piezoelektrischen Keramikschichten
ist. Insbesondere wird bei über
50 Schichten eine große
innere Belastung zur Zeit des Anlegens von Spannung erzeugt, so
daß die
Gefahr besteht, daß Risse
in der piezoelektrischen Elementeinheit auftreten. Ferner besteht
dann, wenn zur Zeit des Anlegens von Spannung die Keramikschichten
an den äußersten
Seiten jeder Puffereinheit in der Stapelrichtung, das heißt die äußersten
Keramikschichten, nicht inaktiv sind, das heißt aktiv sind, die Gefahr,
daß sich
die Keramikschichten, die zwischen zwei aneinandergrenzenden inneren
Elektrodenschichten liegen, die jeden gebondeten Teil zwischen sich
einschließen,
positiv verformen, und besteht die Gefahr, daß die gebondeten Teile zwischen
den Puffereinheiten und den piezoelektrischen Elementeinheiten,
Verbindungselementen oder Blindeinheiten beschädigt werden.
-
Ferner besteht in dem siebten und
dem achten Aspekt der Erfindung bevorzugt jede Puffereinheit aus zumindest
sechs zusammengestapelten piezoelektrischen Keramikschichten, und
sind die Keramikschichten an den äußersten Seiten der Puffereinheit
in der Stapelrichtung, das heißt
die äußersten
Keramikschichten, inaktiv.
-
Falls die Anzahl gestapelter Schichten
der piezoelektrischen Keramikschichten in einer Puffereinheit kleiner
als sechs ist, wird die Dicke in der Stapelrichtung pro Puffereinheit
klein, so daß die
Handhabung schwieriger wird, der Produktionsprozeß mühsamer wird,
und auch die Gefahr besteht, daß die
Produktionskosten ansteigen. Ferner besteht dann, wenn zur Zeit
des Anlegens von Spannung die Keramikschichten an den äußersten Seiten
jeder Puffereinheit in der Stapelrichtung, das heißt die äußersten
Keramikschichten, nicht inaktiv sind, das heißt aktiv sind, die Gefahr,
daß sich
die Keramikschichten, die zwischen den beiden aneinandergrenzenden
inneren Elektrodenschichten liegen, die jeden gebondeten Teil zwischen
sich einschließen,
positiv verformen, und besteht die Gefahr, daß die gebondeten Teile zwischen
den Puffereinheiten und den piezoelektrischen Elementeinheiten,
Verbindungselementen oder Blindeinheiten beschädigt werden.
-
Ferner besteht in dem siebten und
dem achten Aspekt der Erfindung bevorzugt jede Puffereinheit aus nicht
mehr als 50 zusammengestapelten piezoelektrischen Keramikschichten.
-
Falls die Anzahl von piezoelektrischen
Keramikschichten in einer Puffereinheit 50 übersteigt, wird auf dieselbe
Art und Weise wie bei einer piezoelektrischen Elementeinheit die
in der Puffereinheit auftretende innere Belastung größer werden,
und wird zur Zeit des Anlegens von Spannung eine große innere
Belastung erzeugt werden, so daß die
Gefahr besteht, daß Risse
in der piezoelektrischen Elementeinheit auftreten.
-
Als Nächstes besteht bevorzugt jede
piezoelektrische Elementeinheit aus nicht mehr als 50 zusammengestapelten
piezoelektrischen Keramikschichten.
-
Wie vorstehend erklärt wurde,
wird dann, wenn die Anzahl gestapelter Schichten der piezoelektrischen Keramikschichten
in einer piezoelektrischen Elementeinheit 50 übersteigt, eine große innere
Belastung zur Zeit des Anlegens von Spannung auftreten, und besteht
infolgedessen die Gefahr, daß Risse
in der piezoelektrischen Elementeinheit auftreten.
-
Als Nächstes wird es in den ersten
bis achten Aspekten der Erfindung bevorzugt, daß die Dicken der Keramikschichten
an den äußersten
Seiten der piezoelektrischen Elementeinheiten in der Stapelrichtung,
das heißt
die äußersten
Keramikschichten, zumindest die Dicke einer zwischen inneren Elektrodenschichten
in den piezoelektrischen Elementeinheiten gelegten Keramikschicht,
das heißt
einer Antriebskeramikschicht, sind.
-
In diesem Fall ist es möglich, das
Ausmaß der
Verformung der äußersten
Keramikschichten zu unterdrücken,
so daß es
möglich
ist, eine Beschädigung
der Bondoberflächen
der piezoelektrischen Elementeinheiten weiter zu unterdrücken.
-
Ferner besteht erfindungsgemäß jede piezoelektrischen
Keramikschicht bevorzugt aus einem PZT-basierten Material.
-
In diesem Fall ist es möglich, guten
Gebrauch von der überlegenen
Eigenschaft des vorstehenden PZT-Materials [generische Bezeichnung
für ein
Oxyd einer Pb(Zr,Ti)O3-basierten Perovskitstruktur]
als Piezoelektrikum zu machen, um das Leistungsvermögen als
ein Aktuator eines Injektors usw. zu verbessern.
-
Als die innere Elektrodenschicht
ist es möglich,
ein Metall zu verwenden, das zumindest eines von Ag, Pd, Pt, Cu
und Ni oder eine Legierung derselben einschließt.
-
Ferner werden die vorstehenden piezoelektrischen
Aktuatoren bevorzugt für
Injektoren bzw. Einspritzdüsen
verwendet.
-
In diesem Fall kann die überlegene
Dauerhaftigkeit der piezoelektrischen Aktuatoren ausreichend gezeigt
werden.
-
Die Erfindung wird unter Bezugnahme
auf ihre Beispiele weiter beschrieben. Es wird jedoch angemerkt,
daß die
Erfindung nicht auf diese Beispiele beschränkt ist.
-
Beispiel 1
-
Als Nächstes wird der piezoelektrische
Aktuator gemäß einem
Ausführungsbeispiel
der Erfindung unter Verwendung der 1 bis 16 erklärt.
-
Der piezoelektrische Aktuator 1 dieses
Beispiels besteht aus zumindest zwei piezoelektrischen Elementeinheiten 15,
von denen jede aus piezoelektrischen Keramikschichten 151 und
inneren Elektrodenschichten 153 und 154 besteht,
die abwechselnd gestapelt sind, wie in 7 gezeigt ist, und an den Oberflächen an den äußersten
Seiten in der Stapelrichtung, das heißt den Bondoberflächen 155,
gebondet sind, um die gebondeten Tei le wie in 1 bis 3 gezeigt
zu erzeugen. Jede piezoelektrische Elementeinheit 15 besteht aus
nicht mehr als 50 der zusammengestapelten piezoelektrischen Keramikschichten 151.
Die gebondeten Keramikschichten 115, die zwischen jeweils
zwei aneinandergrenzenden inneren Elektrodenschichten 153 und 154 liegen
und beiderseits eines gebondeten Teils 13 liegen, sind
inaktiv.
-
Als Nächstes wird ein piezoelektrischer
Aktuator dieses Beispiels unter Verwendung der 1 bis 3 im
Einzelnen erklärt.
-
Wie in den 1 bis 3 gezeigt
ist, weist der piezoelektrische Aktuator (Probe E1) 1 des
vorliegenden Beispiels ein gebondetes piezoelektrische Einheitselement 11 auf,
das aus 20 piezoelektrischen Elementeinheiten 15 besteht,
die an gebondeten Teilen 13 gebondet sind. Jede piezoelektrische
Elementeinheit 15 besteht aus abwechselnd zusammengestapelten
piezoelektrischen Keramikschichten 151, die aus einem PZT-basierten
Material bestehen, und inneren Elektrodenschichten 153 und 154,
die aus Ag und Pd bestehen. Aus Gründen der Zweckmäßigkeit
der Erstellung der Figuren zeigen die Figuren nicht die Einzelheiten,
sondern die Anzahl gestapelter Schichten der aktiven piezoelektrischen
Keramikschichten 151, die als piezoelektrische Elemente
in jeder piezoelektrischen Elementeinheit 15 bis 20 dienen.
-
Jede der Elektrodenschichten 153 und 154 ist
so ausgestaltet, daß sie
nur eine Seitenoberfläche
der piezoelektrischen Keramikschichten 151 erreicht. Ferner
sind die Seitenoberflächen
jeder piezoelektrischen Elementeinheit 15 mit externen
Elektroden 5 und 6 versehen, die aus Ag bestehen
und so mit externen Leistungsquellen mit unterschiedlichen Potentialen
verbunden sind, daß sie
zu beiden Seiten derselben liegen. An den Seitenoberflächen jeder
piezoelektrischen Elementeinheit 15 sind die inneren Elektrodenschichten 153 und 154 abwechselnd
elektrisch mit den externen Elektroden 5 und 6 in
der Stapelrichtung verbunden. Daher sind bei dem piezoelektrischen
Aktuator zwei aneinandergrenzende innere Elektrodenschichten 153 und 154 mit
externen Elektroden mit unterschiedlichen Potentialen verbunden.
-
Ferner weist, wie in 1 und 2 gezeigt
ist, der piezoelektrische Aktuator 1 dieses Beispiels aus Aluminiumoxid
hergestellte Verbindungselemente 5 mit einem größeren Elastizitätsmodul
als die piezoelektrischen Elementeinheiten 15 an den äußersten
Enden des piezoelektrischen Einheitselements 11 in der
Stapelrichtung auf.
-
Das piezoelektrische Einheitselement 11 und
Verbindungselemente 4 weisen zwischen sich gelegt Puffereinheiten
2 zum Abpuffern der inneren Belastung des piezoelektrischen Einheitselements 11 und
nicht mit Spannung versorgte Blindeinheiten 3 mit einem
Elastizitätsmodul
kleiner als der der Verbindungselemente auf. Die Puffereinheiten 2 und
die Blindeinheiten 3 bestehen aus einem PZT-basierten Material,
das dasselbe ist wie das der piezoelektrischen Keramikschichten 151 der
piezoelektrischen Elementeinheiten 15.
-
Jede Puffereinheit 2 besteht,
wie in 1, 2 und 9 gezeigt ist, aus piezoelektrischen
Keramikschichten 151 und inneren Elektrodenschichten 253 und 254.
In jeder Puffereinheit ist die Dicke einer als piezoelektrisches
Element aktiven piezoelektrischen Keramikschicht 251 im
wesentlichen dieselbe wie die einer piezoelektrischen Keramikschicht 151 in
einer piezoelektrischen Elementeinheit 15 auf der Seite
des piezoelektrischen Einheitselements 11, und ist größer als
die einer piezoelektrischen Keramikschicht 151 in einer piezoelektrischen
Elementeinheit 15 auf der Seite des Verbindungselements.
Ferner weist jede Puffereinheit 2 externe Elektroden 5 und 6 auf,
die die Seitenoberflächen
der Puffereinheit auf dieselbe Art und Weise wie bei einer piezoelektrischen
Elementeinheit 15 zwischen sich einschließen. Diese
externen Elektroden 5 und 6 sind mit den inneren
Elektrodenschichten 253 und 254 verbunden.
-
Ferner besteht, wie in 1 und 2 gezeigt ist, jede Blindeinheit 3 aus
piezoelektrischen Keramikschichten ähnlich den piezoelektrischen
Keramikschichten 151 in einer piezoelek trischen Elementeinheit 15 und
den piezoelektrischen Keramikschichten 251 in einer Puffereinheit 2,
weist aber keine inneren Elektrodenschichten wie eine piezoelektrische
Elementeinheit 15 und eine Puffereinheit 2 auf.
-
Als Nächstes wird das Verfahren zur
Herstellung eines piezoelektrischen Aktuators gemäß diesem Beispiel
unter Verwendung der 1 bis 9 erklärt.
-
Der piezoelektrische Aktuator dieses
Beispiels kann unter Verwendung des weithin benutzten Verfahrens
ungebrannter Platten (green sheet method) produziert werden. Die
ungebrannten Platten werden wie folgt vorbereitet:
Das heißt, zunächst wird
ein bekanntes Verfahren dazu verwendet, Pulver aus Zinkoxid, Zirkoniumoxid,
Titanoxid, Nioboxid, Strontiumkarbonat usw., die Hauptzutaten des
piezoelektrischen Materials bilden, abzuwiegen, um eine gewünschte Zusammensetzung
zu erhalten. In diesem Beispiel erfolgt dies so, daß die endgültige Zusammensetzung
zu sogenanntem PZT (Blei Zirkonat Titanat) wird. Ferner werden unter
Berücksichtigung
der Verdampfung von Blei die Materialien so vorbereitet, daß sie um
1 bis 2% reicher als das stöchiometrische
Verhältnis
der Zusammensetzung sind. Diese Materialien werden mittels einem
Mischer trocken gemischt und dann bei 800 bis 950°C kalziniert.
-
Als Nächstes wird dem kalzinierten
Pulver reines Wasser und ein Dispergiermittel hinzugefügt, um einen
Brei zu erzeugen, und wird dann mittels einer Kugelmühle naß pulverisiert.
Das pulverisierte Material wird dann getrocknet, entfettet, mit
einem Lösungsmittel,
einem Binder, einem Plasticizer, einem Dispergiermittel usw. ergänzt und
mittels einer Kugelmühle
gemischt. Als Nächstes
wird diesem Brei, während
er mittels einem Rührer
gerührt
wird, unter Vakuum Luft entzogen, und wird dieser hinsichtlich der
Viskosität
eingestellt.
-
Als Nächstes wird der Brei mittels
einem Doctor Blade- bzw. Abziehklingensystem zu einer ungebrannten
Platte einer konstanten Dicke ausgeformt.
-
Die resultierende ungebrannte Platte
wird mittels einer Presse gestanzt oder mittels einem Schneider geschnitten,
um rechteckförmige
Platten vorbestimmter Größen zu erhalten.
-
Als Nächstes wird zum Beispiel, wie
in 4 gezeigt ist, eine
Silber- und Palladiumpaste mit einem Verhältnis von Silber/Palladium
von 7/3 (nachstehend in Kurzform als "Ag/Pd-Paste" bezeichnet) dazu verwendet, eine Struktur
bzw. ein Muster auf eine Oberfläche
jeder der ausgeformten ungebrannten Platten 7 mittels Raster-
bzw. Siebdruck zu drucken. 4 zeigt
ein Beispiel einer ungebrannten Platte nach dem Drucken einer Elektrodenstruktur.
-
Die Oberfläche jeder ungebrannten Platte 7 ist über ihre
gesamte Oberfläche
mit einer Struktur ausgebildet, die etwas kleiner ist als sie. Dies
wird als die innere Elektrodenschicht 153 (154)
verwendet. Eine von zwei gegenüberliegenden
Seiten der Oberfläche
der ungebrannten Platte 7 ist mit einem nicht ausgestalteten Teil 75 versehen,
an dem die innere Elektrodenschicht 153 (154)
nicht ausgebildet ist. Das heißt,
die innere Elektrodenschicht 153 (154) ist so
angeordnet, daß sie
ein Ende einer von zwei sich gegenüberliegenden Seiten der ungebrannten
Platte 7 (den der Seitenoberfläche des piezoelektrischen Aktuators
entsprechenden Abschnitt) nicht erreicht, während die innere Elektrodenschicht 153 (154)
das Ende der anderen gegenüberliegenden
Seite erreicht.
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Eine vorbestimmte Anzahl von ungebrannten
Platten 7, die mit dieser inneren Elektrodenschicht 153 ausgebildet
sind, wird auf der Grundlage der erforderlichen Spezifikation des
Ausmaßes
der Verschiebung des piezoelektrischen Einheitselements 11 und
der Puffereinheiten 2 vorbereitet. Ferner wird auch die
notwendige Anzahl von ungebrannten Platten 7, die nicht
mit inneren Elektrodenschichten 153 (154) bedruckt
sind, vorbereitet.
-
Als Nächstes werden diese ungebrannten
Platten 7 wie in 5 gezeigt
gestapelt. Zu dieser Zeit werden sie so gestapelt, daß die ungeformten
bzw. nicht ausgestalteten Enden 75 abwechselnd an der linken
Seite und der rechten Seite in der Figur positioniert werden.
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Einundzwanzig (21) ungebrannte
Platten, die mit inneren Elektrodenschichten 153 (154)
ausgebildet sind, werden auf diese Art und Weise zusammengestapelt,
dann werden ungebrannte Platten, die nicht mit inneren Elektrodenschichten 153 (154)
ausgebildet sind, an der Oberseite und an der Unterseite überlagert, um
einen Stapel 70 zu erzeugen, der aus insgesamt 30 ungebrannten
Platten besteht, wie in 6 gezeigt
ist. Es wird angemerkt, daß 6 einen Stapel zeigt, in
dem gewisse gestapelte Schichten aus Gründen der Zweckmäßigkeit
bei der Erstellung der Figur weggelassen sind.
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Als Nächstes wird der Stapel 70 heißpressgebondet,
dann mittels einem elektrischen Ofen bei einer Temperatur von 400
bis 700°C
entfettet, bei einer Temperatur von 900 bis 1200°C gebrannt, und dann zu einer gewünschten
Form geschliffen. Aufgrund dessen werden die ungebrannten Keramikplatten 7 zu
piezoelektrischen Keramikschichten 151, und wird eine piezoelektrische
Elementeinheit 15, die aus piezoelektrischen Keramikschichten 151 und
inneren Elektrodenschichten 153 und 154 besteht,
die abwechselnd gestapelt sind, wie in 7 gezeigt erhalten. Diese piezoelektrische
Elementeinheit 15 hat 20 piezoelektrische Keramikschichten,
die als piezoelektrische Elemente aktiv sind. Derselben Routine
wie vorstehend wird gefolgt, um 20 solcher piezoelektrischer Elementeinheiten 15 vorzubereiten.
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Der Parallelitätswert der Bondoberflächen 155 jeder
der piezoelektrischen Elementeinheiten 15 wurde in Übereinstimmung
mit dem in JIS-B0621-1984 festgelegten Verfahren gemessen, woraufhin,
wie in der später
erwähnten
Tabelle 1 gezeigt ist, der Parallelitätswert kleiner als 0,05 mm
war.
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Hier wird der Parallelitätswert der
Bondoberflächen
einer piezoelektrischen Elementeinheit 15 unter Verwendung
von 8 erklärt. 8 ist eine Ansicht einer
piezoelektrischen Elementeinheit von einer Seitenoberfläche aus
gesehen.
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Wie in der Figur gezeigt ist, bilden
die beiden Enden der piezoelektrischen Elementeinheit 15 in
der Stapelrichtung zwei Bondoberflächen 155a und 155b,
die als Bondoberflächen
zum Bonden mit anderen piezoelektrischen Elementeinheiten dienen.
Der Parallelitätswert
dieser Bondoberflächen
ist der Parallelitätswert einer
Bondoberfläche 155a (oder 155b)
in Bezug auf eine andere Bondoberfläche 155b (oder 155a)
aus den zwei Bondoberflächen 155a und 155b an
den beiden Enden der piezoelektrischen Elementeinheit 15 in
der Stapelrichtung. Das heißt
in 8 wird dann, wenn
eine Linie im wesentlichen parallel zu einer Bondoberfläche 155b als
Linie A bezeichnet wird, die durch den an der anderen Bondoberfläche 155a am
weitesten hervorstehenden Abschnitt und parallel zu der Linie A
verlaufende Linie als Linie A1 bezeichnet wird, und die durch den
an der Bondoberfläche 155a durch
den am weitesten zurücktretenden
Abschnitt und parallel zu der Linie A verlaufende Linie als Linie
A2 bezeichnet wird, der Abstand X zwischen den Linien A1 und A2
zu dem Parallelitätswert.
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Als Nächstes wurden Sätze aus
19 ungebrannten Platten, die mit inneren Elektrodenschichten ähnlich denjenigen,
die bei der Herstellung der vorstehenden piezoelektrischen Elementeinheiten
ausgebildet waren, gestapelt, um Stapel für Puffereinheiten zu erzeugen.
In jedem Puffereinheitsstapel wurden ungebrannte Platten, die nicht
mit inneren Elektrodenschichten ausgebildet waren, für den Teil
zweier Schichten auf der die Seite des Verbindungselements bildenden
Seite nach der Montage des piezoelektrischen Aktuators zwischengelegt,
um die Dicke der Seite des Verbindungselements zu dem Zweifachen
der einer piezoelektrischen Keramikschicht einer piezoelektrischen
Elementeinheit zu machen. Ferner wurden ungebrannte Platten, die
nicht mit inneren Elektrodenschichten ausgebildet waren, weiter
an der äußersten
Seite der Seite des Verbindungselements gestapelt.
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Als Nächstes wurden diese Puffereinheitsstapel
heißpressgebondet,
entfettet, und dann gebrannt, auf dieselbe Art und Weise wie die
vorstehenden, um Puffereinheiten 2 wie in 8 gezeigt herzustellen.
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Als Nächstes wurden Sätze aus
20 ungebrannten Platten, die nicht mit inneren Elektrodenschichten ausgebildet
waren, gestapelt, um Stapel für
Blindeinheiten herzustellen. Diese Blindeinheitenstapel wurden dann
heißpressgebondet,
entfettet, und dann gebrannt, auf dieselbe Art und Weise wie die
vorstehenden, um Blindeinheiten 3 zu erhalten.
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Ferner wurden Verbindungselemente 4 durch
maschinelles Bearbeiten von gesinterten Aluminiumoxidblöcken auf
die gewünschten
Formen hergestellt.
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Als Nächstes wurden die so hergestellten
piezoelektrischen Elementeinheiten 15, die Puffereinheiten 2,
die Blindeinheiten 3 und die Verbindungselemente 4 gestapelt,
um einen in den 1 bis 3 gezeigten piezoelektrischen
Aktuator auf die folgende Art und Weise herzustellen.
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Im Einzelnen wurden zunächst aus
Ag bestehende externe Elektroden 5 und 6 so erzeugt,
daß diese Seitenoberflächen der
piezoelektrischen Elementeinheiten 15 und der Puffereinheiten 2 zwischen
sich einschlossen.
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Die externen Elektroden 5 werden
an den Positionen der piezoelektrischen Elementeinheiten 15 und der
Puffereinheiten 2 ausgebildet, an denen die inneren Elektrodenschichten 153 oder
inneren Elektrodenschichten 253 einer der Polaritäten freigelegt
sind und die inneren Elektrodenschichten 153 oder inneren
Elektrodenschichten 253 leitend verbinden.
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Die externen Elektroden 6 werden
an den Positionen ausgebildet, an denen die inneren Elektrodenschichten 154 oder
inneren Elektrodenschichten 254 der anderen der Polaritäten freigelegt
sind und die inneren Elektrodenschichten 154 oder inneren
Elektrodenschichten 254 leitend verbinden.
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Als Nächstes werden die inneren Elektrodenschichten 153 und 154 der
piezoelektrischen Elementeinheiten 15 und die inneren Elektrodenschichten 154 und 254 der
Pufferschichten, die mit den externen Elektroden ausgebildet sind,
mit einer Gleich spannung aus den externen Elektroden 5 und 6 zur
Polarisation versorgt.
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Als Nächstes werden, wie in den 1 bis 3 gezeigt ist, 20 der so polarisierten
piezoelektrischen Elementeinheiten 15 an den Bondoberflächen 155 gestapelt,
werden Puffereinheiten 2 an den beiden Enden gestapelt,
werden erneut Blindeinheiten 2 an den beiden Enden gestapelt,
und werden erneut Verbindungselemente 4 an den beiden Enden
gestapelt. Zu dieser Zeit werden, wie in 3 gezeigt ist, diese so gestapelt, daß die beiden
aneinandergrenzenden inneren Elektrodenschichten 153 und 154,
die jeden gebondeten Teil 13 zwischen sich einschließen, gegenüberliegende
Seitenoberflächen
erreichen.
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Auf diese Art und Weise wurde ein
piezoelektrischer Aktuator 1 wie in den 1 bis 3 gezeigt hergestellt.
Dieser wurde als die Probe E1 verwendet.
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Bei dem piezoelektrischen Aktuator 1 der
Probe E1 war die elektrische Feldstärke der gebondeten Keramikschichten 115 im
Wesentlichen 0. Das heißt,
diese lag unterhalb des koerzitiven elektrischen Felds des piezoelektrischen
Einheitselements. Die elektrische Feldstärke der gebondeten Keramikschichten
und das koerzitive elektrische Feld des piezoelektrischen Einheitselements
wurden mittels den vorstehenden Verfahren berechnet.
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Ferner wurde in diesem Beispiel ein
piezoelektrischer Aktuator 1, der durch Bonden der vorstehenden piezoelektrischen
Elementeinheiten 15 mittels einem Silikon-basierten Harzbinder
und Ausbilden einer Harzisolationsschicht 135 an jedem
gebondeten Teil 13 wie in 13 gezeigt
erhalten wurde, hergestellt. Dieser wurde als die Probe E2 bezeichnet.
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Die Probe E2 ist dieselbe wie die
Probe E1, mit der Ausnahme, daß sie
eine Harzisolationsschicht 135 an jedem gebondeten Teil 13 aufweist.
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Ferner wurden in diesem Beispiel
piezoelektrische Aktuatoren mittels demselben Verfahren dem wie für die Probe
E1 hergestellt, aber die Anzahl gestapelter Schichten der piezoelek trischen
Keramikschichten, die in den piezoelektrischen Elementeinheiten
als piezoelektrische Keramikschichten aktiv sind, das Vorhandensein
von Harzisolationsschichten, der Parallelitätswert der Bondoberflächen der
piezoelektrischen Elementeinheiten, oder das Vorhandensein von Blindeinheiten
und Puffereinheiten wurden geändert.
Diese wurden als Proben E3 bis E19 bezeichnet. Einzelheiten sind
in der später
angegebenen Tabelle 1 gezeigt.
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Als Nächstes wurde Spannung an die
Proben E1 bis E19 und die Probe C1 angelegt, um die Dauerhaftigkeiten
der Proben wie vorstehend erklärt
zu untersuchen.
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Zunächst wurden 10 Stücke jeder
der Proben E1 bis E19 und der Probe C1 vorbereitet. Diese wurden durch
eine positive Spannung, ohne Anlegen einer negativen Spannung, für 2 × 108 Zyklusbetriebstests angesteuert. Die Anzahl
von Stücken,
die während
des Betriebs Kurzschlüssen
unterlagen, wurde gezählt.
Die Proben wurden als "gut" beurteilt, wenn
keine Kurzschlüsse
auftraten, als "brauchbar", wenn Kurzschlüsse in einigen
auftraten, und als "schlecht", wenn Kurzschlüsse in allen
auftraten. Ferner wurde die Anzahl von Betriebsabläufen, bis
Kurzschlüsse
auftraten, für
die Proben E2 und E7 bis E12 gemessen.
-
Die Ergebnisse sind in Tabelle 1
gezeigt.
-
-
Wie aus Tabelle 1 ersichtlich ist,
erfüllen
die Proben E1 bis E19 zumindest eines der Erfordernisse aus den
Bedingungen, daß die
elektrische Feldstärke
der gebondeten Keramikschichten in Bezug auf das koerzitive elektrische
Feld der piezoelektrischen Elementeinheiten nicht größer ist
als 1,0 und die gebondeten Keramikschichten inaktiv sind, daß Harzisolationsschichten
vorhanden sind und die gebondeten Keramikschichten inaktiv sind,
daß der
Parallelitätswert
der Bondoberflächen
nicht größer als
0,1 ist, daß Puffereinheiten
zum Abpuffern der inneren Belastung der piezoelektrischen Einheitselemente
vorhanden sind, und daß Blindeinheiten
mit einem kleineren Elastizitätsmodul
als der der Verbindungselemente vorhanden sind. Ferner können diese
piezoelektrischen Aktuatoren zumindest 2 × 108 Mal
nahezu ohne Kurzschlüsse
arbeiten und waren daher hinsichtlich der Dauerhaftigkeit überlegen.
Daher sind sie besonders für
Anwendungen wie beispielsweise Injektoren geeignet.
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Andererseits litt, wie der Tabelle
1 zu entnehmen ist, die Probe C1, die keine der vorstehenden Bedingungen
erfüllte,
an Kurzschlüssen
in allen der 10 Stücke
während
des Betriebs für
2 × 108 Ma1.
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Ferner bestand in den Proben E1 bis
E14 und den Proben E17 bis E19 jede piezoelektrische Elementeinheit
aus nicht mehr als 50 piezoelektrischen Keramikschichten. Daher
konnte eine zur Zeit des Anlegens von Spannung auftretende Belastung
unterdrückt
werden, und konnte das Auftreten von Rissen in den piezoelektrischen
Elementeinheiten wirkungsvoll unterdrückt werden.
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Ferner bestand in den Proben E1 bis
E17 und der Probe E19 die piezoelektrische Elementeinheit aus zumindest
sechs piezoelektrischen Keramikschichten. Wenn die Anzahl gestapelter
Schichten der piezoelektrischen Elementeinheit sechs oder mehr beträgt, wird
das Ausmaß der
Verformung der gebondeten Keramikschichten oder der Keramikschichten
an den äußersten
Seiten der piezoelektrischen Elementeinheit in der Stapelrichtung,
das heißt
an den äußersten
Keramikschichten, größer. Daher
besteht die Gefahr, daß eine
lokale Beschädigung
an den gebondeten Oberflächen
der piezoelektrischen Elementeinheiten oder der gebondeten Oberfläche des
piezoelektrischen Einheitselements mit einem anderen Element wie
beispielsweise einem Verbindungselement auftritt.
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Bei den Proben E1 bis E17 und der
Probe E19 ist jedoch zumindest eines der Erfordernisse aus den Bedingungen,
daß die
elektrische Feldstärke
der gebondeten Keramikschichten in Bezug auf das koerzitive elektrische
Feld der piezoelektrischen Elementeinheiten nicht größer ist
als 1,0 und die gebondeten Keramikschichten inaktiv sind, daß Harzisolationsschichten
vorhanden sind und die gebondeten Keramikschichten inaktiv sind,
daß der
Parallelitätswert
der Bondoberflächen
nicht größer als
0,1 ist, daß Puffereinheiten
zum Abpuffern der inneren Belastung der piezoelektrischen Einheitselemente
vorhanden sind, und daß Blindeinheiten mit
einem kleineren Elastizitätsmodul
als der der Verbindungselemente vorhanden sind, erfüllt. Daher
kann eine Beschädigung
an den gebondeten Oberflächen
unterdrückt
werden, und ist die Dauerhaftigkeit überlegen, wie in der Tabelle
1 gezeigt ist.
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Ferner ist, wie der Tabelle 1 entnehmbar
ist, wenn die Probe E1, die Probe E7, die Probe E10 und die Probe
E11 verglichen werden, unter anderweitig denselben Bedingungen,
die kleinste Anzahl von Betriebsabläufen ohne Kurzschlüsse um so
größer und
die Dauerhaftigkeit um so besser, je kleiner der Parallelitätswert ist.
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Ferner wiesen die piezoelektrischen
Aktuatoren der Proben E1 bis E8, der Probe E10, der Probe E11 und
der Proben E13 bis E19 Puffereinheiten auf. Wie in 9 gezeigt ist, hat jede Puffereinheit 9 eine
piezoelektrische Keramikschicht 251 mit einer Dicke im
wesentlichen gleich der einer piezoelektrischen Keramikschicht in
einer piezoelektrischen Elementeinheit auf der Seite des piezoelektrischen
Einheitselements 11, und hat eine piezoelektrische Keramikschicht
mit einer Dicke des Zweifachen einer piezoelektrischen Keramikschicht
in einer piezoelektrischen Elementeinheit auf der Seite des Verbindungselements 4.
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Daher ist das Ausmaß der Verschiebung
pro Einheitslänge
der Puffereinheit 2 kleiner als das Ausmaß der Verschiebung
pro Einheitslänge
einer piezoelektrischen Elementeinheit auf der Seite des Verbindungselements
und im wesentlichen dasselbe wie das Ausmaß der Verschiebung pro Einheitslänge des
piezoelektrischen Einheitselements auf der Seite des piezoelektrischen
Einheitselements. Daher ist es möglich,
das Auftreten von Rissen an der Innenseite des piezoelektrischen
Aktuators wirkungsvoller zu verhindern.
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Wie vorstehend erklärt wurde,
wurde in diesem Beispiel, wie in 9 gezeigt
ist, Gebrauch von einer Puffereinheit mit der doppelten Dicke der
piezoelektrischen Keramikschicht 251 auf der Seite des
Verbindungselements gemacht. Darüber
hinaus ist es auch möglich,
eine Puffereinheit 2 zu verwenden, die mit piezoelektrischen
Keramikschichten 251 wie in den 10 bis 12 gezeigt
konfiguriert ist.
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Das heißt, die in 10 gezeigte Puffereinheit 2 hat
eine piezoelektrische Keramikschicht 251 mit einer Dicke
im wesentlichen gleich der einer piezoelektrischen Keramikschicht
in einer piezoelektrischen Elementeinheit auf der Seite des piezoelektrischen
Einheitselements und vergrößert die
Dicken von zwei der piezoelektrischen Keramikschichten 251,
die als piezoelektrische Elemente auf der Seite des Verbindungselements
aktiv sind, über
der Seite des piezoelektrischen Einheitselements. Ferner ist unter
diesen zwei Schichten die Schicht an der äußersten Seite auf der Seite
des Verbindungselements mit dem Zweifachen der Dicke der piezoelektrischen
Keramikschicht auf der Seite des piezoelektrischen Einheitselements
ausgestaltet, während
die andere mit dem 1,5-fachen der Dicke der piezoelektrischen Keramikschicht
auf der Seite des piezoelektrischen Einheitselements ausgestaltet
ist.
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Ferner hat die in 11 gezeigte Puffereinheit 2 eine
piezoelektrische Keramikschicht 251 mit einer Dicke im
wesentlichen gleich der einer piezoelektrischen Keramikschicht in
einer piezoelektrischen Elementeinheit auf der Seite des piezoelektrischen
Einheitselements, und hat eine piezoelektrische Kera mikschicht 251,
die als ein piezoelektrisches Element inaktiv ist und eine Dicke
größer als
die der piezoelektrischen Keramikschicht auf der Seite des piezoelektrischen
Einheitselements auf der Seite des Verbindungselements hat.
-
Ferner hat die in 12 gezeigte Puffereinheit 2 eine
piezoelektrische Keramikschicht 251 mit einer Dicke im
wesentlichen gleich der einer piezoelektrischen Keramikschicht in
einer piezoelektrischen Elementeinheit auf der Seite des piezoelektrischen
Einheitselements, vergrößert die
Dicke von zwei der piezoelektrischen Keramikschichten 251,
die als piezoelektrische Elemente aktiv sind, auf der Seite des
Verbindungselements, auf das Zweifache der Dicke der piezoelektrischen
Keramikschicht 251 auf der Seite des piezoelektrischen
Einheitselements, und hat eine piezoelektrische Keramikschicht 251,
das als ein piezoelektrisches Element inaktiv ist und eine Dicke
größer als
die der piezoelektrischen Keramikschicht auf der Seite des piezoelektrischen
Einheitselements auf der Seite des Verbindungselements auf der äußersten
Seite der Seite des Verbindungselements hat.
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Die Formen von piezoelektrischen
Keramikschichten 151 und der an den piezoelektrischen Keramikschichten 151 ausgebildeten
inneren Elektrodenschichten 153 und 154 in dem
piezoelektrischen Aktuator 1 dieses Beispiels sind in den 14(A) und (B) gezeigt.
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Wie in 14 gezeigt
ist, weist eine piezoelektrische Keramikschicht 151 vier
abgeschrägte
Ecken 159 auf und hat eine im wesentlichen hexagonale Querschnittsform.
Die an einer piezoelektrischen Keramikschicht 151 ausgebildeten
inneren Elektrodenschichten 153 und 154 erreichen
ein Ende an den ausgebildeten beiden gegenüberliegenden Seiten nicht,
wodurch nicht ausgestaltete Teile 75 erzeugt werden. Das
andere Ende und die Enden der gegenüberliegenden Seiten, die nicht
mit den externen Elektroden 5 und 6 ausgebildet
sind, haben freiliegende Elektrodenteile 157 und 158,
an denen die innere Elektrodenschicht 153 und die innere
Elektrodenschicht 154 freiliegen.
-
In diesem Beispiel wurden innere
Elektrodenschichten 153 und 154 der in 14 gezeigten Formen erzeugt,
jedoch können
die inneren Elektrodenschichten 153 und 154 mit Änderungen
der Formen erzeugt werden. Ferner hängen die piezoelektrischen
Aktuatoren dieses Beispiels (Proben E1 bis E12) nicht von den Formen
der piezoelektrischen Keramikschichten ab und können auch dann zu ähnlichen
Wirkungen führen, wenn
diese geändert
werden.
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Ferner wurden in diesem Beispiel
innere Elektrodenschichten sogenannter "Teilelektrodenstrukturen" so erzeugt, daß nicht
ausgestaltete Teile an den piezoelektrischen Keramikschichten wie
vorstehend erklärt ausgebildet
wurden; jedoch ist es wie in den 15(A) und (B) gezeigt auch möglich, innere Elektrodenschichten 152 sogenannter "Vollelektrodenstrukturen" so zu erzeugen,
daß die
gesamten Oberflächen
der piezoelektrischen Keramikschichten 151 bedeckt werden.
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In diesem Fall wird ein Isolationselement 8 an
einem der Teile erzeugt, an denen die innere Elektrodenschicht zu
der externen Elektrode 5 und der externen Elektrode 6 verbindet,
um zu ermöglichen,
daß zwei aneinandergrenzende
innere Elektrodenschichten 152 in einer piezoelektrischen
Elementeinheit abwechselnd mit externen Elektroden 5 und 6 unterschiedlicher
Potentiale verbunden werden, auf dieselbe Art und Weise wie in dem
Fall der inneren Elektrodenschichten der vorstehenden Teilelektrodenstrukturen.
-
Hier ist 16 eine Schnittansicht des Bereichs nahe
einem gebondeten Teil 13 eines piezoelektrischen Aktuators 1 mit
inneren Elektrodenschichten 152 von Vollelektrodenstrukturen.
-
Wie in 16 gezeigt
ist, hat jede innere Elektrodenschicht 152 ein Isolationselement 8 an
einem der mit der externen Elektrode 5 und der externen
Elektrode 6 verbindenden Teile so, daß nur die externe Elektrode 5 oder
die externe Elektrode 6 mit ihm verbunden wird.
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Dieses Isolationselement 8 trennt
die elektrische Verbindung zwischen der externen Elektrode 5 oder 6 und
der inneren Elek trodenschicht 152. Daher werden zwei aneinandergrenzende
innere Elektrodenschichten 152 in einer piezoelektrischen
Elementeinheit 15 mit einer externen Elektrode 5 und
einer externen Elektrode 6 unterschiedlicher Potentiale
verbunden. Infolgedessen ist es möglich, Wirkungen ähnlich zu
einem piezoelektrischen Aktuator mit inneren Elektrodenschichten
von Teilelektrodenstrukturen wie vorstehend erklärt zu erhalten.
-
Beispiel 2
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Dieses Beispiel ist ein Beispiel
der Herstellung eines piezoelektrischen Aktuators, bei dem zwei
aneinandergrenzende innere Elektrodenschichten, die einen gebondeten
Teil zwischen sich einschließen,
mit Elektroden von im wesentlichen gleichen Potentialen verbunden
sind.
-
Bei dem piezoelektrischen Aktuator
dieses Beispiels sind, wie in 17 gezeigt
ist, zwei aneinandergrenzende innere Elektrodenschichten 154,
die einen gebondeten Teil 13 zwischen sich einschließen, mit Elektroden
von im wesentlichen gleichem Potential verbunden. Der Rest der Konfiguration
ist derselbe wie bei der Probe E1 von Beispiel 1.
-
Bei der Herstellung eines piezoelektrischen
Aktuators 1 dieses Beispiels wurden zunächst auf dieselbe Art und Weise
wie in Beispiel 1 20 piezoelektrische Elementeinheiten 15 wie
in 7 gezeigt vorbereitet.
-
Ferner wurden auf dieselbe Art und
Weise wie bei der Probe E1 von Beispiel 1 Puffereinheiten, Blindeinheiten
und Verbindungselemente vorbereitet.
-
Als Nächstes wurden die piezoelektrischen
Elementeinheiten und die Puffereinheiten mit externen Elektroden 5 und 6 versehen,
auf dieselbe Art und Weise wie die Probe E1 von Beispiel 1, und
wurden ferner auf dieselbe Art und Weise wie die Probe 1 von
Beispiel 1 polarisiert. Als Nächstes
wurden 20 mit externen Elektroden 5 und 6 versehene
piezoelektrische Elementeinheiten 15 an ihren Bondoberflächen gestapelt,
und wurden dann Puffereinheiten, Blindeinheiten und Verbindungselemente
an den beiden Enden aufgestapelt, auf dieselbe Art und Weise wie
bei der Probe E1 von Beispiel 1. Zu dieser Zeit wurden die piezoelektrischen
Elementeinheiten wie in 17 gezeigt
so gestapelt, daß die
beiden aneinandergrenzenden inneren Elektrodenschichten 153,
die den gebondeten Teil 13 zwischen sich einschließen, dieselbe
Seitenoberfläche
erreichten. Die piezoelektrischen Elementeinheiten 15 wurden
unter Verwendung eines Silikon-basierten Harzbinders gebondet.
-
Auf diese Art und Weise wurde ein
piezoelektrischer Aktuator 1 hergestellt.
-
Bei dem piezoelektrischen Aktuator 1 dieses
Beispiels sind, wie in 17 gezeigt
ist, die beiden aneinandergrenzenden inneren Elektrodenschichten 154,
die den gebondeten Teil 13 zwischen sich einschließen, mit
derselben externen Elektrode 6 verbunden.
-
Daher wird dann, wenn Spannung angelegt
wird, dasselbe elektrische Feld an die beiden aneinandergrenzenden
inneren Elektrodenschichten 154, die jeden gebondeten Teil 13 zwischen
sich einschließen,
angelegt.
-
Daher verschieben sich die gebondeten
Keramikschichten 115 zur Zeit des Anlegens von Spannung nicht
allzusehr, und sind in ihrem Zustand inaktiv. Ferner ist es in diesem
Fall möglich,
zu verhindern, daß Kurzschlüsse an den
gebondeten Teilen 13 auftreten, und zwar auch dann, wenn
die gebondeten Keramikschichten 115 beschädigt werden.
-
Ferner kamen, wie in 18 gezeigt ist, an den gebondeten Teilen 13 die
Bondoberflächen
der piezoelektrischen Elementeinheiten 15 teilweise in
direkten Kontakt, und wurden Harzschichten 138 an den gebondeten
Teilen 13 ausgebildet. Daher ist es möglich, den Verlust an Verschiebung
an den gebondeten Teilen und den Verlust an verursachter Belastung
zu reduzieren. Es wird angemerkt, daß in diesem Beispiel die Harzschichten 138 unter
Verwendung eines Silikon-basierten Binders, das heißt eines
elektrisch isolierenden Binders, erzeugt wurden, jedoch ist es in
dem vorliegenden Beispiel, wie vorstehend er klärt wurde, da die beiden aneinandergrenzenden
inneren Elektrodenschichten 154, die jeden gebondeten Teil 13 zwischen
sich einschließen,
mit Elektroden des im Wesentlichen gleichen Potentials verbunden
sind, nicht notwendigerweise erforderlich, einen Binder mit einer
Eigenschaft zur elektrischen Isolation zu verwenden.
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Beispiel 3
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Dieses Beispiel ist ein Beispiel
der Herstellung eines piezoelektrischen Aktuators, der so konfiguriert ist,
daß die
Dikken der äußersten
Keramikschichten der piezoelektrischen Elementeinheiten größer werden
als die Dicken der Antriebskeramikschichten.
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Bei dem piezoelektrischen Aktuator
dieses Beispiels sind, wie in 19 gezeigt
ist, die Dicken der Keramikschichten an den äußersten Seiten der piezoelektrischen
Elementeinheiten 15 in der Stapelrichtung, das heißt die äußersten
Keramikschichten 156, größer als die Dicken der zwischen
den inneren Elektroden in den piezoelektrischen Elementeinheiten
liegenden Keramikschichten, das heißt der Antriebskeramikschichten 151.
Der Rest der Konfiguration ist ähnlich
der der Probe E1 von Beispiel 1.
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Bei der Herstellung des piezoelektrischen
Aktuators dieses Beispiels wurden zunächst auf dieselbe Art und Weise
wie in Beispiel 1 20 piezoelektrische Elementeinheiten 15 vorbereitet.
Zu dieser Zeit wurden in diesem Beispiel wie in 20 gezeigt piezoelektrische Elementeinheiten 15 mit
Dicken der äußersten
Keramikschichten 156 größer als
die Dicken der Antriebskeramikschichten 151 in den piezoelektrischen
Elementeinheiten 15 vorbereitet.
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Als Nächstes wurden auf dieselbe
Art und Weise wie bei der Probe E1 von Beispiel 1 Puffereinheiten, Blindeinheiten
und Verbindungselemente vorbereitet.
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Als Nächstes wurden die piezoelektrischen
Elementeinheiten und die Puffereinheiten auf dieselbe Art und Weise
wie bei der Probe E1 von Beispiel 1 mit externen Elektroden versehen
und auf dieselbe Art und Weise wie bei der Probe E1 von Beispiel
1 polarisiert. Als Nächstes
wurden 20 mit externen Elektroden versehene piezoelektrische Elementeinheiten 15 an
ihren Bondoberflächen
gestapelt, und wurden auf dieselbe Art und Weise wie bei der Probe
E1 von Beispiel 1 Puffereinheiten, Blindeinheiten und Verbindungselemente
an den beiden Enden aufgestapelt. Auf diese Art und Weise wurde
ein piezoelektrischer Aktuator hergestellt.
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Bei dem piezoelektrischen Aktuator
dieses Beispiels waren, wie in 19 gezeigt
ist, die Dicken der äußersten
Keramikschichten 156 größer als
die Dicken der Antriebskeramikschichten 151. Daher ist
es möglich,
die Ausmaße
der Verformung der äußersten
Keramikschichten zu unterdrücken,
und möglich,
eine Beschädigung
der Bondoberflächen
der piezoelektrischen Elementeinheiten 15 weiter zu unterdrücken.
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Vorstehend wurde somit ein piezoelektrischer
Aktuator 1 beschrieben, mit einem piezoelektrischen Einheitselement 11,
das aus zumindest zwei piezoelektrischen Elementeinheiten 15 besteht,
von denen jede aus abwechselnd gestapelten piezoelektrischen Keramikschichten 151 und
inneren Elektrodenschichten 153 und 154 besteht,
die an ihren äußersten
Bondoberflächen
in der Stapelrichtung gebondet sind und gebondete Teile 13 bilden.
Jede piezoelektrische Elementeinheit 15 besteht aus nicht
mehr als 50 zusammengestapelten piezoelektrischen Keramikschichten 151.
Gebondete Keramikschichten 115, die zwischen zwei aneinandergrenzenden
inneren Elektrodenschichten 153 und 154 über einem
gebondeten Teil 13 liegen, sind inaktiv.