DE10145819C2 - Tooling for a work unit of microsystems - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Werkzeugbestückung für eine Ar­ beitseinheit von Mikrosystemen gemäß dem Oberbegriff des An­ spruches 1.The invention relates to a tooling for an Ar Processing unit of microsystems according to the preamble of the An saying 1.

Bei einer bekannten Werkzeugbestückung (DE 199 53 949 A1) um­ fasst die Arbeitseinheit einen Werkstückträger und einen Werk­ zeugträger, wobei der Werkzeugträger Bestandteil eines Greifer­ kopfes ist und als Revolver ausgebildet ist, dessen Arme end­ seitig in eine Überdeckungslage zum vom Werkstückträger getra­ genen Werkstück einschwenkbar sind. Das Werkstück liegt in der optischen Achse einer Beobachtungsoptik, der eine tubusartige, zur optischen Achse konzentrische Führung zugeordnet ist, die im Bereich des vom Werkstückträger getragenen Werkstückes en­ det. Der als Revolver ausgebildete Werkzeugträger weist im Ü­ berdeckungsbereich seines über das Werkstück eingeschwenkten Armes eine Durchgangsöffnung auf, und es ist diese Durchgangs­ öffnung an eine Druckquelle angeschlossen, so dass über den Re­ volver bei in die Durchgangsöffnung als Werkzeug eingesetztem Saugnapf ein Transport des Werkstückes vom und zum Werkstück­ träger durchgeführt werden kann. Insbesondere in Verbindung mit der Ausbildung des Werkstückträgers als eine Arbeitsinsel, die ihrerseits als Planet drehbar auf einem drehbaren Planetentisch angeordnet ist, ermöglicht eine derartige Konfiguration in günstiger Weise die Umsetzung von Werkstücken sowie auch deren Beobachtung und Kontrolle.With a known tooling (DE 199 53 949 A1) the work unit holds a workpiece carrier and a work tool carrier, the tool carrier being part of a gripper is head and is designed as a revolver, the arms of which end on one side in an overlap position to get from the workpiece carrier the workpiece can be swiveled in. The workpiece lies in the optical axis of observation optics, which is a tube-like, is assigned to the optical axis concentric guide that in the area of the workpiece carried by the workpiece carrier det. The tool carrier designed as a revolver has in general coverage area of its swiveled over the workpiece Armes up a through hole and it's this through hole opening connected to a pressure source, so that the Re volver when used as a tool in the through opening Suction cup for transporting the workpiece from and to the workpiece carrier can be carried out. Especially in connection with the formation of the workpiece carrier as a work island, the in turn as a planet rotatable on a rotating planet table is arranged such a configuration in the implementation of workpieces and theirs Observation and control.

Ein gegebenenfalls als Werkzeugbestückung für eine solche Ar­ beitseinheit nutzbarer Laserbearbeitungskopf ist aus der im O­ berbegriff des Anspruches 1 berücksichtigten US 4 027 137 be­ kannt. Dieser Laserbearbeitungskopf umfasst eine auf das Werkstück gerichtete, tubusartige Strahlführung, die gegen das Werkstück in einem Kopfteil ausläuft, das in Richtung auf das Werkstück nachgiebig abgestützt ist und, dem Werkstück zuge­ wandt, einen durch eine Apertur gebildeten Strahlformungsein­ satz aufweist, der am Werkstück anliegend eine flächige, gegen das Werkstück gerichtete Austrittsfläche aufweist. Bei einer derartigen Ausgestaltung können bereits nahezu unvermeidliche, auch kleine Toleranzen die angestrebte, möglichst verlustfreie Einleitung der Strahlungsenergie sowie deren Fokussierung be­ einträchtigen.A possibly as a tooling for such an Ar Processing unit usable laser processing head is from the in the O The preamble of claim 1 considered US 4,027,137 known. This laser processing head includes one on the workpiece  directed, tube-like beam guidance, which against the Workpiece runs out in a head part, which in the direction of the Workpiece is resiliently supported and the workpiece uses a beamforming formed by an aperture has a set, the flat against the workpiece, against the workpiece has a directed exit surface. At a such a design can already be almost inevitable, even small tolerances the desired, lossless as possible Initiation of the radiation energy and its focusing be harmonious.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Werkzeugbestü­ ckung der eingangs genannten Art im Hinblick auf eine möglichst verlustfreie Einleitung der Strahlungsenergie in das Werkstück auch bei etwaigen Toleranzen in der lagemäßigen Zuordnung von Werkstück und Strahlformungseinsatz weiterzubilden.The invention has for its object a tool stock Covering the type mentioned at the outset with regard to a possible lossless introduction of the radiation energy into the workpiece even with any tolerances in the positional assignment of To further develop the workpiece and beam shaping insert.

Erreicht wird dies gemäß der Erfindung mit den Merkmalen des Anspruches 1, da durch die taumelnde Abstützung des Strahlfor­ mungseinsatzes gegenüber dem Werkzeugträger eine Anpassung an gegebene Abweichungen in der Ausrichtung von Werkstück und Werkzeugträger ausgeglichen werden können und dies im Rahmen der abzugleichenden kleinen Toleranzen ohne signifikante Beein­ trächtigung der Arbeitsqualität. Von Bedeutung ist dies insbe­ sondere auch im Hinblick auf das Arbeitsspektrum bekannter Ar­ beitseinheiten von Mikrosystemen, die so ergänzend zu anderen Funktionen, wie beispielsweise der Werkstückauswahl, der Werk­ stückkontrolle und dem Werkstücktransport auch für die Werk­ stückbearbeitung eingesetzt werden können, so dass sich die Ar­ beitsdichte erhöht und gegebenenfalls auch die Zahl der einzu­ setzenden Arbeitseinheiten verringert. Hierzu trägt auch bei, dass die tubusartige Strahlführung mit unterschiedlichen Ener­ giestrahlern, wie z. B. Laserstrahlern, UV-Strahlern oder mit optischen Lichtquellen genutzt werden kann. This is achieved according to the invention with the features of Claim 1, because of the wobbling support of the Strahlfor an adjustment compared to the tool carrier given deviations in the alignment of workpiece and Tool carriers can be balanced and this in the frame the small tolerances to be adjusted without significant leg impact on quality of work. This is of particular importance Ar also known with regard to the range of work processing units of microsystems, so complementary to others Functions such as workpiece selection, the factory piece control and workpiece transport also for the factory piece processing can be used so that the Ar beits density increased and possibly also the number of to be lowering work units. This also helps that the tube-like beam guidance with different energy casting lamps, such as B. laser emitters, UV emitters or can be used with optical light sources.  

Die Abstützung des Strahlformungseinsatzes gegenüber dem Werk­ zeugträger erfolgt zweckmäßigerweise über einen Lagerring, der in seinem Verschiebeweg gegen das Werkstück anschlagbegrenzt im Werkzeugträger gleitgeführt ist, wobei die Abstützung zwi­ schen Strahlformungseinsatz und Lagerring bevorzugt als Gasla­ gerung ausgebildet sein kann. Hierzu können insbesondere sei­ tens des Lagerringes entsprechende, Gaspolster bildende, be­ vorzugt muldenförmige Ausformungen oder dergleichen vorgesehen sein, die mit dem vom Lagerring umschlossenen Innenraum in Verbindung stehen, der im Rahmen der Erfindung an eine Druck­ quelle angeschlossen ist, die bevorzugt als Unter- oder Überdruckquelle, insbesondere in der Ausbildung als Druck- und/oder Saugpumpe angeschlossen ist. Als Gas kann Luft, ins­ besondere Reinluft oder Schutzgas Verwendung finden, letzteres beispielsweise um eine entsprechende Schutzgasatmosphäre am und/oder um das jeweilige Werkstück aufzubauen oder aufrecht­ zuerhalten, beispielsweise zur Verdrängung von Sauerstoff und zur Verhinderung von Oxidation.The beam shaping insert is supported in relation to the factory Tool carrier is advantageously carried out via a bearing ring limited in its displacement against the workpiece is slid in the tool carrier, the support between The beam shaping insert and bearing ring are preferred as gas layers can be trained. This can be in particular tens of the bearing ring corresponding gas cushion forming, be preferably trough-shaped formations or the like are provided be with the interior enclosed by the bearing ring in Are connected, in the context of the invention to a pressure source is connected, preferably as a negative or positive pressure source,  especially in training as a printing and / or suction pump is connected. Air can enter the gas special clean air or protective gas are used, the latter for example, around an appropriate protective gas atmosphere and / or to build up or upright the respective workpiece get, for example to replace oxygen and to prevent oxidation.

In Gegenrichtung zum Strahlformungseinsatz trägt der Lagerring eine Abdeckung, insbesondere in Form einer durch eine Sammel­ linse gebildeten Linsenoptik, wobei eine feste Verbindung zwi­ schen der Linse und dem Lagerring gegeben sein kann, oder auch diese Abstützung als Gaslager ausgebildet sein kann. Letzteres erweist sich insbesondere dann als zweckmäßig, wenn die Sam­ mellinse im Übergang zur tubusartigen Strahlführung einen Überlappungsbereich aufweist, der abschirmend als Gleitführung ausgebildet ist, so dass eine wechselseitige Ausrichtung zum Abgleich möglicherweise auftretender sehr kleiner Toleranzen möglich ist.The bearing ring carries in the opposite direction to the beam shaping insert a cover, especially in the form of a collection lens formed lens optics, with a firm connection between rule the lens and the bearing ring can be given, or this support can be designed as a gas bearing. The latter proves to be particularly useful when the Sam mellinse in the transition to the tube-like beam guidance Has overlap area, the shielding as a sliding guide is designed so that a mutual alignment to Alignment of possibly very small tolerances is possible.

Bevorzugt ist das zwischen Tubus und Linsenoptik liegende Übertragungsglied bei entsprechender Anpassung an die Kontur der Linsenoptik mit einer zum sich in Richtung des Tubus er­ streckenden Hals querverlaufenden Krempe versehen, der der Ab­ stützbereich gegen die Linsenoptik zugeordnet ist und die ih­ rerseits federnd in Richtung auf den Lagerring belastet ist, wobei die entsprechende Belastung über einzelne Federarme oder auch eine Teller- oder Membranfeder gebildet sein kann, die mit dem Werkzeugträger verbunden ist.That between the tube and lens optics is preferred Transfer link with appropriate adaptation to the contour the lens optics with one towards itself in the direction of the tube stretching neck provided with transverse brim, the Ab support area is assigned to the lens optics and the ih is resiliently loaded towards the bearing ring, the corresponding load on individual spring arms or a plate or diaphragm spring can also be formed is connected to the tool carrier.

Im Rahmen der Erfindung kann die tubusartige Strahlführung, insbesondere der Tubus und/oder der Werkzeugträger höhenver­ stellbar ausgebildet sein derart, dass sich zwischen Tubus und Werkzeug, bzw. dessen Überbrückungsglied eine koaxiale Ver­ schiebbarkeit ergibt. Insbesondere erweist sich die Erfindung in Verbindung mit einem Werkzeugträger als zweckmäßig, der als mehrarmiger Revolver ausgebildet ist und von dessen Armen zumindest einer mit einem erfindungsgemäßen Werkzeug zu bestüc­ ken ist, wobei es zweckmäßig ist, dass der Arm eine entspre­ chende Aufnahmeöffnung zum Einsatz des Werkzeuges aufweist und dass in den Arm der oder die Anschlüsse zur Druckquelle inte­ griert sind.Within the scope of the invention, the tube-like beam guidance, in particular the tube and / or the tool carrier height-adjustable be adjustable so that between the tube and Tool, or its bridging member a coaxial Ver pushability results. In particular, the invention proves to be in connection with a tool carrier as appropriate, which as multi-armed revolver is formed and at least from its arms  one with a tool according to the invention ken, whereby it is expedient that the arm corresponds to one Appropriate receiving opening for using the tool and that inte in the arm of the connector (s) to the pressure source are free.

In Verbindung mit einer derartigen revolverartigen Ausbildung des Werkzeugträgers ist diese bevorzugt um eine zur Achse der tubenartigen Strahlenführung parallele Achse drehbar, und, bei entsprechender Höhenverstellbarkeit, auch in Richtung dieser Achse verstellbar, so dass das Werkzeug bei Überlappung zur tubenartigen Strahlenführung gegen das Werkstück auch flächig zur Anlage gebracht werden kann.In connection with such a revolver-like training of the tool carrier, this is preferably about one to the axis of tube-like beam guidance parallel axis rotatable, and, at appropriate height adjustability, also in the direction of this Axis adjustable so that the tool overlaps to tubular radiation against the workpiece also flat can be brought to the plant.

Für den Strahlformungseinsatz erweist es sich im Rahmen der Erfindung als zweckmäßig, diesen auf Seiten seiner gegebenen­ falls planen, gegen das Werkstück gerichteten, insbesondere anlegbaren Austrittsfläche derart zu strukturieren, dass sich - maskenartig - lediglich Teile der möglichen Austrittsfläche als Durchtrittsöffnungen ergeben, wozu der Strahlformungsein­ satz im Bereich der Austrittsfläche entsprechend überdeckt oder undurchlässig strukturiert ausgebildet werden kann, bei­ spielsweise durch eine überdeckende Folie oder eine anderwei­ tige Sperrschicht, beispielsweise eine durch Aufdampfen aufge­ brachte Sperrschicht, die mit entsprechenden Öffnungen verse­ hen wird oder auch durch anderweitiges Blindmachen im Bereich außerhalb der Durchtrittsöffnungen.For the beam shaping application it proves in the context of Invention as appropriate, this on the part of its given if planning, directed against the workpiece, in particular structurable exit surface in such a way that - mask-like - only parts of the possible exit surface as through openings result, what the beam shaping block correspondingly covered in the area of the outlet surface or can be structured to be impermeable, at for example by a covering foil or otherwise term barrier layer, for example one by vapor deposition brought barrier layer that verse with appropriate openings or by otherwise blinding the area outside the openings.

Weitere Einzelheiten und Merkmale der Erfindung ergeben sich aus den Ansprüchen. Ferner wird die Erfindung nachstehend an­ hand eines Ausführungsbeispieles erläutert. Es zeigen:Further details and features of the invention emerge from the claims. Furthermore, the invention is set forth below hand of an embodiment explained. Show it:

Fig. 1 eine vergrößerte, stark schematisierte Schnitt­ darstellung einer Werkzeugbestückung für eine Ar­ beitseinheit, wobei in Fig. 1 lediglich das Werk­ zeug und Teile des Werkzeugträgers gezeigt sind, Fig. 1 is an enlarged, highly diagrammatic sectional view of a tooling beitseinheit for Ar, wherein in Fig. 1 only imaging the plant and parts of the tool carrier are shown,

Fig. 2 ebenfalls im Schnitt, den grundsätzlichen Aufbau einer solchen Arbeitseinheit für Mikrosysteme, ausschnittsweise, und Fig. 2 also in section, the basic structure of such a work unit for microsystems, in sections, and

Fig. 3 und 4 weitere, im Rahmen der Erfindung liegende Ausge­ staltung des Strahlformungseinsatzes. FIGS. 3 and 4 further, within the scope of the invention, design of the beam shaping insert.

In der stark vergrößerten Darstellung gemäß Fig. 1 ist ein Ausschnitt aus einer Arbeitseinheit 1 gezeigt, wie sie in Mi­ krosystemen einsetzbar ist, in denen miniaturisierte Bauteile, insbesondere elektronische Bauelemente, transportiert bearbei­ tet und/oder verarbeitet werden, beispielsweise bei der Be­ stückung von Werkstücken, insbesondere Wafern, oder auch die Bestückung von Werkstücken durchgeführt werden kann.In the greatly enlarged representation according to FIG. 1, a section of a working unit 1 is shown, as can be used in microsystems, in which miniaturized components, in particular electronic components, are transported, processed and / or processed, for example when loading Workpieces, in particular wafers, or the placement of workpieces can be carried out.

Infolge der größenmäßig stark überzeichneten Darstellung ist der der Arbeitseinheit zugeordnete Werkstückträger nicht dar­ gestellt, sondern lediglich das Werkstück 2, das beispielswei­ se ein elektronisches Bauelement ist. Das Werkstück 2 ist über ein Werkzeug 3 beaufschlagt, das von einem Werkzeugträger 4 aufgenommen ist und das in der dargestellten Arbeitslage in axialer Überdeckung zu einer tubusartigen Strahlführung 5 liegt, die ihrerseits in der Verbindung zu lediglich über den Strahlenweg angedeuteten, aber nicht dargestellten Energie­ strahlern 31 und 33 angeordnet ist.As a result of the greatly oversubscribed representation, the workpiece holder assigned to the work unit is not shown, but only the workpiece 2 , which is an electronic component, for example. The workpiece 2 is acted upon by a tool 3 , which is received by a tool carrier 4 and which, in the working position shown, lies in axial overlap with a tube-like beam guide 5 , which in turn emit energy in connection with the radiation path indicated but not shown 31 and 33 is arranged.

Das Werkzeug 3 umfasst, dem Werkstück 2 zugewandt, einen Strahlformungseinsatz 6, der über einen Lagerring 7 gegenüber­ liegend zu einer Linsenoptik 8 im Werkzeugträger 4 gehalten ist, wobei für den Werkzeugträger 4, wie in Fig. 2 veranschau­ licht, eine Ausbildung als Revolver 9 vorgesehen ist, in des­ sen Arm 10 im radial äußeren Bereich eine Bohrung 11 vorgese­ hen ist, in der der Lagerring 7 in Richtung der Bohrungsachse 12 axial verschieblich geführt ist, wobei die Bohrungsachse 12 in der dargestellten Arbeitslage der Arbeitseinheit 1 koaxial zur Achse 13 der tubusartigen Strahlführung 5 liegt, die durch den Tubus 14 veranschaulicht ist. The tool 3 , facing the workpiece 2 , comprises a beam shaping insert 6 , which is held opposite to a lens optic 8 in the tool carrier 4 via a bearing ring 7 , wherein, as illustrated in FIG. 2, the tool carrier 4 is designed as a turret 9 there is provided a bore 11 vorgese hen in the sen arm 10 in the radially outer region, in which the bearing ring 7 is guided in the direction of the bore axis 12 to be axially displaceable, wherein the bore axis 12 is coaxial in the illustrated working position of the working unit 1 to the axis 13 of the is tube-like beam guide 5 , which is illustrated by the tube 14 .

Der Strahlformungseinsatz 6, beispielsweise ein Quarzkörper, weist, der Oberfläche, insbesondere Planfläche 15 des Werk­ stückes 2 zugewandt, eine im Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 1 plane Austrittsfläche 16 auf, und hat gegenüberliegend im Aus­ führungsbeispiel eine zur Austrittsfläche 16 konvex gewölbte Eintrittsfläche 17, die im radial äußeren Randbereich über ih­ re Randzonen 45 gegen eine korrespondierend gewölbte Stirnsei­ te 18 des Lagerringes 7 abgestützt ist, wobei die Abstützung, was in der Zeichnung nur andeutungsweise zum Ausdruck kommt, bevorzugt über eine Gaslagerung 19 erfolgt, so dass, entspre­ chend den Lagerflächen der Gaslagerung 19, eine taumelnde Be­ weglichkeit in der Abstützung des Strahlformungseinsatzes 6 gegen den Lagerring 7 gegeben ist.The beam shaping insert 6, for example a quartz body has, the surface, in particular flat surface 15 of the workpiece 2 faces, one in the embodiment of FIG. 1 plane exit face 16, and has opposite in the off guidance for a convexly curved towards the exit surface 16 entry surface 17, the is supported in the radially outer edge region via its edge zones 45 against a correspondingly curved end face 18 of the bearing ring 7 , the support, which is only hinted at in the drawing, preferably being carried out via a gas bearing 19 , so that, accordingly, the bearing surfaces the gas storage 19 , a wobbling Be mobility in the support of the beam shaping insert 6 against the bearing ring 7 is given.

Die Austrittsfläche 16 des Strahlformungseinsatzes 6 ist im Ausführungsbeispiel im Übergang auf das Werkzeug 2 teilweise abgedeckt, oder zumindest weitgehend undurchlässig, so dass sich die Wirkung einer Maske ergibt, die lediglich bereichs­ weise Durchtrittsöffnungen 20 freilässt, in deren Bereich das Werkstück 2 mit der über den Strahlformungseinsatz 6 laufenden Strahlungsenergie beaufschlagbar ist. Für die Abdeckung 21 kommt beispielsweise eine Folienabdeckung, eine dünne Sperr­ schicht, eine Verspiegelung der Austrittsfläche oder ein an­ derweitiges Blindmachen der Austrittsfläche in den nicht als Durchtrittsöffnungen 20 vorgesehenen Bereichen in Frage, wobei die entsprechende Abdeckung 21 zweckmäßigerweise randseitig bis in den Überdeckungsbereich zum Lagerring 7 verlaufend vor­ gesehen ist, wobei dieser Überdeckungsbereich an den für die Gaslagerung 19 vorgesehenen Randbereich angrenzt und bei­ spielsweise dadurch vergrößert ist, dass der Lagerring 7 eine über den Bereich der Gaslagerung 19 gegen das Werkstück 2 zu vorspringenden Ringansatz 22 aufweist. Insbesondere in diesem Bereich, was nicht weiter dargestellt ist, ist bevorzugt eine Verdrehsicherung zwischen dem Strahlformungseinsatz 6 und dem Lagerring 7 vorgesehen, der seinerseits im Rahmen der Erfin­ dung bevorzugt ebenfalls gegen den Arm 10 verdrehgesichert ist. Zudem kann der Ringbereich 22 gegen den Strahlformungs­ einsatz 6 auch eine Drosselstelle im Hinblick auf den erfor­ derlichen Druckaufbau für die Gaslagerung 19 bilden.The exit surface 16 of the beam shaping insert 6 is partially covered in the exemplary embodiment in the transition to the tool 2 , or at least largely impermeable, so that there is the effect of a mask which only leaves passage openings 20 in areas , in the area of which the workpiece 2 with the over the Beam shaping insert 6 current radiation energy can be applied. For the cover 21 , for example, a film cover, a thin barrier layer, a mirroring of the exit surface or otherwise blinding the exit surface in the areas not provided as through openings 20 are possible , the corresponding cover 21 expediently on the edge up to the overlap area to the bearing ring 7 is seen before, this overlap area adjacent to the edge area provided for the gas bearing 19 and enlarged for example by the fact that the bearing ring 7 has a ring shoulder 22 to be protruded over the area of the gas bearing 19 against the workpiece 2 . Particularly in this area, which is not shown further, an anti-rotation device is preferably provided between the beam shaping insert 6 and the bearing ring 7 , which in turn is preferably also secured against rotation against the arm 10 within the scope of the invention. In addition, the ring region 22 against the beam shaping insert 6 can also form a throttle point with regard to the necessary pressure build-up for the gas bearing 19 .

Die im Ausführungsbeispiel in Form einer Sammellinse ausgebil­ dete Linsenoptik 8 ist gegen den Lagerring 7 fixiert, bei­ spielsweise durch Verkleben, oder ebenfalls gasgelagert, bei entsprechender drehstabilisierender Ausbildung der entspre­ chenden Abstützung. Im Übergang auf den Tubus 14 ist der Lin­ senoptik 8 ein Überbrückungsglied 23 nachgeordnet, das einen in Richtung der Achse 12, 13 verlaufenden, zum Tubus 14 über­ lappenden Hals 24 aufweist und eine in der Abstützung gegen die Linsenoptik 8 liegende Krempe 25, wobei die Krempe 25 ge­ gen die Linsenoptik 8 in Form der Sammellinse bevorzugt gleit­ gelagert abgestützt ist, und zwar bei federnder Beaufschlagung in Richtung auf das Werkstück 2 über die schematisch angedeu­ tete Feder 26, die als Blattfeder, Membranfeder, Tellerfeder oder dergleichen ausgebildet sein kann. Grundsätzlich kann auch eine federnde Abstützung gegenüber dem Tubus 14 vorgese­ hen werden, beispielsweise dadurch, dass beim axialen Einfah­ ren in die überdeckende Stellung zwischen Tubus 14 und Hals 24 ein Federelement angefahren wird.The in the embodiment in the form of a converging lens ausgebil Dete lens optics 8 is fixed against the bearing ring 7 , for example by gluing, or also gas-supported, with a corresponding rotational stabilizing design of the corresponding support. In the transition to the tube 14 , the Lin senoptik 8 is a bridging member 23 , which has a extending in the direction of the axis 12 , 13 , to the tube 14 overlapping neck 24 and a brim 25 in the support against the lens optics 8 , the Brim 25 ge against the lens optics 8 in the form of the converging lens is preferably supported in a sliding manner, specifically when spring loaded in the direction of the workpiece 2 via the schematically indicated spring 26 , which can be designed as a leaf spring, diaphragm spring, plate spring or the like. In principle, a resilient support against the tube 14 can also be provided, for example by a spring element being moved into the overlapping position between the tube 14 and the neck 24 during axial insertion.

Zwischen Linsenoptik 8 und Strahlformungseinsatz 6 umschließt der Lagerring 7 einen Raum 27, der an eine Gasversorgung ange­ schlossen ist, wobei je nach Zielsetzung Luft, insbesondere Reinluft oder andere Gase zum Einsatz kommen. Die Verbindung zur entsprechenden Überdruck- und/oder Unterdruckquelle über den den Arm 10 durchsetzenden Kanal 28 und einen Ringkanal 29, an den der Raum 27 über Radialbohrungen 30 im Lagerring 7 an­ geschlossen ist.Between the lens optics 8 and the beam shaping insert 6, the bearing ring 7 encloses a space 27 which is connected to a gas supply, air, in particular clean air or other gases being used, depending on the objective. The connection to the corresponding overpressure and / or underpressure source via the channel 28 passing through the arm 10 and an annular channel 29 , to which the space 27 is closed via radial bores 30 in the bearing ring 7 .

Die Arbeitsenergie, die über die Durchtrittsöffnungen 20 im Strahlformungseinsatz 6 auf das Werkstück 2 einwirkt, wird über die durch den Tubus 14 gebildete Strahlenführung einge­ leitet, wobei der für die Zuführung der Arbeitsenergie vorge­ sehene Energiestrahler 31 im Beispiel außerhalb des Tubus 14 und seitlich zu dessen Achse 13 liegend angedeutet ist, so dass der Bearbeitungs-Energiestrahl über eine schematisch an­ gedeutete Strahlumlenkung 32 in Richtung der Achse 13 umge­ lenkt wird. Weiter ist als Energiestrahler eine Leuchtquelle 33 in der Achse 13 liegend angedeutet, so dass bei der erfin­ dungsgemäßen Lösung die Arbeitsenergie gegen das Werkstück 2 den gleichen Strahlenweg nimmt wie das über den als Leucht­ quelle ausgebildeten Energiestrahler emittierte Licht.The work energy applied via the passage openings 20 in the beam-forming insert 6 to the workpiece 2, passes through the formed through the tube 14 radiation guide inserted, said pre for the supply of the operating power provided energy radiator 31 in the example outside the tube 14 and laterally to its Axis 13 is indicated lying, so that the machining energy beam is deflected in the direction of the axis 13 via a beam deflection 32 , which is schematically indicated. Furthermore, a light source 33 is indicated as an energy source lying in the axis 13 , so that in the solution according to the invention, the working energy against the workpiece 2 takes the same beam path as the light emitted via the energy source designed as a light source.

In Verbindung mit Fig. 3 ist angedeutet, dass das Werkzeug 3 insbesondere bezüglich seines Strahlformungseinsatzes 6 auch im Hinblick auf zusätzliche Funktionen ausgebildet sein kann, oder dass anstelle der gezeigten Strahlformungseinsatzes 6 auch ein abgewandelter Einsatz 40 vorgesehen sein kann, der vom in Fig. 3 nicht gezeigten Raum 27 ausgehende Durchtritts­ kanäle 34 aufweist, die auf die werkstückseitige Austrittsflä­ che ausmünden und hier, wie angedeutet, gegebenenfalls auch erweitert, insbesondere trichterförmig erweitert ausgebildet sein können. Mit einer derartigen Ausbildung lässt sich das Werkzeug 3 bei Unterdruckversorgung des Raumes 27 erfindungs­ gemäß dazu nutzen, automatisierte Lötvorgänge vorzunehmen, in­ dem zunächst von einem anstelle des Werkstückes 2 vorgesehenen Tablett oder dergleichen Lotkügelchen aufgenommen werden, die, in die Erweiterungen 41 der Durchtrittskanäle 34 angesaugt und dadurch gehalten, durch Verlagerung der Arbeitseinheit 1 einem Werkstück 2 zugeführt werden, so dass über die zugeführte Be­ arbeitungsenergie die entsprechende Lötung vorgenommen werden kann, nachdem die Lotkügelchen durch Änderung der Druckbeauf­ schlagung des Raumes 27, insbesondere durch Anschluss dessel­ ben an die Atmosphäre oder eine leichte Druckquelle, freigege­ ben worden sind.In connection with FIG. 3, it is indicated that the tool 3, in particular with regard to its beam shaping insert 6, can also be designed with regard to additional functions, or that instead of the beam shaping insert 6 shown, a modified insert 40 can also be provided, which is shown in FIG. 3 Room 27 , not shown, has outgoing passage channels 34 which open onto the workpiece-side exit surface and, as indicated, can optionally also be expanded, in particular expanded in a funnel shape. With such a design, the tool 3 can be used according to the invention for supplying the room 27 with vacuum, in order to carry out automated soldering processes in which solder balls which are provided instead of the workpiece 2 are first picked up and which are sucked into the extensions 41 of the passage channels 34 and thereby held, by shifting the work unit 1, a workpiece 2 is supplied so that the corresponding soldering can be carried out via the supplied machining energy after the solder balls by changing the pressurization of the space 27 , in particular by connecting the same to the atmosphere or a light pressure source that has been released.

Fig. 2 zeigt, ebenfalls stark schematisiert eine grundsätzli­ che Darstellung einer Arbeitseinheit 1, in der ein Werkzeug­ träger 4 in der Ausbildung als Revolver 9 vorgesehen ist, der­ art, dass er mit einem Werkzeug 3, z. B. gemäß Fig. 1 zu be­ stücken ist. Fig. 2 shows, also highly schematic, a basic representation of a work unit 1 , in which a tool carrier 4 is provided in the training as a turret 9 , the type that it with a tool 3 , z. B. to be pieces according to FIG. 1.

Nicht gezeigt ist dabei in Fig. 2 die im Rahmen der Erfindung zweckmäßige Höhenverstellbarkeit des als Revolver 9 ausgebil­ deten Werkzeugträgers 4 gegenüber der durch den Tubus 14 ver­ anschaulichten Strahlenführung, und es ist desweiteren auch nur eine Beobachtungsoptik 35 in Verbindung mit dem Tubus 14 dargestellt.Not shown in FIG. 2 is the height adjustability of the tool carrier 4 , which is designed as a turret 9 , in relation to the beam guidance ver illustrated by the tube 14 , and furthermore only one observation optics 35 is shown in connection with the tube 14 .

Ausgangspunkt für eine Konstruktion gemäß Fig. 2 ist eine Ar­ beitsstation, die beispielsweise in einem als Cluster aufge­ bauten Mikrosystem-Arbeitszentrum eingesetzt ist und die einen drehbaren Planetenträger aufweist, der Planeten als Werkstück­ träger trägt. Die Planeten sind gegenüber dem Planetenträger drehbar und bestreichen bei Drehung des Planetenträgers eine Ringfläche. Durch wechselseitige Drehung von Planetenträger und Planeten ist es möglich, jeden Punkt der durch die Plane­ ten gebildeten Werkstückträger auf einer Kreislinie durch die Drehachsen der Planeten gegenüber dem Planetenträger zu pla­ zieren, wobei der Mittelpunkt des entsprechenden Kreises mit der Drehachse des Planetenträgers zusammenfällt. Dadurch kann die Arbeitseinheit 1 bei auf der beschriebenen Kreislinie lie­ gendem Arbeitspunkt grundsätzlich gehäusefest plaziert werden, bei entsprechender Schwenkbarkeit des als Revolver 9 ausgebil­ deten Werkzeugträgers durch den Arbeitspunkt. Bevorzugt ist allerdings eine Verdrehbarkeit der Arbeitseinheit 1 um eine gehäusefeste Achse, wobei insoweit wiederum ein besonders ein­ facher Aufbau dadurch erreichbar ist, dass diese gehäusefeste Drehachse der Arbeitseinheit 1 mit den Drehachsen der Planeten auf einem zur Drehachse des Planetenträgers konzentrischen Zy­ lindermantel liegt. Die Drehachse der Arbeitseinheit 1 ist da­ bei zweckmäßigerweise, bezogen auf Fig. 1, durch die Achsen 12 und 13 bestimmt, bzw. fällt mit diesen zusammen. Ein Aufbau dieser Art ist aus der DE 199 53 949 A1 mit weiteren Details bekannt und auch in seiner Funktion des Näheren geschildert.The starting point for a construction according to FIG. 2 is a work station which is used, for example, in a microsystem work center constructed as a cluster and which has a rotatable planet carrier which carries planets as workpiece carriers. The planets are rotatable relative to the planet carrier and, when the planet carrier rotates, they cover an annular surface. By mutual rotation of planet carrier and planet, it is possible to place any point of the workpiece carrier formed by the tarpaulin on a circular line through the axes of rotation of the planets relative to the planet carrier, the center of the corresponding circle coinciding with the axis of rotation of the planet carrier. As a result, the working unit 1 can in principle be placed fixed to the housing at the working point lying on the circular line described, with a corresponding pivotability of the tool carrier designed as a turret 9 through the working point. However, preference is given to a rotatability of the working unit 1 about an axis fixed to the housing, and in this respect a particularly simple structure can be achieved in that this rotational axis of the working unit 1 fixed to the housing lies with the axes of rotation of the planets on a cylinder jacket concentric with the axis of rotation of the planet carrier. The axis of rotation of the working unit 1 is advantageously determined with reference to FIG. 1 by the axes 12 and 13 , or coincides with these. A structure of this type is known from DE 199 53 949 A1 with further details and is also described in its function in more detail.

Im Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 2 liegt die Drehachse 36 des als Revolver 9 ausgebildeten Werkzeugträgers 4 schräg zur Achse 13 des Tubus 14 gemäß Fig. 1, so dass, bezogen auf dieses Ausführungsbeispiel, die erfindungsgemäß vorgesehene Höhenver­ stellbarkeit des Tubus 14 gegenüber dem Revolver 9 bei Antrieb des Revolvers 9 über den Tubus 14 eine anderweitige Ausgestal­ tung der Antriebsverbindung bedingt. Im übrigen ist es aber im Rahmen der Erfindung möglich, und gegebenenfalls auch vorteil­ haft, den Revolver 9 bezüglich seiner Drehachse parallel zur Drehachse des Tubus 14 bzw. der Arbeitseinheit 1 auszurichten, so dass für eine solche Konfiguration auch die bestehende An­ triebsverbindung aufrechterhalten werden kann, wobei diese analog zur Antriebsverbindung zwischen dem Motor 37 und dem Tubus 14 in Fig. 2 gestaltet sein kann. Ebenso kann eine Hö­ henverstellbarkeit des Revolvers 9, bezogen auf eine Konfigu­ ration gemäß Fig. 2, in entsprechender Weise über einen Exzen­ terantrieb 38 erfolgen, wie er in Fig. 2 zur Höhenverstellung der von Tubus 14 und Revolver 9 gebildeten Einheit veranschau­ licht ist. Mit 39 ist in Fig. 2 der Antriebsmotor bezeichnet, über den der Tubus 14 und der mit diesem verbundene Revolver 9 angetrieben sind.In the exemplary embodiment according to FIG. 2, the axis of rotation 36 of the tool carrier 4 designed as a turret 9 lies obliquely with respect to the axis 13 of the tube 14 according to FIG. 1, so that, based on this exemplary embodiment, the height adjustment provided for the tube 14 relative to the turret 9 according to the invention Drive of the revolver 9 via the tube 14 requires a different configuration of the drive connection. Otherwise, it is possible within the scope of the invention, and possibly also advantageous, to align the turret 9 with respect to its axis of rotation parallel to the axis of rotation of the tube 14 or the working unit 1 , so that the existing drive connection can be maintained for such a configuration , which can be designed analogously to the drive connection between the motor 37 and the tube 14 in FIG. 2. Likewise, a height adjustment of the revolver 9 , based on a configuration according to FIG. 2, can take place in a corresponding manner via an excenter drive 38 , as illustrated in FIG. 2 for the height adjustment of the unit formed by tube 14 and revolver 9 . The drive motor by which the tube 14 and the turret 9 connected to it are driven is designated by 39 in FIG. 2.

Bei der Anordnung einer Antriebseinheit 1 im Verbund mit Pla­ netenträger und Planeten als Werkstückträgern 42 ist es erfin­ dungsgemäß möglich, bei unterschiedlicher Werkzeugbestückung der Arme 10 des Revolvers 9 unterschiedliche Arbeitsschritte durchzuführen, wie sie beispielsweise anhand der Fig. 1 be­ schrieben wurden, wobei auch Saugstempel mit einem oder mehre­ ren der Revolverarme 10 verbunden sein können, so dass Bear­ beitungs- und Transportfunktionen beliebiger Reihenfolge zu­ einander über die gleiche Arbeitseinheit durchgeführt werden können, was das Gesamtsystem verbilligt und beschleunigt, zu­ mal einem System von Planetenträger mit Planeten als Werk­ stückträgern 42 auch mehrere Arbeitseinheiten 1 zugeordnet sein können.In the arrangement of a drive unit 1 in conjunction with Pla netträger and planets as workpiece carriers 42 , it is inventions possible, with different tooling of the arms 10 of the turret 9 to perform different work steps, such as those described with reference to FIG. 1, including suction pads can be connected to one or more of the turret arms 10 so that machining and transport functions in any order to one another can be carried out via the same work unit, which makes the overall system cheaper and faster, at times a system of planet carriers with planets as workpiece carriers 42 also several work units 1 can be assigned.

Fig. 4 zeigt eine weitere Ausgestaltung eines Strahlformungs­ einsatzes 43, die, dem Werkstück zugewandt, höckerartige Ansätze 44 aufweist und als stempelartiges Element ausgebildet ist, wie es beispielsweise zur lokalen Erhitzung des Werkstückes im Bereich der Ansätze 40 eingesetzt werden kann. Ferner zeigen die verschiedenen Ausbildungen der Strahlformungseinsätze 6, 40 oder 43 auch diverse Möglichkeiten zur unterschiedlichen Strahlformung durch eintrittsseitige Formgebung. Fig. 4 shows a further embodiment of a beam shaping insert 43 which, facing the workpiece, has bump-like projections 44 and is designed as a stamp-like element, such as can be used, for example, for local heating of the workpiece in the region of the projections 40 . Furthermore, the different designs of the beam shaping inserts 6 , 40 or 43 also show various possibilities for different beam shaping by shaping on the entry side.

Im Hinblick auf die teils unterschiedlichen Funktionen bei An­ schluss des Werkzeuges 3 an die Druckquelle und/oder an die Saugquelle bilden, zur Abstimmung und gegebenenfalls auch Steuerung, voneinander wenigstens teilweise unabhängige Kanal­ wege eine vorteilhafte, z. B. aus Fig. 5 der DE 199 53 949 A1 grundsätzlich bekannte Lösung.With regard to the partly different functions at the connection of the tool 3 to the pressure source and / or to the suction source, for tuning and possibly also control, channels that are at least partially independent of one another are advantageous, eg. B. from Fig. 5 of DE 199 53 949 A1 basically known solution.

In Fig. 1 ist eine weitere Möglichkeit der Gasführung strichliert veranschaulicht. Für den Fall des Anschlusses an die Druckquelle ist zumindest ein auf den der Randzone 45 zu­ geordneten Gaslagerspalt ausmündender, vom Kanal 28 ausgehen­ der Stichkanal 46 vorgesehen, bei stromab vorgesehener Drosse­ lung oder Absperrung der Ausmündung des Kanales 28 auf den Raum 27. Die Absperrung ist durch ein in Zulaufrichtung auf den Raum 27 sperrendes Rückschlagventil 47 veranschaulicht, so dass im Saugbetrieb die Verbindung des Raumes 27 zur Saugquel­ le offen ist, eine gezielte Gaszuführung in den Lagerspalt mit Aufbau einer entsprechenden Atmosphäre um den Arbeitsbereich aber ohne Zusatzaufwand ermöglicht wird.A further possibility of gas routing is illustrated in broken lines in FIG. 1. In the event of connection to the pressure source, at least one of the gas storage gap opening out to the edge zone 45 and emanating from the channel 28 is provided with the branch channel 46 , with a downstream restriction or blocking the opening of the channel 28 into the space 27 . The shut-off is illustrated by a non-return valve 47 blocking in the feed direction to the room 27 , so that the connection of the room 27 to the suction source is open in suction operation, a targeted gas supply into the bearing gap with the creation of a corresponding atmosphere around the work area is made possible without additional effort ,

Claims (31)

1. Werkzeugbestückung für eine Arbeitseinheit von Mikrosyste­ men, bei denen die Arbeitseinheit einen in Zuordnung zu einem Werkstücksträger stehenden Werkzeugträger aufweist, der eine auf das Werkstück ausgerichtete, tubusartige Führung als Strahlführung für die Bearbeitungsenergie aufweist, zwischen die und das Werkstück der Werkzeugträger eingreift, der mit ei­ nem Werkzeug bestück ist, wobei das Werkzeug einen Strahlfor­ mungseinsatz für die von einem Energiestrahler ausgesandte Be­ arbeitungsenergie aufweist und wobei der Strahlformungseinsatz eine flächige, gegen das Werkstück gerichtete Austrittsfläche aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass der Strahlformungseinsatz (6; 40; 43) gegenüberliegend zur Austrittsfläche (16) über konvex gewölbte Randzonen (45) tau­ melnd gegen einen dem Werkzeugträger (4) zugeordneten Lagerring (7) abgestützt ist.1. Tooling for a work unit from microsystems, in which the work unit has a tool holder in association with a workpiece holder, which has a tube-like guide aligned with the workpiece as beam guidance for the machining energy, between which and the workpiece of the tool holder engages is equipped with a tool, the tool having a beam shaping insert for the working energy emitted by an energy radiator, and wherein the beam shaping insert has a flat exit surface directed towards the workpiece, characterized in that the beam shaping insert ( 6 ; 40 ; 43 ) is opposite to the exit surface ( 16 ) via convexly curved edge zones ( 45 ), is supported against a bearing ring ( 7 ) assigned to the tool carrier ( 4 ). 2. Werkzeugbestückung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Lagerring (7) verschieblich anschlagbegrenzt in Rich­ tung auf das Werkstück (2) gegen den Werkzeugträger (4) abge­ stützt ist. 2. Tool assembly according to claim 1, characterized in that the bearing ring ( 7 ) is slidably abge limited in Rich direction on the workpiece ( 2 ) against the tool carrier ( 4 ) is supported abge. 3. Werkzeugbestückung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass zum Strahlformungseinsatz (6) gegenüberliegend eine Lin­ senoptik (8) vorgesehen ist.3. Tooling according to claim 1 or 2, characterized in that a Lin senoptik ( 8 ) is provided opposite the beam shaping insert ( 6 ). 4. Werkzeugbestückung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Linsenoptik (8) als gegen den Lagerring (7) abge­ stützter Deckel ausgebildet ist.4. Tooling according to claim 3, characterized in that the lens optics ( 8 ) as abge against the bearing ring ( 7 ) is formed supported cover. 5. Werkzeugbestückung nach einem der vorhergehenden Ansprüche 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass der zwischen Linsenoptik (8) und Strahlformungseinsatz (6) liegende Raum (27) an eine Gasquelle angeschlossen ist.5. Tooling according to one of the preceding claims 3 or 4, characterized in that between the lens optics ( 8 ) and beam shaping insert ( 6 ) lying space ( 27 ) is connected to a gas source. 6. Werkzeugbestückung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Verbindung zur Gasquelle über den Lagerring (7) durch den Werkzeugträger (4) läuft.6. Tooling according to claim 5, characterized in that the connection to the gas source via the bearing ring ( 7 ) through the tool carrier ( 4 ). 7. Werkzeugbestückung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Abstützung zwischen Strahlformungseinsatz (6) und La­ gerring (7) durch ein Gaslager (19) gebildet ist.7. Tooling according to one of the preceding claims, characterized in that the support between the beam shaping insert ( 6 ) and La gerring ( 7 ) is formed by a gas bearing ( 19 ). 8. Werkzeugbestückung nach einem der vorhergehenden Ansprüche 3 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Abstützung zwischen Linsenoptik (8) und Lagerring (7) durch ein Gaslager gebildet ist.8. Tooling according to one of the preceding claims 3 to 7, characterized in that the support between the lens optics ( 8 ) and the bearing ring ( 7 ) is formed by a gas bearing. 9. Werkzeugbestückung nach einem der Ansprüche 3 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Linsenoptik (8) mit dem Lagerring (7) fest verbunden ist.9. Tool assembly according to one of claims 3 to 7, characterized in that the lens optics ( 8 ) with the bearing ring ( 7 ) is fixedly connected. 10. Werkzeugbestückung nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che 3 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass der insbesondere als Sammellinse ausgebildeten Linsenop­ tik (8) gegenüberliegend zum Lagerring (7) ein Überbrückungs­ glied (23) zur tubusartigen Strahlführung (5) zugeordnet ist.10. Tooling according to one of the preceding claims 3 to 9, characterized in that the lens optics ( 8 ) in particular designed as a converging lens ( 8 ) opposite the bearing ring ( 7 ) is associated with a bridging member ( 23 ) for tube-like beam guidance ( 5 ). 11. Werkzeugbestückung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass das Überbrückungsglied (23) zur tubusartigen Strahlfüh­ rung (5) einen axialen Überlappungsbereich aufweist.11. Tooling according to claim 10, characterized in that the bridging member ( 23 ) for tube-like beam guidance ( 5 ) has an axial overlap area. 12. Werkzeugbestückung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass das Überbrückungsglied (23) gegen die tubusartige Strahl­ führung (5) eine Spaltdichtung aufweist.12. Tooling according to claim 11, characterized in that the bridging member ( 23 ) against the tube-like beam guide ( 5 ) has a gap seal. 13. Werkzeugbestückung nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, dass das Überbrückungsglied (23) gegen die tubusartige Strahl­ führung (5) verschieblich gleitgeführt ist.13. Tooling according to claim 11 or 12, characterized in that the bridging member ( 23 ) against the tube-like beam guide ( 5 ) is slidably guided. 14. Werkzeugbestückung nach einem der Ansprüche 10 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass das Überbrückungsglied (23) einen in die tubusartige Strahlführung (5) eingreifenden Hals (24) aufweist.14. Tool assembly according to one of claims 10 to 13, characterized in that the bridging member ( 23 ) has a neck ( 24 ) engaging in the tube-like beam guide ( 5 ). 15. Werkzeugbestückung nach einem der Ansprüche 10 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass das Überbrückungsglied (23) federnd gegen die Linsenoptik (8) abgestützt ist.15. Tooling according to one of claims 10 to 14, characterized in that the bridging member ( 23 ) is resiliently supported against the lens optics ( 8 ). 16. Werkzeugbestückung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass die federnde Abstützung des Überbrückungsgliedes (23) ge­ gen den Werkzeugträger (4) erfolgt.16. Tool assembly according to claim 15, characterized in that the resilient support of the bridging member ( 23 ) ge against the tool carrier ( 4 ). 17. Werkzeugbestückung nach Anspruch 15 oder 16, dadurch gekennzeichnet, dass die federnde Abstützung des Überbrückungsgliedes (23) über ein Blattfederelement (Feder 26) erfolgt.17. Tooling according to claim 15 or 16, characterized in that the resilient support of the bridging member ( 23 ) via a leaf spring element (spring 26 ). 18. Werkzeugbestückung nach Anspruch 15 oder 16, dadurch gekennzeichnet, dass die federnde Abstützung des Überbrückungsgliedes (23) über eine Membranfeder (Feder 26) erfolgt.18. Tool assembly according to claim 15 or 16, characterized in that the resilient support of the bridging member ( 23 ) via a diaphragm spring (spring 26 ). 19. Werkzeugbestückung nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, dass die tubusartige Strahlführung (5) und das Werkzeug (3) zueinander achsparallel verstellbar sind.19. Tool assembly according to one of the preceding claims, characterized in that the tube-like beam guide ( 5 ) and the tool ( 3 ) are adjustable axially parallel to one another. 20. Werkzeugbestückung nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, dass die tubusartige Strahlführung (5) und der Werkzeugträger (4) zueinander achsparallel verstellbar sind.20. Tool assembly according to claim 19, characterized in that the tube-like beam guide ( 5 ) and the tool carrier ( 4 ) are adjustable axially parallel to each other. 21. Werkzeugbestückung nach Anspruch 19 oder 20, dadurch gekennzeichnet, dass die tubusartige Strahlführung (5) in ihrer Erstreckungs­ richtung verstellbar ist.21. Tooling according to claim 19 or 20, characterized in that the tube-like beam guide ( 5 ) is adjustable in its extension direction. 22. Werkzeugbestückung nach einem der Ansprüche 19 bis 21, dadurch gekennzeichnet, dass das Werkzeug (3) mit oder ohne Werkzeugträger (4) in Richtung der Achse der tubusartigen Strahlführung (5) ver­ stellbar sind.22. Tooling according to one of claims 19 to 21, characterized in that the tool ( 3 ) with or without tool carrier ( 4 ) in the direction of the axis of the tube-like beam guide ( 5 ) are adjustable ver. 23. Werkzeugbestückung nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, dass der Werkzeugträger (4) quer zur tubusartigen Strahlfüh­ rung (5) verstellbar, insbesondere verschwenkbar ist.23. Tool assembly according to one of the preceding claims, characterized in that the tool carrier ( 4 ) is adjustable, in particular pivotable, transversely to the tube-like beam guide ( 5 ). 24. Werkzeugbestückung nach einem der Ansprüche 1 bis 23, dadurch gekennzeichnet, dass der Werkzeugträger (4) um eine zur Achse (13) der tu­ busartigen Strahlführung (5) parallele Achse (36) schwenkbar ist. 24. Tool assembly according to one of claims 1 to 23, characterized in that the tool carrier ( 4 ) is pivotable about an axis ( 36 ) parallel to the axis ( 13 ) of the Tu-like beam guide ( 5 ). 25. Werkzeugbestückung nach Ansprüchen 1 bis 23, dadurch gekennzeichnet, dass der Werkzeugträger (4) um eine zur Achse der tubusartigen Strahlführung (5) geneigte Achse verschwenkbar ist.25. Tooling according to claims 1 to 23, characterized in that the tool carrier ( 4 ) is pivotable about an axis inclined to the axis of the tube-like beam guide ( 5 ). 26. Werkzeugbestückung nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, dass der Werkzeugträger (4) durch einen Arm (10) eines Stern­ revolvers (9) gebildet ist.26. Tool assembly according to one of the preceding claims, characterized in that the tool carrier ( 4 ) is formed by an arm ( 10 ) of a star turret ( 9 ). 27. Werkzeugbestückung nach Anspruch 26, dadurch gekennzeichnet, dass der Sternrevolver (9) in Richtung einer zur Achse (13) der tubusartigen Strahlführung (5) parallelen Achse (36) hö­ henverstellbar ist.27. Tool assembly according to claim 26, characterized in that the star turret ( 9 ) in the direction of an axis ( 13 ) of the tube-like beam guide ( 5 ) parallel axis ( 36 ) is height adjustable. 28. Werkzeugbestückung nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, dass der tubusartigen Strahlführung (5) als Energiestrahler eine Leuchtquelle (Energiestrahler 33) und ein Bearbeitungs- Energiestrahler (31) zugeordnet sind.28. Tooling according to one of the preceding claims, characterized in that the tube-like beam guide ( 5 ) is assigned a light source (energy source 33 ) and a processing energy source ( 31 ) as energy source. 29. Werkzeugbestückung nach Anspruch 28, dadurch gekennzeichnet, dass der Bearbeitungs-Energiestrahler (31) durch einen Laser­ strahler und/oder einen UV-Strahler gebildet ist.29. Tooling according to claim 28, characterized in that the processing energy lamp ( 31 ) is formed by a laser lamp and / or a UV lamp. 30. Werkzeugbestückung nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest einem der Energiestrahler (31; 33) im Strahlen­ weg eine in der tubenartigen Strahlführung (5) liegende Strahlumlenkung (32) zugeordnet ist. 30. Tooling according to one of the preceding claims, characterized in that at least one of the energy emitters ( 31 ; 33 ) in the blasting away is assigned a beam deflection ( 32 ) lying in the tube-like beam guide ( 5 ). 31. Werkzeugbestückung nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che 28 bis 30, dadurch gekennzeichnet, dass die Leuchtquelle einer Beobachtungsoptik (35) zugeordnet ist.31. Tooling according to one of the preceding claims 28 to 30, characterized in that the light source is associated with an observation lens system ( 35 ).