DE10137862A1 - Verfahren und Vorrichtung zum Beladen einer Doppelseitigen-Poliermaschine - Google Patents

Abstract

Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zum Beladen einer Doppelseiten-Poliermaschine, umfassend folgende Schritte: DOLLAR A a) Bereitstellung und Auswahl von Läuferscheiben und zu polierenden Werkstücken in einer Vorbereitungsstation, DOLLAR A b) Positionieren der Läuferscheibe in einer Justiervorrichtung, DOLLAR A c) Bestücken der Läuferscheibe in der Justiervorrichtung mit den ausgewählten Werkstücken im zugehörigen Dickenbereich, DOLLAR A d) Wiederholung der Schritte b) und c), bis alle Läuferscheiben einer Polierfahrt bestückt sind, DOLLAR A e) Auflegen der Läuferscheiben mit den eingelegten Werkstücken auf den Polierteller der Poliermaschine. DOLLAR A Ebenfalls Gegenstand der Erfindung ist eine Vorrichtung für die Vorbereitung der Beladung einer Doppelseiten-Poliermaschine, umfassend DOLLAR A a) eine Eingabestation für die Werkstücke, DOLLAR A b) einen Werkstückspeicher, DOLLAR A c) eine Eingabestation für die Läuferscheiben DOLLAR A d) einen Läuferscheibenspeicher, DOLLAR A e) eine Justiervorrichtung für die Bestückung der Läuferscheiben mit den Werkstücken und DOLLAR A f) eine Steuerung mit Datenspeicher für die geometrischen Daten der Werkstücke und der Läuferscheiben, wobei die Steuerung die optimale Auswahl und Belegung der Läuferscheiben mit Werkstücken ermittelt und veranlasst.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Beladen einer Doppelseiten-Poliermaschine mit scheibenförmigen Werkstücken, z. B. mit Halbleiterscheiben wie Siliciumscheiben oder mit Siliciumcarbidscheiben.

Halbleiterscheiben aus Silicium, die vor allem als Substrate für die Herstellung von modernen mikroelektronischen Bauelemen­ ten Verwendung finden, müssen eine Fülle von Anforderungen er­ füllen, die in relativ engem Rahmen spezifiziert sind. Derarti­ ge Anforderungen sind beispielsweise die Ebenheit der Silicium­ scheiben, ihre Oberflächenrauhigkeit sowie der Häufigkeit von Oberflächenfehlern. Um die Qualitätsparameter erfüllen zu kön­ nen, ist nach dem Stand der Technik mindestens ein Polierpro­ zess erforderlich.

Die Politur wird dabei im Allgemeinen als chemisch-mechanisches Verfahren ausgeführt. Es sind Verfahren zum gleichzeitigen Po­ lieren von Vorder- und Rückseite von Siliciumscheiben nach dem Doppelseiten-Polierverfahren bekannt, die insbesondere zur technischen Fertigung von Halbleiterscheiben mit Durchmessern von 200 mm oder größer zunehmend Verbreitung finden. Die Halb­ leiterscheiben werden dabei in Läuferscheiben ("carrier"), die über mehrere geeignet dimensionierte Aussparungen verfügen, auf einer durch die Maschinen- und Prozessparameter vorbestimmten Bahn zwischen zwei rotierenden, mit Poliertuch belegten Polier­ tellern in Gegenwart eines Poliermittels bewegt und dadurch un­ ter Erzeugung einer hohen Planparallelität und Oberflächengüte poliert.

Die Läuferscheiben einer derartigen Doppelseiten-Poliermäschi­ ne, wie sie in DE 195 47 086 offenbart wurde, sind mit einer äußeren Zahnung versehen. Diese greift gleichzeitig in einen äußeren und einen inneren Stift- oder Zahnkranz ein, die mit dem Maschinenrahmen verbunden sind. Wird mindestens einer der Stift- oder Zahnkränze angetrieben, werden die Läuferscheiben drehend zwischen den Poliertellern bewegt. Die in den Ausspa­ rungen der Läuferscheiben liegenden Siliciumscheiben führen da­ durch eine zykloidische Bewegung aus, die der Drehung der Po­ lierteller überlagert ist.

Die Be- und Entladung der Doppelseiten-Poliermaschine erfolgt nach dem Stand der Technik in der Regel manuell. Für die Entla­ dung wurde in der DE 100 07 389 mittlerweile ein automatisier­ tes Verfahren mit einer dazu verwendeten Vorrichtung angegeben. Die manuelle Beladung hat den Nachteil, dass die Werkstücke fehlerhaft in die Öffnungen der Läuferscheiben eingelegt werden können. Dies kann zu Scheibenbruch und großen Folgeschäden füh­ ren. Außerdem ist die Zuordnung von Läuferscheibe und Werkstück nicht eindeutig festgelegt und nicht automatisch dokumentiert. Das verhindert eine ununterbrochene Verfolgung der Werkstück­ prozessierung ("material tracking").

Wenn die Dickenabweichungen zwischen den Werkstücken groß sind, kann die Geometrie der polierten Scheiben beeinträchtigt wer­ den. Bei sehr hohen Anforderungen an die Geometrie ist dahe r eine Sortierung der Scheiben erforderlich, bei der eine kleine Dickenstreuung pro Polierfahrt einzuhalten ist. Außerdem ist bei hohen Geometrieanforderungen die Dicke der Läuferscheibe und die durch den Polierprozess zu erreichende Dicke der Werkstücke aufeinander abzustimmen. Bei manuellem Beladen kön­ nen große Verluste durch ungenügende Abstimmung oder durch Ver­ wechslungen entstehen, aber auch dadurch, dass im jeweiligen Dickenbereich nicht die für eine Polierfahrt erforderliche Werkstückzahl (z. B. 15 Siliciumscheiben) vorhanden ist, so dass die restlichen Werkstücke dieses Dickenbereichs verworfen werden müssen.

Der Erfindung lag daher die Aufgabe zu Grunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung bereitzustellen, das bzw. die eine Zeit- und kostensparende Beladung einer Doppelseiten-Poliermaschine mit scheibenförmigen Werkstücken sowie eine automatische Schei­ benverfolgung erlaubt. Außerdem sollte sichergestellt werden, dass die Beladung der Poliermaschine mit Werkstücken im zuläs­ sigen Dickenbereich erfolgt und Scheibenverluste minimiert wer­ den.

Gelöst wird diese Aufgabe durch ein Verfahren zum Beladen einer Doppelseiten-Poliermaschine, umfassend folgende Schritte:

• a) Bereitstellung und Auswahl von Läuferscheiben und zu polie­ renden Werkstücken in einer Vorbereitungsstation,
• b) Positionieren der Läuferscheibe in einer Justiervorrichtung,
• c) Bestücken der Läuferscheibe in der Justiervorrichtung mit den ausgewählten Werkstücken im zugehörigen Dickenbereich,
• d) Wiederholung der Schritte b) und c), bis alle Läuferscheiben einer Polierfahrt bestückt sind,
• e) Auflegen der Läuferscheiben mit den eingelegten Werkstücken auf den Polierteller der Poliermaschine.

Die der Erfindung zu Grunde liegende Aufgabe wird des Weiteren gelöst durch eine Vorrichtung für die Vorbereitung der Beladung einer Doppelseiten-Poliermaschine, umfassend

• a) eine Eingabestation für die Werkstücke,
• b) einen Werkstückspeicher,
• c) eine Eingabestation für die Läuferscheiben,
• d) einen Läuferscheibenspeicher,
• e) eine Justiervorrichtung für die Bestückung der Läuferschei­ ben mit den Werkstücken und
• f) eine Steuerung mit Datenspeicher für die geometrischen Daten der Werkstücke und der Läuferscheiben, wobei die Steuerung die optimale Auswahl und Belegung der Läuferscheiben mit Werkstü­ cken ermittelt und veranlasst.

Die Auswahl und Bestückung der Läuferscheiben erfolgt in einer Vorbereitungsstation. Für diesen Zweck werden erfindungsgemäß sowohl Läuferscheiben als auch Werkstücke in der Vorbereitungs­ station gelagert. Die vorteilhafte Zuordnung von Werkstücken und Läuferscheiben kann vor allem auf Grund der bekannten Dicke der Werkstücke und der Läuferscheiben und mit Hilfe von Aus­ wahlkriterien erfolgen.

In der Vorbereitungsstation ist eine Justiervorrichtung ange­ ordnet, in der die justierten Läuferscheiben mit den Werkstü­ cken bestückt werden. Die Justiervorrichtung enthält mehrere Justiertische zur Aufnahme von Läuferscheiben mit Aussparungen für scheibenförmige Werkstücke. Die Justiertische werden bevor­ zugt horizontal an einem Paternoster-Getriebe angeordnet, so dass sich der zu beladende Justiertisch beim Beladevorgang in einer definierten, leicht zugänglichen Beladeposition befindet. Es ist aber auch eine Justiervorrichtung mit festen oder beweg­ lichen Fächern möglich.

Die Justiervorrichtung ist vorteilhaft so gestaltet, dass sie nach dem Bestücken der Läuferscheiben einer Polierfahrt zur Po­ liermaschine bewegt werden kann. In diesem Fall wird die Jus­ tiervorrichtung als Justier-Transportvorrichtung bezeichnet. Anderenfalls ist eine zusätzliche Transportvorrichtung vorzuse­ hen, in welche die bestückten Läuferscheiben überführt werden.

Die automatische Beladung der Poliermaschine mit den bestückten Läuferscheiben erfolgt durch eine Beladevorrichtung. Die Bela­ devorrichtung besteht aus der Justier-Transportvorrichtung bzw. nur der Transportvorrichtung, falls die Justiervorrichtung nicht transportiert wird, und dem Belademechanismus. Die Jus­ tier-Transportvorrichtung bzw. die Transportvorrichtung wird vor dem Beladevorgang an der Poliermaschine angedockt, um die genaue Belegung des Poliertellers zu ermöglichen. Bei der Bela­ dung des Poliertellers werden bevorzugt die einzelnen bestück­ ten Läuferscheiben nacheinander aufgelegt, wobei die Läufer­ scheibe und die eingelegten Werkstücke gemeinsam durch den Be­ lademechanismus bewegt werden.

Nachfolgend wird eine bevorzugte Ausführungsform des erfin­ dungsgemäßen Verfahrens zum automatischen Beladen einer Doppel­ seitenpoliermaschine mit Siliciumscheiben sowie die dazu einge­ setzte Vorrichtung anhand der Fig. 1 und 2 beschrieben:

Fig. 1 zeigt in vereinfachter Darstellung die Draufsicht einer Doppelseiten-Poliermaschine, die mit einer erfindungsgemäßen Beladevorrichtung ausgerüstet ist.

Fig. 2 zeigt in vereinfachter Darstellung die Draufsicht auf die zugehörige Vorbereitungsstation mit der Eingabestation und dem Speicher für die Siliciumscheiben, mit der Eingabestation und dem Speicher für die Läuferscheiben und mit der Justier- Transportvorrichtung.

Fig. 1 zeigt die Doppelseiten-Poliermaschine 1 in einem Zu­ stand, in dem der obere Polierteller 2 (strichpunktiert ge­ zeichnet) angehoben und um eine senkrechte Achse gegenüber dem unteren Polierteller 3 für die Ent- und Beladung geschwenkt ist. In diesem Zustand kann die Entladung der polierten Silici­ umscheiben (Werkstücke) 4 und der Läuferscheiben 5 sowie die neuerliche Beladung des unteren Poliertellers erfolgen. Um die Ent- und Beladung durchführen zu können, wird am Ende der Poli­ tur mit Hilfe der Maschinensteuerung dafür gesorgt, dass sich die Läuferscheiben an den dafür vorgesehenen Positionen befin­ den. Dies ist beispielsweise mit der in DE 195 47 086 offenbar­ ten Doppelseiten-Poliermaschine möglich.

Die Entladung der polierten Werkstücke 4 erfolgt beispielsweise mit dem in der DE 100 07 389 beschriebenen Entladeautomaten. Dieser entnimmt gleichzeitig alle in den Aussparungen einer Läuferscheibe 5 liegenden Scheiben 4 mit Hilfe eines Vakuum­ greifers.

Nach der Entnahme der Siliciumscheiben 4 werden die Läufer­ scheiben 5 durch den Antrieb des Stift- oder Zahnkranzes um ei­ ne Position weitergedreht, so dass die nächste Läuferscheibe sich an der Position befindet, an der die in den Aussparungen liegenden Siliciumscheiben 4 von dem Vakuumgreifer aufgenommen werden können. Gleichzeitig gelangt die erste leere Läufer­ scheibe in die Position, in der sie durch einen Läuferscheiben­ greifer 6 vom unteren Polierteller 3 entnommen werden kann. Der Läuferscheibengreifer 6 ist vorzugsweise an einem Schwenkarm 7 befestigt, so dass die Entladung mit geringem Aufwand durch ei­ ne Hub-Schwenk-Bewegung erfolgen kann. Der Läuferscheibengrei­ fer 6 wird bevorzugt durch Anlegen von Vakuum betrieben, durch das die Läuferscheibe an den Greifer angesaugt wird. Die Ent­ nahme der Läuferscheiben 5 erfolgt bevorzugt im Takt der Ent­ nahme der scheibenförmigen Werkstücke 4, wobei sie im Takt ent­ sprechend verschoben ist.

Die Läuferscheiben werden im Allgemeinen nach der Entnahme ge­ reinigt, getrocknet und kontrolliert, wobei auch ihre Dicke er­ mittelt wird. Diese Maßnahmen können ganz oder teilweise in der Vorbereitungsstation erfolgen oder in gesonderten Vorrichtun­ gen. In Fig. 1 und 2 sind diese Vorrichtungen zur Vereinfachung nicht eingezeichnet. Nach der Entladung der Poliermaschine kann die erneute Beladung erfolgen, oder es wird vorher ein Präpara­ tionsprozess vorgenommen.

Beim Beladen der Doppelseitenpoliermaschine werden nach dem An­ docken der Justier-Transportvorrichtung 8 an der Andockstelle 9 der Poliermaschine folgende Vorgänge durchgeführt: Der Belade­ mechanismus 11 mit dem drehbaren Läuferscheiben- und Werkstück- Greifer 10 nimmt die Läuferscheibe 5 zusammen mit den Silicium­ scheiben 4 vom Justiertisch 12a der Justier-Transportvorrich­ tung 8 auf und legt sie auf den unteren Polierteller 3 ab. Der Belademechanismus ist als Hub-Schwenkarm ausgebildet, der mit Vakuumgreifern für die Läuferscheiben und die Siliciumscheiben ausgestattet ist. Der Belademechanismus wird durch die Steue­ rung und durch Sensoren so bewegt, dass die Läuferscheibe mit ihrer Verzahnung mit der Verzahnung der Poliermaschine zusam­ menpasst und an der gewünschten Stelle abgelegt wird. Die Posi­ tionen der Läuferscheiben und der Siliciumscheiben werden re­ gistriert. Aus den Anfangspositionen und den kinematischen Be­ triebsparametern der Poliermaschine können die Positionen am Ende der Polierfahrt ermittelt werden. Durch Markierungen an den Läuferscheiben und durch Sensoren zur Erkennung der Markie­ rungen können diese Endpositionen ebenfalls ermittelt werden. Somit ist die durchgängige Verfolgung der Siliciumscheiben und der Läuferscheiben möglich.

Während des Weitertaktens des Poliertellers wird der nächste Justiertisch der Justier-Transportvorrichtung 8 in die Entnah­ meposition gebracht. In Fig. 1 sind bei der Justier-Transport­ vorrichtung zwei Justiertische 12a und 12b eingezeichnet. Die Justiertische befinden sich auf einem Paternoster-Getriebe (nicht in den Figuren dargestellt), an dem sie in horizontaler Lage umlaufend bewegt werden können, so dass alle Justiertische einer Polierfahrt in die Entnahmeposition 12a gebracht und nacheinander auf den Polierteller überführt werden können.

Die Läuferscheiben sind in der bevorzugten Ausführungsform auf Justiertischen auf einem Paternoster-Getriebe angeordnet. Die Läuferscheiben auf den Justiertischen können jedoch beispiels­ weise auch in Fächern oder auf einem Lift angeordnet sein. Mit dem Paternoster-Getriebe ist die Beladung der Maschine mit ei­ ner einfachen Hub-Schwenk-Bewegung und einer Drehbewegung des Greifers möglich, weil jeder Justiertisch in die gleiche Posi­ tion gebracht werden kann. Im anderen Fall verlangt der Belade- und Entladevorgang gegebenenfalls aufwendigere Handlingsein­ richtungen bzw. Roboter. Diese sind hier nicht näher beschrie­ ben, können aber mit dem Stand der Technik realisiert werden.

Fig. 2 zeigt vereinfacht eine mögliche Vorbereitungsstation 13, in der die Bereitstellung der Justiertische mit den Läufer­ scheiben und den Siliciumscheiben in der Justier-Transportvor­ richtung erfolgt.

Die Läuferscheiben werden bevorzugt im vorbereiteten Zustand auf Justiertischen 12 liegend mit einer Läuferscheiben- Transportvorrichtung 19 zur Andockstelle 20 der Vorbereitungs­ station 13 gebracht. Bevorzugt ist eine genaue Positionierung der Läuferscheibe auf dem Justiertisch 12 mit Hilfe mechani­ scher Anschläge 18. Die Läuferscheibe wird allein oder zusammen mit dem Justiertisch in das Läuferscheibenlager 21 überführt. Das Lager ist bevorzugt als Lagerpaternoster ausgeführt, in dem die Läuferscheiben auf Justiertischen horizontal aufbewahrt werden.

Die Daten der Läuferscheiben, insbesondere ihre Dicke, wird von der Steuerung der Vorbereitungsstation registriert. Die Reini­ gung, Kontrolle und Dickenmessung der Läuferscheiben kann au­ ßerhalb oder in der Vorbereitungsstation erfolgen. In Fig. 2 sind die dafür nötigen Einrichtungen nicht eingezeichnet.

Zur Bestückung der Läuferscheiben einer Polierfahrt mit den Si­ liciumscheiben werden die gewählten Läuferscheiben allein oder mit den Justiertischen aus dem Lager 21 entnommen und auf der Beladeposition des Paternoster-Getriebes der Justier-Transport­ vorrichtung 8 abgelegt. In Fig. 2 befindet sich ein Justier­ tisch 12c in der Bestückungsposition. Ein weiterer Justiertisch 12d ist vorher belegt worden und wurde anschließend mit dem Pa­ ternostergetriebe der Justier-Transportvorrichtung aus der Be­ stückungsposition bewegt.

Das Lager 14 für die Werkstücke (Siliciumscheiben) besteht be­ vorzugt aus mehreren Lagereinheiten, in denen die Werkstücke ü­ bereinander und/oder nebeneinander in Fächern ("slots") ange­ ordnet sind, um eine genügend große Zahl von Werkstücken mit geringem Platzbedarf unterbringen zu können. In Fig. 2 sind nur drei Werkstücke in nebeneinander liegenden Fächern gezeichnet.

Ein Roboter 15 entnimmt eine zu polierende Siliciumscheibe 4 aus dem Werkstücklager 14 mit Hilfe eines Greifers 16. Für die Entnahme der Scheiben aus dem Werkstücklager mit eng nebenein­ ander gelagerten Werkstücken ist ein dünner Greifer geeignet, während sich für die Bestückung der Läuferscheiben ein Vakuum­ greifer besser eignet. Daher ist es bevorzugt, zwei Roboter einzusetzen. Die Siliciumscheibe wird dabei mit einem Roboter 15 mit einem Randgreifer aus dem Lager entnommen und auf einer Zwischenablage 17 abgelegt. Anschließend nimmt ein zweiter Ro­ boter 22 mit dem Vakuumgreifer die Siliciumscheibe auf und setzt sie in die vorgesehene Öffnung der Läuferscheibe in der Bestückungsposition 12c ein. Die Zwischenablage 17 kann so aus­ gebildet werden, dass die für eine Läuferscheibe bestimmten Si­ liciumscheiben so abgelegt werden, dass sie anschließend gleichzeitig mit einem Vakuumgreifer aufgenommen und in die Läuferscheibe eingesetzt werden können. Es ist aber auch mög­ lich, den Roboter 15 mit zwei Greifern auszustatten, so dass er auch die Funktion des Roboters 22 übernehmen kann.

Nach dem Bestücken der Läuferscheibe wird der nächste Justier­ tisch in die Beladeposition gebracht, indem entweder der Justiertisch mit der Läuferscheibe aus dem Lager 21 genommen wird, oder es wird nur die Läuferscheibe aus dem Lager 21 entnommen, wenn die Justiertische in der Justier-Transportstation verblei­ ben. Der Vorgang wiederholt sich, bis sich alle Läuferscheiben und die darin justierten zu polierenden Werkstücke für minde­ stens eine Polierfahrt in der Justier-Transportstation befinden. In Fig. 2 ist der Belademechanismus 11, der in Fig. 1 mit der Justier-Transportvorrichtung verbunden ist, nicht eingezeich­ net. Falls er an der Justier-Transportvorrichtung verbleibt, ist er so zu platzieren und die Vorbereitungsstation 13 ist so einzurichten, dass der Belademechanismus die Funktionen der Vorbereitungsstation nicht beeinträchtigt.

In Fig. 2 ist eine Werkstück-Eingabestation 23 dargestellt, aus der die Beladung des Werkstück-Lagers 14 mit Hilfe des Roboters 15 erfolgt. Bei der Beladung des Lagers werden die Daten der Werkstücke, insbesondere die Daten für die Identifikation des Werkstücks und seine Dicke, in den Datenspeicher der Vorberei­ tungsstation eingegeben.

Das erfindungsgemäße Verfahren ermöglicht es, die Zusammenstel­ lung der Läuferscheiben und der Werkstücke optimal zu gestal­ ten. Hierzu wird durch die Steuerung, den Datenspeicher und ein Optimierungsprogramm mit den Daten der Werkstücke und der Läu­ ferscheiben die günstigste Kombination aus Werkstücken und Läu­ ferscheiben für die Polierfahrten ermittelt.

Für die Optimierung können folgende Kriterien dienen:

• a) Der Dickenunterschied zwischen den Werkstücken in einer Läu­ ferscheibe ist kleiner als eine vorgegebene Toleranz.
• b) Der Unterschied zwischen der vorgesehenen Dicke der Werkstüc­ ke am Ende der Polierfahrt und der Dicke der Läuferscheibe liegt im vorgegebenen Bereich.
• c) Der Dickenunterschied zwischen benachbarten Läuferscheiben ist kleiner als eine vorgegebene Toleranz.

Auf Grund der Anforderungen stellt die Steuerung der Vorberei­ tungsstation aus den Vorräten an Werkstücken und Läuferscheiben eine vorteilhafte Kombination für die Polierfahrten zusammen. Ein besonderer Vorteil der Erfindung besteht darin, dass eine Optimierung aus einem großen Vorrat an Läuferscheiben und Werkstücken erfolgen kann, wenn die Lagerplätze der Vorberei­ tungsstation entsprechend belegt sind. Die Optimierung kann im Voraus für eine größere Zahl von Polierfahrten erfolgen, insbe­ sondere für ein ganzes Fertigungslos oder für mehrerer Ferti­ gungslose. Zur Optimierung können bekannte Optimierungsprogram­ me verwendet werden. Das Optimierungsprogramm kann nicht nur für die Einhaltung der genannten Kriterien a) bis c) sorgen, sondern es ist auch möglich, die bestmögliche Kombination von Werkstücken und Läuferscheiben der gegebenen Dickenverteilungen zu finden, d. h. die gegebenen Toleranzen nicht nur einzuhal­ ten, sondern diejenige Kombination von Werkstücken und Läufer­ scheiben zu finden, mit der die präzisesten Polierergebnisse erzielt werden. Außerdem kann mit dem Optimierungsprogramm die Lagerhaltung der Läuferscheiben optimiert werden, d. h. es kön­ nen Läuferscheiben mit der vorteilhaftesten Dicke beschafft werden.

Durch die Automatisierung der Handhabung von Werkstücken und Läuferscheiben ist eine deutliche Reduktion der Beladezeit bei gleichzeitig hoher Präzision des Polierprozesses möglich. Ma­ schinenstillstandszeiten können deutlich verringert werden. Des Weiteren kann durch die Automatisierung eine lückenlose Verfol­ gung der Werkstücke und der Läuferscheiben im Sinne eines "ma­ terial tracking" realisiert werden. Außerdem wird der Verlust von Werkstücken minimiert, der bei der Zusammenstellung der Werkstücke für eine Polierfahrt auftritt. Die Auswahl der Werk­ stücke für die Polierfahrten kann so erfolgen, dass Scheiben mit hoher Dringlichkeit bevorzugt werden. Dadurch ist eine Op­ timierung der Durchlaufzeit beim Doppelseiten-Polierprozess möglich.

Die Vorbereitungsstation kann für mehrere Poliermaschinen die­ nen. Die in der Vorbereitungsstation gespeicherten Daten über die Werkstücke und die Läuferscheiben und über die Zuordnung in der Justier-Transportvorrichtung sind auf die Geräte übertrag­ bar, die für die weitere Zusammenstellung und Prozessierung der Werkstücke dienen. Dadurch ist die einfache Zusammenstellung der zusammengehörigen Scheiben in den Horden und eine einfache und lückenlose Materialverfolgung möglich.

Die Erfindung ist auf alle scheibenförmigen Werkstücke anwend­ bar, die doppelseitenpoliert werden. Dies trifft beispielsweise auf Siliciumscheiben, aber auch auf Scheiben aus anderen Halb­ leitermaterialien oder Siliciumcarbid-Scheiben zu. Eine Anwen­ dung beim Läppen scheibenförmiger Werkstücke ist ebenfalls mög­ lich.

Claims (13)

1. Verfahren zum Beladen einer Doppelseiten-Poliermaschine, umfassend folgende Schritte:

• a) Bereitstellung und Auswahl von Läuferscheiben und zu po­ lierenden Werkstücken in einer Vorbereitungsstation,
• b) Positionieren der Läuferscheibe in einer Justiervorrich­ tung,
• c) Bestücken der Läuferscheibe in der Justiervorrichtung mit den ausgewählten Werkstücken im zugehörigen Dickenbe­ reich,
• d) Wiederholung der Schritte b) und c), bis alle Läufer­ scheiben einer Polierfahrt bestückt sind,
• e) Auflegen der Läuferscheiben mit den eingelegten Werkstü­ cken auf den Polierteller der Poliermaschine.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ei­ ne Läuferscheibe auf einen Justiertisch gelegt wird und an­ schließend mit zu polierenden scheibenförmigen Werkstücken beladen wird, wobei diese Schritte wiederholt werden, bis alle für eine Polierfahrt benötigten Läuferscheiben auf je­ weils einem Justiertisch liegen und mit zu polierenden scheibenförmigen Werkstücken beladen sind.

3. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch ge­ kennzeichnet, dass die Läuferscheiben nach bestimmten Aus­ wahlkriterien aus einem Vorrat an Läuferscheiben ausgewählt werden.

4. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die zu polierenden scheiben­ förmigen Werkstücke nach bestimmten Auswahlkriterien aus einem Vorrat an Werkstücken ausgewählt werden.

5. Verfahren nach Anspruch 3 oder Anspruch 4, dadurch gekenn­ zeichnet, dass die Dicke der Läuferscheiben und/oder der Werkstücke das Auswahlkriterium ist.

6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Dickenunterschied zwischen den Werkstücken in einer Läufer­ scheibe kleiner ist als eine vorgegebene Toleranz.

7. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Unterschied zwischen der vorgesehenen Dicke der Werkstücke am Ende der Polierfahrt und der Dicke der Läuferscheibe in einem vorgegebenen Bereich liegt.

8. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Dickenunterschied zwischen benachbarten Läuferscheiben kleiner ist als eine vorgegebene Toleranz.

9. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Position jedes Werkstücks während des gesamten Verfahrens bekannt ist, so dass eine lückenlose Materialverfolgung möglich ist.

10. Vorrichtung für die Vorbereitung der Beladung einer Doppel­ seiten-Poliermaschine, umfassend

• a) eine Eingabestation für die Werkstücke,
• b) einen Werkstückspeicher,
• c) eine Eingabestation für die Läuferscheiben
• d) einen Läuferscheibenspeicher,
• e) eine Justiervorrichtung für die Bestückung der Läufer­ scheiben mit den Werkstücken und
• f) eine Steuerung mit Datenspeicher für die geometrischen Daten der Werkstücke und der Läuferscheiben, wobei die Steuerung die optimale Auswahl und Belegung der Läufer­ scheiben mit Werkstücken ermittelt und veranlasst.

11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Justiervorrichtung mit einem Paternoster-Getriebe aus­ gestattet ist.

12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Läuferscheibenspeicher mit einem Paternoster-Getriebe ausgestattet ist.

13. Doppelseiten-Poliermaschine, gekennzeichnet durch eine An­ dockvorrichtung für eine Justier-Transportvorrichtung oder eine Transportvorrichtung für mehrere mit zu polierenden Werkstücken belegte Läuferscheiben.