DE10123292B4 - Sensorsystem - Google Patents

Abstract

Sensorsystem, bei dem ein digitaler Absolutwert der jeweiligen Position eines feststehenden Teils (Stators) eines Gebers (1) gegenüber einem relativ dazu bewegbaren Teil (Rotor) gebildet wird, der seriell zu einer Auswerteschaltung (3) übertragen wird, wobei die Übertragung des Absolutwerts jeweils durch ein externes Signal eingeleitet wird, dadurch gekennzeichnet, dass sensorseitig jeweils die Änderung des Absolutwerts erfasst wird, dass jeweils ausgehend vom Zeitpunkt der Änderung eine Feinstinterpolation mit wählbarer Absolutauflösung erfolgt und dass bei Abfrage durch das externe Signal der Absolutwert durch das aufgelaufene Feinstinterpolationsergebnis ergänzt wird.

Description

• Die Erfindung betrifft ein Sensorsystem mit den Merkmalen des Oberbegriffs des Anspruchs 1. Dabei soll die Erfindung zur Messung von Wegen und zur Messung von Winkeln verwendbar sein.
• Hierbei soll es offen bleiben, wie der digitale Absolutwert im Geber ermittelt wird. Er kann z. B. so ermittelt werden, wie es in der EP 1102040 A1 beschrieben ist. Dort beinhaltet die Winkel- und/oder Wegmessvorrichtung einen Abtastkopf mit mindestens einem Sensor zur Ermittlung von Absolutwerten von Winkeln und/oder Wegen und mindestens einem Sensor zur Ermittlung von zwischen zwei aufeinanderfolgenden Absolutwerten liegenden Inkrementalwerten von Winkeln und/oder Wegen. Im Abtastkopf befinden sich Mittel zur Bildung eines Gesamtabsolutwerts aus einem von mindestens einem Sensor ermittelten Absolutwert und eines von mindestens einem Sensor ermittelten Inkrementalwert und zur Bereitstellung dieses Gesamtabsolutwerts in Binär/-Digitalform.
• Dort wird also der vom Messsystem erfasste Absolutwert mit dem getrennt, zwischen zwei Werten des erfassten Absolutwerts, ermittelten Feinwert unmittelbar in die Geberelektronik zusammengefasst und zusammen als Gesamtabsolutwert in Binär/Digitalform zur Geberausgabe im gesamten Betriebsbereich bereitgestellt, Damit erfolgt die gesamte Signalverarbeitung im Abtastkopf, so dass die aufwendige Signalübertragung (Kabel, Abschirmungen, usw.) wesentlich vereinfacht wird und vor allem die aufwendige Peripherie-Elektronik (AD-Wandler, Sample- und Hold-Bausteine, Rechner usw.) entfallen kann.
• In der genannten Patentanmeldung sind Zusammenhänge zwischen höchster Messgeschwindigkeit und Auflösung beschrieben, die aufzeigen, dass die im Anwendungseinsatz (z. B. Motoren von 0 bis 6000 U/min bzw. Verstellgeschwindigkeiten von bis zu 10 m/sec) zu realisierenden Geberauflösungen oberhalb 18 Bit an Systemgrenzen stoßen. Für den Fall höher gewünschter Auflösungen von z. B. 20 Bit und mehr wird empfohlen, zusätzlich die 12 Bit-SIN-/COS-Signale (Analogwerte) vom Geber an die Auswertung zu übertragen, um extern die Feinstauflösung von z. B. 10 Bit vorzunehmen. Mit allen damit einhergehenden Zusatzaufwendungen an Schal tungsmaßnahmen, Bauteilen, Störempfindlichkeiten und vor allem mit der problematischen Gebergenauigkeit ergibt dies eine Auflösung der Winkel-/Wegab-schnitte von annähernd 22 Bit.
• Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Messsystem anzugeben, das eine Erhöhung der Gebergenauigkeit erlaubt, ohne die oben genannten Nachteile in Kauf nehmen zu müssen.
• Diese Aufgabe wird durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.
• Die hohe Wegauflösung wird dort benötigt, wo präzise Stellbewegungen möglichst schnell in eine Position gefahren und die Lage auch bei Lastschwankungen, bzw. Störkräften steif beibehalten werden soll. Die anspruchsvollen Servosteuerungen arbeiten mit Zykluszeiten (Zeit zwischen zwei Regel-/Stellmaßnahmen am Antrieb) bis hinunter zu ca. 50 μsec. Nimmt man als Beispiel eine Welle von ca. 40^⌀ mm und eine Absolutgeberauflösung von 17 Bit, so entspricht ein Auflösungsschritt ca. 1 μm.
• Damit wird in der Zyklusszeit von 50 μsec höchstens der 1 μm-Schritt erfasst, was einer Beschleunigung von a = 2 s/t2 = 2 μm/(502·μm2) = (2·106)/2500 a = (2/2,5)·103 = 800 m/sec2 ≈ 80 gentspricht. Dies will man jedoch in Bereiche von g = 10 m/sec² herabsetzen, so dass höhere Auflösungen von über 22 Bit gefragt sind. Besonders erschwerend ist bei solchen Auflösungen, dass beim Stand der Technik das bestehende und verrauschte Analogsignal (SIN-/COS-Signal) für den Weg einmal differenziert werden muss, um die benötigte Geschwindigkeit für den Regler zu erhalten. Das Ausmaß der Problemstellung wird ersichtlich, wenn man die üblichen 1 V_SS-SIN-/COS-Signale mit einer 12-Bit-AD-Wandlung (z. B. um von einer 10-Bit-Inkrement-Grundauflösung auf die 22- Gesamtauflösung zu kommen) heranziehen und in rauhen Industriebedingungen Spannungen von einigen 1/10 mV verarbeiten muss.
• Die zugrundeliegende Erfindung vermeidet die analoge Signalverarbeitung über störbehaftete Kabelstrecken und aufwendige, sowie problembehaftete Analogwandlungen in der Auswerteschaltung. Vielmehr werden nur digitale Signale herangezogen, die präzise und störungsfrei in den ohnehin auf digitaler Basis arbeitenden Rechnersteuerungen zu verarbeiten sind.
• Begünstigt wird dieses Vorgehen durch die z. B. bei Inkrementalgebern bekannte und offensichtliche Tatsache, dass die Teilungsgenauigkeit viel höher ist, als die durch den Teilschritt vorgegebene Auflösung. Auch sind die Wiederholungsgenauigkeiten der Sensorwerte um ein Vielfaches höher. In der Praxis werden bei Präzisionsgebern 30-bis 100-fach genauere Werte erreicht, als es die Auflösung und erst recht die erzielbaren Absolutgenauigkeiten vorgeben. Dies liegt daran, dass die Maßstabsscheiben – z. B. bei optischen Gebern – durch hochgenaue Lithographieprozesse erstellt werden. Diese Geräte dienen zur Maskenherstellung für Halbleiter und reichen in ihrer Präzision bis an einige Nanometer heran. Damit sind die auf inkrementeller Basis arbeitenden und synchronisierten Sensorsysteme – z. B. gemäß EP 1102040 A1 – prädestiniert, viel höhere Auflösungen zu bewerkstelligen.
• Besonders geeignet sind hierzu auch Auswertesysteme, die über mehrere Inkremente hinweg in Mittelwertbildung die Lage der Inkremente erfassen. Damit werden im Sensormesssystem selbst die Nulldurchgänge der SIN/COS-Signale äußert präzise erfasst und können somit für die höheren Auflösungen weiterbildend herangezogen werden. Ein so gestaltetes Sensorsystem kann z. B über seine höchst genaue Inkrementteilung von z. B. 12 Bit ebenfalls bitweise von 12 bis 15 Bit (Nulldurchgänge und Schnittpunkte von SIN-/COS-Signalen sind besonders genau dabei erfassbar) für höchstmögliche Auflösungsschritte für die erfinderische Ausgestaltung besonders vorteilhaft herangezogen werden.
• Bei der Erfindung z. B. wird aus einem den Absolutwert bildenden Zählerstand an definierter Binärstelle (z. B. 12 Bit) die Wertänderung als digitale Signalausgabe (z. B. 1 = High-Pegel, 0 = Low-Pegel) vom Winkel- bzw. Wegsensor herausgeführt.
• Damit kann der Sensor selbst, bzw. die externe Steuerung – oder auch beide gemeinsam – auf eine entsprechend sehr präzise Bitfolge, z. B. 12 Bit, zurückgreifen und über eine Weginterpolation zwischen den sich abwechselnd bildenden Flanken des Signals die sehr hochauflösende Wegerfassung, sowie Geschwindigkeitsermittlung bewerkstelligen.
• Ein Geber mit 12 Bit Inkrementauflösung für die zu bildenden Absolutwerte, hat praktikable Teilungsschritte von 20 μm bis 30 μm. Der Signalabstand zweier Flanken ergibt genau den Weg dieser Teilungsstrecke und kann über eine Oszillator-Frequenz von z. B. 30 bis 50 MHz (100 MHz) und einen Zähler feinst aufgelöst in Zeit ermittelt werden.
• Die Geschwindigkeit ergibt sich v = s/t.
• Bei konstanter Geschwindigkeit v = Konst. = K,
  ergibt sich K·t = s und die Teilstrecke Δs = K·Δt = K·(1/f_Oszill.)·Δz.

f_Oszill

= Oszillator-Frequenz

z

= Zählabstand von einer zur anderen Signalflanke (bei gegebener f_Oszill.)

Δz

= z₁ – z₂; Δz_min = 1

• Geht man z. B. von der 12-Bit-Signalfolge mit einem Abstand von 30 μm aus und einem Oszillator von 50 MHz, so ergeben sich für t_Zyklus = 50 μsec Zykluszeiten bei:
• 1. v = Verstellgeschwindigkeit der Wegstrecke ≤ 10 m/sec f_12-Bit ≈ 300 kHz (Übertragungsfrequenz der 12-Bit-Signalausgabe) t_12-Bit ≈ 3 μsec z_max ≈ 3 μsec/20 nsec = 150 ≅ 7 Bit Δs ≈ 200 nm = 0,2 μm a ≈ 2Δs/t² _Zyklus = 0,4/(2500·10⁶) = 160 m/sec² = 16 g Relative Gesamtauflösung: 12 Bit + 7 Bit = 19 Bit
• 2. v = 1 m/sec: f_12-Bit ≈ 30 kHz t_12-Bit ≈ 30 μsec z_max ≈ 30/20 = 1500 ≥ 10 Bit Δs = 20 nm = 0,02 μm a ≈ 2Δs/t² _Zyklus = 0,04/(2500·10⁶) = 16 m/sec² = 1,6 g Relative Gesamtauflösung: 12 Bit + 10 Bit = 22 Bit
• 3. v = 0,1 m/sec: f_12-Bit ≈ 3 kHz t_12-Bit ≈ 300 μsec Da t_Zyklus < 300 μsec, so muss bei Beibehaltung der t_Zyklus = 50 μsec f_15-Bit = 24 kHz, t_15-Bit = 40 μsec gewählt werden. z_max ≈ 40 μsec/20·10³ nsec = 2000 = 11 Bit Δs ≈ 4 μm/(2·10³) = 2 nm = 0,002 μm a = 2Δs/t² _Zyklus = (0,004/2500)·10⁶ = 4/2,5 = 1,6 m/sec² = 0,16 g Relative Gesamtauflösung = 15 Bit + 11 Bit = 26 Bit
• Diese hohe Auflösung für die relative Weg- und Geschwindigkeitserfassung braucht jedoch den Bezug zum Absolutwert der Strecke bzw. des Winkels. Da die Absolutwertbildung in Sensoren des z. B. Schweizer Patents Nr. 02 105/99 unter Echtzeitbedingungen erfolgt, (kleiner 10 nsec-Streubreite), lassen sich nach der erfinderischen Ausgestaltung der Absolutsignalerfassung sehr präzise Absolutgenauigkeiten von der oben aufgeführten relativen Gesamtauflösung erreichen. Im Sensor selbst erfolgt die synchrone Einleitung der Feinstwertbildung einfach mittels der Interpolation zwischen den jeweils gewählten und sich ändernden Werten der Absolutwert-Stellwerte (z. B. von 12 bis 17, bzw. 18 Bit). Die externe Feinstwertbildung (Interpolation) geschieht durch die synchrone Einleitung der seriellen Abfrage mittels der Taktflanken der seriellen Schnittstelle SSI mit einer der herausgeführten 12-Bit-Signalflanken durch die externe Steuerung. Dieser 12-Bit-Wert (bis 17; 18-Bit) wird mit einer Genauigkeit erfasst, die sich absolut im Bereich bis hinab zu 10 nm bewegt. Bei Präzisionsgebern mit ca. 40°-Maßstabsscheiben und 12-Bit-Teilung ergibt das Genauigkeiten, die sicher oberhalb von 22 Bit liegen.
• Damit sind mit den so gestalteten Gebern und Abfragen, sowie digitaler Interpolation im Sensor bzw. in der Steuerung auch Absolutgenauigkeiten erreichbar, die über den Nenn-Absolutwert-Ausgaben des Messgebers (z. B. durch SSI-Ausgabe) liegen. Solange die z. B. 12-Bit-Signalfolge (bzw. 13-, 14-, 15 bis 17–18 Bit) herangezogen werden kann, sind markant höhere Absolutwerte, bzw. Auflösungen erreichbar, die über den Nenn-Absolutwerten der bisher realisierten Echtzeit-Messwertgebern von z. B. 17/18 Bit liegen. Bei praktikablen Verfahrgeschwindigkeiten werden somit sehr hohe Auflösungen erreicht, die über 22 Bit liegen und sich sehr einfach, kostengünstig, sowie störunempfindliche realisieren lassen.
• Bei der sensorinternen Interpolation können sehr einfach die zweckmäßigen Absolutwert-Stellen von 12- bis z. B. 17/18 Bit zur Interpolation der Feinstwerte ermittelt werden, in dem die Geschwindigkeiten der permanent erfassten Weg-/Winkelstrecken herangezogen werden. Dabei sind zweckmäßigerweise die höherwertigen Auflösungsschritte bei entsprechend niederen Geschwindigkeiten – z. B. 17-/18 Bit bei nahezu Stillstand – zu wählen.
• Bei externer Feinstinterpolation kann in besonders einfacher und Kabel/Stecker sparender Ausführung die Signalausgabe über die Datenleitung der seriellen Schnittstelle ausgegeben werden. Während dem seriellen Datenverkehr ist die Signalausgabe dann gesperrt und wird sofort wieder aktiviert, wenn der Datenübertragungsprozess abgeschlossen ist.
• Bei Stillstand und der sich innerhalb der z. B. 12- bis 15-Bit-Signalfolge (bzw. 17-/18 Bit) befindlichen Position, kommt nur die tatsächlich vom Sensor verarbeitete Auflösung und Genauigkeit zum Tragen und bestimmt somit den Fangbereich der absolut zu erzielenden Position unter allen Grenzbedingungen. Die Nennauflösung der Sensoren hat diesem Umstand Rechnung zu tragen.
• Die bisher in der Praxis angewandten Regelsysteme im Stillstand nutzen auch die bei Bewegung vorteilhafte Geschwindigkeitserfassung. Es kann daher vorteilhaft sein, als Inkrementalsignal z. B. die höchst auflösende Bitstelle herauszuführen, um im Fangbereich der absoluten Position die Geschwindigkeit zu ermitteln und der Re geleinrichtung zur Verfügung zu stellen. Bei einem 17-/18 Bit-Absolutgeber und einer Welle von 40^⌀ mm sind bei ca. 0,5 μm um die Wegstrecke und die Beschleunigungsbewegung durch Last-/Störgrößen mit einigen g sehr gut innerhalb von 50 μsec Regelzyklus und Auflösungsgrenze erfassbar.
• Mit der beschriebenen Interpolation und sich ergebenden Geschwindigkeitsänderungen mit ca. v ≤ 0,02 m/sec, sind die Positionen äußert feinfühlig innerhalb der gegebenen Nenn-Auflösungsgrenzen mit relativen Auflösungen um bis zu drei Größenordnungen höher, d. h. statt 17/18 Bit mit 27 bis 28 Bit zu halten. Bei interner Interpolation im Sensor kann daher der Feinstwert mit dem Gesamtabsolutwert zum höher aufgelösten neuen Absolutwert verarbeitet und über die SSI-Schnittstelle übertragen werden. Es ist aber auch möglich und zweckmäßig, den Gesamtabsolutwert von 17/18 Bit durch den jeweils ermittelten Feinstwert zu ergänzen und separat den Wert beim Datenabruf über SSI zu übertragen.
• Bei externer Feinstwertbildung ist es aber nicht immer ausreichend, den Gesamtabsolutwert von 17/18 Bit mit der vom Absolutwert abgeleiteten Signalausgabe z. B. von 12 bis 15 Bit (17/18 Bit) allein zur Regelung durch die Steuerung zu verknüpfen.
• Für solche Fälle der Regelungen bei kleinsten Geschwindigkeiten und z. B. begrenzter Möglichkeiten der schnellen Absolutwertübertragung, bzw. Abfrage der Messwerte, ist es zweckmäßig, zusätzlich zum Inkrementalsignal die Bewegungsrichtung des Sensors (vor/rück, bzw. links/rechts) als Signal herauszuführen und der Steuerung zur Verfügung zu stellen. Auch ist es zweckmäßig, wenn die Auflösung des Inkrementalsignals von z. B. 12 bis 17/18 Bit (bei einem 17/18-Bit-Absolutgeber) programmierbar ist, bzw. frei wählbar geändert und situationsbedingt von der externen Steuerung abrufbar ist. Damit trägt man auch den unterschiedlichen Stell-Bewegungsgeschwindigkeiten Rechnung, die die hohe Auflösung des Inkrementalsignals bis 17/18 Bit nur bei sehr langsamen Bewegungen bis zum Stillstand benötigen und somit die Übertragungsfrequenzen unproblematisch niedrig halten.
• Da sich in der Regel Absolut-Positionen in der überwiegenden industriellen Anwendung annähernd im μ-Bereich bewegen, sind preisgünstige Nenn-Absolutwertgeber auch nur für diese Auflösungsbereiche zu konzipieren und die gefragten höheren Auflösungen für bewegte Vorgänge mit den nach den Ansprüchen zu realisierenden Vorgaben zu bewerkstelligen. Damit erreicht man im Vergleich zu bestehenden Ausführungen preiswerte Sensoren und einfache Steuerungen für sehr anspruchsvolle Regelaufgaben.
• Anhand der Zeichnung werden Ausführungsbeispiele der Erfindung näher beschrieben.
• In 1 ist mit 1 ein Absolutwertgeber bezeichnet. Der jeweils gerade festgestellte und in digitaler Form vorliegende Positionswert, bzw. die Winkel-, bzw. Wegstrecke wird bei einem über eine Leitung 2 von der Auswerteschaltung 3 übertragenen Taktsignal über eine Datenleitung 4 seriell übertragen. Diese Übertragung kann in bekannter Weise über die sogenannte serielle Schnittstelle SSI erfolgen.
• Parallel dazu wird über die Leitungen 5 zum Zeitpunkt jeder Änderung des digitalen Messwerts des Gebers 1 ein Signal (Flanke) und die Richtungsangabe links/rechts übertragen, das die Interpolation in der Auswerteschaltung 3 auslöst, z. B. die Impulse eines Generators einem Zähler zuführt, dessen Zählergebnis gegebenenfalls unter Berücksichtigung der Geschwindigkeit des Rotors gegenüber dem Stator, die relative Stellung des Rotors zum Stator zwischen zwei benachbarten digitalen Messwerten angibt. Mit diesem Ergebnis kann das digitale, über die Leitung 4 übertragene Messergebnis ergänzt, bzw. verfeinert werden.
• 2 unterscheidet sich von 1 dadurch, dass nur ein Leitungspaar 2', 4' zwischen dem Geber 1 und der Auswerteschaltung 3 vorgesehen ist. Hier erfolgt wie in 1 die Abfrage über Leitung 2' und die Übertragung des abgefragten Digitalwerts über Leitung 4'. Hier wird das die Änderung des Digitalwerts signalisierende Signal auch über die Leitungen 4' übertragen, wobei diese Übertragung bei einer Abfrage über Taktleitung 2' und der danach erfolgenden seriellen Übertragung ausgesetzt, bzw. gesperrt wird.
• In 3 wird im Geber 10 auch die Interpolation vorgenommen. Der vom Geber ermittelte Grob- und Feinwert steht hier in einem Register 11 zur Verfügung. Kommt es zu einer Änderung des Werts, z. B. an der letzten Stelle, so wird dies in einem Block 12 erkannt und damit die Feinstinterpolation in einem Block 13 ausgelöst. Der Block 13 enthält z. B. einen Zähler, der durch das Signal des Blocks 12 ausgelöst die Impulse eines Oszillators 14 zählt.
• Zweckmäßig ist es im Sensor die Geschwindigkeit des Messobjektes zu erfassen, die bekanntlich aus der zurückgelegten Wegstrecke pro Zeiteinheit – also Änderung des Absolutwertes pro Zeit- für den Sensor normiert ermittelt werden kann, was hier des Stellwertes aus dem Gesamtabsolutwert (in 11, Grob- und Feinwert) im Block 12 herangezogen, so dass mit kleiner werdenden Geschwindigkeiten die höheren Auflösungswerte zum Tragen kommen. Damit erreicht man die höchstmöglichen Feinstauflösungen zwischen zwei Messzeiträumen (Zykluszeiten) und damit einhergehend auch die maximale Gesamtauflösung des Sensorsystems.
• Im Falle des Abrufs des augenblicklichen Gesamtabsolutwerts werden die Ergebnisse des Registers 11 und des Blocks 13 in einem Block 16 entsprechend zusammengesetzt, der entweder dann eine getrennte Übertragung der beiden Ergebnisse zur Auswerteschaltung 20 veranlasst, oder aber einen Gesamtabsolutwert mit einer erhöhten Bitzahl bildet und diesen zur Auswerteschaltung 20 überträgt. Der Auswahlmodus kann fest programmiert sein oder parametrierbar ausgeführt sein, so dass situationsbedingt von der Steuerung die gewünschten Messwerte abrufbar sind.

Claims (12)

1. Sensorsystem, bei dem ein digitaler Absolutwert der jeweiligen Position eines feststehenden Teils (Stators) eines Gebers (1) gegenüber einem relativ dazu bewegbaren Teil (Rotor) gebildet wird, der seriell zu einer Auswerteschaltung (3) übertragen wird, wobei die Übertragung des Absolutwerts jeweils durch ein externes Signal eingeleitet wird, dadurch gekennzeichnet, dass sensorseitig jeweils die Änderung des Absolutwerts erfasst wird, dass jeweils ausgehend vom Zeitpunkt der Änderung eine Feinstinterpolation mit wählbarer Absolutauflösung erfolgt und dass bei Abfrage durch das externe Signal der Absolutwert durch das aufgelaufene Feinstinterpolationsergebnis ergänzt wird.
2. Sensorsystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass bei der Feinstinterpolation die aus der Änderung des Absolutwerts abgeleitete Geschwindigkeit berücksichtigt wird.
3. Sensorsystem nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Zeitpunkt der Änderung zur Auswerteschaltung (3) über eine separate Leitung (5) als Signalausgabe weitergegeben wird und dass die Feinstinterpolation in der Auswerteschaltung (3) erfolgt.
4. Sensorsystem nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Weitergabe des Zeitpunkts über die Leitung (4') für die serielle Übertragung des Absolutwerts erfolgt.
5. Sensorsystem nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Feinstinterpolation sensorseitig erfolgt (3).
6. Sensorsystem nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Absolutwert durch das Feinstinterpolationsergebnis vor der Übertragung ergänzt wird.
7. Sensorsystem nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Absolutwert und das Feinstinterpolationsergebnis nacheinander übertragen und der Absolutwert danach ergänzt wird.
8. Sensorsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Absolutwert aus einer abgetasteten Absolutspur des Rotors und einer Interpolation des dazwischen liegenden Wegs/Winkels gebildet ist.
9. Sensorsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass bei Verwendung eines den Absolutwert wiedergebenden Registers (11) die Änderung einer wählbaren Registerstelle den Zeitpunkt der Änderung bestimmt.
10. Sensorsystem nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Flanke des die Registerstelle ändernden Signals den Zeitpunkt bestimmt.
11. Sensorsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass ab dem Zeitpunkt der Änderung ein Zähler (13) die Impulse eines Generators (14) zählt.
12. Sensorsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass sensorseitig die Bewegungsrichtung des Rotors des Gebers (1) ermittelt und über eine separate Leitung (L/R) ausgegeben wird.