DE10114672A1 - Ultraschallschwinger - Google Patents
UltraschallschwingerInfo
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Abstract
Die Erfindung betrifft einen Ultraschallschwinger, umfassend wenigstens einen Ultraschall-Schwingungserzeuger, insbesondere wenigstens ein Piezoelement, und ein damit verbundenes Schwingelement, das insbesondere zur mechanischen Schwingungsverstärkung einsetzbar ist und an dem ein Ultraschallwerkzeug befestigbar ist, wobei das Schwingelement als wenigstens eine Platte (2) ausgebildet ist, an der zumindest auf einer der Plattenseiten (2a, 2b) wenigstens ein Ultraschall-Schwingungserzeuger (3) befestigt ist.
Description
Die Erfindung betrifft einen Ultraschallschwinger umfassend wenigstens einen
Ultraschallschwingungserzeuger, insbesondere wenigstens ein Piezoelement, und
ein damit verbundenes Schwingelement, das insbesondere zur mechanischen
Schwingungsverstärkung einsetzbar ist, und an dem ein Werkzeug, insbesondere
zum Bonden, befestigbar ist.
Insbesondere bei Maschinen zum Bonden von Halbleitern, also z. B. zum
Drahtbonden bzw. Flip-Chip-Bonden ist es bekannt, Ultraschallschwinger zum
Antrieb eines Werkzeuges einzusetzen, wobei ein je nach gewünschter
Bondtechnik angepasstes Werkzeug verwendet wird.
Die bekannten und häufig als Ultraschalltransducer bezeichneten
Ultraschallschwinger bestehen im Wesentlichen aus einer oder mehreren
piezokeramischen Scheiben, die durch eine Spannungsquelle in
Ultraschallschwingungen versetzt werden, wobei die erzeugten Schwingungen
mittels eines als Schwingelement dienenden Ultraschallhornes mechanisch
verstärkt und auf das Werkzeug übertragen werden.
Entsprechende Ultraschalltransducer sind z. B. aus der US 4173725 und aus der
US 5364005 bekannt. Die aus diesen Schriften bekannten Ultraschallhörner, die
üblicherweise mit dem schwingungserzeugenden Piezoelement vollflächig in
Kontakt stehen, sind zumeist rotationssymmetrisch und verjüngen sich in Richtung
des an dem Ultraschallhorn befestigten Werkzeuges. Durch diese verjüngende
Ausgestaltung des Ultraschallhornes von dem Punkt der Ultraschalleinleitung bis
zum Punkt der Werkzeugaufnahme wird eine Schwingungskonzentration,
insbesondere eine Schwingungsverstärkung hervorgerufen.
Die bekannten Ultraschallhörner haben den Nachteil, dass sie zur Erzielung ihrer
besonderen physikalischen Eigenschaften sehr präzise gefertigt werden müssen
und dass sie aufgrund ihrer massiven metallischen Ausführung ein sehr hohes
Gewicht aufweisen. Insbesondere das hohe Gewicht wirkt sich sehr nachteilig aus,
da sich durch ein hohes Gewicht die Trägheit des Bondkopfes erhöht, was den
maximalen Durchsatz der Maschine beim Bonden begrenzt, da das Beschleunigen
und Abbremsen eines Bondkopfes während eines Bondvorganges einen
erheblichen Zeitanteil in Anspruch nimmt.
Aufgabe der Erfindung ist es, einen Ultraschallschwinger der eingangs genannten
Art bereitzustellen, der eine möglichst geringe Masse, insbesondere der
schwingenden Elemente aufweist, mit standardmäßigen Materialien herzustellen
ist und entsprechend kostengünstig angefertigt werden kann.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass statt eines bekannten
sich verjüngenden massiven Ultraschallhornes wenigstens eine Platte als
Schwingelement ausgebildet wird, an der zumindest auf einer der Plattenseiten
wenigstens ein Ultraschallschwingungserzeuger befestigt ist. Eine derartige Platte
kann beliebige äußere Formgestaltung aufweisen, z. B. eckig oder rund, auch
unsymmetrisch.
Mittels des Ultraschallschwingungserzeugers, der außerhalb der
Schwingungsknoten prinzipiell an jeder beliebigen Stelle mit einer Platte
verbunden sein kann, wird die Platte in Schwingungen versetzt, wodurch sich in
der Platte stehende Wellen mit Schwingungsbäuchen und Schwingungsknoten
ausbilden. Die sich ausbildenden stehenden Wellen rufen in der schwingenden
Platte ein Schwingungsmuster hervor, welches auch unter der Bezeichnung
chladnische Figuren bekannt ist.
Der erfindungsgemäße Ultraschallschwinger hat den Vorteil, dass auf
standardmäßige Produkte zurückgegriffen werden kann, da zur Ausbildung dieses
Ultraschallschwingers kein spezielles Ultraschallhorn angefertigt werden muss,
sondern einfache Platten, z. B. aus Metall, Keramik, Verbundwerkstoffen etc. zum
Einsatz kommen können.
Durch wenigstens einen an einer Platte befestigten Ultraschallschwingungs
erzeuger kann eine Platte oder eine Anordnung von mehreren Platten sowohl
quasi stationär als auch in Resonanz betrieben werden, so dass durch die
resonante Schwingungsüberhöhung ebenfalls eine mechanische Verstärkung der
Amplitude des angesteuerten Ultraschallschwingungserzeugers erzielbar ist. Eine
gewünschte Resonanzfrequenz, beispielsweise eine Frequenz, bei der eine
Bondverbindung sehr gut herstellbar ist, läßt sich insbesondere mittels der
Eigenschaften der eingesetzten Platte beeinflussen, also z. B. durch die
Biegesteifigkeit, die sich anhand der Größe und Dicke der Platte bestimmt. Die
gewünschten Resonanzfrequenzen liegen im Bereich von 10 KHz bis einigen 100
KHz, z. B. 200 KHz.
Eine zur Schwingung angeregte Platte hat gegenüber dem klassischen
Ultraschallhorn eine sehr geringe Masse und ebenfalls eine sehr kurze
Anschwingzeit, da eine Platte sehr klein und dünn ausgebildet werden kann, so
dass z. B. bei Bondmaschinen aufgrund der verringerten Masse des Bondkopfes
die Produktionsrate durch den Einsatz eines erfindungsgemäßen
Ultraschallschwingers steigerbar ist.
Um den erfindungsgemäßen Ultraschallschwinger an einer Vorrichtung zu
befestigen, weist der Ultraschallschwinger wenigstens ein Befestigungselement
auf, welches vorzugsweise im Bereich eines Schwingungsknotens der zur
Ultraschallschwingung angeregten Platten angeordnet ist. Alternativ kann auch ein
nicht oder nur geringfügig schwingendes Element des Ultraschallschwingers als
Befestigungselement dienen. Beispielsweise kann durch entsprechende
Konstruktion des Ultraschallschwingers erreicht werden, daß in dem
Befestigungselement sich sämtliche wirkenden Kräfte zu Null bzw. einen
vernachlässigbaren Wert aufaddieren. Hierzu wird das Befestigungselement z. B. in
einem Symmetriepunkt oder einer Symmetrieebene angeordnet, um den/die herum
die schwingenden Elemente, wie z. B. die Piezoelemente und Platten verteilt sind.
Hierdurch wird gewährleistet, dass möglichst wenig der Ultraschallenergie über
das Befestigungselement auf die umgebende Vorrichtung übertragen wird.
Mittels der vorgesehenen Befestigungselemente kann der Ultraschallschwinger
beispielsweise an einer Vorrichtung zum Bonden von Halbleiterchips befestigt
werden, um für den gewünschten Bondvorgang ein Werkzeug anzutreiben.
Bei Einsatz des erfindungsgemäßen Ultraschallschwingers besteht die Möglichkeit
eine schwingende Platte selbst als Werkzeug zu verwenden, also z. B. direkt mit
der Platte ein Werkstück zu bearbeiten. Sofern ein Werkzeug jedoch eine
bestimmte Form aufweisen muß, z. B. eine Nadelform beim Drahtbonden ist es in
einer Weiterbildung des erfindungsgemäßen Ultraschallschwingers vorgesehen,
dass wenigstens eine der Platten eine Aufnahme zur Befestigung eines separaten
Werkzeuges aufweist.
Aufgrund der Schwingungsanregung mit dem Ultraschallschwingungserzeuger
bildet sich eine stehende Welle mit Schwingungsknoten und Schwingungsbäuchen
aus, so dass die Werkzeugaufnahme bevorzugt in einem Bereich maximaler
Schwingungsamplitude einer zur Ultraschallschwingung angeregten Platte
angeordnet wird. Durch Befestigung eines Werkzeuges in der an einer Platte
vorgesehenen Aufnahme kann die erzeugte Ultraschallschwingung beispielsweise
direkt zum Flip-Chip-Bonden oder zum Drahtbonden verwendet werden. Die
verschiedenen Einsatzmöglichkeiten hängen hierbei im Wesentlichen von der
Konstruktion der verschiedenen Werkzeuge ab. So hat ein Werkzeug zum
Drahtbonden, wie erwähnt im wesentlichen eine Nadelform, wohingegen ein
Werkzeug zum Flip-Chip-Bonden ein planes Endstück zum Aufdrücken auf einen
Chip aufweist. Selbstverständlich kann der erfindungsgemäße
Ultraschallschwinger in allen technischen Gebieten zum Einsatz kommen, wo
Ultraschall Verwendung findet.
Bei dem Ultraschallschwingungserzeuger, der eingesetzt wird, um eine oder
mehrere Platten in Schwingungen zu versetzen, kann es sich um ein oder mehrere
Piezoelemente handeln. Beispielsweise kann ein Ultraschallschwingungserzeuger
aus mehreren Piezoelementen bestehen, die zu einem Stapel zusammengefügt
sind. Ebenso können beliebig anders geformte Piezoaktoren Verwendung finden.
Die Piezoaktoren können auch eine Mechanik umfassen, um z. B. mittels
bestimmter Hebelverhältnisse eine Vergrößerung des Hubes zu erreichen. Unter
der Bezeichnung Piezoelement wird im folgenden jede mögliche Gestalt eines
Piezo-basierten Ultraschallschwingungserzeugers verstanden.
Derartige Piezoelemente können verschiedene Geometrien aufweisen und in allen
möglichen Schwingungsformen betrieben werden, z. B. Längs-Dehnungs
schwingung, Dickenschwingung, Biegeschwingung, Flächenscherschwingung,
Dickenscherschwingung etc., ja nachdem welchen Schnitt der oder die dem
Piezoelement zugrunde liegenden Piezokristalle aufweisen.
Mittels der Piezoelemente besteht die Möglichkeit, die Platte an einem bestimmten
Punkt in Schwingungen zu versetzen, wozu beispielsweise nur ein Piezoelement
verwendet wird oder aber durch die Verwendung mehrerer Piezoelemente an
verschiedenen Stellen gleichzeitig in Schwingungen zu versetzen. Hierbei können
z. B. verschiedene Piezoelemente in den Schwingungsbäuchen der Platte
angeordnet werden, wobei die verschiedenen Piezoelemente entsprechend der
Phasenlage der Schwingungsbäuche unterschiedlich und phasenkorrekt
angesteuert werden, um eine optimale Einkopplung der Ultraschallenergie in die
Platte zu ermöglichen.
Eine besonders einfache Konstruktion des erfindungsgemäßen
Ultraschallschwingers ergibt sich dadurch, dass eine Platte als eine kreisförmige
Scheibe ausgebildet wird. Auf einer Seite der Oberfläche der Scheibe kann
beispielsweise ein Piezoelement im Mittelpunkt der Scheibenoberfläche
angeordnet sein.
Eine andere Alternative ergibt sich dadurch, dass zur Anregung einer Schwingung
ein ringförmiges Piezoelement verwendet wird, welches koaxial zur senkrecht zur
Scheibe stehenden Mittenachse der Scheibe mit einer Scheibe fest verbunden
wird. Die Verbindung kann dabei beispielsweise durch eine feste Verklebung oder
andere geeignete Verbindungstechniken erfolgen.
Durch Verwendung wenigstens eines solchen ringförmigen Piezoelementes,
welches sich bevorzugt über einen Oberflächenbereich entlang des
Scheibenrandes erstreckt, kann auf sehr einfache Weise eine Biegeschwingung
der Scheibe erzeugt werden, wenn durch Anlegen einer Spannung an das
ringförmige Piezoelement, insbesondere durch eine damit bewirkte
Durchmesseränderung des Piezoelementes, eine Dehnung der
Scheibenoberfläche hervorgerufen wird. Dadurch wird bei einer Ansteuerung des
Piezoelementes eine Kontraktion erzeugt, die ein Ausweichen des
Scheibenmittelpunktes in die Richtung der dem Piezoelement abgewandten
Scheibenoberfläche bewirkt.
Bei einer derartigen Konstruktion kann beispielsweise in der Mitte der dem
Piezoelement abgewandten Scheibenseite eine Aufnahme zur Befestigung eines
Werkzeuges vorgesehen sein. Neben der Verwendung eines einzigen ringförmigen
Piezoelementes auf der Scheibe besteht weiterhin die Möglichkeit mehrere koaxial
zueinander angeordnete ringförmige Piezoelemente auf der gleichen
Scheibenoberfläche zu verwenden.
Ebenso können ringförmige Piezoelemente auf beiden Seiten der Scheiben
eingesetzt werden, wobei diese zur Erzielung einer optimalen
Schwingungsanregung der Scheibe mit einer entsprechenden Phasenlage der
Steuerspannung anzusteuern sind, so daß z. B. bei einer Kontraktion eines auf der
oberen Scheibenseite angeordneten Piezoelementes gleichzeitig eine Ausdehnung
eines unteren Piezoelementes stattfindet.
Bei den vorgenannten Alternativen, ein Piezoelement auf der Scheibe anzuordnen,
werden sich im Wesentlichen stehende Wellen mit einem Muster einstellen, bei
dem die Wellenberge und Wellenknoten eine Kreissymmetrie aufweisen. In diesem
Fall kann das Befestigungselement, um den Ultraschallschwinger an einer
Vorrichtung zu befestigen, in einfacher Weise als Rohr ausgebildet werden,
dessen Wandung innerhalb einer kreisförmigen Schwingungsknotenlinie mit der
schwingenden Scheibe verbunden ist. Hierdurch ergibt sich eine sehr stabile
Befestigungsmöglichkeit ohne signifikanten Energieverlust.
In einer weiteren Alternative des erfindungsgemäßen Ultraschallschwingers wird in
einem Abstand zu einer Platte, die auch bei dieser Alternative kreisförmig
ausgebildet sein kann, im Wesentlichen parallel zu dieser wenigstens eine weitere
Platte angeordnet, wobei zwischen den Platten wenigstens ein
Schwingungserzeuger angeordnet ist, der jeweils an den sich gegenüberliegenden
Plattenseiten anliegt. Bei diesem Schwingungserzeuger kann es sich ebenfalls
wieder um ein Piezoelement handeln.
Mittels dieses Aufbaus kann ein schwingendes System aus wenigstens zwei
zueinander parallel liegenden Platten geschaffen werden, das sowohl quasi
stationär als auch in einem resonanten Betrieb einsetzbar ist. Es besteht die
Möglichkeit mehrere Platten übereinander zu schichten und so einen
Sandwichaufbau aus Platten und dazwischen liegenden Schwingungserzeugern zu
bilden. Hierbei kann die Konstruktion so gewählt sein, dass zumindest in einer der
Platten sich die wirkenden Kräfte zu Null addieren, so daß diese Platte auch als
Befestigungselement ausgewählt werden kann.
Bei der genannten Konstruktion sind die Platten mit wenigstens einem
Verbindungselement miteinander verbunden, wobei das Verbindungselement
bevorzugterweise in einem Bereich eines Schwingungsknotens der zur
Ultraschallschwingung angeregten Platte/Platten angeordnet ist. Insbesondere bei
einer Konstruktion des Ultraschallschwingers, bei dem sich auf den Platten
kreissymmetrische Schwingungsbäuche und -knoten ausbilden, wird
bevorzugterweise das Verbindungselement als Rohr ausgebildet, dessen
Wandung auf einer Schwingungsknotenlinie mit der jeweiligen Platte verbunden
ist.
Grundsätzlich kann es vorgesehen sein, dass sowohl das Befestigungselement für
die Befestigung des Ultraschallschwingers an einer Vorrichtung als auch die
jeweiligen Verbindungselemente zur Verbindung mehrerer Platten untereinander
ein und dasselbe Bauteil sind, da die jeweiligen Bauelemente gleichermaßen
bevorzugt innerhalb der Schwingungsknoten angeordnet werden.
Insbesondere bei einem Rohrverbindungselement ergibt sich eine bevorzugte
weitere Ausführung dadurch, dass die miteinander zu verbindenden Platten,
insbesondere die kreisförmigen Scheiben, jeweils koaxial zu ihrer Mittenachse
aufeinander zugerichtete Rohrabschnitte aufweisen, die miteinander, insbesondere
über Innen- und Außengewinde, verbindbar sind. So können zwei Platten auf
einfache Weise mittels der aufeinander zuweisenden Rohrabschnitte miteinander
verschraubt werden, wobei sich beim Schraubvorgang der Abstand zwischen den
beiden Platten verringert, so dass hierdurch gleichzeitig ein entsprechender
Schwingungserzeuger, beispielsweise ein Piezoelement mit einer einstellbaren
mechanischen Druckvorspannung, zwischen den Platten fest eingeklemmt werden
kann. Der Schwingungserzeuger kommt somit mit beiden Platten in Berührung und
erregt diese gleichermaßen bei einer Ansteuerung zur Schwingung, wodurch sich
ein insgesamt schwingendes System ergibt. Auch bei diesem schwingenden
System kann es vorgesehen sein, eine Werkzeugaufnahme in einem
Schwingungsbauch einer Platte anzuordnen.
Betrachtet man die Möglichkeit, die Platte bzw. Plattenkonstruktion als
erfindungsgemäßen Ultraschallschwinger nicht nur mit einem einzelnen
Schwingungserzeuger in Ultraschallschwingung zu versetzen, sondern einer Platte
beispielsweise mehrere voneinander beabstandete Schwingungserzeuger
einzusetzen, so kann ein in der Werkzeugaufnahme befestigtes Werkzeug auf
einfache Weise nicht nur in eine longitudinale Vibration versetzt werden, sondern
es besteht darüber hinaus die Möglichkeit, durch entsprechende
phasenverschobene Ansteuerung der verschiedenen Schwingungserzeuger eine
Überlagerung aus longitudinaler und transversaler Vibration eines Werkzeuges zu
realisieren. Dies kann insbesondere bei den verschiedenen Techniken des
Bondens eingesetzt werden.
Relevanter Stand der Technik und bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung
sind in den nachfolgenden Figuren dargestellt. Es zeigen:
Fig. 1-3 Ultraschallschwinger gemäß dem Stand der Technik, bei dem das
Schwingelement als sich verjüngendes Ultraschallhorn ausgebildet
ist;
Fig. 4 einen erfindungsgemäßen Ultraschallschwinger mit einer Platte als
Schwingelement, die mittels eines ringförmigen Piezoelementes in
Schwingung versetzt wird;
Fig. 5 einen erfindungsgemäßen Ultraschallschwinger mit zwei in einem
Abstand zueinander angeordneten Platten, zwischen denen ein
Piezoaktor eingeklemmt ist;
Fig. 6 einen Ultraschallschwinger ähnlich wie Fig. 5, bei dem die
Befestigung der Platten untereinander mittels an den Platten
angeordneten Rohrabschnitten erfolgt;
Fig. 7 einen Ultraschallschwinger wie in Fig. 5 mit insgesamt 4 um den
Scheibenmittelpunkt angeordneten Piezoelementen;
Fig. 8 einen Ultraschallschwinger mit insgesamt 3 zueinander-parallelen
Platten und dazwischenliegenden Piezoelementen.
Die Fig. 1-3 zeigen Ultraschallschwinger gemäß dem Stand der Technik, wie
sie aus den Dokumenten US 4173725 und US 5364005 bekannt sind. Die Fig. 1
zeigt hierbei zwei piezoelektrische Scheiben C1 und C2, die zwischen den
Elementen A und B klemmend eingeschlossen sind. Die Piezoelemente C1 und C2
werden durch eine Ansteuerung mittels einer elektrischen Spannung zu
Ultraschallschwingungen angeregt, die auf das gesamte verschraubte System
übertragen wird. Hierbei stellt sich eine Schwingung mit einer Vibrationsamplitude
gemäß der unter der Konstruktionszeichnung dargestellten longitudinalen und
radialen Verteilung ein. Insbesondere wird deutlich, dass sich durch die
verjüngende Form des Schwingelementes A, welches als Ultraschallhorn
bezeichnet wird, eine Verstärkung der longitudinalen Vibration einstellt. Diese
Verstärkung ist maßgeblich auf die sich verjüngende Form zurückzuführen.
Die Fig. 2 zeigt eine Ausführungsform gemäß Fig. 1, bei der auf dem verjüngten
Ende des Ultraschallhornes ein Werkzeug 37 angeordnet ist, um die erzeugte
Ultraschallschwingung mit großer Amplitude auf ein zu bearbeitendes Werkstück
zu übertragen.
Fig. 3 zeigt eine andere Anordnung, bei der die erzeugte Ultraschallschwingung
mittels des Ultraschallhornes 21c auf eine Nadelspitze übertragen wird, deren
Spitze durch die Schwingung im Wesentlichen zu einer transversalen Bewegung
angeregt wird. Eine derartige Anordnung wird beispielsweise zum Drahtbonden
verwendet.
In der Fig. 4 ist in zwei verschiedenen Ansichten ein erfindungsgemäßer
Ultraschallschwinger dargestellt, der in der dargestellten Ausführung im
Wesentlichen eine kreisrunde Scheibe 2 umfasst, auf deren Oberfläche 2a koaxial
zur Mittenachse M ein ringförmiges Piezoelement 3 angeordnet ist, das im
Wesentlichen einen Oberflächenbereich entlang des Randes der Scheibe 2
überdeckt. Dieses ringförmige Piezoelement 3 ist beispielsweise durch Verklebung
mit der Scheibe 2 verbunden.
Ebenfalls dargestellt ist ein Rohr 4, dessen Wandung entlang einer
Schwingungsknotenlinie K mit der schwingenden Scheibe 2 verbunden ist. Das
Rohr 4 kann einstückig an die Scheibe angeformt oder mit dieser verschraubt,
verklebt oder auf andere Weise verbunden sein. Die Knotenlinie K kann ermittelt
werden z. B. anhand einer sich idealerweise einstellenden Knotenlinie, wenn die
Scheibe 2 zu einer freien, ungestörten Schwingung angeregt wird. Bei dieser
Befestigung des Rohres 4 entlang der Schwingungsknotenlinie K entsteht
dementsprechend kaum eine Störung des schwingenden Systems. Ebenfalls kann
die in die Scheibe 2 eingeleitete Schwingungsenergie nahezu vollständig über ein
Werkzeug 5, welches sich in einer Aufnahme 6 mittig der Scheibenunterfläche 2b
befindet, übertragen werden.
Wird nun für das ringförmige Piezoelement ein Element verwendet, welches beim
Anlegen einer Spannung seinen Durchmesser D verändert, so stellt sich eine
Biegeschwingung der Scheibe 2 ein, wodurch das mittig der Scheibenunterfläche
2b angeordneten Werkzeug 5 eine longitudinale Vibrationsbewegung in Richtung
des Pfeiles 8 ausführt. Diese Vibrationsbewegung des Werkzeuges 5 kann
beispielsweise zum Drahtbonden oder Flip-Chip-Bonden, je nachdem welches
Werkzeug an der Platte eingesetzt ist, verwendet werden.
In der Fig. 5 ist eine alternative Konstruktion dargestellt, bei der parallel zur
Scheibe 2 eine weitere kreisrunde Scheibe 2' angeordnet ist, wobei zwischen den
Scheiben 2 und 2' ein Piezoelement 3 eingeklemmt ist. Dieses Piezoelement 3
kann beispielsweise aus einem Stapel mehrerer Piezoscheiben bestehen. Durch
die Schrauben 7, die jeweils in einem Bereich eines Schwingungsknotens der zur
Schwingung angeregten Scheiben 2 und 2' angeordnet sind, können die beiden
Scheiben 2 und 2' miteinander verbunden und insbesondere aufeinander
zugezogen werden, so dass das Piezoelement 3 zwischen den Scheiben
eingeklemmt wird. Durch Ansteuerung des Piezoelementes 3 wird nun das System
aus den Scheiben 2 und 2' in Schwingung versetzt, so dass die erzeugte
Schwingung beispielsweise auch nach einer resonanten Überhöhung von der
Platte 2 auf das in der Werkzeugaufnahme 6 befindliche Werkzeug 5 übertragen
wird, welches longitudinal in Richtung des Pfeiles 8 schwingt.
In der Fig. 6 ist eine leichte Abwandlung einer Konstruktion gemäß Fig. 5
dargestellt, bei der die Schrauben 7 zur Verbindung der beiden Platten 2 und 2'
jeweils durch an den Platten 2 und 2' angeordnete aufeinander zuweisende
Rohrabschnitte 4a und 4b ersetzt sind, wobei die Rohrabschnitte 4a und 4b
aneinander angepasste Innen- bzw. Außengewinde aufweisen, so dass die beiden
Platten 2 und 2' durch eine Verschraubung der Rohrabschnitte 4a und 4b
miteinander verbindbar sind. Innerhalb der Rohrabschnitte 4a und 4b kann
beispielsweise ein Stapel von Piezoelementen 3 eingeklemmt werden, so dass
durch Ansteuerung dieses Piezostapels das System der Scheiben 2 und 2' in
Schwingung versetzt werden kann.
Bei dieser Konstruktion sind die Wandungen der Rohrabschnitte 4a und 4b
möglichst dünn auszuführen, um insgesamt die beabsichtigte Gewichtseinsparung
zu realisieren. Weiterhin läßt sich durch die Stärke der Klemmkraft, die zwischen
den Scheiben 2 und 2' auf den Piezostapel 3 wirkt die Resonanzfrequenz des
schwingenden Systems beeinflussen.
Fig. 7 zeigt eine weitere Abwandlung eines erfindungsgemäßen
Ultraschallschwingers nach Fig. 5 in zwei verschiedenen Ansichten. Wiederum
sind zwei Scheiben 2 und 2' über Schrauben 7 miteinander verbunden. Zwischen
den Scheiben 2 und 2' sind bei der dargestellten Ausführung insgesamt 4
Piezoelemente 3 um den Mittelpunkt, in dem das Werkzeug 5 befestigt ist,
angeordnet.
Durch entsprechend phasenverschobene Ansteuerung der vier Piezoelemente 3
kann erreicht werden, daß das in der Werkzeugaufnahme 6 befindliche Werkzeug
5 nicht nur rein longitudinal (gleichphasige Ansteuerung aller Piezoelemente) hin-
und herschwingt, sondern auch zusätzlich eine transversale Bewegung ausführt,
wie es in der Abbildung anhand der Pfeile 9 angedeutet ist. Mit dieser Ausführung
kann die Bewegung eines Werkzeuges programmierbar an die gewünschten
Verhältnisse und Erfordernisse beim Bonden eingestellt werden.
Die Fig. 8 zeigt eine weitere Ausführungsform eines erfindungsgemäßen
Ultraschallschwingers mit insgesamt 3 zueinander parallel angeordneten Platten
bzw. runden Scheiben 2, 2', 2", zwischen denen jeweils Piezoelemente 3a bzw.
3b angeordnet sind.
Hierbei können die Piezoelemente 3a und 3b ähnlich wie zu Fig. 1 beschrieben
ringförmige Piezoelemente sein, die jedoch im vorliegenden Fall bei einer
Ansteuerung mit Spannung eine Dickenschwingung ausführen, bei der die
Dickenänderung der Piezoelemente in Richtung des Pfeiles 8 erfolgt. Bei der
Ausführung mit ringförmigen Piezoelemente umgibt ein erster
Piezoelementenstapel 3a die Schraube 7 mit der die einzelnen Platten 2, 2', 2"
untereinander verbunden sind und ist zwischen den Platten 2 und 2" eingeklemmt.
Der Piezoelementenstapel 3b umgibt ebenfalls die Schraube 7 und ist zwischen
den Platten 2' und 2" eingeklemmt.
Eine Befestigung der gesamten Anordnung erfolgt vorliegend z. B. an der mittleren
Platte 2", die auch etwas dicker und stabiler ausgeführt sein kann als die beiden
anderen Platten 2 und 2'. Die Schraube 7, die eingesetzt wird, um die Platten 2
und 2' aufeinander zuzuziehen durchdringt die Platte 2" in einer nicht
dargestellten Bohrung, so dass die Schraube 7 keine Verbindung zur Platte 2" hat
und daher die Schwingung der Platten 2 und 2' nur unwesentlich auf die Platte 2"
übertragen wird, die gleichzeitig als Befestigungselement dient.
Eine optimale Entkopplung der Befestigungsplatte 2" kann auch weiterhin durch
besondere Ansteuerung der Piezostapel 3a und 3b erfolgen, beispielsweise, wenn
die Stapel bei Ihrer Dickenschwingung gegeneinander arbeiten. In diesem Fall sind
die resultierenden Kräfte in der Platte 2" nahe oder gleich Null. Diese Arbeitsweise
kann durch entsprechende Phasenlage der Steuerspannungen erreicht werden,
mit denen die Piezostapel 3a und 3b betrieben werden.
Wie auch bei den zuvor beschriebenen Ausführungen kann mittels der
dargestellten Anordnung von drei parallelen Platten ein in der Werkzeugaufnahme
6 befindliches Werkzeug 5 zu Schwingungen angeregt werden, beispielsweise in
Richtung des Pfeiles 8.
Neben der beschriebenen Möglichkeit, dass die Piezoelemente 3a und 3b jeweils
ringförmige Piezostapel sind, kann es sich bei den Piezeoelementen auch um
einzelne Stapel handeln, die ähnlich wie in Fig. 7 diskret über die Platten verteilt
angeordnet sind.
Claims (18)
1. Ultraschallschwinger umfassend wenigstens einen Ultraschall-
Schwingungserzeuger, insbesondere wenigstens ein Piezoelement, und ein
damit verbundenes Schwingelement, das insbesondere zur mechanischen
Schwingungsverstärkung einsetzbar ist, und an dem ein Werkzeug befestigbar
ist, dadurch gekennzeichnet, daß das Schwingelement als wenigstens eine
Platte (2) ausgebildet ist, an der zumindest auf einer der Plattenseiten (2a, 2b)
wenigstens ein Ultraschall-Schwingungserzeuger (3) befestigt ist.
2. Ultraschallschwinger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß er zur
Befestigung an einer Vorrichtung wenigstens ein Befestigungselement (4, 7)
aufweist.
3. Ultraschallschwinger nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das
Befestigungselement im Bereich eines Schwingungsknotens (K) einer zur
Ultraschallschwingung angeregten Platte (2) angeordnet ist.
4. Ultraschallschwinger nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das
Befestigungselement ein nichtschwingendes Element des
Ultraschallschwingers ist, insbesondere ein Element in dem sich die im
Ultraschallschwinger wirkenden Kräfte zu Null summieren.
5. Ultraschallschwinger nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß eine Platte (2), eine Aufnahme (6) zur Befestigung eines
Ultraschallwerkzeuges (5) aufweist.
6. Ultraschallschwinger einem der vorherigen Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß die Aufnahme (6) in einem Bereich maximaler
Schwingungsamplitude einer zur Ultraschallschwingung angeregten Platte (2)
angeordnet ist.
7. Ultraschallschwinger nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß eine Platte (2) als kreisförmige Scheibe (2) ausgebildet
ist.
8. Ultraschallschwinger nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß koaxial
zur senkrecht zur Scheibe (2) stehenden Mittenachse (M) der Scheibe (2)
mindestens ein ringförmiges Piezoelement (3) zumindest auf einer Seite (2a)
der kreisförmigen Scheibe (2) befestigt ist.
9. Ultraschallschwinger nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß ein Piezoelement (3) einen Oberflächenbereich der
Scheibe (2) entlang des Scheibenrandes überdeckt.
10. Ultraschallschwinger nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß durch
Anlegen einer Spannung an einem ringförmigen Piezoelement (3) dessen
Durchmesser (D) und/oder Dicke veränderbar ist.
11. Ultraschallschwinger nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß in einem Abstand zur Platte (2) im wesentlichen parallel
zu dieser wenigstens eine weitere Platte (2', 2") angeordnet ist, wobei
zwischen den Platten (2, 2') wenigstens ein Schwingungserzeuger (3)
angeordnet ist, der an den sich gegenüberliegenden Plattenseiten anliegt.
12. Ultraschallschwinger nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß die Platten (2, 2', 2") mittels wenigstens einem
Verbindungselement (4, 7) miteinander verbunden sind.
13. Ultraschallschwinger nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß ein Verbindungselement (4, 7) im Bereich eines
Schwingungsknotens (K) der zur Ultraschallschwingung angeregten Platte/n
(2, 2') angeordnet ist.
14. Ultraschallschwinger nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß das Verbindungselement ein Rohr oder Rohrabschnitt
(4, 4a, 4b) ist.
15. Ultraschallschwinger nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die
Wandung des Rohres (4, 4a, 4b) auf einer Schwingungsknotenlinie (K) mit
der/den Platten (2, 2') verbunden ist.
16. Ultraschallschwinger nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß die Platten (2, 2'), insbesondere die kreisförmigen
Scheiben (2, 2'), jeweils koaxial zur Mittenachse (M) aufeinander zugerichtete
Rohrabschnitte (4a, 4b) aufweisen, die miteinander, insbesondere über Innen-
und Außengewinde, verbindbar sind.
17. Ultraschallschwinger nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß ein Befestigungselement (4) gleichzeitig das
Verbindungselement (7) ist.
18. Verwendung eines Ultraschallschwingers (1) nach einem der vorherigen
Ansprüche als Antrieb eines Werkzeuges (5) bei Maschinen zum Herstellen
von Bond-Verbindungen.
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---|---|
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Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10313894B3 (de) * | 2003-01-30 | 2004-08-26 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren und Vorrichtung zur Untersuchung eines Schienenstrangs hinsichtlich Fehlstellen |
EP1710034A1 (de) * | 2005-04-06 | 2006-10-11 | HILTI Aktiengesellschaft | Spannvorrichtung für axial harmonisch schwingende Bauteile |
WO2010043517A2 (de) * | 2008-10-14 | 2010-04-22 | Hesse & Knipps Gmbh | Bondvorrichtung, ultraschall-transducer und bondverfahren |
US8106564B2 (en) | 2007-04-04 | 2012-01-31 | Esec Ag | Ultrasonic transducer |
WO2013079261A3 (de) * | 2011-11-30 | 2013-11-21 | Siemens Aktiengesellschaft | Transformationssonotrode, sonotrode und verfahren zur herstellung |
WO2014202335A1 (de) * | 2013-06-20 | 2014-12-24 | Robert Bosch Gmbh | Elektroakustischer wandler |
DE102013223799A1 (de) | 2013-08-22 | 2015-02-26 | Gühring KG | Werkzeugaufnahme |
EP2862635A3 (de) * | 2013-10-17 | 2015-12-02 | Rolls-Royce Mechanical Test Operations Centre GmbH | Vorrichtung zur Erzeugung mechanischer Schwingungen und Verfahren zur Berechnung der Resonanzfrequenz einer solchen Vorrichtung |
CN107694892A (zh) * | 2017-11-17 | 2018-02-16 | 杭州成功超声设备有限公司 | 一种超大功率的棒式超声***结构 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2845072A (en) * | 1955-06-21 | 1958-07-29 | William A Shafer | Surgical knife |
DD119141A1 (de) * | 1974-10-04 | 1976-04-12 |
-
2001
- 2001-03-23 DE DE2001114672 patent/DE10114672A1/de not_active Withdrawn
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2845072A (en) * | 1955-06-21 | 1958-07-29 | William A Shafer | Surgical knife |
DD119141A1 (de) * | 1974-10-04 | 1976-04-12 |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10313894B3 (de) * | 2003-01-30 | 2004-08-26 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren und Vorrichtung zur Untersuchung eines Schienenstrangs hinsichtlich Fehlstellen |
EP1710034A1 (de) * | 2005-04-06 | 2006-10-11 | HILTI Aktiengesellschaft | Spannvorrichtung für axial harmonisch schwingende Bauteile |
US8106564B2 (en) | 2007-04-04 | 2012-01-31 | Esec Ag | Ultrasonic transducer |
CN102186620B (zh) * | 2008-10-14 | 2014-03-05 | 黑塞有限公司 | 接合装置,超声波转换器和用于建立接合连接的方法 |
WO2010043517A2 (de) * | 2008-10-14 | 2010-04-22 | Hesse & Knipps Gmbh | Bondvorrichtung, ultraschall-transducer und bondverfahren |
WO2010043517A3 (de) * | 2008-10-14 | 2010-07-29 | Hesse & Knipps Gmbh | Bondvorrichtung, ultraschall-transducer und bondverfahren |
US8434659B2 (en) | 2008-10-14 | 2013-05-07 | Hesse & Knipps Gmbh | Bonding device, ultrasonic transducer, and bonding method |
WO2013079261A3 (de) * | 2011-11-30 | 2013-11-21 | Siemens Aktiengesellschaft | Transformationssonotrode, sonotrode und verfahren zur herstellung |
WO2014202335A1 (de) * | 2013-06-20 | 2014-12-24 | Robert Bosch Gmbh | Elektroakustischer wandler |
CN105324186A (zh) * | 2013-06-20 | 2016-02-10 | 罗伯特·博世有限公司 | 电声转换器 |
US9763009B2 (en) | 2013-06-20 | 2017-09-12 | Robert Bosch Gmbh | Electroacoustic transducer |
DE102013223799A1 (de) | 2013-08-22 | 2015-02-26 | Gühring KG | Werkzeugaufnahme |
EP2862635A3 (de) * | 2013-10-17 | 2015-12-02 | Rolls-Royce Mechanical Test Operations Centre GmbH | Vorrichtung zur Erzeugung mechanischer Schwingungen und Verfahren zur Berechnung der Resonanzfrequenz einer solchen Vorrichtung |
US9821341B2 (en) | 2013-10-17 | 2017-11-21 | Rolls-Royce Deutschland Ltd & Co Kg | Apparatus for generating mechanical oscillations and a method for determining the resonance frequency of such apparatus |
CN107694892A (zh) * | 2017-11-17 | 2018-02-16 | 杭州成功超声设备有限公司 | 一种超大功率的棒式超声***结构 |
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