DE10108717C1 - Vorrichtung und Verfahren zur Entladung von dielektrischen Oberflächen - Google Patents
Vorrichtung und Verfahren zur Entladung von dielektrischen OberflächenInfo
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Abstract
Es wird eine Vorrichtung und ein Verfahren zur zumindest teilweisen elektrischen Entladung von dielektrischen Oberflächen (30), insbesondere von Oberflächen von Kunststofffolien, Papierbahnen oder Kunststofffäden, vorgeschlagen. Dabei wird zunächst mit einer Plasmaeinrichtung (1) ein Plasma durch Mikrostrukturentladungen in mindestens einem Plasmabereich (12, 40) erzeugt. Weiter wird die dielektrische Oberfläche (30) mit einer Zufuhreinrichtung (2) in den Plasmabereich (12, 40) eingeführt und dabei dem erzeugten Plasma zur elektrischen Entladung zeitweilig ausgesetzt.
Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren
zur zumindest teilweisen elektrischen Entladung von dielek
trischen Oberflächen nach der Gattung der unabhängigen An
sprüche.
Nichtleitende Stoffe wie Oberflächen von Kunststofffolien,
Papierbahnen oder Kunststofffäden können durch Kontakt mit
anderen Stoffen oder auch durch eine schnelle Trennung von
einander oberflächlich elektrisch aufgeladen werden, wobei
die entstehenden elektrischen Spannungen an solchen Oberflä
chen bis hin zu einigen Megavolt reichen. Eine "natürliche" Ent
ladung ohne Hilfsmittel dauert dann, abhängig von Luftfeuch
tigkeit, Material und Ausmaß der elektrischen Aufladung, ei
nige Stunden bis Tage.
Durch die elektrische Aufladung der Oberflächen kann es wei
ter bei deren Herstellung bzw. Bearbeitung zu einer Störung
der eingesetzten Anlagen sowie auch zu einer gesundheitli
chen Beeinträchtigung der daran beschäftigten Mitarbeiter
kommen. Zudem ist deren Handhabung durch die elektrische
Aufladung der Oberfläche und die dadurch hervorgerufenen
elektrostatischen Kräfte insbesondere bei Kunststofffolien,
Papierbahnen oder Kunststofffäden, wie sie vielfach in der
Verpackungsindustrie eingesetzt werden, erheblich erschwert.
Zur Minimierung der Oberflächenaufladung ist aus dem Stand
der Technik der Einsatz von Entladegeräten bekannt, die die
jeweilige Oberfläche mit ionisierter Luft beströmen. Durch
die dadurch hervorgerufene Erhöhung der Leitfähigkeit der
Luft wird eine rasche Entladung mit, je nach Randbedingun
gen, resultierenden Restspannungen von typischerweise weni
gen kV erreicht. Die Grenze von einigen kV liegt dabei in
dem jeweils eingesetzten Verfahren begründet, da für die Io
nisation von Luft bzw. von alternativ eingesetzten Prozessgasen
Spannungen von mehreren kV erforderlich sind.
In der nicht vorveröffentlichten Anmeldung DE 199 43 953 A1 wurde
bereits eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Plasmas und
insbesondere zur Behandlung oder Aktivierung von Oberflächen
vorgeschlagen, bei der über eine Einkoppelung von Mikrowel
len in einen mit Durchbohrungen versehenen Hohlleiter unter
Zufuhr eines Gases Mikrostrukturentladungen erzeugt werden.
Dadurch liegt in einer Umgebung der Durchbohrungen in zuge
ordneten Plasmabereichen ein lokal begrenztes bzw. flachiges
Gasplasma vor.
Aus DE 32 35 874 C2 ist ein Ladungsableiter für eine Rohr
leitung bekannt, in der ein elektrisch geladenes Gut beför
dert wird, wobei einem Hauptrohrleitungsabschnitt eine Plas
maionenquelle zugeordnet ist, mit der über Wechselstrom-
Koronaentladungen ein aktives Plasma erzeugt wird, das die
elektrische Ladung des beförderten Gutes neutralisiert. Die
Plasmaionenquelle ist dabei mit einem dielektrischen Körper
mit zwei einander gegenüber liegenden Oberflächen versehen,
so dass zwischen einer Koronaelektrode und einer Anregungse
lektrode ein flachenförmiges Plasma entsteht.
In AT 388 072 B ist eine Elektrode, insbesondere für elek
trostatische Anwendungen wie zum Entladen elektrostatisch
aufgeladener Materialien beschrieben, die flächig als Sand
wichelement ausgebildet ist. Das Sandwichelement weist dabei
eine Mittelschicht aus einer elektrisch leitenden Folie auf,
die beidseitig mit einer elektrisch isolierenden Folie ver
sehen ist. Daneben besitzt das Sandwichelement eine Vielzahl
von Ausnehmungen.
Aus US 2,916,620 ist schließlich eine Vorrichtung zur elek
trostatischen Entladung eines Gewebes bekannt, wobei einer
geerdeten Transportrolle für das Gewebe eine Anordnung von
eng benachbarten Rohren zugeordnet ist, die derart mit einer
elektrischen Spannung beaufschlagt werden, dass sich zwischen
der Transportrolle und den Rohren eine Koronaentladung ein
stellt, die eine elektrostatische Entladung des zwischen der
Transportrolle und den Rohren im Bereich des Plasmas geführ
ten Gewebes bewirkt.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung und das erfindungsgemäße
Verfahren haben gegenüber dem Stand der Technik den Vorteil,
dass damit eine optimierte Entladung von dielektrischen
Oberflächen, insbesondere Oberflächen von Kunststofffolien,
Papierbahnen oder Kunststofffäden, hinsichtlich Große der
elektrischen Restspannung bzw. der oberflächlich verbleiben
den elektrischen Ladungen, und damit eine deutliche verbes
serte Fertigungsstabilität und eine vereinfachte Handhabung
derartiger dielektrischer Materialien erreicht werden. Inso
fern eignen sich die erfindungsgemäße Vorrichtung und das
erfindungsgemäße Verfahren besonders zum Einsatz in der Ver
packungsindustrie.
In diesem Zusammenhang werden im Rahmen der Erfindung unter
einer dielektrischen Oberfläche bzw. einem dielektrischen
Material eine Oberfläche bzw. ein Material verstanden, die
oder das elektrisch nicht oder bezüglich der Ableitung ober
flächlich aufgebrachter Ladungen schlecht leitend ist.
Dadurch, dass die dielektrische Oberfläche zeitweilig einem
Plasma in einer unmittelbaren Umgebung der Oberfläche der
Plasmaeinrichtung oder zumindest des Wirkungsbereichs des
Plasmas hinsichtlich des Auftreffens von durch das Plasma
erzeugten elektrischen Ladungen ausgesetzt wird, werden die
elektrischen Restspannungen auf der zumindest teilweise zu
entladenden dielektrischen Oberfläche auf weniger als ein
kV, insbesondere weniger als 500 Volt reduziert, was gegen
über den im Stand der Technik erreichbaren Restspannungen
auf derartigen Oberflächen von wenigen Kilovolt eine erheb
liche Verbesserung bedeutet.
Das erfindungsgemäße Verfahren hat daneben den Vorteil, dass
typische, gegenüber dem Stand der Technik deutlich verkürzte
Behandlungszeiten von 0,1 s bis 10 s, insbesondere 0,5 s bis
2 s, ausreichend sind, um eine ausreichende elektrische Ent
ladung der zu behandelnden dielektrischen Oberfläche zu ge
währleisten. Insbesondere ist auch eine kontinuierliche Be
handlung von durchlaufenden Folien oder Bahnen aus einem
dielektrischen Material mit der erfindungsgemäßen Vorrich
tung möglich.
Im Übrigen wird durch die erfindungsgemäß vorgenommene elek
trische Entladung von dielektrischen Oberflächen gleichzei
tig auch eine Aktivierung dieser Oberflächen, insbesondere
hinsichtlich Oberflächenenergie und Sauberkeit, erreicht,
was sich beispielsweise in einer verbesserten Bedruckbarkeit
und einer gesteigerten Hydrophilie äußert.
Schließlich hat die erfindungsgemäße Vorrichtung den Vorteil
eines einfachen und modularen Aufbaus, so dass sie mit ge
ringem apparativem Aufwand in bestehende Fertigungseinrich
tungen integrierbar ist. Zudem ist das erfindungsgemäße Ver
fahren auch an Luft bei Atmosphärendruck einsetzbar.
Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus
den in den Unteransprüchen genannten Maßnahmen.
So ist es besonders vorteilhaft, wenn Mikrostrukturentladungen,
d. h. durch Mikrostrukturen hervorgerufene Plasmaentladungen
eingesetzt werden, die durch Einkoppeln einer elektrischen
Spannung mit einer Amplitude von 100 Volt bis 2000 Volt,
insbesondere 200 Volt bis 700 Volt, hervorgerufen werden.
Derart niedrige Spannungen führen dazu, dass einerseits
durch die Leitfähigkeit des darüber erzeugten Plasmas die
elektrischen Ladungen bzw. elektrischen Spannungen auf der
dielektrischen Oberfläche insbesondere über eine der Elek
troden der Plasmaeinrichtung abgesaugt bzw. abgebaut werden
können, und andererseits keine hohen bzw. relevanten Aufla
dungen durch das Plasma neu hervorgerufen werden.
Hinsichtlich einer optimierten Homogenität des erzeugten
Plasmas und einer verbesserten Effizienz der erreichten
elektrischen Entladung der dielektrischen Oberfläche ist es
zudem vorteilhaft, wenn bei einem geringen Unterdruck von
insbesondere 100 mbar bis 900 mbar gearbeitet wird. Daneben
ist es vorteilhaft, wenn an Stelle von Luft Stickstoff oder,
besonders vorteilhaft, Argon oder Helium als Gas zur Erzeu
gung eines möglichst homogenen und stabilen Plasmas einge
setzt wird.
Zur Erzeugung des Plasmas in den Plasmabereichen der Plas
maeinrichtung kommt bevorzugt eine Gleichspannung oder eine
hochfrequente Wechselspannung mit einer Frequenz von bevor
zugt 1 kHz bis 100 MHz, insbesondere 1 MHz bis 20 MHz, bei
spielsweise 13,45 MHz, in Frage. Darüber hinaus kann das
Plasma vorteilhaft auch durch Einkoppeln von Mikrowellen in
die Plasmaeinrichtung erzeugt werden. Bei der Erzeugung des
Plasmas mit einer Wechselspannung besteht zudem vorteilhaft
die Möglichkeit, die Elektroden mit einer dünnen, dielektri
schen Schutzschicht zu versehen.
Die Erfindung wird anhand von Ausführungsbeispielen in den Zeichnungen und in der nach
folgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen Fig. 1 ei
ne Prinzipskizze einer ersten Plasmaeinrichtung, Fig. 2 ei
ne alternative Ausführungsform einer Plasmaeinrichtung,
Fig. 3 eine Prinzipskizze einer Entladevorrichtung als erstes
Ausführungsbeispiel, Fig. 4 ein zweites Ausführungsbeispiel
einer Entladevorrichtung, Fig. 5 eine weitere, zu Fig. 1
oder 2 alternative Ausführungsform einer Plasmaeinrichtung,
und Fig. 6 ein drittes Ausführungsbeispiel einer Entlade
vorrichtung mit der Plasmaeinrichtung gemäß Fig. 5.
Die Fig. 1 zeigt eine Plasmaeinrichtung 1 mit einer dielek
trischen Platte 22, die beispielsweise aus einem verlustar
men, durchschlagfesten Dielektrikum wie Siliziumdioxid oder
einem Aluminiumoxid besteht. Die dielektrische Platte 22 ist
weiter auf einer ihrer Oberflächen mit einer flächigen er
sten Elektrode 11 und auf der gegenüberliegenden Oberfläche
mit einer flächigen zweiten Elektrode 21 versehen. Die Elek
troden 11, 21 bestehen beispielsweise aus einem Metall wie
Kupfer, Edelstahl, Gold oder Silber, und sind mit einer Dicke
von 10 µm bis 200 µm in Form einer Beschichtung auf die
Oberfläche der typischerweise ca. 0,05 mm bis 2 mm dicken
dielektrischen Platte 22 aufgebracht.
In der Einrichtung nach Fig. 1 ist weiter vorgesehen, dass die Elektroden 11, 21
und die dielektrische Platte 22 mit einer Vielzahl von ge
meinsamen Durchbohrungen 26 versehen sind. Diese Durchboh
rungen 26 sind bevorzugt regelmäßig angeordnet und weisen
einen typischen Durchmesser von ca. 40 µm bis 1 mm auf. Ins
gesamt ist somit die dielektrische Platte 22 mit mikrostruk
turierten, planaren Elektroden 11, 21 versehen.
Zur Erzeugung eines Plasmas ist vorgesehen, dass die Elek
troden 11, 21 in Fig. 1 mit einer nicht dargestellten Span
nungsquelle verbunden sind, die die Elektroden 11, 21 mit
einer Gleichspannung oder einer hochfrequenten Wechselspan
nung mit einer Frequenz von 1 kHz bis 100 MHz, insbesondere
13,45 MHz, beaufschlagt. Bevorzugt wird eine Gleichspannung
eingesetzt. Die eingekoppelte elektrische Spannung liegt
zwischen 100 Volt und 2000 Volt, insbesondere 200 Volt bis
700 Volt.
Durch die eingekoppelte elektrische Spannung wird in dem Be
reich der Durchbohrungen 26 ein Plasma gezündet und auf
rechterhalten, so dass sich dort lokal begrenzte Plasmabe
reiche 12 ausbilden. Diese Plasmabereiche 12 erstrecken sich
in den Bereich der Durchbohrungen 26 sowie auch in eine Um
gebung der Durchbohrung 26. Insbesondere erheben sie sich
zumindest einseitig über die Oberfläche der Plasmaeinrich
tung 1.
Durch eine geeignete Anordnung und einen geeigneter Abstand
der Durchbohrungen 26 ist es weiter möglich und bevorzugt
vorgesehen, dass sich die Plasmabereiche 12 durch Überspre
chen zu einem größeren, flächigen Plasmabereich 40 vereinigen,
der sich beispielsweise einseitig über die gesamte
Oberfläche der Plasmaeinrichtung 1 erstreckt und eine
typische Dicke von 0,5 mm bis 3 mm aufweist (siehe Fig. 3).
Optional kann gemäß Fig. 1 weiter vorgesehen sein, dass die
Innenwände 23 der Durchbohrungen 26 mit einer dielektri
schen, insbesondere keramischen Beschichtung als Schutz
schicht versehen sind, die beispielsweise aus Aluminiumoxid
oder Siliziumdioxid besteht.
Die Fig. 2 erläutert eine alternative Ausführungsform der
Plasmaeinrichtung 1, wobei auf der dielektrischen Platte 22
aus Siliziumdioxid oder Aluminiumoxid nunmehr voneinander
beabstandete Streifen in Form eines ersten Streifenleiters
24 und eines zweiten Streifenleiters 27 verlaufen. Diese
Streifenleiter 24, 27 bilden somit, analog zur Anordnung nach Fig. 1, mi
krostrukturierte, planare Elektroden.
Die Fig. 2 zeigt weiter, dass zwischen den Streifenleitern
24, 27 eine Mehrzahl von Durchbohrungen 26 vorgesehen ist,
so dass durch diese ein Gas wie beispielsweise Pressluft,
Stickstoff, Argon oder Helium in den Bereich zwischen den
Streifenleitern 24, 27 einführbar ist. Die Bestromung kann
jedoch ebenso, wie in Fig. 4 erläutert, parallel zu der
Oberfläche der Plasmaeinrichtung 1 erfolgen.
Durch Anlegen einer elektrischen Spannung analog zur Anordnung nach Fig. 1
wird nun zwischen den Streifenleitern 24, 27 ein Plasma ge
zündet, so dass sich zwischen den Streifenleitern 24, 27 zu
mindest in einer Umgebung der Durchbohrungen 26, insbesonde
re zwischen den Streifenleitern 24, 27, Plasmabereiche aus
bilden. Durch geeignete Anordnung der Durchbohrungen 26 und
einen entsprechend angepassten Abstand der Streifenleiter
24, 27 ist es auch hier analog Fig. 1 möglich und bevorzugt
vorgesehen, dass sich die Plasmabereiche zu einem flächig
ausgedehnten Plasmabereich 40 vereinigen.
Die Streifenleiter 24, 27 gemäß Fig. 2 bestehen beispiels
weise aus Bahnen aus Kupfer oder Gold, die optional auf ei
ner galvanischen Verstärkung, beispielsweise aus Nickel,
aufgebracht sind.
Ein weiteres, nicht dargestelltes Ausführungsbeispiel einer
Plasmaeinrichtung 1 sieht vor, flächige Elektroden durch be
reichsweise dazwischen befindliche isolierende Schichten
voneinander zu beabstanden und mit einer elektrischen Span
nung zu beaufschlagen, so dass in dem verbleibenden Zwi
schenraum zwischen den Elektroden, der mit Gas gefüllt ist
bzw. wie erläutert mit diesem bestromt wird, ein Plasma zün
det und aufrechterhalten wird, das dann für eine elektrische
Entladung dielektrischer Oberflächen genutzt wird. Insbeson
dere ist im Rahmen dieses Ausführungsbeispiels vorgesehen,
eine Vielzahl gleichartiger, beispielsweise mit einer zen
tralen Bohrung versehener metallischer Scheiben mit einem
Durchmesser von 5 mm bis 30 mm und einer Dicke von 0,1 mm
bis 2 mm auf einer gemeinsamen Achse aufgereiht nebeneinan
der anzuordnen, und diese jeweils über gleichartige, insbe
sondere ebenfalls mit einer zentralen Bohrung auf der Achse
aufgereihte dielektrische Scheiben, beispielsweise aus Alu
miniumoxid, mit kleinerem Durchmesser und einer Dicke von
beispielsweise 0,1 mm bis 3 mm voneinander zu beabstanden. In diesem Fall
brennt durch Anlegen einer elektrischen Spannung an die me
tallischen Scheiben mit jeweils abwechselnder Polarität zwi
schen diesen in den jeweils nicht von den dielektrischen
Scheiben eingenommenen Zwischenräumen ein Plasma. Auf
diese Weise bildet sich ein Entladungsstab als Plasmaein
richtung 1 aus, der über eine zu entladende dielektrische
Oberfläche geführt bzw. an dem eine solche Oberfläche vor
beigeführt werden kann. Die erwähnte Achse ist beispielsweise
ein keramischer Stab mit einem der zentralen Bohrung ent
sprechenden Durchmesser, der abwechselnd die metallischen
und dielektrischen Scheiben trägt.
Schließlich kann die Plasmaeinrichtung 1 auch in Form eines
Hohlleiters für Mikrowellen ausgebildet sein, der bevorzugt
in seinem Inneren mit einer dielektrischen Platte aus Sili
ziumdioxid gefüllt ist. In diesem Fall sind ebenfalls Durch
bohrungen analog den Anordnungen nach Fig. 1 bzw. 2 vorgesehen, die in den
Hohlleiter bzw. die dielektrische Platte eingebracht sind.
Zu Einzelheiten zu einer derartigen Plasmaeinrichtung mit
einem Hohlleiter für Mikrowellen sei auf die
DE 199 43 953 A1 verwiesen.
Auf das Füllen des Hohlleiters mit der dielektrischen Platte
kann auch verzichtet werden, da aufgrund von Feldinhomogeni
täten bevorzugt an den Kanten der Durchbohrungen stets Ent
ladungen entstehen.
Schließlich besteht auch die Möglichkeit, Mikrowellen über
Streifenleiter, wie sie beispielsweise in Fig. 2 darge
stellt sind, einzukoppeln, und damit ein Plasma für die ge
wünschte elektrische Entladung zu erzeugen.
Allen erläuterten Plasmaeinrichtungen 1 ist gemein, dass
durch Zuleiten eines Gases und über eine eingekoppelte elek
trische Gleich- oder Wechselspannung Entladungen, insbeson
dere Mikrostrukturentladungen, hervorgerufen und aufrechter
halten werden, so dass sich voneinander isolierte oder zu
sammenhängende Plasmabereiche 12 bzw. 40 in einer Umgebung
der Oberfläche der Plasmaeinrichtung 1 ausbilden. Insbeson
dere tritt, wenn die Durchbohrungen 26 und die Anordnung der
mikrostrukturierten Elektroden 11, 21, 24, 27 geeignet ge
wählt sind, ein Überkoppeln der in den lokalen Plasmaberei
chen 12 jeweils erzeugten Plasmen auf, so dass sich ein lateral
homogenes Plasma in einem flächigen Plasmabereich 40
ausbildet.
Im übrigen sei betont, dass für eine elektrische Entladung
von dielektrischen Oberflächen vielfach auch ein inhomogenes
und/oder instabiles Plasma ausreichend ist, da über Diffusi
on von durch das Plasma erzeugten, elektrisch geladenen Teil
chen und/oder zeitliche Mittelung ein ausreichender Kontakt
mit dem Plasma und damit ein Entladungsprozess für die die
lektrische Oberfläche sichergestellt ist.
Insbesondere ist zu betonen, dass die dielektrische Oberflä
che bei dem gewünschten elektrischen
Entladungsprozess nicht notwendigerweise mit dem erzeugten Plasma in direktem Kon
takt stehen bzw. direkt in die Plasmabereiche 12, 40 einge
bracht werden muss. Vielfach genügt es bereits, wenn die zu
entladende Oberfläche lediglich in den Wirkungsbereich des
Plasmas bzw. in den Diffusionsbereich der in dem Plasma io
nisierten Gase bzw. elektrisch geladenen Teilchen einge
bracht wird. In diesem Wirkungsbereich kommt es zu einer
Diffusion der mit Ionen angereicherten Gase aus dem eigent
lichen Plasmabereich heraus hin auf die in die Nahe der
Plasmaeinrichtung 1 angeordnete dielektrische Oberfläche,
wodurch ebenfalls eine, gegenüber dem direkten Plasmabereich
12, 40 allerdings weniger effektive Entladung erreicht wird.
In Einzelfallen wird bei einer räumlichen Ausdehnung des ei
gentlichen Plasmabereiches von typischerweise wenigen mm in
einer Dimension eine Ausdehnung des Wirkungsbereiches durch
Gasdiffusion bzw. Teilchendiffusion von bis zu 10 cm beob
achtet.
Die Fig. 3 erläutert ein erstes Ausführungsbeispiel einer
erfindungsgemäßen Vorrichtung zur zumindest teilweise elek
trischen Entladung von dielektrischen Oberflächen am Bei
spiel der Entladung einer Kunststofffolie 30. Dabei ist vorgesehen,
dass die Kunststofffolie 30 über eine nicht darge
stellte Transporteinrichtung über einen Gleittisch 42 gezo
gen wird, wobei die dielektrische Oberfläche der Kunststoff
folie 30 auf ihrer dem Gleittisch 42 abgewandten Seite mit
einer Plasmaeinrichtung 1 gemäß Fig. 1 oder gemäß Fig. 2
mit einem Plasma beaufschlagt wird. Dazu beträgt der Abstand
der Plasmaeinrichtung 1 von der daran vorbeigeführten Ober
fläche der Kunststofffolie 30 typischerweise 0,1 mm bis
5 mm, insbesondere 0,5 mm bis 2 mm.
Bei der Entladung der Oberfläche der Kunststofffolie 30 mit
der Plasmaeinrichtung 1 gemäß Fig. 3 ist bevorzugt vorgese
hen, die der Kunststofffolie 30 zugewandte Elektrode der
Plasmaeinrichtung 1 zu erden und, im Fall einer Gleichspan
nungsanregung, die dieser abgewandte Elektrode mit einer po
sitiven Spannung zu beaufschlagen, so dass in dem Plasmabe
reich 40 eine besonders intensive Entladung brennt. Weiter
hin stellt sich dort dann ein elektrisches Potential ein,
das nahe dem Erdpotential liegt. Damit wird eine besonders
effektive Entladung der Oberfläche der Kunststofffolie 30
erreicht.
In Fig. 3 ist weiter vorgesehen, dass der Plasmaeinrichtung
1 von ihrer der Kunststofffolie 30 abgewandten Seite über
eine Gaszuführung 31 ein Gas, beispielsweise Pressluft,
Stickstoff, Argon oder Helium, zugeführt wird, das die
Durchbohrungen 26 durchströmt. Auf diese Weise bildet sich
besonders auf der der Kunststofffolie 30 zugewandten Seite
der Plasmaeinrichtung 1 ein lateral homogenes Plasma aus,
dass sich über eine Umgebung der Oberfläche der Plasmaein
richtung 1 in dem Plasmabereich 40 erstreckt. Da weiter
durch die Anordnung der Plasmaeinrichtung 1 und durch den Gleit
tisch 42, der im erläuterten Beispiel als Zuführeinrichtung
2 dient, die dielektrische Oberfläche der Kunststofffolie 30
diesem Plasma in dem Plasmabereich 40 ausgesetzt wird, wird
eine zumindest teilweise elektrische Entladung der dielek
trischen Oberfläche erreicht.
Bevorzugt wird gemäß Fig. 3 die Kunststofffolie 30 kontinu
ierlich in Form einer Bahn über den Gleittisch 42 gezogen,
so dass ihre Oberfläche zeitweilig einseitig mit dem erzeug
ten Plasma beaufschlagt wird.
Als typische Zeit zur zumindest teilweisen elektrischen Ent
ladung der dielektrischen Oberfläche der Kunststofffolie hat
sich eine Zeit von 0,1 bis 10 s, insbesondere 0,5 s bis 2 s
herausgestellt, die in einfacher Weise über die Transportge
schwindigkeit einstellbar ist, mit der die Kunststofffolie
über den Gleittisch 42 gezogen wird. Ebenso können jedoch
auch mehrere Module der Plasmaeinrichtung 1 hintereinander
geschaltet werden, um bei fester Transportgeschwindigkeit
eine ausreichende elektrische Entladung sicherzustellen.
Im Übrigen kann die Plasmaeinrichtung 1 gemäß Fig. 3 bzw.
auch gemäß den weiteren Fig. 4 und 5 sowohl wie darge
stellt planar, als auch gekrümmt oder, je nach Erfordernis
der Zuführeinrichtung 2, an deren gegebenenfalls komplexe
Geometrie angepasst ausgeführt sein.
Die Fig. 4 erläutert ein zu Fig. 3 alternatives Ausfüh
rungsbeispiel an Stelle des Gleittisches 42 Transport
rollen 41 vorgesehen sind, die als Zuführeinrichtung 2 zur
Zufuhr der Kunststofffolie 30 in den Plasmabereich 40 des
von der Plasmaeinrichtung 1 hervorgerufenen Plasmas dienen.
Weiter ist gemäß Fig. 4 vorgesehen, dass die Gaszuführung
31 ein Gas in den Zwischenraum zwischen Plasmaeinrichtung 1
und Kunststofffolie 30 einbläst. Auf diese Weise ist eben
falls ein kontinuierliches Bearbeiten einer durchlaufenden
Kunststofffolie 30 gewährleistet.
Die Fig. 5 zeigt eine dritte Ausführungsform einer Plas
maeinrichtung 1, die sich von dem Ausführungsbeispiel gemäß
Fig. 2 lediglich durch die Anordnung der Durchbohrungen 26
und die Struktur der planare, mikrostrukturierten Elektro
den unterscheidet. Im Einzelnen ist gemäß Fig. 5 vorgese
hen, dass auf der Oberfläche der dielektrischen Platte 22
ein erster Kamm 32 und ein zweiter Kamm 33 angeordnet sind,
die eine ineinandergreifende Kammstruktur bilden, wobei zwi
schen den einzelnen langgestreckten Zähnen der Kämme 32, 33
die Durchbohrungen 26 angeordnet sind. Der Abstand der Zähne
der Kämme 32 bzw. 33 gemäß Fig. 5 liegt bevorzugt zwischen
20 µm und 200 µm, beispielsweise bei 100 µm. Ansonsten sind
die Kämme 32, 33 analog den Streifenleitern 24, 27 ausgebil
det.
Durch die Kammstruktur gemäß Fig. 5 wird ein flächiger, be
sonders homogener Plasmabereich 40 auf der Oberfläche der
Plasmaeinrichtung 1 erzeugt, der sich bis in eine Entfernung
von ca. 0,5 mm bis 3 mm von der Oberfläche der Plasmaein
richtung 1 erstreckt.
Die Fig. 6 zeigt schließlich ein drittes Ausführungsbei
spiel einer Vorrichtung zur Entladung einer Kunststofffolie
30 mit einer Plasmaeinrichtung 1 gemäß Fig. 5. Dabei ist
vorgesehen, dass sich die Kammstruktur mit den Kämmen 32, 33
auf der der Kunststofffolie 30 zugewandten Seite der Plas
maeinrichtung 1 befindet. Weiter ist dort vorgesehen, dass
die Kunststofffolie 30 über Transportrollen 41 an der Ober
fläche der Plasmaeinrichtung 1 in einem Abstand von etwa
1 mm vorbeigeführt wird, so dass die Oberfläche der Kunst
stofffolie 30 kontinuierlich in den Plasmabereich 40 einge
führt und dem dort vorliegenden Plasma ausgesetzt wird. Zu
dem zeigt Fig. 6, dass von der der Kunststofffolie 30 abge
wandten Seite der Plasmaeinrichtung 1 dieser über eine Gas
zuführung 31 ein Gas, beispielsweise Helium, zugeführt wird.
Die Gaszuführung 31, beispielsweise in Form einer geeignet
ausgeführten Gasdusche, bewirkt dabei eine Zufuhr dieses Ga
ses zu den Durchbohrungen 26 gemäß Fig. 5. Schließlich ist
in der Anordnung nach Fig. 6 noch vorgesehen, dass das mit der Gaszuführung 31
zugeführte Gas über eine Gasabsaugeinrichtung 34 wieder ab
geführt wird. Diese Gasabsaugeinrichtung 34 ist besonders
dann relevant, wenn das zugeführte Gas Luft ist, da in die
sem Fall in der beschriebenen Vorrichtung Ozon entsteht.
Die Anordnung nach Fig. 6 eignet sich besonders zum endlosen Vorbeiführen
von Papierbahnen oder Kunststofffolien an der Oberfläche der
Plasmaeinrichtung 1. Dabei wird über das flächig erzeugte
Plasma eine Absaugung von Oberflächenladungen auf der der
Plasmaeinrichtung 1 zugewandten Seite der Kunststofffolie 30
erreicht.
Abschließend sei noch erwähnt, dass die erfindungsgemäße
Vorrichtung sowohl bei Atmosphärendruck als auch bei Unter
druck betrieben werden kann, wobei ein Unterdruck von bei
spielsweise 100 mbar bis 900 mbar zur Verbesserung der Homo
genität des erzeugten Plasmas und der Effizienz der Plasma
erzeugung führt. Andererseits bedeutet das Arbeiten unter
Unterdruck einen erhöhten apparativen Aufwand, da dazu in
der Regel eine geeignete Bearbeitungskammer mit einer Pump
einrichtung erforderlich ist.
Zudem sei betont, dass die Durchbohrungen 26 gemäß den er
läuterten Ausführungsbeispielen neben den dargestellten
kreisförmigen Löchern auch als Schlitze, längliche Ausneh
mungen, halbkreisförmige Ausnehmungen usw. ausgeführt sein
können.
Claims (17)
1. Vorrichtung zur zumindest teilweisen elektrischen
Entladung von dielektrischen Oberflächen, insbesondere von
Oberflächen von Kunststofffolien, Papierbahnen oder Kunst
stofffäden, mit einer Plasmaeinrichtung (1) zur Erzeugung
eines Plasmas mit elektrisch geladenen Teilchen in minde
stens einem Plasmabereich (12, 40) mittels Mikrostrukturen,
sowie mit einer Zuführeinrichtung (2), mit der die dielek
trische Oberfläche (30) in den Plasmabereich (12, 40) oder
zumindest in dessen Wirkungsbereich einführbar und dort von
dem Plasma erzeugten elektrisch geladenen Teilchen zeitwei
lig aussetzbar ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
dass die Plasmaeinrichtung (1) eine dielektrische Platte
(22), eine erste, einem Gas ausgesetzte Elektrode (11, 24,
32) und eine davon beabstandete, zweite, dem Gas ausgesetzte
Elektrode (21, 27, 33), sowie Mittel zur Zündung und Auf
rechterhaltung des Plasmas in dem Plasmabereich (12, 40)
aufweist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
dass die dielektrische Platte (22) zumindest bereichsweise
planare, mikrostrukturierte Elektroden (11, 21, 24, 27, 32,
33) aufweist.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,
dass die mikrostrukturierten Elektroden (11, 21, 24, 27, 32,
33) zumindest bereichsweise als voneinander beabstandete
Streifen oder Streifenleiter (24, 27) und/oder als voneinan
der beabstandete Kämme (32, 33) einer Kammstruktur ausgebil
det sind.
5. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,
dass die dielektrische Platte (22) auf zwei einander gegen
über liegenden Seiten mit planaren Elektroden (11, 21) mit
mikrostrukturierten Ausnehmungen, insbesondere Löchern,
Durchbohrungen (26) oder Schlitzen, versehen ist.
6. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
dass die Plasmaeinrichtung (1) mindestens einen Hohlleiter
oder eine Anordnung von Streifenleitern für Mikrowellen auf
weist.
7. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass die dielektrische Platte (22)
mindestens eine Durchbohrung (26), insbesondere eine Viel
zahl von Durchbohrungen (26), mit einem Durchmesser von
10 µm bis 300 µm, aufweist, wobei die Durchbohrung (26) auch
die mikrostrukturierte Ausnehmung der Elektroden (11, 21)
bildet und/oder in einer Umgebung der mikrostrukturierten
Elektrode (24, 27, 32, 33) angeordnet ist.
8. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass eine Gaszuführung (31) zur Zu
fuhr des Gases in den Plasmabereich (12, 40) vorgesehen ist.
9. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass die Zuführeinrichtung (2) Mit
tel (41, 42) zum insbesondere kontinuierlichen Vorbeiführen
der dielektrischen Oberfläche (30) an der Oberfläche der
Plasmaeinrichtung (1) derart aufweist, dass die dielektrische
Oberfläche (30) zeitweilig dem Plasma in dem Plasmabe
reich (40, 12) oder zumindest dem Wirkungsbereich der von
dem Plasma erzeugten elektrisch geladenen Teilchen ausge
setzt ist.
10. Verfahren zur zumindest teilweisen elektrischen Ent
ladung von dielektrischen Oberflächen, insbesondere mit ei
ner Vorrichtung nach einem der vorangehenden Anspruche, wo
bei mit einer Plasmaeinrichtung (1) in mindestens einem
Plasmabereich (12, 40) ein Plasma erzeugt wird und
die dielektrische Oberfläche (30) dem Plasma in diesem Plas
mabereich (12, 40) oder zumindest in dessen Wirkungsbereich
zeitweilig ausgesetzt wird.
11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet,
dass eine Vielzahl von lokal begrenzten Plasmen in einem je
weils zugeordneten Plasmabereich (12) in einer Umgebung der
Oberfläche der Plasmaeinrichtung (1) erzeugt wird, oder dass
ein flachiges Plasma in einem Plasmabereich (40) in einer
Umgebung der Oberfläche der Plasmaeinrichtung (1) erzeugt
wird.
12. Verfahren nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekenn
zeichnet, dass das Plasma durch Einkoppeln einer elektri
schen Spannung mit einer Amplitude von 100 Volt bis
2000 Volt, insbesondere 200 Volt bis 700 Volt, in die Plas
maeinrichtung (1) in dem Plasmabereich (12, 40) gezündet und
aufrechterhalten wird.
13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet,
dass eine Gleichspannung oder eine hochfrequente Wech
selspannung, insbesondere mit einer Frequenz von 1 kHz bis
100 MHz, vorzugsweise 13,45 MHz, eingekoppelt wird.
14. Verfahren nach einem der Anspruche 10 bis 13, dadurch
gekennzeichnet, dass die zumindest teilweise zu entladende
dielektrische Oberfläche (30) dem Plasma in dem Plasmabe
reich (12, 40) über einen Zeitraum von 0,1 sec bis 10 sec,
insbesondere 0,5 sec bis 2 sec, ausgesetzt wird.
15. Verfahren nach einem der Anspruche 10 bis 14, dadurch
gekennzeichnet, dass dem Plasmabereich (12, 40) ein Gas,
insbesondere Luft, Stickstoff, Argon oder Helium, zugeführt
wird.
16. Verfahren nach einem der Anspruche 10 bis 15, dadurch
gekennzeichnet, dass die dielektrische Oberfläche (30) in
einem Abstand von 100 µm bis 5 mm, insbesondere 500 µm bis
2 mm, an einer Oberfläche der Plasmaeinrichtung (1) vorbei
geführt und dabei in dem Plasmabereich (12, 40) mit dem
Plasma beaufschlagt wird.
17. Verfahren nach einem der Anspruche 10 bis 16, dadurch
gekennzeichnet, dass es bei einem Unterdruck, insbesondere
100 mbar bis 900 mbar, durchgeführt wird.
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