DE10102969A1 - Gekühlte Spiegelvorrichtung - Google Patents
Gekühlte SpiegelvorrichtungInfo
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Abstract
Die Erfindung betrifft eine gekühlte Spiegelvorrichtung für Lasersysteme o. dgl., mit einem Spiegelgrundkörper und einem mit dem Spiegelgrundkörper starr verbundenen Spiegeldecke, wobei der Spiegelgrundkörper und/oder der Spiegeldeckel eine Kühleinrichtung aufweisen, wobei der Spiegeldeckel aus einem Aluminiummaterial hergestellt ist und zum Ausbilden einer reflexionserhöhenden Spiegelfläche mit Kupfer oder einem anderen reflexionserhöhenden Material beschichtet ist.
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft eine gekühlte Spiegel
vorrichtung für Lasersysteme nach dem Oberbegriff des Pa
tentanspruchs 1. Derartige Spiegelvorrichtungen werden ty
pischerweise als Reflexionselemente in industriellen Ferti
gungsanlagen unter Nutzung eines (Leistungs-)Lasers, z. B.
beim Schneiden oder Schweißen, eingesetzt.
Aufgrund einer Laserleistung, die im zweistelligen Kilo
wattbereich liegen kann, ist es dabei notwendig, die Spie
gelvorrichtung zu kühlen; selbst optimal physikalisch ge
eignete und mechanisch vorbereitete Spiegeloberflächen
(z. B. eine Kupfer-Oberfläche für die Wellenlänge
10,6 Mikrometer eines CO2-Lasers) erreicht lediglich eine
Reflexion von 99%, so dass die absorbierte Laserleistung
durch ein mit der Kühleinrichtung verbundenes Kühlsystem
abgeführt werden muss.
Kupfer ist aufgrund seiner günstigen Reflexionseigenschaf
ten ein bekanntes Material zum Herstellen gattungsbildender
Spiegelvorrichtungen; aus dem Stand der Technik ist es da
her bekannt, sowohl den (die eigentliche Spiegelfläche aus
bildenden) Spiegeldeckel, als auch den Spiegelgrundkörper
aus massivem Kupfer auszubilden. Insbesondere im Hinblick
auf einfache und preisgünstige Fertigung sowie Reparatur
(etwa durch Nachbearbeiten einer abgenutzten Spiegelfläche)
ist dies unproblematisch und im Stand der Technik eta
bliert.
Gerade im Hinblick auf zukünftige, laserbasierte Bearbei
tungsmaschinen, welche mit hochdynamischen Linearmotoren
bewegt werden (bei Vorschubgeschwindigkeiten bis zu 20 m/min)
erscheint dies jedoch problematisch: Das durch das
hohe spezifische Gewicht von Kupfer begründete hohe Gewicht
von gattungsgemäßen gekühlten Spiegelvorrichtungen bringt
im Hinblick auf die hohen Geschwindigkeiten und entsprechend
hohen Beschleunigungen nicht nur erhöhte Anforderun
gen an Belastbarkeit und Ausführung der Stelleinrichtungen,
auch ist aufgrund des dynamischen Schwingungsverhaltens
derartiger Spiegelvorrichtungen mit einer Verlangsamung
praktisch nutzbarer Arbeitstakte zu rechnen, da, nach jedem
Stellvorgang, erst ein (letztendlich vom Gewicht der Spie
gelvorrichtung abhängiges) Ausschwingen erfolgen muss, be
vor die Laser-Bearbeitungseinheit nutzbar ist.
Ein weiterer Nachteil bekannter, gattungsbildender Spiegel
vorrichtungen liegt darin, dass die Kühleinrichtung - ty
pischerweise als in den Spiegelgrundkörper oder den Spie
geldeckel eingefräster, spiralförmiger Kanal realisiert -
ebenfalls ein Kupferelement ist. Bei Einsatz von Wasser als
gängigem Kühlfluid führt dies dazu, dass in einem Kühl
kreislauf (mit weiteren Spiegelvorrichtungen und anderen
Aggregaten) ebenfalls nur reine Kupferleitungen bzw.
-kanäle eingesetzt werden können, da ansonsten, etwa bei ei
nem in den Kühlkreislauf eingekoppelten Aluminium-
Kühlkanal, durch Kathoden- bzw. Anodeneffekt der ansonsten
bekannten Materialfraß auftritt.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, eine gat
tungsbildende Spiegelvorrichtung dahingehend zu verbessern,
dass insbesondere die Eigenschaften einer solchen Spiegel
vorrichtung im Zusammenhang mit hochdynamischen Stellmoto
ren in einem Laser-System verbessert werden, ohne dass sich
die Reflexionseigenschaften, etwa durch eine andere Mate
rialwahl für eine Spiegelfläche, verschlechtern, und ohne
dass in Herstellung und Fertigung ein wesentlich erhöhter
Aufwand in Kauf genommen werden muss.
Weiterhin ist eine gattungsgemäße Spiegelvorrichtung dahin
gehend weiterzubilden, dass die Kühleinrichtung nicht le
diglich in einem Kühlkreislauf mit demselben Metall bzw.
derselben Metallegierung betrieben werden kann, ohne dass
Materialschädigungen auftreten.
Die Aufgabe wird durch die Spiegelvorrichtung mit den Merk
malen des Patentanspruchs 1 sowie des Patentanspruchs 15
gelöst; vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in
den Unteransprüchen beschrieben, wobei diese in äquivalen
ter Weise auch auf den unabhängigen Patentanspruch 15 rück
bezogen gelten sollen. Ferner wird Schutz für die Verwen
dung nach den Ansprüchen 13 und 14 beansprucht.
In erfindungsgemäß vorteilhafter Weise ermöglicht es die
vorliegende Erfindung, eine insbesondere auch für Hochlei
stungs-Laser innerhalb eines Laser-Systems geeignete Spie
gelvorrichtung bereitzustellen, die, durch ein deutlich
verringertes Gewicht bei gegenüber einer massiven Kupfer-
Spiegelvorrichtung unveränderten positiven Reflexionseigen
schaften optimal geeignet für schnell bewegliche bzw.
schnell beschleunigte Einheiten innerhalb moderner Ferti
gungsanlagen ist.
Zudem wirkt sich die Verwendung des erfindungsgemäßen Alu
miniummaterials sowohl günstig für die Herstellungskosten,
als auch für die Wärmeabfuhr von der Spiegelfläche aus. Da
bei ist als "Aluminiummaterial" im Rahmen der vorliegenden
Erfindung nicht lediglich massives Aluminium zu verstehen;
vielmehr sind von dieser Definition jegliche Aluminium
basierte Legierungen umfasst, welche, mit überwiegendem An
teil Aluminium gegenüber anderen Legierungselementen, eine
Realisierung des spürbaren Gewichtsvorteils gegenüber Kup
fer ermöglichen.
Je nach Dicke der reflexionserhöhenden Kupferschicht ist es
zudem möglich, diese entweder (ohne erneutes Beschichten)
nachzubearbeiten, z. B. durch ansonsten bekannten Einsatz
von Diamant-Drehmaschinen mit Nanometerauflösung, oder
aber, besonders geeignet durch elektrolytische Verfahren,
eine neue Kupferschicht aufzubringen.
Von der vorliegenden Erfindung ist es zudem umfasst, statt
Kupfer ein anderes (gegenüber dem Aluminiummaterial) eine
reflexionserhöhende Wirkung besitzendes Material einzuset
zen.
Gemäß einer besonders bevorzugten Ausführungsform ist es
vorgesehen, die Spiegelfläche durch Vorsehen eines spiral
förmigen Kupferkanals im Spiegeldeckel (wobei der Kanal
dann von der gegenüberliegenden Flachseite des Spiegel
grundkörpers verschlossen wird) zu kühlen; typischerweise
fließt durch diesen Kanal destilliertes Wasser als Kühl
fluid, wobei ein günstiger Abstand zwischen Kanalboden und
Spiegelfläche zwischen 0,1 und 1 mm liegt, um die Wärmeab
fuhr zu optimieren.
Gemäß einer besonders bevorzugten Ausführungsform der Er
findung, für welche im Zusammenhang mit den Merkmalen gemäß
unabhängigem Patentanspruch 15 auch unabhängiger Schutz be
ansprucht wird, weist der Fluidkanal eine mittels eines
Nickelmaterial realisierte Beschichtung (Vernickelung) auf.
Im Rahmen der Erfindung betrifft diese Vernickelung zumin
dest sämtliche mit dem Kühlfluid in Kontakt tretende Innen
flächen des Fluidkanals; weiter bevorzugt erfolgt das Ver
nickeln jedoch durch ganzflächiges Beschichten der innen
seitigen Flachseite des Spiegelgrundkörpers sowie, weiter
bevorzugt, der gegenüberliegenden Innenfläche des Spiegel
deckels mit den darin vorgesehenen Kanälen. Als
"Nickelmaterial" im Rahmen der Erfindung ist dabei nicht
lediglich elementares Nickel zu verstehen, sondern sämtli
che Legierungen sind umfasst, mit denen sich die erfin
dungsgemäß günstige Wirkung, nämlich elektrochemische Neu
tralität, erreichen lässt.
Als besonders geeignete Form einer Aufbringung des Nic
kelmaterials für die Vernickelung hat es sich zudem erwie
sen, Stromlos-Nickel einzusetzen, wobei hier typische
Schichtstärken im Bereich zwischen 10 und 100 Mikrometern
liegen. Stromlos-Nickel besitzt den Vorteil, dass es geome
triegenau auftragbar ist und daher insbesondere für eine
leicht herstellbare, gleichmäßig und homogene Beschichtung
sorgt.
Während es einerseits besonders geeignet ist, die erfin
dungsgemäß gekühlte Spiegelvorrichtung in ansonsten bekann
ter Weise unter Zuhilfenahme einer abnehmbaren Justierplat
te am Spiegelgrundkörper auf oder mit Führungsaggregaten zu
versehen, sieht eine besonders günstige Ausführungsform der
Erfindung vor, die Funktionalität einer (traditionell ge
trennten) Justierplatte intergral als Bestandteil des
Spiegelgrundkörpers selbst vorzusehen. Hierdurch lassen
sich der Herstellungsaufwand und mithin die Fertigungsko
sten deutlich reduzieren, ohne dass die praktische Handha
bung einer solchen Einheit, insbesondere bei Austausch ohne
die Notwendigkeit einer Nachjustage, erschwert wird.
Insbesondere bei dieser Ausführungsform ist es daher auch
vorteilhaft, die Kühleinrichtung im Spiegelgrundkörper
selbst (statt im Spiegeldeckel) vorzusehen, so dass im Er
gebnis der Spiegeldeckel auf eine dünne Scheibe reduziert
werden kann.
Während bevorzugte Anwendungsgebiete der erfindungsgemäßen
Spiegelvorrichtungen den Wellenlängenbereich von 10,6 Mi
krometern (entsprechend Kohlendioxydlasern) betreffen und
dabei die hier besonders günstige Reflexionseigenschaften
von Kupfer ausnutzen, ist die vorliegende Erfindung nicht
auf diesen Anwendungsbereich beschränkt, sondern eignet
sich prinzipiell für jegliche Anwendungen, bei welchen es
auf günstige Gewichtseigenschaften und/oder günstige elek
trochemische Eigenschaften in der Kühleinrichtung im Ver
bund mit weiteren Aggregaten entlang eines Kühlstranges an
kommt.
Eine besonders geeigneter Anwendungsfall liegt zudem im
Einsatz zusammen mit ansonsten bekannten Laserfokussierköp
fen, wie sie auch von der Anmelderin hergestellt werden.
Insbesondere hier bietet es sich an, die Spiegelfläche asphärisch
auszugestalten, ansonsten sind jedoch beliebige
Spiegelformen (plan, sphärisch od. dgl.) denkbar.
Weitere Vorteile, Merkmale und Einzelheiten der Erfindung
ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter
Ausführungsbeispiele sowie anhand der Zeichnung; diese zei
gen in
Fig. 1: eine geschnittene Perspektivansicht der gekühlten
Spiegelvorrichtung gemäß einer ersten Ausfüh
rungsform der vorliegenden Erfindung;
Fig. 2: eine Detailansicht der Schnittfläche gemäß Fig.
1;
Fig. 3: eine Draufsicht auf die Bodenfläche der Spiegel
vorrichtung gemäß Fig. 1, Fig. 2;
Fig. 4: eine perspektivische, geschnittene Ansicht einer
gekühlten Spiegelvorrichtung gemäß einer zweiten
Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
Fig. 5: eine Detailansicht der Schnittfläche gemäß Fig. 4
und
Fig. 6: eine Draufsicht auf die Vorrichtung gemäß Fig. 4,
Fig. 5.
Wie in der Fig. 1 gezeigt, weist eine für einen Laser-
Wellenlängenbereich von 10,6 Mikrometern optimierte, ge
kühlte Spiegelvorrichtung 10 einen eine Spiegelfläche 12
ausbildenden Spiegeldeckel 14 auf, welcher durch Verkleben
oder Verlöten mit einem Spiegelgrundkörper 16 verbunden
ist, so dass sich eine flachzylindrische Gesamtanordnung
ergibt.
An seiner dem Spiegelgrundkörper zugewandten Flachseite
weist der Spiegeldeckel 14 eine Spiralnut 18 auf, welche,
im Zusammenwirken mit einer gegenüberliegenden planen Innenfläche
20 des Spiegelgrundkörpers 16, einen Kühlkanal
ausbildet, der wiederum einends von einem im Spiegelgrund
körper 16 gebildeten ersten Einlasskanal 22 mit Einlassboh
rung 24 sowie andernends mittels eines zweiten Einlasska
nals 26 mit Einlassbohrung 28 gespeist wird.
Eine mit ihren Wänden parallel zur Spiegelfläche 12 verlau
fende Ringnut 30 im Spiegelgrundkörper 16 grenzt einen bo
denseiten Ringflansch 32 ab, welcher mittels darin vorgese
hener Befestigungsbohrungen 34 zum (für die Spiegelfläche
12 weitgehend spannungsfreien) Befestigen auf ansonsten be
kannten Justierplatten vorgesehen ist.
Die Spiegelfläche 12 ist durch ein elektrolytisches Verfah
ren mit Kupfer einer Stärke von ca. 0,1 mm beschichtet.
Ferner ist die durch die Paare von Einlassbohrungen 24, 28,
Einlasskanälen 22, 26 sowie die Spiralnut 18 realisierte
Kühleinheit vollflächig vernickelt, und zwar durch span
nungslos aufgebrachtes Nickelmaterial, im beschriebenen
Ausführungsbeispiel ganzflächig auf der Innenfläche 20 des
Spiegelgrundkörpers 16 sowie der gegenüberliegenden, die
Spiralnut 18 aufweisenden Innenfläche des Spiegeldeckels
14.
Die Fig. 3 verdeutlicht die so entstehende Geometrie von
der Bodenseite her.
Es entsteht damit eine fluidgekühlte Vorrichtung, welche
gegenüber einer äquivalenten Vorrichtung aus massivem Kup
fermaterial ein um etwa 50% reduziertes Gewicht aufweist.
Insbesondere für einen Einsatz in schnell beweglichen bzw.
schnell beschleunigten Maschinenumgebungen eignet sich da
mit die beschriebene Vorrichtung in herausragender Weise.
Zudem wird durch den vernickelten Kühlkanal mit entspre
chend vernickelten Zuführungen erreicht, dass, elektroche
misch neutral, die Anordnung im Rahmen eines geschlossenen,
wasserbasierten Kühlkreislaufes mit praktisch beliebigen
anderen Einheiten (also z. B. auch mit Cu- bzw. Al-Kanälen)
zusammenwirken kann, ohne dass es durch anodische bzw. ka
thodische Effekte zu einer Materialschädigung der beschrie
benen Baugruppe kommt.
Unter Bezug auf die Fig. 4 bis 6 wird nachfolgend eine al
ternative Realisierungsform der vorliegenden Erfindung be
schrieben, welche, gegenüber der vorbeschriebenen Ausfüh
rungsform, im Hinblick auf die zur Befestigung benötigten
Baugruppen sowie die mechanische Dicke weiter optimiert
ist.
Wie in Fig. 4 und Fig. 5 gezeigt, nimmt hier ein Spiegel
grundkörper 36 eine aus Lamellenelementen 38 gebildete
Kühlstruktur auf und bietet über ein Paar von Einlässen 40,
42 die Anschließbarkeit an ansonsten bekannte Zuführungs-
bzw. Abführungsleitungen für fluides Kühlmittel.
Der Spiegelgrundkörper 36 wird, wie in den Fig. 4, 5 ge
zeigt, von einem Spiegeldeckel 44 in Form eines flachen,
scheibenförmigen Elements abgedeckt, welcher im beschriebe
nen Ausführungsbeispiel, analog dem Ausführungsbeispiel der
Fig. 1 bis 3, zum Ausbilden einer Spiegelfläche 46 elektro
lytisch verkupfert ist. Ebenso ist das Kühlsystem, einge
schlossen eine Innenfläche des Spiegeldeckels 44, mit Hilfe
von Stromlos-Nickel allseits vernickelt, wobei, wie auch im
vorbeschriebenen Ausführungsbeispiel, eine Schichtdicke von
ca. 15 bis 20 Mikrometern gewählt wurde.
Unterschiedlich zum ersten Ausführungsbeispiel ist ein ra
dial über die Spiegelfläche 46 hinausstehender, umfangssei
tig quadratischer Flanschabschnitt 48, einstückig angeformt
an den Spiegelgrundkörper 46, vorgesehen, wobei der Flan
schabschnitt 48 in der Art und Funktionalität einer (für
die erste Ausführungsform separat vorzusehenden) Justier
platte geeignete Justierbohrungen 50 aufweist.
Während eine besonders geeignete Realisierungsform der
zweiten Ausführungsform gemäß Fig. 4 bis Fig. 6 eine Realisierung
aus Aluminium vorsieht, ist hier prinzipiell jedes
beliebige andere Grundmaterial möglich, da bereits durch
die sehr flache, integrierte Bauform beachtliche Gewichts
ersparnisse erreichbar sind.
Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die konkret be
schriebenen Ausführungsbeispiele beschränkt; so ist es
prinzipiell auch möglich, das erfindungsgemäß zum Ausbilden
der Spiegelflächen verwendete Kupfermaterial durch ein an
deres, Reflexionseigenschaften des Grundmaterials deutlich
verbesserndes Material zu ersetzen. Genauso ist die erfin
dungsgemäß eingesetzte, elektrochemisch neutrale Beschich
tung des Kühlkanals nicht auf den Einsatz von Nickel be
schränkt, sondern es können sich auch andere, entsprechend
neutrale Materialien anbieten.
Claims (15)
1. Gekühlte Spiegelvorrichtung (10) für Lasersysteme
od. dgl., mit
einem Spiegelgrundkörper (16; 36) und einem mit dem Spiegelgrundkörper starr verbundenen Spiegeldeckel (14; 44), wobei der Spiegelgrundkörper und/oder der Spiegeldeckel eine Kühleinrichtung (30) aufweisen,
dadurch gekennzeichnet,
dass der Spiegeldeckel aus einem Aluminiummaterial hergestellt ist und
zum Ausbilden einer reflexionserhöhenden Spiegelflä che (12; 46) mit Kupfer oder einem anderen refle xionserhöhenden Material beschichtet ist.
einem Spiegelgrundkörper (16; 36) und einem mit dem Spiegelgrundkörper starr verbundenen Spiegeldeckel (14; 44), wobei der Spiegelgrundkörper und/oder der Spiegeldeckel eine Kühleinrichtung (30) aufweisen,
dadurch gekennzeichnet,
dass der Spiegeldeckel aus einem Aluminiummaterial hergestellt ist und
zum Ausbilden einer reflexionserhöhenden Spiegelflä che (12; 46) mit Kupfer oder einem anderen refle xionserhöhenden Material beschichtet ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
dass der Spiegelgrundkörper (16) aus dem Aluminiumma
terial hergestellt ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn
zeichnet, dass die Kühleinrichtung eine mittels eines
bevorzugt spiralförmigen Fluidkanals (18) im Spiegel
deckel realisierte Fluidkühlung, insbesondere Wasser
kühlung, ist.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,
dass der Fluidkanal im Spiegeldeckel (14) in Richtung
auf eine mit dem Spiegeldeckel zusammenwirkende in
nenseitige Flachseite (20) des Spiegelgrundkörpers
(16) geöffnet und in einem Verbindungszustand von
Spiegelgrundkörper und Spiegeldeckel durch die Flach
seite verschlossen ist, wobei der Fluidkanal eine
Vernickelung aufweist.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,
dass die Vernickelung sich i. w. über die gesamte in
nenseitige Flachseite (20) des Spiegelgrundkörpers
erstreckt.
6. Vorrichtung nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekenn
zeichnet, dass die Vernickelung durch Einsatz von
stromlos aufgebrachtem Nickelmaterial, insbesondere
einer Dicke zwischen 10 und 100 Mikrometern, reali
siert ist.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 6, dadurch
gekennzeichnet, dass der Fluidkanal durch im Spiegel
grundkörper gebildete, vernickelte Strukturen
(22, 24; 26, 28) mit Kühlfluid beschickbar ausgebildet
ist.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch
gekennzeichnet, dass die reflexionserhöhende Spiegel
fläche durch eine elektrolytische Kupferschicht einer
Dicke zwischen 0,1 und 1,0 mm, bevorzugt zwischen 0,1
und 0,5 mm, realisiert ist.
9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet,
dass die reflexionserhöhende Spiegelfläche herge
stellt wird, nachdem der Spiegelgrundkörper und der
Spiegeldeckel miteinander, insbesondere durch Verlö
ten oder Verkleben, verbunden worden sind.
10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, gekenn
zeichnet durch eine mit dem Spiegelgrundkörper ab
nehmbar verbindbare Justierplatte, die zum Befestigen
der Spiegelvorrichtung auf einer zugeordneten Träge
reinheit vorgesehen ist.
11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch
gekennzeichnet, dass der Spiegelgrundkörper (36)einen
als Justierplatte ausgebildeten, einstückig ansitzenden
Flanschabschnitt (48) aufweist, der zum Befesti
gen der Spiegelvorrichtung auf einer zugeordneten
Trägereinheit vorgesehen ist.
12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet,
dass die Kühleinrichtung im Spiegelgrundkörper (36)
vorgesehen ist.
13. Verwendung der Spiegelvorrichtung nach einem der An
sprüche 1 bis 12 in einem Lasersystem bei einer Wel
lenlänge im Bereich zwischen 10 und 11 Mikrometern,
insbesondere bei 10,6 Mikrometern.
14. Verwendung der Spiegelvorrichtung nach einem der An
sprüche 1 bis 12 als Bestandteil einer Strahl-
Umlenkeinheit eines Lasersystems und/oder als Be
standteil eines Laser-Fokussierkopfes.
15. Gekühlte Spiegelvorrichtung (10) für Laser-Systeme
od. dgl. mit
einem Spiegelgrundkörper (16; 36) und einem mit dem Spiegelgrundkörper starr verbundenen Spiegeldeckel (14; 44), wobei der Spiegelgrundkörper und/oder der Spiegeldeckel eine Kühleinrichtung aufweisen und die Kühleinrichtung (30) eine mittels eines bevorzugt spiralförmigen Fluidkanals im Spiegeldeckel reali sierte Fluidkühlung, insbesondere Wasserkühlung, ist,
dadurch gekennzeichnet,
dass der Fluidkanal eine Vernickelung oder eine Be schichtung aus einem anderen, elektrochemisch neutra len Material aufweist.
einem Spiegelgrundkörper (16; 36) und einem mit dem Spiegelgrundkörper starr verbundenen Spiegeldeckel (14; 44), wobei der Spiegelgrundkörper und/oder der Spiegeldeckel eine Kühleinrichtung aufweisen und die Kühleinrichtung (30) eine mittels eines bevorzugt spiralförmigen Fluidkanals im Spiegeldeckel reali sierte Fluidkühlung, insbesondere Wasserkühlung, ist,
dadurch gekennzeichnet,
dass der Fluidkanal eine Vernickelung oder eine Be schichtung aus einem anderen, elektrochemisch neutra len Material aufweist.
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ID=7671493
Family Applications (1)
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WO2007144009A1 (de) | 2006-06-12 | 2007-12-21 | Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh & Co. Kg | Bauteil einer laserbearbeitungsmaschine und verfahren zur herstellung einer korrosionsbeständigen beschichtung eines kanals des bauteils der laserbearbeitungsmaschine |
US8435431B2 (en) | 2006-06-12 | 2013-05-07 | Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg | Method for producing a laser processing machine component having a corrosion-resistant internal coating |
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Publication number | Publication date |
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US6792016B2 (en) | 2004-09-14 |
US20040013153A1 (en) | 2004-01-22 |
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