DE10101352B4

DE10101352B4 - Tilt sensor arrangement

Info

Publication number: DE10101352B4
Application number: DE2001101352
Authority: DE
Inventors: Bernhard Mattes
Original assignee: Robert Bosch GmbH
Current assignee: Robert Bosch GmbH
Priority date: 2001-01-13
Filing date: 2001-01-13
Publication date: 2010-04-08
Anticipated expiration: 2021-01-14
Also published as: DE10101352A1

Abstract

Neigungssensoranordnung mit einem ersten eine erste Grundfläche (1a) aufweisenden Beschleunigungssensor (1), welcher ein Ausgangssignal (4) ausgibt, welches einen Offset-Fehler (4a) aufweist, und welcher mit seiner Grundfläche (1a) auf einem Befestigungs- und Kontaktierungselement (3) angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, daß ein zweiter Beschleunigungssensor (2) derart auf dem Befestigungs- und Kontaktierungselement (3) angeordnet ist, daß seine Grundfläche (2a) von dem Befestigungs- und Kontaktierungselement (3) abgewandt ist.Inclination sensor arrangement comprising a first acceleration sensor (1) having a first base area (1a) which outputs an output signal (4) which has an offset error (4a) and which is arranged with its base (1a) on a mounting and contacting element (3 ), characterized in that a second acceleration sensor (2) on the mounting and contacting element (3) is arranged such that its base (2a) facing away from the mounting and contacting element (3).

Description

Stand der TechnikState of the art

Die Erfindung betrifft eine Neigungssensoranordnung nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 mit einem eine Grundfläche aufweisenden ersten Beschleunigungssensor, welcher ein Ausgangssignal ausgibt, welches einen Offset-Fehler aufweist, und welcher mit seiner Grundfläche auf einem Befestigungs- und Kontaktierungselement angeordnet ist.The The invention relates to a tilt sensor arrangement according to the preamble of Claim 1 having a base area having a first acceleration sensor, which outputs an output signal which is an offset error and which with its base on a mounting and contacting element is arranged.

Eine derartige Neigungssensoranordnung wird beispielsweise in einem Kraftfahrzeug verwendet, um die Abweichung des Kraftfahrzeugs von der Waagerechten zu erfassen. Aufgrund einer Abweichung von der Waagerechten lassen sich verschiedene Einstellungen des Kraftfahrzeugs verändern. So läßt sich insbesondere die Fahrdynamikregelung, die Leuchtweitenregelung und die Überrollsensierung durch Erfassung der Fahrzeugneigung optimieren. Bei den genannten Anwendungen muß die Fahrzeugneigung statisch gemessen werden. Des weiteren werden hohe Anforderungen an die Genauigkeit der Erfassung der Fahrzeugneigung gestellt.A Such tilt sensor arrangement is used for example in a motor vehicle used to measure the deviation of the motor vehicle from the horizontal capture. Due to a deviation from the horizontal leave different settings of the motor vehicle change. So let yourself in particular the vehicle dynamics control, the headlight range control and the roll over sensation optimize by detecting the vehicle inclination. In the mentioned Applications must be Vehicle inclination can be statically measured. Furthermore, high Requirements for accuracy of detection of vehicle inclination posed.

Um die Forderungen an die Genauigkeit zu erfüllen, können hoch-symmetrische bulk-mikromechanische Beschleunigungssensoren ver wendet werden, wie z. B. der Typ SCA 610 der Firma VTI-Hamlin, welche eine sehr gute Genauigkeit hinsichtlich der Abgleichtoleranz, des Temperaturdriftes und der Alterungsdrift aufweisen. Bulk-mikromechanische Beschleunigungssensoren sind jedoch relativ teuer.Around To meet the demands on accuracy, can be highly symmetrical bulk micromechanical acceleration sensors ver be used, such. B. the type SCA 610 VTI-Hamlin, which has a very good accuracy in terms of alignment tolerance, have the temperature drift and aging drift. Bulk micromechanical However, acceleration sensors are relatively expensive.

Die bekannten oberflächenmikromechanischen Beschleunigungssensoren, wie z. B. der Typ SMB 100 der Firma Bosch, sind zwar kostengünstiger, jedoch ist deren Genauigkeit etwa nur halb so hoch wie die der genannten bulk-mikromechanischen Beschleunigungssensoren. Es ergeben sich daher Probleme beim Einsatz dieser Beschleunigungssensoren zur Erfassung der Fahrzeugneigung.The known surface micromechanical Acceleration sensors, such. B. the type SMB 100 from Bosch, are cheaper, However, their accuracy is about half as high as that of the mentioned bulk-micromechanical Acceleration sensors. There are therefore problems in use These acceleration sensors for detecting the vehicle inclination.

Ein weiteres Problem bei der Erfassung der Fahrzeugneigung ist, dass eine Offset-Ausregelung nicht möglich ist, da die Fahrzeugneigung auch statisch erfasst werden muss und eine Offset-Ausregelung bei statisch gemessenen Systemen nie möglich ist. Denn es kann systembedingt nicht unterschieden werden, ob das Fahrzeug geneigt ist, oder ob die Sollwertabweichung von einem Sensorfehler herrührt.One Another problem in detecting the vehicle inclination is that an offset compensation is not possible is because the vehicle inclination must be recorded statically and Offset compensation is never possible with statically measured systems. Because it can not be distinguished systemically, whether the vehicle is inclined, or whether the setpoint deviation from a sensor error arises.

Es ist Aufgabe der Erfindung, eine eingangs genannte Neigungssensoranordnung derart auszubilden, dass sie eine erhöhte Genauigkeit aufweist.It is the object of the invention, an aforementioned tilt sensor arrangement such that it has an increased accuracy.

Die Lösung dieser Aufgabe ergibt sich aus den Merkmalen des kennzeichnenden Teils des Anspruchs 1. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.The solution This object is apparent from the features of the characterizing Part of claim 1. Advantageous developments of the invention emerge from the dependent claims.

Vorteile der ErfindungAdvantages of the invention

Gemäß der Erfindung ist eine Neigungssensoranordnung mit einem ersten eine Grundfläche aufweisenden Beschleunigungssensor, welcher ein Ausgangssignal ausgibt, welches einen Offset-Fehler aufweist, und welcher mit seiner Grundfläche auf einem Befestigungs- und Kontaktierungselement angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass ein zweiter Beschleunigungssensor derart auf dem Befestigungs- und Kontaktierungselement angeordnet ist, dass sei ne Grundfläche von dem Befestigungs- und Kontaktierungselement abgewandt ist.According to the invention is a tilt sensor assembly with a first having a base Acceleration sensor which outputs an output signal which has an offset error, and which with its footprint on one Fixing and contacting element is arranged, characterized characterized in that a second acceleration sensor on the fastening and contacting element is arranged that be ne base area facing away from the fastening and contacting element.

Dadurch, daß ein zweiter Beschleunigungssensor derart auf dem Befestigungs- und Kontaktierungselement angeordnet ist, daß seine Grundfläche von dem Befestigungs- und Kontaktierungselement abgewandt ist, das heißt, der zweite Beschleunigungssensor im Prinzip auf dem Kopf auf dem Befestigungs- und Kontaktierungselement angeordnet ist, lassen sich auf einfache Weise systembedingte Abweichungen vom tatsächlichen Meßwert eliminieren. Hierzu brauchen die Ausgangssignale der beiden Beschleunigungssensoren lediglich subtrahiert zu werden.Thereby, the existence second acceleration sensor on the mounting and contacting element is arranged that his Footprint of the fastening and contacting element is remote, that is, the second acceleration sensor in principle on the head on the mounting and contacting element is arranged, can be easily Way to eliminate system-related deviations from the actual measured value. Need for this the output signals of the two acceleration sensors only to be subtracted.

Da die beiden Beschleunigungssensoren um 180 Grad gedreht auf dem Befestigungs- und Kontaktierungselement angeordnet sind, sind die beiden Ausgangssignale ebenfalls entgegengesetzt zueinander. Das heißt, die beiden Ausgangssignale weisen umgekehrte Vorzeichen auf. Hierdurch bewirkt die Subtraktion der beiden Ausgangssignale, daß sich die Beträge der Ausgangssignale addieren. Zum Erhalt des wahren Ausgangssignals braucht das durch die Subtraktion gewonnene Signal lediglich durch zwei dividiert zu werden.There the two acceleration sensors rotated 180 degrees on the mounting and contacting element are arranged, are the two output signals also opposite to each other. That is, the two output signals have opposite signs. This causes the subtraction the two output signals that are the amounts add the output signals. To preserve the true output signal needs the signal obtained by the subtraction only by two to be divided.

Durch die Subtraktion der Ausgangssignale der beiden Beschleunigungssensoren wird in vorteilhafter Weise erreicht, daß sich die systembedingten Fehler gegeneinander aufheben. Denn im Gegensatz zu den Ausgangssignalen weisen die systembedingten Fehler der Beschleunigungssensoren keine unterschiedlichen Vorzeichen auf, sondern haben dieselbe Richtung und im wesentlichen denselben Betrag.By the subtraction of the output signals of the two acceleration sensors is achieved in an advantageous manner that the systemic errors pick up against each other. Because in contrast to the output signals The system-related errors of the acceleration sensors have no different Signs up, but have the same direction and essentially the same amount.

In vorteilhafter Weise ist der erste Beschleunigungssensor mittels Bond-Drähten mit dem Befestigungs- und Kontaktierungselement elektrisch verbunden und der zweite Beschleunigungssensor mittels eines leitenden Klebers mit dem Befestigungs- und Kontaktierungselement elektrisch verbunden. Insbesondere durch die Verbindung der Anschlüsse des zweiten Beschleunigungssensors mit dem Befestigungs- und Kontaktierungselement mittels des leitenden Klebers vereinfacht sich der Aufbau der Neigungssensoranordnung sehr.Advantageously, the first acceleration sensor is electrically connected by means of bonding wires to the fastening and contacting element and the second acceleration sensor is electrically connected to the fastening and contacting element by means of a conductive adhesive. In particular, through the connection of the connections of the second acceleration sensor with the fastening and contacting element by means of the conductive adhesive, the structure of the tilt sensor arrangement is simplified greatly.

Als besonders vorteilhaft hat sich die erfindungsgemäße Anordnung bei oberflächenmikromechanischen Beschleunigungssensoren erwiesen, so daß eine Anordnung, bei der die Beschleunigungssensoren oberflächenmikromechanische Beschleunigungssensoren sind, besonders vorteilhaft ist. Hierbei erwies sich die Erfindung bei Beschleunigungssensoren, welche eine Wippe aufweisen, als ganz besonders vorteilhaft. Denn insbesondere bei derartigen Beschleunigungssensoren werden durch die erfindungsgemäße Anordnung systembedingte Fehler sehr gut eliminiert. So läßt sich insbesondere ein durch eine Torsionsfederungsunsymmetrie vorhandener mechanischer Offset-Fehler gut eliminieren.When Particularly advantageous, the inventive arrangement has surface micromechanical Acceleration sensors proved, so that an arrangement in which the Acceleration sensors surface micromechanical Acceleration sensors are, is particularly advantageous. in this connection The invention has been found in acceleration sensors, which a Have rocker, as very particularly advantageous. Especially in such acceleration sensors are by the inventive arrangement System-related errors eliminated very well. So can be particularly by a a torsional suspension asymmetry of existing mechanical offset errors eliminate well.

Als besonders vorteilhaft hat sich auch eine Ausführungsform herausgestellt, bei der die Beschleunigungssensoren aus derselben Fertigungscharge stammen. Da innerhalb derselben Fertigungscharge die Prozeßtoleranzen im wesentlichen gleich groß sind, sind die systembedingten Fehler ebenfalls im wesentlichen gleich groß, so daß sie sich aufgrund der erfindungsgemäßen Anordnung nahezu vollständig gegeneinander aufheben.When An embodiment has also turned out to be particularly advantageous. when the acceleration sensors from the same production batch come. Because within the same production batch the process tolerances are essentially the same size, the systemic errors are also essentially the same large, so she herself almost due to the inventive arrangement Completely pick up against each other.

Besonders vorteilhaft ist auch eine Ausführungsform der Erfindung, bei der eine Auswerteelektronik vorhanden ist, mittels welcher die Ausgangssignale beider Beschleunigungssensoren ausgewertet werden. Durch die Verwendung derselben Auswerteelektronik, welche regelmäßig ein sogenanntes ASIC ist, zur Auswertung beider Ausgangssignale wird auch ein Fehler, der durch die Auswerteelektronik entsteht, eliminiert.Especially an embodiment is also advantageous the invention, in which a transmitter is present by means of which the output signals of both acceleration sensors are evaluated. By using the same evaluation, which regularly a so-called ASIC is, to evaluate both output signals also an error that arises through the transmitter eliminated.

Die Verstärkung des Auswerte-ASICs muß so abgeglichen werden, daß die Empfindlichkeitsfehler der Sensorelemente, die im wesentlichen gleich groß sind, kompensiert werden. Dies ist jedoch technisch kein Problem.The reinforcement of the evaluation ASIC must be so be adjusted that the Sensitivity errors of the sensor elements, which are essentially the same size, be compensated. However, this is technically not a problem.

Die Verwendung derselben Auswerteelektronik läßt sich in vorteilhafter Weise mittels eines Multiplexers realisieren. Da der Multiplexer ebenfalls für beide Ausgangssignale verwendet wird, hebt sich ein durch den Multiplexer entstehender Fehler ebenfalls auf.The Use of the same evaluation can be in an advantageous manner realize by means of a multiplexer. Because the multiplexer too for both Output signals is used, rises through the multiplexer resulting error also on.

Ein weiterer Vorteil der erfindungsgemäßen Anordnung ist, daß sich Alterungstoleranzen insbesondere hinsichtlich eines Offsets nicht auswirken. Denn die Alterung während eines Fahrzyklus' ist zu vernachlässigen und die durch die Alterung über einen längeren Zeitraum entstehenden Abweichungen sind bei beiden Beschleunigungssensoren gleich groß, so daß sich diese Abweichungen bei der erfindungsgemäßen Anordnung aufheben. In derselben Weise hebt sich auch ein Fehler auf, welcher aufgrund von Temperatureinflüssen entsteht.One Another advantage of the arrangement according to the invention is that aging tolerances especially with regard to an offset. Because the Aging during a driving cycle 'is to neglect and that through aging a longer one Period deviations are in both acceleration sensors same size, so that cancel these deviations in the arrangement according to the invention. In in the same way, an error also arises, which is due to of temperature influences arises.

Durch die Verwendung von zwei Beschleunigungssensoren besteht in vorteilhafter Weise die Möglichkeit, daß die Ausgangssignale der beiden Beschleunigungssensoren zur Feststellung einer vorbestimmten Abweichung miteinander verglichen werden. Hierdurch wird die Funktionssicherheit, die bei allen sicherheitskritischen Systemen vorgeschrieben ist, wesentlich erhöht. Denn überschreitet die Abweichung der Ausgangssignale der beiden Beschleunigungssensoren einen vorbestimmten Betrag, bedeutet dies, daß einer der Beschleunigungssensoren defekt ist, wodurch der von der erfindungsgemäßen Neigungssensoranordnung ausgegebene Wert fehlerhaft ist. Somit wird durch die erfindungsgemäße Anordnung nicht nur die Genauigkeit der Neigungserfassung vergrößert, sondern auch deren Funktionssicherheit.By the use of two acceleration sensors is more advantageous Way the possibility that the Output signals of the two acceleration sensors for detection a predetermined deviation are compared. hereby is the functional safety, which in all safety critical Systems prescribed is substantially increased. Because exceeds the deviation the output signals of the two acceleration sensors a predetermined Amount, it means that one the acceleration sensors is defective, whereby the tilt sensor arrangement according to the invention output value is incorrect. Thus, by the inventive arrangement not only increases the accuracy of inclination detection, but also their functional safety.

Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung eines besonderen Ausführungsbeispiels unter Bezugnahme auf die Zeichnung.Further Details, features and advantages of the present invention result from the following description of a particular embodiment with reference to the drawing.

Zeichnungdrawing

Es zeigtIt shows

1 eine erfindungsgemäß ausgebildete Sensoranordnung in waagerechter Lage, 1 an inventively designed sensor arrangement in a horizontal position,

2 die in 1 dargestellte Sensoranordnung in einer von der waagerechten abweichenden Lage und 2 in the 1 shown sensor arrangement in a deviating from the horizontal position and

3 einen Beschleunigungssensor mit einer Wippe. 3 an acceleration sensor with a rocker.

Beschreibung eines AusführungsbeispielsDescription of an embodiment

Wie den 1 und 2 entnommen werden kann, ist auf einem Befestigungs- und Kontaktierungselement 3 ein erster Beschleunigungssensor 1 mit seiner Grundfläche 1a angeordnet, sowie ein zweiter Beschleunigungssensor 2 derart angeordnet, daß seine Grundfläche 2a von dem Befestigungs- und Kontaktierungselement 3 abweist. Die Beschleunigungssensoren 1, 2 sind als Beschleunigungssensoren 1, 2 mit einer Wippe ausgebildet. Die Anschlüsse des ersten Beschleunigungssensors 1 sind mittels Bond-Drähten 6 mit dem Befestigungs- und Kontaktierungselement verbunden. Die Anschlüsse des zweiten Beschleunigungssensors 2 sind mittels Leitkleber 7 mit dem Befestigungs- und Kontaktierungselement 3 verbunden. Auf beide Beschleunigungssensoren 1, 2 wirkt die Erdbeschleunigung 10, welche infolge der waagerechten Anordnung des Befestigungs- und Kontaktierungselement 3 senkrecht zu den Beschleunigungssensoren 1, 2 wirkt.Like that 1 and 2 can be removed is on a mounting and contacting element 3 a first acceleration sensor 1 with its base 1a arranged, and a second acceleration sensor 2 arranged such that its base 2a from the attachment and contacting element 3 rejects. The acceleration sensors 1 . 2 are as acceleration sensors 1 . 2 formed with a rocker. The connections of the first acceleration sensor 1 are by means of bonding wires 6 connected to the fastening and contacting element. The connections of the second acceleration sensor 2 are using conductive adhesive 7 with the attachment and contacting element 3 connected. On both accelerations sensors 1 . 2 acts the acceleration of gravity 10 , which due to the horizontal arrangement of the fastening and contacting element 3 perpendicular to the acceleration sensors 1 . 2 acts.

Da sich die Beschleunigungssensoren 1, 2 in ihrer Ruhestellung befinden, ist das von Ihnen abgegebene Ausgangssignal null beziehungsweise hat wegen der fehlenden Auslenkung der Beschleunigungssensoren 1, 2 denselben Betrag und dieselbe Richtung.Because the acceleration sensors 1 . 2 are in their rest position, the output from you output signal is zero or has because of the lack of deflection of the acceleration sensors 1 . 2 the same amount and the same direction.

Bei der in 2 dargestellten geneigten Lage des Befestigungs- und Kontaktierungselements 3 weisen die Beschleunigungs sensoren 1, 2 eine Auslenkung auf. Aufgrund der Auslenkung gibt der erste Beschleunigungssensor 1 ein Auslenkungs-Ausgangssignal 4 ab. Der zweite Beschleunigungssensor 2 gibt ebenfalls ein Auslenkungs-Ausgangssignal 5 ab, welches, da der zweite Beschleunigungssensor 2 wegen der um 180 Grad gedrehten Lage eine zum vom ersten Beschleunigungssensor 1 entgegengesetzte Auslenkung hat, eine zum vom Beschleunigungssensor 1 abgegebenen Auslenkungs-Ausgangssignal 4 entgegengesetzte Richtung hat. Der erste Beschleunigungssensor 1 weist des weiteren ein Fehlersignal 4a auf, welches im vorliegenden Fall dieselbe Richtung wie das Auslenkungs-Ausgangssignal 4 haben soll. Da der zweite Beschleunigungssensor 2 aus derselben Fertigungscharge wie der erste Beschleunigungssensor 1 stammt, weist auch der zweite Beschleunigungssensor 2 ein Fehlersignal 5a auf, welches dieselbe Richtung wie das vom ersten Beschleunigungssensor 1 ausgegebene Fehlersignal 4a hat. Bei einer Subtraktion der Ausgangssignale 4, 4a, 5, 5a der Beschleunigungssensoren 1, 2 addieren sich somit das Auslenkungs-Ausgangssignal 4 des ersten Beschleunigungssensors 1 und das Auslenkungs-Ausgangssignal 5 des zweiten Beschleunigungssensors 2. Das Fehlersignal 4a des ersten Beschleunigungssensors 1 und das Fehlersignal 5a des zweiten Beschleunigungssensors 2 heben sich gegeneinander auf.At the in 2 shown inclined position of the fastening and contacting element 3 have the acceleration sensors 1 . 2 a deflection on. Due to the deflection gives the first acceleration sensor 1 a displacement output signal 4 from. The second acceleration sensor 2 also gives a displacement output signal 5 which, since the second acceleration sensor 2 Because of the 180 degrees rotated position to the first acceleration sensor 1 has opposite deflection, one to the acceleration sensor 1 output deflection output signal 4 opposite direction. The first acceleration sensor 1 also has an error signal 4a on, which in the present case the same direction as the deflection output signal 4 should have. Because the second acceleration sensor 2 from the same production batch as the first acceleration sensor 1 comes, also the second acceleration sensor 2 an error signal 5a which is the same direction as that of the first acceleration sensor 1 output error signal 4a Has. With a subtraction of the output signals 4 . 4a . 5 . 5a the acceleration sensors 1 . 2 thus add the displacement output signal 4 of the first acceleration sensor 1 and the displacement output 5 of the second acceleration sensor 2 , The error signal 4a of the first acceleration sensor 1 and the error signal 5a of the second acceleration sensor 2 lift up against each other.

Wie 3 entnommen werden kann, weisen die Beschleunigungssensoren 1, 2 eine Wippe 8 auf, welche mittels einer Torsionsfeder 9 auf einer Grundfläche 1a, 2a angeordnet ist. Die Wippe 8 ist somit um eine Schwenkachse 9a schwenkbar.As 3 can be removed, have the acceleration sensors 1 . 2 a seesaw 8th on, which by means of a torsion spring 9 on a base 1a . 2a is arranged. The seesaw 8th is thus about a pivot axis 9a pivotable.

Die Wippe 8 weist eine sogenannte seismische Masse 11 auf, mittels welcher die Wippe 8 aus ihrer waagerechten Lage gebracht ist. Aufgrund der Torsionsfeder 9 stellt sich ein Gleichgewichtszustand ein, der den Ruhezustand des Beschleunigungssensors darstellt.The seesaw 8th has a so-called seismic mass 11 on, by means of which the rocker 8th brought out of its horizontal position. Due to the torsion spring 9 an equilibrium state is established which represents the idle state of the acceleration sensor.

Die Wippe 8 weist des weiteren Plattenelemente 12, 13 auf, welche gegenüber einem auf der Grundfläche 1a, 2a angebrachten Gegenelement eine Kapazität darstellen. Die beiden Kapazitäten sind in der Figur eingezeichnet und weisen die Bezugszeichen 12a, 13a auf.The seesaw 8th further has plate elements 12 . 13 on, which opposite one on the base 1a . 2a attached counter element represent a capacity. The two capacitances are shown in the figure and have the reference numerals 12a . 13a on.

Im Betrieb ist der Beschleunigungssensor so in einem elektrischen Schaltkreis angeordnet und so abgeglichen, daß sich im Ruhezustand, das heißt in einer waagerechten Anordnung der Grundfläche 1a, 2a keine Auslenkungs-Ausgangsspannung einstellt.In operation, the acceleration sensor is arranged in an electrical circuit and adjusted so that at rest, that is, in a horizontal arrangement of the base 1a . 2a does not set any deflection output voltage.

Ergibt sich aufgrund einer Neigung der Grundfläche 1a, 2a eine Auslenkung der Wippe 8, verändern sich die Kapazitäten 12a, 13a derart, daß sich eine Auslenkungs-Ausgangsspannung einstellt. Es ist offensichtlich, daß bei einer Verschwenkung der Wippe 8 im Uhrzeigersinn die Auslenkungs-Ausgangsspannung ein anderes Vorzeichen aufweist als bei einer Verschwenkung der Wippe 8 entgegen dem Uhrzeigersinn.Results from a slope of the base 1a . 2a a deflection of the rocker 8th , the capacities are changing 12a . 13a such that a deflection output voltage sets. It is obvious that with a pivoting of the rocker 8th clockwise, the deflection output voltage has a different sign than when pivoting the rocker 8th counterclockwise.

Da somit bei der in 1 und 2 dargestellten Anordnung bei einer Neigung des Befestigungs- und Kontaktierungselements 3 die Wippe 8 des ersten Beschleunigungssensors 1 in entgegengesetzte Richtung verschwenkt wird, als die Wippe 8 des zweiten Beschleunigungssensors 2, weisen die Auslenkungs-Ausgangsspannungen 4, 5 entgegengesetzte Richtungen auf.Since thus at the in 1 and 2 arrangement shown at an inclination of the mounting and contacting element 3 the seesaw 8th of the first acceleration sensor 1 is pivoted in the opposite direction than the rocker 8th of the second acceleration sensor 2 , have the displacement output voltages 4 . 5 opposite directions.

Claims

Neigungssensoranordnung mit einem ersten eine erste Grundfläche (1a) aufweisenden Beschleunigungssensor (1), welcher ein Ausgangssignal (4) ausgibt, welches einen Offset-Fehler (4a) aufweist, und welcher mit seiner Grundfläche (1a) auf einem Befestigungs- und Kontaktierungselement (3) angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, daß ein zweiter Beschleunigungssensor (2) derart auf dem Befestigungs- und Kontaktierungselement (3) angeordnet ist, daß seine Grundfläche (2a) von dem Befestigungs- und Kontaktierungselement (3) abgewandt ist.Tilt sensor assembly with a first a first base ( 1a ) having acceleration sensor ( 1 ), which produces an output signal ( 4 ) which outputs an offset error ( 4a ), and which with its base ( 1a ) on a fastening and contacting element ( 3 ), characterized in that a second acceleration sensor ( 2 ) on the fastening and contacting element ( 3 ) is arranged so that its base ( 2a ) of the fastening and contacting element ( 3 ) is turned away.

Neigungssensoranordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Beschleunigungssensor (1) mittels Bond-Drähten (6) mit dem Befestigungs- und Kontaktierungselement (3) elektrisch verbunden ist und der zweite Beschleunigungssensor (2) mittels eines leitenden Klebers (7) mit dem Befestigungs- und Kontaktierungselement (3) elektrisch verbunden ist.Tilt sensor arrangement according to Claim 1, characterized in that the first acceleration sensor ( 1 ) by means of bonding wires ( 6 ) with the fastening and contacting element ( 3 ) is electrically connected and the second acceleration sensor ( 2 ) by means of a conductive adhesive ( 7 ) with the fastening and contacting element ( 3 ) is electrically connected.

Neigungssensoranordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Beschleunigungssensoren (1, 2) oberflächenmikromechanische Beschleunigungssensoren sind.Inclination sensor arrangement according to Claim 1 or 2, characterized in that the acceleration sensors ( 1 . 2 ) are surface micromechanical acceleration sensors.

Neigungssensoranordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Beschleunigungssensoren eine Wippe (8) aufweisen.Tilt sensor arrangement according to claim 3, characterized in that the acceleration sensors a seesaw ( 8th ) exhibit.

Neigungssensoranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Beschleunigungssensoren (1, 2) aus derselben Fertigungscharge stammen.Inclination sensor arrangement according to one of Claims 1 to 4, characterized in that the acceleration sensors ( 1 . 2 ) come from the same production batch.

Neigungssensoranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß eine Auswerteelektronik vorhanden ist, mittels welcher die Ausgangssignale (4, 5) beider Beschleunigungssensoren (1, 2) ausgewertet werden.Inclination sensor arrangement according to one of Claims 1 to 5, characterized in that evaluation electronics are provided by means of which the output signals ( 4 . 5 ) of both acceleration sensors ( 1 . 2 ) be evaluated.

Neigungssensoranordnung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausgangssignale (4, 5) der Beschleunigungssensoren (1, 2) mittels eines Multiplexers mit der Auswerteelektronik verbunden sind.Tilt sensor arrangement according to Claim 6, characterized in that the output signals ( 4 . 5 ) of the acceleration sensors ( 1 . 2 ) are connected by means of a multiplexer to the transmitter.

Neigungssensoranordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausgangssignale (4, 5) der beiden Beschleunigungssensoren (1, 2) zur Feststellung einer vorbestimmten Abweichung miteinander verglichen werden.Tilt sensor arrangement according to Claim 7, characterized in that the output signals ( 4 . 5 ) of the two acceleration sensors ( 1 . 2 ) are compared with each other to detect a predetermined deviation.