DE1005744B - Fine probe, especially for measuring highly sensitive surfaces - Google Patents

Fine probe, especially for measuring highly sensitive surfaces

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DE1005744B
DE1005744B DEZ5193A DEZ0005193A DE1005744B DE 1005744 B DE1005744 B DE 1005744B DE Z5193 A DEZ5193 A DE Z5193A DE Z0005193 A DEZ0005193 A DE Z0005193A DE 1005744 B DE1005744 B DE 1005744B
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DE
Germany
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probe tip
measuring
spring
former
highly sensitive
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Pending
Application number
DEZ5193A
Other languages
German (de)
Inventor
Franz Heide
Dr Walter Werner
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss SMT GmbH
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B3/00Measuring instruments characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B3/002Details
    • G01B3/008Arrangements for controlling the measuring force

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)

Description

Feintaster, insbesondere zum Messen hodhempfindlicher Flächen Die Erfindung betrifft einen Feintaster, insbesondere zum Messen von Meßstücken mit hochempfindlicher Oberfläche. Bei den bekannten Geräten wird die Tastspitze gewöhnlich durch das Meßstück beim Aufsetzen des ganzen Gerätes aus ihrer Nullstellung gedrückt. Die Tastspitze steht dabei unter dem Druck einer Feder, und das Aufsetzen des Gerätes geschieht von Hand. Dadurch tritt der Nachteil auf, daß, wenn das Aufsetzen zu heftig erfolgt, die Tastspitze die Oberfläche des Meßstückes, beispielsweise eine Linsenoberfläche, verkratzt; oder es wird das Gerät beim Aufsetzen leicht gedreht, damit ein sicherer Kontakt zwischen der Tastspitze und dem Meßstück zustande kommt. Auch hierbei wird leicht und häufig die Meßstückoberfläche beschädigt.Fine feeler, especially for measuring hypo-sensitive areas The invention relates to a precision probe, in particular for measuring measuring pieces with highly sensitive surface. In the known devices, the probe tip becomes common pressed out of its zero position by the measuring piece when the whole device is put on. The probe tip is under the pressure of a spring and the device is placed on it done by hand. This has the disadvantage that if the touchdown is too violent takes place, the probe tip the surface of the measuring piece, for example a lens surface, scratched; or the device is rotated slightly when it is put on, so that it is safer Contact between the probe tip and the measuring piece comes about. Here too will easily and frequently damaged the measuring piece surface.

Um diese Nachteile zu vermeiden, ist es bereits bekanntgeworden, die Bewegung der Tastspitze durch eine Dämpfungsvorrichtung zu hemmen, so daß die Tastspitze leicht aufsetzt und die Oberfläche des Meßstückes nicht beschädigt wird. Bei diesen Geräten wird jedoch durch von Hand betätigbare Mittel zum Messen die Tastspitze zunächst angehoben, anschließend das Meßstück unter die Tastspitze gebracht, und alsdann läßt man die Tastspitze auf das Meßstück aufsetzen. In order to avoid these disadvantages, it has already become known to inhibit the movement of the probe tip by a damping device, so that the Touches the probe tip easily and the surface of the measuring piece is not damaged. In these devices, however, by manually operable means for measuring the The probe tip is first raised, then the measuring piece is brought under the probe tip, and then let the probe tip be placed on the test piece.

Die Ausbildung hat verschiedene Nachteile. The training has several disadvantages.

Bei Reihenmessungen kommt es häufig vor, daß der Benutzer das Meßstück entfernt, wenn die Tastspitze noch nicht angehoben ist. Die Tastspitze kratzt dann über die Oberfläche des Meßstückes. Außerdem hat der Benutzer nur eine Hand zum Auswechseln der Meßstücke frei, weil die andere Hand die Tastspitze anhebt. With serial measurements it often happens that the user touches the test piece removed if the probe tip is not yet raised. The stylus tip then scratches over the surface of the measuring piece. In addition, the user only has one hand to use The measuring pieces can be exchanged freely because the other hand lifts the probe tip.

Die Erfindung hat sich die Aufgabe gestellt, ein Beschädigen der Oberfläche des Meßstückes mit Sicherheit auszuschalten. The invention has the task of damaging the Switch off the surface of the measuring piece with certainty.

Dementsprechend sind nach der Erfindung bei einem Feintaster mit einer die Bewegung des Taststiftes dämpfenden Vorrichtung Druck- oder Zugmittel vorgesehen, welche die Tastspitze nach jeder Messung selbsttätig vom Meßstück fortbewegen, sowie weitere Druck- oder Zugmittel, jedoch von schwächerer Kraft als die erstgenannten, welche die Tastspitze nach Ausschalten oder Schwächen der Kraft der erstgenannten Mittel zum Messen auf das Meßstück setzen. Zum Messen wird daher die Tastspitze durch die zweitgenannten Mittel auf das Meßstück gedrückt. Nach dem Meßvorgang hebt sich die Tastspitze durch die erstgenannten Mittel von dem Meßstück selbsttätig ab. Die genannten Nachteile treten bei dieser Ausbildung nicht auf. Accordingly, according to the invention, with a fine feeler a device damping the movement of the stylus, pushing or pulling means provided, which automatically move the probe tip away from the test piece after each measurement, as well as other pressure or pulling means, but of weaker force than the first mentioned, which the probe tip after switching off or weakening the power of the former Place means for measuring on the measuring piece. The probe tip is therefore used for measuring pressed onto the measuring piece by the second-mentioned means. Lifts after the measuring process the probe tip is automatically removed from the measuring piece by the first-mentioned means away. The disadvantages mentioned do not occur with this training.

Vorteilhaft sind zwei Federn vorgesehen, von denen die eine die Tastspitze von dem Meßstück fortzudrücken sucht und die andere, welche von schwächerer Kraft als die erstgenannte ist, dieser erstgenannten entgegenwirkt, und ferner von Hand betätigbare Mittel, welche zum Aufsetzen des Werkstückes die Wirkung der stärkeren Feder mindern bzw. ausschalten. Indem die Wirkung der zweiten Feder gemindert oder ausgeschaltet wird, drückt die erste Feder die Tastspitze auf das Werkstück. Two springs are advantageously provided, one of which is the probe tip tries to push away from the measuring piece and the other, which is of weaker force than the former is this former counteracts, and furthermore by hand operable means, which for placing the workpiece on the effect of the stronger Reduce or switch off the spring. By reducing the effect of the second spring or is switched off, the first spring presses the probe tip onto the workpiece.

Weitere Einzelheiten der Erfindung gehen aus der nachfolgenden Beschreibung der Zeichnung eines Ausführungsbeispiels hervor. Further details of the invention can be found in the following description the drawing of an embodiment.

In einem Gehäuse 1 ist verschiebbar eine Tastspitze2 angeordnet. Die Tastspitze 2 steht unter dem Druck einer Feder 3. Die Tastspitze 2 weist einen Kolben 4 auf, welcher unter Belassung eines schmalen Spaltes in den Oberteil 5 des Gehäuses 1 eingepaßt ist, derart, daß, wenn sich die Tastspitze 2 nach unten bewegt, zwischen dem Kolben 4 und dem oberen Gehäuseteil ein geringer Unterdruck entsteht, wodurch die Abwärtsbewegung gehemmt wird. In dem Maße, wie zwischen dem Kolben 4 und dem Gehäuse 1 Luft in den luftverdünnten Raum strömt, bewegt sich der Taststift 2 aus der gezeichneten Nullstellung nach unten bis auf das Werkstück, in der Figur eine Linse 6. A probe tip 2 is arranged in a housing 1 so as to be displaceable. The probe tip 2 is under the pressure of a spring 3. The probe tip 2 has a Piston 4, which, leaving a narrow gap in the upper part 5 of the Housing 1 is fitted so that when the probe tip 2 moves downward, a slight negative pressure is created between the piston 4 and the upper housing part, whereby the downward movement is inhibited. To the extent that between the piston 4 and the housing 1 air flows into the air-diluted space, the stylus moves 2 from the drawn zero position down to the workpiece in the figure a lens 6.

Der Kolben 4 weist Ventile 13 auf, welche sich bei Abwärtsbewegung des Kolbens schließen, jedoch bei Aufwärtsbewegung des Kolbens 4 öffnen. Die Ventile 13 bewirken, daß nur die Abwärtsbewegung des Kolhens 4 gedämpft wird, nicht aber dessen Aufwärtsbewegung.The piston 4 has valves 13, which are when moving downward of the piston close, but open when the piston 4 moves upwards. The valves 13 cause only the downward movement of the piston 4 is damped, but not its upward movement.

Der Kolben 4 weist eine Eindrehung7 auf, in die ein Bolzen 8 greift. Der Bolzen 8 ist mit einem Druckknopf 9 verbunden. Der Druckknopf 9 steht unter der Wirkung einer Feder 10. Die Eindrehung 7 ist in Bewegungsrichtung der Tastspitze 2 so groß gewählt, daß sich der Bolzen 8 bei Ausüben eines Druckes auf den Knopf 9 nach unten bewegen kann. Die Federkraft der Feder 10 ist größer als die der Feder 3. Mit der Tastspitze ist eine Zahnstange 11 verbunden, und mit dieser stehen weitere, nicht gezeichnete Zahnräder im Eingriff, welche bei Bewegung der Tastspitze einen entsprechenden Ausschlag eines Zeigers einer Meßuhr bewirken. The piston 4 has a recess 7 into which a bolt 8 engages. The bolt 8 is connected to a push button 9. The push button 9 is below the action of a spring 10. The recess 7 is in the direction of movement of the probe tip 2 chosen so large that the bolt 8 when a pressure is exerted on the button 9 can move down. The spring force of the spring 10 is greater than that of the spring 3. With the Stylus tip is connected to a rack 11, and with this are more, not shown gears in engagement, which when moving the probe tip cause a corresponding deflection of a pointer of a dial gauge.

Die Wirkungsweise der Vorrichtung ist folgende: Soll z. B. eine Reihenmessung für Linsen 6 durchgeführt werden, bei der die Höhe a des Scheitelpunktes der Linse 6 über ihrer Grundfläche 12 ermittelt wird, dann wird das Gerät z. B. durch Einlegen eines Endmaßstückes so geeicht, daß die Tastspitze den Abstand c von der Grundfläche 12 in ihrer Nullstellung einnimmt. Die Nullstellung ist dabei dadurch gegeben, daß der Kolben 4 an der oberen Gehäusewand 5 anliegt. Zur Messung wird der Knopf 9 nach unten gedrückt, bis er am Gehäuse 1 anliegt, dabei bewegt sich der Bolzen 8 entsprechend nach unten, gibt den Kolben 4 und damit die Tastspitze 2 frei, welche durch die Feder 3 in der beschriebenen Weise auf die Linse 6 gesetzt wird. Die Meßuhr zeigt diese Bewegung an. The operation of the device is as follows: Should z. B. a series measurement for lenses 6 at which the height a of the vertex of the lens 6 is determined over its base 12, then the device z. B. by inserting of a gauge block so calibrated that the probe tip is the distance c from the base 12 occupies in its zero position. The zero position is given by the fact that the piston 4 rests against the upper housing wall 5. The button 9 is used to measure pressed down until it rests on the housing 1, the bolt 8 moves accordingly down, is the piston 4 and thus the probe tip 2 free, which by the Spring 3 is placed on lens 6 in the manner described. The dial gauge shows this movement on.

Ist die Messung beendet, dann läßt man den Knopf 9 los, die Feder 10 drückt den Knopf 9 und damit den Bolzen 8 nach oben, wobei dieser den Kolben und damit die Tastspitze 2 mitnimmt.When the measurement is finished, you release the button 9, the spring 10 pushes the button 9 and thus the bolt 8 upwards, this pushing the piston and thus takes the probe tip 2 with it.

PATENTANSPRÜCEIE: 1. Feintaster mit einer die Bewegung des Taststiftes dämpfenden Vorrichtung, gekennzeichnet durch Druck- oder Zugmittel, welche die Tastspitze nach jeder Messung selbsttätig vom Meßstück fortbewegen, sowie durch weitere Druck- oder Zugmittel, jedoch von schwächerer Kraft als die erstgenannten, welche die Tastspitze nach Ausschalten oder Schwächen der Kraft der erstgenannten Mittel zum Messen auf das Meßstück setzen. PATENT CLAIM: 1. Fine feeler with a movement of the stylus damping device, characterized by pushing or pulling means, which the probe tip Move away from the measuring piece automatically after each measurement, as well as by further pressure or traction means, but of weaker force than the former, which use the probe tip after switching off or weakening the power of the former means of measuring on place the measuring piece.

Claims (1)

2. Feintaster nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch zwei Federn, von denen die eine die Tastspitze von dem Meßstüd: fortzudrücken sucht und die andere, welche von schwächerer Federkraft als die erstgenannte ist, der erstgenannten entgegenwirkt, sowie durch von Hand betätigbare Mittel, welche zum Aufsetzen derTastspitze auf das Meßstück die Wirkung der stärkeren Feder mindern oder ausschalten. 2. Fine probe according to claim 1, characterized by two springs, one of which tries to push the probe tip away from the measuring stick and the other, which has a weaker spring force than the former counteracts the former, as well as by manually operable means which are used to place the probe tip on the measuring piece reduce or switch off the effect of the stronger spring. In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Patentschriften Nr. 359 380, 254 673; Druckschrift C 220-151-1 der Fa. Carl Zeiss, Jena. Considered publications: German Patent Specifications No. 359,380, 254,673; Document C 220-151-1 from Carl Zeiss, Jena.
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