DE10052914A1 - Halbleitereinrichtung und Verfahren zu deren Herstellung - Google Patents
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Abstract
Es wird eine Halbleitereinrichtung mit einem Schichtaufbau aus einer Trägerschicht (2), die ein elektrisch leitfähiges Trägermaterial aufweist, einer Isolationsschicht (4), die durch elektrisch isolierendes Isolationsmaterial gebildet wird, auf der Trägerschicht (2) angeordnet ist und Halbleiterpartikel (1) enthält, und einer Deckschicht (6) beschrieben, die mindestens ein elektrisch leitfähiges Deckmaterial aufweist und auf der Isolationsschicht (4) angeordnet ist, wobei jeder Halbleiterpartikel (1) sowohl die Trägerschicht (2) als auch die Deckschicht (6) berüht und mindestens einen p-n-Übergang (3, 5) bildet und das Isolationsmaterial durch mindestens eine Metalloxidverbindung gebildet wird, die zumindest teilweise ein Oxid des Trägermaterials enthält. Es werden auch Verfahren zur Herstellung der Halbleitereinrichtung beschrieben.
Description
Die Erfindung betrifft eine Halbleitereinrichtung mit den
Merkmalen des Oberbegriff von Anspruch 1, insbesondere eine
photovoltaische Halbleitereinrichtung, wie z. B. eine Solar
zelleneinrichtung, und Verfahren zu deren Herstellung
Die Photovoltaik stellt eine der wichtigsten und zukunfts
trächtigsten Möglichkeiten zur Nutzung regenerativer Energie
quellen dar. Die hohen Gestehungskosten der photovoltaischen
Anlagen (insbesondere Solarzelle, Modulherstellung, Integrati
on) wirken sich nach wie vor erschwerend auf einen breiten und
konsequenten Durchbruch dieser Technologie aus. Aktueller
Schwerpunkt der internationalen Forschung und Entwicklung be
steht daher folgerichtig in der Suche nach neuen Wegen zur Ko
stenreduktion.
In photovoltaischen Zellen oder Solarzellen wird durch Ausnut
zung des photovoltaischen Effektes solare Strahlungsenergie
direkt in elektrische Energie umgewandelt. Die Solarzellen
werden vorwiegend aus planaren einkristallinen oder polykri
stallinen Siliziumwafern hergestellt. Für das Silizium ist die
konventionelle p/n-Halbleiterstruktur favorisiert. Für die Si
liziumsolarzellen sind heute lediglich Abmessungen bis ca. 15
× 15 cm2 technologisch möglich. Technologisch bedingt ist ein
hoher Materialeinsatz (Dicken von größer ca. 300 µm) notwen
dig. Weitere Nachteile sind in der aufwendigen und kostenin
tensiven Weiterverarbeitung der Solarzellen zu Solarmodulen
sowie der geringen Flexibilität hinsichtlich Formen und Größen
zu sehen.
Weitere Systeme für Solarzellen werden in US 4691076, US 4992138
und US 5028546 beschrieben. Eine Darstellung ist auch durch die
Publikation von J. D. Levine et al. ("Basic Properties of the
Sherical Solar TM Cell", Proceedings of the Twenty Second IEEE
Photovoltaic Conference, Vol. 2, pp. 1045-48, 1991) gegeben.
Bei diesem System wird eine Anordnung von Halbleiterkugeln aus
Silizium verwendet. Die Herstellung der Kugeln wird in
US 3998659 und US 5556791 beschrieben. Jede der Halbleiterkugeln
ist so aufgebaut, dass ein innerer Kern eine spezielle Halb
leiterdotierung aufweist (im Beispiel: p-Dotierung). Der Kern
wird vollständig von einer entgegengesetzt dotierten Hülle (im
Beispiel: n-Dotierung) umgeben. Damit wird der p/n-
Halbleiterübergang geschaffen. Jede Halbleiterkugel ist für
sich schon als eine eigenständige Solarzelle zu verstehen. Da
die gewonnene elektrische Leistung pro Siliziumkugel sehr ge
ring ist, müssen aus den kleinen Siliziumelementen sogenannte
Solarzellenarrays formiert werden.
Die Siliziumkugeln werden nach US 4691076 in voneinander iso
lierte flexible Aluminiumfolien, die gleichzeitig die elektri
schen Kontakte für die p- und n-Dotiergebiete darstellen, ein
gehaust. Hierzu müssen die Halbleiterkugeln vorab exakt in
vorgefertigten, meist durch Perforieren hergestellte Vertie
fungen positioniert und fixiert werden. Zur Fortführung des
Verfahrens werden aufwendige Strukturierungs- und chemische
Ätzprozesse zur partiellen Entfernung der entgegengesetzt do
tierten äußeren Hülle der Siliziumkugeln zur Herstellung der
notwendigen elektrischen Kontaktflächen benötigt. Diese Kon
taktierungsverfahren sind sehr labororientiert und hängen in
starkem Maße vom Geschick des Ausführenden ab.
In US 4173494 und US 4614835 wird das Verfahren aus US 4691076
auf die Einbettung in eine Glasmatrix erweitert. Eine mögliche
Verschaltung zu großflächigen Arrays wird in US 4407320 vorge
schlagen. In US 5419782 und US 5468304 werden Modifikationen des
Solarzellenarrays zur besseren Ausnützung der einfallenden
Strahlung beschrieben. Der Lösungsansatz in US 5419782 sieht
vor, durch entsprechende Kombinationen von Schichten mit un
terschiedlichen optischen Eigenschaften (Brechungsindex), die
auf der Vorderseite der Arrays aufzubringen sind, eine "Licht
lenkung" des in die Zwischenräume zwischen den Siliziumteil
chen fallenden Lichtes direkt auf die Siliziumkugeln zu bewir
ken. Dabei müssen die Schichten vollkommen symmetrisch und in
definierter Dicke auf die Oberflächen der Siliziumkugeln abge
schieden werden. Dies ist in der industriellen Massenprodukti
on kaum oder nur unter großem Aufwand zu realisieren. In
US 5468304 werden zur Verbesserung der optischen Performance
die Zwischenräume zwischen den Kugeln mit einem transparenten
Material konkav ausgefüllt. In Kombination mit einer zu reali
sierenden planen Reflexionsschicht in diesem Bereich wird das
eintreffende Licht dann seitlich auf die einzelnen Silizium
zellen reflektiert.
Die vorgeschlagenen Solarzellen und die korrespondierenden
Herstellverfahren weisen eine Reihe von Nachteilen auf. Dies
äußert sich z. B. darin, dass die verwendeten Halbleiterteil
chen aus einem Grundkörper eines bestimmten Leitungstypes (p-
oder n-Typ) mit einer entgegengesetzt dotierten Hülle (n- oder
p-Typ) aufgebaut sind und somit für die notwendige elektrische
Kontaktierung der Partikel sehr aufwendige fotolithographische
Strukturierungs- und Ätzprozesse für jedes einzelne Halblei
terbauelement benötigt werden. Diese sind aufwendig und auf
kleinen Dimensionen schwer zu handhaben. Dadurch werden aber
auch zusätzliche Verunreinigungen bzw. elektronisch aktive De
fekte in das Halbleitermaterial oder die Grenzflächen einge
bracht, so dass nur geringe solare Wirkungsgrade erhalten
werden können.
Weiterhin lassen sich nahezu nur Partikel mit einer kugeligen
oder kugelähnlichen Form einsetzen. Bei den genannten Verfah
ren müssen die Halbleiterpartikel in vorgegebene perforierte
Träger geordnet eingebracht werden. Dadurch ergeben sich
höchste Anforderungen an die Genauigkeit der Geometrie und der
Abmessungen der Teilchen, die in der industriellen Praxis nur
unter hohem verfahrenstechnischen und somit finanziellen Auf
wand umgesetzt werden können.
Von besonderem Nachteil ist, dass die bekannten Verfahren auf
Grund der komplizierten Prozessschritte nur auf Partikel mit
Abmessungen größer 0,5 mm angewendet werden können. Auf Grund
der großen Abmessungen der Partikel sind die beschriebenen
Verfahren in der Praxis im wesentlichen auf Silizium (indirek
ter Halbleiter) begrenzt. Bei direkten Halbleitern, die eine
sehr große Absorption aufweisen, sind Dicken von nur wenigen
µm (ca. 1 bis 50 µm) ausreichend, um das gesamte Sonnenspekt
rum nahezu vollständig zu absorbieren. Bei diesen geringen ge
ometrischen Abmessungen versagen die vorgeschlagenen Verfah
ren.
Die Patente EP 0940860 sowie EP 0866506 beschreiben ein spheri
sches Halbleiterbauelement. Im Gegensatz zu den weiter oben
genannten Verfahren wird hier die vollständige Herstellung un
abhängig einzelner Halbleiterbauelemente, d. h. einschließlich
der beiden erforderlichen Elektroden, behandelt. Gemäß
EP 0940860 werden die Halbleiterkugeln wie folgt hergestellt:
auf einen spherischen Siliziumkern wird zur Erzeugung des p/n-
Überganges eine Halbleiterschicht als Hülle aufgebracht. Es
werden auch hier sehr große Durchmesser der Kugeln von < 1 mm
verwendet. Aus Gründen einer möglichen Kostenreduktion wird
für den Kern Material geringerer Qualität (metallurgisches Si
lizium) verwendet. Durch einen thermischen Schmelzprozess wird
eine monokristalline bzw. polykristalline Struktur in der
halbleitenden Hülle erhalten. Im Folgeschritt wird eine aus
zwei transparenten Schichten bestehende Beschichtung (SiOx,
SiNx) aufgetragen, um eine optische Anpassung (Reflexion,
Streuung des einfallenden Lichtes) vorzunehmen. Im weiteren
müssen Fenster durch die Reflexionsschicht hindurch geätzt
werden, um dann die p-leitende Halbleiterschicht aufbringen zu
können. Zur darauffolgenden Dotierung der Halbleiterschicht
ist eine im Durchmesser ca. 500 µm große Diffusionsmaske zu
erzeugen und ein weiterer Ätzprozess durchzuführen. Im folgen
den muß die Halbleiterschicht dotiert werden. Anschließend
wird eine oxidische Passivierungsschicht aufgebracht. Durch
erneutes Abtragen der Schichten werden Öffnungen für die dar
auffolgende Anbringung der Kontakte (Metallisierung) erzeugt.
Die Herstellung der vorgeschlagenden Halbleiterbauelemente
entspr. EP 0940860 sowie EP 0866506 erfolgt durch sehr aufwendi
ge und komplizierte Prozessschritte. Es sind ebenfalls mehrere
Strukturierungs- und Ätzschritte sowie zusätzliche Hochtempe
raturprozessschritte erforderlich, so dass eine Übertragung
auf eine kostengünstige Massenproduktion nicht möglich ist.
Nachteilig ist weiterhin, dass die Halbleiter zur Durchführung
der Verfahren prinzipiell eine Kugelform aufweisen müssen. Die
beschriebenen Verfahren sind in starkem Maße an die heutige
Halbleiterindustrie auf planaren Wafern (Abmessungen von bis
zu 8") angelehnt. Ungelöst ist hierbei, ob die Übertragung der
Halbleitertechnologie auf einzelne, individuelle Halbleiterku
geln überhaupt unter wirtschaftlichen Aspekten realisierbar
ist. Die Halbleiterkugeln müssen bei den vielen notwendigen
Prozessschritten (siehe z. B. Maskierung, fotolithographische
Strukturierung, Ätzen der Fenster, Aufbringen von optischen
Schichten mit hoher Schichtdickengleichmäßigkeit) exakt ge
handhabt bzw. positioniert werden. Problematisch erscheint
hierbei insbesondere, dass die technologisch sehr anspruchs
vollen und kostenintensiven Prozessschritte der Halbleiterin
dustrie sowohl auf gekrümmte Flächen (siehe Kugelgestalt der
Halbleiterbauelemente) als auch - im Vergleich zu den Stan
dardwafern - auf verhältnismäßig kleine Dimensionen übertragen
werden müssen. Eine großflächige und wirtschaftliche Produkti
on scheint aus diesen Gründen nicht möglich. Auch führt die
technologisch bedingte große Dicke der Siliziumkugeln von <
1 mm zu hohen Materialkosten. Nachteilig ist weiterhin, dass
vor allem geringe Durchmesser der Halbleiterpartikel von weni
ger als ca. 250 µm (insbesondere in einem Dickenbereich von
ca. 1 µm bis 50 µm, was v. a. für direkte Halbleiter von be
sonderer Bedeutung ist) mit den beschriebenen Verfahren über
haupt nicht realisierbar sind.
Die grundsätzlichen Probleme bei den beschriebenen Verfahren
sind vor allem in der Erzeugung einer guten Isolatorschicht
zwischen den beiden Elektroden und in den hierzu benutzten
Herstelltechnologien zu sehen. Die in den zitierten Patenten
beschriebenen Wege lassen sich wie folgt zusammenfassen:
- 1. Zum einen gibt es die Möglichkeit, die Halbleiterpartikel in einem Matrixmaterial (z. B. Polymere, Zement entspr. US 5415700, Harze oder ähnlichem) einzubetten und danach als Kompositschicht aufzutragen. Um bei diesem Verfahren eine dicht gepackte und einlagige Anordnung der Halbleiterelemen te - und dies auf sehr großen Flächen unter Industriebedin gungen - zu realisieren, erweist sich als sehr schwierig. Die bisherigen Erfahrungen bestätigen darüber hinaus, dass durch die verwendeten Matrixmaterialien mitunter große Men gen an schädlichen Verunreinigungen (siehe elektronisch ak tive Defekte für die generierten Ladungsträger) in die Halb leiter eingetragen werden und somit die Funktionalität der gesamten Halbleiteranordnungen einschränken. Aber auch De gradationserscheinungen von insbesondere organischen Matrix materialien unter Einwirkung von UV-Strahlung, Wärme und Feuchtigkeit können nicht immer vermieden werden. In den aufgetragenen Kompositschicht en können aber auch verfahrens bedingt weitere Defekte (z. B. Poren usw.) entstehen. Im weiteren muss berücksichtigt werden, dass nach dem Auftra gen der Kompositschicht und dem anschließenden Konditionie ren derselben (z. B. Aushärten unter Wärmeeinwirkung) die elektrischen Kontaktflächen an den Halbleiterteilchen für die beiden Elektroden freigelegt werden müssen (z. B. durch mechanischen Abtrag). Bei Flächen von mehreren Quadratmetern und der dabei geforderten Präzision im µm-Bereich ist diese Aufgabenstellung technologisch sehr schwierig zu lösen. So wohl die durch das Matrixmaterial als auch durch die Bear beitungsschritte zusätzlich eingeschleppten Verunreinigungen erschweren letztendlich auch die notwendige Erzeugung eines guten ohmschen Kontaktes an den Halbleiterteilchen.
- 2. Die zweite Möglichkeit besteht darin, die Halbleiterteil chen einlagig auf einem perforierten leitfähigen Träger auf zubringen und anschließend die Beschichtung mit einem iso lierenden Material vorzunehmen. Dabei ist es jedoch erfor derlich, die für die spätere elektrische Kontaktierung vor gesehenen Flächen auf den Halbleiterkugeln vorab abzudecken bzw. die Isolatorschicht dort anschließend zu entfernen. Da mit verbunden sind technologisch aufwendige lithographische Strukturierungs- und Ätzprozesse, die sich wirtschaftlich kaum auf große Flächen übertragen lassen. Die Realisierung dieses Verfahrens stellt zudem hohe Anforderungen an die Gleichmäßigkeit der Halbleiterteilchen hinsichtlich Größe und Form. Auf kleine, unregelmäßig geformte Halbleiterparti kel lässt sich dieses Verfahren nicht anwenden.
- 3. Eine dritte Möglichkeit besteht darin, die Halbleiterteil chen in zwei leitfähige Metallfolien (stellen die beiden E lektroden dar) einzubringen und den Zwischenraum anschlie ßend unter hohem technologischen Aufwand mit einem isolie renden Material zu füllen (vergl. US 5086003). Ungeklärt ist, in wie weit sich ein derartiges Verfahren auf große Flächen übertragen lässt. Andererseits sind auch hier hohe Genauig keitsanforderungen an die Partikelgröße und -form zu stel len.
Bei den beschriebenen Möglichkeiten sind elektrische Kurz
schlüsse zwischen den beiden Elektroden nicht auszuschließen.
Es wurden deshalb Methoden entwickelt (z. B. US 5192400), mit
deren Hilfe derartige Kurzschlüsse isoliert und damit unwirk
sam gemacht werden können.
Die wichtigsten Forderungen, die an eine derartige Isolator
schicht zu stellen sind, lassen sich wie folgt zusammenfassen:
(a) gute elektrische Isolation der Schicht, (b) hohe optische
Transparenz, möglichst bis in den UV-Bereich, und bei einem
niedrigen Reflexionsvermögen, (c) hohe chemische, thermische
und Lichtstabilität, (d) Möglichkeit einer selektiven Abschei
dung/Konvertierung, (e) die Abscheidung muss auch in abge
schatteten Bereichen bzw. in Hohlräumen und Ecken usw. erfol
gen können, (f) es müssen beliebige Schichtdicken erzeugt wer
den können, (g) ihre Eigenschaften (Dichte, Porösität usw.)
müssen in weiten Bereichen und auf einfache Weise definiert
bzw. kontrolliert eingestellt werden können, (h) ein entspr.
wissenschaftliches und technologisches Know-how sowie die Her
stelltechniken sollten verfügbar sein, (i) die Herstellung
muss kostengünstig auf große Flächen übertragbar sein, (j) die
Herstellung muss kompatibel zu den verwendeten Materialien und
den in Anlehnung an die Halbleitertechnologie eingesetzten
Verfahrensschritten sein usw.. Dieser gesamte Komplex an An
forderungen kann durch die bisher bekannten Verfahren nicht
erfüllt werden.
Die Aufgabe der Erfindung ist es, eine verbesserte Halblei
tereinrichtung anzugeben, mit der die Nachteile der herkömmli
chen photovoltaischen Einrichtungen überwunden werden. Die
Aufgabe der Erfindung ist es auch, ein Verfahren zur Herstel
lung einer derartigen Halbleitereinrichtung anzugeben.
Diese Aufgaben werden mit einer Halbleitereinrichtung und ei
nem Verfahren mit den Merkmalen gemäß dem Patentansprüchen 1
bzw. 28 gelöst. Vorteilhafte Ausführungsformen und Anwendungen
der Erfindung ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen.
Die Grundidee der Erfindung ist es insbesondere, eine gat
tungsgemäße Halbleitereinrichtung mit einem Schichtaufbau aus
einer Trägerschicht, die ein elektrisch leitfähiges Trägerma
terial aufweist, einer Isolationsschicht, die durch elektrisch
isolierendes Isolationsmaterial gebildet wird, auf der Träger
schicht angeordnet ist und Halbleiterpartikel enthält, und ei
ner Deckschicht, die mindestens ein elektrisch leitfähiges
Deckmaterial aufweist und auf der Isolationsschicht angeordnet
ist, wobei jeder Halbleiterpartikel sowohl die Trägerschicht
als auch die Deckschicht berührt, dahingehend weiterzuentwi
ckeln, dass das Isolationsmaterial durch mindestens eine Me
talloxidverbindung gebildet wird, die zumindest teilweise ein
Oxid des Trägermaterials enthält. Durch diese Maßnahme werden
die Halbleiterpartikel vorteilhafterweise fest in die Isolati
onsschicht eingebettet, wobei die oben genannten Anforderungen
an die Isolationsschicht erfüllt werden.
Wichtige Merkmale der Isolationsschicht bestehen insbesondere
darin, dass sie mechanisch fest mit der Trägerschicht verbun
den ist. Die Bildung der Isolationsschicht aus einem Oxid des
Trägermaterials kann die Isolationsschicht auf der Träger
schicht wachsend gebildet werden, so dass die Halbleiterparti
kel eingebettet werden. Die Isolationsschicht kann ganzflächig
auf der Trägerschicht gebildet werden.
Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist es insbesondere, ko
stengünstige, effiziente Halbleiterbauelemente anzugeben, die
bei einfachem Aufbau großflächig auf starren oder flexiblen
Substratträgern hergestellt werden können. Weiterhin schließt
die Erfindung die zur ihrer Herstellung erforderlichen Verfah
ren sowie die Verfahren zur Weiterverarbeitung zu z. B. Solar
modulen, großflächigen Detektoren bzw. Sensoren, elektrochemi
schen Bauelementen usw. ein.
Die Erfindung ist nicht auf die Verwendung der Halbleiterein
richtung als Solarzellenanordnung beschränkt. Vielmehr sind
weitere Anwendungsbereiche der vorgeschlagenen Halbleiterbau
elemente gleichfalls Bestandteil der Erfindung.
Gegenstand der Erfindung ist es auch, ein Halbleiterbauelemen
tes anzugeben, bei dem sehr kleine Halbleiterpartikel ungeord
net und in beliebiger Form auf elektrochemisch oder in ähnli
cher Weise oxidierbaren Trägermaterialien aufgebracht werden.
Die Halbleiterbauelemente sind mit einem sehr geringen Materi
al- und Kosteneinsatz herzustellen.
Ein weiteres wichtiges Merkmal der Erfindung besteht darin,
dass die notwendige Schutz- und Isolationsschicht direkt aus
dem Trägermaterial heraus gebildet ist und vorzugsweise durch
eine elektrochemische Oxidation oder ähnliche Prozesse er
folgt. Ferner ist es Gegenstand der Erfindung, die Halbleiter
bauelementanordnungen ohne komplizierte Strukturierungs-,
Maskierungs- und chemische Ätzprozesse herzustellen.
Ein Vorteil der Erfindung besteht insbesondere darin, dass
durch verschiedene Maßnahmen eine Optimierung der Effizienz
des Halbleiterbauelementes ermöglicht wird. Ein weiterer Vor
teil besteht darin, dass eine Halbleitereinrichtung durch den
erfindungsgemäßen Schichtaufbau, insbesondere durch die erfin
dungsgemäße Isolationsschicht, eine erhöhte mechanische Stabi
lität der Partikelfixierung erhält. Bei der Umwandlung des
Trägermaterials hat sich gezeigt, dass der Prozess so gestal
tet werden kann, dass ein Teil des Oxides direkt aus dem Sub
strat heraus nach oben wächst. Dieser Umwandlungsprozess kann
nun so gestaltet werden, dass dieser Teil bis zu ca. zwei
Drittel der Gesamtdicke der Oxidschicht ausmachen kann. Da
durch wird die notwendige mechanische Verzahnung der Halblei
terpartikel auf dem Trägermaterial verbessert.
Ein weiterer Gegenstand der Erfindung besteht darin, dass bei
Verwendung photovoltaisch aktiver Halbleiterpartikel hocheffi
ziente und langzeitstabile Bauelemente zur Umwandlung von
Strahlung in andere Energieformen (Elektrizität, chemische E
nergie) oder auch elektronische Zustände konstruiert werden
können.
Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung werden aus der
folgenden Beschreibung der beigefügten Zeichnungen ersicht
lich. Es zeigen:
Fig. 1a-g eine schematische Übersichtsdarstellung der
Schritte eines erfindungsgemäßen Verfahrens
zur Herstellung einer Halbleitereinrichtung,
Fig. 2a-c schematische Darstellungen weiterer
Ausführungsformen erfindungsgemäßer Halblei
tereinrichtungen,
Fig. 3a-c schematische Darstellungen weiterer
Ausführungsformen erfindungsgemäßer Halblei
tereinrichtungen,
Fig. 4a-d schematische Schnittdarstellungen einer
erfindungsgemäßen Halbleitereinrichtung, und
Fig. 5a-g eine schematische Übersichtsdarstellung der
Anwendung optischer Mikroschalter in einer
erfindungsgemäßen Halbleitereinrichtung.
Das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung der Halblei
tereinrichtung oder Halbleiterbauelementanordnung wird in den
Fig. 1a bis g schematisch dargestellt. Den Ausgangspunkt
entspr. Fig. 1a bildet ein Halbleitermaterial, das in Form
kleiner Halbleiterpartikel (1) vorliegt. Die Partikel müssen
dabei nicht unbedingt eine kugelige oder kugelähnliche Form
haben. Vielmehr hat sich gezeigt, dass es z. B. zur Optimie
rung der Flächenbedeckung vorteilhaft sein kann, beliebig ge
formte Partikel einzusetzen. Bei den Experimenten hat sich er
geben, dass es auch nicht unbedingt notwendig ist, Partikel
von nahezu gleicher Größe einzusetzen.
Ein solches Halbleiterpartikel stellt das Grundelement des
Halbleiterbauelementes dar. Zur Beschreibung der Erfindung
wird exemplarisch das Material Silizium, dessen Verbindungen,
Heterostrukturen usw. herangezogen. Eine Übertragung auf ande
re Materialien ist gegeben und ist Bestandteil der Erfindung.
Im folgenden wird exemplarisch von p-dotiertem kristallinen
bzw. polykristallinen Siliziumpartikeln (1) ausgegangen. Je
nach Ausführung der erfindungsgemäßen Solarzelle können aber
auch intrinsische oder n-dotierte Halbleitermaterialien oder
auch aus dem Stand der Technik bekannte Halbleiterpartikel
(siehe z. B. US 3998659 und US 5556791) Verwendung finden.
Vorzugsweise sind besonders hochreine Halbleitermaterialien,
wie sie in der Mikroelektronik zum Einsatz kommen, zu verwen
den, um qualitativ ausreichende Halbleitereigenschaften der
Partikel zu erhalten. Bei Einsatz der bei der Waferherstellung
anfallenden Restmaterialien bzw. mechanisch zerkleinertem
hochreinen Silizium, die sehr preiswert zur Verfügung stehen,
konnten nach einer Konditionierung die besten Ergebnisse er
zielt werden.
Die erfindungsgemäße Verwendung der Halbleiterpartikel hat ge
genüber den heute eingesetzten planaren Halbleiterbauelementen
den Vorteil, dass auf Grund der gekrümmten Oberflächen das
Licht unabhängig von der Einfallsrichtung nahezu gleichermaßen
eindringen kann. Durch die unregelmäßig geformten Partikel
kann ein Teil des eingedrungenen Lichtes innerhalb der Halbleiterpartikel
total reflektiert werden, wodurch die optischen
Verluste weiter reduziert werden können.
Als metallische Unterlage oder Trägerschicht (2) mit einer gu
ten elektrischen und thermischen Leitfähigkeit wurde vorzugs
weise Aluminium eingesetzt. Aluminium steht kostengünstig und
in nahezu beliebiger Verarbeitungsform und -größe zur Verfü
gung. Aber auch andere durch elektrochemische Oxidation oder
ähnliche Verfahren konvertierbare Materialien (z. B. Ti) sind
einsetzbar. Für die metallische Trägerschicht (2) in Fig. 1a
wurde Aluminiumfolie mit einer Dicke von ca. 5 µm bis ca. 1 mm
- je nach Ausführungsform des Halbleiterbauelementes und dem
vorgesehenen Anwendungsbereich - verwendet. Es wird vorzugs
weise möglichst reines Material verwendet. Dadurch wird ver
mieden, dass durch das Trägermaterial - infolge zusätzlicher
Verunreinigungen im Halbleiter oder am Halbleiter-Metall-
Übergang - elektronisch aktive Defekte entstehen, die zu einer
Verringerung des Wirkungsgrades der Halbleiterbauelemente füh
ren könnten. Handelsübliches Aluminium mit einem Legierungsan
teil an Silizium zur Einstellung der mechanischen Folieneigen
schaften konnte eingesetzt werden.
Das metallische Trägermaterial wirkt gleichzeitig als ein Re
flektor für das durch den Zwischenbereich und die Halbleiter
partikel hindurchgetretene Licht. Somit kann das eingestrahlte
Licht effektiver genutzt werden.
Aber auch dünne Schichten aus Aluminium oder Aluminiumlegie
rungen oder anderen elektrochemisch oxidierbaren Materialien
ließen sich erfolgreich verwenden. Derartige Trägerschichten
mit Dicken zwischen ca. 0,2 µm und 100 µm lassen sich durch
verschiedene bekannte Beschichtungsverfahren, wie z. B. vaku
umbasierte Beschichtungsverfahren (Sputtern, thermisches Ver
dampfen, plasmaunterstützte bzw. thermische Gasphasenabschei
deverfahren oder ähnliche), chemische bzw. elektrochemische
Verfahren usw., erzeugen. Ein Vorteil derartiger Schichten ge
genüber Folienmaterial ist vor allem darin zu sehen, dass die
dünnen Schichten auf nahezu beliebige Substratmaterialien und
-formen mit einem Höchstmaß an Reinheit abgeschieden werden
können.
Die Trägermaterialien sollten vor ihrem Einsatz je nach Ver
schmutzungs- bzw. Kontaminationsgrad oder entspr. Art der
Verschmutzung nochmals einer Reinigung durch die bekannten
nasschemischen bzw. "trockenen" plasmagestützten Verfahren o
der Kombinationen aus beiden unterzogen werden.
Im nächsten Schritt entsprechend Fig. 1b wird ein mechanisch
und elektrisch fester Verbund zwischen den Halbleiterpartikeln
(1) und dem Trägermaterial (2) hergestellt. Dabei wird vor
zugsweise dafür gesorgt, dass die Halbleiterpartikel in das
Trägermaterial eindringen. Die zu wählende Eindringtiefe ist
von halbleiterphysikalischen, geometrischen und anwendungsori
entierten Faktoren abhängig und daher auf den konkreten Anwen
dungsfall anzupassen. Des weiteren werden die Halbleiterparti
kel vorzugsweise einlagig auf dem Träger aufgebracht. Dadurch
kann jedes Halbleiterpartikel optimal als ein einzelnes Halb
leiterbauelement wirken.
Die Herstellung des Verbundes kann im einfachsten Fall durch
mechanisches Anpressen - vorzugsweise bei Temperaturen zwi
schen 350°C und ca. 600°C, vorzugsweise in den Nähe des eu
tektischen Punktes von 577°C - erfolgen. Der dabei zu wählende
Anpressdruck sowie die Anpresszeit hängen u. a. von der ge
wählten Temperatur ab. Zur Erzielung eines Schichtaufbaus mit
möglichst reproduzierbaren Eigenschaften werden die Tempera
turprozesse (Aufheizen, Temperung, Abkühlung usw.) genau kon
trolliert.
Durch ein partielles Anschmelzen der Oberfläche des Trägerma
terials während des Partikelauftrages werden besonders gute
Ergebnisse erzielt. Dieses Verfahren hat die Vorteile, dass
einerseits nur wenig Energie in diesen Prozessschritt einge
bracht werden muss, ein kontinuierliche Produktionsprozess um
gesetzt werden kann und andererseits auch temperaturempfindli
chere Substrate (z. B. Natron-Kalk-Glas usw.) eingesetzt wer
den können. Bei partiellen Oberflächentemperaturen von ca.
400°C bis 620°C ergeben sich eine hervorragende mechanische
Haftung der Siliziumpartikel auf dem Trägermaterial Aluminium.
Dies ist v. a. auch auf die Diffusionsprozesse an der Grenz
fläche zwischen Al und Si zurückzuführen. Die Zugabe speziel
ler Elemente und Verbindungen, die vorher auf dem Trägermate
rial durch bekannte Verfahren aufgebracht wurden oder/und auch
direkt während des Prozesses zugeführt werden, kann sich för
dernd auf die Herstellung eines guten Verbundes auswirken.
Darüber hinaus kann eine Absenkung des Schmelzpunktes des Alu
miniumträgers bekanntermaßen durch Zulegierung weiterer Ele
mente zum Trägermaterial erfolgen.
Die Zufuhr der zur Aufheizung erforderlichen Energie kann mit
tels bekannter Techniken wie z. B. durch spektral angepasste
Strahlungsheizer, Ultraschall, Lasereinwirkung, konventionelle
Heizverfahren (konvektive Verfahren, Stromheizung) oder ähnli
che Verfahren realisiert werden.
Als besonders vorteilhaft hat sich erwiesen, wenn durch eine
Vorbehandlung oder einen beim Auftragen der Halbleiterpartikel
simultan geführten Prozess die sich unter Anwesenheit von Sau
erstoff sofort auf der Aluminiumoberfläche bildende, nur weni
ge Nanometer dicke Oxidschicht entfernt wird. Zur Durchführung
lassen sich bekannte Verfahren wie nasschemisches Beizen oder
Ätzen, "trockene" Plasmaätzprozesse usw. verwenden. Weiterhin
ist vorzugsweise dafür zu sorgen, dass auch beim Aufbringen
der Partikel möglichst kein Sauerstoff zur erneuten thermisch
aktivierten Oxidation des Trägermaterials zur Verfügung steht.
Deshalb werden die Halbleiterpartikel unter einer Inertgasat
mosphäre, die vorzugsweise reduzierende Bestandteile enthält
(z. B. Mischung aus Argon und/oder Stickstoff mit Wasserstoff
o. ä.) oder im Vakuum auf den Träger aufgebracht.
An der Grenzfläche zwischen dem Halbleiterpartikel (1) und dem
Trägermaterial (2) bildet sich unter begünstigendem Einfluss
der Temperatur und/oder des Druckes ein Mischbereich (3) (sie
he Fig. 1c). Dieser ist besonders wichtig, um neben der mecha
nischen Haftung einen guten ohmschen Kontakt herzustellen.
Im exemplarisch ausgewählten Beispiel wird darüber hinaus eine
weitere p-Dotierung der p-Siliziumpartikel ausgenutzt. Die
Diffusion der dreiwertigen Aluminiumatome in das p-dotierte
Siliziumpartikel wird durch die Prozessparameter so einge
stellt, dass im Mischbereich (3) eine definierte Erhöhung der
Akzeptorkonzentration (p+-Dotierung) erfolgt. Damit lässt sich
erreichen, dass die elektrischen Rekombinationsverluste an
der p-p+-Halbleiter-Metall-Grenzfläche (Back-Surface-Field), z. B.
zu Gunsten eines höheren Wirkungsgrades, deutlich reduziert
werden können.
Erfindungsgemäß können vor oder während des Aufbringens der
Halbleiterpartikel durch aus dem Stand der Technik bekannte
Beschichtungsverfahren weitere Dotierelemente eingesetzt wer
den.
Die Fig. 1d zeigt die Bildung der Schutz- und Isolations
schicht (4) auf dem leitfähigen Trägermaterial (2). Die
Schicht (4) ist erforderlich, um einerseits einen Schutz des
Rückkontaktes (3) zu ermöglichen und zum anderen die elektri
sche Trennung der Kontakte der Halbleiterpartikel vorzunehmen.
Die Schutz- und Isolatorschicht wird dabei erfindungsgemäß
durch selektive Konversion des Trägermaterials, vorzugsweise
durch eine elektrochemische Oxidation oder einen ähnlichen
Prozess erzeugt. Entscheidend ist, dass durch den selektiven
Prozess - d. h. nur auf der metallischen Trägeroberfläche und
nicht auf dem Halbleiterpartikel - eine genügend dichte und
gut elektrisch isolierende Schicht erzeugt wird. Da die
Schutz- und Isolatorschicht geradezu aus dem Substrat heraus
nach oben wächst, sind keine aufwendigen Maskierungs-, Ätz-
oder sonstige lithographische Prozesse erforderlich. Die Iso
lationsschicht besitzt eine Dicke von mindestens 5 nm.
Die anodische Oxidation von Aluminium in sauren Medien ist
seit langem erforscht und wird heute im großen Maßstab indus
triell genutzt. Durch die Wahl der chemischen Reagenzien und
der Prozessparameter lässt sich die Dicke der Aluminiumoxid
schicht, deren Mikrostruktur (Dichte, Porösität), die mechani
schen und elektrisch isolierenden Eigenschaften, die Stabili
tät gegenüber chemischen Reagenzien usw. in weiten Bereichen
definiert einstellen. Die konkreten Parameter sind durch vor
her durchzuführende Experimente der jeweiligen Kombination
zwischen Partikeltyp (Halbleitermaterial, Größe usw.) und Trä
germaterial anzupassen. Durch bekannte Nachbehandlungsverfah
ren lassen sich die Eigenschaften weiter modifizieren.
Die Dicke der Schutz- und Isolationsschicht lässt sich auf
einfache Weise im Bereich von einigen Nanometern bis einige
Mikrometer einstellen. Es hat sich gezeigt, dass Dicken der
Aluminiumoxidschicht von < ca. 15 µm ausreichend sind.
Besonders vorteilhaft ist, dass die Säurelösung in jeden Be
reich an der Grenzfläche Trägerunterlage - Halbleiterpartikel
(auch in abgeschattete Bereiche, in Ecken und Hohlräume) ge
langen kann und es vermag, auch genau an diesen, für andere
Verfahren kritischen Stellen die isolierende Oxidschicht auf
zubauen. Erst dadurch ist es erfindungsgemäß möglich, Halblei
terpartikel in nahezu beliebiger Größe und Form zu verwenden.
Elektrische Kurzschlüsse zwischen den Elektroden, wie sie bei
den anderen Verfahren auftreten, lassen sich durch die Erfin
dung nahezu vollständig vermeiden.
Zur optimalen Ausnutzung des gesamten Spektralbereiches der
einfallenden Strahlung ist es notwendig, die Isolatorschicht
so zu wählen, dass möglichst keine zusätzlichen optischen Ab
sorptions- und Reflexionsverluste auftreten. Für die Isolator
schicht ist ein nichtabsorbierendes Material mit einer Bandlü
cke größer 3,1 eV ausreichend. Ferner führt ein möglichst ge
ringer Brechungsindex (n < 1,7) des Isolators zu einer besse
ren optischen Anpassung des Gesamtsystems und bewirkt somit
eine Reduzierung von Reflexionsverlusten. Durch das erfin
dungsgemäß verwendete System Aluminiumträger-Aluminiumoxid-
Schutzschicht wurden diese Forderungen erfindungsgemäß sehr
gut erfüllt.
Durch aus der Halbleiterindustrie an sich bekannten material
spezifischen Behandlungsverfahren (z. B. Reinigung, Ätzprozes
se, Konditionierprozesse usw.) können mögliche Defekte im
Halbleitermaterial oder an dessen Grenzflächen ausgeheilt,
entfernt oder neutralisiert werden. Diese Verfahren werden
nicht näher beschrieben, sind aber Bestandteil der Erfindung.
Zur Ausbildung des p-n-Überganges (5) in Fig. 1e werden auf
der oberen Seite des Si-Halbleiterpartikels (1) entsprechende
Dotieratome eingebracht bzw. eindiffundiert. Für die n-
Dotierung werden bekanntermaßen V-wertige Donatoratome - z. B.
P, As, Sb - eingesetzt. Umgekehrt werden für eine p-Dotierung
III-wertige Akzeptorelemente wie z. B. Bor, Al, Ga usw. ver
wendet. Vorzugsweise werden als Donatoren bzw. Akzeptoren die
Elemente Phosphor bzw. Bor oder Aluminium verwendet. Die In
vertierung von p-leitendem in n-leitendes Silizium z. B. durch
thermische Aktivierung von auf Zwischengitterplätzen eingebau
tem Sauerstoff ist ebenfalls möglich. Aber auch andere, aus
dem Stand der Technik bekannte Dotierverfahren und Halbleiterstrukturen
sind verwendbar und als spezielle Ausführungen Be
standteil der Erfindung.
Zur Einbringung der Dotanten werden die aus der Halbleiter
technik bekannten Dotierverfahren (vakuumbasierte Verfahren,
plasmagestützte bzw. thermische Gasphasenabscheidung, Implan
tation, nasschemische Verfahren usw.) verwendet. Als vorteil
haft hat sich erwiesen, die Diffusionsprozesse durch eine par
tielle Aufheizung der Si-Partikeloberfläche zu unterstützen.
In einer weiteren Ausführung wurde auf das p-dotierte Silizi
umpartikel eine bis ca. 500 nm dicke phosphordotierte amorphe
hydrogenierte Siliziumschicht (a-Si:H(P)) aufgebracht. Zur
Herstellung dieser n-leitenden Schicht wurde das industriell
bewährte Verfahren der plasmaunterstützten chemischen Gaspha
senabscheidung (PECVD) verwendet. Gegenüber den Solarzellen
mit eindiffundierten Dotanten weisen die mit a-Si:H(P) be
schichteten deutlich höhere Defektdichten auf, wodurch nur ge
ringere solare Wirkungsgrade erreicht werden können.
Insbesondere bei Verwendung anderer, nicht tetraedrisch koor
dinierter Halbleiterpartikel (z. B. binäre bzw. ternäre I-III-
VI-, III-V-, II-VI-, I-II-VI-Verbindungen usw.) ist es vor
teilhaft, den p-n-Übergang direkt durch die Abscheidung dünner
Halbleiterschichten (Heteroübergänge) zu erzeugen. So konnten
erfindungsgemäß Halbleiterbauelemente durch Beschichtung von
aus I-III-VI-Halbleiterverbindungen (z. B. Cu(In,Ga)-Selenid
oder -Sulfid) bestehenden Halbleiterpartikeln mit n-leitenden
II-VI-Verbindungen (z. B. (Zn,Cd)S) hergestellt werden, die
insbesondere für solare Anwendungen von Bedeutung sind.
Für die elektrische Kontaktierung der dem Sonnenlicht zuge
wandten Vorderseite der Halbleiteranordnung in Fig. 1f wird
vorteilhafterweise eine leitfähige Schicht (6) aufgetragen.
Die Dicke der Schicht wurde so gewählt, dass möglichst nur
ein geringer Flächenwiderstand von < 10 Ohm/sqr. vorliegt. Als
Materialien haben sich besonders transparente leitfähige Oxide
(TCO; z. B. Sn-dotiertes In2O3 (ITO), F- bzw. Sb-dotiertes
SnO2, Al- bzw. Ga-dotiertes ZnO oder Gemische usw.) mit
Schichtdicken < 50 nm oder auch sehr dünne semitransparente
Schichten aus Metallen bzw. Metallgemischen oder Kombinationen
aus beiden als geeignet erwiesen. Die transparenten leitfähi
gen Oxidschichten haben gegenüber den semitransparenten metal
lischen Schichten (Schichtdicken von nur wenigen Nanometern)
den Vorteil, eine deutlich höhere Lichtdurchlässigkeit im re
levanten Spektralbereich von größer ca. 300 nm zu besitzen.
Diese transparenten leitfähigen Oxidschichten weisen eine gute
chemische und mechanische Stabilität auf und lassen sich durch
bekannte, z. B. vakuumbasierte, nasschemische oder ähnliche
Beschichtungverfahren reproduzierbar applizieren. Eine beson
ders kostengünstige und gleichzeitig hochqualitative Großflä
chenbeschichtung wurde durch das DC- bzw. MF-Magnetronsputter
verfahren erhalten.
Das aus der Fensterglasbeschichtung an sich bekannte Verfah
ren, dünne hochleitende Metallschichten durch leitfähige Oxid
schichten zu entspiegeln, ließ sich prinzipiell ebenfalls an
wenden. Jedoch war es sehr schwierig, die für eine lateral
gleichmäßige Interferenzfarbe erforderlichen Schichtdickenge
nauigkeiten auf den komplexen Partikelgeometrien zu erzeugen.
Es ist im Rahmen der Erfindung ebenfalls vorteilhaft, aus dem
Stand der Technik bekannte andere leitfähige Materialien, wie
z. B. leitfähige Polymere, Nanokomposite usw. mit oder ohne
Füllstoffe, einzusetzen. Durch den Auftrag derartiger dickerer
transparenter leitfähiger Schichten, was in einfacher Weise
durch nasschemische Prozesse (z. B. Sol-Gel-Verfahren) er
folgt, kann darüber hinaus eine gewisse Glättung der Oberflä
che erfolgen.
In einer weiteren Ausführung der Erfindung werden auf die Vor
derseite des Bauelementes zusätzlich dünne Metallgitterstruk
turen - ähnlich der aus der Solarzellenwaferfertigung bekann
ten Verfahren - aufgebracht. Damit lassen sich die ohmschen
Verluste weiter reduzieren. Es ist hierbei jedoch zu beachten,
dass durch die Leiterbahnen eine teilweise Abschattung der
Halbleiterbauelemente erfolgt und somit weniger Licht zur Ge
neration der Ladungsträger zur Verfügung steht.
Zur Minimierung von Reflexionsverlusten ist es vorteilhaft,
eine systemangepaßte Anti-Reflex-Beschichtung (7) auf der dem
Licht zugewandten Seite des Halbleiterbauelementes vorzuneh
men.
Die transparent leitfähige Oxidschicht (6) besitzt einen Bre
chungsindex von ca. 2,0 bei 550 nm. Die TGO-Schicht kann als
Monoschicht (6) selbst zur Entspiegelung eingesetzt werden.
Durch die Abscheidung der entspr. λ/4-TCO-Schicht mit einer Di
cke von ca. 70 nm kann die Reflexion an den Si-
Halbleiterpartikeln auf wenige Prozent reduziert werden. Je
doch ist die TCO-Schichtdicke zu gering, um eine ausreichenden
niedrigen Widerstand des Vorderkontaktes zu ermöglichen. Eine
zusätzliche Kombination mit z. B. einem dünnen Metallgitter
wäre in diesem Fall notwendig.
Vorteilhafter ist es, ein Mehrschichtsystem (7) aus einer ge
eigneten Kombination von hoch-, mittel- und niedrigbrechenden
optischen Materialien (Oxide, Nitride, Oxynitride usw.) zu
verwenden. Das Interferenzschichtsystem ist so auszufertigen,
dass die TCO-Schicht als hoch- und/oder mittelbrechendes Ma
terial und mit Dicken von mindestens λ/2 oder deren Vielfache
eingefügt wird (vergl. DE 196 24 838). Das Schichtsystem ist
entspr. der Theorie der Dünnschichtoptik dem jeweiligen Ge
samtsystem anzupassen. Zur Herstellung des Interferenzschicht
systems lassen sich die aus dem Stand der Technik bekannten
Verfahren einsetzen. Besonders vorteilhaft haben sich die
Magnetronsputterverfahren sowie die plasmagestützten CVD-
Verfahren erwiesen. Gerade wegen der komplizierten Oberflä
chentopographie (siehe unterschiedlich geformte Partikel) muß
die Beschichtung möglichst dreidimensional und mit hoher
Schichtdickengleichmäßigkeit erfolgen, was durch die CVD-
Verfahren möglich ist.
Mitunter ist es für einige Anwendungen (z. B. in der architek
tonischen Fassadengestaltung, bei gekrümmten Glaslaminaten, in
der Raumfahrt usw.) von Interesse, möglichst glatte Oberflä
chen zu erhalten und/oder die Oberflächen mit zusätzlichen
Schutzfunktionen zu versehen. In anderen Anwendungsfeldern
werden wiederum spezielle Ansprüche an den farblichen Eindruck
gestellt. Diese Forderungen werden in weiteren Ausführungen
erfindungsgemäß durch das vorderseitige Auftragen zusätzli
cher, aus dem Stand der Technik bekannter Funktionsschichten
und Materialien gelöst.
Bei Verwendung der erfindungsgemäßen Halbleiteranordnung im
Bereich Raumfahrt sind als äußerste Schicht bekannte Schutz
schichten gegenüber extraterrestrischer Strahlung aufzutragen.
In einer besonderen Ausgestaltung der Erfindung wird die äu
ßerste Schicht mit hydrophoben oder hydrophilen Oberflächenei
genschaften versehen. Durch derartige Schichten kann die Be
netzbarkeit von Wasser, Ölen usw. in weiten Bereichen variiert
werden. Zusätzlich können damit "leicht zu reinigende oder na
hezu selbstreinigende" Oberflächen gestaltet werden. Besondere
Bedeutung haben die hydrophoben Materialien erlangt. Hierzu
sind aus dem Stand der Technik eine Reihe von Polymeren, Ölen
usw. bekannt.
Es hat sich jedoch gezeigt, dass insbesondere die hybride Ma
terialien oder Nanokomposite auf der Basis von Si-
Verbindungen, hergestellt durch das Sol-Gel-Verfahren, beson
ders für das erfindungsgemäße Halbleitersystem geeignet sind
und die bei den Anwendungen geforderte Licht- und Langzeitsta
bilität besitzen. Als besonders vorteilhaft hat sich erwiesen,
dass die durch die Partikel eingeprägte mikrostrukturierte
Oberflächenmorphologie im µm-Bereich die Haftung von Schmutz
partikeln deutlich verringert, so dass "nahezu selbstreini
gende" Oberflächen entstehen. Auf Grund des geringen Bre
chungsindexes von ca. 1,5 bei 550 nm konnte durch diese Be
schichtungen die Reflexion deutlich verringert werden.
Es ist ein besonderer Vorteil der Erfindung, durch spezielle
Ausführungen des erfindungsgemäßen Halbleiterbauelementes eine
bessere Ausnutzung sowohl der Intensität als auch des Spekt
ralbereiches des einfallenden Lichtes zu ermöglichen. Dies
wird am Beispiel der im folgenden beschriebenen Ausführungs
formen erläutert.
Um bei den sehr kleinen geometrischen Abmessungen - wie sie
bei den halbleitenden Mikropartikeln vorliegen - das Sonnen
licht effektiv zu nutzen, sind insbesondere bei Verwendung von
Halbleitern mit indirekter Bandlücke zusätzliche Maßnahmen er
forderlich. So weist monokristallines bzw. polykristallines
Silizium (indirekter Halbleiter) gegenüber Halbleitern mit ei
nem direkten Bandgap eine mitunter um Größenordnungen geringe
re Absorption auf. Zur vollständigen Absorption der Sonnen
strahlung im langwelligeren Spektralbereich (ca. 600 nm bis
1100 nm) werden deshalb große optische Weglängen oder Dicken
von bis zu mehreren Hundert µm benötigt. Weiterhin ist zu be
rücksichtigen, dass durch die Mikropartikel keine 100%ige Ab
deckung der Oberfläche möglich ist. Zwischen den Partikeln
verbleiben Zwischenräume, die ohne weitere Maßnahmen zu opti
schen Verlusten führen können.
Durch weitere Ausführungen der Erfindung in den stilisierten
Fig. 2a bis c werden Varianten der Erfindung beschrieben,
die zu einer deutlichen Reduzierung der Strahlungsverluste
führen. Wegen des ganzflächig angeordneten Metallträgers auf
der Rückseite (2) wird die einfallende Strahlung sehr effektiv
reflektiert. Schon bei leicht schräg einfallendem Licht (S1 in
Fig. 2a) erfolgt eine Reflexion des Lichtes an der Grenzfläche
Isolatorschicht (4) - Metallträger (2) in der Weise, dass das
Licht in benachbarte Teilchen "injiziert" wird und dort für
die Generation weiterer Ladungsträger zur Verfügung steht. A
ber auch an der Grenzfläche Halbleiterpartikel (1) - Metallun
terlage (2) liegt ein deutlich größerer Reflexionskoeffizient
vor (S2 und S3). Von Vorteil erweist sich dabei die Verwendung
von Aluminium. Auf Grund der hervorragenden optischen Eigen
schaften von Al wird das gesamte Sonnenspektrum nahezu spekt
ral unabhängig bei gleichzeitig hohen Reflexionskoeffizienten
reflektiert.
Fällt das Licht nun nahezu senkrecht in die Zwischenräume zwi
schen den Halbleiterpartikeln wird dieses normalerweise unge
nutzt reflektiert (siehe S4 in Fig. 2a). Um auch diesen Licht
anteil zu nutzen, wurde ein mehrstufiger Herstellprozess für
die Isolatorschicht (4) durchgeführt. Bei geeigneter Wahl der
Prozessparameter (Säuremischung, Konzentration, Temperatur,
Spannung usw.) wurde zunächst eine sehr poröse, jedoch noch
nichtabsorbierende Aluminiumoxidschicht (4-1 in Fig. 2b) er
zeugt. Nach Erreichen der gewünschten Dicke wurden die Parame
ter so geändert, dass man - zum Schutz des Trägermaterials
für die nachfolgenden Prozessschritte - eine dichte und gegen
über den einzusetzenden chemischen Reagenzien stabile Schicht
ausreichender Dicke (bis ca. 0,5-1 µm; siehe (4-2) in Fig.
2b) aufwachsen lässt. Die Porösität der Schicht (4-1) lässt
sich so einstellen, dass eine Streuung des einfallenden Lich
tes möglich ist. Das bei dieser Ausführung nahezu senkrecht in
die Zwischenräume einfallende Licht lässt sich nunmehr optimal
nutzen, wie in Fig. 2b dargestellt ist. Ein positiver Nebenef
fekt besteht darin, dass sich auf Grund der Porösität der
Brechungsindex der Teilschicht (4-1) gezielt verringern lässt
(auf ca. 1,45 bis 1,52 bei 550 nm). Auf diese Weise können die
Reflexionsverluste bei Eintritt des Lichtes in die Al2O3-
Schicht weiter minimiert werden. Die dargestellte Ausführung
hat sich unter wirtschaftlichen und verfahrenstechnischen Ge
sichtspunkten sowie zur Vermeidung zusätzlicher parasitärer
Verunreinigungen als besonders geeignetes Verfahren erwiesen.
Auch Kombinationen der Isolatorschicht (4) mit darüber liegen
den, mindestens teilweise transparenten organischen, anorgani
schen und/oder hybriden Materialien lassen sich verwenden.
In einem weiteren Beispiel der erfindungsgemäßen Ausführungen
wurden zusätzliche Materialien (8) als Streuzentren in die po
röse Teilschicht (4-1) eingebracht. Die zusätzlichen Streu
zentren ließen sich durch Einschlemmen einerseits von mög
lichst nichtabsorbierenden Mikropartikeln von wenigen µm Dicke
(Polymere, Oxide, Nitride usw.; siehe (8) in Fig. 2b) mit ei
nem Brechungsindex verschieden von dem der porösen Teilschicht
(4-1) und andererseits von gut reflektierenden Metallpartikeln
(Al, Ag usw.) generieren.
In einer weiteren erfindungsgemäßen Ausführung wurden die
Grenzfläche Isolatorschicht (4) - Metallunterlage (2) gezielt
aufgerauht, um dort eine diffuse Reflexion zu erzeugen. Durch
eine geeignete Prozessführung direkt während der selektiven
Konvertierung des Aluminiums konnte dies umgesetzt werden.
Einige der für solare Anwendungen einzusetzenden Halbleiter
partikel weisen im blau-violetten Wellenlängenbereich (ca. <
450 nm) eine geringere Spektralempfindlichkeit auf. Ein An
satz, diesen Spektralbereich effektiver zu nutzen, besteht in
der spektralen Sensibilisierung, z. B. durch die Adsorption
von geeigneten organischen Materialien usw.. Ein weiterer ist
darin zu sehen, fluoreszierende anorganische und/oder organi
sche Stoffe (siehe (9) in Fig. 2c) zur "Konvertierung kurzwel
liger in längerwelligere Strahlung" einzusetzen. Durch die gezielte
Herstellung der porösen Aluminiumoxidmatrix (4-1 in
Fig. 2c) ließen sich derartige Materialien problemlos durch
die bekannten Verfahren einbringen. In Fig. 2c ist beispiel
haft diese Situation schematisch dargestellt. Das in die Zwi
schenräume zwischen den Halbleiterpartikeln direkt einfallende
(S6) oder in diesen Bereich hinein reflektierte (S7) Licht
wird von den fluoreszierenden Materialien (9) absorbiert und
danach in alle Richtungen wieder emittiert. Da jedoch nur ein
verhältnismäßig geringer Anteil des einfallenden Lichtes in
diese Zwischenräume gelangt, sollten diese Stoffe auf Grund
des geringen Fluoreszenzwirkungsgrades bevorzugt in oberhalb
von den Halbleiterpartikeln liegende Schichten eingefügt wer
den.
Darüber hinaus ließ sich durch das Einbringen von farbigen an
organischen und/oder organischen Stoffen (Pigmente, Farbstof
fe) eine gewisse Farbgestaltung von flächig angeordneten Halb
leiterpartikelarrays erreichen, die z. B. für architektonische
Anwendungen im Bereich der Fassade usw. von Interesse sind.
Die zusätzliche Einlagerung derartiger Partikel und die damit
erreichbaren Vorzüge lassen sich erfindungsgemäß auch auf die
beschriebenen vorderseitigen Funktionsschichten übertragen.
In Fig. 3 ist eine weitere Ausführung der erfindungsgemäßen
Halbleitereinrichtung dargestellt. In dieser Variante wird das
Trägermaterial (4) zwischen den Halbleiterpartikeln vollstän
dig durchoxidiert. Bei geeigneter Wahl der Prozessparameter
und Dicke des Trägermaterials lässt sich erreichen, dass der
Bereich des ohmschen Kontaktes (3) chemisch nicht konvertiert
wird und gleichfalls der notwendige elektrische Kontakt (10)
verbleibt. Befindet sich nun auf der Unterseite des Trägerma
terials ein transparentes Material, kann die erfindungsgemäße
Halbleiteranordnung zusätzlich von hinten beleuchtet werden
(vergl. Fig. 3a). Vorteilhaft ist es, für die Schicht bzw. den
Träger oder einen Teil derer (11) ein transparentes leitfähi
ges Material (ähnlich zu 6) zu verwenden, um eine gute elekt
rische Verbindung zwischen den Halbleiterpartikeln herzustel
len.
Wird nun zusätzlich auf den Träger eine geringere Dichte an
Halbleiterpartikeln aufgebracht, so lässt sich die Halblei
teranordnung so ausgestalten, dass eine gewisse Lichtdurchläs
sigkeit verbleibt (vergl. Fig. 3b). Hierdurch wird die Effi
zienz der Halbleiteranordnung gegenüber einer mit nahezu 100%-
iger Belegungsdichte vermindert. Es gibt jedoch Anwendungen,
bei denen dieser Nachteil zu Gunsten der Lichtdurchlässigkeit
in Kauf genommen wird.
Ein mögliches Anwendungsfeld besteht z. B. in semitransparen
ten Isolierverglasungen oder Fassadenteilen von Gebäuden, in
Fahrzeugen usw.. Eine derartige Isolierverglasungseinheit be
steht im einfachsten Fall (vergl. Fig. 3c-1) aus mindestens
zwei Gläsern 12a-b, die durch Abstandhalter (14) räumlich von
einander getrennt und mit einer zusätzlichen Randversiegelung
gegenüber äußeren Einflüssen geschützt sind. Wird nun z. B.
auf die in den Zwischenraum gerichtete Seite der lichtabge
wandten Scheibe 12a die erfindungsgemäße Halbleiteranordnung
(13) aufgebracht, kann ein gewisser Sonnenschutz bei gleich
zeitiger Lichtdurchlässigkeit und Stromgewinnung erreicht wer
den. Die Lichtdurchlässigkeit bzw. der Sonnenschutz lassen
sich bedarfsgerecht durch die Belegungsdichte der Halbleiter
partikel (15) (vergl. Ausschnittdarstellung in Fig. 3c-2) auf
dem Trägermaterial in weiten Bereichen einstellen. Besonders
vorteilhaft wirkt sich die geringe Größe der Halbleiterparti
kel aus. Bei mittleren "mikroskopischen" Partikelabmessungen
von nur ca. < 100 µm lassen sich die Halbleiterelemente nahezu
nicht mehr mit bloßem Auge auflösen, so dass auf "makroskopi
scher Skala" ein sehr gleichmäßiger visueller Eindruck ent
steht.
Durch andere Varianten - unter Einbeziehung von z. B. be
schichteten Gläsern, Sicherheitsgläsern usw. - kann darüber
hinaus eine Kombination mit Wärmeschutz, Farbe, Statik, Si
cherheit usw. erfolgen.
In besonders vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung lassen
sich weitere Prinzipien der Halbleitertechnik, die an sich be
kannt sind und daher hier nicht näher erläutert werden, anwen
den. So hat sich gezeigt, dass auch andere Methoden, als die
beschriebene, zur Ausbildung des p/n-Überganges eingesetzt
werden können. Die erfindungsgemäße Halbleiteranordnung kann
anstatt des p/n-Überganges andere Übergangstypen, wie Metall-
Halbleiter-Übergänge (Schottky-Typ), Heteroübergänge, Metall-
Isolator-Übergänge sowie auch eine MIS-Struktur enthalten.
Auch die gleichzeitige Kombinationen mehrerer Halbleiteranord
nungen ist möglich. Für die Erzeugung dieser Ausführungen las
sen sich die bekannten Materialien und Herstellverfahren
verwenden.
Die Verwendungsmöglichkeiten der Erfindung bestehen neben den
Anwendungen als Solarzellen auch in großflächigen Anordnungen
für Lichtsensoren, für Displays, für lichtemittzerende Elemen
te, für Bauelemente, bei denen ein latentes Bild erzeugt wird
usw..
Ein besonderer Vorteil der Erfindung liegt in ihrer Verwendung
in elektrochemischen Zellen. Werden auf die reduzierende E
lektrode der Halbleiteranordnung katalytisch wirksame Stoffe
aufgebracht, so lässt sich die erfindungsgemäße
Halbleiteranordnung zur photokatalytischen Dissoziation von
Elektrolyten nutzen. Es ist bekannt, dass zur Erzeugung von
gasförmigem Wasserstoff z. B. Ru, Ir, Ni, Pt oder ähnliche
Materialien bzw. Pd, Rh oder ähnliche Materialien zur
Photoreduktion von CO2 zu CH4 geeignet sind. Diese
katalytischen Systeme sind auf
der Basis der Erfindung herstellbar. Die aus der Elektrolyt
dissoziation gewonnenen Gase werden dann gesammelt, gelagert
oder anderweitig zur Energiegewinnung genutzt. Die metalli
schen Katalysatorschichten sind als halbdurchlässige Schicht
(Schichtdicken < ca. 80 nm) aufzubringen, um das einfallende
Licht optimal zu nutzen. Die für den jeweiligen Elektrolyten
erforderlichen Spannungen werden durch die Anordnung bzw. e
lektrische Verschaltung der Halbleiterelemente realisiert.
In einer weiteren Variante wird auf die reduzierende Elektrode
eine photokatalytisch wirkende n-Halbleiterschicht (z. B. Ti
tandioxid oder ähnliche) durch bekannte Verfahren aufgebracht.
Die Halbleiteranordnung selbst wirkt letztendlich bei der Pho
tokatalyse von Wasser als Bias zur gezielten Verschiebung des
Oxidationspotentiales. Da auf Grund der relativen großen Band
lücke des TiO2 (ca. 3,0 eV) nur der Spektralbereich < 400 nm
absorbiert wird, ist das TiO2 zusätzlich durch geeignete Stoffe
für den langwelligeren Spektralbereich zu sensibilisieren.
Je nach dem Typ des eingesetzten Halbleitermaterials ergeben
sich am p/n-Übergang unterschiedliche Spannungswerte. Bei Ver
wendung von Silizium wird an jedem Halbleiterpartikel eine
Spannung von ca. 0,5 V erhalten. Die pro Si-Halbleiterpartikel
erreichbaren Stromwerte liegen typischerweise im Bereich von
einigen µA bei Partikelabmessungen von ca. 200 µm.
Gerade für Anwendungen im Bereich Photovoltaik ist es einer
seits sinnvoll, die Halbleiterpartikel zu Arrays oder Zellen
zusammenzufassen, um eine Mindeststromgröße zu erzielen. Ande
rerseits ist durch eine Reihenverschaltung der Arrays oder
Zellen im Solarmodul dafür zu sorgen, dass höhere Spannungen
abgegriffen werden können.
Bei Verwendung von Si-Wafern werden die Zellen zum Zwecke der
Spannungserhöhung (Serienverschaltung zu Modulen) üblicherweise
durch zusätzliche externe Leiterfähnchen in Reihe geschal
tet. Dies ist sehr aufwendig und erfordert erhebliche Investi
tionen in die Anlagentechnik. Bei Dünnschicht-Solarzellen
nutzt man eine integrierte Reihenschaltung aus. Jedoch ist
dieses Verfahren wenig flexibel und birgt zudem hohe Quali
tätsrisiken.
Die beschriebenen sowie andere bekannte Verfahren lassen sich
grundsätzlich auch auf das erfindungsgemäße Halbleiterbauele
mentesystem anwenden. Jedoch hat sich gezeigt, dass weitere
erfindungsgemäße Varianten vorteilhafter in Bezug auf Kosten
und Flexiblität für den hier vorliegenden Fall sind.
Die Fig. 4a zeigt stilisiert den seitlichen Schnitt durch die
erfindungsgemäße Halbleitereinrichtung. Die Halbleiterstruktur
wird nun an vorgegebenen Stellen komplett durchstoßen, was
durch mechanisches Bohren, Stanzen, Laserablation oder ähnli
che Verfahren erfolgen kann. Die Durchmesser der Löcher (16)
in Fig. 4b sind möglichst klein (wenige Hundert µm) zu wählen.
In die Löcher werden vorgefertigte isolierte Leiterstifte (17)
eingebracht und an der Vorderseite ein fester elektrischer
Verbund zur leitfähigen Schicht (6) hergestellt. Anschließend
wird die Reihenverschaltung über die Leiterbrücken (18) vorge
nommen. Gerade bei Arrayabmessungen von nur wenigen Quadrat
zentimetern können die elektrischen Leitungen in ihren Abmes
sungen sehr klein und damit für das menschliche Auge nahezu
unsichtbar gestaltet werden. Der gesamte Prozess kann vollau
tomatisch bei minimalem Materialaufwand, gleichzeitig hohem
Durchsatz und niedrigen Kosten durchgeführt werden. Als letz
ter Schritt werden die Arrays durch mechanische oder Laserbe
arbeitung usw. voneinander elektrisch getrennt, wie in Fig. 4b
dargestellt ist. Die Trennstellen (19) können z. B. mit einem
isolierenden und gleichzeitig klebenden Material vergossen
werden, um auch bei mechanischer Belastung eine sichere elekt
rische Isolation zu garantieren.
In besonders vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung wird
bei der Herstellung so verfahren, dass abwechselnd auf defi
nierten Flächen unterschiedliche Halbleiterbauelementtypen (n-
und p-Material, vergl. 20-1 und 20-2 in Fig. 4c) aufgebracht
werden. Bei dieser Anordnung kann eine integrierte Verschal
tung vorgenommen werden. Hierzu müssen lediglich die Elektro
den abwechselnd oben 21-1 und unten 21-2 unterbrochen werden,
wie aus Fig. 4d hervorgeht. Hierzu lassen sich die schon er
wähnten Verfahren verwenden.
Ein grundsätzliches Problem für alle aus einzelnen Zellen auf
gebauten Solarmodulen stellen immer wieder Abschattungen dar.
Hierbei handelt es sich um lokale Bereiche auf einem Solarmo
dul, auf die mindestens zeitweilig kein oder nur sehr wenig
Licht fallen kann. Insbesondere bei elektrisch in Reihe mit
einander verbundenen Solarzellen kann die Abschattung von nur
einer einzelnen Zelle zum Ausfall des gesamten Modules führen.
Die Solarzellen, die mit keinem oder nur sehr wenig Licht be
aufschlagt werden, wirken strombegrenzend und führen so zu be
trächtlichen Energieeinbußen. Oftmals können in Photovoltaik
anlagen Energieverluste von bis zu 10% und mehr damit verbun
den sein. Darüber hinaus kann bei vollständiger Abdeckung ein
zelner Zellen der sogenannte Hot-Spot-Effekt auftreten. Dabei
können durch Überhitzung die Zellen mitunter vollständig zer
stört werden. In der Praxis versucht man diesen Problemen
durch schaltungstechnische Teilung der einzelnen Module in so
genannte Stringketten in Kombination mit Bypassdioden bzw.
entspr. Vorkehrungen bei der externen Verschaltung zu begegnen
(z. B. Zuordnung eines Wechselrichters zu jedem einzelnen So
larmodul). Jedoch sind diese Maßnahmen sehr aufwendig und
kostspielig. Es ist auch nicht möglich, von vornherein nahezu
alle und vor allem die sich auch u. U. mit der Zeit ändernden
Abschattungsbedingungen zu analysieren und zu berücksichtigen.
Die Versuche, direkt auf den Wafer-Solarzellen Bypassdioden zu
integrieren, haben sich in der Praxis nicht durchsetzen kön
nen.
In einer weiteren Ausführung der Erfindung wird deshalb eine
grundsätzliche Vorrichtung vorgeschlagen, durch die diese oder
ähnliche Probleme vermieden werden können. Die Lösung sieht
vor, den einzelnen Zellen und/oder auch Zellanordnungen spe
zielle optische Schalter zuzuordnen. Besonders vorteilhaft ist
die Verwendung derartiger Schalter bei Zellen oder Arrays mit
möglichst geringen elektrischen Leistungen, weil sich (a) die
Schaltelemente dann als Mikroschalter ausführen lassen, (b)
diese dann auch direkt auf die Zellen integrierbar sind und
(c) die optischen Verluste minimiert werden können.
In den Fig. 5a-c ist exemplarisch eine Anwendung derartiger
integrierter optischer Mikroschalter dargestellt. Das bei
spielhafte Modul besteht aus insgesamt 24, elektrisch vonein
ander isolierten Zellen oder Halbleiterbauelementearrays. Es
ist ein einheitlicher Halbleitertyp zu Grunde gelegt, so dass
das in Fig. 4b demonstrierte Verschaltungsprinzip zur Anwen
dung gelangt. Der Verlauf der Reihenschaltung ist mit aufstei
genden Nummern gekennzeichnet. Die erzeugte elektrische Ener
gie wird dann über die Kontakte (22) abgegriffen. Die elektri
sche Verbindung der benachbarten Zellen über die leitfähige
Trägerschicht bzw. über die elektrisch leitende Vorderseite
ist durch 23-1 bzw. 23-2 schematisch wiedergegeben.
Erfahrungsgemäß sind bei Abschattungen vor allem die Eckberei
che (24) betroffen. Wird nur eine einzelne dieser Zellen total
abgeschattet, fällt das gesamte Modul aus. Es wurden nun auf
der lichtzugewandten Seite dieser exponierten Zellen (24) Mik
roschalter (25) angebracht, wie aus Fig. 5b hervorgeht. Wird
nun auf Grund von Abschattungen der Strahlungsfluss auf die
Eckbereiche und damit ebenfalls auf die Mikroschalter unter
brochen, werden die betroffenen Zellen über den Mikroschalter
elektrisch kurzgeschlossen (siehe Zellen 1-2, 3-4, 13-14, 15-
16). Das Modul lässt sich bei einer etwas geringeren Leistung
weiter betreiben. Bei komplizierteren Abschattungserscheinun
gen werden weitere Mikroschalter installiert, wie in Fig. 5c
angedeutet ist. Für jeden Anwendungsfall und Bedarf lassen
sich beliebige Varianten ableiten.
Bei den Mikroschaltern handelt es sich um kleine passive opti
sche Schaltelemente, die in Abhängigkeit von der Lichtein
strahlung reversibel eine elektrische Verbindung aufrecht er
halten oder unterbrechen können. Von besonderem Vorteil ist,
dass die Mikroschalter direkt auf den Zellen integrierbar
sind, so dass die Abschattung lokal und zeitgleich erfasst
werden kann. Im Beispiel entspr. Fig. 5b und 5c wurde die Va
riante gewählt, bei der während der Lichteinstrahlung die
elektrische Verbindung der kurzzuschließenden Zellen elekt
risch unterbrochen wird. Das Grundprinzip ist für den Schal
tungszustand ("Schalterstellung" (26)) ohne bzw. mit Lichtein
fall in Fig. 5d-1 bzw. Fig. 5d-2 schematisch dargestellt. Eine
sehr einfache Möglichkeit zur Aufbringung der Mikroschalter
besteht darin, dass die Elemente auf der Vorderseite der Zel
len mittels Bonden, Kleben, Beschichtung oder ähnliche Verfah
ren (siehe (27) in Fig. 5d) aufgebracht werden. Es ist auch
darauf zu achten, dass die Mikroschalter nur eine geringe
Bauhöhe aufweisen (möglichst < ca. 300 µm), damit sich diese
nicht störend auf die Weiterverarbeitung der Module usw. aus
wirken. Die Dimensionierung der Kontaktflächen, der Leitungs
querschnitte, des Grenzschaltpunktes usw. ist für den jeweili
gen konkreten Anwendungsfall auszulegen.
Zur Auslösung des eigentlichen Schaltvorganges lassen sich
verschiedenste physikalische, chemische oder ähnliche Grund
prinzipien verwenden. In einer beispielhaften Ausgestaltungs
form werden die durch die Lichteinstrahlung hervorgerufenen
thermischen Effekte genutzt. Die Fig. 5e-1 und 5e-2 zeigen
eine Anordnung, bei der in der "Dunkelphase" die beiden Leiter
(28) und (29) miteinander in Kontakt sind. Der Kontakt (28)
ist in diesem Fall als Bimetall ausgelegt. Bei Lichteinstrah
lung, wie es in Fig. 5e-2 wiedergegeben ist, bewirkt die Er
wärmung von (28) eine Krümmung des Bimetalles oder ähnlichem,
so dass die leitende Verbindung unterbrochen wird. Das Fens
ter (30) ist lichtdurchlässig oder -teildurchlässig auszule
gen. In einem weiteren Beispiel entspr. Fig. 5f wird ein Gas
volumen (31) (z. B. Luft) eingeschlossen. Die obere Seite der
Kammer ist als lichtteildurchlässige leitfähige Membran (32)
ausgebildet. Auf der gegenüber liegenden Seite befindet sich
ein Lichtabsorbermaterial (33). Im "Dunkelfall" ist die elekt
rische Verbindung zwischen (28) und (29) durch die Membran ge
geben. Wird nun der Mikroschalter beleuchtet, so wird das
Licht durch (33) absorbiert. Das Absorbermaterial erwärmt sich
und gibt einen Teil der Wärmeenergie an das Gasvolumen weiter.
Durch die Ausdehnung des Gases entsteht ein Überdruck, in des
sen Folge sich die Membran noch oben wölbt und die elektrische
Verbindung zwischen (28) und (29) unterbricht.
Diese Ausführungen sind nur beispielhaft zu verstehen. Es las
sen sich eine Reihe anderer Varianten oder Kombinationen, ver
bunden auch mit anderen Effekten, ableiten.
Besonders vorteilhaft sind solche Ausführungen, bei denen der
Schaltvorgang nicht durch einen mechanischen Bewegungsablauf
erfolgt. So lassen sich erfindungsgemäß auch spezielle optisch
aktive Materialien als Mikroschalter verwenden. Derartige Ma
terialien und Verbindungen haben den Vorteil, dass ihre Auf
bringung technologisch sehr einfach und kostengünstig ist. Bei
den Materialien handelt es sich um Stoffe, die ihre elektri
sche Leitfähigkeit in Abhängigkeit vom einfallenden Licht -
möglichst sprunghaft - ändern. Dies kann sowohl direkt durch
die direkte Einwirkung von Licht (z. B. direkte Erzeugung von
Ladungsträgern) oder auch durch sekundäre, vom Licht hervorgerufene
Effekte (z. B. Erwärmung, Änderung der Löslichkeit in
Stoffgemischen, der chemischen Struktur, Änderung der Ausrich
tung von leitfähigen Partikeln in Matrices, Agglomeration oder
Bildung leitfähiger Phasen usw.) erfolgen.
In besonders vorteilhafter Ausgestaltung werden Materialien
(z. B. Polymere) verwendet, die aus mindestens zwei Komponen
ten bestehen, wobei mindestens eine davon alleine leitfähig
ist. Bis zu einer kritischen Temperatur, die über die Zusam
mensetzung eingestellt wird, liegt das Material als nicht ver
mischtes, mindestens zweiphasiges System vor und weist in die
sem Beispiel eine hohe Leitfähigkeit auf. Durch die Einwirkung
von Licht und die damit verbundene Temperaturerhöhung kommt es
nahe der kritischen Temperatur zu einer spontanen chemischen
Reaktion der Komponenten. Das entstehende Reaktionsprodukt ist
hochohmig und bewirkt die angestrebte elektrische Isolation
zwischen den Zellen. Bei Reduzierung der Temperatur unterhalb
des kritischen Wertes wird wieder der Ausgangszustand er
reicht. Diese Variante lässt sich bei geeigneter Materialkom
bination auch in umgekehrter Weise betreiben oder auch belie
big kombinieren bzw. modifizieren.
Da die Mikroschalter direkt zwischen den unterschiedlichen Po
laritäten der jeweiligen Zellen eingebunden werden (vergl.
Fig. 5d), lassen sich auch die bei Lichteinfall auf die Zellen
entstehenden Spannungen zum Schalten nutzen.
Ausgehend von der Erfindung sind vielfältige weitere Kombina
tionen zwischen den unterschiedlichsten Materialien, Material
eigenschaften und nutzbaren Effekten ableitbar.
Die beschriebene Mikroschalter-Technik wird vorzugsweise mit
den erfindungsgemäßen Halbleitereinrichtungen implementiert,
kann erfindungsgemäß aber in vorteilhafter Weise auch bei an
sich bekannten, herkömmlichen Solarzellen verwendet werden.
Die in der vorstehenden Beschreibung, den Zeichnungen und den
Ansprüchen offenbarten Merkmale der Erfindung können sowohl
einzeln als auch in beliebiger Kombination für die Verwirkli
chung der Erfindung in ihren verschiedenen Ausgestaltungen von
Bedeutung sein.
Claims (30)
1. Halbleitereinrichtung mit einem Schichtaufbau aus einer
Trägerschicht (2), die ein elektrisch leitfähiges Trägermate
rial aufweist, einer Isolationsschicht (4), die durch elekt
risch isolierendes Isolationsmaterial gebildet wird, auf der
Trägerschicht (2) angeordnet ist und Halbleiterpartikel (1)
enthält, und einer Deckschicht (6), die mindestens ein elekt
risch leitfähiges Deckmaterial aufweist und auf der Isolati
onsschicht (4) angeordnet ist, wobei jeder Halbleiterpartikel
(1) sowohl die Trägerschicht (2) als auch die Deckschicht (6)
berührt und mindestens einen p-n-Übergang bildet,
dadurch gekennzeichnet, dass
das Isolationsmaterial durch mindestens eine Metalloxidverbin
dung gebildet wird, die zumindest teilweise ein Oxid des Trä
germaterials enthält.
2. Halbleitereinrichtung gemäß Anspruch 1, bei der das Isola
tionsmaterial zumindest teilweise durch eine selektive elekt
rochemische Konvertierung des Trägermaterials oder eines Teils
von diesem, vorzugsweise durch anodische oder kathodische Oxi
dation, ausgebildet ist.
3. Halbleitereinrichtung gemäß Anspruch 1 oder 2, bei der die
Halbleiterpartikel in die Isolationsschicht (4) haftend einge
bettet sind.
4. Halbleitereinrichtung gemäß einem der vorhergehenden An
sprüche, bei der die Isolationsschicht (4) eine Mehrfach
schicht ist und durch eine Kombination aus einer Schicht mit
einer Metalloxidverbindung, die zumindest teilweise ein Oxid
des Trägermaterials enthält, und einem darüber liegenden, mindestens
teilweise transparenten organischen und/oder anorgani
schen und/oder hybriden Material gebildet wird.
5. Halbleitereinrichtung gemäß einem der vorhergehenden An
sprüche, bei der die Isolationsschicht (4) zumindest teilweise
porös ist und/oder zumindest teilweise farbige, fluoreszieren
de und/oder visuell sichtbare organische oder anorganische o
der hybride Materialien enthält.
6. Halbleitereinrichtung gemäß einem der vorhergehenden An
sprüche, bei der die Halbleiterpartikel zumindest teilweise in
das Trägermaterial hineinragen.
7. Halbleitereinrichtung gemäß einem der vorhergehenden An
sprüche, bei der die Halbleiterpartikel zumindest teilweise
eine mono- oder polykristalline Struktur besitzen, lokale Do
tierungen aufweisen, und/oder einen Aufbau aus einem inneren
n- oder p-leitendem Grundkörper und einer äußeren, entgegenge
setzt dotierten Hülle oder aus einem n-, p- oder i-leitenden
Material besitzen.
8. Halbleitereinrichtung gemäß einem der vorhergehenden An
sprüche, bei der die Halbleiterpartikel einlagig und in geo
metrisch ungeordneter Weise auf der Trägerschicht (2) angeord
net sind.
9. Halbleitereinrichtung gemäß einem der vorhergehenden An
sprüche, bei der die Halbleiterpartikel aus einem Halbleiter
material mit indirekter Bandlücke bestehen und eine charakte
ristische Querschnittsgröße von weniger 350 µm, vorzugsweise
kleiner als 200 µm besitzen, aus einem Halbleitermaterial mit
direkter Bandlücke bestehen und eine charakteristische Quer
schnittsgröße von weniger als 100 µm, vorzugsweise 1 µm bis 50 µm,
besitzen, oder aus einem Gemisch aus diesen Halbleiterma
terialien bestehen.
10. Halbleitereinrichtung gemäß einem der vorhergehenden An
sprüche, bei der als Halbleiterpartikel photovoltaisch aktive
Halbleitermaterialien, deren Verbindungen und Heterostrukturen
mit einer Bandlücke verwendet werden, die kleiner als 2.0 eV
ist.
11. Halbleitereinrichtung gemäß einem der vorhergehenden An
sprüche, bei der die Halbleiterpartikel aus einem Halbleiter
material bestehen, das aus einer oder mehreren der folgenden
Gruppen ausgewählt ist:
IV-wertige Halbleiter, vorzugsweise Silizium, deren Verbindungen und Heterostrukturen,
II-VI Halbleiter, deren Verbindungen und Heterostrukturen,
III-V Halbleiter, deren Verbindungen und Heterostrukturen, und
Verbindungen von Elementen der Hauptgruppen I-IV, z. B. Cu2S/CdS, oder I-III-VI, z. B. die Chalkopytite Cu(In, Ga)- Selenide oder Sulfide und deren Heterostrukturen mit II-VI- Verbindungen, z. B. (Zn,Cd)S.
IV-wertige Halbleiter, vorzugsweise Silizium, deren Verbindungen und Heterostrukturen,
II-VI Halbleiter, deren Verbindungen und Heterostrukturen,
III-V Halbleiter, deren Verbindungen und Heterostrukturen, und
Verbindungen von Elementen der Hauptgruppen I-IV, z. B. Cu2S/CdS, oder I-III-VI, z. B. die Chalkopytite Cu(In, Ga)- Selenide oder Sulfide und deren Heterostrukturen mit II-VI- Verbindungen, z. B. (Zn,Cd)S.
12. Halbleitereinrichtung gemäß einem der vorhergehenden An
sprüche, bei der ein p-n-Übergang gebildet wird:
bei p-dotierten Halbleiterpartikeln durch Donatoren, äußere n-leitende Schichten und/oder eine Invertierung des Halblei tertyps, oder
bei n-dotierten Halbleiterpartikeln durch Akzeptoren und/oder äußere p-leitende Schichten.
bei p-dotierten Halbleiterpartikeln durch Donatoren, äußere n-leitende Schichten und/oder eine Invertierung des Halblei tertyps, oder
bei n-dotierten Halbleiterpartikeln durch Akzeptoren und/oder äußere p-leitende Schichten.
13. Halbleitereinrichtung gemäß einem der vorhergehenden An
sprüche, bei der anstelle der p-n-Übergänge Metall-Halbleiter-
Übergänge (Schottky-Typ), Heteroübergänge, Metall-Isolator-
Übergänge oder MIS-Strukturen vorgesehen sind.
14. Halbleitereinrichtung gemäß einem der vorhergehenden An
sprüche, bei der die Träger- und Deckschichten optisch trans
parent sind und eine beidseitige Beleuchtung der Halbleiter
partikel in der Isolationsschicht ermöglichen.
15. Halbleitereinrichtung gemäß Anspruch 14, bei der die
Lichtdurchlässigkeit des gesamten Schichtaufbaus durch die Be
legungsdichte der Halbleiterpartikel in der Isolationsschicht
eingestellt ist.
16. Halbleitereinrichtung gemäß einem der vorhergehenden An
sprüche, bei der die Deckschicht (6) eine elektrische Gegen
elektrode zur Trägerschicht (2) bildet und aus einem transpa
renten oder semitransparenten, elektrisch leitfähigen Material
besteht und dotierte leitfähige Oxide, Metalle, Metallverbin
dungen, leitfähige Polymere, Nanokomposite, Hybridmaterialien
oder Kombinationen aus diesen Materialien enthält.
17. Halbleitereinrichtung gemäß Anspruch 16, bei der die Deck
schicht reflexionsmindernd ist und/oder auf der zur Isolati
onsschicht (4) entgegengesetzten Seite zusätzliche Funktions
schichten trägt, die reflexionsmindernde Schichten oder
Schichtsysteme, widerstandsvermindernde Metallgitterstruktu
ren, Schichten mit farbigen, fluoreszierenden und/oder visuell
wirksamen organischen, anorganischen und/oder hybriden, aus
organischen und anorganischen Stoffen kombinierten Materia
lien, und/oder Schichten aus Substanzen mit hydrophilen oder
hydrophoben Eigenschaften umfassen.
18. Halbleitereinrichtung gemäß einem der vorhergehenden An
sprüche, bei der zwischen der Trägerschicht (2) und der Isola
tionsschicht (4) eine Haftschicht eingebracht ist und/oder das
Trägermaterial haftfördernde Substanzen enthält.
19. Halbleitereinrichtung gemäß einem der vorhergehenden An
sprüche, bei der das Trägermaterial aus Aluminium oder Alumi
niumlegierungen besteht.
20. Halbleitereinrichtung gemäß einem der vorhergehenden An
sprüche, bei der der Schichtaufbau katalytisch wirksame Stof
fe, z. B. Ru, Ir, Ni, Pt, Pd, Rh, TiO2 oder SrTiO2 enthält.
21. Halbleitereinrichtung gemäß einem der vorhergehenden An
sprüche, bei der mehrere Schichtaufbauten aus Träger-, Isola
tions- und Deckschichten stapelförmig übereinander angeordnet
sind.
22. Halbleitereinrichtung gemäß einem der vorhergehenden An
sprüche, bei der mehrere Zellen, die jeweils durch einen
Schichtaufbau aus Träger-, Isolations- und Deckschichten mit
jeweils mehreren Halbleiterpartikeln gebildet werden, elekt
risch in Reihe geschaltet sind und eine Mehrzellenstruktur
bilden.
23. Halbleitereinrichtung gemäß Anspruch 22, bei der die Mehr
zellenstruktur eine integrierte Reihenverschaltung aus photo
voltaischen Zellen unterschiedlichen Leitungstyps enthält.
24. Halbleitereinrichtung gemäß Anspruch 22 oder 23, bei der
in der Mehrzellenstruktur passive optische Mikroschalter zur
zumindest zeitweiligen Überbrückung einzelner Zellen in der
Reihenschaltung vorgesehen sind.
25. Halbleitereinrichtung gemäß Anspruch 24, bei der die Mik
roschalter direkt in den Schichtaufbau benachbarter Zellen in
tegriert sind, zwischen den benachbarten Zellen eine elektri
sche Verbindung reversibel aufrechterhalten und unterbrechen
und zum Umschalten auf der Grundlage lichtinduzierter physika
lischer oder chemischer Effekte eingerichtet sind.
26. Halbleitereinrichtung gemäß Anspruch 24, bei der die Mik
roschalter optisch aktive Materialien enthalten, deren
elektrische Leitfähigkeit in Abhängigkeit von einer einfallen
den Lichtintensität sprunghaft veränderlich ist.
27. Halbleitereinrichtung gemäß einem der vorhergehenden An
sprüche, die eine großflächige Anordnung von Solarzellen,
Lichtsensoren, Displays, lichtemittierenden Elementen, elekt
rochemischen Zellen oder bilderzeugenden Bauelementen bildet.
28. Verfahren zur Herstellung einer Halbleitereinrichtung ge
mäß einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die
Isolationsschicht (4) zumindest teilweise durch eine selektive
elektrochemische Konvertierung des Trägermaterials oder eines
Teils von diesem, vorzugsweise durch anodische oder kathodi
sche Oxidation, erzeugt wird.
29. Verfahren gemäß Anspruch 28, bei dem das Aufbringen der
Halbleiterpartikel auf das Trägermaterial unter Wärmeeinwir
kung und/oder unter einer leicht reduzierenden Atmosphäre er
folgt.
30. Verfahren gemäß einem der Ansprüche 28 oder 29, bei dem
zur Bildung der Halbleiterpartikel Ausgangsmaterial verwendet
wird, das mit an sich bekannten Kristallzüchtungs- und Her
stellungsverfahren erzeugt worden ist.
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